FR2786316A1 - Detection de particules chargees en mode double - Google Patents
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Abstract
Un instrument détecte les particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises par un échantillon. Les particules chargées sont détectées par un détecteur de haute énergie et un détecteur de faible énergie. Les particules chargées de faible énergie sont dirigées dans le détecteur de faible énergie par le détecteur de haute énergie et/ ou un déflecteur, ces composants étant convenablement orientés les uns par rapport aux autres et par rapport à l'instrument pour détecter, simultanément, les particules chargées de haute et de faible énergie indépendamment, et d'une manière efficace du point de vue de la détection.
Description
DETECTION DE PARTICULES CHARGEES EN MODE DOUBLE
La présente invention concerne la détection des particules chargées émises à partir d'un échantillon et, en particulier, l'obtention simultanée de lectures séparées des particules de haute énergie et des particules de faible énergie. Divers instruments qui s'appuient sur l'émission de particules chargées à partir d'un échantillon pour déduire les caractéristiques de l'échantillon sont connus. Des exemples de ces instruments consistent en un microscope électronique (par exemple, le microscope électronique à balayage) et en un microscope à faisceau ionique focalisé qui dirige un faisceau de particules chargées sur l'échantillon, et un spectromètre de masse qui utilise divers moyens bien connus pour créer une émission de
particules chargées à partir de l'échantillon.
Pour faciliter la description de la présente
invention, elle sera expliquée en relation avec un microscope électronique à balayage. Cependant, on devrait comprendre que l'invention n'est pas limitée à un microscope électronique à balayage et peut être appliquée par un spécialiste de l'art à d'autres instruments, tels
que ceux mentionnés ci-dessus.
Un microscope électronique à balayage fonctionne en générant un faisceau électronique de balayage principal qui heurte un échantillon dont une surface est mise en image. En conséquence, des électrons rétrodiffusés et secondaires sont émis à partir de la surface de l'échantillon et ont des trajectoires respectives le long du faisceau (connues comme la direction axiale) et selon des angles divergeant par rapport à celui-ci. Les électrons émis sont recueillis par un détecteur qui est
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agencé près de la surface de l'échantillon. Le détecteur génère un signal à partir de l'émission électronique recueillie à partir de la surface de l'échantillon alors qu'il est exposé au faisceau électronique. Le signal provenant du détecteur est utilisé pour afficher une image
de la surface sur un écran vidéo.
Un agencement typique des composants principaux d'un microscope électronique à balayage est montré schématiquement sur la figure 6. La source d'électrons 2 génère un faisceau électronique 3 qui est dirigé à travers des ouvertures alignées aux extrémités opposées d'un tube 4 vers un échantillon 5. Le détecteur 6 recueille les électrons émis à partir de l'échantillon 5. Le faisceau 3 est contrôlé par des bobines de stigmation 7, des bobines d'alignement 9, des bobines de balayage l1a et llb, et une lentille 13. La fonction de ces composants est bien connue. Brièvement, les bobines de stigmation 7 sont utilisées pour corriger la forme du faisceau. Les bobines d'alignement 9 sont utilisées pour aligner le faisceau à travers le tube 4. Les bobines de balayage lla et llb défléchissent le faisceau électronique 3, respectivement, dans deux directions, telles que le long d'une direction x et d'une direction y dans un plan perpendiculaire à la direction du faisceau. Les microscopes électroniques à
balayage peuvent contenir plusieurs de ces composants.
La lentille 13 est prévue pour la focalisation du faisceau électronique en un spot très petit pour permettre la génération d'image à haute résolution. Comme cela est bien connu, la lentille 13 peut être magnétique, électrostatique, ou une combinaison de ces lentilles. Plus spécifiquement, la lentille 13 peut être une lentille à immersion qui est montrée schématiquement sur la figure 6 comme comprenant une pièce polaire magnétique en forme de canal, toroidale, avec un pâle interne de lentille 15, un
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pôle externe de lentille 17, et une bobine d'enroulement
19 à l'intérieur du canal.
Un microscope électronique à balayage a beaucoup d'applications du fait de sa haute résolution et de la précision avec laquelle il peut générer des images. La génération d'images est effectuée en détectant un signal provenant de l'échantillon, tel que l'émission électronique à partir de celui-ci. Les détecteurs utilisés dans les microscopes électroniques à balayage comprennent les semi- conducteurs, les scintillateurs, les galettes de microcanaux, les plaques de microsphère et les détecteurs à ionisation de gaz. Ces détecteurs peuvent recueillir (ce terme est utilisé, dans le présent document, comme synonyme de détecter, lire, sonder) à la fois les électrons rétrodiffusés et les électrons secondaires, et
leur sortie peut être une lecture combinée des deux.
Cependant, pour certaines applications, il est utile d'obtenir, simultanément, des lectures séparées des
électrons rétrodiffusés et des électrons secondaires.
USP 5 493 116 présente un agencement pour obtenir, simultanément, des lectures séparées des électrons rétrodiffusés et des électrons secondaires. Des détecteurs supérieur et inférieur sont prévus au-dessus de la surface de l'échantillon, et une géométrie qui crée un effet de filtrage spatial est utilisée, de sorte que le détecteur inférieur lit surtout les électrons secondaires, tandis que le détecteur supérieur lit surtout les électrons rétrodiffusés. A cet effet de filtrage spatial est ajouté un effet de filtrage de l'énergie qui empêche les
électrons secondaires d'atteindre le détecteur supérieur.
Spécifiquement, la face inférieure du détecteur supérieur est polarisée négativement par environ -300 V, de sorte que les électrons secondaires de faible énergie sont repoussés par le détecteur supérieur, tandis que les électrons rétrodiffusés de haute énergie ne sont pas
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sensiblement affectés. Les électrons rétrodiffusés peuvent avoir une énergie égale à l'énergie du faisceau électronique, tandis que les électrons secondaires ont une énergie nettement plus faible. Par exemple, si l'énergie du faisceau électronique est de 1000 eV, alors par définition classique, les électrons secondaires sont ceux dont l'énergie est inférieure à 50 eV et les électrons rétrodiffusés sont ceux dont l'énergie est supérieure à 50
eV et peut atteindre 1000 eV.
Bien que cet agencement réussisse à empêcher les électrons secondaires d'atteindre le détecteur supérieur, il présente plusieurs défauts. Par exemple, lorsque les électrons secondaires sont repoussés vers le bas par le détecteur d'électrons rétrodiffusés supérieur, ils sont "perdus" parce que la face active du détecteur d'électrons secondaires inférieur est orientée vers le bas et ne peut pas les recueillir. Egalement, parce que la géométrie est telle que le détecteur supérieur est situé dans le haut du tube à une certaine distance de l'échantillon, il ne réussit pas à recueillir un pourcentage important d'électrons rétrodiffusés. De plus, avec cette géométrie et/ou d'autres géométries connues, les électrons secondaires qui sont dans l'axe et ceux qui sont sensiblement dans l'axe (par exemple, dans les 10 de
l'axe du faisceau) ne sont pas recueillis non plus.
Un objet général de l'invention consiste à obtenir, simultanément, des lectures séparées des particules chargées de haute énergie et des particules chargées de faible énergie en prévoyant une capacité de détection de
particules chargées en mode double.
Un autre objet de l'invention consiste à maximiser la
collecte de toutes les particules chargées émises.
Un autre objet de l'invention consiste à maximiser le nombre des particules chargées de faible énergie -Tl- --T
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recueillies sans diminuer le nombre des particules
chargées de haute énergie recueillies.
Un autre objet de l'invention consiste à recueillir les particules chargées qui, autrement, seraient perdues lors de la détection d'électrons en mode double. Un autre objet de l'invention consiste à maximiser la collecte des particules chargées émises avec des trajectoires qui sont dans l'axe et sensiblement dans l'axe. Ces objets et les autres sont atteints selon un aspect de la présente invention orienté vers un instrument qui détecte les particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises à partir d'un échantillon. Un détecteur de haute énergie détecte les particules chargées de haute énergie, et un détecteur de faible énergie détecte les particules chargées de faible énergie. Des moyens de déflexion sont agencés afin de défléchir les particules chargées de faible énergie vers le détecteur de faible énergie, et le détecteur de faible énergie est agencé afin de détecter les particules chargées de faible
énergie défléchies.
Un autre aspect de la présente invention est orienté vers un instrument qui détecte les particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises à partir d'un échantillon. Un détecteur de haute énergie détecte les particules chargées de haute énergie, et un détecteur de faible énergie détecte les particules chargées de faible énergie. Le détecteur de haute énergie est agencé afin de défléchir les particules chargées de faible énergie vers ledit détecteur de faible énergie, et le détecteur de faible énergie est agencé afin de détecter les particules
chargées de faible énergie défléchies.
Un autre aspect de la présente invention est orienté vers un instrument qui détecte les particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises à partir d'un
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échantillon. Un détecteur de haute énergie détecte les particules chargées de haute énergie, et un détecteur de faible énergie détecte les particules chargées de faible énergie. Le détecteur de haute énergie comprend des moyens pour défléchir les particules chargées de faible énergie vers le détecteur de faible énergie, et le détecteur de
faible énergie est orienté vers les moyens de déflexion.
Un autre aspect de la présente invention est orienté vers un instrument qui détecte les particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises à partir d'un échantillon. Un détecteur de haute énergie détecte les particules chargées de haute énergie, et un détecteur de faible énergie détecte les particules chargées de faible énergie. Les particules chargées de faible énergie sont converties en particules chargées nouvellement émises dirigées vers le détecteur de faible énergie, et le détecteur de faible énergie est orienté de manière à
recueillir les particules chargées nouvellement émises.
La figure 1 est une vue en coupe schématique d'un microscope électronique à balayage qui montre un agencement du détecteur d'électrons secondaires et du
détecteur d'électrons rétrodiffusés selon l'invention.
Les figures 2A, 2B montrent d'autres modes de
réalisation de l'invention.
La figure 3 montre un autre mode de réalisation de l'invention. La figure 4 montre un autre mode de réalisation de l'invention. La figure 5 montre un autre mode de réalisation de
l'invention.
La figure 6 montre un microscope électronique à
balayage de l'art antérieur.
La figure 1, ainsi que les dessins suivants, identifie les composants d'un microscope électronique à balayage qui sont identiques à ceux montrés sur la figure ir iUT, T T
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6 par des numéros de référence identiques, à l'exception des détecteurs qui sont numérotés individuellement pour chaque mode de réalisation. Sur la figure 1, un agencement de deux détecteurs est montré à proximité de l'échantillon 5. Le terme "unité de détecteur" tel qu'utilisé dans le présent document comprend un détecteur qui est le dispositif actif qui recueille des électrons, tels que ceux énumérés précédemment, et son boîtier. L'avant du boîtier est ouvert pour exposer le détecteur. Le reste du boîtier est typiquement fermé. Le détecteur et le boîtier sont isolés l'un de l'autre. Dans l'art antérieur, le boîtier est normalement mis à la masse, tandis que le détecteur est polarisé, négativement pour un détecteur d'électrons rétrodiffusés et positivement pour un détecteur d'électrons secondaires. La surface active de
l'unité de détecteur se trouve à l'avant du boîtier.
En particulier, la figure 1 montre un agencement dos à dos d'unités de détecteur planes. Le détecteur 20 est un détecteur d'électrons rétrodiffusés et le détecteur 22 est un détecteur d'électrons secondaires. La face avant 20a du détecteur d'électrons rétrodiffusés 20 est orientée vers le bas vers l'échantillon 5, et la face avant 22a du détecteur d'électrons secondaires 22 est orientée vers le haut vers la source d'électrons 2. Un déflecteur 24 est
situé au-dessus du détecteur d'électrons secondaires 22.
Lorsque des électrons rétrodiffusés sont émis par l'échantillon 5, ceux qui sont hors axe à l'intérieur d'un angle d'acceptation seront recueillis par le détecteur d'électrons rétrodiffusés 20. Les électrons secondaires qui sont dans l'axe et quelque peu hors axe seront repoussés par le déflecteur 24 et, de ce fait, dirigés
vers le détecteur d'électrons secondaires 22.
Les détecteurs 20 et 22 ainsi que le déflecteur 24 sont positionnés vers la partie inférieure du microscope
électronique à balayage et à proximité de l'échantillon 5.
1r7V V-IX
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Le positionnement de ces composants est déterminé, dans une certaine mesure, par des considérations de conditionnement en ce qu'ils doivent être logés à l'intérieur de l'espace disponible restant dans un microscope électronique à balayage qui a été conçu auparavant. Les autres considérations peuvent comprendre l'efficacité de la collecte et le type d'électrons présentant un intérêt. Par exemple, le diamètre intérieur du déflecteur 24 devrait être aussi proche que possible du faisceau 3 sans interférer avec le faisceau. Par cet agencement, même les électrons sensiblement dans l'axe seront repoussés par le déflecteur 24 vers le détecteur
22, maximisant la collecte des électrons secondaires.
D'autre part, le diamètre intérieur des détecteurs 20 et 22, qui sont situés entre l'échantillon 5 et le déflecteur 24, devrait être relativement plus grand que celui du déflecteur 24 de manière à permettre aux électrons dans l'axe et quelque peu hors axe (appelés ensemble "pratiquement dans l'axe") d'atteindre les environs du déflecteur 24 de sorte qu'ils puissent être dirigés vers le détecteur 22. De plus, la taille de la surface active du détecteur 20 devrait être suffisamment grande pour fournir un angle solide d'acceptation satisfaisant. De plus, ces composants peuvent également être positionnés plus haut dans le tube. Par exemple, un tel agencement serait préféré, pour certaines applications, lorsqu'il est souhaitable de collecter des électrons plus proches de l'axe. Le déflecteur 24 est montré sur le dessin comme étant plan. Cependant, ceci est fait simplement pour simplifier l'illustration de l'invention sur les dessins. En fait, le déflecteur 24 peut être de n'importe quelle forme et n'importe quelle surface conductrice avec un potentiel de tension appliqué à celui-ci. La forme est optimisée d'une manière bien connue pour l'efficacité de la collecte. La -l TT
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tension sur le déflecteur 24 est ajustable, et est réglée de manière à optimiser la collecte. Les détecteurs 20 et 22 sont également montrés comme étant plans, mais ils peuvent être solides, segmentés, coniques, sphériques ou de n'importe quelle forme. Les boîtiers des détecteurs 20 et 22 sont montrés comme étant en contact. Cependant, ils
peuvent également être espacés l'un de l'autre.
Une variante de l'agencement montré sur la figure 1 consiste à remplacer le déflecteur 24, qui défléchit les électrons secondaires, par une cible de conversion qui attire les électrons secondaires de sorte qu'ils heurtent sa surface. La cible de conversion est réalisée en un matériau avec une faible fonction de sortie d'électrons (c'est-à-dire l'énergie nécessaire pour enlever les électrons les moins étroitement liés), ou revêtue de celui-ci. Ces matériaux sont bien connus d'un spécialiste de l'art et, donc, des détails ne sont pas estimés nécessaires. La cible de conversion est mise à la masse ou polarisée à un potentiel (par exemple, la même tension que le tube), ce qui accélère les particules chargées (par exemple, les électrons) vers la cible. En conséquence de l'impact qui s'ensuit, de nouveaux électrons secondaires et rétrodiffusés sont émis à partir de la surface de la cible de conversion, et ceux-ci sont balayés vers le détecteur 22 par la différence de potentiel entre la cible de conversion et le détecteur. L'effet du balayage des électrons nouvellement émis peut être amélioré en interposant des dispositifs d'accélération entre la cible de conversion et le détecteur qui sont bien connus, par exemple une grille ou un tube. Il conviendrait de noter qu'un élément de construction séparé pour la cible de conversion n'est pas montré spécifiquement sur la figure 1 parce que le déflecteur 24 convient bien en ce que sa
place serait occupée par la cible de conversion.
- 7F TT 7
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L'ouverture interne des divers composants sera appelée, dans le présent document, le diamètre intérieur et la périphérie est appelée le diamètre extérieur. Ainsi, le diamètre intérieur fait référence non seulement à la dimension, mais également à la structure qui définit cette
dimension, comme cela est évident dans le contexte.
Le diamètre intérieur du déflecteur 24 est inférieur au diamètre intérieur des détecteurs 20 et 22. En fait, le diamètre intérieur du déflecteur 24 devrait être aussi petit que possible tout en permettant toujours au faisceau 3 d'atteindre l'échantillon 5 sans interférence. Cette dimension permettra au déflecteur 24 de diriger un nombre maximal des électrons secondaires dans l'axe vers le détecteur d'électrons secondaires 22. Egalement, la zone active du détecteur d'électrons secondaires 22 devrait être suffisamment grande pour collecter un nombre maximal des électrons secondaires orientés vers lui par le déflecteur 24. De même, la zone active du détecteur d'électrons rétrodiffusés 20 devrait être aussi grande que possible pour collecter un nombre maximal des électrons rétrodiffusés qui sont émis vers lui à partir de
l'échantillon 5.
Sur la figure 2A, le détecteur d'électrons rétrodiffusés 30 est le détecteur supérieur, et le détecteur d'électrons secondaires 32 est le détecteur inférieur. Les détecteurs sont dans un agencement face à face. Le boîtier 31 du détecteur d'électrons rétrodiffusés est polarisé négativement. La polarisation négative sur le détecteur 30 peut être différente de la polarisation négative sur son boîtier. Par exemple, la polarisation négative sur le boîtier est ajustable et est réglée pour optimiser la collecte, tandis que la polarisation négative sur le détecteur 30 est fixée pour contrôler l'énergie des
électrons recueillis au niveau de chaque détecteur.
- l Tu- iTU" - - -T Par cet agencement, seuls les électrons dans l'axe et quelque peu hors axe seront recueillis. Pour les électrons secondaires, la polarisation négative sur le boîtier du détecteur d'électrons rétrodiffusés 30 les dirige vers le détecteur d'électrons secondaires 32. Bien entendu, la polarisation négative n'affectera pas considérablement les
électrons rétrodiffusés.
Un ajout optionnel à l'agencement décrit ci-dessus consiste en l'utilisation d'un déflecteur cylindrique polarisé négativement 34. Il est positionné dans l'espace entre les détecteurs 30 et 32 et à leur périphérie. Sa fonction consiste à défléchir les électrons qui se déplacent hors de l'espace. Ces électrons autrement "perdus" sont réorientés vers le détecteur 32 pour
contribuer à la maximisation de la collecte d'électrons.
La figure 2A montre les détecteurs 30 et 32 dans le tube 4, mais la position exacte est fonction de divers coefficients comprenant l'agencement spécifique du microscope électronique à balayage particulier dans lequel l'invention est utilisée. Ainsi, cet agencement confine la dimension du diamètre extérieur des détecteurs au diamètre intérieur du tube 4. Au contraire, la figure 2B montre un détecteur d'électrons rétrodiffusés 40 et un détecteur d'électrons secondaires 42 agencés de manière à se faire face, le boîtier 41 étant polarisé négativement, comme décrit ci-dessus pour les bobines 30 et 32 et le boîtier 31 sur la figure 2A. Cependant, les détecteurs 40 et 42 sont à l'extérieur du tube 4 et, donc, ne sont pas confinés par ses dimensions. Plus spécifiquement, le détecteur d'électrons rétrodiffusés 40 et le détecteur d'électrons secondaires 42 peuvent avoir un diamètre extérieur supérieur au diamètre intérieur du tube 4. La grande taille permet une surface de détecteur active plus grande qui recueille, d'une manière souhaitable, un plus grand nombre d'électrons. Un déflecteur cylindrique
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polarisé négativement 44, similaire au déflecteur 34 sur la figure 2A, peut également être utilisé de manière optionnelle. Sur les figures 2A et 2B, les déflecteurs 34 et 44 peuvent être remplacés par des cibles de conversion, comme décrit ci-dessus en relation avec le détecteur 24 de la
figure 1.
La figure 3 représente un agencement de détecteurs 50 et 52 généralement similaires aux détecteurs 40 et 42 de la figure 2B dans le sens que les détecteurs sont positionnés au-dessous du tube 4, le détecteur d'électrons rétrodiffusés 50 est au-dessus du détecteur d'électrons secondaires 52, et le boîtier 51 du détecteur d'électrons rétrodiffusés 50 est polarisé négativement. Cependant, le détecteur d'électrons secondaires inférieur 52 est incliné de sorte que son diamètre intérieur est proche de l'échantillon 5, tandis que son diamètre extérieur est proche du détecteur d'électrons rétrodiffusés 50. La forme du détecteur d'électrons secondaires 52 peut être conique,
sphérique, en U ou tout autre forme bien connue.
Cet agencement présente plusieurs avantages. Par exemple, comme les électrons secondaires sont repoussés par le détecteur d'électrons rétrodiffusés 40 et son boîtier sur la figure 2B, un grand nombre d'entre eux seront "perdus" alors qu'ils se déplacent latéralement à
travers et hors de l'espace entre les deux détecteurs.
Cependant, la configuration inclinée du détecteur d'électrons secondaires 52 sur la figure 3 permet d'amener son diamètre extérieur près du niveau du détecteur d'électrons rétrodiffusés 50 afin de minimiser la taille de l'espace à travers lequel les électrons secondaires peuvent s'échapper. Donc, il est avantageux que le détecteur d'électrons secondaires 52 ait un diamètre extérieur supérieur au diamètre extérieur du détecteur d'électrons rétrodiffusés 50. Egalement, en inclinant le
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détecteur d'électrons secondaires 52, sa surface active peut être agrandie afin d'augmenter l'efficacité de la collecte d'électrons. De plus, le détecteur d'électrons rétrodiffusés 50 est "visible" pour les électrons rétrodiffusés dans un plus grand angle solide d'acceptation. Les composants 50 et 52 peuvent également être placés dans le haut du tube 4 pour satisfaire aux contraintes de conditionnement ou pour d'autres raisons, telles
qu'examinées ci-dessus.
Sur la figure 4, un détecteur d'électrons secondaires est cylindrique, et est positionné au-dessous d'un détecteur d'électrons rétrodiffusés 62 qui est plan. Le détecteur d'électrons rétrodiffusés 62 est similaire au détecteur d'électrons rétrodiffusés 50 de la figure 3 en ce que le boîtier est polarisé négativement. Le détecteur d'électrons rétrodiffusés 62 a un angle d'acceptation plus large, mais un moins grand nombre des électrons secondaires qu'il repousse ont une chance d'être recueillis par le détecteur d'électrons secondaires 60 du fait de son orientation. Cependant, l'espace entre les deux détecteurs peut être minimisé afin de réduire
l'incidence des électrons "perdus".
Sur la figure 5, un détecteur d'électrons rétrodiffusés 70 et un détecteur d'électrons secondaires 72 sont agencés face à face, mais ils ont tous deux une forme conique ou sphérique. Le boîtier 71 est polarisé négativement. La figure 5 est similaire à la figure 3, excepté que le détecteur d'électrons rétrodiffusés supérieur 50 de la figure 3 est modifié d'une forme plane en une forme conique ou sphérique. Un tel agencement peut fournir une efficacité de collecte optimisée. Egalement, parce que le même composant peut être utilisé pour les détecteurs supérieur et inférieur, ceci peut faciliter la
fabrication et résulter en des coûts plus faibles.
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Un examen détaillé a été fourni ci-dessus, lequel décrit des modes de réalisation spécifiques de l'invention. Cependant, on devrait comprendre que diverses modifications peuvent facilement y être apportées par un spécialiste de l'art. Par exemple, un grand nombre de positions verticales peuvent être utilisées pour les détecteurs par rapport au tube, et l'espacement entre les détecteurs peut également être modifié. Egalement, la position horizontale relative des détecteurs et du déflecteur peut être modifiée, tout comme la taille de la face active. De même, les tensions appliquées aux détecteurs, au déflecteur et au boîtier peuvent être ajustées. Dans une certaine mesure, les variations sont fonction des contraintes de conditionnement et, dans une certaine mesure, le type de mesure qui présente un intérêt dictera la géométrie, par exemple dans l'axe, hors axe, secondaires, rétrodiffusés, et ainsi de suite. Chaque détecteur pourrait être remplacé par des détecteurs segmentés ou des détecteurs séparés en fonction, au moins partiellement, du résultat qu'on cherche à obtenir. Le détecteur pourrait également être excentré plutôt que situé le long du faisceau. Ces modifications et toutes les autres sont destinées à être comprises dans l'étendue de la présente invention telle que définie par les
revendications suivantes.
T -7r..
l5 2786316
Claims (21)
1. Instrument qui détecte les particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises à partir d'un échantillon, comprenant: un détecteur de haute énergie pour détecter les particules chargées de haute énergie; et un détecteur de faible énergie pour détecter les particules chargées de faible énergie; dans lequel le détecteur de haute énergie est agencé de manière à défléchir les particules chargées de faible énergie vers ledit détecteur de faible énergie, et ledit détecteur de faible énergie est agencé de manière à détecter les particules chargées de faible énergie défléchies.
2. Instrument selon la revendication 1, dans lequel le détecteur de haute énergie est agencé de manière à défléchir les particules chargées de faible énergie en
ayant un boîtier polarisé négativement.
3. Instrument selon la revendication 2, dans lequel le détecteur de haute énergie est agencé de manière à défléchir les particules chargées de faible énergie en étant positionné plus loin de la surface de l'échantillon que le détecteur de faible énergie, pour défléchir les particules chargées de faible énergie qui ont évité le
détecteur de faible énergie de retour vers celui-ci.
4. Instrument selon la revendication 1, dans lequel le détecteur de faible énergie est agencé de manière à détecter les particules chargées de faible énergie défléchies en ayant une surface active orientée vers la
face de ladite électrode de haute énergie.
5. Instrument selon la revendication 4, dans lequel la surface active de ladite électrode de faible énergie
est polarisée positivement.
6. Instrument selon la revendication 1, dans lequel le détecteur de faible énergie est formé de manière à être
r- g - TW-7--
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conique ou sphérique, son diamètre intérieur étant plus près de l'échantillon et son diamètre extérieur étant plus
près du détecteur de haute énergie.
7. Instrument selon la revendication 6, dans lequel le diamètre extérieur dudit détecteur de faible énergie est supérieur au diamètre extérieur dudit détecteur de
haute énergie.
8. Instrument selon la revendication 1, dans lequel ledit détecteur de haute énergie a un diamètre intérieur inférieur au diamètre intérieur dudit détecteur de faible énergie.
9. Instrument selon la revendication 1, comprenant, de plus, un déflecteur agencé à la périphérie d'un espace entre les détecteurs de haute énergie et de faible
énergie.
10. Instrument selon la revendication 1, dans lequel l'instrument est un microscope électronique à balayage, les particules chargées sont des électrons, les électrons de haute énergie sont des électrons rétrodiffusés, et les électrons de faible énergie sont des électrons secondaires.
11. Instrument qui détecte les particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises à partir d'un échantillon, comprenant: un détecteur de haute énergie pour détecter les particules chargées de haute énergie; et un détecteur de faible énergie pour détecter les particules chargées de faible énergie; dans lequel le détecteur de haute énergie comprend des moyens pour défléchir les particules chargées de faible énergie vers ledit détecteur de faible énergie, et ledit détecteur de faible énergie est orienté vers lesdits
moyens de déflexion.
12. Instrument selon la revendication 11, dans lequel l'instrument est un microscope électronique à balayage,
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les particules chargées sont des électrons, les électrons de haute énergie sont des électrons rétrodiffusés, et les électrons de faible énergie sont des électrons secondaires.
13. Instrument qui détecte les particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises à partir d'un échantillon, comprenant: un détecteur de haute énergie pour détecter les particules chargées de haute énergie; un détecteur de faible énergie pour détecter les particules chargées de faible énergie; et des moyens pour défléchir les particules chargées de faible énergie vers ledit détecteur de faible énergie, et ledit détecteur de faible énergie est orienté vers lesdits
moyens de déflexion.
14. Instrument selon la revendication 13, dans lequel lesdits moyens de déflexion sont une surface avec un
potentiel électrique appliqué.
15. Instrument selon la revendication 13, dans lequel lesdits détecteurs de haute énergie et de faible énergie se trouvent entre l'échantillon et lesdits moyens de déflexion.
16. Instrument selon la revendication 13, dans lequel lesdits moyens de déflexion se trouvent à la périphérie d'un espace entre lesdits détecteurs de haute énergie et
de faible énergie.
17. Instrument selon la revendication 13, dans lequel l'instrument est un microscope électronique à balayage, les particules chargées sont des électrons, les électrons de haute énergie sont des électrons rétrodiffusés, et les électrons de faible énergie sont des électrons secondaires.
18. Procédé de détection des particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises à partir d'un échantillon, comprenant les étapes consistant à:
18 2786316
détecter les particules chargées de haute énergie au moyen d'un détecteur de haute énergie; détecter les particules chargées de faible énergie au moyen d'un détecteur de faible énergie; et agencer le détecteur de haute énergie de manière à défléchir les particules chargées de faible énergie vers ledit détecteur de faible énergie, et agencer ledit détecteur de faible énergie de manière à détecter les
particules chargées de faible énergie défléchies.
19. Procédé de détection des particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises à partir d'un échantillon, comprenant les étapes consistant à: détecter les particules chargées de haute énergie au moyen d'un détecteur de haute énergie; détecter les particules chargées de faible énergie au moyen d'un détecteur de faible énergie; et défléchir les particules chargées de faible énergie vers ledit détecteur de faible énergie par les moyens de déflexion, et orienter ledit détecteur de faible énergie
vers lesdits moyens de déflexion.
20. Instrument qui détecte les particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises à partir d'un échantillon, comprenant: un détecteur de haute énergie pour détecter les particules chargées de haute énergie; un détecteur de faible énergie pour détecter les particules chargées de faible énergie; et des moyens pour convertir les particules chargées de faible énergie en particules chargées nouvellement émises dirigées vers ledit détecteur de faible énergie, et ledit détecteur de faible énergie est orienté vers lesdits
moyens de conversion.
21. Procédé pour détecter les particules chargées de haute énergie et de faible énergie émises à partir d'un échantillon, comprenant les étapes consistant à:
- - --T
19 2786316
prévoir un détecteur de haute énergie pour détecter les particules chargées de haute énergie; prévoir un détecteur de faible énergie pour détecter les particules chargées de faible énergie; et convertir les particules chargées de faible énergie en particules chargées nouvellement émises dirigées vers ledit détecteur de faible énergie, et orienter ledit détecteur de faible énergie vers lesdits moyens de conversion.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US19645698A | 1998-11-19 | 1998-11-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2786316A1 true FR2786316A1 (fr) | 2000-05-26 |
| FR2786316B1 FR2786316B1 (fr) | 2003-11-07 |
Family
ID=22725495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR9913789A Expired - Fee Related FR2786316B1 (fr) | 1998-11-19 | 1999-11-04 | Detection de particules chargees en mode double |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000164167A (fr) |
| KR (1) | KR20000034962A (fr) |
| DE (1) | DE19953300A1 (fr) |
| FR (1) | FR2786316B1 (fr) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10156275B4 (de) | 2001-11-16 | 2006-08-03 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | Detektoranordnung und Detektionsverfahren |
| GB0226715D0 (en) * | 2002-11-15 | 2002-12-24 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
| US7427752B2 (en) | 2002-11-15 | 2008-09-23 | Micromass Uk Limited | Mass spectrometer |
| EP1703538B1 (fr) | 2005-03-17 | 2008-11-12 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Dispositif à faisceau de particules chargées pour haute résolution spatiale et pour imagerie en perspectives multiples |
| EP1703537B9 (fr) * | 2005-03-17 | 2008-10-22 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Système d'analyse et dispositif à faisceau de particules chargées |
| JP4790393B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2011-10-12 | 日本電子株式会社 | 電子検出器及びそれを備えたビーム装置 |
| JP2012199052A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Jeol Ltd | 電子検出機構及びそれを備えた荷電粒子線装置 |
| WO2019100600A1 (fr) | 2017-11-21 | 2019-05-31 | Focus-Ebeam Technology (Beijing) Co., Ltd. | Microscope électronique à balayage à basse tension et procédé d'observation d'échantillon |
| KR102592510B1 (ko) * | 2018-07-31 | 2023-10-20 | 삼성전자주식회사 | 라만 프로브 및 이를 이용한 생체 성분 분석 장치 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0259907A1 (fr) * | 1986-08-27 | 1988-03-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Détection d'électrons avec discrimination d'énergie |
| US4958079A (en) * | 1989-02-21 | 1990-09-18 | Galileo Electro-Optics Corps. | Detector for scanning electron microscopy apparatus |
| EP0661727A2 (fr) * | 1993-12-28 | 1995-07-05 | Hitachi, Ltd. | Microscope électronique à balayage |
| EP0872873A2 (fr) * | 1997-04-18 | 1998-10-21 | Hitachi, Ltd. | Microscope électronique à balayage |
-
1999
- 1999-10-04 KR KR1019990042540A patent/KR20000034962A/ko not_active Application Discontinuation
- 1999-11-04 FR FR9913789A patent/FR2786316B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1999-11-05 DE DE1999153300 patent/DE19953300A1/de not_active Withdrawn
- 1999-11-12 JP JP11323309A patent/JP2000164167A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0259907A1 (fr) * | 1986-08-27 | 1988-03-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Détection d'électrons avec discrimination d'énergie |
| US4958079A (en) * | 1989-02-21 | 1990-09-18 | Galileo Electro-Optics Corps. | Detector for scanning electron microscopy apparatus |
| EP0661727A2 (fr) * | 1993-12-28 | 1995-07-05 | Hitachi, Ltd. | Microscope électronique à balayage |
| EP0872873A2 (fr) * | 1997-04-18 | 1998-10-21 | Hitachi, Ltd. | Microscope électronique à balayage |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2786316B1 (fr) | 2003-11-07 |
| DE19953300A1 (de) | 2000-05-25 |
| KR20000034962A (ko) | 2000-06-26 |
| JP2000164167A (ja) | 2000-06-16 |
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|---|---|---|---|
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