FR2604515B1 - Dispositif de mesure de position par mesure d'astigmatisme a l'aide d'une detection optique differentielle - Google Patents
Dispositif de mesure de position par mesure d'astigmatisme a l'aide d'une detection optique differentielleInfo
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FR8613655A FR2604515B1 (fr) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | Dispositif de mesure de position par mesure d'astigmatisme a l'aide d'une detection optique differentielle |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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FR2604515A1 FR2604515A1 (fr) | 1988-04-01 |
FR2604515B1 true FR2604515B1 (fr) | 1991-06-14 |
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Family Applications (1)
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FR8613655A Expired - Lifetime FR2604515B1 (fr) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | Dispositif de mesure de position par mesure d'astigmatisme a l'aide d'une detection optique differentielle |
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FR (1) | FR2604515B1 (fr) |
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JPS60169707A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Olympus Optical Co Ltd | 表面状態測定装置 |
GB2158228A (en) * | 1984-05-05 | 1985-11-06 | Spectron Dev Lab Inc | Astigmatic non-contact optical probe |
-
1986
- 1986-09-29 FR FR8613655A patent/FR2604515B1/fr not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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