FR2546328A1 - AUTOMATIC CASSETTE TRANSPORT DEVICE WITH HIGH EFFICIENCY PARTICLE FILTRATION - Google Patents

Abstract

L'INVENTION CONCERNE UN DISPOSITIF DE TRANSPORT AUTOMATIQUE DE CASSETTES AVEC FILTRATION DES PARTICULES A HAUTE EFFICACITE. CE DISPOSITIF COMPORTE AU MOINS UNE SECTION DE TUNNEL POUR TRANSPORTER DES CASSETTES174 DANS UNE ATMOSPHERE PROPRE, AVEC UNE CHAMBRE169 SUR L'UN DE SES COTES ET UNE OUVERTURE POUR LA SORTIE DU GAZ DU TUNNEL, DES RAILS177, 178 DANS LA DIRECTION LONGITUDINALE DU TUNNEL ET AU MOINS UN CHARIOT176 AVEC UN MOTEUR D'ENTRAINEMENT, DESTINE A TRANSPORTER DES CASSETTES PORTANT DES PLAQUETTES. L'INVENTION S'APPLIQUE A LA FABRICATION DES COMPOSANTS SEMI-CONDUCTEURS.THE INVENTION RELATES TO A DEVICE FOR AUTOMATIC TRANSPORT OF CASSETTES WITH HIGH-EFFICIENCY PARTICLE FILTRATION. THIS DEVICE INCLUDES AT LEAST ONE TUNNEL SECTION FOR TRANSPORTING CASSETTES174 IN A CLEAN ATMOSPHERE, WITH A CHAMBER169 ON ONE OF ITS SIDES AND AN OPENING FOR THE GAS OUTLET FROM THE TUNNEL, RAILS177, 178 IN THE LONGITUDINAL DIRECTION OF THE TUNNEL AND AT LEAST ONE CART176 WITH A DRIVE MOTOR, INTENDED TO TRANSPORT CASSETTES CARRYING PLATES. THE INVENTION APPLIES TO THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR COMPONENTS.

Description

La présente invention concerne un dispositif de transport de cassettes deThe present invention relates to a device for transporting cassettes of

plaquettes semi-conductrices et plus particulièrement, un dispositif de transfert  semiconductor wafers and more particularly, a transfer device

automatique de cassettes portant des plaquettes semi-  cassette cassettes carrying semi-inserts

conductrices dans lequel les cassettes se déplacent sur des chariots dans des unités modulaires avec un courant  in which the cassettes move on trolleys in modular units with a current

d'air positif passant par des filtres de haute qualité.  positive air passing through high quality filters.

Dans l'industrie des semi-conducteurs, il  In the semiconductor industry,

s'est toujours avéré nécessaire de fabriquer des transis-  has always been necessary to make trans-

tors et des circuits intégrés sur des pastilles semi-conduc-  and integrated circuits on semiconductor pellets.

trices dans un environnement propre Ainsi, par exemple, de l'eau filtrée et déminéralisée était généralement  In a clean environment, for example, filtered and demineralised water was generally

prévue pour les installations de fabrication de semi-  planned for semiconductor manufacturing facilities

conducteurs afin d'assurer particulièrement qu'aucun contaminant électronique ne viendrait en contact avec les plaquettes semiconductrices lorsqu'elles étaient traitées par de l'eau D'une façon similaire, des salles exemptes de particules et autres contaminants ont été réalisées et utilisées depuis les premières années Les salles appelées "salles propres" utilisent un courant d'air positif sur les zones de travail, un filtrage de l'air entrant par des filtres à particules de haute efficacité et sont utilisées dans les conditions les plus  conductors to particularly ensure that no electronic contaminants would come into contact with the semiconductor wafers when treated with water. In a similar manner, particle-free rooms and other contaminants have been realized and used since first years The rooms called "clean rooms" use a positive air flow on the work areas, filtering the incoming air by high efficiency particulate filters and are used in the most demanding conditions.

strictes Par exemple, des bonnets, des robes, des couvre-  For example, hats, dresses,

chaussures et des masques de protection doivent être portés sur les habits de ville, aucun objet étranger n'est autorisé et l'entrée doit souvent se faire par des  shoes and protective masks must be worn on city clothes, no foreign objects are allowed and entry must often be by

chambres de décontamination Etant donné que les spécifi-  decontamination chambers Given that the specifi-

cations des salles propres deviennent de plus en plus  cations of clean rooms are becoming more and more

sévères, il peut être nécessaire de porter des combinai-  severe, it may be necessary to wear combinations of

sons d'astronautes Voir par exemple M S Dahlstrom, "Clean Room Garments:Where From Here ?", Semiconductor International, Avril 1983, page 111 Dans ces salles propres, les plaquettes étaient manipulées individuellement en en saisissant les bords avec des brucelles et elles étaient généralement transportées entre les postes de traitement dans des cassettes contenant environ 13 à  Astronaut sounds See for example MS Dahlstrom, "Clean Room Garments: Where From Here?", Semiconductor International, April 1983, page 111 In these clean rooms, the pads were handled individually by grabbing the edges with tweezers and they were generally transported between treatment stations in cassettes containing approximately 13 to

environ 25 plaquettes.about 25 platelets.

Le premier besoin de propreté perçu était d'éviter de modifier les propriétés électroniques des composants en fabrication La présence de contaminants actifs électriquement peut modifier directement des propriétés comme la concentration des porteurs, la résis- tance superficielle, la résistance de contact, etc D'une façon similaire, la présence de particules peut perturber l'exécution correcte de certaines phases de traitement comme la diffusion et l'oxydation Voir par exemple à cet égard J Amick, "Cleanliness and the Cleaning of Silicon Wafers", Solid State Technology, novembre 1976,  The first perceived need for cleanliness was to avoid modifying the electronic properties of the components in production. The presence of electrically active contaminants can directly modify properties such as carrier concentration, surface resistance, contact resistance, etc. a similar way, the presence of particles can disrupt the correct execution of certain phases of treatment such as diffusion and oxidation See for example in this respect J Amick, "Cleanliness and the Cleaning of Silicon Wafers", Solid State Technology, November 1976

page 47.page 47.

Avec la tendance permanente pour réduire les largeurs des lignes conductrices et les dimensions d'autres  With the permanent trend to reduce the widths of conductive lines and the dimensions of others

caractéristiques géométriques des composants semi-conduc-  geometric characteristics of the semiconductor components

teurs, les spécifications de traitement sont devenues de plus en plus rigoureuses De nouvelles technologies comme la photogravure par faisceau électronique, l'implantation  process specifications have become increasingly stringent New technologies such as electronic beam photoengraving,

d'ions et l'attaque au plasma sec ont éliminé des techno-  ions and dry plasma etching have eliminated

logies plus anciennes comme la diffusion au four et le traitement chimique humide Avec cette tendance, la présence de particules dont le diamètre moyen s'approche du diamètre des caractéristiques du circuit sont devenues inadmissibles -Ces particules peuvent très bien produire une rupture d'une ligne conductrice, anihiler certaines autres caractéristiques d'un circuit ou modifier les propriétés électriques d'un transistor Pour éviter la présence de ces particules, l'utilisation de salles propres de haute qualité est obligatoire Voir par  Older logies such as oven diffusion and wet chemical treatment With this trend, the presence of particles whose average diameter approaches the diameter of the circuit characteristics has become inadmissible - these particles can very well produce a break in a line conductive, annihilate certain other characteristics of a circuit or modify the electrical properties of a transistor To avoid the presence of these particles, the use of clean rooms of high quality is mandatory See by

exemple J A Lange "Sources of Semiconductor Wafer Conta-  example J A Lange "Sources of Semiconductor Wafer Conta

mination", semiconductor International, avril 1983, page 124 Ainsi, pour la production des circuits de très haute densité d'intégration, il est devenu de plus en plus nécessaire d'assurer que l'ensemble du traitement se fasse dans un environnement de salles propres de qualité La pratique courantedans l'industrie des semi-conducteurs était d'utiliser des installations  Thus, for the production of very high density integration circuits, it has become increasingly necessary to ensure that the entire processing is done in a room environment. The common practice in the semiconductor industry was to use

de salles propres répondant à des critères administratifs.  clean rooms meeting administrative criteria.

Une salle propre courante est définie par la présence de moins de 3600 particules de diamètre moyen supérieur ou égal à 0,5 gm par m 3, avec un débit d'air d'environ 30 m à la minute Ces salles sont coûteuses, leur prix pouvant atteindre plusieurs milliers de francs par ml  A common clean room is defined by the presence of less than 3600 particles of average diameter greater than or equal to 0.5 gm per m 3, with an air flow of about 30 m per minute These rooms are expensive, their price up to several thousand francs per ml

au sol.on the ground.

Des particules sont produites par abrasion des plaquettes de silicium contre des surfaces dures, comme des sous-produits corporels d'agents humains, et  Particles are produced by abrasion of silicon wafers against hard surfaces, such as bodily byproducts of human agents, and

par des habits, des cosmétiques et des milieux bacté-  by clothes, cosmetics and bacterial media

riologiques Une ambiance normale contient tout un lot de particules venant de diverses sources, qui peuvent être appelées simplement des poussières En théorie, si les  A normal environment contains a lot of particles from various sources, which may be called simply dust In theory, if the

sources des particules étaient éliminées, il serait pos-  sources of the particles were eliminated, it would be pos-

sible d'utiliser des techniques de nettoyage moins puissantes Dans tous les cas, la réduction des sources de particules est souhaitable Mais même si l'on essaye d'éliminer les sources de particules, il en reste  to use less powerful cleaning techniques In any case, the reduction of particle sources is desirable But even if we try to eliminate sources of particles, there are still some

toujours une quantité de base qu'il faut tenir compte.  always a basic amount to consider.

Dans la plupart des installations de fabrication de composants semiconducteurs, des  In most semiconductor device manufacturing facilities,

plaquettes semi-conductrices sont placées dans des cas-  semiconductor chips are placed in cases

settes qui contiennent un certain nombre de plaquettes individuelles Ces cassettes sont transportées à la main ou sur des chariots roulants d'un poste de traitement à un autre, Voir par exemple POP Castrucci, "Pneumatic Distribution and Control System", IBM Technical Disclosure  These cassettes are transported by hand or on trolleys from one treatment station to another, see eg POP Castrucci, "Pneumatic Distribution and Control System", IBM Technical Disclosure

Bulletin, volume 15, N 06, novembre 1972, page 1763.  Bulletin, Volume 15, No. 06, November 1972, page 1763.

Chaque phase nécessite une intervention d'un opérateur humain, au moins pour la manipulation des cassettes et à certains moments, pour l'enlèvement et l'introduction de plaquettes dans les cassettes L'utilisation de ces cassettes est une variante au transport individuel des plaquettes d'un poste à un autre, par exemple par une piste pneumatique, une piste à vibrations ou des bandes mobiles Pour cette manipulation et ces transports à grande échelle des cassettes, il n'y a pas d'autre solution  Each phase requires the intervention of a human operator, at least for the handling of the cassettes and at certain times for the removal and introduction of platelets in the cassettes. The use of these cassettes is a variant for the individual transport of platelets. from one station to another, for example by a pneumatic track, a vibration track or moving belts For this manipulation and these large-scale transport of the cassettes, there is no other solution

que l'environnement traditionnel d'une salle propre.  than the traditional environment of a clean room.

Dans un certain sens, cette solution est elle-même défavorable car la manipulation manuelle des plaquettes semi-conductrices dans une salle propre produit des particules et agite les particules qui doivent ensuite nécessairement être éliminées de la présence des plaquettes par les techniques conteuses des salles  In a sense, this solution is itself unfavorable because the manual handling of the semiconductor wafers in a clean room produces particles and agitates the particles which must then necessarily be eliminated from the presence of the wafers by the storytelling techniques of the rooms

propres décrites ci-dessus.own described above.

Une solution au transport des plaquettes semi-conductrices dans un environnement plus propre que l'environnement ambiant, sans avoir recours à une salle propre est apportée par le dispositif de transport de plaquettes diffusé par Nacom Industries, Inc 2852 A  A solution to the transport of semiconductor wafers in a cleaner environment than the ambient environment, without the need for a clean room, is provided by the wafer transport device distributed by Nacom Industries, Inc 2852 A

Walnut, Avenue, Tustin, CA 92680, Etats-Unis d'Amérique.  Walnut Avenue, Tustin, CA 92680, United States of America.

Un tunnel fermé, purgé suivant sa longueur avec de l'azote, est prévu pour le transport roulant d'un chariot à cassettes Le chariot roule sur le fond du tunnel, tiré par la force magnétique produite par un aimant permanent situé dans un second tunnel inférieur positionné contre le fond du tunnel supérieur La force magnétique attire le chariot à cassettes magnétique Des sections rectilignes ou courbes peuvent être prévues pour transporter une cassette d'un poste de travail à un autre Avec ce dispositif, l'accès aux cassettes n'est possible qu'à l'extrémité de chaque section du  A closed tunnel, purged along its length with nitrogen, is provided for the rolling transport of a cassette trolley The carriage rolls on the bottom of the tunnel, pulled by the magnetic force produced by a permanent magnet located in a second tunnel The magnetic force attracts the magnetic cassette carriage Straight or curved sections can be provided for transporting a cassette from one workstation to another With this device, access to the cassettes is not possible. possible at the end of each section of the

tunnel, et non de façon intermittente le long de la piste.  tunnel, not intermittently along the runway.

En outre, des dispositions doivent être prises pour ramener l'aimant permanent situé dans le second tunnel inférieur, dans la zone d'entrée de chaque section de piste Bien que le tunnel qui contient la cassette soit purgé avec de l'azote sec, aucune disposition n'est prise pour éliminer la contamination par des particules  In addition, arrangements must be made to return the permanent magnet in the second lower tunnel to the entrance area of each track section. Although the tunnel containing the cassette is purged with dry nitrogen, no provision is made to eliminate particulate contamination

qui peuvent se déposer pour les plaquettes semi-conduc-  which can be deposited for semiconductor wafers

trices En fait, le mouvement du chariot et du gaz de purge est tel qu'il tend à produire des particules et même à agiter les particules présentes pour les distribuer  In fact, the movement of the carriage and purge gas is such that it tends to produce particles and even to agitate the particles present to distribute them.

sur les plaquettes.on the pads.

Un but de l'invention est donc de proposer un dispositif de transport de cassettes de plaquettes semi-conductrices, dans lequel est produit un courant permanent de gaz de la qualité des salles propres, sur les plaquettes. Un autre but de l'invention est de proposer un dispositif de transport de cassettes de plaquettes semi-conductrices dans laquelle l'accès peut être donné  An object of the invention is therefore to provide a device for transporting semiconductor wafer cassettes in which a permanent gas stream of clean room quality is produced on the wafers. Another object of the invention is to propose a device for transporting semiconductor wafer cassettes in which access can be given

aux plaquettes sur toute la longueur de l'ensemble.  platelets along the entire length of the set.

Un autre but de l'invention est de proposer un dispositif de transport automatique-de cassettes dans lequel des plaquettes sont maintenues en orientation parallèle au courant d'air filtré en particules avec  Another object of the invention is to propose an automatic cassette transport device in which platelets are maintained in parallel orientation to the stream of filtered particulate air with

une haute efficace pour réduire les possibilités de dé-  an effective high to reduce the possibilities of

pot etd'adhérence des particules sur les plaquettes.  Pot and adhesion of particles on the wafers.

Un autre but encore de l'invention est de proposer un dispositif de transport de cassettes de plaquettes semi-conductrices dans lequel chaque cassette est supportée sur un chariot spécifique avec des circuits électroniques incorporés, permettant de maintenir un enregistrement de la progression des opérations afin d'aider la commande intelligente à distance du chariot  Yet another object of the invention is to provide a semiconductor wafer cassette transport device in which each cassette is supported on a specific carriage with incorporated electronic circuits, making it possible to maintain a record of the progress of the operations in order to help remote intelligent control of the trolley

par un calculateur central.by a central calculator.

L'invention concerne donc un dispositif de transport automatique de cassettes destiné à déplacer des cassettes de plaquettes semiconductrices Le dispositif comporte une série de tunnels, de postes de transfert et de liaison avec un équipement de fabrication de composants semi-conducteurs Les cassettes de plaquettes sont supportées sur des chariots qui sont entraînés sur un dispositif de guidage dans la direction longitudinale des tunnels Dans les tunnels et les postes de transfert, un courant permanent d'air de qualité de salle propre est maintenu afin d'empêcher les contaminants et les  The invention thus relates to an automatic cassette transport device for moving semiconductor wafer cassettes. The device comprises a series of tunnels, transfer stations and connection with semiconductor component manufacturing equipment. The wafer cassettes are supported on trolleys which are driven on a guide device in the longitudinal direction of tunnels In tunnels and transfer stations, a permanent clean room air current is maintained to prevent contaminants and

particules de se déposer sur les surfaces des plaquettes.  particles to settle on the platelet surfaces.

De préférence, une composante de courant laminaire est maintenue sur les surfaces des plaquettes Une filtration de l'air de qualité de salle propre est prévue près des chariots pour obtenir ce courant laminaire, de préférence  Preferably, a laminar flow component is maintained on the wafer surfaces Clean air quality air filtration is provided near the carriages to achieve this laminar flow, preferably

d'une manière uniformément distribuée sur la plaquette.  in a uniformly distributed manner on the wafer.

Les postes de transfert comme des élévateurs ou des plaques tournantes sont associés avec des sections de tunnels linéaires et courbes pour permettre un transport non manuel d'un poste à l'autre des cassettes de plaquettes semi-conductrices Pratiquement dans tous les points de l'ensemble, l'accès aux plaquettes peut être obtenu à travers la base des cassettes, grâce à une ouverture longitudinale qui permet aux courants d'air de s'échapper  Transfer stations such as elevators or turntables are associated with sections of linear and curved tunnels to allow non-manual transport from one station to another of the semiconductor wafer cassettes. Virtually in all points of the together, the access to the pads can be obtained through the base of the cassettes, thanks to a longitudinal opening which allows the currents of air to escape

dans l'environnement extérieur.in the external environment.

D'autres caractéristiques et avantages de  Other features and benefits of

l'invention apparaîtront au cours de la description qui  the invention will become apparent during the description which

va suivre.go follow.

Aux dessins annexés, donnés uniquement à titre d'exemple nullement limitatif: La figure 1 représente schématiquement un dispositif de transport automatique de cassettes, dans une installation de fabrication de composants semi conducteurs, La figure 2 est un schéma simplifié des circuits électriques de commande de l'ensemble selon l'invention, La figure 3 est une vue en perspective d'un dispositif automatique de transport de cassettes, La figure 4 est une coupe d'un chariot à cassettes en place sur une plaque tournante dans le dispositif de transport automatique de cassettes, La figure 5 est une coupe d'un chariot à cassettes en position dans une longueur de tunnel, et montrant la direction du courant d'air, Les figures 6 a à 6 d sont des vues schématiques en plan illustrant les opérations logiques du mouvement d'un chariot le long d'une piste linéaire et en passant par une plaque tournante, Les figures 7 a et 7 b sont des vues schématiques en plan et de côté illustrant les opérations logiques de passage et de levage par un élévateur, La figure 8 est une vue de face d'un élévateur, La figure 9 est une vue de côté de l'élévateur de la figure 8, et La figure 10 est un schéma d'un circuit de  In the accompanying drawings, given solely by way of non-limiting example: FIG. 1 schematically represents an automatic cassette transport device, in a semiconductor component manufacturing facility, FIG. 2 is a simplified diagram of the electrical control circuits of 3 is a perspective view of an automatic cassette transport device, FIG. 4 is a sectional view of a cassette cart in place on a turntable in the automatic transport device. FIG. 5 is a section of a cassette carriage in position in a tunnel length, and showing the direction of the air stream. FIGS. 6a to 6d are schematic plan views illustrating the logic operations. the movement of a carriage along a linear track and passing through a turntable, Figures 7a and 7b are schematic views in plan and side illustrating Figure 8 is a front elevational view of an elevator, Figure 9 is a side view of the elevator of Figure 8, and Figure 10 is a schematic diagram of the elevator. a circuit of

prévention de collision et d'arrêt de chariot.  collision prevention and truck stop.

Comme cela a été expliqué en détail ci-dessus, il est à la fois souhaitable d'éliminer les sources de  As explained in detail above, it is both desirable to eliminate the sources of

contaminants en particules et de maintenir ces contami-  particulate contaminants and to maintain these contami-

nants à distance des surfaces utiles des plaquettes semi-conductrices La règle de l'élimination des personnes dégageant des particules peut s'appliquer Egalement, la probabilité que des particules de silicium soient produites par l'abrasion des plaquettes est d'autant  The rule of elimination of particles emitting particles can also be applied. The probability of silicon particles being produced by the abrasion of platelets is

moindre que moins de plaquettes individuelles sont mani-  less than less individual platelets are handled

pulées Le dispositif de transport automatique des cassettes selon l'invention applique ces principes par un transport non manuel L'ensemble du transport et de la manipulation des cassettes se font dans un environnement de salles propres même si l'appareil lui même est installé dans l'environnement normal d'une usine Ce résultat est obtenu en utilisant une source d'air propre ou en utilisant des filtres de haute qualité sur la longueur des tunnels dans le trajet des cassettes Les filtres préférés sont des filtres à air à particules de haute efficacité Les filtres répondant à cette spécification sont des filtres de haute qualité avec une dimension maximale spécifiée des pores de 0,5 Nom ou moins A tout moment et à tous endroits, les cassettes sont dans-un gaz filtré à haute efficacité, généralement de l'air, de sorte que même si le volume du tunnel est ouvert à l'atmosphère ambiante de l'usine, le courant de gaz se fait dans le sens depuis le filtre vers l'environnement extérieur Des salles propres telles que définies ci-dessus sont facilement maintenues En utilisant des filtres de plus haute qualité encore, qui sont maintenant disponibles, des salles propres de spécifications plus sévères peuvent être obtenues, convenant pour des opérations de haute densité d'intégration avec des règles de conception au-dessous du micron Dans un mode de réalisation, des compteurs de particules sont situés à des intervalles dans l'ensemble Un avantage important de cette solution de tunnels modulaires pour le transport des cassettes est la réduction du travail en cours et par conséquent, une nette réduction d'inventaire Les travaux en cours peuvent aussi être modifiés de façon arbitraire De plus, une augmentation notable du rendement résulte du  The automatic cassette transport device according to the invention applies these principles by a non-manual transport. The entire transport and handling of the cassettes are done in an environment of clean rooms even if the apparatus itself is installed in the room. normal environment of a plant This result is obtained by using a clean air source or by using high quality filters along the tunnel lengths in the cassette path. The preferred filters are high efficiency particulate air filters. Filters meeting this specification are high quality filters with a specified maximum pore size of 0.5 Nom or less At any time and in any place, the cassettes are in-a high efficiency filtered gas, usually from air, so that even though the tunnel volume is open to the ambient atmosphere of the plant, the gas flow is in the direction from the filter to the envi external environment Clean rooms as defined above are easily maintained By using even higher quality filters, which are now available, clean rooms with higher specifications can be obtained, suitable for high integration density operations. with design rules below the micron In one embodiment, particle counters are located at intervals in the set An important benefit of this modular tunnel solution for cassette transport is the reduction of work in progress As a result, a significant inventory reduction Work in progress can also be arbitrarily modified In addition, a significant increase in

transport non manuel des plaquettes et des cassettes.  non-manual transport of platelets and cassettes.

La figure 3 représente un dispositif simple réalisé selon l'invention Aucun équipement de traitement n'est représenté mais il est évident que des équipements de ce genre peuvent être situés pratiquement en tous points du dispositif Par exemple, une section de tunnel  FIG. 3 represents a simple device made according to the invention. No processing equipment is shown, but it is obvious that equipment of this kind can be located practically at all points of the device. For example, a tunnel section

linéaire pourrait se terminer sur un élément d'équi-  linear could end on an element of equi-

pement de production et une seconde section de tunnel linéaire pourrait partir de cet équipement, assurant ainsi l'arrivée et le départ automatique des cassettes par rapport à l'équipement Par ailleurs, des pistes d'emmagasinage pourraient être prévues Comme-le montre la figure 3, une hotte propre 142 du type courant à  production equipment and a second section of linear tunnel could start from this equipment, thus ensuring the automatic arrival and departure of the cassettes in relation to the equipment. Moreover, storage tracks could be planned as shown in the figure. 3, a clean hood 142 of the current type to

filtrage de haute efficacité est prévue pour l'introduc-  High efficiency filtering is planned for the introduc-

tion des cassettes de plaquettes et l'enlèvement des plaquettes Dans une installation de fabrication, les chariots portant des cassettes, se déplaçant sur des rails 146, pourraient être transportés par une série de chambres de traitement, comme cela sera expliqué par la suite en regard de la figure 1, mais le dispositif simple de la figure 3 sert à montrer les constituants d'un ensemble de tunnels modulaires et les phases de transfert logique qui peuvent être exécutées Comme cela  In a manufacturing facility, the carriages carrying cassettes, moving on rails 146, could be transported by a series of treatment chambers, as will be explained thereafter. of Figure 1, but the simple device of Figure 3 serves to show the constituents of a set of modular tunnels and logical transfer phases that can be executed

sera expliqué par la suite, les rails 146 sont électri-  will be explained later, rails 146 are electri-

fiées de sorte que les chariots portant les plaquettes sont autopropulsés le long des rails en fonction d'instructions programmées dans des circuits électroniques incorporés ou en réponse à des signaux de commande fournis à chaque chariot lorsqu'il passe par intermittence par des points de communication Par exemple, un chariot portant une cassette placé sur les rails 146 peut se déplacer logiquement par la section de tunnel linéaire  the wagons carrying the wafers are self-propelled along the rails according to programmed instructions in built-in electronic circuits or in response to control signals supplied to each carriage when it intermittently passes through communication points. for example, a carriage carrying a cassette placed on the rails 146 can move logically through the linear tunnel section

jusqu'à ce qu'il approche d'une plaque tournante 139.  until he approaches a turntable 139.

A l'approche de la plaque tournante 139, une liaison de communication, représentée par exemple par des diodes électroluminescentes 106, 108 110 sur la figure 2, est établie avec le chariot et lui commande de s'arrêter si la plaque tournante 139 n'est pas disponible pour le recevoir, ou en variante le commande pour qu'il avance  On approaching the turntable 139, a communication link, represented for example by light-emitting diodes 106, 108 110 in FIG. 2, is established with the carriage and causes it to stop if the turntable 139 is not available to receive it, or alternatively the command to advance it

si la plaque tournante 139 est orientée pour le recevoir.  if the turntable 139 is oriented to receive it.

Ensuite, le chariot portant une cassette arrive sur la plaque tournante 139 et s'arrête dans une position centrale appropriée Ensuite, la plaque tournante 139 exécute une rotation de 90 de sorte que l'extrémité avant  Then, the carriage carrying a cassette arrives on the turntable 139 and stops in a proper central position. Next, the turntable 139 rotates 90 so that the front end

du chariot est dirigée vers la section linéaire 130.  of the carriage is directed towards the linear section 130.

La plaque tournante 139 est alors en position de sorte que ses rails sont alignés avec les rails de la section  The turntable 139 is then in position so that its rails are aligned with the rails of the section

linéaire 130.linear 130.

Quand le chariot se déplace sur les rails de la section linéaire 130, il passe par un autre point de communication qui fournit à un calculateur central, comme le calculateur 70 de la figure 2, des informations indiquant que la plaque tournante est revenue dans sa position de réception alignée avec la section linéaire Le chariot se déplace ensuite dans la section 130  When the carriage moves on the rails of the linear section 130, it passes through another communication point which provides to a central computer, such as the computer 70 of Figure 2, information indicating that the turntable has returned to its position. In this case, the carriage moves in section 130

jusqu'a ce qu'il s'approche de la plaque tournante 138.  until he approaches the turntable 138.

La séquence de plaque tournante est ensuite exécutée de la manière décrite ci-dessus Quand la rotation est effectuée, un point de décision- est atteint pour déterminer si le chariot est conduit à l'élévateur 141 vers la section linéaire supérieure 132 ou s'il passe par la piste linéaire inférieure 133 Cette décision est  The turntable sequence is then executed as described above. When the rotation is performed, a decision point is reached to determine whether the carriage is led to the elevator 141 to the upper linear section 132 or whether goes through the lower linear track 133 This decision is

prise en fonction des informations émises par le calcu-  taken according to the information emitted by the calculation

lateur central vers l'élévateur 141 En variante, cette information peut être transmise au chariot par une liaison de communication placée de façon appropriée Si la séquence de traitement spécifiée pour les plaquettes de la cassette nécessite le transport par la piste supérieure 132, le chariot passe de la plaque tournante 138 sur la plate-forme d'élévateur 141 Quand le chariot est arrêté au centre de la plate-forme, comme cela sera décrit en détail par la suite, il est soulevé jusqu'à un niveau dans lequel les rails de la plate-forme  As a variant, this information can be transmitted to the trolley via an appropriately placed communication link. If the specified processing sequence for the platelets of the cassette requires transport by the upper track 132, the trolley passes through the trolley. of the turntable 138 on the elevator platform 141 When the carriage is stopped in the center of the platform, as will be described in detail later, it is raised to a level in which the rails of the platform

sont alignés avec ceux de la piste supérieure 132.  are aligned with those of the upper track 132.

Ensuite, le chariot progresse de lui même sur les rails de la section linéaire 132 de sorte qu'il passe à la plate-forme d'attente de l'élévateur 140 Etant donné que tous les éléments utiles de l'ensemble sont reliés au calculateur central, la plate-forme de l'élévateur 140 peut être commandée pour être prête et pour attendre la réception du chariot Quand le chariot est arrivé et se trouve en position, l'élévateur 140 est abaissé et le chariot est amené sur la plaque tournante 137, toujours sous la condition que cette plaque tournante soit orientée correctement pour recevoir ce chariot En variante à la prise du chemin supérieur, de la section linéaire 132, le chariot peut se déplacer le long de la section intérieure 133 et arriver à la plaque tournante 137 Dans une installation de fabrication de composants semi-conducteurs comme celle représentée par exemple sur la figure 1 et qui sera décrite par la suite, un traitement est  Then, the carriage progresses by itself on the rails of the linear section 132 so that it passes to the platform of the elevator 140 waiting since all the useful elements of the set are connected to the calculator central, the platform of the elevator 140 can be controlled to be ready and to wait for the reception of the truck When the carriage has arrived and is in position, the elevator 140 is lowered and the carriage is brought to the turntable 137, still under the condition that this turntable is oriented correctly to receive this carriage As an alternative to the take of the upper path, the linear section 132, the carriage can move along the inner section 133 and get to the turntable 137 In a semiconductor component manufacturing facility such as that shown for example in FIG. 1 and which will be described later, a treatment is

effectué dans de nombreuses positions de l'ensemble.  performed in many positions of the set.

Enfin, le chariot portant une cassette passe par la plaque tournante 136 sur la section de tunnel linéaire 134 et revient à la hotte propre 142 Pendant son transport dans le dispositif de transport automatique de cassettes, et comme cela sera décrit en détail par la suite, le chariot et la cassettes baignaient continuelleemnt dans  Finally, the carriage carrying a cassette passes through the turntable 136 on the linear tunnel section 134 and returns to the clean hood 142 during its transport in the cassette automatic transport device, and as will be described in detail later, the cart and cassettes were constantly bathed in

de l'air de qualité de chambre propre, comme défini ci-  clean room air, as defined above.

dessus L'air est fourni par une ou plusieurs souffleries 133, par des conduites 144, dans une série de chambres qui sont situées sur le côté supérieur de chacun des tunnels,  The air is supplied by one or more wind tunnels 133, through lines 144, in a series of chambers which are located on the upper side of each of the tunnels,

comme le montrent particulièrement les figures 4 et 5.  as shown particularly in Figures 4 and 5.

La figure 1 représente un dispositif selon l'invention destiné à une installation de fabrication de composants semi-conducteurs Le local dans lequel les unités modulaires sont situées n'est pas nécessairement une salle propre Par contre, chacun des tunnels modulaires, des postes de transfert (plaques tournantes, élévateurs) et les pobtes de travail doivent assurer un environnement propre pour les cassettes de plaquettes semi-conductrices Sur la figure 1, la lettre T désigne une plaque tournante, la lettre E désigne un élévateur, la lettre C désigne un poste de communication et la lettre W signifie un poste de travail ou une hotte propre L'organisation du dispositif de la figure 1 est telle que les cassettes sont transportées dans un sens, avec la possibilité de passer par des postes de travail successifs Avec une commande élaborée par calculateur et des circuits électroniques sur les chariots, ces derniers peuvent se déplacer dans un sens ou dans l'autre Le poste de communication C est prévu devant chaque poste de  FIG. 1 represents a device according to the invention intended for a semiconductor component manufacturing facility. The room in which the modular units are located is not necessarily a clean room. On the other hand, each of the modular tunnels, transfer stations. (turntables, elevators) and workpieces must ensure a clean environment for semiconductor wafer cassettes In Figure 1, the letter T designates a turntable, the letter E designates an elevator, the letter C designates a station communication and letter W means a workstation or a clean hood The organization of the device of Figure 1 is such that the cassettes are transported in one direction, with the possibility of passing through successive workstations With an elaborate order calculator and electronic circuits on the trolleys, the trolleys can move in one direction or the other. communication is foreseen in front of each

transfert, par exemple une plaque tournante ou un élé-  transfer, for example a turntable or

vateur, délivrant un chariot à une boucle de traitement particulière A ce point, le calculateur central 70 représenté sur la figure 2 peut identifier le chariot et il consulte sa propre base de données pour déterminer si les plaquettes-qui se trouvent dans la cassette de ce chariot particulier doivent être traitées dans la boucle qui se présente Si la réponse est affirmative, le transfert est effectué par le poste de transfert vers la boucle de traitement Par exemple, une cassette donnée peut contenir des plaquettes avec des spécifications de traitement nécessitant un traitement à des postes de travail des boucles 3, 5 et 7 Ainsi, quand le chariot sort de la plaque tournante 30, il passe par le point de communication 70 de sorte que le calculateur central est informé de l'identité de ce chariot, la spécification de traitement des plaquettes dans la cassette du chariot est sollicitée et l'ordre est donné à la plaque tournante 28 de recevoir le chariot, de l'arrêter et de tourner vers  The central computer 70 shown in FIG. 2 can identify the carriage and it consults its own database to determine whether the platelets-which are in the cassette of that cart particular carriage must be treated in the loop that occurs If the answer is affirmative, the transfer is performed by the transfer station to the treatment loop For example, a given cassette may contain platelets with treatment specifications requiring treatment to loops 3, 5 and 7 Thus, when the carriage leaves the turntable 30, it passes through the communication point 70 so that the central computer is informed of the identity of the carriage, the specification of treatment of the wafers in the trolley cassette is requested and the order is given to the turntable 28 to receive the trolley, the stop r and turn to

la boucle 7 Ensuite, le chariot passe à la plaque tour-  the loop 7 Then, the carriage goes to the turntable

nante 50, la plaque tournante 48 et par l'élévateur 41 pour être traité au poste de travail 19 Le chariot passe  50, the turntable 48 and the elevator 41 to be treated at the workplace 19 The carriage passes

ensuite par l'élévateur 39 à la plaque tournante 26.  then by the elevator 39 to the turntable 26.

Quand le chariot est libéré de la plaque tournante 26, il passe par un point de communication 72 L'identité  When the carriage is released from the turntable 26, it passes through a communication point 72 Identity

du chariot est reçuepar le calculateur central, la spé-  of the truck is received by the central computer, the speci-

cification est sollicitée et une instruction est donnée à la plaque tournante 24 pour faire passer le chariot directement car la phase de traitement de la boucle 6 n'est pas imposée Puis, successivement, le chariot est dérivé vers la boucle 5 par la plaque tournante 20, il passe par la boucle 4 par les plaques tournantes 16 et 14 et il est dérivé vers la boucle 3 par la plaque tournante 12 En variante, s'il y a des raisons de mise en attente ou de séquence pour que des cassettes soient traitées strictement en série, les chariots  cification is requested and an instruction is given to the turntable 24 to pass the carriage directly because the processing phase of the loop 6 is not imposed Then, successively, the carriage is derived to the loop 5 by the turntable 20 , it passes through the loop 4 by the turntables 16 and 14 and is derived to the loop 3 by the turntable 12 Alternatively, if there are reasons for holding or sequence for cassettes to be processed strictly in series, the trolleys

peuvent être dirigés pour passer par chaque boucle.  can be directed to go through each loop.

Si une opération donnée n'est pas nécessaire, le chariot portant la cassette peut être dérivé autour d'un poste de travail particulier, par exemple au moyen des élévateurs 41 et 39 dans la boucle 7, des élévateurs 37 et 35 dans la boucle, etc La mise en place du dispositif de transport automatique de cassettes nécessite que toutes les cassettes passent par le poste de travail 9 Ce dernier peut être un point d'introduction et d'enlèvement du dispositif ou d'une opération de traitement préliminaire subie par toutes les plaquettes semi-conductrices Les plaques tournantes T et les élévateurs E fonctionnent en fonction de principes qui seront décrits par la suite  If a given operation is not necessary, the carriage carrying the cassette can be derived around a particular workstation, for example by means of the elevators 41 and 39 in the loop 7, elevators 37 and 35 in the loop, etc. The introduction of the automatic cassette transport device requires that all cassettes pass through the workstation 9 This can be a point of introduction and removal of the device or a preliminary processing operation undergone by all semiconductor wafers T-plates and E-risers operate according to principles that will be described later

en regard des figures 4 et 8 à 9.with reference to FIGS. 4 and 8 to 9.

La commande assurée par le calculateur  The command provided by the calculator

central 70 pour le traitement des plaquettes dans le dis-  central 70 for the treatment of platelets in the dis-

positif de la figure 1 est assez précise pour-que les spécifications de traitement des plaquettes individuelles puissent être sollicitées Par exemple, si une cassette est présentée à un poste de travail particulier, par  FIG. 1 is rather accurate in that the processing specifications of individual platelets can be solicited. For example, if a cassette is presented at a particular workstation, by

exemple le poste de travail 13 de la boucle 4, le calcu-  example, the workstation 13 of the loop 4, the calcula-

lateur central peut identifier la cassette et il peut  central latch can identify the cassette and can

avoir dans sa mémoire ou avoir lu sur les circuits élec-  have in his memory or read about the electrical circuits

troniques incorporés, au point de communication 76, l'identi-  incorporated at point of communication 76, the identification

té des plaquettes individuelles de la cassette Ainsi, au poste de travail 13, certaines des plaquettes peuvent être désignées pour recevoir le traitement Egalement, chaque plaquette peut recevoir un traitement particularisé,  Thus, at the workstation 13, some of the platelets may be designated to receive the treatment. Also, each platelet may receive a particular treatment,

par exemple le niveau de dosage d'un dispositif d'implan-  for example, the dosage level of an implant device

tation ionique qui peut être réglé sur une base spécifique A une plaquette Cette caractéristique est particulièrement facilitée par l'accès facile aux plaquettes individuelles à travers la base du chariot porte-cassettes comme cela est décrit dans la demande de brevet français déposé ce même jour au nom de la demanderesse sous le titre "Chariot  This feature is particularly facilitated by the easy access to the individual wafers through the base of the cassette rack as described in the French patent application filed that same day on the same day. name of the plaintiff under the title "Chariot

A cassette avec accès à travers la base".  Cassette with access through the base ".

Le calculateur central 70 représenté sur la  The central computer 70 shown on the

figure 2 est l'élément essentiel du présent mode de réa-  Figure 2 is the essential element of this mode of

lisation d'un dispositif de transport automatique de cassettes selon l'invention Dans les dispositions les plus simples, et dans des installations de fabrication directes n'appliquant pas un grand nombre de postes de travail ou le besoin de distinguer individuellement entre  In the simplest arrangements, and in direct manufacturing facilities not employing a large number of workstations or the need to distinguish individually between

des plaquettes sur des cassettes ou de faire des distinc-  platelets on cassettes or to make distinc-

tions importantes entre des cassettes, il peut ne pas  between cassettes, it may not be

être nécessaire de disposer d'un calculateur central.  it is necessary to have a central calculator.

Ainsi, un dispositif simple peut consister en une section de tunnel linéaire reliant deux postes de travail ou une section de tunnel linéaire avec une série de postes  Thus, a simple device may consist of a linear tunnel section connecting two workstations or a linear tunnel section with a series of stations

de travail dans une position déterminée le long du tunnel.  working in a specific position along the tunnel.

Mais pour de très fortes densités d'intégration dans des installations de fabrication hautement automatisées, il est souhaitable que des plaquettes puissent être traitées individuellement et que de larges distinctions soient faites entre des plaquettes et des cassettes Dans le présent mode de réalisation, un calculateur central communique donc avec chacun des éléments actifs des dispositifs, y compris les chariots Comme représenté, le calculateur central 70 peut recevoir des informations d'état de chacun des élévateurs 87, 89 91 et il peut émettre des signaux de commande en retour vers chaque élévateur D'une façon similaire, le calculateur central 70 peut recevoir des informations d'état de chacune des plaques tournantes 81, 83 85 et il peut émettre des  But for very high integration densities in highly automated manufacturing facilities, it is desirable that wafers can be processed individually and that large distinctions be made between wafers and cassettes. In the present embodiment, a central calculator therefore communicates with each of the active elements of the devices, including the carriages As shown, the central computer 70 can receive status information from each of the elevators 87, 89 and can transmit control signals back to each elevator D similarly, the central computer 70 can receive status information from each of the turntables 81, 83 85 and can issue

signaux de commande vers chacune de ces plaques tournantes.  control signals to each of these turntables.

Ce qui importe davantage, le calculateur central 70 peut réagir de façon active avec chacun des postes de travail 86,88 90 pour spécifier des paramètres de traitement et pour commander l'appareil de manipulation de plaquettes afin de sélectionner des plaquettes spécifiques dans des  Most importantly, the central computer 70 can actively interact with each of the workstations 86, 88 to specify processing parameters and to control the wafer handling apparatus to select specific wafers in

cassettes identifiées pour des traitements particularisés.  cassettes identified for particularized treatments.

L'essentiel de ce traitement particularisé réside dans un dispositif d'identification sur chacun des chariots  The essence of this particularized treatment lies in an identification device on each of the carts

, 82 84 Chaque chariot porte des circuits électro-  , 82 84 Each truck carries electronic circuits

niques comprenant une mémoire comme une mémoire permanente ou une mémoire à accès direct qui renferme par exemple le traitement passé de chaque plaquette et éventuellement  memories comprising a memory such as a permanent memory or a direct access memory which contains for example the past processing of each wafer and possibly

les conditions de traitement pour chaque plaquette.  the treatment conditions for each wafer.

De la manière représentée, des diodes électroluminescentes 106, 108 et 110fournissent des informations de commande provenant du calculateur central 70 à des éléments capteurs associés 100, 102 104 Des informations sont transmises  As shown, light-emitting diodes 106, 108 and 110 provide control information from the central computer 70 to associated sensor elements 100, 102 104 Information is transmitted

au calculateur central 70 par des diodes électrolumines-  to the central computer 70 by light-emitting diodes

centes 101, 103 105 qui sont associées respectivement avec des capteurs 107, 109 111 e En variante, le dispositif de communication peut être magnétique, comme cela est décrit par exemple dans l'article de P P. Castrucci, "Pneumatic Distribution and Control System", IBM Technical Disclosure Bulletin, volume 15, N 06, novembre 1972 page 1763, ou le dispositif de communication peut fournir des informations d'identification unilatérales au calculateur central comme cela serait produit par un lecteur optique à bâtonnets, lisant un code à bâtonnets sur chaque chariot à cassettes Dans le cas optimal, les circuits électroniques du chariot comprennent une mémoire incorporée pouvant contenir des informations  In a variant, the communication device can be magnetic, as described for example in the article by P P. Castrucci, "Pneumatic Distribution and Control System", which is associated with sensors 107, 109, 111 and 105 respectively. IBM Technical Disclosure Bulletin, Vol. 15, No. 06, November 1972 page 1763, or the communication device may provide unilateral identification information to the central computer as would be produced by an optical stick reader, reading a stick code. on each cassette trolley In the optimal case, the electronic circuits of the trolley include an incorporated memory which may contain information

détaillées, et permettant une communication bilatérale.  detailed, and allowing for two-way communication.

La figure 5 représente la structure détaillée d'une section linéaire d'un mode de réalisation d'un  Fig. 5 shows the detailed structure of a linear section of an embodiment of a

tunnel utilisé dans le dispositif de transport automa-  tunnel used in the automatic transport device

tique de cassettes selon l'invention La structure à trois faces de ce mode de réalisation comporte des  The three-sided structure of this embodiment includes

paroislatérales 17 l, 172 et une paroi supérieure 170.  side walls 17, 172 and an upper wall 170.

Dans le fonctionnement de ce mode de réalisation, le tunnel est orienté comme le montre la figure, de manière que la paroi supérieure 170 soit parallèle au sol Ainsi, le courant d'air indiqué par les flèches coïncide avec les effets de la gravité et il est parallèle au plan des plaquettes 175 qui sont maintenues dans la cassette 174 Au-dessous et au voisinage de la paroi supérieure 170, une chambre 169 communique avec une source extérieure de gaz, généralement de l'air La surpression de la fourniture d'air extérieur fait passer l'air par un filtre à particules 173 de haute efficacité Des filtres de ce genre sont diffusés dans le commerce, par exemple par HEPA Air Filtration Corporation, Anaheim, Californie, 92806, Etats-Unis d'Amérique Ils sont conçus pour ne pas permettre le passage de particules plus grosses qu'une certaine dimension, par exemple ne dépassant 0,5 gm Dans un mode de réalisation, le filtre 173 comporte un grand nombre de conduits dont les axes sont alignés avec la direction du courant d'air dans le tunnel Ces conduits servent à distribuer uniformément l'air dans le tunnel et  In the operation of this embodiment, the tunnel is oriented as shown in the figure, so that the upper wall 170 is parallel to the ground. Thus, the air flow indicated by the arrows coincides with the effects of gravity and it is parallel to the plane of the platelets 175 which are maintained in the cassette 174. Below and in the vicinity of the upper wall 170, a chamber 169 communicates with an external source of gas, generally air. The overpressure of the air supply. This type of filter is commercially available, for example by HEPA Air Filtration Corporation, Anaheim, California, 92806, United States of America. do not allow the passage of particles larger than a certain size, for example not exceeding 0.5 gm In one embodiment, the filter 173 has a large number of ducts whose axes are t aligned with the direction of air flow in the tunnel These ducts serve to evenly distribute the air in the tunnel and

contribuent au courant laminaire voulu sur les plaquettes.  contribute to the desired laminar flow on the wafers.

Les flèches montrent le courant d'air dans la partie inférieure du tunnel o se trouve le chariot 176 Le courant d'air se propage vers le bas, autour du chariot porte-cassettes 176 et sort par l'ouverture dans la partie inférieure 168 du tunnel Ce courant d'air est essentiellement laminaire plutôt que turbulent, de sorte que les particules ne peuvent se déposer ou adhérer sur les surfaces des plaquettes Les plaquettes 175 maintenues  The arrows show the air flow in the lower part of the tunnel where the trolley 176 is located. The air stream propagates down around the cassette trolley 176 and out through the opening in the lower part 168 of the trolley. tunnel This airstream is essentially laminar rather than turbulent, so that the particles can not settle or adhere to the platelet surfaces The platelets 175 maintained

dans une cassette standard 174 baignent donc continuel-  in a standard cassette 174 therefore bathe continuously

lement dans un air de qualité de salle propre Le chariot 176 se déplace le long des rails 177, 178 quand la cassette est transportée dans le tunnel Comme le montrent les figures 4 et 5, le tunnel est ouvert sur sa face inférieure pour permettre la sortie du courant d'air Dans un autre mode de réalisation, la face inférieure peut être partiellement fermée, par exemple par des déflecteurs ou autres Dans le cas présent, le courant laminaire est maintenu sur la cassette et les plaquettes, maintenant les contaminants à distance de la surface, même si un courant turbulent peut être introduit près des déflecteurs ou autres Une caractéristique de l'invention qui réduit efficacement la contamination réside dans le'fait qu'il existe toujours une composante d'un courant permanent parallèle à la surface des plaquettes Le dépôt et l'adhérence des particules sur la plaquette semi-conductrice sont évités continuellement par cette composante parallèle de circulation. Le chariot porte-cassettes 176 peut être du type décrit dans la demande de brevet précitéP- En résumé, le corps 167 du chariot comporte une ouverture dans sa base pour permettre un accès permanent aux  The trolley 176 moves along the rails 177, 178 when the cassette is transported in the tunnel As shown in FIGS. 4 and 5, the tunnel is open on its underside to allow the exit In another embodiment, the lower face may be partially closed, for example by baffles or the like. In this case, the laminar flow is maintained on the cassette and the wafers, keeping the contaminants at a distance of the surface, even though a turbulent flow can be introduced near the baffles or other A feature of the invention that effectively reduces contamination is that there is always a component of a permanent current parallel to the surface of the wafers Deposition and adherence of the particles on the semiconductor wafer are continually avoided by this parallel flow component. The cassette holder 176 may be of the type described in the aforementioned patent application. In summary, the body 167 of the carriage has an opening in its base to allow permanent access to

plaquettes 175 qui sont maintenues dans la cassette 174.  platelets 175 which are held in the cassette 174.

Cet accès peut être obtenu par une lame étroite avec  This access can be obtained by a narrow blade with

une fente en V, comme la lame 166 représentée en poin-  a V-shaped slot, such as the blade 166 shown in

tillés Un coussinet linéaire 180 semi-cylindrique permet au chariot 176 de se déplacer régulièrement sur un rail 178 Un coussinet de ce genre est diffusé par  A semicylindrical linear bush 180 allows the carriage 176 to move smoothly on a rail 178. A bushing of this type is distributed by

Thomsen Industries, Manhasset, New York, 11030, Etats-  Thomsen Industries, Manhasset, New York, 11030, USA

Unis d'Amérique L'arbre d'un moteur électrique 181 est en contact avec le rail 177 pour propulser le chariot le long des rails 177, 178 Dans un mode de réalisation, les rails sont cylindriques et sont particulièrement adaptés aux coussinets linéaires semi-cylindriques Cette relation d'adaptation permet un glissement particulièrement doux Dans un mode de réalisation de l'invention, un mouvement du chariot exceptionnellement stable est obtenu par triangulation des coussinets linéaires, c'est-àdire en utilisant deux coussinets d'un côté et un de l'autre, les trois positions formant les angles d'un triangle de préférence d'un triangle équilatéral Pour stabiliser encore le chariot, le coussinet unique sur un côté peut avoir un degré latéral de liberté pour s'adapter aux variations de distance entre les rails Une traction continue est assurée par des galets de caoutchouc 182, 184 qui sont serrés contre le rail 177 par un ressort 183 Le moteur électrique 181 est alimenté en prélevant un courant électrique dans les rails, au moyen d'un  United States The shaft of an electric motor 181 is in contact with the rail 177 to propel the carriage along the rails 177, 178 In one embodiment, the rails are cylindrical and are particularly suitable for semi-linear bearings. This adaptive relationship allows for particularly smooth sliding. In one embodiment of the invention, an exceptionally stable movement of the carriage is obtained by triangulation of the linear bearings, that is to say by using two bearings on one side and one on the other. on the other, the three positions forming the angles of a triangle preferably an equilateral triangle To further stabilize the carriage, the single pad on one side can have a lateral degree of freedom to adapt to variations in distance between the rails A continuous traction is ensured by rubber rollers 182, 184 which are clamped against the rail 177 by a spring 183 The electric motor 181 is powered by taking an electric current in the rails, by means of a

dispositif de contact, non représenté.  contact device, not shown.

Un dispositif de transport automatique de cassettes selon l'invention comporte un certain nombre de points de commutation logique qui sont constitués par des plaques tournantes et des élévateurs Des sections de tunnel linéaire relient ou assurent l'interface entre une section linéaire et un élément d'un équipement de fabrication de composants Comme le montre la figure 6 b, un chariot 200 approche d'une plaque tournante 201 La plaque tournante n'est pas orientée pour recevoir le chariot Un dispositif optique fixe 209 communique avec un capteur 207 monté sur le chariot<pour commander aux circuits électroniques incorporés du chariot 200 d'arrêter  An automatic cassette transport device according to the invention comprises a number of logical switching points which are constituted by turntables and elevators. Linear tunnel sections connect or provide the interface between a linear section and a linear element. As shown in FIG. 6b, a carriage 200 approaches a turntable 201 The turntable is not oriented to receive the carriage A fixed optical device 209 communicates with a sensor 207 mounted on the carriage <to control the built-in electronic circuits of the trolley 200 to stop

le moteur jusqu'à ce que la plaque tournante soit en place.  the engine until the turntable is in place.

Quand cette dernière est correctement orientée par exemple par une commande provenant d'un calculateur central, en alignement avec les extrémités des rails 210, 211, le dispositif optique 209 commande le capteur 207 du chariot pour que ce dernier puisse progresser Le chariot 200 se déplace alors sur les rails 202, 203 de la plaque tournante 201 Comme le montre la figure 6 c, le chariot approche alors d'un dispositif optique 204 qui commande les circuits électroniques du chariot par l'intermédiaire du capteur 207 afin d'arrêter le chariot au milieu de la plaque tournante Ensuite, la plaque tournante se déplace vers la direction de déplacement du chariot Le dispositif optique 204 commande le capteur 207 pour que le chariot avance à nouveau; Ensuite, le chariot 200 progresse sur les rails 211, 212 de la section suivante du tunnel linéaire Quand le chariot 200 passe devant le capteur 206, la source optique 208 délivre un signal qui arrête la plaque tournante afin que cette dernière puisse exécuter l'opération logique suivante  When the latter is correctly oriented for example by a command from a central computer, in alignment with the ends of the rails 210, 211, the optical device 209 controls the sensor 207 of the carriage so that the latter can progress The carriage 200 moves then on the rails 202, 203 of the turntable 201 As shown in Figure 6c, the carriage then approaches an optical device 204 which controls the electronic circuits of the carriage via the sensor 207 to stop the carriage in the middle of the turntable Next, the turntable moves toward the direction of movement of the carriage Optical device 204 controls the sensor 207 for the carriage to advance again; Then, the carriage 200 progresses on the rails 211, 212 of the next section of the linear tunnel When the carriage 200 passes the sensor 206, the optical source 208 delivers a signal that stops the turntable so that the latter can perform the operation next logic

quand elle sera nécessaire.when it will be necessary.

La figure 6 a illustre une autre caractéristique  Figure 6a illustrates another feature

du chariot utilisé dans le dispositif de transport auto-  of the truck used in the automatic transport

matique de cassettes selon l'invention Un chariot 190 portant une cassette risque d'entrer en collision avec un chariot immobile 191 Mais une source optique 193 dirige un signal lumineux vers l'avant et ce signal est réfléchi par une surface réfléchissante 192 à l'arrière du chariot immobile 191 Cette lumière réfléchie est détectée par un capteur 194 Un signal d'alarme est ainsi produit dans les circuits électroniques incorporés du chariot 190 de sorte qu'il s'arrête à une distance qui est déterminée par la sensibilité des circuits  A carriage 190 carrying a cassette may collide with a stationary carriage 191 But an optical source 193 directs a light signal forward and this signal is reflected by a reflecting surface 192 to the This reflected light is detected by a sensor 194. An alarm signal is thus produced in the built-in electronic circuits of the carriage 190 so that it stops at a distance which is determined by the sensitivity of the circuits.

électroniques du chariot 190.cart 190 electronics.

Les circuits électroniques incorporés repré-  The incorporated electronic circuits represent

sentés par les cases 80, 82 84 sur la figure 2 et  80, 82 84 in Figure 2 and

dortla fonction a été décrite partiellement dans le para-  the function has been described in part in para-

graphe précédent sont représentés plus complètement sur le schéma de la figure 10 Deux fonctions principales sont remplies Tout d'abord, la lumière émise par la source optique 193, comme une diode électroluminescente, doit être détectée par un détecteur 194 pour arrêter un chariot lorsqu'elle est réfléchie par une surface réfléchissante 192 du chariot qui se trouve immédiatement devant (comme le montre la figure 6 a) Ensuite, un photo-transistor 208 constitue un moyen de réception d'informations de la source lumineuse 209 pour arrêter le mouvement du chariot s'il y a un risque pour qu'il progresse en raison de l'état des postes de transfert qui suivent, par  Previous graph are shown more fully in the diagram of Figure 10 Two main functions are met First, the light emitted by the optical source 193, such as a light emitting diode, must be detected by a detector 194 to stop a carriage when it is reflected by a reflecting surface 192 of the carriage immediately in front of it (as shown in FIG. 6a). Next, a photo-transistor 208 constitutes a means of receiving information from the light source 209 to stop the movement of the carriage if there is a risk that it will progress due to the condition of the following transfer stations, by

exemple des plaques tournantes ou des élévateurs.  example of turntables or elevators.

La fonction de prévention de collision est remplie par un générateur d'impulsions 250 qui attaque  The collision prevention function is filled by a pulse generator 250 that attacks

la diode électroluminescente 193 dans un-mode pulsé.  the light-emitting diode 193 in a pulsed mode.

Lorsqu'une collision est imminente, la lumière de la diode 1 9  When a collision is imminent, the light from diode 1 9

193 est réfléchie vers l'arrière par la surface réfléchis-  193 is reflected backwards by the reflective surface

sante 192 du trolley précédent Cette lumière réfléchie est reçue par le photo-détecteur 194 qui applique un signal d'entrée au circuit multivibrateur monostable 251 produisant un signal permanent pour le circuit basculeur de Schmidt 253 Le changement du signal d'entrée du circuit basculeur de Schmidt 253 entraîne un changement du signal de sortie qui est maintenu et transmis par un isolateur optique 260 vers la base du premier transistor d'une paire Darlington 261 La paire Darlington 261 est bloquée, ce qui supprime le court-circuit de la boucle quadruple 262 et arrête le moteur 263 Le moteur reste arrêté tant que de la lumière pulsée est reçue par le photodétecteur 194 et que la sortie du circuit basculeur de Schmidt 253 reste au même niveau Quand le détecteur 194 ne reçoit plus le signal lumineux au-dessus du seuil de sensibilité, le circuit basculeur de Schmidt 253 revient à son état initial, la paire Darlington 261 est commutée, la boucle de court-circuit 262 est découplée et le moteur 263 recommence à fonctionner, dans son mode normal. La fonction d'arrêt est remplie par le circuit multivibrateur monostable 251 qui reçoit des impulsions et les convertit en un signal permanent Lorsqu'un signal lumineux est détecté par le photo-transistor 207, provenant de la source lumineuse 209 > le circuit basculeur de Schmidt 254 change d'état, et par l'isolateur optique 260, un signal est émis vers le transistor d'entrée de la paire Darlington 261 Il en résulte que la boucle quadruple 262 interrompt le fonctionnement du moteur 263 Ce dernier-reste arrêté quand un signal lumineux est reçu de la source optique 209 Lorsque le chariot peut progresser avec sécurité, le signal lumineux de la source 209 disparaît et le circuit basculeur de Schmidt 254 émet un signal inverse pour ramener la paire Darlington 261 à son état-initial, en découplant ainsi la boucle 262 et en mettant à nouveau le moteur 263  This reflected light is received by the photodetector 194 which applies an input signal to the monostable multivibrator circuit 251 producing a permanent signal for the Schmidt rocker circuit 253. Schmidt 253 causes a change of the output signal which is held and transmitted by an optical isolator 260 to the base of the first transistor of a Darlington pair 261 Darlington pair 261 is blocked, which eliminates the short circuit of the quad loop 262 263 The motor remains stopped as long as pulsed light is received by the photodetector 194 and the output of the Schmidt 253 tilting circuit remains at the same level When the detector 194 no longer receives the light signal above the threshold of sensitivity, the Schmidt 253 tilt circuit returns to its initial state, the Darlington pair 261 is switched, the short-circuit loop 2 62 is decoupled and the motor 263 resumes operation, in its normal mode. The stop function is fulfilled by the monostable multivibrator circuit 251 which receives pulses and converts them into a permanent signal When a light signal is detected by the photo-transistor 207, coming from the light source 209> the Schmidt tilting circuit 254 changes state, and by the optical isolator 260, a signal is transmitted to the input transistor Darlington pair 261 It follows that the quadruple loop 262 interrupts the operation of the motor 263 This last-remains stopped when a light signal is received from the optical source 209 When the carriage can progress safely, the light signal of the source 209 disappears and the Schmidt rocker circuit 254 emits a reverse signal to bring the Darlington pair 261 back to its original state, uncoupling well the loop 262 and putting again the engine 263

en marche.working.

La figure 4 montre la structure détaillée d'une plaque tournante Un moteur pas à pas 156 est  Figure 4 shows the detailed structure of a turntable A stepper motor 156 is

accouplé par un arbre 157 avec la plaque tournante 158.  coupled by a shaft 157 to the turntable 158.

Un rail est maintenu sur la plaque 158 par des supports verticaux 161, et l'autre par des supports verticaux 162. Ces rails sont montés en alignement et sont séparés des rails 160 de la section linéaire voisine Il est préférable de former les extrémités espacées des rails de manière qu'il existe un petit intervalle entre eux, afin qu'ils soient dégagés les uns des autres quand la plaque tournante tourne Sur la figure 4, le chariot 176 est représentée en position de contrôle immobile sur la plaque tournante 158 La plaque tournante a tourné aussi loin que lui a permis la butée 159 La position de la plaque tournante est détectée par des commutateurs à lames magnétiques 157, 158 qui vérifient l'angle de rotation de la plaque tournante Cette dernière est enfermée dans un prolongement de l'environnement filtré avec une haute efficacité des sections linéaires, comme le montre par  One rail is held on the plate 158 by vertical supports 161, and the other by vertical supports 162. These rails are mounted in alignment and are separated from the rails 160 of the adjacent linear section It is preferable to form the spaced ends of the rails so that there is a small gap between them, so that they are clear of each other when the turntable rotates In Figure 4, the carriage 176 is shown in the stationary control position on the turntable 158 The plate The position of the turntable is detected by magnetic reed switches 157, 158 which verify the angle of rotation of the turntable. The turntable is enclosed in an extension of the turntable. filtered environment with high efficiency linear sections, as shown by

exemple la figure 5 Ainsi, les plaquettes sont continuel-  example, FIG. 5 Thus, the platelets are continuously

lement dans de l'air filtré avec une haute efficacité, avec au moins une composante d'écoulement laminaire, et  in filtered air with high efficiency, with at least one laminar flow component, and

de préférence parallèle à la surface de toutes les plaquet-  preferably parallel to the surface of all the plaquet-

tes. Les figures 7 a et 7 b illustrent la fonction logique d'un élévateur Sur la figure 7 a, l'élévateur 223 est représenté en position de base entre les deux rails 225, 226 et les deux rails 227, 228 Il sert à transporter le chariot 222 entre des sections différentes d'une piste horizontale Il peut être utilisé pour prélever un chariot à une entrée, vers un autre niveau ou au dessus d'un élément d'un équipement dé production Un chariot donné peut passer par l'élévateur et stationner au même niveau comme le montre la figure 7 a; sur laquelle le chariot 222 se déplace sur les rails 227, 228 après avoir quitté les rails 225, 226 Dans le mode d'élévation illustré par la figure 7 b, le chariot 222 est arrêté sur l'élévateur 223 par exemple au moyen d'un signal d'arrêt provenant d'une diode électroluminescente positionnée  your. FIGS. 7a and 7b illustrate the logic function of an elevator. In FIG. 7a, the elevator 223 is shown in the basic position between the two rails 225, 226 and the two rails 227, 228. carriage 222 between different sections of a horizontal track It can be used to pick up a truck at an entrance, to another level or above an element of a production equipment A given truck can pass through the elevator and park at the same level as shown in Figure 7a; on which the carriage 222 moves on the rails 227, 228 after leaving the rails 225, 226 In the elevation mode illustrated in Figure 7b, the carriage 222 is stopped on the elevator 223 for example by means of a stop signal from a positioned light emitting diode

de façon appropriée comme cela a déjà été décrit.  appropriately as already described.

L'élévateur 223 monte sur des tiges verticales 220, 221 grâce à des coussinets linéaires cylindriques tels que ceux diffusés par Thomsen Industries, Manhasset, New York, Etats-Unis d'Amérique L'entrainement  The elevator 223 mounts on vertical rods 220, 221 by means of cylindrical linear bearings such as those distributed by Thomsen Industries, Manhasset, New York, United States of America Training

vertical est fourni par un cylindre pneumatique différen-  vertical is provided by a different pneumatic cylinder

tiel 228, tel que celui fourni par Origa Corporation,  228, as provided by Origa Corporation,

Elmhurst, Illinois, 60126, Etats-Unis d'Amérique.  Elmhurst, Illinois, 60126, United States of America.

Quand l'élévateur 223 s'élève jusqu'au niveau d'une piste supérieure, non représentée, le chariot 222 passe sur cette piste en supposant qu'aucun signal d'arrêt  When the elevator 223 rises to the level of an upper track, not shown, the carriage 222 passes on this track assuming no stop signal

ou de prévention de collision ne soit reçu.  or collision avoidance is received.

Les figures 8 et 9 montrent la structuré détaillée d'un élévateur Une équerre 229 est fixée sur une pièce flottante dans un vérin pneumatique 228 qui se déplace vers le haut ou vers le bas, comme le détermine la pression d'air différentielle entre la partie d'extrémité supérieure et la partie d'extrémité inférieure du cylindre En variante, un élévateur à vis et billes peut convenir Une montée et une descente sans vibrations peuvent se faire grâce à des coussinets linéaires cylindriques 230, 231, qui se déplacent sur  FIGS. 8 and 9 show the detailed structure of an elevator. A bracket 229 is attached to a floating part in a pneumatic cylinder 228 which moves up or down as determined by the differential air pressure between the part. As a variant, a screw and ball elevator may be suitable. A rise and a fall without vibration can be done by means of cylindrical linear bearings 230, 231, which move on

des tiges verticales 220, 221 Des liaisons de communica-  vertical rods 220, 221 Communication links

tion sont assurées par un dispositif optique 234, 235, par exemple pour produire un signal d'arrêt à un chariot donné, de manière qu'il reste sur l'élévateur 223 plutôt  tion are provided by an optical device 234, 235, for example to produce a stop signal to a given carriage, so that it remains on the elevator 223 rather

que de passer par le prolongement de la piste linéaire.  than to go through the extension of the linear track.

Les structures de tunnels et de chariots décrites ci-dessus ne sont que des exemples Le chariot peut comporter différents dispositifs de propulsion et avoir une configuration différente qui permet d'accéder aux plaquettes semi-conductrices par la base de la cassette Par exemple, la cassette peut être supportée au-dessous du chariot plutôt qu'au dessus comme cela se passe avec des porteurs lourds qui saisissent leur charge et la supporte dans un châssis de véhicule Ou encore, la cassette peut être supportée sur le côté d'un chariot fixé à un dispositif d'entraînement situé à l'intérieur du tunnel Dans tous les cas, l'accès aux plaquettes de la cassette doit se faire à travers la base Egalement, les sections de pistes peuvent être courbes ou inclinées selon les besoins imposés par  The structures of tunnels and trolleys described above are only examples The trolley may comprise different propulsion devices and have a different configuration that allows access to the semiconductor wafers by the base of the cassette For example, the cassette can be supported below the truck rather than above as is the case with heavy loaders that grab their load and support it in a vehicle chassis Or the cassette can be supported on the side of a truck attached to a drive device located inside the tunnel In all cases, the access to the plates of the cassette must be done through the base Also, the sections of tracks can be curved or inclined according to the needs imposed by

l'installation de fabrication de composants semi-  semi-component manufacturing facility

conducteurs.conductors.

Claims (27)

REVENDICATIONS 1 Dispositif de transport automatique de cassettes, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une section de tunnel ( 130-135) pour transporter lesdites cassettes dans un environnement de salle propre, ladite section de tunnel comprenant une chambre à gaz ( 169) disposée le long d'un côté, suivant sa longueur, et une ouverture pour évacuer dudit tunnel le gaz introduit par ladite chambre, une piste ( 177,178) positionnée dans la direction longitudinale dans ledit tunnel entre ladite chambre à gaz et ladite ouverture et un chariot ( 176) comprenant un dispositif d'appui et d'entraînement sur ladite piste, ledit chariot étant agencé pour recevoir  1 automatic cassette transport device, characterized in that it comprises at least one tunnel section (130-135) for transporting said cassettes in a clean room environment, said tunnel section comprising a gas chamber (169) arranged along one side, along its length, and an opening for discharging from said tunnel the gas introduced by said chamber, a track (177,178) positioned in the longitudinal direction in said tunnel between said gas chamber and said opening and a carriage ( 176) comprising a support device and driving on said track, said carriage being arranged to receive une cassette ( 174) contenant des plaquettes semi-  a cassette (174) containing semi-platelets conductrices ( 175).conductive (175). 2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une source ( 173) de gaz de qualité de salle propre, reliée à ladite  2 Device according to claim 1, characterized in that it further comprises a source (173) of clean room quality gas, connected to said chambre à gaz.gas chamber. 3 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte un dispositif associé avec ladite chambre pour maintenir une pression positive  3 Device according to claim 1, characterized in that it comprises a device associated with said chamber to maintain a positive pressure du gaz dans ladite section du tunnel.  gas in said section of the tunnel. 4 Dispositif selon la revendication 3, carac-  4 Device according to claim 3, characterized térisé en ce que ledit chariot ( 176) reçoit ladite cassette  characterized in that said carriage (176) receives said cassette de façon amovible.removably. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un filtre à particules de haute efficacité positionné dans la direction longitudinale dans ladite section de tunnel entre ladite chambre à gaz et ladite piste, de manière qu'un gaz introduit dans ladite chambre traverse ledit filtre à particules de haute efficacité pour produire un gaz de qualité de salle propre, en écoulement laminaire sur ledit chariot et sur lesdites plaquettes dans ladite  Device according to claim 1, characterized in that it further comprises a high efficiency particle filter positioned in the longitudinal direction in said tunnel section between said gas chamber and said track, so that a gas introduced into said chamber passes through said high efficiency particulate filter to produce clean room grade gas in laminar flow on said carriage and said pads in said cassette.cassette. 6 Dispositif selon la revendication 5, carac-  Device according to claim 5, characterized térisé en ce que lesdites cassettes ( 174) supportent lesdit.  characterized in that said cassettes (174) support the said. plaquettes ( 175) en orientation verticale parallèle.  platelets (175) in parallel vertical orientation. 7 Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que le filtre à particules de haute efficacité ( 173) contient un grand nombre de conduits dont les axes sont alignés avec les plans desdites plaquettes. 8 Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que ledit chariot ( 176) permet d'accéder auxdites plaquettes par le fond de ladite cassette, au moins le long d'une partie de la longueur de ladite piste.  7 Apparatus according to claim 6, characterized in that the high efficiency particle filter (173) contains a large number of ducts whose axes are aligned with the planes of said platelets. 8 Device according to claim 5, characterized in that said carriage (176) provides access to said pads by the bottom of said cassette, at least along a portion of the length of said track. 9 Dispositif selon la revendication 8, carac-  Apparatus according to claim 8, characterized térisé en ce que ladite ouverture est située en face -  characterized in that said opening is located opposite - dudit filtre à particules à haute efficacité.  of said high efficiency particulate filter. 10 Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite cassette ( 174) est montée de façon amovible sur le dessus dudit chariot ( 176) permettant ainsi auxdites plaquettes d'être orientées parallèlement dans la direction du courant positif de  Apparatus according to claim 9, characterized in that said cassette (174) is removably mounted on top of said carriage (176) thereby allowing said platelets to be oriented parallel in the direction of the positive current of gaz.gas. 11 Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que ladite cassette ( 174) est montée de  11 Device according to claim 8, characterized in that said cassette (174) is mounted façon amovible sur la face inférieure dudit chariot.  removably on the underside of said carriage. 12 Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que ladite cassette ( 174) est montée  12 Device according to claim 8, characterized in that said cassette (174) is mounted de façon amovible sur le côté dudit chariot.  removably on the side of said carriage. 13 Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que ledit chariot ( 176) comporte des circuits électroniques incorporés ( 179) remplissant des  13 Device according to claim 10, characterized in that said carriage (176) comprises incorporated electronic circuits (179) filling fonctions de prévention de collision-et d'arrêt.  collision prevention and shutdown functions. 14 Dispositif selon la revendicat Lion 13, caractérisé en ce que lesdits circuits incorporés ( 179) comprennent une mémoire pour enregistrer des spécifications  14 Apparatus according to the Lion 13 claim, characterized in that said incorporated circuits (179) include a memory for recording specifications de processus et le traitement passé.  of process and past treatment. 15 Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il est associé avec un calculateur central ( 70) qui commande des postes de transfert dans l'ensemble et qui mémorise des informations de traitement  Device according to claim 8, characterized in that it is associated with a central computer (70) which controls transfer stations in the assembly and which stores processing information pour des postes de travail dans l'ensemble.  for workstations as a whole. 16 Dispositif selon la revendication 15, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des liaisons de communication pour établir des communications entre ledit calculateur central et certains individuels desdits chariots ( 176). 17 Dispositif selon la revendication 15, caractérisé en ce que lesdits postes de transfert comportent des plaques tournantes ( 81-85) contigâes à une extrémité d'au moins une section de tunnel, lesdites plaques tournantes comprenant une piste qui s'appuie contre ladite piste dans ladite au moins une section linéaire, en alignement quand ladite plaque tournante est tournée pour recevoir un chariot provenant de ladite au moins une section linéaire, ladite plaque tournante formant un prolongement dudit tunnel, de manière qu'un chariot sur ladite plaque tournante baigne continuellement dans un air de qualité de salle propre quand il passe  Device according to claim 15, characterized in that it further comprises communication links for establishing communications between said central computer and some of said individual carriages (176). 17 Apparatus according to claim 15, characterized in that said transfer stations comprise turntables (81-85) contigated at one end of at least one tunnel section, said rotating plates comprising a track which leans against said track in said at least one linear section, in alignment when said turntable is rotated to receive a carriage from said at least one linear section, said turntable forming an extension of said tunnel, such that a carriage on said turntable continuously bathes; in a clean room quality air when he passes de ladite section à ladite plaque tournante.  from said section to said turntable. 18 Dispositif selon la revendication 15,  Device according to claim 15, caractérisé en ce que lesdits postes de transfert compren-  characterized in that said transfer stations comprise nent des élévateurs ( 87-91) contigus à une extrémité de ladite au moins une section du tunnel, un élévateur formant un prolongement de ladite section de tunnel de manière qu'un chariot dans ledit élévateur baigne continuellement dans un air de qualité salle propre quand il est transféré à partir de ladite au moins une section  elevators (87-91) contiguous at one end of said at least one section of the tunnel, an elevator forming an extension of said tunnel section so that a carriage in said elevator continually bathes in clean room quality air when it is transferred from the said at least one section de tunnel linéaire.linear tunnel. 19 Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que ladite piste comporte des rails électrifiés ( 177, 178) ledit chariot comportant un moteur électrique ( 181) d'auto-propulsion dudit chariot le long desdits rails en réponse à des signaux de commande  19 Apparatus according to claim 13, characterized in that said track comprises electrified rails (177, 178) said carriage comprising an electric motor (181) for self-propulsion of said carriage along said rails in response to control signals provenant dudit circuit électronique incorporé.  from said incorporated electronic circuit. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que lesdits rails consistent en deux rails ( 177,178), ledit chariot se déplaçant sur lesdits rails sur des coussinets linéaires semi-cylindriques ( 180) qui permettent l'enlèvement facile-du chariot  Device according to claim 19, characterized in that said rails consist of two rails (177,178), said carriage moving on said rails on semi-cylindrical linear bearings (180) which allow the easy removal of the carriage desdits rails.said rails. 21 Dispositif selon la revendication 16, caractérisé en ce qu'il est associé avec un équipement de fabrication de composants semi-conducteurs, relié à ladite au moins une section de tunnel ou à l'un desdits postes de transfert. 22 Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte une chambre propre modulaire placée près de l'extrémité de ladite au moins une section de tunnel pour permettre l'introduction et l'enlèvement des cassettes dudit dispositif de transport  21 Apparatus according to claim 16, characterized in that it is associated with a semiconductor component manufacturing equipment, connected to said at least one tunnel section or to one of said transfer stations. Device according to claim 9, characterized in that it comprises a modular clean chamber placed near the end of said at least one tunnel section to allow the introduction and removal of the cassettes of said transport device de cassettes.cassettes. 23 Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte un équipement de mesure de particules situé dans ladite au moins section de  Apparatus according to claim 9, characterized in that it comprises a particle measuring equipment located in said at least one section of tunnel linéaire.linear tunnel. 24 Dispositif de transfert de cassettes contenant des plaquettes dans des conditions d'air filtré, caractérisé en ce qu'il comporte un dispositif définissant une piste ( 177,178) pour le mouvementdesdites cassettes ( 174), avec les plaquettes ( 175) orientées verticalement  24 A cassette transfer device containing platelets in filtered air conditions, characterized in that it comprises a device defining a track (177, 178) for the movement of said cassettes (174), with the platelets (175) oriented vertically par rapport à ladite piste, une section de passage ( 130-  relative to said track, a passage section (130- ) enfermant au moins partiellement ladite piste, un dispositif ( 169) coopérant avec ledit passage pour établir un courant de gaz laminaire dans le volume autour de ladite piste, le courant de gaz comprenant une composante parallèle aux surfaces desdites plaquettes, un dispositif ( 173) coopérant avec ledit courant d'air laminaire pour filtrer l'air qui circule dans le volume autour de ladite piste, de manière que lesdites plaquettes puissent être transportées dans ledit passage tout en baignant seulement dans de l'air filtré avec une composante de courant d'air  ) at least partially enclosing said track, a device (169) cooperating with said passage for establishing a laminar gas flow in the volume around said track, the gas stream comprising a component parallel to the surfaces of said platelets, a device (173) cooperating with said laminar air stream to filter the air flowing in the volume around said track, so that said platelets can be transported in said passage while bathing only in filtered air with a current component of 'air parallèle auxdites plaquettes.parallel to said platelets. Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que ladite section de passage comporte des ouvertures d'entrée de piste et de sortie de piste et également des ouvertures de sortie pour faciliter l'écoulement laminaire du gaz 26 Dispositif selon la revendication , caractérisé en ce que ladite section de passage comporte des ouvertures d'entrée de piste, de sortie de piste et de sortie de gaz, mais enferme par ailleurs complètement ledit pasage. 27 Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que ladite section de passage est  Device according to claim 20, characterized in that said passage section comprises runway and runway entrance openings and also outlet openings to facilitate the laminar flow of the gas. 26 Apparatus according to the claim, characterized in that said passage section has runway inlet, runway outlet and gas outlet openings, but otherwise completely encloses said run. Apparatus according to claim 20, characterized in that said passage section is allongée dans la direction de ladite piste.  lying in the direction of said track. 28 Dispositif selon la revendication 21  Device according to claim 21 ou 22,caractérisé en ce que lesdites ouvertures d'entrée -  or 22, characterized in that said inlet openings - de piste et de sortie de piste se terminent à des  runway and runway ends at postes de travail pour traiter lesdites plaquettes.  workstations for processing said platelets. 29 Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que ledit dispositif d'établissement d'un courant d'air établit une pression d'air positive  Device according to claim 20, characterized in that said device for establishing an air flow establishes a positive air pressure. dans ledit volume autour de ladite piste.  in said volume around said track. Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que ladite section de passage est ouverte sur sa face inférieure de manière à permettre l'accès à ladite piste par le dessous, mais enfermant  Device according to claim 20, characterized in that said passage section is open on its underside so as to allow access to said track from below, but enclosing par ailleurs ladite piste sur tous les autres côtés.  otherwise said track on all other sides. 31 Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que ladite cassette ( 174) contenant des plaquettes ( 175) comprend un chariot ( 176) et une cassette amovible, ledit chariot supportant ladite cassette et se déplaçant sur lesdits rails, ledit chariot étant ouvert de manière à permettre l'accès auxdites plaquettes  31 Apparatus according to claim 20, characterized in that said cassette (174) containing platelets (175) comprises a carriage (176) and a removable cassette, said carriage supporting said cassette and moving on said rails, said carriage being opened by to allow access to said pads par le dessous de ladite piste.from below the said track. 32 Dispositif selon la revendication 27,carac-  Apparatus according to claim 27, characterized térisé en ce qu'il comporte en outre une lame-( 166) positionnée audessous de ladite piste et fonctionnant transversalement par rapport à elle pour engager des plaquettes individuelles par le dessous et les déplacer  characterized in that it further comprises a blade (166) positioned below said track and operating transversely thereto for engaging individual pads from below and moving them vers et depuis ladite cassette pour leur traitement.  to and from said cassette for their treatment. 33 Dispositif de transport, dans des conditions de propreté, de plaquettes supportées côte à côte dans des cassettes donnant accès auxdites plaquettes  33 Transport device, under conditions of cleanliness, platelets supported side by side in cassettes giving access to said platelets 254632,8254,632.8 par le dessus et le dessous, dispositif caractérisé en ce qu'il comporte essentiellement au moins une enceinte allongée axialement ( 130-135), permettant le passage des cassettes ( 174) dans la direction axiale, ladite enceinte comportant au moins une ouverture sur l'un de ses côtés, un dispositif ( 169) pour établir une pression positive d'un gaz et sa circulation dans au moins un volume substantiel de ladite enceinte, ledit courant d'air ayant au moins une composante perpendiculaire à l'axe de ladite  from above and below, device characterized in that it comprises essentially at least one axially elongated enclosure (130-135), allowing passage of the cassettes (174) in the axial direction, said enclosure comprising at least one opening on the one of its sides, a device (169) for establishing a positive pressure of a gas and its circulation in at least a substantial volume of said chamber, said air stream having at least one component perpendicular to the axis of said enceinte, un dispositif ( 173) de filtration du gaz cir-  a device (173) for filtering the circulating gas. culant depuis l'extérieur dudit volume vers ledit dispositif pour établir ladite pression positive d'un gaz, une piste ( 177,178) disposée axialement dans ladite enceinte, un chariot ( 176) appuyé sur ladite piste et agencé pour se déplacer le long de ladite piste dans ledit volume et agencé en outre pour supporter l'une au moins desdites cassettes ( 174), ledit chariot étant ouvert pour permettre l'accès par le dessous auxdites plaquettes, et une lame ( 166) alignée avec ladite ouverture latérale du passage et mobile vers le haut et vers le bas dans le plan desdites plaquettes pour engager ces dernières par ladite ouverture du chariot afin de soulever et d'abaisser successivement certaines individuelles desdites plaquettes et permettre leur traitement individuel,  growing from outside of said volume to said device to establish said positive pressure of a gas, a track (177,178) disposed axially in said enclosure, a carriage (176) supported on said track and arranged to move along said track in said volume and further arranged to support at least one of said cassettes (174), said carriage being open to allow access from below to said platelets, and a blade (166) aligned with said passage lateral opening and movable upwards and downwards in the plane of said plates to engage the latter by said opening of the carriage in order to raise and lower successively some individual said platelets and allow their individual treatment, de manière que plusieurs plaquettes puissent être trans-  so that several platelets can be trans- portées et que certaines individuelles d'entre elles-  carried and that some individual of them puissent être prélevées et traitées, toujours dans  can be collected and processed, always in des conditions de propreté indépendamment de l'atmos-  cleanliness conditions regardless of the atmosphere phère ambiante.ambient phère. 34 Dispositif selon la revendication 29, caractérisé en ce que ledit dispositif ( 173) de filtration  34 Apparatus according to claim 29, characterized in that said filter device (173) consiste en un filtre à particules de haute efficacité.  consists of a high efficiency particulate filter. Dispositif selon la revendication 30, caractérisé en ce que ladite piste consiste en deux rails ( 177,178) espacés l'un de l'autre et destinés à  Device according to claim 30, characterized in that said track consists of two rails (177, 178) spaced apart from one another and intended for recevoir ledit chariot ( 176).receiving said carriage (176). 36 Dispositif selon la revendication 31, caractérisé en ce qu'il est associé avec une machine de fabrication de composants semi-conducteurs positionnée pour recevoir les plaquettes soulevées par ladite  36 Apparatus according to claim 31, characterized in that it is associated with a semiconductor component manufacturing machine positioned to receive the wafers raised by said lame ( 166).blade (166). 37 Dispositif selon la revendication 32, caractérisé en ce que ledit dispositif qui établit une pression positive et un courant d'un gaz comporte un dispositif qui établit un courant d'air laminaire dans ledit volume, parallèlement à ladite cassette et aux plaquettes. 38 Dispositif selon la revendication 36, caractérisé en ce que ledit dispositif qui établit un  37 Apparatus according to claim 32, characterized in that said device which establishes a positive pressure and a stream of a gas comprises a device which establishes a laminar air stream in said volume, parallel to said cassette and platelets. 38 Apparatus according to claim 36, characterized in that said device which establishes a courant laminaire comporte un filtre ( 173) de haute effi-  laminar flow comprises a high-efficiency filter (173) cacité avec des conduites dont les axes sont alignés avec  with pipes whose axes are aligned with les plans desdites plaquettes.the plans of said platelets.