DE3418243A1

DE3418243A1 - AUTOMATED CARTRIDGE CONVEYOR

Info

Publication number: DE3418243A1
Application number: DE19843418243
Authority: DE
Inventors: Stanley Kent Palo Alto Calif. Gardner; Martin Albert Santa Clara Calif. Hutchinson; Frederick Thomas Sunnyvale Calif. Turner
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1983-05-20
Filing date: 1984-05-16
Publication date: 1984-11-22
Also published as: GB8412729D0; JPS59225597A; FR2546328A1; GB2141680A

Description

Die Erfindung betrifft eine Anlage für den Transport von Kassetten für Halbleiterplättchen und bezieht sich insbesondere auf eine automatisierte Kassettentransportanlage bei der die Halbleiterplättchen stützenden Kassetten auf Wagen in modulartigen Einheiten bewegt werden, denen durch Filter hoher Qualität zwangsweise Luftströme zugeführt werden.The invention relates to a system for transporting cassettes for semiconductor wafers and relates in particular to an automated cassette transport system in which the Die-supporting cartridges in modular form Units are moved to which air currents are forcibly supplied by high quality filters.

Bei der industriellen Fertigung von Halbleitern ist es immer für nötig gehalten worden/ Transistoren und integrierte Schaltungen auf Halbleiterplättchen in sauberer Umgebung zu produzieren. So steht z.B. in Herstellungsanlagen für Halbleiter typischentionisiertes, gefiltertes Wasser zur Verfügung, um insbesondere sicherzustellen, daß keine elektronischen Verschmutzungen bei der Wasserbehandlung mit den Halbleiterplättchen in Berührung gelangen. So sind auch von Anfang an Räume geschaffen und benutzt worden, die frei sind von Schmutzstoffen und anderen, teilchenförmigen Stoffen. In diesen .sogenannten "Reinlufträumen" werden Zwangsluftströme über die Arbeitsbereiche geleitet, die einströmende Luft durch hochleistungsfähige, Teilchen absondernde Luftfilter, nachfolgend kurz HEPA-Filter, geleitet und unter den strengsten Bedingungen gearbeitet. So müssen z.B. über der Straßenkleidung Schutzkappen, Schutzgewänder und -hosen sowie Überschuhe getragen werden, es dürfen keine Fremdstoffe eingebracht werden, und häufig erfolgt der Zugang allein durch Dekontaminationskammern. Mit zunehmend strenger werdenden Anforderungen an Reinlufträume kann es sich als nötig erweisen, Raumanzüge zu tragen, siehe z.B. M. S. Dahlstrom "Clean Room Garments: Where From Here?", Semiconductor International, April 1983, S. 111. Innerhalb der Reinlufträume werden die Plättchen bisher einzeln durch Erfassen der Ränder mit Pinzetten oder Zangen gehandhabt und in Kassetten, die ca. 13 bis 25 Plättchen enthalten, zwischen den einzelnen Verarbeitungsstationen transportiert.It has always been considered necessary in the industrial manufacture of semiconductors / transistors and integrated circuits on semiconductor wafers in a clean environment. For example, in manufacturing plants for semiconductors Typically deionized, filtered water is available, especially to ensure there is no electronic pollution come into contact with the semiconductor wafers during water treatment. This is how rooms are from the start have been created and used that are free of contaminants and other particulate matter. In these so-called "Clean air rooms" are forced air flows over the work areas The incoming air is passed through high-performance, particle-secreting air filters, hereinafter briefly HEPA filters, piped and worked under the strictest conditions. For example, protective caps, protective clothing and trousers as well as overshoes must be worn over street clothing, no foreign matter may be brought in, and access is often only through decontamination chambers. As the requirements for clean air rooms become increasingly stringent, it may be necessary to wear spacesuits, see e.g. M. S. Dahlstrom "Clean Room Garments: Where From Here? ", Semiconductor International, Apr. 1983, p. 111. Inside In the clean air rooms, the tiles are so far individually handled by grasping the edges with tweezers or pliers and placed in cassettes containing approx. 13 to 25 plates, transported between the individual processing stations.

Zunächst schien Reinlichkeit nötig, um eine Beeinträchtigung der elektronischen Eigenschaften der im Herstellungsprozeß befindlichen Vorrichtungen zu vermeiden. Das Vorhandensein elek-At first, cleanliness seemed necessary in order to avoid impairment of the electronic properties of those in the manufacturing process Avoid fixtures. The presence of elec-

trisch aktiver Verunreinigungsstoffe könnte Eigenschaften, wie die Trägerkonzentration, den Flächenwiderstand /Y cffn ¹^niaVEwiderstand und dergleichen unmittelbar beeinflussen. Außerdem könnte das Vorhandensein von Teilchen den erfolgreichen Durchführung solcher Verarbeitungsschritte wie Diffusion und Oxidation stören, siehe z.B. J. Amick "Cleanliness and the Cleaning of Silicon Wafers", Solid State Technology, November 1976, S. 47.cally active contaminants could properties such as carrier concentration, the surface resistivity / Y CFFN ¹ ^ niaVEwiderstand and the like directly influence. In addition, the presence of particles could interfere with the successful implementation of processing steps such as diffusion and oxidation, see, for example, J. Amick "Cleanliness and the Cleaning of Silicon Wafers", Solid State Technology, November 1976, p. 47.

In dem unablässigen Bemühen um eine weitere Verkleinerung der Breite stromführender Leitungen (Leitungsbreite) und der Dimensionen anderer geometrischer Merkmale von Halbleitervorrichtungen sind ständig striktere Verfahrensbedingungen ausgearbeitet worden. Ältere Techniken, beispielsweise Diffusion im Ofen oder nasse chemische Verarbeitung sind durch modernere Techniken, wie die Elektronenstrahllithographie, die Ionenimplantation und das Trockenplasmaätzen ersetzt worden. Gleichzeitig, mit dieser Tendenz ist das Vorhandensein von Teilchen, deren durchschnittlicher Durchmesser dem Durchmesser von Schaltungsmerkmalen angenähert ist, zu einem Fluch geworden. Solche Teilchen könnten nämlich ohne weiteres einen Bruch in einer leitfähigen Bahn hervorrufen, andere Schaltungsmerkmale außer Kraft setzen oder anderweitig die elektrischen Eigenschaften eines Transistors ändern. Um das Vorhandensein solcher Teilchen zu verhindern, ist es ein absolutes Gebot, Räume zu verwenden, deren Sauberkeit höchster Qualität entspricht,siehez.B. J. A. Lange "Sources of Semiconductor Wafer Contamination", Semiconductor International, April 1983, S. 124. So wird es bei der Herstellung von hochgradig integrierten Schaltungen/immer mehr nötig, mit Sicherheit dafür zu sorgen, daß.die gesamte Verarbeitung in der Umgebung eines Reinluftraums stattfindet. Die dafür übliche Praxis in der Halbleiterindustrie besteht bisher darin, Reinlufträume zu benutzen, die die Kriterien des US-Federal Standard 209B erfüllen. Der typische Reinluftraum wird als Raum der Klasse 100 bezeichnet, worunter per definitionem zu verstehen ist, daß in einem Volumen von einem Kubikfuß bei einem Durchsatz von ca.In a relentless effort to further downsize the Current-carrying line width (line width) and the dimensions of other geometrical features of semiconductor devices Stricter procedural conditions have been drawn up all the time. Older techniques such as diffusion Oven or wet chemical processing are supported by more modern techniques, such as electron beam lithography, ion implantation and dry plasma etching has been replaced. Simultaneously, with this tendency is the presence of Particles whose average diameter approximates the diameter of circuit features have become a curse. Such particles could easily have one Cause breakage in a conductive path, override other circuit features, or otherwise affect the electrical Change the properties of a transistor. To the presence To prevent such particles, it is an absolute imperative to use rooms whose cleanliness corresponds to the highest quality, see e.g. J. A. Lange "Sources of Semiconductor Wafer Contamination", Semiconductor International, April 1983, p. 124. Thus, in the manufacture of highly integrated circuits / it is becoming more and more necessary to ensure with certainty that that all processing takes place in the environment of a clean air room. The usual practice for this in the semiconductor industry has been to use clean air rooms that meet the criteria of the US Federal Standard 209B. Of the typical clean air room is referred to as class 100 room, which by definition means that in a volume of one cubic foot with a throughput of approx.

100 Fuß/Hin, weniger als 100 Teilchen eines durchschnittlichen Durchmessers von 0,5 Mikron oder darüber vorhanden sind. Derartige Räume sind teuer, wobei die Kosten etliche hundert Dollar pro Quadratfüß Bodenfläche ausmachen.100 feet / hin, less than 100 particles of an average 0.5 microns or greater in diameter. Such rooms are expensive, with the cost several hundred Dollars per square foot of floor space.

Teilchen entstehen durch den Abrieb von Siliziumplättchen an harten Oberflächen, als menschliche Körperausscheidungen, vonParticles are created by the abrasion of silicon flakes on hard surfaces, as human body excretions

Kleidung, sowie kosmetischen und bakteriellen Stoffen. In jeder normalen Umgebung ist eine ganze Sammlung von Teilchen verschiedenster Quellen vorhanden, die einfach als Staub zu bezeichnen sind. Wenn die Quellen solcher Teilchen ausgeschaltet werden könnten, wäre es theoretisch möglich, weniger kraftvolle Reinigungstechniken anzuwenden. Auf jeden Fall bleibt die Reduzierung der Ursachen für die Entstehung von Teilchen erwünscht. So sehr man sich jedoch darum bemüht, die Teilchenquellen zu eliminieren, bleibt doch immer eine Restanzahl, die berücksichtigt werden muß..Clothing, as well as cosmetic and bacterial fabrics. In every normal environment there is a whole collection of particles various sources that can simply be described as dust. If the sources of such particles could be turned off, it would theoretically be possible less apply powerful cleansing techniques. In any case, there remains a reduction in the causes of the emergence of Particles wanted. However, as much as you try to eliminate the particle sources, one always remains Remaining number that must be taken into account ..

In den meisten Anlagen für die Herstellung von Halbleitervorrichtungen werden Halbleiterplattchen in Kassetten angeordnet, die eine Anzahl individueller Plättchen enthalten. Diese Kassetten werden von Hand oder auf Rollwagen von einer Arbeitsstation zur nächsten transportiert, siehe z.B. P. P. Castrucci "Pneumatic Distribution and Control System", IBM Technical Disclosure Bulletin, Bd. 15, Nr. 6, November 1972, S. 17.63. Bei jedem Arbeitsschritt ist der menschliche Faktor mindestens insofern beteiligt, als die Kassette gehandhabt werden muß/ und manchmal werden auch die Plättchen von Hand aus den Kassetten entnommen und neu in die Kassetten eingesetzt. Die Verwendung derartiger Kassetten ist eine Alternative zur Förderung einzelner Plättchen von Station zu Station mittels einer Luftbahn, einer Schwingungsbahn oder beweglicher Riemen. Bei dieser Handhabung und Förderung von Kassetten in großem Maßstab gibt es keine Alternative zu der traditionellen Umgebung eines Reinluftraums. In gewisser Weise wird hierbei das Gegenteil des Erwünschten erreicht, da die manuelle Behandlung von Halbleiterplattchen in einem Reinluftraum sowohl Teilchen er-In most of the semiconductor device manufacturing facilities, semiconductor dies are placed in cassettes, which contain a number of individual platelets. These cassettes are transported by hand or on trolleys from one workstation to the next, see e.g. P. P. Castrucci "Pneumatic Distribution and Control System", IBM Technical Disclosure Bulletin, Vol. 15, No. 6, Nov. 1972, p. 17.63. In every work step the human factor is involved at least insofar as the cassette has to be handled / and sometimes the wafers are manually removed from the cassettes and reinserted into the cassettes. The usage Such cassettes is an alternative to conveying individual wafers from station to station by means of a Air path, a vibratory path or moving belt. at With this large-scale handling and conveyance of cartridges there is no alternative to the traditional environment of a clean air room. In a certain way, the opposite of what is desired is achieved here, since the manual handling of Semiconductor wafers in a clean air room contain both particles

zeugt als auch Teilchen aufwirbelt, die dann notwendigerweise mit Hilfe der zuvor erwähnten teuren Techniken zur Reinhaltung von Räumen aus der Gegenwart der Plättchen entfernt werden müssen.generates as well as stirs up particles, which then necessarily use the aforementioned expensive techniques to keep them clean must be removed from spaces from the presence of the platelets.

Eine Möglichkeit, Halbleiterplättchen ohne Zugriff zu einem Reinluftraum unter Bedingungen zu fördern, die sauberer sind als die Umgebung, besteht in der Plättchenförderanlage der Nacom Industries Inc., 2852A Walnut Avenue, Tustin, CA 92680. Hierbei ist für den Rolltransport eines Kassettenwagens· ein geschlossener Tunnel oder Schacht vorgesehen, der längs seiner Länge mit Stickstoff gespült wird. In einem zweiten, unteren Schacht in der Nähe des Bodens des oberen Schachtes ist ein Permanentmagnet vorgesehen, durch dessen Magnetkräfte der Wagen längs des Bodens des ersten Schachtes gezogen wird. Die Magnetkräfte ziehen den magnetisieren Kassettenwagen an und befördern ihn. Für den Transport einer Kassette von einem Arbeitsplatz zum anderen können gerade oder gekrümmte Strecken vorgesehen sein. Bei dieser Anlage besteht Zugang zu den Kassetten und den Plättchen nur am Ende jeder Tunnelstrecke und nicht zwischendrin längs der Geleise. Außerdem muß für die Rückkehr des im zweiten, unteren Tunnel angeordneten Permanentmagneten zum Eingangsbereich jedes Gleisabschnitts gesorgt sein. Der die Kassette aufnehmende Tunnel wird zwar mit trockenem Stickstoff gespült, aber es ist keine Vorsorge getroffen, um teilchenförmige Verschmutzungen zu entfernen, die sich möglicherweise auf den Halbleiterplättchen absetzen. Im Gegenteil, durch die Bewegung des Wagens und des Spülgases werden nicht nur Teilchen erzeugt sondern auch die stets vorhandenen aufgewirbelt und über die Plättchen verteilt.One way to move semiconductor wafers without access to a clean air room under conditions that are cleaner as the surrounding area, is the die conveyor system of Nacom Industries Inc., 2852A Walnut Avenue, Tustin, CA 92680. In this case, a closed tunnel or shaft is provided for the roller transport of a cassette trolley Length is purged with nitrogen. In a second, lower shaft near the bottom of the upper shaft is a permanent magnet is provided, the magnetic forces of which pull the carriage along the bottom of the first shaft. the Magnetic forces attract the magnetized cassette trolley and promote him. Straight or curved routes can be used to transport a cassette from one workstation to another be provided. With this system, access to the cassettes and the tiles is only possible at the end of each tunnel section and not in between along the tracks. In addition, for the return of the permanent magnet arranged in the second, lower tunnel to the entrance area of each track section. The tunnel receiving the cassette is with purged with dry nitrogen, but no precautions are taken to remove the particulate contaminants possibly settle on the semiconductor die. On the contrary, through the movement of the carriage and the purge gas Not only are particles produced, but also those that are always present are whirled up and distributed over the platelets.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Anlage für den Transport von Kassetten mit Halbleiterplättchen zu schaffen, in der ein kontinuierlicher Gasstrom von Reinluftraumqualität über die Plättchen geleitet wird· Insbesondere sollen die Plättchen längs der Anlage zugänglich sein.The object of the invention is to provide a system for the transport of cassettes with semiconductor wafers, in which a continuous gas flow of clean air room quality over the Platelets are guided · In particular, the platelets should be accessible along the system.

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In einer automatisierten Kassettenförderanlage sollen die Plättchen so gehalten sein, daß sie parallel zu der Strömung von durch HEPA-Filter strömender Luft ausgerichtet sind, damit die Möglichkeit verringert wird, daß sich Teilchen auf "den Plättchen absetzen oder an diesen anhaften.In an automated cassette conveyor system, the Platelets must be held so that they are oriented parallel to the flow of air passing through HEPA filters, so that the possibility of particles settling on or adhering to the platelets is reduced.

In der Anlage zum Fördern von Kassetten mit Halbleiterplättchen wird jede Kassette von einem speziellen Wagen abgestützt und transportiert, an dem an Bord Elektronik vorgesehen ist, die es ermöglicht, den Arbeitsfortschritt zu verfolgen und . eine intelligente Fernbedienung des Wagens von einem zentralen Rechner zu erleichtern.In the system for conveying cassettes with semiconductor wafers, each cassette is supported by a special carriage and transported, on which electronics are provided on board, which make it possible to track the progress of work and. to facilitate an intelligent remote control of the car from a central computer.

Im folgenden ist die Erfindung mit weiteren vorteilhaften Einzelheiten anhand eines schematisch dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt: The following is the invention with further advantageous details explained in more detail using a schematically illustrated embodiment. In the drawings shows:

Fig. 1 ein Diagramm einer automatisierten Kassettenförderanlage in einem Herstellungsbetrieb für Halbleiterbauelemente; 1 is a diagram of an automated cassette conveyor system in a manufacturing plant for semiconductor components;

Fig. 2 ein Blockschaltbild der elektrischen Steuerung der erfindungsgemäßen Anlage; .Fig. 2 is a block diagram of the electrical control of the invention System; .

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht einer automatisierten Kassettenförderanlage;3 is a perspective view of an automated Cassette conveyor system;

Fig. 4 einen Querschnitt durch einen Kassettenwagen auf einer Drehscheibe innerhalb der automatisierten Kassettenförderanlage; 4 shows a cross section through a cassette carriage on a turntable within the automated cassette conveyor system;

Fig. 5 einen Querschnitt durch einen Kassettenwagen in einer Tunnelstrecke mit Richtungsangabe der Luftströmung;5 shows a cross section through a cassette trolley in a tunnel section with indication of the direction of the air flow;

Fig. 6a-6d Draufsichten auf Diagramme logischer Operationen der Wagenbewegung längs einer linearen' Strecke und über eine Drehscheibe;Figures 6a-6d are plan views of diagrams of logical operations of carriage movement along a linear path; via a turntable;

Fig. 7a-7b eine Draufsicht und eine Seitenansicht eines Dia-•gramms der logischen Operationen für die Bewegung durch einen Aufzug und in einem Aufzug hinauf;7a-7b show a top view and a side view of a diagram of the logical operations for movement through an elevator and up an elevator;

Fig. 8 eine Vorderansicht eines Aufzugs; Fig. 9 eine Seitenansicht des Aufzugs gemäß Fig. 8;Fig. 8 is a front view of an elevator; FIG. 9 is a side view of the elevator according to FIG. 8;

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Fig. 10 ein Diagramm des Schaltkreises zum Verhindern von Kollisionen und zum Anhalten des Wagens.Fig. 10 is a diagram of the circuit for preventing Collisions and stopping the car.

zu der automatisierten Kassettenförderanlage zum Bewegen von Kassetten für Halbleiterplättchen gehört eine Reihe von Tunnels oder Schächten, Ubergabestationen und Verbindungen mit Einrichtungen zum Herstellen der Halbleiterbauelemente. Die Kassetten mit Plättchen werden von Wagen abgestützt/ die auf einer längs der Tunnel angeordneten Gleiseinrichtung angetrieben werden. Innerhalb der Tunnel _Und Ubergabestationen wird eine kontinuierliche Strömung von Luft in Reinluftraumqualität aufrechterhalten, um zu verhindern, daß sich Schmutzstoffe und andere Teilchen auf den Oberflächen der Plättchen absetzen. Vorzugsweise wird über die Oberflächen der Plättchen hinweg eine laminare Strömungskomponente aufrechterhalten. Um diese laminare Strömung vorzugsweise gleichmäßig über die Plättchen verteilt zu erreichen, wird die Luft der Reinluftraumqualität in der Nähe der Wagen gefiltert. Die Übergabestationen, wie Aufzüge und Drehscheiben sind mit linearen und gekrümmten Tunnelstrecken verbunden, damit die Kassetten mit Halbleiterplättchen ohne Berührung von Hand von Arbeitsstelle zur Arbeitsstelle gefördert werden können. Zugang zu den Plättchen besteht im wesentlichen an allen Stellen der Anlage durch den Boden der Kassetten, in dem eine Längsöffnung vorgesehen ist, durch die die Luftströmung an die Umgebung nach außen abgegeben werden kann.The automated cassette conveyor system for moving cassettes for semiconductor wafers includes a series of tunnels or shafts, transfer stations, and connections to facilities for manufacturing the semiconductor components. The cassettes with plates are supported by carriages / which are driven on a track arrangement arranged along the tunnel. Within the tunnel _U nd Uber transfer stations, a continuous flow is maintained by air in the clean air chamber quality, to prevent contaminants and other particles to settle on the surfaces of the platelets. Preferably, a laminar flow component is maintained across the surfaces of the platelets. In order to achieve this laminar flow, preferably evenly distributed over the platelets, the air of the clean air room quality is filtered in the vicinity of the car. The transfer stations such as elevators and turntables are connected with linear and curved tunnels so that the cassettes with semiconductor wafers can be conveyed from workstation to workstation without touching them by hand. Access to the platelets is essentially at all points of the system through the bottom of the cassette, in which a longitudinal opening is provided through which the air flow can be discharged to the outside world.

Wie schon erwähnt, ist es nicht nur wünschenswert, die Quellen teilchenförmiger Verunreinigungsstoffe auszuschalten sondern auch, diese Verunreinigungsstoffe von den Arbeitsflächen der Halbleiterplättchen entfernt zu halten. Es gilt die Maxime, daß das Ausschalten von Menschen auch Teilchen ausschaltet. Und je weniger mit den Plättchen hantiert wird, um so geringer ist die Wahrscheinlichkeit, daß durch Abrieb der Siliziumplättchen Siliziumteilchen entstehen. Diese Prinzipien sind in der automatisierten Kassettenförderanlage insofern verwirklicht, als ein berührungsloses Fördersystem geschaffen wird. Der ge-As noted, it is not only desirable to eliminate sources of particulate contaminants, but also to do so also, these contaminants from the work surfaces of the Keep semiconductor die away. The maxim is that turning people off also turns off particles. And the less the platelets are tampered with, the lower the probability that the silicon platelets will wear off Silicon particles are created. These principles are implemented in the automated cassette conveyor system to the extent that is created as a contactless conveyor system. The ge

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samte Transport und die Handhabung der Kassetten erfolgt in einer Reinluftraumumgebung, auch wenn die Anlage selbst in einer normalen Fabrik vorgesehen sein kann. Das wird dadurch erzielt, daß eine Quelle reiner Luft benutzt wird oder Filter hoher Qualität längs der Tunnelstrecken vorgesehen sind, in denen-die Kassetten bewegt werden. Die bevorzugten Filter sind hochleistungsfähige Luftfilter zum Absondern von Teilchen, die HEPA-Filter. Mit dem hier verwendeten Ausdruck HEPA-Filter sind Filter hoher Qualität bezeichnet, die eine spezifizierte maximale Porengröße von 0,5 um oder weniger haben. Die Kassetten sind stets und an allen Stellen der Anlage in'durch HEPA-Filter strömendes Gas, typischerweise Luft eingetaucht, so daß die Gasströmung, auch wenn der Tunnelraum zur Umgebung in der Fabrik offen ist, in Richtung vom HEPA-Filter zur Fabrikumgebung fließt. Reinlufträume der Klasse 100 gemäß US-Federal Standard. 209B sind ohne weiteres einzuhalten. Bei Verwendung von Filtern höchster Qualität in dem Maß, in dem sie zur Verfügung gestellt werden, können sogar Räume der Klasse 10 und darüber hinaus erzielt werden, die für VLSI-Prozesse mit Konstruktionsregeln im Sub-Mikronbereich nützlich sind.all transport and handling of the cassettes takes place in a clean air room environment, even if the system itself may be provided in a normal factory. That will make it achieves that a source of clean air is used or high quality filters are provided along the tunnels, in which-the cartridges are moved. The preferred filters are high-performance air filters for separating particles, the HEPA filter. With the term HEPA filter used here denotes high quality filters having a specified maximum pore size of 0.5 µm or less. The cassettes are always and at all points of the system in'by HEPA filters flowing gas, typically air immersed, so that the gas flow even when the tunnel space to the environment is open in the factory, in the direction from the HEPA filter to the factory environment flows. US Federal class 100 clean air rooms Default. 209B are to be complied with without further ado. When using filters of the highest quality to the extent that they are available even rooms of class 10 and beyond can be achieved that are used for VLSI processes Sub-micron design rules are useful.

Bei einem bevorzugten Ausfüh-In a preferred embodiment

rungsbeispiel der Anlage sind Teilchenzähler mit Zwischenräumen innerhalb der Anlage vorgesehen. Ein Hauptvorteil dieser modulförmigen Tunnellösung für die Förderung der Kassetten besteht in einer Verringerung der im Arbeitsprozeß befindlichen Werkstücke und infolgedessen im Endeffekt in einer Reduzierung der Bestände. Außerdem ist die Arbeit während ihres Verlaufs willkürlich änderbar. Ferner ist durch die berührungslose Förderung sowohl der Plättchen als auch der Kassetten eine bedeutende Zunahme des Plättchenausstoßes zu erreichen.Example of the system are particle counters with gaps provided within the facility. A major advantage of this modular tunnel solution for conveying the cassettes consists in a reduction in the number of workpieces in the process and consequently in a reduction of stocks. In addition, the work can be changed arbitrarily during its course. Furthermore, through the contactless Encouraging both platelets and cartridges to achieve a significant increase in platelet output.

In Fig. 3 ist eine einfache Anlage gezeigt, die gemäß der Erfindung angeordnet ist. Es sind zwar keine Verarbeitungseinrichtungen zu sehen, aber diese kann man sich praktisch an jeder beliebigen Stelle innerhalb der Anlage vorstellen. So könnte z.B.. eine lineare Tunnelstrecke an einer Produktionseinrichtung enden, von der eine zweite lineare Tunnelstrecke In Fig. 3 a simple system is shown, which according to the invention is arranged. There are no processing facilities to be seen, but they can be seen on practically everyone present any point within the system. For example, a linear tunnel section could end at a production facility, from which a second linear tunnel section

wegführen könnte, so daß die Kassetten dieser Einrichtung automatisch zugeführt und von ihr automatisch entfernt wurden. Es können auch seitlich Speicherschienen vorgesehen sein. Wie aus Fig. 3 hervorgeht, ist eine herkömmliche Reinlufthaube 142 mit hochleistungsfähiger Reinhaltung der Luft für das Einführen der Kassetten mit Plättchen und die Entnahme von Plättchen aus der Anlage vorgesehen. In einer Fabrikanlage wurden die die Kassetten abstützenden Wagen, die auf Schienen 146 verfahrbar sind, einer Folge von Arbeitskammern zugeführt, wie nachfolgend unter Hinweis auf Fig. 1 noch erläutert wird. Die einfache Anlage gemäß Fig. 3 soll nur die Bauelemente der modulförmigen Tunnelanlage und die durchzuführenden logischen Ubertragungsschritte zeigen. Die nachfolgend noch im einzelnen beschriebenen Schienen 146 sind elektrifiziert, so daß die die PJättchen transportierenden Wagen in Übereinstimmung mit Befehlen, die in an Bord der Wagen vorgesehener Elektronik programmiert sind oder in Abhängigkeit von Steuersignalen, die jedem Wagen beim Vorbeilauf an Kommunikationszwischenstellen übermittelt werden, längs der Schienen selbstangetrieben sind. So würde z.B. ein auf die Schiene 146 gesetzter, Kassetten tragender Wagen durch eine lineare Tunnelstrecke 135 bis zum Erreichen einer Drehscheibe 139 bewegt. Bei Annäherung an die Drehscheibe 139 tritt ein Kommunikationsglied, z.B. eine in Fig. 2 gezeigte Leuchtdiode 106, 108...110 mit dem Wagen in Verbindung und befiehlt ihm, anzuhalten, falls die Drehscheibe 139 nicht zur Aufnahme des Wagens bereit ist, oder befiehlt ihm weiterzufahren, wenn die Drehscheibe 139 in einer Stellung zur Aufnahme des Wagens ausgerichtet ist. Dann wird der die Kassette transportierende Wagen auf die Drehscheibe 139 bewegt und an entsprechender zentraler Stelle angehalten. Als nächstes vollführt die Drehscheibe 139 eine Umdrehung um 90°, so daß das vordere Ende des die Kassette transportierenden Wagens zu einer linearen Strecke 130 gerichtet wird. Dann hat die Drehscheibe 139 die richtige Stellung, bei der ihre Schienen mit denen der linearen Strecke 130 zusammenpassen.could lead away, so that the cassettes of this device automatically and automatically removed from it. Storage rails can also be provided laterally. As 3 is a conventional clean air hood 142 with high-performance air purification for inserting the cassettes with platelets and removing platelets provided from the plant. Were in a factory the carriages supporting the cassettes, which can be moved on rails 146, are fed to a sequence of working chambers, as will be explained below with reference to FIG. The simple system according to FIG. 3 is only intended to show the components of the modular tunnel system and the logical ones to be carried out Show transfer steps. The rails 146 described in detail below are electrified so that the the wagons transporting the wagons in accordance with commands given in electronics provided on board the wagons are programmed or as a function of control signals sent to each car as it passes communication intermediate points are transmitted along the rails are self-propelled. For example, a cassette placed on the rail 146 would carrying car through a linear tunnel section 135 to Reaching a turntable 139 moves. When approaching the turntable 139, a communication link such as an in Fig. 2 shown light emitting diode 106, 108 ... 110 with the carriage in Connect and tell it to stop if turntable 139 is not ready to pick up the car, or tell it to continue to drive him when the turntable 139 is aligned in a position to receive the car. Then it will be the one Cassette transporting carriage moved to the turntable 139 and stopped at the appropriate central point. as next, the turntable 139 rotates through 90 °, so that the front end of the carriage carrying the cassette is directed to a linear distance 130. Then has the turntable 139 is in the correct position so that its rails mate with those of the linear track 130.

Beim übergang des Wagens auf die Schienen der linearen StreckeAt the passage of the car on the rails of the linear route

341.82Λ3341.82Λ3

130 des Tunnels läuft der Wagen an einer weiteren Kommunikationsstelle vorbei/ die einem zentralen Rechner, z.B. dem in Fig. 2 gezeigten zentralen Rechner 70 Informationen zuleitet, so daß die Drehscheibe in die Aufnahmeposition zurückgestellt werden kann, bei der sie mit der linearen Strecke 135 ausgerichtet ist. Der Wagen wird längs der Strecke 130 weiterbewegt, bis er sich der Drehscheibe 138 nähert. Dann wird wieder die vorstehend beschriebene Folge der Drehscheibenbewegungen durchgeführt. Wenn die Schwenkung erfolgt ist, wird eine Entscheidung.sstelle erreicht, an der entschieden wird, ob der Wagen in einem Aufzug 141 zu einer oberen linearen Strecke 132 hinaufbefördert oder zu einer unteren linearen Strecke 133 weitergeleitet wird. Diese Entscheidung erfolgt in Übereinstimmung mit Informationen, die der zentrale Rechner dem Aufzug 141 zuleitet. Andererseits können diese Informationen auch über ein entsprechend angeordnetes Kommunikationsglied dem Wagen übermittelt werden. Wenn die für die Plättchen in der Kassette bestimmte Prozeßfolge es erfordert, daß sie durch die obere Strecke 132 weiterbefördert werden, wird der Wagen von der Drehscheibe 138 auf die Plattform des Aufzugs 141 bewegt. Sobald der Wagen in der Mitte der Plattform angehalten wurde, wie im einzelnen noch erläutert wird, wird er auf ein Niveau angehoben, bei dem die Schienen der Plattform mit den Schienen der oberen Strecke 132 des Tunnels zusammenpassen. Dann kann sich der Wagen selbst auf die Schienen der Strecke 132 vorwärtsbewegen, um zur bereits auf ihn wartenden Plattform eines Aufzugs 140 weiterzulaufen.. Da alle Arbeitselemente der Anlage mit dem zentralen Rechner verknüpft sind, kann veranlaßt werden, daß die Plattform des Aufzugs 140 für die Aufnahme des Wagens bereit ist, auf den sie schon wartet. Wenn der Wagen aufgenommen und an Ort" und Stelle gebracht ist, wird der Aufzug 140 abgesenkt und der Wagen, natürlich vorausgesetzt daß die Drehscheibe zur Aufnahme des Wagens entsprechend ausgerichtet ist, auf eine Drehscheibe 137 abgegeben. Der Wagen kann statt längs der oberen linearen Strecke 132 bewegt zu werden, auch längs einer unteren· Strecke 133 verfahren und dann auch an. die Drehscheibe 137 abgegeben werden. Bei einer130 of the tunnel the car runs at another communication point passing information to a central computer, e.g. the central computer 70 shown in FIG. 2, so that the turntable can be returned to the receiving position in which it is aligned with the linear distance 135 is. The carriage is moved along the route 130, until it approaches turntable 138. Then will again carried out the sequence of turntable movements described above. When the panning is done, a decision will be made at which a decision is made as to whether the car is in an elevator 141 to an upper linear path 132 conveyed up or to a lower linear path 133 is forwarded. This decision is made in accordance with information provided by the central computer to the elevator 141 leads. On the other hand, this information can also be transmitted via a correspondingly arranged communication link be transmitted to the car. If the particular process sequence for the platelets in the cartridge requires that they be carried out the upper track 132 will be carried further, the carriage will moved from the turntable 138 onto the platform of the elevator 141. As soon as the carriage has been stopped in the middle of the platform, as will be explained in detail below, it will be on a Raised level where the rails of the platform mate with the rails of the upper section 132 of the tunnel. Then the carriage can move itself forward on the rails of the track 132 to the platform already waiting for it of an elevator 140 to continue running .. Since all the work elements of the system are linked to the central computer, this can be initiated that the platform of elevator 140 is ready to receive the car it is waiting for. if the car is picked up and brought into place the elevator 140 is lowered and the car, of course, provided that the turntable to accommodate the car is appropriate is aligned, delivered to a turntable 137. Of the Instead of being moved along the upper linear path 132, the carriage can also be moved along a lower path 133 and then also on. the turntable 137 can be delivered. At a

Halbleiterfabrikationsanlage ähnlich der in Fig. 1 gezeigten und nachfolgend zu beschreibenden, erfolgt eine Weiterverarbeitung an zahlreichen Stellen in der ganzen Anlage. Schließlich wird.der die Kassette transportierende Wagen über eine Drehscheibe 136 in einen linearen·Abschnitt 134 des Tunnels eingefahren und kehrt dann zur Reinlufthaube 142 zurück. Während seiner gesamten Förderung durch die automatisierte Kassettenförderanlage gemäß der nachfolgenden Beschreibung wird der Wagen und die Kassette kontinuierlich von Luft der Reinluftraumqualität, t.ypischerweise Klasse 100 oder noch besser umspült. Die Luft wird von einem oder mehreren Gebläsen 143 · durch Leitungen 144 in eine Reihe von Gasräumen zugeführt, die an der Oberseite jedes einzelnen Schachtes vorgesehen sind, wie im einzelnen in Fig. 4 und 5 erkennbar.Semiconductor fab facility similar to that shown in FIG and to be described below, further processing takes place in numerous places throughout the facility. Finally, the carriage transporting the cassette is via a Turntable 136 into a linear section 134 of the tunnel retracted and then returns to clean air hood 142. While all of its conveyance through the automated cassette conveyor system as described below is the The trolley and the cassette are continuously surrounded by clean air quality, typically class 100 or even better. The air is supplied by one or more fans 143 · through ducts 144 into a series of gas compartments, the are provided on the top of each individual shaft, as can be seen in detail in FIGS.

Fig. 1 zeigt eine erfindungsgemäße Anlage in einer Fabrik für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Der Raum, in dem die modulförmigen Einheiten angeordnet sind, braucht kein Reinluftraum zu sein. Statt dessen muß nur in jedem der modulförmigen Tunnel, der Ubergabestationen (Drehscheiben, Aufzüge) und an den Arbeitsplätzen eine saubere Umgebung für die Kassetten und Halbleiterplättchen zur Verfügung stehen. In Fig. 1 bedeutet, wie aus der Legende hervorgeht, T = Drehscheibe, E = Aufzug, C = Kommunikationsstelle und W = Arbeits-Fig. 1 shows a system according to the invention in a factory for the manufacture of semiconductor components. The space in which the modular units are arranged does not need any To be pure air space. Instead, in each of the modular tunnels, the transfer stations (turntables, elevators) and a clean environment for the cassettes and semiconductor wafers is available at the workplaces. In Fig. 1 means, as can be seen from the legend, T = turntable, E = elevator, C = communication point and W = work

. -oder Logistik platz oder Reinlufthaube. Die Logik/der Anlage gemäß Fig. 1 besteht darin, daß die Kassetten in einer Richtung transportiert werden, wobei eine Möglichkeit vorgesehen ist, an aufeinanderfolgenden Arbeitsplätzen eine Weiterverarbeitung vorzunehmen. Bei hochentwickelter Rechnersteuerung und Elektronik an Bord des Wagens kann der Wagen in der einen oder anderen Richtung fahren. Vor jeder Ubergabestation, z.B. jeder Drehscheibe oder jedem Aufzug, die den Wagen einer bestimmten Verarbeitungsschleife zuführen, ist eine Kommunikationsstelle C vorgesehen. Hier kann der in Fig. 2 gezeigte zentrale Rechner 70 den Wagen identifizieren und seine eigene Datenbank zu Rate ziehen um zu bestimmen, ob die in der Kassette auf diesem bestimmten Wagen enthaltenen Plättchen in der nächstfolgenden. -or logistics space or clean air hood. The logic / the system according to FIG. 1 consists in that the cassettes are transported in one direction, with one possibility being provided in consecutive Workstations to carry out further processing. With highly developed computer control and electronics on board the car, the car can travel in one direction or the other. In front of every transfer station, e.g. every turntable or every elevator that feeds the car to a particular processing loop has a communication point C intended. Here, the central computer 70 shown in FIG. 2 can identify the car and consult its own database draw to determine whether the tokens contained in the cassette on that particular carriage are in the next one

Schleife weiterverarbeitet werden sollten. Bei Bejahung erfolgt die Übergabe durch die Ubergabestation in die Verarbeitungsschleife. So kann z.B. eine gegebene Kassette Plättchen enthalten, deren Verarbeitungs&pezifikation vorsieht, daß sie an Arbeitsplätzen in den Schleifen 3, 5 und 7 weiterverarbeitet werden müssen. Wenn dann der Wagen eine Drehscheibe 30 verläßt, läuft er an einer Kommunikationsstelle 70 vorbei, woraufhin dem zentralen Rechner das Kennzeichen des Wagens mitgeteilt, der Laufzettel der Plättchen in der Kassette auf dem Wagen aufgerufen und einer Drehscheibe 28 der Befehl.gegeben wird, den Wagen aufzunehmen, anzuhalten und der.Schleife 7 weiterzuleiten. Der Wagen wird dann einer Drehscheibe 50, einer Drehscheibe 48 und einem Aufzug 41 zugeleitet und an einem Arbeitsplatz 19 weiterbehandelt. Danach läuft der Wagen durch einen Aufzug 39 zu einer Drehscheibe 26. Wenn er von der Drehscheibe 26 freigegeben wird, läuft er an einer Kommunikationsstelle 72 vorbei, und das Kennzeichen des Wagens wird vom zentralen Rechner wahrgenommen, der Laufzettel abgerufen und ein Befehl an eine Drehscheibe 24 erteilt, den Wagen grade wegs durchzulassen, da der in Schleife 6' vorgesehene Verarbeitungsschritt nicht nötig ist. Der Wagen wird dann der Reihe nach mittels einer Drehscheibe 20 zur Schleife 5 abgelenkt, fährt über Drehscheiben 16 und 14 an der Schleife 4 vorbei und wird mittels einer Drehscheibe 12 in die Schleife 3 abgelenkt. Sollte es andererseits aus Gründen des Anstehens oder der Reihenfolge nötig sein, daß Kassetten streng der Reihe nach weiterverarbeitet werden, so können andererseits die Wagen veranlaßt werden, jede Schleife zu durchlaufen. Ist ein bestimmter Frozeß unnötig, so kann der die Kassette transportierende Wagen um einen bestimmten Arbeitsplatz beispielsweise mittels der Aufzüge 41 und 39 in der Schleife 7 oder der Aufzüge 37 und 35 in der Schleife 6 und dergleichen umgelenkt werden. Aufgrund der Auslegung der automatisierten Kassettenförderanlage ist es nötig, daß alle Kassetten einen Arbeitsplatz 9 durchlaufen. Hierbei kann es sich um die Lade- und Loop should be processed further. If the answer is yes, the transfer takes place through the transfer station into the processing loop. For example, a given cassette may contain wafers whose processing specification provides that they must be processed further at workstations in loops 3, 5 and 7. Then if the car has a turntable 30 leaves, he walks past a communication point 70, whereupon the central computer receives the license plate number of the car communicated, the routing slip of the platelets in the cassette on the trolley called up and the command given to a turntable 28 will pick up the car, stop and the loop 7 forward. The car is then fed to a turntable 50, a turntable 48 and an elevator 41 a workplace 19 treated further. Then the car runs by elevator 39 to turntable 26. When released from turntable 26, it passes through a communication point 72, and the license plate number of the car is perceived by the central computer and the routing slip is called up and a command is issued to a turntable 24 to let the carriage straight through since the processing step provided in loop 6 'is not necessary. The car then takes its turn after being deflected to the loop 5 by means of a turntable 20, drives past the loop 4 via turntables 16 and 14 and is deflected into loop 3 by means of a turntable 12. On the other hand, should it be for reasons of standing or the It may be necessary in the order that the cassettes are further processed in strict sequence, so on the other hand the carriages can be made to loop through each loop. If a certain process is unnecessary, the person transporting the cassette can Car around a specific workstation, for example by means of elevators 41 and 39 in loop 7 or the elevators 37 and 35 are deflected in the loop 6 and the like. Due to the design of the automated cassette conveyor system it is necessary that all cassettes pass through a work station 9. This can be the charging and

Entladestelle der Anlage handeln oder um eine Stelle für einen Vorbereitungs-Arbeitsschritt, , dem alle HalbleiterplättchenAct unloading point of the system or a point for a preparatory work step, for which all semiconductor wafers

.zu unterziehen sind. Die Arbeitsweise der Drehscheiben T und Aufzüge E wird nachfolgend im Zusammenhang mit Fig. 4 und 8-9 näher erläutert..are to be subjected to. The operation of the turntables T and Elevators E will be discussed below in connection with FIGS. 4 and 8-9 explained in more detail.

Die vom zentralen Rechner 70 für die Verarbeitung von Plättchen in der Anlage gemäß Fig. 1 ermöglichte Steuerung ist so exakt, daß die Laufzettel einzelner Plättchen abgerufen werden können. Wenn z.B. an einer bestimmten Arbeitsstelle, beispielsweise der Arbeitsstelle 13 in Schleife 4 eine bestimmte Kassette ansteht, kann der zentrale Rechner diese erkennen und die Kennzeichen einzelner Plättchen in dieser Kassette entweder in seinem Speicher zur Verfugung haben oder von der Elektronik an Bord ablesen oder an der Kommunikationsstelle ablesen lassen. So ist.es möglich, am Arbeitsplatz 13 gewisse der Plättchen für eine Behandlung zu bezeichnen. Ferner kann jedes Plättchen eine individuell bestimmte Behandlung erhalten, so kann z.B. das Dosierungsniveau in einer Ionenimplantationsvorrichtung auf der Basis der einzelnen Plättchen eingestellt werden. Die Verwirklichung dieses Merkmals wird besonders dadurch erleichtert, daß durch den Boden des die Kassette transportierenden Wagens ohne weiteres Zugang zu einzelnen Plättchen besteht, wie in der gleichzeitig eingereichten Anmeldung P (Anwaltsakte Vl P601 D) beschrieben.The one from the central computer 70 for processing platelets The control made possible in the system according to FIG. 1 is so precise that the routing slips of individual platelets are called up can. If, for example, a specific cassette is present at a specific work place, for example work place 13 in loop 4 pending, the central computer can recognize this and either the identification of individual platelets in this cassette available in its memory or read off by the electronics on board or have it read off at the communication point. It is thus possible to designate certain of the platelets for a treatment at work station 13. Furthermore, everyone can Platelets receive an individually determined treatment, for example the dosage level in an ion implantation device can be adjusted on the basis of the individual platelets will. The implementation of this feature is particularly facilitated by the fact that through the bottom of the transporting the cassette Wagens has no further access to individual platelets, as in the application filed at the same time P (lawyer file Vl P601 D).

Der in Fig. 2 gezeigte zentrale Rechner 70 ist das Herz des bevorzugten Ausführungsbeispiels der automatisierten Kassettenförderanlage gemäß der Erfindung. Bei einfacheren Anlagen imH übersichtlichen Herstellunqseinrichtungen, die keine große Zahl Von Arbeitsplätzen aufweisen oder bei denen es nicht erwünscht ist, individuell zwischen Plättchen in einzelnen Kassetten zu unterscheiden oder deutliche Unterschiede zwischen Kassetten zu machen, braucht nicht unbedingt ein zentraler Rechner vorgesehen zu sein. Eine einfache Anlage könnte z.B. aus einer linearen Tunnelstrecke bestehen, die zwei Arbeitsplätze verbindet, oder aus einer linearen Tunnelstrecke , bei der längs des Tunnels eine Reihe von Arbeitsplätzen an ausgewählten Stellen vorgesehen ist. Bei sehr hochgradiger Integration (VLSI) undThe central computer 70 shown in Fig. 2 is the heart of the preferred embodiment of the automated cassette conveyor system according to the invention. In the case of simpler systems in the H clear manufacturing facilities that do not have a large number Have jobs or where it is not desirable to individually move between platelets in individual cassettes distinguish or make clear differences between cassettes does not necessarily need a central computer to be. A simple system could e.g. consist of a linear tunnel section that connects two workplaces, or from a linear stretch of tunnel in which a series of workplaces are selected along the tunnel Places is provided. With a very high level of integration (VLSI) and

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in stark automatisierten Herstellungsbetrieben ist es jedoch wahrscheinlich, daß es nötig ist, Plättchen individuell behandeln zu können, und daß große Unterschiede zwischen ein- " zelnen Plättchen und Kassetten gemacht werden müssen. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel steht also ein zentraler Rechner mit jedem aktiven Bauelement der Anlage, einschließlich der Wagen in Verbindung. Wie gezeigt, kann der zentrale Rechner 70 Statusdaten von jedem Aufzug 87, 89...91 empfangen und seinerseits jedem Aufzug Betätigungssignale zuleiten. Ebenso kann der zentrale Rechner 70 Statusdaten von jeder Drehscheibe 81, 83...85 empfangen und jeder der Drehscheiben Betätigungssignale zuleiten. Am wichtigsten ist jedoch, daß der zentrale Rechner 70 mit jedem Arbeitsplatz 86, 88....90 aktiv zusammenwirken kann, um Verarbeitungsparameter zu bestimmen und die Plättchen handhabende Vorrichtungen anzuweisen, bestimmte Plättchen aus gekennzeichneten Kassetten auszuwählen, damit sie einer individuellen Behandlung unterzogen werden können. Der Schlüssel für diese individuelle. Behandlung liegt in der Schaffung einer Kennzeichnungseinrichtung an jedem der Wagen 80, 82...84. Jeder Wagen hat an Bord'eine elektronische Ausrüstung mit Speichern, beispielsweise Pestwertspeichern (ROM) oder Direktzugriffspeichern (RAM), die z.B. die Verfahrensgeschichte jedes Plättchens und möglicherweise die Verfahrenserfordernisse für jedes Plättchen enthalten. Wie aus der Zeichnung hervorgeht, liefern Leuchtdio.den 106, 108 und 110 Be-. tätigungsdaten vom zentralen Rechner 70 an jeweils zugeordnetehowever, in highly automated manufacturing operations, it is likely that it will be necessary to treat platelets individually to be able to, and that great differences must be made between individual plates and cassettes preferred embodiment is a central computer with each active component of the system, including the car in connection. As shown, the central computer 70 can receive status data from each elevator 87, 89 ... 91 and in turn, to send actuation signals to each elevator. The central computer 70 can also receive status data from each turntable 81, 83 ... 85 received and each of the turntables to send actuation signals. Most importantly, the central Computer 70 can actively interact with each workstation 86, 88 .... 90 in order to determine processing parameters and the To instruct wafer handling devices to select particular wafers from labeled cassettes they can be subjected to individual treatment. The key to this individual. Treatment lies in the Creation of a marking device on each of the carriages 80, 82 ... 84. Every car has electronic equipment on board with memories, for example pest value memories (ROM) or random access memories (RAM), which e.g. the process history of each chip and possibly the process requirements included for each tile. As can be seen from the drawing, Leuchtdio.den 106, 108 and 110 loading. activity data from the central computer 70 to respectively assigned

Sensoren 100, 102... 104. Dem zentralen Rechner 70 werden die Daten mittels Leuchtdioden 101, 103...105 zugeführt, die Sensoren 107, 109...111 zugeordnet sind.Sensors 100, 102 ... 104. The central computer 70 the data are supplied by means of light-emitting diodes 101, 103 ... 105, the sensors 107, 109 ... 111 are assigned.

Die Kommunikationsmittel könnten aber auch magnetisch sein, wie beispielsweise in der schon erwähnten IBM-Veröffentlichung offenbart. Als Kommunikationsmittel können auch einseitig an den zentralen Rechner geleitete Kennzeichnungsdaten dienen, wie sie ein optischer Leser aus einem an jedem Kassettenwagen vorgesehenen Strichcode liest. Es ist optimal, wenn die Elektronik am Wagen Speichermöglichkeiten an Bord einschließt, soHowever, the means of communication could also be magnetic, as for example in the already mentioned IBM publication disclosed. Identification data sent unilaterally to the central computer can also serve as a means of communication, how an optical reader reads it from a barcode provided on each cassette cart. It is optimal if the electronics includes storage options on board at the car, so

daß detaillierte Angaben vom Wagen selbst mitgenommen werden, wodurch eine zweiseitige Kommunikation möglich wäre.that detailed information is taken from the car itself, whereby two-way communication would be possible.

Der Aufbau einer linearen Strecke eines Ausführungsbeispiels eines in. der automatisierten Kassettenförderanlage gemäß der Erfindung verwendeten Tunnels ist im einzelnen in Fig. 5 dargestellt. Die dreiseitige Konstruktion gemäß diesem Ausführungsbeispiel weist Wände 171, 172 und eine Decke 170 auf. Bei der bevorzugten Arbeitsweise dieses Ausführungsbeispiels ist der Tunnel so ausgerichtet, wie in der Zeichnung dargestellt, wobei sich die Decke 170 parallel zum Boden erstreckt. Damit fällt der durch die Pfeile angedeutete Luftstrom mit der Wirkung der Schwerkraft zusammen und verläuft parallel zur Ebene der in einer Halbleiterkassette 174 enthaltenen Plättchen 175. Unterhalb der Decke 170 ist dieser benachbart ein Gas.raum 169 vorgesehen, der mit einer außen liegenden Gasquelle, typischerweise einer Luftquelle in Verbindung steht. Der Überdruck von dieser außen angeordneten Luftquelle drängt die Luft durch einen HEPA-Filter 173. Solche Filter sind handelsüblich und können z.B. von der HEPA Air Filtration Corporation, Anaheim, Kalifornien 92806 bezogen werden. Die Spezifikation dieser Filter sieht vor, daß sie kein Teilchen oberhalb einer bestimmten Größe durchlassen, z.B. kein Teilchen, das größer ist als 0,5 pm. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel enthält der HEPA-Filter 173 eine große Anzahl von Leitungen, deren Achsen mit der Strömungsrichtung der Luft in den Tunnel ausgerichtet sind. Diese Leitungen haben die Aufgabe, die Luft im Tunnel gleichmäßig zu verteilen und zu der gewünschten laminaren Strömung über die Plättchen beizutragen. Die Pfeile zeigen die Strömung der Luft in den unteren Teil des Tunnels der einen Wagen 176 enthält. Die Luft strömt dann weiter nach unten um den eine Kassette transportierenden Wagen 176 und aus einer Öffnung im Boden 168 des Tunnels heraus. Da diese Strömung im wesentlichen laminar und nicht turbulent ist, können sich keine Teilchen auf den Oberflächen der Plättchen absetzen oder an diesen haften. Folglich werden die in einer üblichen Halbleiterkassette 174 enthaltenen Plättchen 175 kon-The construction of a linear path of an exemplary embodiment of an automated cassette conveyor system according to FIG The tunnel used in the invention is shown in detail in FIG. The three-sided construction according to this embodiment has walls 171, 172 and a ceiling 170. at the preferred mode of operation of this embodiment, the tunnel is oriented as shown in the drawing, the ceiling 170 extending parallel to the floor. The air flow indicated by the arrows thus falls with the effect the force of gravity and runs parallel to the plane of the platelets 175 contained in a semiconductor cassette 174. A gas space 169 is adjacent below the ceiling 170 provided, which is in communication with an external gas source, typically an air source. The overpressure of This externally arranged air source forces the air through a HEPA filter 173. Such filters are commercially available and can for example from HEPA Air Filtration Corporation, Anaheim, California 92806. The specification of this Filters ensure that they do not allow any particle above a certain size to pass through, e.g. no particle that is larger than 0.5 pm. In a preferred embodiment, the HEPA filter 173 includes a large number of lines, their Axes are aligned with the direction of flow of air in the tunnel. These lines have the task of keeping the air inside To distribute the tunnel evenly and to contribute to the desired laminar flow over the platelets. The arrows show the flow of air into the lower part of the tunnel which contains a carriage 176. The air then continues to flow down around the cassette transporting carriage 176 and out of an opening in the floor 168 of the tunnel. Since this flow is essentially laminar and not turbulent, no particles can settle or adhere to the surfaces of the platelets. Consequently, those in a conventional semiconductor cassette 174 contained platelets 175 con-

tinuierlich von Luft einer Reinluftraumqualität umspült. Bei der Förderung durch den Tunnel wird der Wagen-176 längs · Schienen 177, 178 bewegt. Wie aus Fig. 4 und 5 hervorgeht, ist der Tunnel am Boden offen, damit die Luftströmung abgegeben werden kann. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel kann der Boden teilweise beispielsweise durch Prallplatten oder Jalousien geschlossen sein. Hier wird die laminare Strömung über die Kassette und Plättchen aufrecht- und dadurch Verunreinigungsstoffe von der Oberfläche weggehalten, obwohl in'der Nähe der Prallplatten oder Jalousien eine gewisse turbulente Strömung eingeführt werden kann. Ein Merkmal der Erfindung,, durch das die Verunreinigung wirksam.vermindert wird, besteht darin, daß immer eine Komponente der kontinuierlichen Strömung besteht, die parallel zur Oberfläche des Plättchens verläuft. Durch diese parallele Strömungskomponente wird das. Absetzen und Anhaften von Teilchen am Halbleiterplättchen kontinuierlich verhindert. ■continuously flushed with air of a clean air room quality. When conveying through the tunnel, the carriage-176 is longitudinally Rails 177, 178 moved. As can be seen from Figs. 4 and 5, the tunnel at the bottom is open so that the air flow can be released. In another embodiment, can the floor may be partially closed, for example by baffles or blinds. This is where the laminar flow occurs upright via the cassette and platelets and thereby contaminants kept away from the surface, although in'der A certain turbulent flow can be introduced near the baffles or blinds. A feature of the invention, by which the contamination is effectively reduced, consists in that there is always a component of the continuous flow consists, which runs parallel to the surface of the platelet. This parallel flow component causes the settling and continuously preventing particles from adhering to the semiconductor wafer. ■

Als die Kassette transportierender Wagen 176 kann ein Wagen gemäß der schon erwähnten Parallelanmeldung (Anwaltsakte Vl P601 D) benutzt werden. Kurzgesagt ist in dem Körper 167 dieses Wagens eine Öffnung im Boden vorgesehen, die ständig Zugang zu den in der Kassette 174 enthaltenen Plättchen 175 bietet. Der Zugriff kann mit einem Messerschneidenblatt mit VE'E-Schlitz erfolgen, wie durch das gestrichelte Blatt .166 angedeutet. Ein halbzylindrisches lineares Lager 180 ermöglicht es dem Wagen 176, stoßfrei längs der Schiene 178 bewegt zu werden. Ein solches Lager steht von Thomsen Industries, Manhasset, New York 11030 zur Verfügung.As the carriage 176 transporting the cassette, a carriage according to the parallel registration already mentioned (attorney's file Vl P601 D). In short, 167 is in the body This trolley provided an opening in the floor that was permanent Provides access to the platelets 175 contained in the cassette 174. Access can be done with a knife edge blade VE'E slot as indicated by the dashed sheet .166 indicated. A semi-cylindrical linear bearing 180 enables the carriage 176 to move smoothly along the rail 178 will. One such warehouse is available from Thomsen Industries, Manhasset, New York 11030.

Die Welle eines Elektromotors 181 steht mit der Schiene 177 in Berührung,, um den Wagen längs der Schienen 177, 178 voranzutreiben. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die Schienen im Querschnitt zylindrisch, um insbesondere die halb,-zylindrischen linearen Lager aufzunehmen. Durch dieses Zusammenspiel wird eine besonders stoßfreie Beförderung erreicht. Bei dem am meisten bevorzugten Ausführungsbeispiel wird eine außerge-The shaft of an electric motor 181 is in with the rail 177 Touch, to propel the carriage along the rails 177,178. In the preferred embodiment, the rails are cylindrical in cross-section, in particular the semi-cylindrical ones to accommodate linear bearings. This interaction ensures particularly smooth transport. In which most preferred embodiment is an exceptional

wohnlich stabile Wagenbewegung dadurch erzielt, daß die linearen Lager' im Dreieck angeordnet sind, d.h. daß zwei Lager an einer Seite und eines an der anderen angeordnet sind, wobei diese drei Stellen die Ecken eines Dreiecks, vorzugsweise eines gleichseitigen Dreiecks bilden. Um den Wagen noch mehr zu stabilisieren, kann das einzelne Lager an einer Seite einen seitlichen Freiheitsgrad haben, um Entfernungsschwankungen zwischen den Schienen auszugleichen. Ein kontinuierlicher Zug wird über Gummiräder 182, 184 abgegeben, die mittels einer Feder 183 in Anlage an der Schiene 177 gehalten sind. Der Elektromotor 171 wird durch Abzapfen der in den Schienen vorhandenen Elektrizität durch hier nicht gezeigte Kontakte erregt. comfortably stable carriage movement achieved in that the linear Bearings' are arranged in a triangle, i.e. two bearings are arranged on one side and one on the other, where these three places form the corners of a triangle, preferably an equilateral triangle. To make the car even more stabilize, the single bearing on one side can have a lateral degree of freedom to avoid fluctuations in distance balance between the rails. A continuous train is delivered via rubber wheels 182, 184, which by means of a Spring 183 are held in contact with the rail 177. Of the Electric motor 171 is powered by tapping the existing in the rails Electricity excited by contacts not shown here.

Innerhalb einer automatisierten Kassettenförderanlage gemäß der Erfindung ist eine Reihe logischer Umschaltpunkte vorhanden, beispielsweise an den Drehscheiben und Aufzügen. Diese verbinden lineare Tunnelstrecken oder bilden die Schnittstellen zwischen einer linearen Strecke und einem Maschinenteil für die Fertigung von Halbleiterbauelementen. In Fig. 6b ist ein Wagen 200 gezeigt, der sich einer Drehscheibe 201 nähert.. Die Drehscheibe ist nicht so ausgerichtet, daß sie den Wagen aufnehmen kann. Mit einem am Wagen angebrachten Sensor 207 tritt eine ortsfeste optische Einrichtung 209 in Verbindung, um der an Bord des Wagens 200 vorgesehenen Elektronik mitzuteilen, daß der Motor anzuhalten ist,' bis die Drehscheibe sich in richtiger Lage befindet. Wenn die Drehscheibe.ordnungsgemäß ausgerichtet .ist, z.B. auf Befehl von einem zentralen Rechner, so daß sie mit den Enden von Schienen 210, 211 zusammenpaßt, informiert die optische Einrichtung 209 den an Bord vorgesehenen Sensor 207, daß der Wagen weiterlaufen kann. Da- · raufhin wird der Wagen 200 auf Schienen 202, 203 der Drehscheibe 201 verfahren. Fig. 6c zeigt, wie sich der Wagen einer optischen Einrichtung 204 nähert, die der Elektronik an Bord des Wagens über den Sensor 207 befiehlt, den Wagen in der Mitte der Drehscheibe anzuhalten. Anschließend bewegt sich die Drehscheibe zur Laufrichtung des Wagens hin. Daraufhin wirdWithin an automated cassette conveyor system according to the invention there is a series of logical switching points, for example on the turntables and elevators. These connect linear tunnels or form the interfaces between a linear path and a machine part for the manufacture of semiconductor components. In Fig. 6b is a carriage 200 is shown approaching a turntable 201. The turntable is not oriented to engage the carriage can accommodate. A stationary optical device 209 is connected to a sensor 207 attached to the carriage, to notify the electronics on board the carriage 200 to stop the engine until the turntable turns is in the right location. If the turntable is working properly aligned, e.g. on command from a central computer, so that it mates with the ends of rails 210, 211, The optical device 209 informs the sensor 207 provided on board that the car can continue to run. There- · The carriage 200 is then moved on rails 202, 203 of the turntable 201. Fig. 6c shows how the car is a optical device 204 approaches, which commands the electronics on board the car via the sensor 207, the car in the Stop in the middle of the turntable. The turntable then moves towards the direction of travel of the carriage. Then will

"-"3i182A3"-" 3i182A3

- 1/7 -- 1/7 -

r 25-r 25-

demSensor 207 von der optischen Einrichtung 204 mitgeteilt, daß der Wagen weiterbewegt werden sollte. Der Wagen 200 fährt nunmehr auf Schienen 211, 212 in der nächsten Strecke des linearen Tunnels. Wenn der Wagen 200 an einem Sensor 206 vorbeifährt, liefert eine Lichtquelle 208 ein Signal, welches anzeigt, daß der Wagen nunmehr die Drehscheibe verlassen hat, so daß, wenn nötig, der nächste logische Vorgang mit der Drehscheibe vorgenommen werden kann.the sensor 207 is notified by the optical device 204 that the carriage should be moved. The car 200 is moving now on rails 211, 212 in the next stretch of the linear Tunnels. When the carriage 200 passes a sensor 206, a light source 208 provides a signal which indicates that the car has now left the turntable, so that, if necessary, the next logical operation with the turntable can be made.

Ein weiteres Merkmal der in der·automatisierten Kassettenförderanlage gemäß der Erfindung verwendeten Wagen geht aus Fig. 6a hervor. Ein eine Kassette transportierender Wagen 190 könnte möglicherweise mit einem stehenden Wagen 191 zusammenstoßen. Aber es ist eine Lichtquelle 193 vorgesehen, die in Vorwärtsrichtung ein Lichtsignal abgibt, welches von einer an der . Rückseite eines stehenden Wagens 191 vorgesehenen, reflektierenden Oberfläche 192 zurückgeworfen wird. Das reflektierte Licht wird von einem Sensor 194 wahrgenommen. Hierdurch erhält die an Bord des Wagens 190 vorgesehene Elektronik ein Warnsignal, so daß der Wagen innerhalb eines Abstandes anhält, der durch die Empfindlichkeit der Elektronik an Bord des Wagens 190 bestimmt ist.Another feature of the automated cassette conveyor system According to the invention used car goes from Fig. 6a. A cart 190 carrying a cassette could potentially collide with a stationary cart 191. But there is a light source 193 provided which is in the forward direction emits a light signal, which from one to the. Rear of a stationary carriage 191 provided, reflective surface 192 is reflected. That reflected Light is sensed by a sensor 194. This gets the electronics provided on board the car 190 provide a warning signal so that the car will stop within a distance, which is determined by the sensitivity of the electronics on board the cart 190.

Die in Form von Blöcken 80, 82...84 in Fig. 2 gezeigte Elektronik an Bord eines Wagens, deren Funktion teilweise vorstehend beschrieben wurde, ist im einzelnen aus dem Schaltdiagramm gemäß Fig. 10 zu entnehmen. Es werden zwei hauptsächliche Funktionen wahrgenommen. Zunächst muß das von der Lichtquelle 193, z.B. einer Leuchtdiode abgestrahlte Licht von einem Detektor oder Sensor 194 wahrgenommen werden, wenn es von einer reflektierenden Oberfläche 192 des unmittelbar davor befindlichen Wagens reflektiert wird-, damit der Wagen angehalten wird (siehe auch Fig* 6a). Zweitens muß ein PhototransistorThe electronics shown in the form of blocks 80, 82 ... 84 in FIG on board a car, the function of which has been partially described above, is in detail from the circuit diagram in accordance with FIG. 10. There will be two main ones Functions perceived. First of all, the light emitted by the light source 193, for example a light-emitting diode, has to come from a detector or sensor 194 can be sensed when it hits a reflective surface 192 of the one immediately in front of it Car is reflected - so that the car is stopped (see also Fig * 6a). Second must be a phototransistor

208 vorgesehen sein, der Informationen von einer Lichtquelle208 may be provided, the information from a light source

209 empfängt, um die Bewegung des Wagens anzuhalten, wenn dessen Weiterbewegung aufgrund des Zustandes der folgenden Ubergabestationen, z.B. der Drehscheiben oder Aufzüge unsicher209 receives in order to stop the movement of the carriage if its further movement due to the state of the following transfer stations, e.g. turntables or elevators unsafe

Die Funktion, eine Kollision zu verhindern wird von einem Impulsgenerator 250 erfüllt, der die als Lichtquelle 193 benutzte Leuchtdiode pulsierend treibt. Sobald ein zusammenstoß droht, wird das Licht der Leuchtdiode von der reflektierenden Oberfläche 192 des nächsten Wagens nach hinten reflektiert. Der als Sensor 194 vorgesehene Lichtdetektor empfängt dies reflektierte Licht und gibt ein Eingangssignal an einen monostabilen Multivibrator 251 weiter, der einem Schmidt-Trigger 253'ein kontinuierliches Signal zuführt. Das sich ändernde Eingangssignal des Schmidt-Triggers 253 führt zu einem geänderten Ausgangssignal, welches von einem Optoisolator 260 gehalten und zur Basis eines ersten Transistors, eines Darlington-Paares 261 durchgelassen wird. Dadurch wird das Darlington Paar 261 gesperrt, wodurch der Kurzschluß in einer Vierphasenschleife 262 aufgehoben und ein Motor 263 abgeschaltet wird. Der Motor bleibt so lange abgeschaltet, wie der Sensor 194 pulsierendes Licht empfängt und das Ausgangssignal des Schmidt Triggers 253 unverändert bleibt. Wenn der als Sensor 194 vorgesehene Lichtdetektor kein Lichtsignal oberhalb der Empfindlichkeitsschwelle mehr emfpängt, kehrt der Schmidt-Trigger 253 in seinen ursprünglichen Zustand zurück, das Darlington-Paar 261 wird zurückgeschaltet, die Kurzschluß-Vierphasenschleife 262 wird entkoppelt, und der Motor 263 nimmt wieder Betrieb auf, d.h. kehrt in seinen normalen Zustand zurück.The function of preventing a collision is performed by a pulse generator 250 meets, which drives the light-emitting diode used as light source 193 in a pulsating manner. As soon as a collision threatens, the light from the light emitting diode is reflected backwards by the reflective surface 192 of the next car. The light detector provided as sensor 194 receives this reflected light and forwards an input signal to a monostable multivibrator 251, which is a Schmidt trigger 253 'supplies a continuous signal. The changing input signal of the Schmidt trigger 253 leads to a changed one Output signal held by optoisolator 260 and fed to the base of a first transistor, a Darlington pair 261 is allowed through. This blocks the Darlington pair 261, causing the short in a four-phase loop 262 is canceled and a motor 263 is switched off. The engine remains switched off as long as the sensor 194 receives pulsating light and the output signal of the Schmidt trigger 253 remains unchanged. If the sensor 194 provided light detector no light signal above the sensitivity threshold receives more, the Schmidt trigger 253 returns to its original state, the Darlington pair 261 is switched back, the short-circuit four-phase loop 262 is decoupled, and the motor 263 picks up again Operation on, i.e. returns to its normal state.

Die Haltefunktion erfüllt ein monostabiler Multivibrator 251, der Impulse empfängt und in ein kontinuierliches Signal umwandelt. Wenn ein Phototransistor 207 ein Lichtsignal der Lichtquelle 209 wahrnimmt, wird der Schmidt-Trigger 254 umgeschaltet und ein Signal über den Optoisolator 260 an den Eingangstransistor des Darlington-Paares 261 angelegt. Infolgedessen verhindert die vierphasige Kurzschlußschleife 262 den Betrieb des Motors 263. Der Motor 263 bleibt so lange ausgeschaltet, wie ein Lichtsignal von der Lichtquelle 209 empfangen wird. Wenn es sicher ist, den Wagen weiterzuschicken, ver-The holding function is performed by a monostable multivibrator 251, which receives impulses and converts them into a continuous signal. When a phototransistor 207 receives a light signal from the Light source 209 perceives, the Schmidt trigger 254 is switched and a signal via the optoisolator 260 to the input transistor of the Darlington pair 261. As a result, the four-phase shorting loop 262 prevents the Operation of the motor 263. The motor 263 remains switched off as long as a light signal is received from the light source 209 will. When it is safe to send the car on,

- VS -- VS -

. - 27-. - 27-

schwindet das Lichtsignal der Lichtquelle 209, und der Schmidt-Trigger 254 liefert ein Umkehrsignal, um das Darlington-Paar 261 in den ursprünglichen Zustand zurückzuversetzen, wodurch die kurzschließende Vierphasenschleife 262 entkoppelt und der Motor 263 erneut eingeschaltet wird.the light signal of the light source 209 disappears, and the Schmidt trigger 254 provides a reverse signal to restore the Darlington pair 261 to their original state, whereby the short-circuiting four-phase loop 262 is decoupled and the Motor 263 is switched on again.

Der Aufbau einer Drehscheibe ist im einzelnen in Fig. 4 gezeigt. Ein Schrittschaltmotor 156 ist über eine Welle 157 mit einer Drehscheibe 158 verbunden. Eine Schiene wird mittels vertikaler Stützen 161 auf der Drehscheibe 1-58 gehalten, während für die andere vertikale Stützen 162 vorgesehen sind. . Diese Schienen sind mit den Schienen 160 der benachbarten linearen Strecke ausgerichtet aber getrennt von ihnen angebracht. Vorzugsweise sind die im Abstand voneinander liegenden Schienenenden so profiliert, daß zwischen ihnen ein schmaler Spalt besteht, damit die Schienenenden einander nicht stören, wenn die Drehscheibe geschwenkt wird. In Fig. 4 ist der Wagen 176 in einer stationären Steuerposition auf der Drehscheibe 158 dargestellt. Die Drehscheibe ist bis in eine von einem Anschlag 159 begrenzte Stellung gedreht worden. Die Stellung der Drehscheibe wird von magnetischen Zungenschaltern 157, 158 wahrgenommen, die das Ausmaß der Bewegung der Drehscheibe bestätigen. Die Drehscheibe ist in einer Fortsetzung der durch HEPA-Filter gereinigten Umgebung der linearen Strecken aufgenommen, siehe z.B. Fig. 5. So werden die Plättchen kontinuierlich von durch HEPA-Filter geleiteter Luft umspült, die mindestens eine Komponente laminarer Strömung enthält und vorzugsweise parallel zur Oberfläche aller Plättchen fließt.The structure of a turntable is shown in detail in FIG. A stepper motor 156 is connected via a shaft 157 a turntable 158 connected. A rail is held on the turntable 1-58 by means of vertical supports 161 while for the other vertical supports 162 are provided. . These rails are linear with rails 160 of the adjacent ones Line aligned but attached separately from them. The rail ends which are at a distance from one another are preferably profiled so that there is a narrow gap between them so that the rail ends do not interfere with each other when the turntable is pivoted. In FIG. 4, the carriage 176 is in a stationary control position on the turntable 158 shown. The turntable has been rotated up to a position limited by a stop 159. The position of the Turntable is sensed by magnetic reed switches 157, 158 that control the amount of motion of the turntable confirm. The turntable is in a continuation of the HEPA filter-cleaned environment of the linear sections recorded, see e.g. Fig. 5. Thus the platelets become continuous surrounded by air passed through HEPA filters, which contains at least one component of laminar flow and preferably flows parallel to the surface of all platelets.

Die logische Funktion eines Aufzugs ist in Fig. 7a und. 7b gezeigt. In Fig. 7a ist ein Aufzug 223 in Bodenstellung zwischen einem Paar Schienen 225, 226 und einem Paar Schienen 227·, 228 gezeigt. Aufgabe des Aufzugs ist es, einen Wagen 222 zwischen verschiedenen Abschnitten einer horizontalen Bewegungsbahn überzusetzen. Ein Aufzug dient z.B. dazu, einen Wagen über eine Tür, in ein anderes Stockwerk oder über eine Maschine im Herstellungsprozeß zu bewegen. Jeder beliebige Wagen kannThe logical function of an elevator is shown in FIGS. 7a and 7a. 7b shown. In Fig. 7a an elevator 223 is in the ground position between a pair of rails 225, 226 and a pair of rails 227, 228 shown. The task of the elevator is to move a carriage 222 between different sections of a horizontal movement path to translate. An elevator is used, for example, to move a car over a door, to another floor or over a machine in the Move manufacturing process. Any car can

durch den Aufzug fahren und auf dem gleichen Niveau bleiben, wie in Fig. 7a gezeigt, wo ein Wagen 222 auf Schienen 227, 228 fährt, nachdem er die Schienen 225, 226 verlassen hat. Wenn der Aufzug, wie in Fig. 7b gezeigt, zum Heben benutzt wird, ist der Wagen 222 auf einer Plattform des Aufzugs 223 beispielsweise mittels eines Haltesignals einer entsprechend angeordneten Leuchtdiode angehalten worden. Der Aufzug 223 wird mittels zylindrischer linearer Lager (z.B. von Thomsen Industries, Manhasset, New York) längs vertikaler Stangen 220, 221 bewegt. Den vertikalen Antrieb liefert ein Differentialdruckluftzylinder 228, beispielsweise von der Origa Corporation, Elmhurst, Illinois 60126. Wenn der Aufzug 223 das Niveau einer hier nicht gezeigten oberen Schiene erreicht hat, wird der Wagen 223 auf diese Schiene weiterbewegt, falls kein Haltesignal oder ein Signal zum Verhindern eines Zusammenstoßes empfangen wird.ride through the elevator and stay at the same level as shown in Fig. 7a, where a carriage 222 is on rails 227, 228 travels after leaving the rails 225, 226. When the elevator is used for lifting as shown in Fig. 7b is, the carriage 222 is on a platform of the elevator 223, for example by means of a stop signal a corresponding arranged light emitting diode has been stopped. The elevator 223 is supported by cylindrical linear bearings (e.g. from Thomsen Industries, Manhasset, New York) along vertical rods 220, 221. The vertical drive is provided by a differential compressed air cylinder 228, for example from Origa Corporation, Elmhurst, Illinois 60126. When elevator 223 passes level has reached an upper rail, not shown here, the carriage 223 is moved on to this rail, if none Stop signal or a collision avoidance signal is received.

Der Aufbau eines Aufzugs ist im einzelnen in Fig. 8 und 9 gezeigt. Innerhalb eines Druckluftzylinders 228 ist eine L-förmige Konsole 229 an einem schwimmenden Körper befestigt, der sich in' Abhängigkeit von dem Druckunterschied, beispielsweise zwischen dem oberen und unteren Teil des Zylinders nach oben oder unten- bewegt. Gemäß einer Alternative kann auch eineThe construction of an elevator is shown in detail in FIGS. Inside an air cylinder 228 is an L-shaped one Console 229 attached to a floating body, which is dependent on the pressure difference, for example Moved up or down between the upper and lower part of the cylinder. According to an alternative, a

Kugelspindelhebeeinrichtung benutzt werden. Ein schwingungsfreies, waagerechtes Heben und Senken wird mittels zylindrischer, linearer Lager 230, 231, 232 erreicht, die längs vertikaler Stangen 222, 221, 233 bewegbar sind. Um beispielsweise einem gegebenen Wagen ein Haltesignal zu übermitteln, damit er auf dem Aufzug 223 bleibt und nicht in Fortsetzung der linearen Strecke weiterläuft, sind Kommunikationsglieder in Form optischer Einrichtungen 234, 235 vorgesehen. Die hier beschriebenen Tunnel- und Wagenkonstruktionen dienen lediglich als Beispiel. Für den Wagen können unterschiedliche Antriebseinrichtungen und eine andere Gestaltung vorgesehen sein, die es ermöglicht, Zugang zu den Halbleiterplättchen durch den.Boden der Kassette zu erhalten. Beispielsweise kann die Kassette unterhalb des Wagens statt oberhalb desselben ab-'Ball screw jack can be used. A vibration-free, horizontal lifting and lowering is achieved by means of cylindrical, linear bearings 230, 231, 232, which are longitudinally vertical rods 222, 221, 233 are movable. For example, to give a stop signal to a given car, Communication links in the form of optical devices 234, 235 are provided so that it remains on the elevator 223 and does not continue to run in a continuation of the linear route. The tunnel and car constructions described here serve only as an example. For the car can be different Drive means and other configuration may be provided to allow access to the die through the bottom of the cassette. For example, the cassette can be placed below the carriage instead of above it.

· 34182Λ334182Λ3

gestützt sein, ähnlich wie bei der Holzbeförderung, bei denen die Last erfaßt und innerhalb des Fahrzeugrahmens gehalten wird. Die Kassette kann aber auch an der Seite eines Wagens gehalten werden, der an einer Antriebseinrichtung befestigt ist, die längs der Innenseite des Tunnels vorgesehen ist. In beiden Fällen kann der Zugang zu den Plättchen in der Kassette durch den Boden erfolgen. Außerdem können die Gleis-, strecken je nach den Erfordernissen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen gekrümmt oder geneigt sein.be supported, similar to timber transport, where the load is captured and held within the vehicle frame will. However, the cassette can also be held on the side of a carriage which is attached to a drive device which is provided along the inside of the tunnel. In both cases, access to the platelets in the cassette is possible done through the ground. In addition, the track, stretch depending on the requirements in the manufacture of Semiconductor components be curved or inclined.

Claims

Varian Associates, Inc. Vl P602 DVarian Associates, Inc. VI P602 D

Palo Alto, CaI.Palo Alto, CaI.

V.St.A.V.St.A.

Automatisierte KassettenförderanlageAutomated cassette conveyor system

Priorität: 20. Mai 1983 - USA - Serial No. 496 Patentansprüche Priority: May 20, 1983 - USA - Serial No. 496 claims

Automatisierte Kassettenförderanlage, ken zeichnet durchAutomated cassette conveyor system, ken is characterized by

- mindestens eine Tunnelstrecke für den Transport der Kassetten durch den Tunnel in einer Reinluftraum-Umgebung, wobei entlang des Tunnels an einer Seite desselben ein Gasraum vorgesehen und eine Öffnung zur Abgabe des durch den Gasraum eingeführten Gases aus dem Tunnel ausgebildet ist,- At least one tunnel section for the transport of the cassettes through the tunnel in a clean air room environment, wherein A gas space is provided along the tunnel on one side thereof and an opening for the discharge of the through the gas space introduced gas from the tunnel is formed,

- eine in Längsrichtung innerhalb des Tunnels zwischen dem Gasraum und der Öffnung angeordnete Gleiseinrichtung,- a track device arranged in the longitudinal direction within the tunnel between the gas space and the opening,

- und eine Wageneinrichtung, die mit dem Gleis eine Antriebsverbindung hat und zur Aufnahme einer Halbleiterplättchen enthaltenden Kassette geeignet ist.- and a carriage device which has a drive connection with the track and for receiving a semiconductor wafer containing cassette is suitable.

2. Kassettenförderanlage nach Anspruch 1,2. cassette conveyor system according to claim 1,

dadurch gekennzeichnet , daß mit dem Gasraum eine Quelle für Gas von Reinluftraumqualität verbunden ist.characterized in that with the gas space is connected to a source of clean air room quality gas.

3. Kassettenförderanlage nach Anspruch 1,3. Cassette conveyor system according to claim 1,

dadurch gekennzeichnet , daß dem Gasraum eine Einrichtung zugeordnet ist, die in der Tunnelstrecke einen positiven Gasdruck aufrechterhält.characterized in that a device is assigned to the gas space which has a maintains positive gas pressure.

4. Kassettenförderanlage nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß der Wagen die4. cassette conveyor system according to claim 3, characterized in that the carriage the

_"₂ _ ■ 34182A3 _ " ₂ _ ■ 34182A3

Kassette in lösbarem-befestigbarem Verhältnis aufnimmt.Receives cassette in a releasable-attachable ratio.

5. Kassettenförderanlage nach Anspruch 1,5. cassette conveyor system according to claim 1,

dadurch gekennzeichnet , daß in Längsrichtung innerhalb der Tunnelstrecke zwischen dem Gasraum und der Gleiseinrichtung ein HEPA-Filter angeordnet ist, durch den dem Gasraum Gas in Reinluftraumqualität in laminarer Strömung über den Wagen und die in der Kassette enthaltenen Plättchen zuführbar ist.characterized in that in the longitudinal direction within the tunnel section between the gas space and the A HEPA filter is arranged on the track through which the gas space is provided with gas in clean air quality in a laminar flow can be fed via the carriage and the platelets contained in the cassette.

6. Kassettenförderanlage nach Anspruch 5,·6. Cassette conveyor system according to claim 5, ·

dadurch gekennzeichnet , daß die Kassetten die Plättchen aufrecht und parallel ausgerichtet abstützen.characterized in that the cassettes the Support the platelets upright and aligned parallel.

7.. Kassettenförderanlage nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet , daß der HEPA-Filter zahlreiche Leitungen aufweist, deren Achsen im wesentlichen mit den Ebenen der Plättchen ausgerichtet sind.7 .. cassette conveyor system according to claim 6, characterized in that the HEPA filter has numerous lines, the axes of which are substantially aligned with the planes of the platelets.

8. Kassettenförderanlage nach Anspruch 5,8. cassette conveyor system according to claim 5,

dadurch gekennzeichnet , daß die Wageneinrichtung durch den Boden der Kassette mindestens längs eines Teils der Länge des Gleises Zugang zu den Plättchen bietet.characterized in that the carriage means through the bottom of the cassette along at least one Part of the length of the track provides access to the tiles.

9. Kassettenförderanlage nach Anspruch 8,9. cassette conveyor system according to claim 8,

dadurch gekennzeichnet , daß die Öffnung dem HEPA-Filter gegenüber angeordnet ist.characterized in that the opening is arranged opposite the HEPA filter.

10. Kassettenförderanlage nach Anspruch 9,10. cassette conveyor system according to claim 9,

dadurch gekennzeichnet , daß die Kassette an der Oberseite der Wageneinrichtung lösbar befestigbar ist, wodurch die Plättchen parallel zur Richtung der positiven Gasströmung ausrichtbar sind.characterized in that the cassette is releasably attachable to the top of the carriage device, whereby the platelets can be aligned parallel to the direction of the positive gas flow.

11. Kassettenförderanlage nach Anspruch 8,11. cassette conveyor system according to claim 8,

dadurch ■ gekennzeichnet , daß die Kassete an der Unterseite der Wageneinrichtung lösbar befestigbar ist.characterized in that the cassette can be releasably attached to the underside of the carriage device.

12. Kassettenförderanlage.nach Anspruch 8,12. Cassette conveyor system.according to claim 8,

dadurch gekennzeichnet , daß die Kassette an der Seite des Wagens lösbar befestigbar ist.characterized in that the cassette is releasably attachable to the side of the carriage.

13. Kassettenförderanlage nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet , daß die Wageneinrichtung an Bord elektronische Schaltungen aufweist, die Kollisionsverhinderungs- und Haltefunktionen umfassen.13. Cassette conveyor system according to claim 10, characterized in that the car device has electronic circuits on board, the collision avoidance and hold functions.

14. Kassettenförderanlage nach Anspruch 13,. dadurch gekennzeichnet , daß die Schaltungen •an Bord Speichereinrichtungen zum Aufzeichnen von ■Verarbeitungsspezifikationen und Verarbeitungsgeschichte aufweisen.14. Cassette conveyor system according to claim 13 ,. characterized in that the circuits • on board memory devices for recording ■ processing specifications and processing history.

15. Kassettenförderanlage nach Anspruch 8, . dadurch gekennzeichnet , daß ein zentraler Rechner vorgesehen ist, der Ubergabesta/tionen innerhalb der Anlage steuert und Verarbeitungsinformationen für Arbeitsplätze innerhalb der Anlage speichert.15. Cassette conveyor system according to claim 8,. characterized in that a central computer is provided, the transfer stations within the Plant controls and stores processing information for workplaces within the plant.

16. Kassettenförderanlage nach Anspruch 15,16. Cassette conveyor system according to claim 15,

dadurch gekennzeichnet , daß Kommunikationsglieder vorgesehen sind, die eine Verbindung zwischen dem zentralen Rechner und einzelnen Wagen herstellen. ·characterized in that communication links are provided which establish a connection between the manufacture central computer and individual car. ·

17. Kassettenförderanlage nach Anspruch 15,17. Cassette conveyor system according to claim 15,

dadurch gekennzeichnet , daß die Ubergabestationen Drehscheiben aufweisen, die an ein Ende der mindestens einen Tunnelstrecke angrenzen und ein Gleis aufweisen, welches an die Gleiseinrichtung in der mindestens einen linearen Strecke paßt, wenn die Drehscheibe so gedreht ist., daß sie einen Wagen von der mindestens einen linearen Strecke aufnimmt, wobei die Drehscheibe eine Fortsetzung des Tunnels bildet, so daß ein Wagen auf der Drehscheibe auf seinem Weg von der linearen Strecke über die Drehscheibe kontinuierlich von Luft in Reinluftraumqualität umströmt wird.characterized in that the transfer stations Have turntables that adjoin one end of the at least one tunnel section and have a track, which fits the track facility in the at least one linear distance when the turntable is rotated so that it picks up a carriage from the at least one linear route, the turntable forming a continuation of the tunnel, so that a carriage on the turntable on its way from the linear distance over the turntable continuously of air is flowed around in clean air room quality.

18. Kassettenförderanlage nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet , daß die Übergabe-Stationen Aufzüge aufweisen, die an ein Ende der mindestens einen Tunnelstrecke angrenzen und eine Fortsetzung der Tunnelstrecke bilden, so daß ein Wagen innerhalb des Aufzugs bei seiner übergabe von der mindestens einen linearen Tunnelstrecke kontinuierlich von Luft in Reinluftraumqualität umspült wird.18. Cassette conveyor system according to claim 15, characterized in that the transfer stations have elevators at one end of the at least Adjacent a tunnel section and form a continuation of the tunnel section so that a car is inside the elevator upon handover of the at least one linear tunnel section continuously flushed with air in clean air room quality will.

19. · Kassettenforderanlage nach Anspruch 13,19. Cassette conveyor system according to claim 13,

dadurch gekennzeichnet , daß die Gleiseinrichtung elektrifizierte Schienen aufweist, und daß der Wagen einen Elektromotor zum Selbstantrieb des Wagens längs der Schienen in Abhängigkeit von Betätigungssignalen der an Bord vorgesehenen elektronischen Schaltung aufweist.characterized in that the track device comprises electrified rails, and that the carriage has a Electric motor for self-propulsion of the car along the rails depending on the actuation signals provided on board having electronic circuit.

20. Kassettenforderanlage nach Anspruch 19,20. Cassette conveyor system according to claim 19,

dadurch gekennzeichnet , daß die Schienen ein Schienenpaar aufweisen, und daß der Wagen auf halbzylindrischen, linearen Lagern auf den Schienen verfahrbar ist, die ohne weiteres eine Entnahme des Wagens von den Schienen ermöglichen. characterized in that the rails have a pair of rails, and that the carriage on semi-cylindrical, linear bearings can be moved on the rails, which allow the carriage to be easily removed from the rails.

21. Kassettenforderanlage nach Anspruch 16,21. Cassette conveyor system according to claim 16,

dadurch gekennzeichnet , daß mit der mindestens einen Tunnelstrecke oder einer der Ubergabestationen einecharacterized in that with the at least one tunnel section or one of the transfer stations one

Einrichtung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen verbunden ist.Device for the manufacture of semiconductor components is connected.

22. Kassettenforderanlage nach Anspruch 9,22. Cassette conveyor according to claim 9,

dadurch gekennzeichnet , daß in der Nähe des Endes der mindestens einen Tunnelstrecke ein modulartiger Reinluftraum angeordnet ist, der das Einführen und Entnehmen von Kassetten aus der Kassettenforderanlage ermöglicht.characterized in that in the vicinity of the end of the at least one tunnel section a modular Clean air room is arranged, which enables the insertion and removal of cassettes from the cassette conveyor.

23. Kassettenforderanlage nach Anspruch 9,23. Cassette conveyor system according to claim 9,

dadurch gekennzeichnet , daß in der mindestenscharacterized in that in the at least

einen linearen Tunnelstrecke eine Teilchenmeßanordnung vorgesehen ist.A particle measuring arrangement is provided in a linear tunnel section.

24. . Anlage zum Fördern einer Plättchen enthaltenden Kassetteneinrichtung unter Filterluftbedingungen, gekenzeichnet durch24.. System for conveying a cassette device containing platelets under filter air conditions, marked by

- eine Einrichtung, die eine Gleisstrecke für die Bewegung der Kassetteneinrichtung bestimmt, wobei Plättchen insgesamt aufrecht im Verhältnis zu der Gleisstrecke ausgerichtet sind,- A device which determines a track for the movement of the cassette device, with platelets as a whole are aligned upright in relation to the track,

- einen Durchlaßabschnitt, der die Gleisstrecke mindestens teilweise umschließt,- a passage section which at least partially encloses the track section,

- eine Einrichtung, die mit dem Durchlaß so zusammenwirkt, daß sie eine insgesamt laminare Gasströmung um die Gleisstrecke in den Raum erzeugt, wobei die Gasströmung eine Komponente parallel zur Oberfläche der Plättchen aufweist,- A device which cooperates with the passage so that it has a total of laminar gas flow around the track generated in the space, the gas flow having a component parallel to the surface of the platelets,

- eine Einrichtung, die mit der Einrichtung für die laminare Luftströmung so zusammenwirkt, daß sie die in' den Raum um die Gleisstrecke .strömende Luft filtert, wobei die Plättchen durch den Durchlaß förderbar sind, während sie nur von gefilterter Luft umströmt werden, die eine Luftströmungskomponente parallel zu den Plättchen enthält.- A device that cooperates with the device for the laminar air flow so that they in 'the space around the The track. Air flowing through the track is filtered, whereby the platelets can be conveyed through the passage, while they are only filtered by Air is flowed around it, which contains an air flow component parallel to the platelets.

25. Anlage nach Anspruch 20,25. Plant according to claim 20,

dadurch gekennzeichnet , daß der Durchlaßabschnitt mit einer Gleisstreckeneingangs- und Gleisstreckenausgangsöffnung und zusätzlich mit Entlüftungsöffnungen versehen ist, die die laminare Gasströmung fördern.characterized in that the passage section with a track entry and track exit opening and additionally provided with ventilation openings that promote the laminar gas flow.

26. Anlage nach Anspruch 20, .26. Plant according to claim 20,.

dadurch gekennzeichnet , daß der Durchlaßabschnitt mit Gleisstreckeneingangs-, Gleisstreckenausgangsund Gasauslaßöffnungen versehen ist, aber ansonsten die Gleisstrecke vollkommen umhüllt.characterized in that the passage section is provided with track entry, track exit and gas outlet openings, but otherwise the track completely enveloped.

27. Anlage nach Anspruch 20,27. Plant according to claim 20,

dadurch gekennzeichnet , daß der Durchlaßabschnitt in Richtung der Gleisstrecke langgestreckt ist.characterized in that the passage section is elongated in the direction of the track section.

28. Anlage, nach Anspruch 21 oder 22,28. Plant according to claim 21 or 22,

dadurch gekennzeichnet , daß die Gleisstrecken* eingangs- und Gleisstreckenausgangsöffnungen an Arbeitsplätzen für die Weiterverarbeitung der Plättchen enden.characterized in that the track sections * Entrance and track exit openings at workplaces for further processing of the platelets.

29. Anlage nach Anspruch 20,29. Plant according to claim 20,

dadurch gek.ennz. eichnet , daß die Einrichtung zur Erzeugung der Luftströmung einen positiven Luftdruck innerhalb des Raums um die Gleisstrecke erzeugt.thereby marked. calibrates the facility creates a positive air pressure within the space around the track to generate the air flow.

30. Anlage nach Anspruch 20,30. Plant according to claim 20,

dadurch gekennzeichnet , daß der Durchlaßabschnitt an seiner Unterseite offen ist, um Zugang zur Gleisstrecke von unten zu bieten, aber ansonsten die Gleisstrecke an allen übrigen Seiten umschließt.characterized in that the passage section is open at its bottom to provide access to the track from below, but otherwise encloses the track on all other sides.

31. . Anlage nach Anspruch 20,31. System according to claim 20,

dadurch gekennzeichnet , daß die die Plättchen enthaltende Kassetteneinrichtung einen Wagen und eine abnehmbare Kassette aufweist, wobei der Wagen die Kassette abstützt und auf den Schienen verfahrbar und mit Öffnung versehen ist, durch die von unterhalb des Gleises Zugang zu den Plättchen ermöglicht ist.characterized in that the cartridge device containing the wafers comprises a carriage and a having removable cassette, the carriage supporting the cassette and is movable on the rails and provided with an opening through which access to the from below the track Platelet is enabled.

32. Anlage nach Anspruch 27,32. System according to claim 27,

dadurch gekennzeichnet , daß unterhalb der Gleisstrecke eine Blatteinrichtung angeordnet ist, die in Querrichtung zur Gleisstrecke so betätigbar ist, daß sie mit einzelnen Plättchen von unten in Eingriff tritt und diese zur Weiterverarbeitung in die Kassetteneinrichtung und aus der Kassetteneinrichtung bewegt.characterized in that a blade device is arranged below the track, which in Transverse direction to the track can be operated so that it engages with individual platelets from below and these to Further processing in the cassette device and moved out of the cassette device.

33. Anlage für die Förderung von Plättchen, die nebeneinander innerhalb Kassetten abgestützt sind, welche Zugang zu den Plättchen von oberhalb und unterhalb ermöglichen, unter Reinluf traumb.edingungen,33. System for the promotion of platelets, which are supported next to each other within cassettes, which access to enable the platelets from above and below, under pure air dream conditions,

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- mindestens eine axial langgestreckte Umhüllung/ die den Durchlaß der Kassetten in axialer Richtung ermöglicht und an einer Seite mindestens eine Öffnung aufweist,- At least one axially elongated envelope / the Permits passage of the cassettes in the axial direction and has at least one opening on one side,

- eine Einrichtung, die einen positiven Gasdruck und -strömung durch mindestens einen beträchtlichen Raumanteil der Umhüllung erzeugt, wobei die Luftströmung mindestens eine Komponente quer zur Achse der Umhüllung aufweist,- A device that provides a positive gas pressure and flow through at least a substantial amount of space in the envelope generated, the air flow having at least one component transverse to the axis of the envelope,

- eine Einrichtung, die von außerhalb des Raumes in die Einrichtung zürn Erzeugen des positiven Gasdrucks strömendes Gas filtert,- a facility that enters the Device for generating the positive gas pressure filters flowing gas,

- eine Gleisstreckeneinrichtung, die sich axial durch die Umhüllung erstreckt, - a track facility extending axially through the envelope,

- eine Wageneinrichtung, die mit der Gleisstrecke in Eingriff steht und längs der Gleisstrecke innerhalb des Rauminhalts bewegbar und ferner geeignet ist, mindestens eine der Kassetten abzustützen, wobei die Wageneinrichtung mit Öffnung versehen ist, um Zugang zu den Plättchen von unten zu bieten,a carriage device which engages with the track and is movable along the track within the space and further adapted to support at least one of the cassettes, the carriage means being provided with an opening is to provide access to the platelets from below,

- und eine Blatteinrichtung, die mit der seitlichen Öffnung, des Durchlasses ausgerichtet ist und in den Ebenen der Plättchenauf- und abwärts bewegbar ist, um mit den Plättchen .durch die Öffnung im Wagen in Eingriff zu treten und nacheinander einzelne Plättchen anzuheben und abzusenken, um eine individuelle Weiterverarbeitung jedes Plättchens zu ermöglichen, wodurch eine Vielzahl von Plättchen transportierbar ist und Zugang zu einzelnen Plättchen und deren Weiterverarbeitung ermöglicht ist, alles unter Reinluftraumbedingungen unabhängig von der Umgebungsluft.- and a sheet device, which with the side opening, of the passage is aligned and in the planes of the platelet and is downwardly movable to engage the platelets through the opening in the carriage and sequentially to raise and lower individual platelets in order to enable individual further processing of each platelet, whereby a large number of platelets can be transported and access to individual platelets and their further processing is possible, all independently under clean air room conditions from the ambient air.

34. Anlage nach Anspruch 29,34. System according to claim 29,

dadurch gekennzeichnet , daß die Einrichtung zum Filtern einen HEPA-Filter aufweist.characterized in that the device has a HEPA filter for filtering.

35. Anlage nach Anspruch 30,35. System according to claim 30,

dadurch gekennzeichnet , daß die Gleisstreckeneinrichtung ein Paar im Abstand voneinander angeordneter Schienen für die Aufnahme des Wagens aufweist.characterized in that the track section device comprises a pair of spaced apart rails for receiving the carriage.

36. Anlage nach Anspruch 31,36. System according to claim 31,

dadurch gekennzeichnet , daß eine Einrichtung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen so angeordnet ist., daß sie die von der Blatteinrichtung angehobenen Plättchen aufnimmt.characterized in that a device for the manufacture of semiconductor components is so arranged is. That it receives the platelets lifted by the sheet device.

37. Anlage nach Anspruch 32,37. System according to claim 32,

dadurch. gekennzeichnet , daß die Einrichtung, die einen positiven Gasdruck und eine positive Gasströmung erzeugt, eine Einrichtung aufweist, die eine laminare Luftströmung durch den Raum insgesamt parallel zu der Kassette und den Plättchen erzeugt.through this. characterized that the facility, which creates a positive gas pressure and a positive gas flow, means for a laminar flow of air through the space generally parallel to the cassette and generated the platelets.

38. Anlage nach Anspruch 36,38. System according to claim 36,

dadurch gekennzeichnet , daß die Einrichtung, die die laminare Strömung erzeugt, einen HEPA-Filter aufweist, der Leitungen umfaßt, deren Achsen im wesentlichen mit den Ebenen der Plättchen ausgerichtet sind.characterized in that the device which generates the laminar flow comprises a HEPA filter, comprising conduits whose axes are substantially aligned with the planes of the platelets.