FR2415348A1 - Procede et dispositif pour la correction des aberrations provoquees par deviation dans un appareil a rayonnement corpusculaire - Google Patents

Procede et dispositif pour la correction des aberrations provoquees par deviation dans un appareil a rayonnement corpusculaire

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FR2415348A1 FR7901658A FR7901658A FR2415348A1 FR 2415348 A1 FR2415348 A1 FR 2415348A1 FR 7901658 A FR7901658 A FR 7901658A FR 7901658 A FR7901658 A FR 7901658A FR 2415348 A1 FR2415348 A1 FR 2415348A1
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Abstract

Procédé et dispositif pour la correction des aberrations dues à la déviation dans un appareil à rayonnement corpusculaire dans lequel une section de rayonnement limitée par des diaphragmes est représentée sur un plan cible et y est dévié sur un endroit déterminé d'un champ de travail, la défocalisation due à la déviation étant compensée dynamiquement par une lentille de focalisation. De l'aberration chromatique et de la coma dues à la déviation sont éliminées par réglage d'un système déviateur à plusieurs étages comprenant deux ensembles de moyens de déviation tandis que l'astigmatisme du premier ensemble de moyens de déviation est compensé par celui du second et la distorsion provoquée par les deux ensembles de moyens de déviation est compensée par la lentille de focalisation. L'invention est applicable entre autres à la fabrication de composants micro-électroniques.
FR7901658A 1978-01-24 1979-01-23 Procede et dispositif pour la correction des aberrations provoquees par deviation dans un appareil a rayonnement corpusculaire Granted FR2415348A1 (fr)

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DD20337678A DD135311A1 (de) 1978-01-24 1978-01-24 Verfahren und einrichtung zur korrektur der ablenkaberrationen in einem korpuskularstrahlgeraet

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0175933A1 (fr) * 1984-09-21 1986-04-02 Siemens Aktiengesellschaft Système de lentilles à balayage sans défauts chromatiques de déviation pour traitement de matériaux par faisceaux corpusculaires
US8405045B2 (en) 2010-12-03 2013-03-26 Carl Zeiss Nts Gmbh Particle beam device with deflection system

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0175933A1 (fr) * 1984-09-21 1986-04-02 Siemens Aktiengesellschaft Système de lentilles à balayage sans défauts chromatiques de déviation pour traitement de matériaux par faisceaux corpusculaires
US8405045B2 (en) 2010-12-03 2013-03-26 Carl Zeiss Nts Gmbh Particle beam device with deflection system

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FR2415348B1 (fr) 1984-10-12
DE2901426A1 (de) 1979-07-26

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