FI90050C - Produkt med hoeg genomslaepplighet och liten emissionsfoermaoga och foerfarande foer dess framstaellning - Google Patents
Produkt med hoeg genomslaepplighet och liten emissionsfoermaoga och foerfarande foer dess framstaellning Download PDFInfo
- Publication number
- FI90050C FI90050C FI865262A FI865262A FI90050C FI 90050 C FI90050 C FI 90050C FI 865262 A FI865262 A FI 865262A FI 865262 A FI865262 A FI 865262A FI 90050 C FI90050 C FI 90050C
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- film
- metal
- oxide
- reflection
- deposited
- Prior art date
Links
- 230000035699 permeability Effects 0.000 title claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 50
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 50
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 45
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 45
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 28
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 26
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 24
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 23
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 16
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 15
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 claims description 15
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 12
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 10
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 6
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 claims description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 claims 12
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 claims 5
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 55
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 24
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 14
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 12
- BNEMLSQAJOPTGK-UHFFFAOYSA-N zinc;dioxido(oxo)tin Chemical compound [Zn+2].[O-][Sn]([O-])=O BNEMLSQAJOPTGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 9
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical group [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 6
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 5
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003107 Zn2SnO4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 2
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 2
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- -1 titanium metals Chemical class 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000979 O alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- CSBHIHQQSASAFO-UHFFFAOYSA-N [Cd].[Sn] Chemical compound [Cd].[Sn] CSBHIHQQSASAFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N [O].[Ar] Chemical compound [O].[Ar] VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000012267 brine Substances 0.000 description 1
- BEQNOZDXPONEMR-UHFFFAOYSA-N cadmium;oxotin Chemical compound [Cd].[Sn]=O BEQNOZDXPONEMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003251 chemically resistant material Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 239000003256 environmental substance Substances 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M sodium;chloride;hydrate Chemical compound O.[Na+].[Cl-] HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N sulfur monoxide Chemical class S=O XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052815 sulfur oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3613—Coatings of type glass/inorganic compound/metal/inorganic compound/metal/other
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
- C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/18—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
- G02B1/116—Multilayers including electrically conducting layers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/14—Protective coatings, e.g. hard coatings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/208—Filters for use with infrared or ultraviolet radiation, e.g. for separating visible light from infrared and/or ultraviolet radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/73—Anti-reflective coatings with specific characteristics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/78—Coatings specially designed to be durable, e.g. scratch-resistant
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12597—Noncrystalline silica or noncrystalline plural-oxide component [e.g., glass, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12597—Noncrystalline silica or noncrystalline plural-oxide component [e.g., glass, etc.]
- Y10T428/12604—Film [e.g., glaze, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12611—Oxide-containing component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12611—Oxide-containing component
- Y10T428/12618—Plural oxides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Materials For Medical Uses (AREA)
- Chemical Treatment Of Metals (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Description
Suuren läpäisevyyden ja pienen emissiokyvyn omaava tuote ja menetelmä sen valmistamiseksi 1 90050 Tämä keksintö koskee yleisesti metallioksidikalvo-5 jen katodisputteroinnin alaa ja tarkemmin sanoen metallin ja metallioksidin monikerroskalvojen magneettisen sputte-roinnin alaa.
US-patentissa n:o 4 094 763, myönnetty nimellä Gillery et ai., esitetään läpinäkyvien, sähköä johtavien 10 tuotteiden valmistus katodisputteroimalla metalleja, kuten tinaa ja indiumia, tulenkestoisille alustoille, kuten lasille yli 204 °C:n lämpötilassa matalapaineisessa atmosfäärissä, joka sisältää säädetyn määrän happea.
US-patentissa n:o 4 113 599, myönnetty nimellä 15 Gillery, selostetaan katodisputterointitekniikkaa indium- oksidin reaktiiviseksi kerrostamiseksi, jolloin tässä tekniikassa hapen virtausnopeus säädetään vakiopurkausvirran ylläpitämiseksi samalla, kun argonin virtausnopeus säädetään vakiopaineen ylläpitämiseksi sputterointikammiossa. 20 US-patentissa n:o 4 166 018, myönnetty nimellä . . Chapin, kuvataan sputterointilaitteistoa, jossa magneetti kenttä on muodostettu tasomaisen sputterointipinnan viereen, jolloin kenttä käsittää magneettivuon kaartuvat viivat sputterointipinnalla olevan suljetun silmukan eroosio-•25 alueen yli.
US-patentissa n:o 4 201 649, myönnetty nimellä Gillery, esitetään menetelmä pienivastuksisten ohuiden indiumoksidikalvojen valmistamiseksi kerrostamalla ensin hyvin ohut pohjustuskerros indiumoksidia matalassa lämpö-: 30 tilassa ennen alustan kuumentamista indiumoksidia olevan, johtavan kerroksen paksuuden pääosan kerrostamiseksi kato-disputteroinnilla tyypillisesti korkeissa katodisputte-rointilämpötiloissa.
US-patentissa n:o 4 327 967, myönnetty nimellä .35 Groth, selostetaan lämpöä heijastavaa levyä, jolla on neutraalinvärinen ulkonäkö ja joka käsittää lasilevyn, in- 2 90050 terferenssikalvon, jonka taitekerroin on yli 2 lasin pinnalla, lämpöä heijastavan kultakaivon interferenssikalvon päällä ja kromia, rautaa, nikkeliä, titaania tai niiden lejeerinkejä olevan neutralointikalvon kultakaivon päällä.
5 US-patentissa n:o 4 349 425, myönnetty nimillä
Miyake et ai., selostetaan kadmium-tinalejeerinkien tasa-virtareaktiivista sputterointia argon-happiseoksissa kad-mium-tinaoksidikalvojen muodostamiseksi, joilla on alhainen sähköinen resistiivisyys ja hyvä optinen läpinäkyvyys. 10 US-patentissa n:o 4 462 883, myönnetty nimellä
Hart, selostetaan alhaisen emissiokyvyn pinnoitetta, joka on valmistettu katodisputteroimalla kerros hopeaa, pieni määrä muuta metallia kuin hopeaa ja heijastumista estävä kerros metallioksidia läpinäkyvälle alustalle, kuten la-15 sille. Heijastumista estävä kerros voi olla tinaoksidia, titaanioksidia, sinkkioksidia, indiumoksidia, vismuttiok-sidia tai sirkoniumoksidia.
Reissue-patentissa n:o 27 473, myönnetty nimellä Mauer, esitetään monikerroksinen, läpinäkyvä tuote, joka 20 koostuu ohuesta kulta- tai kuparikerroksesta kerrostettuna kahden kerroksen väliin, jotka ovat läpinäkyvää materiaalia, kuten eri metalleja, titaanioksidia, lyijyoksidia tai vismuttioksidia.
Mielenkiinnon kohdistuessa kaksilasisten ikkunayk-25 siköiden energiahyötysuhteen parantamiseen on toivottavaa saada aikaan toiselle lasipinnoista pinnoite, joka parantaa yksikön eristyskykyä pienentämällä säteilylämmönsiirtoa. Pinnoitteella on tämän vuoksi oltava alhainen emis-siokyky säteilyspektrin infrapuna-aallonpituusalueella. 30 Käytännön syistä pinnoitteella on oltava suuri läpäisevyys näkyvällä aallonpituusalueella. Esteettisistä syistä pinnoitteella tulee olla alhainen valonheijastavuus ja sen • tulee edullisesti olla oleellisesti väritön.
Kuten edellä esitettiin, suuren läpäisevyyden ja 35 pienen emissiokyvyn omaavat pinnoitteet käsittävät yleensä li 3 90050 ohuen metallikerroksen infrapunasäteilyn heijastamiseksi ja pientä emissiokykyä varten, jolloin kerros on kerrostettu sähköä eristävien metallioksidikerrosten väliin näkyvän valon heijastavuuden pienentämiseksi. Nämä moniker-5 roskalvot valmistetaan tyypillisesti katodisputteroimalla, erityisesti magnetronisputteroinnilla. Metallikerros voi olla kultaa tai kuparia, mutta yleensä se on hopeaa. Tekniikassa aikaisemmin kuvattuja metallioksidikerroksia ovat tinaoksidi, indiumoksidi, titaanioksidi, vismuttioksidi, 10 sinkkioksidi, sirkoniumoksidi ja lyijyoksidi. Joissakin tapauksissa näihin oksideihin sisältyy pieniä määriä muita metalleja, kuten mangaania vismuttioksidissa, indiumia tinaoksidissa, ja päinvastoin tiettyjen haittojen, kuten huonon kestävyyden tai marginaalisen emissiokyvyn voitta-15 miseksi. Näillä kaikilla metallioksideilla on kuitenkin joitakin heikkouksia.
Vaikka pinnoitetta voidaan pitää käytössä kaksila-sisen ikkunayksikön sisäpinnalla, jossa se on suojassa osatekijöiltä ja ympäristön aineilta, jotka aiheuttaisivat 20 sen hajoamista, kestävä, tehokas pinnoite, joka kykenee kestämään käsittelyä, pakkausta, pesua ja muita käsittelyprosesseja, joita esiintyy valmistuksen ja asennuksen välillä, on erityisen toivottava. Näitä ominaisuuksia on etsitty metallioksidista. Kuitenkin kovuuden, joka aikaansaa Ϊ 25 mekaanista kestävyyttä, inerttisyyden, joka aikaansaa kemiallista kestävyyttä, ja hyvän tartunnan lisäksi sekä lasiin että metallikerrokseen, metallioksidilla tulee olla myös seuraavat ominaisuudet.
Metallioksidilla tulee olla kohtuullisen korkeatai-30 tekerroin, edullisesti yli 2,0, metallikerroksen heijastuksen pienentämiseksi ja näin ollen pinnoitetun tuotteen läpäisevyyden parantamiseksi. Metallioksidilla tulee olla mahdollisimman pieni absorptio pinnoitetun tuotteen läpäisevyyden maksimoimiseksi. Kaupallisista syistä metalli-. . 35 oksidin tulee olla kohtuuhintainen, sillä tulee olla suh- 4 90050 teellisen suuri kerrostusnopeus magnetronisputteroinnilla ja sen tulee olla myrkytön.
Ehkä metallioksidikalvon tärkeimpiä ja vaikeimmin täytettäviä vaatimuksia ovat sen vuorovaikutukset metalli-5 kalvon kanssa. Metallioksidikalvolla on oltava pieni huokoisuus alla olevan metallikalvon suojaamiseksi ulkopuolisilta aineilta ja pieni diffundoituvuus metallin suhteen eri kerrosten- yhtenäisyyden ylläpitämiseksi. Lopuksi ja ennen kaikkea metallioksidin on saatava aikaan hyvä 10 ytimenmuodostuspinta metallikerroksen kerrostumiselle niin, että voidaan kerrostaa jatkuva metallikalvo, jolla on minimivastus ja maksimiläpäisevyys. Jatkuvien ja epäjatkuvien hopeakalvojen ominaisuuksia on kuvattu US-paten-tissa n:o 4 462 884, myönnetty nimillä Gillery et ai., 15 jotka liitetään tähän viitteenä.
Yleisessä käytössä olevista monikerroksisista me-tallioksidikalvoista sinkkioksidia ja vismuttioksidia sisältävät kalvot eivät ole riittävän kestäviä, sillä nämä oksidit liukenevat sekä happamiin että emäksisiin ainei-20 siin, jolloin monikerroskalvo hajoaa sormenjälkien vaikutuksesta ja tuhoutuu suola-, rikkioksidi- ja kosteusko-keissa. Indiumoksidi, joka on edullisesti seostettu tinalla, on kestävämpi ja alla olevaa metallikerrosta suojaa-vampi; indiumia on kuitenkin hidas sputteroida ja se on : 25 suhteellisen kallista. Tinaoksidi, joka voi olla seostettu indiumilla tai antimonilla, on myös kestävämpi ja alla olevaa metallikerrosta suojaavampi, mutta ei saa aikaan sopivaa pintaa hopeakalvon ytimenmuodostukselle, mikä johtaa suureen vastukseen ja pieneen läpäisevyyteen. Metal-30 lioksidikalvon ominaisuuksia, jotka johtavat myöhemmin kerrostetun hopeakalvon sopivaan ytimenmuodostukseen, ei ole vahvistettu; yrityksen ja erehdyksen kokeilutapaa on kuitenkin yleisesti harjoitettu edellä kuvatuilla metal-lioksideilla.
’ 35
II
5 90050 US-patenttihakemuksessa n:o 665 680, jätetty 29. lokakuuta 1984 nimellä F.H. Gillery; vastaa suomalaista patenttihakemusta 854 214, kuvataan uusi metallilejeerin-gin oksidin muodostama kalvoseos sekä uusi metalli- ja 5 metallilejeerinkioksidikerrosten muodostama monikerroskal-vo, joka on tarkoitettu käytettäväksi suuren läpäisevyyden ja pienen emissiokyvyn omaavana pinnoitteena.
Tämä keksintö parantaa monikerroskalvojen kestävyyttä, erityisesti monikerroskalvojen, jotka koostuvat 10 metalli- ja/tai metallilejeerinkioksidikerroksista ja me-tallikerroksista, kuten hopeasta, aikaansaamalla ulkopuolisen suojakerroksen kemiallisesti erityisen kestävästä materiaalista, titaanidioksidista.
Keksintö koskee suuren läpäisevyyden ja pienen 15 emissiokyvyn omaavaa tuotetta, joka sisältää: a) läpinäkyvän, ei-metallisen alustan; b) ensimmäisen läpinäkyvän, heijastumista estävän kalvon, joka koostuu alustan pinnalle kerrostetusta metal-lioksidista; 20 c) läpinäkyvän, infrapunasäteilyä heijastavan me- tallikalvon, joka on kerrostettu ensimmäisen heijastumista estävän metallioksidikalvon jälkeen; d) toisen läpinäkyvän, heijastumista estävän kalvon, joka koostuu metallioksidista, joka on kerrostettu 25 infrapunasäteilyä heijastavan metallikalvon jälkeen; jolloin tuotteelle on tunnusomaista, että läsnä on titaanidioksidista koostuva, suojaava metallioksidipäällys-kerros, joka on kerrostettu toiselle heijastumista estävälle me-tallioksidikalvolle ja jonka paksuus on niin pie-30 ni, ettei se aiheuta merkittävää heijastumista ehkäisevää vaikutusta.
Kalvoseos, joka koostuu edullisesti metallin tai metallilejeeringin oksidista, kerrostetaan edullisesti katodisputteroinnilla, edullisesti magnetronisputteroin-35 nilla. Katodikohtio valmistetaan sisältämään haluttuja 6 90050 metalli- tai metallilejeerinkialkuaineita. Kohtiota sput-teroidaan sitten reaktiivisessa atmosfäärissä, joka edullisesti sisältää happea, metalli- tai metallilejeerinki-oksidikalvon kerrostamiseksi alustan pinnalle.
5 Tämän keksinnön mukainen edullinen metallilejeerin- kioksidi on sinkkiä ja tinaa sisältävän lejeeringin oksidi. Sinkki/tinalejeerinkioksidikalvo voidaan kerrostaa tämän keksinnön mukaisesti katodisputteroinnilla, jota on edullisesti magneettisesti parannettu. Katodisputterointi 10 on myös edullinen menetelmä suuren läpäisevyyden ja pienen emissiokyvyn omaavien kalvojen kerrostamiseksi tämän keksinnön mukaisesti. Tällaiset kalvot sisältävät tyypillisesti useita kerroksia, edullisesti yhden kerroksen erittäin heijastavat metallia, kuten kultaa tai hopeaa kerros-15 tettuna heijastumista estävien metallioksidikerrosten, kuten indiumoksidin tai titaanioksidin tai edullisesti sinkin ja tinan lejeeringin oksidin väliin, joka sisältää edullisesti sinkkistannaattia.
Vaikka erilaisia metallilejeerinkejä voidaan sput-20 teroida metallilejeerinkioksidikalvojen muodostamiseksi, tämän keksinnön mukaisen edullisen suuren läpäisevyyden ja pienen emissiokyvyn omaavan monikerroskalvon tuottamiseksi tinan ja sinkin lejeeringit ovat etusijalla. Erityisen edullinen lejeerinki koostuu sinkistä ja tinasta, edulli-: 25 sesti suhteissa 10 - 90 % sinkkiä ja 90 - 10 % tinaa.
Edullisen sinkki/tinalejeeringin sinkkipitoisuus on 30 -60 %, jolloin sinkki/tinasuhde on edullisesti 40:60 -60:40. Edullisin tinan ja sinkin välisen painosuhteen alue on 46:54 - 50:50. Sinkki/tinalejeerinkiä oleva katodi, 30 jota sputteroidaan reaktiivisesti hapettavassa atmosfää rissä, johtaa sinkkiä, tinaa ja happea, edullisesti sink-kistannaatia Zn2Sn04 sisältävän metallioksidikerroksen kerrostumiseen.
Keksintö koskee myös menetelmää suuren läpäisevyy-35 den ja pienen emissiokyvyn omaavan tuotteen valmistamiseksi, joka sisältää: 11 7 90050 a) läpinäkyvän ei-metallisen alustan; b) ensimmäisen läpinäkyvän, heijastumista estävän kalvon, joka koostuu alustan pinnalle kerrostetusta metal-lioksidista; 5 c) läpinäkyvän, infrapunasäteilyä heijastavan me- tallikalvon, joka on kerrostettu ensimmäisen heijastumista estävän metallioksidikalvon jälkeen; d) toisen läpinäkyvän, heijastumista estävän kalvon, joka koostuu metallioksidista, joka on kerrostettu 10 infrapunasäteilyä heijastavan metallikalvon jälkeen, jolloin menetelmälle on tunnusomaista, että tuotteen uloi-mmalle, läpinäkyvälle, heijastumista estävälle metalliok-sidikerrokselle sputteroidaan titaanimetallia olevan katodin avulla happea sisältävässä atmosfäärissä titaanioksi-15 dista koostuva, suojaava metallioksidikerros, jonka paksuus on niin pieni, ettei se riitä aiheuttamaan merkittävää heijastumista ehkäisevää vaikutusta.
Tavanomaisessa magnetronisputterointimenetelmässä alusta asetetaan pinnoituskammioon vastapäätä katodia, 20 jonka kohtiopinta on sputteroitavaa materiaalia. Tämän keksinnön mukaisia edullisia alustoja ovat lasi, keraamit ja muovit, joihin pinnoitusprosessin käyttöolosuhteet eivät vaikuta haitallisesti.
Katodi voi olla mitä tahansa tavanomaista mallia, : 25 edullisesti pitkänomaista, suorakulmaista mallia, joka on liitetty sähköjännitelähteeseen, ja edullisesti sitä käytetään magneettikentän yhteydessä sputterointiprosessin parantamiseksi. Ainakin yksi katodikohtion pinta sisältää metallilejeerinkiä, kuten sinkki/tinaa, jota sputteroidaan 30 reaktiivisessa atmosfäärissä metallilejeeringin oksidikal-von muodostamiseksi. Anodi on edullisesti symmetrisesti muotoiltu ja sijoitettu kokoonpano, jollaista on selostettu US-patentissa n:o 4 478 702, myönnetty nimillä Gillery et ai., joka liitetään tähän viitteenä.
35 8 9:10 50 Tämän keksinnön edullisessa toteutusmuodossa moni-kerroskalvo kerrostetaan katodisputteroinnilla suuren läpäisevyyden ja pienen emissiokyvyn omaavan pinnoitteen muodostamiseksi. Metallilejeerinkikohtion lisäksi ainakin 5 yksi muu katodikohtion pinta sisältää metallia, jota on määrä sputteroida heijastavan metallikerroksen muodostamiseksi. Ainakin yksi lisäkatodikohtion pinta sisältää metallia, jota on määrä kerrostaa pohjustuskerroksena. Kestävä monikerrospinnoite, jossa on heijastava metallikalvo 10 yhdistettynä heijastumista estämään metallilejeeringin oksidikalvoon, muodostetaan seuraavasti käyttäen pohjus-tuskerroksia metalli- ja metallioksidikalvojen välisen tartunnan parantamiseen.
Puhdas lasialusta asetetaan pinnoituskammioon, jo-15 ka vedetään alipaineeseen, edullisesti alle 0,013 Pa:n ja vielä edullisemmin alle 0,0026 Pa:n paineeseen. Valittu inertin ja reaktiivisen kaasun, edullisesti argonin ja hapen atmosfääri aikaansaadaan kammioon n. 0,067 - 1,33 Pa:n paineeseen. Katodia, jolla on kohtion pinta sinkki/tina-20 metallilejeerinkiä, pidetään pinnoitettavan alustan pin nan yläpuolella. Kohtiometallia sputteroidaan antaen sen reagoida kammiossa olevan atmosfäärin kanssa sinkki/tina-lejeeringin oksidipäällyskerroksen kerrostamiseksi lasipinnalle.
25 Kun ensimmäinen sinkki/tinalejeeringin oksidikerros on kerrostettu, pinnoituskammio vedetään alipaineeseen ja inertti atmosfääri, kuten puhdas argon, aikaansaadaan n. 0,67 - 1,33 Pa:n paineeseen. Katodia, jonka kohtion pinta on metallia, kuten kuparia, sputteroidaan pohjustuskerrok-30 sen kerrostamiseksi sinkki/tinalejeeringin oksidikerrok- sen päälle. Katodia, jonka kohtion pinta on hopeaa, sputteroidaan sitten metallista hopeaa olevan, heijastavan kerroksen kerrostamiseksi pohjustuskerroksen päälle, mikä parantaa hopeakalvon tartuntaa alla olevaan metallioksidi-35 kalvoon. Lisäpohjustuskerros kerrostetaan sitten sputte-
II
9 90050 roimalla metallia, kuten kuparia, heijastavalle hopeaker-rokselle hopeakalvon ja myöhemmin kerrostettavan, päällä olevan metallioksidikalvon välisen tartunnan parantamiseksi. Lopuksi toinen kerros sinkki/tinalejeeringin oksidia 5 kerrostetaan toisen pohjustuskerroksen päälle olennaisesti samoissa olosuhteissa kuin käytettiin ensimmäisen sinkki/ tinalejeeringin oksidikerroksen kerrostamiseen.
Tämän keksinnön mukaisesti suojaava päällyskerros kerrostetaan viimeisen metallioksidikalvon päälle. Suojaa-10 va päällyskerros on edullista kerrostaa sputteroimalla metallioksidikalvon päälle metallikerros, kuten on selostettu US-patenttihakemuksessa n:o 530 570, jätetty 9. syyskuuta 1983 nimillä Gillery et ai. Edullisia metalleja suojaavaan päällyskerrokseen ovat raudan tai nikkelin le-15 jeeringit, kuten ruostumaton teräs tai Inconel. Titaani on edullisin päällyskerros, mikä johtuu sen suuresta läpäisevyydestä .
Tämän keksinnön mukaisesti monikerroskalvon kemiallista kestoisuutta parannetaan eniten kerrostamalla titaa-20 nioksidista koostuva, suojaava pinnoite monikerroskalvon päälle. Suojaava titaanioksidipinnoite kerrostetaan edullisesti katodisputteroimalla suhteellisen suurella kerros-tusnopeudella ja alhaisessa paineessa, edullisesti n. 0,4 Pa:ssa. Titaanioksidista koostuva, suojaava pinnoite voi-25 daan muodostaa sputteroimalla titaania riittävästi happea sisältävässä atmosfäärissä titaanioksidin kerrostamiseksi suoraan. Tämän keksinnön vaihtoehtoisessa toteutusmuodossa titaanioksidista koostuva suojakerros voidaan muodostaa sputteroimalla titaania inertissä atmosfäärissä titaania 30 sisältävän kalvon kerrostamiseksi, joka sen jälkeen hapettuu titaanioksidiksi joutuessaan alttiiksi hapettavalle atmosfäärille, kuten ilmalle.
Tätä keksintöä on helpompi ymmärtää seuraavasta erikoisesimerkin kuvauksesta. Esimerkissä sinkki/tinale-35 jeeringin oksidikalvosta käytetään nimitystä sinkkistan- ίο 90 0 50 naatti, vaikka kalvon koostumuksen ei tarvitse olla tarkalleen Zn2Sn04.
Esimerkki
Monikerroskalvo kerrostetaan natronkalkki-piidiok-5 sidilasialustalle suuren läpäisevyyden ja pienen emissio-kyvyn pinnoitetun tuotteen valmistamiseksi. Liikkumaton katodi, joka on mitoiltaan 12,7 x 43,2 cm, sisältää sink-ki/tinalejeerinkiä olevan sputterointipinnan, jossa on 52,4 paino-% sinkkiä ja 47,6 paino-% tinaa. Natronkalkki-10 piidioksidilasialusta asetetaan pinnoituskammioon, joka vedetään alipaineeseen 0,53 Pa:n paineen aikaansaamiseksi argonin ja hapen 50/50-seoksen atmosfääriin. Katodia sput-teroidaan magneettikentässä 1,7 kW:n teholla samalla, kun lasia siirretään sputterointipinnan ohi nopeudella 2,8 15 m/min. Sinkkistannaattikalvo kerrostetaan lasipinnalle.
Kolme ajoa tuottaa n. 34 nm:n kalvonpaksuuden, joka johtaa läpäisevyyden laskuun lasialustan 90 prosentista sinkki-stannaatilla pinnoitetun lasialustan 83 prosenttiin. Liikkumatonta katodia, jossa on kuparikohtio, sputteroidaan 20 sitten kuparipohjustuskerroksen muodostamiseksi sinkki- stannaatin päälle, mikä pienentää läpäisevyyden n. 80,6 prosenttiin. Seuraavaksi kerrostetaan hopeakerros kuparipohjustuskerroksen päälle sputteroimalla hopeakatodikoh-tiota argonkaasuatmosfäärissä 0,53 Pa:n paineessa. Alustan 25 kulkiessa hopeakatodikohtion alta samalla nopeudella tarvitaan kaksi ajoa 10 pg:n hopeamäärän kerrostamiseen cm2:ä kohti, mikä vastaa n. 9,0 nm:n kalvonpaksuutta, mikä alentaa pinnoitetun alustan läpäisevyyden n. 70,3 prosenttiin. Toinen kuparipohjustuskerros sputteroidaan hopeakerroksen 30 päälle tartunnan parantamiseksi ja hopeakerroksen suojaa miseksi, ennenkuin lopullinen sinkkistannaattia oleva, heijastusta estävä kerros kerrostetaan. Koska kuparipoh-justuskerrokset alentavat läpäisevyyttä, niiden paksuudet ovat edullisesti mahdollisimman pienet. Kuparipohjustus-35 kerrokset kerrostetaan sputteroimalla kuparikohtiota mi ll 11 9 0 0 50 nimiteholla argonissa 0,53 Pa:n paineessa. Näytteen läpäisevyys laskee 68,3 prosenttiin toisen kuparipohjustus-kerroksen kerrostuksen jälkeen. Seuraavaksi sinkki/tina-lejeerinkiä olevaa katodikohtiota sputteroidaan hapetta-5 vassa atmosfäärissä sinkkistannaattikalvon tuottamiseksi. Neljä ajokertaa nopeudella 2,8 m/min antaa kalvon paksuudeksi n. 43 nm, mikä nostaa pinnoitetun tuotteen läpäisevyyden 68,3 prosentista 83,2 prosenttiin. Monikerrospin-noitteen pintavastus on 10 ohm/m2 ja sillä on hieman siner-10 tävä heijastuvuus molemmilta puolilta valonheijastuvuuden ollessa 5 % lasin pinnoitetulta puolelta ja 6 prosenttia pinnoittamattomalta puolelta. Lopuksi liikkumatonta ti-taanikatodia, jonka mitat ovat 12,7 x 43,2 cm, sputteroidaan 10 kW:n teholla atmosfäärissä, joka sisältää yhtä 15 monta tilavuusosaa argonia ja happea, 0,4 Pa:n paineessa. Kaksi alustan ajokertaa nopeudella 2,8 m/min riittää kerrostamaan n. 1,5 - 2,0 nm paksun, suojaavan titaanioksidi-pinnoitteen. Titaanioksidia oleva suojapinnoite ei vaikuta merkittävästi monikerrospinnoitteen vastus- ja heijastus-20 ominaisuuksiin eikä muuta läpäisevyyttä kuin noin prosentin.
Pinnoitetun tuotteen parantunut kestävyys, joka on seurausta metalli- ja metallioksidikalvojen välisestä parantuneesta tartunnasta, mikä johtuu tämän keksinnön mu-25 kaisista pohjustuskerroksista, on helppo osoittaa yksin kertaisella hankauskokeella, jossa pyyhitään pinnoitettua pintaa kostealla kankaalla. Pinnalla, joka on pinnoitettu sinkkistannaatti/hopea/sinkkistannaatilla, jossa ei ole tämän keksinnön mukaisia pohjustuskerroksia, heijastavuus 30 kasvaa n. 6 prosentista n. 18 prosenttiin useiden kostealla kankaalla suoritettujen pyyhkäisyjen jälkeen, mikä osoittaa sekä ylimmän sinkkistannaattikalvon että alla olevan hopeakalvon poistumista. Sitävastoin pitkäaikainen, voimakas hankaus kostealla kankaalla ei tuota näkyvää muu-35 tosta sinkkistannaatti/kupari/hopea/kupari/sinkkistannaa-* 12 90050 tiliä pinnoitettuun tuotteeseen, joka sisältää tämän keksinnön mukaisia pohjustuskerroksia.
Edullisten suojäävien titaanioksidipinnoitteiden paksuudet ovat n. 1 - 5 nm. Suojaavan titaanioksidipin-5 noitteen ollessa n. 2 nm paksu tämän esimerkin mukaisen monikerrospinnoitteen kestävyys paranee 2 tunnista 22 tuntiin 2,5-%:isessa suolaliuoksessa ympäristön lämpötilassa ja 5 tunnista yhteen viikkoon Cleveland-kosteuskokeessa, joka suoritetaan Q-Panel Cleveland Condensation Tester 10 Model QCT-ADO-laitteella, joka sisältää n. 66-Celsiusas-teista olevaa ionivaihdettua vettä.
Edellä oleva esimerkki on annettu tämän keksinnön kuvaamiseksi. Siihen sisältyy erilaisia tuotteen ja menetelmän muunnoksia. Esimerkiksi muut pinnoiteseokset kuu-15 luvat tämän keksinnön suojapiiriin. Riippuen sinkin ja tinan suhteista, kun sputteroidaan sinkki/tinalejeerinkiä, pinnoite voi sisältää suuresti vaihtelevia määriä sinkkioksidia ja tinaoksidia sinkkistannaatin lisäksi. Tartuntaa metalli- ja metallioksidikalvojen suuren valikoi-20 man välillä voidaan parantaa pohjustuskerroksilla tämän keksinnön mukaisesti. Koska menetelmä ei vaadi kovin korkeita lämpötiloja, muitakin alustoja kuin lasia, kuten erilaisia muoveja, voidaan pinnoittaa. Skannaavaa katodia voidaan käyttää liikkumattoman alustan kanssa. Menetelmä-25 parametreja, kuten kaasujen painetta ja pitoisuutta, voidaan vaihdella laajalla alueella. Pohjustuskerrokset voivat sisältää muitakin metalleja, kuten indiumia, tai oksideja kuten kuparioksidia tai indiumoksidia. Muiden kemiallisesti kestävien materiaalien suojaavia pinnoitteita 30 voidaan kerrostaa joko metalli- tai oksiditilassa. Tämän keksinnön suojapiiri määritellään seuraavilla patenttivaatimuksilla .
Il
Claims (11)
1. Suuren läpäisevyyden ja pienen emissiokyvyn omaava tuote, joka sisältää: 5 a) läpinäkyvän, ei-metallisen alustan; b) ensimmäisen läpinäkyvän, heijastumista estävän kalvon, joka koostuu alustan pinnalle kerrostetusta metal-lioksidista; c) läpinäkyvän, infrapunasäteilyä heijastavan me- 10 tallikalvon, joka on kerrostettu ensimmäisen heijastumista estävän metallioksidikalvon jälkeen; d) toisen läpinäkyvän, heijastumista estävän kalvon, joka koostuu metallioksidista, joka on kerrostettu infrapunasäteilyä heijastavan metallikalvon jälkeen; 15 tunnettu siitä, että läsnä on titaanidiok sidista koostuva, suojaava metallioksidipäällyskerros, joka on kerrostettu toiselle heijastumista estävälle me-tallioksidikalvolle ja jonka paksuus on niin pieni, ettei se aiheuta merkittävää heijastumista ehkäisevää vaikutus-20 ta.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen tuote, tunnettu siitä, että alusta on lasi.
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen tuote, tunnettu siitä, että heijastava metallikalvo on 25 hopeaa.
4. Jonkin patenttivaatimuksen 1-3 mukainen tuote, tunnettu siitä, että metallioksidi koostuu sinkkiä ja tinaa sisältävän lejeeringin oksidireaktiotuotteesta.
5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen tuote, t u n -30 n e t t u siitä, että läpinäkyvä kalvo, joka koostuu me- tallilejeeringin oksidireaktiotuotteesta, koostuu sinkki-stannaatista.
6. Jonkin patenttivaatimuksen 1-5 mukainen tuote, tunnettu siitä, että se sisältää lisäksi pohjus- 35 tuskalvon, joka on kerrostettu heijastavan metallikalvon 14 50 O 50 ja läpinäkyvän, heijastamista estävän metallioksidikalvon väliin ja joka voi olla kuparia, indiumia tai niiden oksidi.
7. Patenttivaatimuksen 6 mukainen tuote, t u n -5 n e t t u siitä, että pohjustuskalvo koostuu kuparista.
8. Patenttivaatimuksen 1 mukainen tuote, tunnettu siitä, että titaanidioksidipäällyskerroksen paksuus on n. 1 - 5 nm.
9. Patenttivaatimuksen 8 mukainen tuote, t u n -10 n e t t u siitä, että titaanidioksidipäällyskerroksen paksuus on n. 1,5 - 2 nm.
10. Menetelmä suuren läpäisevyyden ja pienen emis-siokyvyn omaavan tuotteen valmistamiseksi, joka sisältää: a) läpinäkyvän ei-metallisen alustan; 15 b) ensimmäisen läpinäkyvän, heijastumista estävän kalvon, joka koostuu alustan pinnalle kerrostetusta metal-lioksidista; c) läpinäkyvän, infrapunasäteilyä heijastavan me-tallikalvon, joka on kerrostettu ensimmäisen heijastumista 20 estävän metallioksidikalvon jälkeen; d) toisen läpinäkyvän, heijastumista estävän kalvon, joka koostuu metallioksidista, joka on kerrostettu infrapunasäteilyä heijastavan metallikalvon jälkeen, tu nnettu siitä, että tuotteen uloimmalle, läpi-25 näkyvälle, heijastumista estävälle metallioksidikerroksel- le sputteroidaan titaanimetallia olevan katodin avulla happea sisältävässä atmosfäärissä titaanioksidista koostuva, suojaava metallioksidikerros, jonka paksuus on niin pieni, ettei se riitä aiheuttamaan merkittävää hei-30 jastumista ehkäisevää vaikutusta.
11. Patenttivaatimuksen 10 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että kerrostetaan titaanidioksidi-kerros, jonka paksuus on 1,5 - 2 nm. 11 15 90 O 50
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US81268085 | 1985-12-23 | ||
| US06/812,680 US4716086A (en) | 1984-12-19 | 1985-12-23 | Protective overcoat for low emissivity coated article |
Publications (4)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI865262A0 FI865262A0 (fi) | 1986-12-22 |
| FI865262A FI865262A (fi) | 1987-06-24 |
| FI90050B FI90050B (fi) | 1993-09-15 |
| FI90050C true FI90050C (fi) | 1993-12-27 |
Family
ID=25210322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI865262A FI90050C (fi) | 1985-12-23 | 1986-12-22 | Produkt med hoeg genomslaepplighet och liten emissionsfoermaoga och foerfarande foer dess framstaellning |
Country Status (19)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4716086A (fi) |
| EP (1) | EP0226993B2 (fi) |
| JP (1) | JPH0745710B2 (fi) |
| KR (1) | KR900003979B1 (fi) |
| CN (1) | CN1019319B (fi) |
| AT (1) | ATE54300T1 (fi) |
| AU (1) | AU571380B2 (fi) |
| CA (1) | CA1327294C (fi) |
| DE (1) | DE3672462D1 (fi) |
| DK (1) | DK166536B1 (fi) |
| ES (1) | ES2015525T5 (fi) |
| FI (1) | FI90050C (fi) |
| GR (1) | GR3000824T3 (fi) |
| HK (1) | HK67592A (fi) |
| IN (1) | IN169768B (fi) |
| MY (1) | MY101707A (fi) |
| NO (1) | NO174286C (fi) |
| NZ (1) | NZ218479A (fi) |
| ZA (1) | ZA869153B (fi) |
Families Citing this family (143)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4786563A (en) * | 1985-12-23 | 1988-11-22 | Ppg Industries, Inc. | Protective coating for low emissivity coated articles |
| US4859532A (en) * | 1986-11-27 | 1989-08-22 | Asahi Glass Company Ltd. | Transparent laminated product |
| JPH0832436B2 (ja) * | 1986-11-27 | 1996-03-29 | 旭硝子株式会社 | 透明導電性積層体 |
| CA1331867C (en) * | 1986-12-29 | 1994-09-06 | James Joseph Finley | Low emissivity film for high temperature processing |
| US5059295A (en) * | 1986-12-29 | 1991-10-22 | Ppg Industries, Inc. | Method of making low emissivity window |
| US5270517A (en) * | 1986-12-29 | 1993-12-14 | Ppg Industries, Inc. | Method for fabricating an electrically heatable coated transparency |
| US4898790A (en) * | 1986-12-29 | 1990-02-06 | Ppg Industries, Inc. | Low emissivity film for high temperature processing |
| DE3716860A1 (de) * | 1987-03-13 | 1988-09-22 | Flachglas Ag | Verfahren zum herstellen einer vorgespannten und/oder gebogenen glasscheibe mit silberschicht, danach hergestellte glasscheibe sowie deren verwendung |
| US4938857A (en) * | 1987-03-26 | 1990-07-03 | Ppg Industries, Inc. | Method for making colored metal alloy/oxynitride coatings |
| US4806221A (en) * | 1987-03-26 | 1989-02-21 | Ppg Industries, Inc. | Sputtered films of bismuth/tin oxide |
| US5178966A (en) * | 1987-03-26 | 1993-01-12 | Ppg Industries, Inc. | Composite with sputtered films of bismuth/tin oxide |
| US4883721A (en) * | 1987-07-24 | 1989-11-28 | Guardian Industries Corporation | Multi-layer low emissivity thin film coating |
| US5318685A (en) * | 1987-08-18 | 1994-06-07 | Cardinal Ig Company | Method of making metal oxide films having barrier properties |
| US4861680A (en) * | 1988-02-11 | 1989-08-29 | Southwall Technologies | Bronze-grey glazing film and window made therefrom |
| DE3806124A1 (de) * | 1988-02-26 | 1989-09-07 | Leybold Ag | Verfahren zum herstellen von scheiben aus mineralglas mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit niedriger sonnenenergietransmission sowie durch das verfahren hergestellte scheiben |
| US4902580A (en) * | 1988-04-01 | 1990-02-20 | Ppg Industries, Inc. | Neutral reflecting coated articles with sputtered multilayer films of metal oxides |
| US4834857A (en) * | 1988-04-01 | 1989-05-30 | Ppg Industries, Inc. | Neutral sputtered films of metal alloy oxides |
| US5902505A (en) * | 1988-04-04 | 1999-05-11 | Ppg Industries, Inc. | Heat load reduction windshield |
| US4898789A (en) * | 1988-04-04 | 1990-02-06 | Ppg Industries, Inc. | Low emissivity film for automotive heat load reduction |
| AU633263B2 (en) * | 1988-07-25 | 1993-01-28 | Libbey-Owens-Ford Co. | Sputtered multi-layer color compatible solar control coating |
| US5308706A (en) * | 1988-07-27 | 1994-05-03 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Heat reflecting sandwich plate |
| US5112693A (en) * | 1988-10-03 | 1992-05-12 | Ppg Industries, Inc. | Low reflectance, highly saturated colored coating for monolithic glazing |
| GB8900166D0 (en) * | 1989-01-05 | 1989-03-01 | Glaverbel | Glass coating |
| GB8900165D0 (en) * | 1989-01-05 | 1989-03-01 | Glaverbel | Glass coating |
| TW219953B (fi) * | 1991-09-30 | 1994-02-01 | Ppg Industries Inc | |
| US5705278A (en) * | 1991-09-30 | 1998-01-06 | Ppg Industries, Inc. | Heat processable metallic vacuum coatings |
| US6274244B1 (en) * | 1991-11-29 | 2001-08-14 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Multilayer heat processable vacuum coatings with metallic properties |
| DE4135701C2 (de) * | 1991-10-30 | 1995-09-28 | Leybold Ag | Scheibe mit hohem Transmissionsverhalten im sichtbaren Spektralbereich und mit hohem Reflexionsverhalten für Wärmestrahlung |
| US6793781B2 (en) | 1991-11-29 | 2004-09-21 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Cathode targets of silicon and transition metal |
| US5709938A (en) | 1991-11-29 | 1998-01-20 | Ppg Industries, Inc. | Cathode targets of silicon and transition metal |
| US5302449A (en) | 1992-03-27 | 1994-04-12 | Cardinal Ig Company | High transmittance, low emissivity coatings for substrates |
| US5296302A (en) * | 1992-03-27 | 1994-03-22 | Cardinal Ig Company | Abrasion-resistant overcoat for coated substrates |
| US5344718A (en) * | 1992-04-30 | 1994-09-06 | Guardian Industries Corp. | High performance, durable, low-E glass |
| US5589280A (en) * | 1993-02-05 | 1996-12-31 | Southwall Technologies Inc. | Metal on plastic films with adhesion-promoting layer |
| US5965278A (en) * | 1993-04-02 | 1999-10-12 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Method of making cathode targets comprising silicon |
| US5376455A (en) * | 1993-10-05 | 1994-12-27 | Guardian Industries Corp. | Heat-treatment convertible coated glass and method of converting same |
| DE4336321A1 (de) * | 1993-10-25 | 1995-04-27 | Ver Glaswerke Gmbh | Beschußhemmende Panzerglasscheibe für Kraftfahrzeuge |
| EP0657562B1 (en) | 1993-11-12 | 2001-09-12 | PPG Industries Ohio, Inc. | Durable sputtered metal oxide coating |
| FR2719037B1 (fr) * | 1994-04-26 | 1996-05-15 | Thomson Tubes Electroniques | Procédé de dépôt d'un revêtement conducteur sur un substrat de verre. |
| US6673438B1 (en) * | 1994-05-03 | 2004-01-06 | Cardinal Cg Company | Transparent article having protective silicon nitride film |
| US5514476A (en) * | 1994-12-15 | 1996-05-07 | Guardian Industries Corp. | Low-E glass coating system and insulating glass units made therefrom |
| GB9500330D0 (en) * | 1995-01-09 | 1995-03-01 | Pilkington Plc | Coatings on glass |
| GB9500333D0 (en) * | 1995-01-09 | 1995-03-01 | Pilkington Plc | Coatings on glass |
| US5557462A (en) * | 1995-01-17 | 1996-09-17 | Guardian Industries Corp. | Dual silver layer Low-E glass coating system and insulating glass units made therefrom |
| MX9605168A (es) * | 1995-11-02 | 1997-08-30 | Guardian Industries | Sistema de recubrimiento con vidrio de baja emisividad, durable, de alto funcionamiento, neutro, unidades de vidrio aislante elaboradas a partir del mismo, y metodos para la fabricacion de los mismos. |
| US5770321A (en) * | 1995-11-02 | 1998-06-23 | Guardian Industries Corp. | Neutral, high visible, durable low-e glass coating system and insulating glass units made therefrom |
| US5821001A (en) * | 1996-04-25 | 1998-10-13 | Ppg Industries, Inc. | Coated articles |
| US5942338A (en) * | 1996-04-25 | 1999-08-24 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coated articles |
| US5851679A (en) * | 1996-12-17 | 1998-12-22 | General Electric Company | Multilayer dielectric stack coated part for contact with combustion gases |
| US20030039843A1 (en) * | 1997-03-14 | 2003-02-27 | Christopher Johnson | Photoactive coating, coated article, and method of making same |
| US20020155299A1 (en) | 1997-03-14 | 2002-10-24 | Harris Caroline S. | Photo-induced hydrophilic article and method of making same |
| US7096692B2 (en) | 1997-03-14 | 2006-08-29 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Visible-light-responsive photoactive coating, coated article, and method of making same |
| US20050096288A1 (en) * | 1997-06-13 | 2005-05-05 | Aragene, Inc. | Lipoproteins as nucleic acid vectors |
| US6495251B1 (en) | 1997-06-20 | 2002-12-17 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Silicon oxynitride protective coatings |
| US6132881A (en) * | 1997-09-16 | 2000-10-17 | Guardian Industries Corp. | High light transmission, low-E sputter coated layer systems and insulated glass units made therefrom |
| US6007901A (en) * | 1997-12-04 | 1999-12-28 | Cpfilms, Inc. | Heat reflecting fenestration products with color corrective and corrosion protective layers |
| EP0922681B2 (fr) | 1997-12-11 | 2007-09-05 | Saint-Gobain Glass France | Substrat transparent muni de couches minces à propriétés de réflexion dans l'infrarouge |
| US6514621B1 (en) | 1997-12-24 | 2003-02-04 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Patterned coated articles and methods for producing the same |
| EP0939062A1 (de) * | 1998-02-26 | 1999-09-01 | Glas Trösch Holding AG | Optisch transparenter Gegenstand, insbesondere Fenstereinheit, mit einem mehrschichtigen beschichtungsensemble sowie Verfaheren zu dessen Herstellung |
| DE19848751C1 (de) | 1998-10-22 | 1999-12-16 | Ver Glaswerke Gmbh | Schichtsystem für transparente Substrate |
| ES2228151T3 (es) | 1998-12-18 | 2005-04-01 | Glaverbel | Panel de acristalamiento. |
| US6398925B1 (en) * | 1998-12-18 | 2002-06-04 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Methods and apparatus for producing silver based low emissivity coatings without the use of metal primer layers and articles produced thereby |
| US6610410B2 (en) | 1998-12-18 | 2003-08-26 | Asahi Glass Company, Limited | Glazing panel |
| US6797388B1 (en) | 1999-03-18 | 2004-09-28 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Methods of making low haze coatings and the coatings and coated articles made thereby |
| CN1095367C (zh) * | 1999-04-16 | 2002-12-04 | 武汉田田金龙药业有限责任公司 | 一种酶水解法制备液体阿胶的方法 |
| US6582799B1 (en) | 1999-06-02 | 2003-06-24 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Laminated transparency |
| US6849328B1 (en) | 1999-07-02 | 2005-02-01 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Light-transmitting and/or coated article with removable protective coating and methods of making the same |
| US20020136905A1 (en) * | 1999-11-24 | 2002-09-26 | Medwick Paul A. | Low shading coefficient and low emissivity coatings and coated articles |
| US20070036989A1 (en) * | 1999-11-24 | 2007-02-15 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Low shading coefficient and low emissivity coatings and coated articles |
| WO2001038248A1 (en) | 1999-11-24 | 2001-05-31 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Low shading coefficient and low emissivity coatings and coated articles |
| JP3477148B2 (ja) * | 1999-12-02 | 2003-12-10 | カーディナル・シージー・カンパニー | 耐曇り性透明フィルム積層体 |
| US7361404B2 (en) | 2000-05-10 | 2008-04-22 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coated article with removable protective coating and related methods |
| US6677063B2 (en) | 2000-08-31 | 2004-01-13 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Methods of obtaining photoactive coatings and/or anatase crystalline phase of titanium oxides and articles made thereby |
| US7323249B2 (en) * | 2000-08-31 | 2008-01-29 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Methods of obtaining photoactive coatings and/or anatase crystalline phase of titanium oxides and articles made thereby |
| US6869644B2 (en) * | 2000-10-24 | 2005-03-22 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Method of making coated articles and coated articles made thereby |
| US7311961B2 (en) * | 2000-10-24 | 2007-12-25 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Method of making coated articles and coated articles made thereby |
| US20020172775A1 (en) * | 2000-10-24 | 2002-11-21 | Harry Buhay | Method of making coated articles and coated articles made thereby |
| DE10063180A1 (de) * | 2000-12-18 | 2002-06-27 | Bayer Ag | Vorrichtung zur Erzeugung von Lichtsignalen |
| US20020120916A1 (en) * | 2001-01-16 | 2002-08-29 | Snider Albert Monroe | Head-up display system utilizing fluorescent material |
| US20030037569A1 (en) * | 2001-03-20 | 2003-02-27 | Mehran Arbab | Method and apparatus for forming patterned and/or textured glass and glass articles formed thereby |
| DE10115196A1 (de) * | 2001-03-27 | 2002-10-17 | Pilkington Deutschland Ag | Glasscheibe als Vorprodukt für eine thermisch vorgespannte und/oder gebogene Glasscheibe mit Sonnenschutz- und/oder Low-E-Beschichtung |
| US20030049464A1 (en) | 2001-09-04 | 2003-03-13 | Afg Industries, Inc. | Double silver low-emissivity and solar control coatings |
| US6942923B2 (en) | 2001-12-21 | 2005-09-13 | Guardian Industries Corp. | Low-e coating with high visible transmission |
| US7232615B2 (en) * | 2001-10-22 | 2007-06-19 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coating stack comprising a layer of barrier coating |
| US6916542B2 (en) * | 2001-10-22 | 2005-07-12 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coated articles having a protective coating and cathode targets for making the coated articles |
| US6730389B2 (en) | 2001-10-25 | 2004-05-04 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coated substrate having a frequency selective surface |
| US6589658B1 (en) | 2001-11-29 | 2003-07-08 | Guardian Industries Corp. | Coated article with anti-reflective layer(s) system |
| US6586102B1 (en) | 2001-11-30 | 2003-07-01 | Guardian Industries Corp. | Coated article with anti-reflective layer(s) system |
| US6830817B2 (en) | 2001-12-21 | 2004-12-14 | Guardian Industries Corp. | Low-e coating with high visible transmission |
| US6770321B2 (en) * | 2002-01-25 | 2004-08-03 | Afg Industries, Inc. | Method of making transparent articles utilizing protective layers for optical coatings |
| CA2475192C (en) * | 2002-02-11 | 2008-12-09 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Solar control coating |
| AU2003225135A1 (en) * | 2002-04-25 | 2003-11-11 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Method of making coated articles having an oxygen barrier coating and coated articles made thereby |
| US7588829B2 (en) * | 2002-05-31 | 2009-09-15 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Article having an aesthetic coating |
| KR20040015833A (ko) * | 2002-08-13 | 2004-02-21 | 정용석 | 물받이 기능을 구비한 우산 |
| US20040112411A1 (en) * | 2002-09-10 | 2004-06-17 | Boykin Cheri M. | Method and apparatus for cleaning a photoactive and/or hydrophilic surface |
| JP5032744B2 (ja) * | 2002-09-27 | 2012-09-26 | ピーピージー インダストリーズ オハイオ，インコーポレイテッド | 減少した欠損密度を有するフロートガラスを生成するための装置および方法 |
| KR20050084671A (ko) | 2002-11-05 | 2005-08-26 | 엔.브이. 베카에르트 에스.에이. | 적외선 반사층 구조 |
| US6811884B2 (en) * | 2002-12-24 | 2004-11-02 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Water repellant surface treatment and treated articles |
| CN1777690B (zh) * | 2003-03-28 | 2010-11-03 | Ppg工业俄亥俄公司 | 采用钛与铝材料的混合物涂覆的衬底,制备该衬底的方法和钛与铝金属的阴极靶材 |
| US20040202890A1 (en) | 2003-04-08 | 2004-10-14 | Kutilek Luke A. | Methods of making crystalline titania coatings |
| FR2856627B1 (fr) | 2003-06-26 | 2006-08-11 | Saint Gobain | Substrat transparent muni d'un revetement avec proprietes de resistance mecanique |
| US20050208319A1 (en) * | 2004-03-22 | 2005-09-22 | Finley James J | Methods for forming an electrodeposited coating over a coated substrate and articles made thereby |
| US9051211B2 (en) * | 2004-04-27 | 2015-06-09 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Effects of methods of manufacturing sputtering targets on characteristics of coatings |
| US20050238923A1 (en) * | 2004-04-27 | 2005-10-27 | Thiel James P | Hybrid coating stack |
| US20060029754A1 (en) * | 2004-08-05 | 2006-02-09 | Medwick Paul A | Coated substrate with improved solar control properties |
| US7947373B2 (en) * | 2004-10-14 | 2011-05-24 | Pittsburgh Glass Works, Llc | High luminance coated glass |
| US7223940B2 (en) * | 2005-02-22 | 2007-05-29 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Heatable windshield |
| DE602006012817D1 (de) * | 2005-03-31 | 2010-04-22 | Cardinal Cg Co | Gegen anlaufen beständige beschichtungen mit geringem emissionsvermögen |
| US7771858B2 (en) * | 2005-07-12 | 2010-08-10 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Coated steel bipolar plates |
| US7335421B2 (en) * | 2005-07-20 | 2008-02-26 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Heatable windshield |
| SE530464C2 (sv) * | 2005-08-02 | 2008-06-17 | Sunstrip Ab | Nickel-aluminiumoxid-belagd solabsorbator |
| JP4960244B2 (ja) * | 2005-09-22 | 2012-06-27 | 出光興産株式会社 | 酸化物材料、及びスパッタリングターゲット |
| US7601486B2 (en) * | 2005-12-15 | 2009-10-13 | Texas Instruments Incorporated | Ultra dark polymer |
| WO2007085793A1 (en) * | 2006-01-27 | 2007-08-02 | Fosbel Intellectual Limited | Longevity and performance improvements to flare tips |
| JP4552950B2 (ja) | 2006-03-15 | 2010-09-29 | 住友金属鉱山株式会社 | ターゲット用酸化物焼結体、その製造方法、それを用いた透明導電膜の製造方法、及び得られる透明導電膜 |
| CN100595172C (zh) * | 2006-10-19 | 2010-03-24 | 林嘉宏 | 可钢化低辐射镀膜玻璃及其生产方法 |
| US20080280147A1 (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-13 | Thiel James P | Vehicle transparency |
| US8686319B2 (en) * | 2007-05-09 | 2014-04-01 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Vehicle transparency heated with alternating current |
| US8658289B2 (en) * | 2007-11-16 | 2014-02-25 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Electromagnetic radiation shielding device |
| US8085460B2 (en) * | 2008-08-28 | 2011-12-27 | Ppg Industries Ohio, Inc | Electrochromic device |
| US8049949B2 (en) * | 2008-08-29 | 2011-11-01 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Multi-layer electrode for high contrast electrochromic devices |
| US7907322B2 (en) * | 2008-10-23 | 2011-03-15 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Electrochromic device |
| KR101397369B1 (ko) | 2009-05-08 | 2014-05-22 | 피피지 인더스트리즈 오하이오 인코포레이티드 | 높은 태양열 이득 계수를 갖는 태양광 조절 코팅 |
| CN106428516A (zh) | 2009-06-12 | 2017-02-22 | Ppg工业俄亥俄公司 | 具有阳光控制性能的飞机透明体 |
| CN102474913B (zh) | 2009-07-21 | 2015-01-14 | Ppg工业俄亥俄公司 | 用于飞行器透明体的增强的母线*** |
| JP5389616B2 (ja) * | 2009-11-18 | 2014-01-15 | 日東電工株式会社 | 赤外線反射基板 |
| US10654748B2 (en) | 2010-03-29 | 2020-05-19 | Vitro Flat Glass Llc | Solar control coatings providing increased absorption or tint |
| US10654747B2 (en) | 2010-03-29 | 2020-05-19 | Vitro Flat Glass Llc | Solar control coatings with subcritical copper |
| US20140272453A1 (en) * | 2013-03-12 | 2014-09-18 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Solar Control Coatings Providing Increased Absorption Or Tint |
| US9932267B2 (en) | 2010-03-29 | 2018-04-03 | Vitro, S.A.B. De C.V. | Solar control coatings with discontinuous metal layer |
| JP5912642B2 (ja) * | 2012-02-20 | 2016-04-27 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の搬送装置及びその搬送方法 |
| US20140113120A1 (en) | 2012-10-19 | 2014-04-24 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Anti-color banding topcoat for coated articles |
| JP6000991B2 (ja) | 2013-01-31 | 2016-10-05 | 日東電工株式会社 | 赤外線反射フィルム |
| JP5859476B2 (ja) | 2013-04-11 | 2016-02-10 | 日東電工株式会社 | 赤外線反射フィルム |
| DE102013104702B4 (de) | 2013-05-07 | 2014-12-11 | Schott Ag | Beschichtete Glaskeramikplatte |
| JP6423198B2 (ja) | 2014-08-05 | 2018-11-14 | 日東電工株式会社 | 赤外線反射フィルム |
| US10233531B2 (en) * | 2017-03-01 | 2019-03-19 | Guardian Glass, LLC | Coated article with low-E coating having protective doped silver layer for protecting silver based IR reflecting layer(s), and method of making same |
| US10650935B2 (en) | 2017-08-04 | 2020-05-12 | Vitro Flat Glass Llc | Transparent conductive oxide having an embedded film |
| US20190043640A1 (en) | 2017-08-04 | 2019-02-07 | Vitro Flat Glass, LLC | Protective Layer Over a Functional Coating |
| US20190040523A1 (en) | 2017-08-04 | 2019-02-07 | Vitro Flat Glass, LLC | Method of Decreasing Sheet Resistance in an Article Coated with a Transparent Conductive Oxide |
| CA3091218A1 (en) | 2018-02-15 | 2019-08-22 | Vitro Flat Glass Llc | Coated article having a protective coating containing silicon nitride and/or silicon oxynitride |
| KR20210145225A (ko) | 2019-03-28 | 2021-12-01 | 비트로 플랫 글래스 엘엘씨 | 높은 가시광 반사율 및 중성색을 갖는 물품 |
| WO2021165680A1 (en) * | 2020-02-20 | 2021-08-26 | Pilkington Group Limited | Coated glass articles |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US27473A (en) * | 1860-03-13 | Window-screen | ||
| DE1088198B (de) * | 1955-12-23 | 1960-09-01 | Libbey Owens Ford Glass Co | Verfahren zum Herstellen eines elektrisch leitenden, durchsichtigen, anorganischen Gegenstandes mit erhoehter Haerte und Lichtdurchlaessigkeit |
| US4094763A (en) * | 1970-07-31 | 1978-06-13 | Ppg Industries, Inc. | Sputter coating of glass with an oxide of a metal having an atomic number between 48 and 51 and mixtures thereof |
| US4166018A (en) * | 1974-01-31 | 1979-08-28 | Airco, Inc. | Sputtering process and apparatus |
| US4349425A (en) * | 1977-09-09 | 1982-09-14 | Hitachi, Ltd. | Transparent conductive films and methods of producing same |
| US4113599A (en) * | 1977-09-26 | 1978-09-12 | Ppg Industries, Inc. | Sputtering technique for the deposition of indium oxide |
| US4201649A (en) * | 1978-11-29 | 1980-05-06 | Ppg Industries, Inc. | Low resistance indium oxide coatings |
| DE2924833C3 (de) * | 1979-06-20 | 1982-05-19 | Bfg Glassgroup, Paris | Wärmereflexionsscheibe mit farbneutraler Außenansicht und deren Verwendung als Außenscheibe einer Mehrscheibenanordnung |
| DE3160998D1 (en) * | 1980-03-10 | 1983-11-03 | Teijin Ltd | Selectively light-transmitting laminated structure |
| NO157212C (no) * | 1982-09-21 | 1988-02-10 | Pilkington Brothers Plc | Fremgangsmaate for fremstilling av belegg med lav emisjonsevne. |
| ZA836920B (en) * | 1982-09-21 | 1985-04-24 | Pilkington Brothers Plc | Low emissivity coatings on transparent substrates |
| ZA842139B (en) * | 1983-03-25 | 1984-10-31 | Flachglas Ag | Process for coating a transparent substrate |
| AU561315B2 (en) * | 1984-10-29 | 1987-05-07 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Sputtering films of metal alloy oxide |
| US4902581A (en) * | 1984-12-17 | 1990-02-20 | Ppg Industries, Inc. | Architectural coating with interference colors |
-
1985
- 1985-12-23 US US06/812,680 patent/US4716086A/en not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-12-02 NZ NZ218479A patent/NZ218479A/xx unknown
- 1986-12-03 ZA ZA869153A patent/ZA869153B/xx unknown
- 1986-12-11 CA CA000525076A patent/CA1327294C/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-12-12 IN IN1094/DEL/86A patent/IN169768B/en unknown
- 1986-12-12 AU AU66549/86A patent/AU571380B2/en not_active Ceased
- 1986-12-15 EP EP86117415A patent/EP0226993B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-12-15 DE DE8686117415T patent/DE3672462D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-12-15 ES ES86117415T patent/ES2015525T5/es not_active Expired - Lifetime
- 1986-12-15 AT AT86117415T patent/ATE54300T1/de not_active IP Right Cessation
- 1986-12-19 DK DK618586A patent/DK166536B1/da not_active IP Right Cessation
- 1986-12-22 JP JP61306193A patent/JPH0745710B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1986-12-22 NO NO865236A patent/NO174286C/no unknown
- 1986-12-22 KR KR1019860011072A patent/KR900003979B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1986-12-22 FI FI865262A patent/FI90050C/fi not_active IP Right Cessation
- 1986-12-23 MY MYPI86000236A patent/MY101707A/en unknown
- 1986-12-23 CN CN86108656A patent/CN1019319B/zh not_active Expired
-
1990
- 1990-07-18 GR GR90400491T patent/GR3000824T3/el unknown
-
1992
- 1992-09-10 HK HK675/92A patent/HK67592A/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU6654986A (en) | 1987-06-25 |
| ZA869153B (fi) | 1988-06-03 |
| GR3000824T3 (en) | 1991-11-15 |
| DK618586A (da) | 1987-06-24 |
| FI865262A0 (fi) | 1986-12-22 |
| NO174286B (no) | 1994-01-03 |
| NZ218479A (en) | 1990-03-27 |
| CA1327294C (en) | 1994-03-01 |
| KR900003979B1 (ko) | 1990-06-07 |
| US4716086A (en) | 1987-12-29 |
| NO174286C (no) | 1994-04-13 |
| ES2015525T5 (es) | 1996-01-16 |
| MY101707A (en) | 1992-01-17 |
| ES2015525B3 (es) | 1990-09-01 |
| IN169768B (fi) | 1991-12-21 |
| DE3672462D1 (de) | 1990-08-09 |
| ATE54300T1 (de) | 1990-07-15 |
| EP0226993A1 (en) | 1987-07-01 |
| CN86108656A (zh) | 1987-09-23 |
| JPH0745710B2 (ja) | 1995-05-17 |
| HK67592A (en) | 1992-09-18 |
| AU571380B2 (en) | 1988-04-14 |
| EP0226993B2 (en) | 1995-11-29 |
| NO865236D0 (no) | 1986-12-22 |
| DK618586D0 (da) | 1986-12-19 |
| KR870006232A (ko) | 1987-07-10 |
| NO865236L (no) | 1987-06-24 |
| JPS62196366A (ja) | 1987-08-29 |
| FI865262A (fi) | 1987-06-24 |
| EP0226993B1 (en) | 1990-07-04 |
| DK166536B1 (da) | 1993-06-07 |
| CN1019319B (zh) | 1992-12-02 |
| FI90050B (fi) | 1993-09-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI90050C (fi) | Produkt med hoeg genomslaepplighet och liten emissionsfoermaoga och foerfarande foer dess framstaellning | |
| EP0183052B1 (en) | Sputtered films of metal alloy oxides | |
| US4610771A (en) | Sputtered films of metal alloy oxides and method of preparation thereof | |
| US4786563A (en) | Protective coating for low emissivity coated articles | |
| US4948677A (en) | High transmittance, low emissivity article and method of preparation | |
| US4898790A (en) | Low emissivity film for high temperature processing | |
| US4806220A (en) | Method of making low emissivity film for high temperature processing | |
| US5059295A (en) | Method of making low emissivity window | |
| EP0336257B1 (en) | Low emissivity film for automotive head load reduction | |
| US4834857A (en) | Neutral sputtered films of metal alloy oxides | |
| US4902580A (en) | Neutral reflecting coated articles with sputtered multilayer films of metal oxides | |
| EP0275474A1 (en) | Low emissivity film for high temperature processing | |
| US4806221A (en) | Sputtered films of bismuth/tin oxide | |
| US5178966A (en) | Composite with sputtered films of bismuth/tin oxide | |
| CA1288383C (en) | Durable sputtered films of metal alloy oxides |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FG | Patent granted |
Owner name: PPG INDUSTRIES, INC. |
|
| BB | Publication of examined application | ||
| MM | Patent lapsed | ||
| MM | Patent lapsed |
Owner name: PPG INDUSTRIES, INC. |