FI119259B - Bestämning av yta och tjocklek - Google Patents
Bestämning av yta och tjocklek Download PDFInfo
- Publication number
- FI119259B FI119259B FI20065669A FI20065669A FI119259B FI 119259 B FI119259 B FI 119259B FI 20065669 A FI20065669 A FI 20065669A FI 20065669 A FI20065669 A FI 20065669A FI 119259 B FI119259 B FI 119259B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- optical radiation
- measured
- optical
- detector
- normal
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0691—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of objects while moving
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D21—PAPER-MAKING; PRODUCTION OF CELLULOSE
- D21F—PAPER-MAKING MACHINES; METHODS OF PRODUCING PAPER THEREON
- D21F7/00—Other details of machines for making continuous webs of paper
- D21F7/06—Indicating or regulating the thickness of the layer; Signal devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/46—Indirect determination of position data
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/499—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00 using polarisation effects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/40—Caliper-like sensors
- G01B2210/44—Caliper-like sensors with detectors on both sides of the object to be measured
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/50—Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/57—Measuring gloss
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Claims (25)
1. Mätanordning för bestämning av en yta hos ett objekt som skall mätäs med hjälp avoptisk strälning, kännetecknad avatt mätanordningen omfattar 5 en optisk källa (104); en behandlingsenhet (112) för optisk strälning, vilken är anordnad att rikta olika vägländer av den optiska källans (104) optiska strälning mot ett objekt (114) som skall mätäs frän en riktning som avviker frän normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs sä att olika väglängder fokuseras pä olika höj-10 der i riktning med normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; en detektor (108), tili vilken behandlingsenheten (112) för optisk strälning är anordnad att rikta optisk strälning som den mottagit, vilken optisk strälning behandlingsenheten (112) för optisk strälning är anordnad att motta frän objektet (114) som skall mätäs ätminstone frän spegelreflexionens riktning 15 som avviker frän riktningen för normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; en signalbehandiingsenhet (124), som är anordnad att pä basis av en signal som en detektor (112) alstrat bestämma den väglängd för den detek-terade optiska strälningen, pä vilken den optiska strälningens styrka är störst, ooh bestämma läget för ytan (116) som skall mätäs med hjälp av den bestäm-20 da väglängden. * · · • » t
2. Mätanordning enligt patentkrav 1, kännetecknad av att mät- ;es[: anordningen omfattar ätminstone en polarisator (120, 122, 302), varav ätmin- : stone en polarisator (120, 122, 302) är anordnad att polarisera den optiska »M · ; 25 strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs i en vinkelrät .1··. riktning i förhällande tili normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs. ··· eVt
3. Mätanordning enligt patentkrav 1, kännetecknad av att be- handlingsenheten (112) för optisk strälning omfattar en första behandlingsdel • · *·;·2 30 (106) för optisk strälning för att rikta optisk strälning mot objektet (114) som : skall mätäs och en andra behandlingsdel (110) för optisk strälning för att rikta :***· den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs tili • ·« detektorn (108). • · · ' ' • · • · · • « 2 24 119259
4. Mätanordning enligt patentkrav 1,kännetecknad av att be-handlingsenheten (112) för optisk strälning omfattar en första behandlingsdel (106) för optisk strälning, en andra behandlingsdel (110) för optisk strälning, en reflektor (300) och en riktande strälfördelare (302); 5 den första behandlingsdelen (106) för optisk strälning är anordnad att rikta optisk strälning mot objektet (114) som skall mätäs; den andra behandlingsdelen (110) för optisk strälning är anordnad att rikta den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs tili reflektoin (300), som är anordnad att reflektera den optiska strälning-10 en som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs tillbaka tili objektet (114) som skall mätäs via den andra behandlingsdelen (110) för optisk strälning, vilken är anordnad att rikta den optiska strälningens olika väglängder mot objektet (114) som skall mätäs frän en riktning som avviker frän normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs $ä att olika väglängder fokuseras pä olika 15 höjder i riktning med normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs, varvid en väglängd fokuseras pä ytan (116) som skall mätäs; den första behandlingsdelen (106) för optisk strälning är anordnad att rikta den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs mot den optiska kallan (104); och 20 den riktande strälfördelaren (302) är anordnad att rikta ätminstone en del av den mot den optiska kallan (104) riktade optiska strälningen tili de- v : tektorn (108). « « · • · • M
5. Mätanordning enligt patentkrav 2, kännetecknad av att sträl- jt$’: 25 fördelaren (302) är anordnad att fungera som en polarisator.
* • · · • · · ··* .·*·. 6. Mätanordning enligt patentkrav 3, kännetecknad av att den »*» första behandlingsdelen (106) för optisk strälning omfattar en dispersiv kom-ponent (400) som är anordnad att dispergera optisk strälning som är riktad mot • · · 30 objektet (114) som skall mätäs kromatiskt i en icke axiell riktning; **;·* den första behandlingsdelen (106) för optisk strälning omfattar en ·.*,* första fokuseringskomponent (408) som är anordnad att fokusera den icke axi- elit dispergerade optiska strälningens olika väglängder pä olika höjd i riktning •Λ. med normalen (118) för ytan (116) av objektet (114) som skall mätäs; och \.I 35 den andra behandlingsdelen (110) för optisk strälning omfattar en ***** andra dispersiv komponent (500) som är anordnad att avlägsna dispergering 119259 25 frän den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs; och den andra behandlingsdelen (110) för optisk straining omfattar en andra fokuseringskomponent (508) som är anordnad att fokusera den optiska 5 strälningen i icke dispergerad form tili detektorn (108).
7. Mätanordning enligt patentkrav 3,kännetecknad av att den första behandlingsdelen (106) för optisk straining omfattar en dispersiv kom-ponent (400) som är anordnad att dispergera optisk straining som riktats mot 10 objektet som skall mätäs kromatiskt i en icke axiell riktning; den första behandlingsdelen (106) för optisk straining omfattar en första fokuseringskomponent (408) som är anordnad att fokusera den icke axi-ellt dispergerade optiska strälningens olika väglängder pä olika höjd i riktning med normalen (118) för ytan (116) av objektet (114) som skall mätäs; och 15 den andra behandlingsdelen (110) för optisk straining omfattar en andra fokuseringskomponent (508) som är anordnad att fokusera den optiska strälningen i dispergerad form till detektorn (108).
8. Mätanordning enligt patentkrav 4, kännetecknad av att den 20 första behandlingsdelen (106) för optisk strälning omfattar en dispersiv kom- ... ponent (400) som är anordnad att dispergera optisk straining som är riktad mot • t · *·*/ objektet (114) som skall mätäs kromatiskt i en icke axiell riktning; *·!·* den första behandlingsdelen (106) för optisk strälning omfattar en första fokuseringskomponent (408) som är anordnad att fokusera den icke axi- • · ·.: * 25 elit dispergerade optiska strälningens olika väglängder pä olika höjd i riktning med normalen (118) för ytan (116) av objektet (114) som skall mätäs; och den andra behandlingsdelen (110) för optisk strälning omfattar en andra dispersiv komponent (500) som är anordnad att avlägsna dispergering .y. frän den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mä- 30 tas och dispergera den frän reflektom (300) reflekterade strälningen kromatiskt * · *Γ i en icke axiell riktning; den andra behandlingsdelen (110) för optisk strälning omfattar en andra fokuseringskomponent (508) som är anordnad att fokusera den frän re- :v. flektorn (300) reflekterade, icke axiellt dispergerade optiska strälningens olika • « 35 väglängder pä olika höjder i riktning med normalen (118) för ytan (116) som *** skall mätäs; 119259 26 den första behandlingsdelen (106) för optisk strälning är anordnad att avlägsna dispergering frän den optiska strälningen som reflekterats frän ob-jektet (114) som skall mätäs; och den riktande strälfördelaren (302) är anordnad att rikta den icke dis-5 pergerade optiska strälningen tili detektom (108).
9. Mätanordning enligt patentkrav 4, kännetecknad av att de-tektorn (108) är en raddetektor, till vilken raddetektors varje element en olika väglängd av den icke dispergerade optiska strälningen riktas. 10
10. Mätanordning enligt patentkrav 1, kännetecknad av att mätanordningen omfattar en referenssträlfördelare (302, 600) och en refe-rensdetektor (602); referenssträlfördelaren (302, 600) är anordnad att styra en del av 15 den optiska strälningen som den optiska kallan (104) sänt mot objektet (114) som skall mätäs tili referensdetektom (602) som är anordnad att mata en signal som motsvarar den optiska strälningen som den mottagit som elektrisk tili signalbehandlingsenheten (124); och signalbehandlingsenheten (124) är anordnad att normalisera de av 20 detektom (108) detekterade väglängdemas styrkor med hjälp av de av refe-rensdetektorn (602) detekterade väglängdemas styrkor. • » · • * i :.:.i
11. Mätanordning enligt patentkrav 10, kännetecknad av att \i.! den riktande strälfördelaren (302) är anordnad att fungera som en referens- ·.♦*: 25 strälfördelare. t • · · i
· · ··· :’**· 12. Mätanordning enligt patentkrav 1, kännetecknad av att sig- *·* nalbehandlingsenheten (124) är anordnad att modulera den optiska källan (104) och demodulera en frän detektom (108) kommande signal som motsva- • * * 30 rar den detekterade optiska strälningen. • · ···
13. Mätanordning enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d av att de- tektorn (108) omfattar en första detektordel (802), en andra detektordel (804), •V, en detektorsträlfördelare (800), ett första filter (806) och ett andra filter (808); « · 35 det första filtrets (806) svar är anordnat att vara olikt det andra fil- *··** trets (808) svar pä mätfältet; 119259 27 detektorsträlfördelaren (800) är anordnad att fördela den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs sä att en del av den optiska stralningen riktas mot den första detektordelen (802) via det första filtret (806) och en del av den optiska strälningen riktas mot den andra 5 detektordelen (804) via det andra filtret (808); och signalbehandlingsenheten (124) är anordnad att bestämma väg-längden med den största styrkan pä grundval av förhällandet mellan den första detektordelens (802) och den andra detektordelens (804) detekterade optiska strälningar. 10
14. Mätanordning för mätning av tjocklek hos ett objekt som skall mätäs, kännetecknad av att mätanordningen för mätning av en första yta omfattar: en optisk kalla (104); 15 en behandlingsenhet (112) för optisk straining, vilken är anordnad att rikta olika vägländer av den optiska källans (104) optiska straining mot ett objekt (114) som skall mätäs fran en riktning som avviker fran normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs sä att olika väglängder fokuseras pä olika höj-der i riktning med normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; 20 en detektor (108), tili vilken behandlingsenheten (112) för optisk strälning är anordnad att rikta den optiska strälningen som den mottagit, vilken *·* * optisk strälning behandlingsenheten (112) för optisk strälning är anordnad att motta frän objektet (114) som skall mätäs ätminstone fran spegelreflexionens :.:.i riktning som avviker frän riktningen för normalen (118) för ytan (116) som skall : 25 mätäs; ··« · : en signalbehandlingsenhet (124) som är anordnad att pä basis av • e* .**·. en signal som en detektor (112) alstrat bestämma den vaglängd för den detek terade optiska strälningen, pä vilken den optiska strälningens styrka är störst, och bestämma läget för ytan (116) som skall mätäs med hjälp av den bestäm- • * · 30 da väglängden; och **"* mätanordningen omfattar för mätning av en andra sida av objektet ί.·.ί (114) som skall mätäs: en optisk källa (104) för den andra sidan; •Λ en behandlingsenhet (112B) för optisk strälning för den andra sidan, • · 35 vilken är anordnad att rikta olika vägländer av den optiska källans (104B) op-***** tiska strälning mot objektet (114) som skall mätäs frän en riktning som avviker 119259 28 frän normalen (118B) för den andra ytan (116B) som skall mätäs sä att olika väglängder fokuseras pä olika höjder ί riktning med normalen (118B) för den andra ytan (116B) som skall mätäs; en detektor (108B) för den andra sidan, tili vilken behandlingsenhe-5 ten (112B) för optisk strälning är anordnad att rikta den optiska strälningen som den mottagit, vilken optisk strälning behandlingsenheten (112B) för optisk straining är anordnad att motta frän objektet (114) som skall mätäs ätminstone frän spegelreflexionens riktning som avviker frän riktningen för normalen (118B) för ytan (116B) som skall mätäs; 10 en signalbehandlingsenhet (124) är anordnad att pä basis av en signal som detektorn (112B) den andra sidan alstrat bestämma den väglängd för den detekterade optiska strälningen, pä vilken den optiska strälningens styrka är störst, och bestämma läget för den andra ytan (116B) som skall mätäs med hjälp av den bestämda väglängden; och 15 signalbehandlingsenheten (124) är anordnad att med hjälp av de bestämda ytornas (116, 116B) lägen mätä tjockleken hos objektet (114) som skall mätäs.
15. Mätanordning enligt patentkrav 14, kännetecknad av att 20 mätanordningen omfattar ätminstone en polarisator (120, 122, 302), varav ätminstone en polarisator (120, 122, 302) är anordnad att polarisera den optiska v : strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs i en vinkelrät φ riktning i förhällande tili normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; och mätanordningen omfattar ätminstone en polarisator (120B, 122B, 302B) för jj*: 25 den andra sidan, varav ätminstone en polarisator (120, 122, 302) för den and- • :*· ra sidan är anordnad att polarisera den optiska strälningen som reflekterats ··· .·**. frän objektet (114) som skall mätäs i en vinkelrät riktning i förhällande tili nor malen (118B) för den andra ytan (116B) som skall mätäs. $ · • · * M 30
16. Förfarande för bestämning av en yta hos ett objekt som skall *·“* mätäs med hjälp av optisk strälning, kä n n eteckn at avatt den optiska strälningens olika väglängder riktas (1300) mot objektet (114) som skall mätäs frän en riktning som avviker frän normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs sä att olika väglängder fokuseras pä olika höjder i rikt-35 ning med normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; • « *·*·* optisk strälning mottas (1304) ätminstone frän spegelreflexionens 119259 29 riktning som awiker frän normalen (118) för ytan (116) som skali mätäs; hos den mottagna optiska strälningen bestäms (1306) en väglängd, pä vilken den mottagna optiska strälningens styrka är störst; och läget för ytan (116) av objektet (114) som skall mätäs bestäms 5 (1308) med hjälp av den bestämda väglängden.
17. Förfarande enligt patentkrav 16, kännetecknat avatt den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs polari-seras (1302) i en vinkelrät riktning i förhällande tili normalen (118) för ytan 10 (116) som skall mätäs.
18. Förfarande enligt patentkrav 16, kännetecknat avatt den mot objektet (114) som skall mätäs riktade optiska strälningen dispergeras kromatiskt i en icke axiell riktning; 15 den icke axieilt dispergerade optiska strälningens olika väglängder fokuseras pä olika höjd i riktning av normalen (118) för ytan (116) av objektet (114) som skall mätäs, varvid en väglängd fokuseras tili ytan (116) som skall mätäs. 20
19. Förfarande enligt patentkrav 17, kännetecknat avatt dis- pergeringen avlägsnas frän den mottagna optiska strälningen; ν' : hos den icke dispergerade optiska strälningen bestäms en väg- längd, pä vilken den optiska strälningens styrka är störst. i · · • * * M* 25
20. Förfarande enligt patentkrav 17, kännetecknat av att hos : den dispergerade mottagna optiska strälningen bestäms en väglängd, pä vil- ··· .*··. ken den mottagna optiska strälningens styrka är störst. • t· .....
21. Förfarande enligt patentkrav 16, kännetecknat av att den * · · 30 optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs reflek-*·;*' teräs tillbaka tili objektet (114) som skall mätäs sä att den optiska strälningen ·.·]· reflekteras frän objektet (114) som skall mätäs i nämnda riktning som använts s"*: vid riktningen och som awiker frän normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; och den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som *..* 35 skall mätäs styrs att mottas. • ··· 119259 30
22. Förfarande enligt patentkrav 16, kännetecknat av att en del av den optiska strälningen som den optiska kallan (104) sänt mot objektet (114) som skall mätäs styrs tili en referensdetektor (602); en elektrisk signal som motsvarar den av referensdetektom (602) 5 mottagna optiska strälningen mätäs tili en signalbehandlingsenhet (124); och de av detektom (108) detekterade väglängdemas styrkor normalise-ras i signalbehandlingsenheten (124) med hjälp av de av referensdetektom (602) detekterade väglängdemas styrkor. 10
23. Förfarande enligt patentkrav 16, kännetecknat av att den av den optiska källan (104) sända optiska strälningen moduleras och en detek-terad signal som motsvarar moduleringen demoduleras.
24. Förfarande för mätning av tjockleken av ett objekt som skall mä- 15 tas med hjälp av optisk straining, kännetecknat av att den optiska strälningens olika väglängder riktas (1400) mot objektet (114) som skall mätäs i en riktning som avviker frän normalen (118) för en för-sta yta (116) som skall mätäs sä att de olika väglängderna riktas pä olika höj-der i riktning med normalen (118) för den första ytan (116) som skall mätäs; 20 optisk straining mottas (1404) ätminstone frän spegelreflexionens ... riktning, vilken avviker frän normalen (118) för den första ytan (116) som skall III **'/ mätäs; M.* hos den mottagna optiska strälningen bestäms (1406) en väglängd, pä vilken den optiska strälningens styrka är störst; och · 25 läget för den första ytan (116) som skall mätäs bestäms (1408) med ϊ(Γϊ hjälp av den bestämda väglängden; ·*": den optiska strälningens olika väglängder riktas (1410) mot objektet ·*· (114) som skall mätäs i en riktning som avviker frän normalen (118B) för en .·.·. andra yta (116B) som skall mätäs sä att de olika väglängderna riktas pä olika • · · 30 höjder i riktning av normalen (118B) för den andra ytan (116B) som skall mä- V tas; optisk strälning mottas (1414) ätminstone frän spegelreflexionens riktning, vilken avviker frän normalen (118B) för den andra ytan (116B) som :v. skall mätäs; • * \.',t 35 hos den mottagna optiska strälningen bestäms (1416) en väglängd, **"* pä vilken den optiska strälningens styrka är störst; och 31 1 1 9259 läget för den andra ytan (116B) som skall mätäs bestäms (1418) med hjälp av den bestämda väglängden; och tjockleken hos objektet (114) som skall mätäs bestäms (1420) med hjälp av läget för de bestämda ytoma (116,116B). 5
25. Förfarande enligt patentkrav 24, kännetecknat avatt den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs polari-seras (1412) i en vinkelrät riktning i förtiallande till normalen (118B) för den andra ytan (116B) som skall mätäs; och 10 den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs polariseras (1402) i en vinkelrät riktning i förtiallande tili normalen (118) för den första ytan (116) som skall mätäs. • · * • · · • · φ * · • · · • · · φ • · φ φ · # φ φ · • φ • φ φ • φ φ φ·· · m Φ φ · Φ · Φ # Φ Φ φ φ Φ Φ φ · φ Φ • Φ Φ Φ Φ · Φ Φ φ Φ φ Φ φ ® Φ Φ φ Φ Φ φ φ • φ φ φ · · φ φ φ Φ φ • φ φ φ φ • Μ Φ Φ # Φ Φ Φ • Φ Φ Φ Φ Φ Φ Φ Φ Φ Φ #
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20065669A FI119259B (sv) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | Bestämning av yta och tjocklek |
EP07823198A EP2076733B1 (en) | 2006-10-18 | 2007-10-17 | Determining surface and thickness |
US12/446,298 US7936464B2 (en) | 2006-10-18 | 2007-10-17 | Determining surface and thickness |
CN2007800386293A CN101529200B (zh) | 2006-10-18 | 2007-10-17 | 确定表面和厚度 |
ES07823198T ES2400380T3 (es) | 2006-10-18 | 2007-10-17 | Determinación de superficie y de grosor |
PCT/FI2007/050561 WO2008046966A1 (en) | 2006-10-18 | 2007-10-17 | Determining surface and thickness |
JP2009532834A JP5155325B2 (ja) | 2006-10-18 | 2007-10-17 | 表面および厚みの決定 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20065669A FI119259B (sv) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | Bestämning av yta och tjocklek |
FI20065669 | 2006-10-18 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI20065669A0 FI20065669A0 (sv) | 2006-10-18 |
FI20065669A FI20065669A (sv) | 2008-04-19 |
FI119259B true FI119259B (sv) | 2008-09-15 |
Family
ID=37232275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI20065669A FI119259B (sv) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | Bestämning av yta och tjocklek |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7936464B2 (sv) |
EP (1) | EP2076733B1 (sv) |
JP (1) | JP5155325B2 (sv) |
CN (1) | CN101529200B (sv) |
ES (1) | ES2400380T3 (sv) |
FI (1) | FI119259B (sv) |
WO (1) | WO2008046966A1 (sv) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011042606A1 (en) | 2009-10-08 | 2011-04-14 | Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus | Measuring instrument and method for determination of the properties of an item and its surface |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI20075975L (sv) * | 2007-12-31 | 2009-07-01 | Metso Automation Oy | Mätning av en bana |
US8085397B2 (en) * | 2009-07-10 | 2011-12-27 | Honeywell Asca Inc. | Fiber optic sensor utilizing broadband sources |
JP2011229625A (ja) * | 2010-04-26 | 2011-11-17 | Fujifilm Corp | 内視鏡装置 |
JP2011229603A (ja) * | 2010-04-26 | 2011-11-17 | Fujifilm Corp | 内視鏡装置 |
FI124452B (sv) * | 2010-07-09 | 2014-09-15 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt | Förfarande och anordning för mätning av färg och andra egenskaper av en yta |
US11231502B2 (en) * | 2011-06-30 | 2022-01-25 | The Regents Of The University Of Colorado | Remote measurement of shallow depths in semi-transparent media |
US10684362B2 (en) | 2011-06-30 | 2020-06-16 | The Regents Of The University Of Colorado | Remote measurement of shallow depths in semi-transparent media |
US11933899B2 (en) | 2011-06-30 | 2024-03-19 | The Regents Of The University Of Colorado | Remote measurement of shallow depths in semi-transparent media |
US11313678B2 (en) | 2011-06-30 | 2022-04-26 | The Regents Of The University Of Colorado | Remote measurement of shallow depths in semi-transparent media |
JP2013096853A (ja) * | 2011-11-01 | 2013-05-20 | Omron Corp | 変位センサ |
DE102011117523B3 (de) * | 2011-11-03 | 2013-04-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zur optischen Bestimmung der Oberflächengeometrie einer dreidimensionalen Probe |
DK2798207T3 (en) * | 2011-12-29 | 2016-04-04 | Vestas Wind Sys As | A wind turbine and a method for determining the presence and / or the thickness of a layer of ice on a wing body of a wind turbine |
CN102778202B (zh) * | 2012-03-23 | 2016-01-27 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种膜厚测量装置及方法 |
FI125408B (sv) | 2012-09-17 | 2015-09-30 | Focalspec Oy | Förfarande och mätanordning för mätning av ytans avstånd, tjockleken och optiska egenskaper hos ett objekt |
JP5701837B2 (ja) * | 2012-10-12 | 2015-04-15 | 横河電機株式会社 | 変位センサ、変位測定方法 |
FI20126126L (sv) * | 2012-10-30 | 2014-05-01 | Metso Automation Oy | Förfarande och anordning för att mäta glans |
GB2507813B (en) * | 2012-11-13 | 2017-06-21 | Focalspec Oy | Apparatus and method for inspecting seals of items |
WO2016000764A1 (de) * | 2014-07-01 | 2016-01-07 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Chromatisch konfokale sensoranordnung |
CN105303675B (zh) * | 2015-10-15 | 2018-01-19 | 东方通信股份有限公司 | 一种利用光敏传感器检测纸张厚度的装置和方法 |
US11340343B2 (en) * | 2017-03-23 | 2022-05-24 | Dolphin Measurement Systems, Llc | Apparatus and methods for thickness and velocity measurement of flat moving materials using high frequency radar technologies |
CN107326717B (zh) * | 2017-07-12 | 2019-05-28 | 东莞福迈包装印刷有限公司 | 一种可以检测纸张厚度的造纸机 |
DE102017126310A1 (de) | 2017-11-09 | 2019-05-09 | Precitec Optronik Gmbh | Abstandsmessvorrichtung |
CN108955549A (zh) * | 2018-09-11 | 2018-12-07 | 深圳立仪科技有限公司 | 一种透光材料双面测厚装置 |
DE102018130901A1 (de) | 2018-12-04 | 2020-06-04 | Precitec Optronik Gmbh | Optische Messeinrichtung |
CN110836642A (zh) * | 2019-12-23 | 2020-02-25 | 海伯森技术(深圳)有限公司 | 一种基于三角测量法的彩色三角位移传感器及其测量方法 |
CN115335976A (zh) * | 2020-03-27 | 2022-11-11 | 朗姆研究公司 | 使用穿透光束激光传感器的原位晶片厚度和间隙监测 |
CN112162296B (zh) * | 2020-09-29 | 2024-05-31 | 香港中文大学(深圳) | 一种激光测距*** |
FI20215460A1 (sv) | 2021-04-19 | 2022-10-20 | Lmi Tech Oy | Belysningsenhet och förfarande för generering av mätningsljus och optisk mätanordning |
DE102022134243A1 (de) * | 2022-12-20 | 2024-06-20 | Precitec Optronik Gmbh | Chromatisch konfokale Messeinrichtung |
DE102022134249A1 (de) * | 2022-12-20 | 2024-06-20 | Precitec Optronik Gmbh | Chromatisch konfokale Messeinrichtung |
CN116067435B (zh) * | 2023-03-20 | 2023-06-27 | 北京市农林科学院智能装备技术研究中心 | 土壤环境多参数监测传感器 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2906641A1 (de) | 1979-02-21 | 1980-08-28 | Freudenberg Carl Fa | Verfahren zur optisch-elektrischen messung des abstandes zwischen einer messeinrichtung und einem pruefling |
US4458152A (en) * | 1982-05-10 | 1984-07-03 | Siltec Corporation | Precision specular proximity detector and article handing apparatus employing same |
CH663466A5 (fr) * | 1983-09-12 | 1987-12-15 | Battelle Memorial Institute | Procede et dispositif pour determiner la position d'un objet par rapport a une reference. |
US4936676A (en) * | 1984-11-28 | 1990-06-26 | Honeywell Inc. | Surface position sensor |
US4656358A (en) * | 1985-03-12 | 1987-04-07 | Optoscan Corporation | Laser-based wafer measuring system |
DE3643842C2 (de) | 1986-12-20 | 1995-07-20 | Leuze Electronic Gmbh & Co | Anordnung zur berührungslosen Bestimmung der räumlichen Lage eines auf der Oberfläche eines Körpers befindlichen Objektpunkts |
JP2595821B2 (ja) * | 1991-03-12 | 1997-04-02 | 日本電気株式会社 | 三次元形状測定装置 |
JPH04370708A (ja) * | 1991-06-20 | 1992-12-24 | Meidensha Corp | 小型偏光解析装置 |
US5162660A (en) * | 1991-06-27 | 1992-11-10 | Macmillan Bloedel Limited | Paper roughness or glass sensor using polarized light reflection |
JPH109827A (ja) * | 1996-06-24 | 1998-01-16 | Omron Corp | 高さ判別装置および方法 |
US6064517A (en) * | 1996-07-22 | 2000-05-16 | Kla-Tencor Corporation | High NA system for multiple mode imaging |
IL121267A0 (en) * | 1997-07-09 | 1998-01-04 | Yeda Res & Dev | Method and device for determining the profile of an object |
DE19733297C2 (de) | 1997-08-01 | 1999-12-09 | Marcus Gut | Berührungslose optische Dickenmessung |
JPH11201729A (ja) * | 1998-01-12 | 1999-07-30 | Mitsutoyo Corp | 光学式測定装置 |
FR2779517B1 (fr) * | 1998-06-05 | 2000-08-18 | Architecture Traitement D Imag | Procede et dispositif d'acquisition opto-electrique de formes par illumination axiale |
US6208411B1 (en) * | 1998-09-28 | 2001-03-27 | Kla-Tencor Corporation | Massively parallel inspection and imaging system |
JP2001070228A (ja) * | 1999-07-02 | 2001-03-21 | Asahi Optical Co Ltd | 内視鏡装置 |
US6268923B1 (en) * | 1999-10-07 | 2001-07-31 | Integral Vision, Inc. | Optical method and system for measuring three-dimensional surface topography of an object having a surface contour |
WO2001059402A2 (en) * | 2000-01-25 | 2001-08-16 | Zygo Corporation | Optical systems for measuring form and geometric dimensions of precision engineered parts |
US6917421B1 (en) * | 2001-10-12 | 2005-07-12 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Systems and methods for multi-dimensional inspection and/or metrology of a specimen |
DE10242374A1 (de) * | 2002-09-12 | 2004-04-01 | Siemens Ag | Konfokaler Abstandssensor |
DE10325942B4 (de) | 2003-06-07 | 2010-09-16 | Jurca Optoelektronik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Dickenmessung transparanter Körper |
DE102004034693B4 (de) * | 2004-07-17 | 2006-05-18 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen optischen Messung der Dicke von heißen Glaskörpern mittels der chromatischen Aberration |
US7345772B2 (en) * | 2004-08-06 | 2008-03-18 | Voith Paper Patent Gmbh | Optical triangulation device and method of measuring a variable of a web using the device |
DE102005006724A1 (de) | 2004-10-20 | 2006-08-10 | Universität Stuttgart | Verfahren und Anordung zur konfokalen Spektral-Interferometrie, insbesondere auch zur optischen Kohärenz-Tomografie (OCT)und/oder optischen Kohärenz-Mikroskopie (OCM)von biologischen und technischen Objekten |
DE102004052205A1 (de) * | 2004-10-20 | 2006-05-04 | Universität Stuttgart | Interferometrischer Multispektral-Sensor und interferometrisches Multispektral-Verfahren zur hochdynamischen Objekt-Tiefenabtastung oder Objekt-Profilerfassung |
US7522292B2 (en) * | 2005-03-11 | 2009-04-21 | Carl Zeiss Smt Ag | System and method for determining a shape of a surface of an object and method of manufacturing an object having a surface of a predetermined shape |
US20060232790A1 (en) * | 2005-04-18 | 2006-10-19 | Lee Chase | Confocal measurement method and apparatus in a paper machine |
JP2007147299A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Kobe Steel Ltd | 変位測定装置及び変位測定方法 |
-
2006
- 2006-10-18 FI FI20065669A patent/FI119259B/sv active IP Right Grant
-
2007
- 2007-10-17 ES ES07823198T patent/ES2400380T3/es active Active
- 2007-10-17 JP JP2009532834A patent/JP5155325B2/ja active Active
- 2007-10-17 WO PCT/FI2007/050561 patent/WO2008046966A1/en active Application Filing
- 2007-10-17 US US12/446,298 patent/US7936464B2/en active Active
- 2007-10-17 EP EP07823198A patent/EP2076733B1/en active Active
- 2007-10-17 CN CN2007800386293A patent/CN101529200B/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011042606A1 (en) | 2009-10-08 | 2011-04-14 | Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus | Measuring instrument and method for determination of the properties of an item and its surface |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101529200B (zh) | 2012-07-04 |
JP2010507089A (ja) | 2010-03-04 |
EP2076733B1 (en) | 2012-12-05 |
US7936464B2 (en) | 2011-05-03 |
FI20065669A0 (sv) | 2006-10-18 |
US20100296107A1 (en) | 2010-11-25 |
JP5155325B2 (ja) | 2013-03-06 |
FI20065669A (sv) | 2008-04-19 |
EP2076733A1 (en) | 2009-07-08 |
ES2400380T3 (es) | 2013-04-09 |
EP2076733A4 (en) | 2010-01-06 |
CN101529200A (zh) | 2009-09-09 |
WO2008046966A1 (en) | 2008-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI119259B (sv) | Bestämning av yta och tjocklek | |
US8786836B2 (en) | Measuring instrument and method for determination of the properties of an item and its surface | |
EP3001179B1 (en) | Mid-infrared scanning imaging system | |
JP2010507089A5 (sv) | ||
US20060181708A1 (en) | Photothermal conversion measurement apparatus, photothermal conversion measurement method, and sample cell | |
KR20130054428A (ko) | 거리 결정을 위한 광학식 측정 시스템 | |
JP7012098B2 (ja) | 遠赤外光源、遠赤外分光装置 | |
US20210181100A1 (en) | Multi-function spectrometer | |
US11016023B1 (en) | Far-infrared spectroscopic device and far-infrared spectroscopic method | |
JP2008134076A (ja) | ガス分析装置 | |
US10928307B2 (en) | Configurable retro-reflective sensor system for the improved characterization of the properties of a sample | |
JP2010528309A (ja) | 媒体中の化合物の光学遠隔検出方法 | |
JP7240528B2 (ja) | 遠赤外分光装置、遠赤外分光方法 | |
US6856395B2 (en) | Reflectometer arrangement and method for determining the reflectance of selected measurement locations of measurement objects reflecting in a spectrally dependent manner | |
JPH08201278A (ja) | スペクトル測定装置 | |
KR100961138B1 (ko) | 분광분석기 | |
WO2018072766A1 (en) | Apparatus for spectrum and intensity profile characterization of a beam, use thereof and method thereof | |
JP2000206047A (ja) | スペクトル測定装置 | |
WO2022262880A1 (en) | Device for the measurement of the spectral reflectance, in particular concave spherical mirror surfaces, and method of the measurement on this device | |
FI124263B (sv) | Mätanordning och förfarande för mätning av egenskaper hos ett objekt och ytan av objektet | |
JPH04313005A (ja) | 膜厚測定装置 | |
PL198299B1 (pl) | Urządzenie do pomiaru chropowatości powierzchni |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FG | Patent granted |
Ref document number: 119259 Country of ref document: FI |
|
PC | Transfer of assignment of patent |
Owner name: FOCALSPEC OY |