FI119259B - Bestämning av yta och tjocklek - Google Patents

Bestämning av yta och tjocklek Download PDF

Info

Publication number
FI119259B
FI119259B FI20065669A FI20065669A FI119259B FI 119259 B FI119259 B FI 119259B FI 20065669 A FI20065669 A FI 20065669A FI 20065669 A FI20065669 A FI 20065669A FI 119259 B FI119259 B FI 119259B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
optical radiation
measured
optical
detector
normal
Prior art date
Application number
FI20065669A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI20065669A0 (sv
FI20065669A (sv
Inventor
Heimo Keraenen
Original Assignee
Valtion Teknillinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=37232275&utm_source=***_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=FI119259(B) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Publication of FI20065669A0 publication Critical patent/FI20065669A0/sv
Priority to FI20065669A priority Critical patent/FI119259B/sv
Application filed by Valtion Teknillinen filed Critical Valtion Teknillinen
Priority to EP07823198A priority patent/EP2076733B1/en
Priority to CN2007800386293A priority patent/CN101529200B/zh
Priority to ES07823198T priority patent/ES2400380T3/es
Priority to PCT/FI2007/050561 priority patent/WO2008046966A1/en
Priority to JP2009532834A priority patent/JP5155325B2/ja
Priority to US12/446,298 priority patent/US7936464B2/en
Publication of FI20065669A publication Critical patent/FI20065669A/sv
Publication of FI119259B publication Critical patent/FI119259B/sv
Application granted granted Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0691—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of objects while moving
    • D—TEXTILES; PAPER
    • D21—PAPER-MAKING; PRODUCTION OF CELLULOSE
    • D21F—PAPER-MAKING MACHINES; METHODS OF PRODUCING PAPER THEREON
    • D21F7/00—Other details of machines for making continuous webs of paper
    • D21F7/06—Indicating or regulating the thickness of the layer; Signal devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06—Systems determining position data of a target
    • G01S17/46—Indirect determination of position data
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/499—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00 using polarisation effects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
    • G01B2210/40—Caliper-like sensors
    • G01B2210/44—Caliper-like sensors with detectors on both sides of the object to be measured
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
    • G01B2210/50—Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55—Specular reflectivity
    • G01N21/57—Measuring gloss

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Claims (25)

1. Mätanordning för bestämning av en yta hos ett objekt som skall mätäs med hjälp avoptisk strälning, kännetecknad avatt mätanordningen omfattar 5 en optisk källa (104); en behandlingsenhet (112) för optisk strälning, vilken är anordnad att rikta olika vägländer av den optiska källans (104) optiska strälning mot ett objekt (114) som skall mätäs frän en riktning som avviker frän normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs sä att olika väglängder fokuseras pä olika höj-10 der i riktning med normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; en detektor (108), tili vilken behandlingsenheten (112) för optisk strälning är anordnad att rikta optisk strälning som den mottagit, vilken optisk strälning behandlingsenheten (112) för optisk strälning är anordnad att motta frän objektet (114) som skall mätäs ätminstone frän spegelreflexionens riktning 15 som avviker frän riktningen för normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; en signalbehandiingsenhet (124), som är anordnad att pä basis av en signal som en detektor (112) alstrat bestämma den väglängd för den detek-terade optiska strälningen, pä vilken den optiska strälningens styrka är störst, ooh bestämma läget för ytan (116) som skall mätäs med hjälp av den bestäm-20 da väglängden. * · · • » t
2. Mätanordning enligt patentkrav 1, kännetecknad av att mät- ;es[: anordningen omfattar ätminstone en polarisator (120, 122, 302), varav ätmin- : stone en polarisator (120, 122, 302) är anordnad att polarisera den optiska »M · ; 25 strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs i en vinkelrät .1··. riktning i förhällande tili normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs. ··· eVt
3. Mätanordning enligt patentkrav 1, kännetecknad av att be- handlingsenheten (112) för optisk strälning omfattar en första behandlingsdel • · *·;·2 30 (106) för optisk strälning för att rikta optisk strälning mot objektet (114) som : skall mätäs och en andra behandlingsdel (110) för optisk strälning för att rikta :***· den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs tili • ·« detektorn (108). • · · ' ' • · • · · • « 2 24 119259
4. Mätanordning enligt patentkrav 1,kännetecknad av att be-handlingsenheten (112) för optisk strälning omfattar en första behandlingsdel (106) för optisk strälning, en andra behandlingsdel (110) för optisk strälning, en reflektor (300) och en riktande strälfördelare (302); 5 den första behandlingsdelen (106) för optisk strälning är anordnad att rikta optisk strälning mot objektet (114) som skall mätäs; den andra behandlingsdelen (110) för optisk strälning är anordnad att rikta den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs tili reflektoin (300), som är anordnad att reflektera den optiska strälning-10 en som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs tillbaka tili objektet (114) som skall mätäs via den andra behandlingsdelen (110) för optisk strälning, vilken är anordnad att rikta den optiska strälningens olika väglängder mot objektet (114) som skall mätäs frän en riktning som avviker frän normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs $ä att olika väglängder fokuseras pä olika 15 höjder i riktning med normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs, varvid en väglängd fokuseras pä ytan (116) som skall mätäs; den första behandlingsdelen (106) för optisk strälning är anordnad att rikta den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs mot den optiska kallan (104); och 20 den riktande strälfördelaren (302) är anordnad att rikta ätminstone en del av den mot den optiska kallan (104) riktade optiska strälningen tili de- v : tektorn (108). « « · • · • M
5. Mätanordning enligt patentkrav 2, kännetecknad av att sträl- jt$’: 25 fördelaren (302) är anordnad att fungera som en polarisator.
* • · · • · · ··* .·*·. 6. Mätanordning enligt patentkrav 3, kännetecknad av att den »*» första behandlingsdelen (106) för optisk strälning omfattar en dispersiv kom-ponent (400) som är anordnad att dispergera optisk strälning som är riktad mot • · · 30 objektet (114) som skall mätäs kromatiskt i en icke axiell riktning; **;·* den första behandlingsdelen (106) för optisk strälning omfattar en ·.*,* första fokuseringskomponent (408) som är anordnad att fokusera den icke axi- elit dispergerade optiska strälningens olika väglängder pä olika höjd i riktning •Λ. med normalen (118) för ytan (116) av objektet (114) som skall mätäs; och \.I 35 den andra behandlingsdelen (110) för optisk strälning omfattar en ***** andra dispersiv komponent (500) som är anordnad att avlägsna dispergering 119259 25 frän den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs; och den andra behandlingsdelen (110) för optisk straining omfattar en andra fokuseringskomponent (508) som är anordnad att fokusera den optiska 5 strälningen i icke dispergerad form tili detektorn (108).
7. Mätanordning enligt patentkrav 3,kännetecknad av att den första behandlingsdelen (106) för optisk straining omfattar en dispersiv kom-ponent (400) som är anordnad att dispergera optisk straining som riktats mot 10 objektet som skall mätäs kromatiskt i en icke axiell riktning; den första behandlingsdelen (106) för optisk straining omfattar en första fokuseringskomponent (408) som är anordnad att fokusera den icke axi-ellt dispergerade optiska strälningens olika väglängder pä olika höjd i riktning med normalen (118) för ytan (116) av objektet (114) som skall mätäs; och 15 den andra behandlingsdelen (110) för optisk straining omfattar en andra fokuseringskomponent (508) som är anordnad att fokusera den optiska strälningen i dispergerad form till detektorn (108).
8. Mätanordning enligt patentkrav 4, kännetecknad av att den 20 första behandlingsdelen (106) för optisk strälning omfattar en dispersiv kom- ... ponent (400) som är anordnad att dispergera optisk straining som är riktad mot • t · *·*/ objektet (114) som skall mätäs kromatiskt i en icke axiell riktning; *·!·* den första behandlingsdelen (106) för optisk strälning omfattar en första fokuseringskomponent (408) som är anordnad att fokusera den icke axi- • · ·.: * 25 elit dispergerade optiska strälningens olika väglängder pä olika höjd i riktning med normalen (118) för ytan (116) av objektet (114) som skall mätäs; och den andra behandlingsdelen (110) för optisk strälning omfattar en andra dispersiv komponent (500) som är anordnad att avlägsna dispergering .y. frän den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mä- 30 tas och dispergera den frän reflektom (300) reflekterade strälningen kromatiskt * · *Γ i en icke axiell riktning; den andra behandlingsdelen (110) för optisk strälning omfattar en andra fokuseringskomponent (508) som är anordnad att fokusera den frän re- :v. flektorn (300) reflekterade, icke axiellt dispergerade optiska strälningens olika • « 35 väglängder pä olika höjder i riktning med normalen (118) för ytan (116) som *** skall mätäs; 119259 26 den första behandlingsdelen (106) för optisk strälning är anordnad att avlägsna dispergering frän den optiska strälningen som reflekterats frän ob-jektet (114) som skall mätäs; och den riktande strälfördelaren (302) är anordnad att rikta den icke dis-5 pergerade optiska strälningen tili detektom (108).
9. Mätanordning enligt patentkrav 4, kännetecknad av att de-tektorn (108) är en raddetektor, till vilken raddetektors varje element en olika väglängd av den icke dispergerade optiska strälningen riktas. 10
10. Mätanordning enligt patentkrav 1, kännetecknad av att mätanordningen omfattar en referenssträlfördelare (302, 600) och en refe-rensdetektor (602); referenssträlfördelaren (302, 600) är anordnad att styra en del av 15 den optiska strälningen som den optiska kallan (104) sänt mot objektet (114) som skall mätäs tili referensdetektom (602) som är anordnad att mata en signal som motsvarar den optiska strälningen som den mottagit som elektrisk tili signalbehandlingsenheten (124); och signalbehandlingsenheten (124) är anordnad att normalisera de av 20 detektom (108) detekterade väglängdemas styrkor med hjälp av de av refe-rensdetektorn (602) detekterade väglängdemas styrkor. • » · • * i :.:.i
11. Mätanordning enligt patentkrav 10, kännetecknad av att \i.! den riktande strälfördelaren (302) är anordnad att fungera som en referens- ·.♦*: 25 strälfördelare. t • · · i
· · ··· :’**· 12. Mätanordning enligt patentkrav 1, kännetecknad av att sig- *·* nalbehandlingsenheten (124) är anordnad att modulera den optiska källan (104) och demodulera en frän detektom (108) kommande signal som motsva- • * * 30 rar den detekterade optiska strälningen. • · ···
13. Mätanordning enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d av att de- tektorn (108) omfattar en första detektordel (802), en andra detektordel (804), •V, en detektorsträlfördelare (800), ett första filter (806) och ett andra filter (808); « · 35 det första filtrets (806) svar är anordnat att vara olikt det andra fil- *··** trets (808) svar pä mätfältet; 119259 27 detektorsträlfördelaren (800) är anordnad att fördela den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs sä att en del av den optiska stralningen riktas mot den första detektordelen (802) via det första filtret (806) och en del av den optiska strälningen riktas mot den andra 5 detektordelen (804) via det andra filtret (808); och signalbehandlingsenheten (124) är anordnad att bestämma väg-längden med den största styrkan pä grundval av förhällandet mellan den första detektordelens (802) och den andra detektordelens (804) detekterade optiska strälningar. 10
14. Mätanordning för mätning av tjocklek hos ett objekt som skall mätäs, kännetecknad av att mätanordningen för mätning av en första yta omfattar: en optisk kalla (104); 15 en behandlingsenhet (112) för optisk straining, vilken är anordnad att rikta olika vägländer av den optiska källans (104) optiska straining mot ett objekt (114) som skall mätäs fran en riktning som avviker fran normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs sä att olika väglängder fokuseras pä olika höj-der i riktning med normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; 20 en detektor (108), tili vilken behandlingsenheten (112) för optisk strälning är anordnad att rikta den optiska strälningen som den mottagit, vilken *·* * optisk strälning behandlingsenheten (112) för optisk strälning är anordnad att motta frän objektet (114) som skall mätäs ätminstone fran spegelreflexionens :.:.i riktning som avviker frän riktningen för normalen (118) för ytan (116) som skall : 25 mätäs; ··« · : en signalbehandlingsenhet (124) som är anordnad att pä basis av • e* .**·. en signal som en detektor (112) alstrat bestämma den vaglängd för den detek terade optiska strälningen, pä vilken den optiska strälningens styrka är störst, och bestämma läget för ytan (116) som skall mätäs med hjälp av den bestäm- • * · 30 da väglängden; och **"* mätanordningen omfattar för mätning av en andra sida av objektet ί.·.ί (114) som skall mätäs: en optisk källa (104) för den andra sidan; •Λ en behandlingsenhet (112B) för optisk strälning för den andra sidan, • · 35 vilken är anordnad att rikta olika vägländer av den optiska källans (104B) op-***** tiska strälning mot objektet (114) som skall mätäs frän en riktning som avviker 119259 28 frän normalen (118B) för den andra ytan (116B) som skall mätäs sä att olika väglängder fokuseras pä olika höjder ί riktning med normalen (118B) för den andra ytan (116B) som skall mätäs; en detektor (108B) för den andra sidan, tili vilken behandlingsenhe-5 ten (112B) för optisk strälning är anordnad att rikta den optiska strälningen som den mottagit, vilken optisk strälning behandlingsenheten (112B) för optisk straining är anordnad att motta frän objektet (114) som skall mätäs ätminstone frän spegelreflexionens riktning som avviker frän riktningen för normalen (118B) för ytan (116B) som skall mätäs; 10 en signalbehandlingsenhet (124) är anordnad att pä basis av en signal som detektorn (112B) den andra sidan alstrat bestämma den väglängd för den detekterade optiska strälningen, pä vilken den optiska strälningens styrka är störst, och bestämma läget för den andra ytan (116B) som skall mätäs med hjälp av den bestämda väglängden; och 15 signalbehandlingsenheten (124) är anordnad att med hjälp av de bestämda ytornas (116, 116B) lägen mätä tjockleken hos objektet (114) som skall mätäs.
15. Mätanordning enligt patentkrav 14, kännetecknad av att 20 mätanordningen omfattar ätminstone en polarisator (120, 122, 302), varav ätminstone en polarisator (120, 122, 302) är anordnad att polarisera den optiska v : strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs i en vinkelrät φ riktning i förhällande tili normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; och mätanordningen omfattar ätminstone en polarisator (120B, 122B, 302B) för jj*: 25 den andra sidan, varav ätminstone en polarisator (120, 122, 302) för den and- • :*· ra sidan är anordnad att polarisera den optiska strälningen som reflekterats ··· .·**. frän objektet (114) som skall mätäs i en vinkelrät riktning i förhällande tili nor malen (118B) för den andra ytan (116B) som skall mätäs. $ · • · * M 30
16. Förfarande för bestämning av en yta hos ett objekt som skall *·“* mätäs med hjälp av optisk strälning, kä n n eteckn at avatt den optiska strälningens olika väglängder riktas (1300) mot objektet (114) som skall mätäs frän en riktning som avviker frän normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs sä att olika väglängder fokuseras pä olika höjder i rikt-35 ning med normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; • « *·*·* optisk strälning mottas (1304) ätminstone frän spegelreflexionens 119259 29 riktning som awiker frän normalen (118) för ytan (116) som skali mätäs; hos den mottagna optiska strälningen bestäms (1306) en väglängd, pä vilken den mottagna optiska strälningens styrka är störst; och läget för ytan (116) av objektet (114) som skall mätäs bestäms 5 (1308) med hjälp av den bestämda väglängden.
17. Förfarande enligt patentkrav 16, kännetecknat avatt den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs polari-seras (1302) i en vinkelrät riktning i förhällande tili normalen (118) för ytan 10 (116) som skall mätäs.
18. Förfarande enligt patentkrav 16, kännetecknat avatt den mot objektet (114) som skall mätäs riktade optiska strälningen dispergeras kromatiskt i en icke axiell riktning; 15 den icke axieilt dispergerade optiska strälningens olika väglängder fokuseras pä olika höjd i riktning av normalen (118) för ytan (116) av objektet (114) som skall mätäs, varvid en väglängd fokuseras tili ytan (116) som skall mätäs. 20
19. Förfarande enligt patentkrav 17, kännetecknat avatt dis- pergeringen avlägsnas frän den mottagna optiska strälningen; ν' : hos den icke dispergerade optiska strälningen bestäms en väg- längd, pä vilken den optiska strälningens styrka är störst. i · · • * * M* 25
20. Förfarande enligt patentkrav 17, kännetecknat av att hos : den dispergerade mottagna optiska strälningen bestäms en väglängd, pä vil- ··· .*··. ken den mottagna optiska strälningens styrka är störst. • t· .....
21. Förfarande enligt patentkrav 16, kännetecknat av att den * · · 30 optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs reflek-*·;*' teräs tillbaka tili objektet (114) som skall mätäs sä att den optiska strälningen ·.·]· reflekteras frän objektet (114) som skall mätäs i nämnda riktning som använts s"*: vid riktningen och som awiker frän normalen (118) för ytan (116) som skall mätäs; och den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som *..* 35 skall mätäs styrs att mottas. • ··· 119259 30
22. Förfarande enligt patentkrav 16, kännetecknat av att en del av den optiska strälningen som den optiska kallan (104) sänt mot objektet (114) som skall mätäs styrs tili en referensdetektor (602); en elektrisk signal som motsvarar den av referensdetektom (602) 5 mottagna optiska strälningen mätäs tili en signalbehandlingsenhet (124); och de av detektom (108) detekterade väglängdemas styrkor normalise-ras i signalbehandlingsenheten (124) med hjälp av de av referensdetektom (602) detekterade väglängdemas styrkor. 10
23. Förfarande enligt patentkrav 16, kännetecknat av att den av den optiska källan (104) sända optiska strälningen moduleras och en detek-terad signal som motsvarar moduleringen demoduleras.
24. Förfarande för mätning av tjockleken av ett objekt som skall mä- 15 tas med hjälp av optisk straining, kännetecknat av att den optiska strälningens olika väglängder riktas (1400) mot objektet (114) som skall mätäs i en riktning som avviker frän normalen (118) för en för-sta yta (116) som skall mätäs sä att de olika väglängderna riktas pä olika höj-der i riktning med normalen (118) för den första ytan (116) som skall mätäs; 20 optisk straining mottas (1404) ätminstone frän spegelreflexionens ... riktning, vilken avviker frän normalen (118) för den första ytan (116) som skall III **'/ mätäs; M.* hos den mottagna optiska strälningen bestäms (1406) en väglängd, pä vilken den optiska strälningens styrka är störst; och · 25 läget för den första ytan (116) som skall mätäs bestäms (1408) med ϊ(Γϊ hjälp av den bestämda väglängden; ·*": den optiska strälningens olika väglängder riktas (1410) mot objektet ·*· (114) som skall mätäs i en riktning som avviker frän normalen (118B) för en .·.·. andra yta (116B) som skall mätäs sä att de olika väglängderna riktas pä olika • · · 30 höjder i riktning av normalen (118B) för den andra ytan (116B) som skall mä- V tas; optisk strälning mottas (1414) ätminstone frän spegelreflexionens riktning, vilken avviker frän normalen (118B) för den andra ytan (116B) som :v. skall mätäs; • * \.',t 35 hos den mottagna optiska strälningen bestäms (1416) en väglängd, **"* pä vilken den optiska strälningens styrka är störst; och 31 1 1 9259 läget för den andra ytan (116B) som skall mätäs bestäms (1418) med hjälp av den bestämda väglängden; och tjockleken hos objektet (114) som skall mätäs bestäms (1420) med hjälp av läget för de bestämda ytoma (116,116B). 5
25. Förfarande enligt patentkrav 24, kännetecknat avatt den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs polari-seras (1412) i en vinkelrät riktning i förtiallande till normalen (118B) för den andra ytan (116B) som skall mätäs; och 10 den optiska strälningen som reflekterats frän objektet (114) som skall mätäs polariseras (1402) i en vinkelrät riktning i förtiallande tili normalen (118) för den första ytan (116) som skall mätäs. • · * • · · • · φ * · • · · • · · φ • · φ φ · # φ φ · • φ • φ φ • φ φ φ·· · m Φ φ · Φ · Φ # Φ Φ φ φ Φ Φ φ · φ Φ • Φ Φ Φ Φ · Φ Φ φ Φ φ Φ φ ® Φ Φ φ Φ Φ φ φ • φ φ φ · · φ φ φ Φ φ • φ φ φ φ • Μ Φ Φ # Φ Φ Φ • Φ Φ Φ Φ Φ Φ Φ Φ Φ Φ #
FI20065669A 2006-10-18 2006-10-18 Bestämning av yta och tjocklek FI119259B (sv)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20065669A FI119259B (sv) 2006-10-18 2006-10-18 Bestämning av yta och tjocklek
EP07823198A EP2076733B1 (en) 2006-10-18 2007-10-17 Determining surface and thickness
US12/446,298 US7936464B2 (en) 2006-10-18 2007-10-17 Determining surface and thickness
CN2007800386293A CN101529200B (zh) 2006-10-18 2007-10-17 确定表面和厚度
ES07823198T ES2400380T3 (es) 2006-10-18 2007-10-17 Determinación de superficie y de grosor
PCT/FI2007/050561 WO2008046966A1 (en) 2006-10-18 2007-10-17 Determining surface and thickness
JP2009532834A JP5155325B2 (ja) 2006-10-18 2007-10-17 表面および厚みの決定

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20065669A FI119259B (sv) 2006-10-18 2006-10-18 Bestämning av yta och tjocklek
FI20065669 2006-10-18

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI20065669A0 FI20065669A0 (sv) 2006-10-18
FI20065669A FI20065669A (sv) 2008-04-19
FI119259B true FI119259B (sv) 2008-09-15

Family

ID=37232275

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20065669A FI119259B (sv) 2006-10-18 2006-10-18 Bestämning av yta och tjocklek

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7936464B2 (sv)
EP (1) EP2076733B1 (sv)
JP (1) JP5155325B2 (sv)
CN (1) CN101529200B (sv)
ES (1) ES2400380T3 (sv)
FI (1) FI119259B (sv)
WO (1) WO2008046966A1 (sv)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011042606A1 (en) 2009-10-08 2011-04-14 Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus Measuring instrument and method for determination of the properties of an item and its surface

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI20075975L (sv) * 2007-12-31 2009-07-01 Metso Automation Oy Mätning av en bana
US8085397B2 (en) * 2009-07-10 2011-12-27 Honeywell Asca Inc. Fiber optic sensor utilizing broadband sources
JP2011229625A (ja) * 2010-04-26 2011-11-17 Fujifilm Corp 内視鏡装置
JP2011229603A (ja) * 2010-04-26 2011-11-17 Fujifilm Corp 内視鏡装置
FI124452B (sv) * 2010-07-09 2014-09-15 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Förfarande och anordning för mätning av färg och andra egenskaper av en yta
US11231502B2 (en) * 2011-06-30 2022-01-25 The Regents Of The University Of Colorado Remote measurement of shallow depths in semi-transparent media
US10684362B2 (en) 2011-06-30 2020-06-16 The Regents Of The University Of Colorado Remote measurement of shallow depths in semi-transparent media
US11933899B2 (en) 2011-06-30 2024-03-19 The Regents Of The University Of Colorado Remote measurement of shallow depths in semi-transparent media
US11313678B2 (en) 2011-06-30 2022-04-26 The Regents Of The University Of Colorado Remote measurement of shallow depths in semi-transparent media
JP2013096853A (ja) * 2011-11-01 2013-05-20 Omron Corp 変位センサ
DE102011117523B3 (de) * 2011-11-03 2013-04-18 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur optischen Bestimmung der Oberflächengeometrie einer dreidimensionalen Probe
DK2798207T3 (en) * 2011-12-29 2016-04-04 Vestas Wind Sys As A wind turbine and a method for determining the presence and / or the thickness of a layer of ice on a wing body of a wind turbine
CN102778202B (zh) * 2012-03-23 2016-01-27 北京京东方光电科技有限公司 一种膜厚测量装置及方法
FI125408B (sv) 2012-09-17 2015-09-30 Focalspec Oy Förfarande och mätanordning för mätning av ytans avstånd, tjockleken och optiska egenskaper hos ett objekt
JP5701837B2 (ja) * 2012-10-12 2015-04-15 横河電機株式会社 変位センサ、変位測定方法
FI20126126L (sv) * 2012-10-30 2014-05-01 Metso Automation Oy Förfarande och anordning för att mäta glans
GB2507813B (en) * 2012-11-13 2017-06-21 Focalspec Oy Apparatus and method for inspecting seals of items
WO2016000764A1 (de) * 2014-07-01 2016-01-07 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Chromatisch konfokale sensoranordnung
CN105303675B (zh) * 2015-10-15 2018-01-19 东方通信股份有限公司 一种利用光敏传感器检测纸张厚度的装置和方法
US11340343B2 (en) * 2017-03-23 2022-05-24 Dolphin Measurement Systems, Llc Apparatus and methods for thickness and velocity measurement of flat moving materials using high frequency radar technologies
CN107326717B (zh) * 2017-07-12 2019-05-28 东莞福迈包装印刷有限公司 一种可以检测纸张厚度的造纸机
DE102017126310A1 (de) 2017-11-09 2019-05-09 Precitec Optronik Gmbh Abstandsmessvorrichtung
CN108955549A (zh) * 2018-09-11 2018-12-07 深圳立仪科技有限公司 一种透光材料双面测厚装置
DE102018130901A1 (de) 2018-12-04 2020-06-04 Precitec Optronik Gmbh Optische Messeinrichtung
CN110836642A (zh) * 2019-12-23 2020-02-25 海伯森技术（深圳）有限公司 一种基于三角测量法的彩色三角位移传感器及其测量方法
CN115335976A (zh) * 2020-03-27 2022-11-11 朗姆研究公司 使用穿透光束激光传感器的原位晶片厚度和间隙监测
CN112162296B (zh) * 2020-09-29 2024-05-31 香港中文大学（深圳） 一种激光测距***
FI20215460A1 (sv) 2021-04-19 2022-10-20 Lmi Tech Oy Belysningsenhet och förfarande för generering av mätningsljus och optisk mätanordning
DE102022134243A1 (de) * 2022-12-20 2024-06-20 Precitec Optronik Gmbh Chromatisch konfokale Messeinrichtung
DE102022134249A1 (de) * 2022-12-20 2024-06-20 Precitec Optronik Gmbh Chromatisch konfokale Messeinrichtung
CN116067435B (zh) * 2023-03-20 2023-06-27 北京市农林科学院智能装备技术研究中心 土壤环境多参数监测传感器

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2906641A1 (de) 1979-02-21 1980-08-28 Freudenberg Carl Fa Verfahren zur optisch-elektrischen messung des abstandes zwischen einer messeinrichtung und einem pruefling
US4458152A (en) * 1982-05-10 1984-07-03 Siltec Corporation Precision specular proximity detector and article handing apparatus employing same
CH663466A5 (fr) * 1983-09-12 1987-12-15 Battelle Memorial Institute Procede et dispositif pour determiner la position d'un objet par rapport a une reference.
US4936676A (en) * 1984-11-28 1990-06-26 Honeywell Inc. Surface position sensor
US4656358A (en) * 1985-03-12 1987-04-07 Optoscan Corporation Laser-based wafer measuring system
DE3643842C2 (de) 1986-12-20 1995-07-20 Leuze Electronic Gmbh & Co Anordnung zur berührungslosen Bestimmung der räumlichen Lage eines auf der Oberfläche eines Körpers befindlichen Objektpunkts
JP2595821B2 (ja) * 1991-03-12 1997-04-02 日本電気株式会社 三次元形状測定装置
JPH04370708A (ja) * 1991-06-20 1992-12-24 Meidensha Corp 小型偏光解析装置
US5162660A (en) * 1991-06-27 1992-11-10 Macmillan Bloedel Limited Paper roughness or glass sensor using polarized light reflection
JPH109827A (ja) * 1996-06-24 1998-01-16 Omron Corp 高さ判別装置および方法
US6064517A (en) * 1996-07-22 2000-05-16 Kla-Tencor Corporation High NA system for multiple mode imaging
IL121267A0 (en) * 1997-07-09 1998-01-04 Yeda Res & Dev Method and device for determining the profile of an object
DE19733297C2 (de) 1997-08-01 1999-12-09 Marcus Gut Berührungslose optische Dickenmessung
JPH11201729A (ja) * 1998-01-12 1999-07-30 Mitsutoyo Corp 光学式測定装置
FR2779517B1 (fr) * 1998-06-05 2000-08-18 Architecture Traitement D Imag Procede et dispositif d'acquisition opto-electrique de formes par illumination axiale
US6208411B1 (en) * 1998-09-28 2001-03-27 Kla-Tencor Corporation Massively parallel inspection and imaging system
JP2001070228A (ja) * 1999-07-02 2001-03-21 Asahi Optical Co Ltd 内視鏡装置
US6268923B1 (en) * 1999-10-07 2001-07-31 Integral Vision, Inc. Optical method and system for measuring three-dimensional surface topography of an object having a surface contour
WO2001059402A2 (en) * 2000-01-25 2001-08-16 Zygo Corporation Optical systems for measuring form and geometric dimensions of precision engineered parts
US6917421B1 (en) * 2001-10-12 2005-07-12 Kla-Tencor Technologies Corp. Systems and methods for multi-dimensional inspection and/or metrology of a specimen
DE10242374A1 (de) * 2002-09-12 2004-04-01 Siemens Ag Konfokaler Abstandssensor
DE10325942B4 (de) 2003-06-07 2010-09-16 Jurca Optoelektronik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Dickenmessung transparanter Körper
DE102004034693B4 (de) * 2004-07-17 2006-05-18 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen optischen Messung der Dicke von heißen Glaskörpern mittels der chromatischen Aberration
US7345772B2 (en) * 2004-08-06 2008-03-18 Voith Paper Patent Gmbh Optical triangulation device and method of measuring a variable of a web using the device
DE102005006724A1 (de) 2004-10-20 2006-08-10 Universität Stuttgart Verfahren und Anordung zur konfokalen Spektral-Interferometrie, insbesondere auch zur optischen Kohärenz-Tomografie (OCT)und/oder optischen Kohärenz-Mikroskopie (OCM)von biologischen und technischen Objekten
DE102004052205A1 (de) * 2004-10-20 2006-05-04 Universität Stuttgart Interferometrischer Multispektral-Sensor und interferometrisches Multispektral-Verfahren zur hochdynamischen Objekt-Tiefenabtastung oder Objekt-Profilerfassung
US7522292B2 (en) * 2005-03-11 2009-04-21 Carl Zeiss Smt Ag System and method for determining a shape of a surface of an object and method of manufacturing an object having a surface of a predetermined shape
US20060232790A1 (en) * 2005-04-18 2006-10-19 Lee Chase Confocal measurement method and apparatus in a paper machine
JP2007147299A (ja) * 2005-11-24 2007-06-14 Kobe Steel Ltd 変位測定装置及び変位測定方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011042606A1 (en) 2009-10-08 2011-04-14 Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus Measuring instrument and method for determination of the properties of an item and its surface

Also Published As

Publication number Publication date
CN101529200B (zh) 2012-07-04
JP2010507089A (ja) 2010-03-04
EP2076733B1 (en) 2012-12-05
US7936464B2 (en) 2011-05-03
FI20065669A0 (sv) 2006-10-18
US20100296107A1 (en) 2010-11-25
JP5155325B2 (ja) 2013-03-06
FI20065669A (sv) 2008-04-19
EP2076733A1 (en) 2009-07-08
ES2400380T3 (es) 2013-04-09
EP2076733A4 (en) 2010-01-06
CN101529200A (zh) 2009-09-09
WO2008046966A1 (en) 2008-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI119259B (sv) Bestämning av yta och tjocklek
US8786836B2 (en) Measuring instrument and method for determination of the properties of an item and its surface
EP3001179B1 (en) Mid-infrared scanning imaging system
JP2010507089A5 (sv)
US20060181708A1 (en) Photothermal conversion measurement apparatus, photothermal conversion measurement method, and sample cell
KR20130054428A (ko) 거리 결정을 위한 광학식 측정 시스템
JP7012098B2 (ja) 遠赤外光源、遠赤外分光装置
US20210181100A1 (en) Multi-function spectrometer
US11016023B1 (en) Far-infrared spectroscopic device and far-infrared spectroscopic method
JP2008134076A (ja) ガス分析装置
US10928307B2 (en) Configurable retro-reflective sensor system for the improved characterization of the properties of a sample
JP2010528309A (ja) 媒体中の化合物の光学遠隔検出方法
JP7240528B2 (ja) 遠赤外分光装置、遠赤外分光方法
US6856395B2 (en) Reflectometer arrangement and method for determining the reflectance of selected measurement locations of measurement objects reflecting in a spectrally dependent manner
JPH08201278A (ja) スペクトル測定装置
KR100961138B1 (ko) 분광분석기
WO2018072766A1 (en) Apparatus for spectrum and intensity profile characterization of a beam, use thereof and method thereof
JP2000206047A (ja) スペクトル測定装置
WO2022262880A1 (en) Device for the measurement of the spectral reflectance, in particular concave spherical mirror surfaces, and method of the measurement on this device
FI124263B (sv) Mätanordning och förfarande för mätning av egenskaper hos ett objekt och ytan av objektet
JPH04313005A (ja) 膜厚測定装置
PL198299B1 (pl) Urządzenie do pomiaru chropowatości powierzchni

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Ref document number: 119259

Country of ref document: FI

PC Transfer of assignment of patent

Owner name: FOCALSPEC OY