JPH08201278A - スペクトル測定装置 - Google Patents
スペクトル測定装置Info
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- JPH08201278A JPH08201278A JP733195A JP733195A JPH08201278A JP H08201278 A JPH08201278 A JP H08201278A JP 733195 A JP733195 A JP 733195A JP 733195 A JP733195 A JP 733195A JP H08201278 A JPH08201278 A JP H08201278A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 構成部品数が少なく小型で調節機構が不要な
ＡＴＲプルズムを用いたスペクトル測定装置を提供す
る。 【構成】 ＡＴＲプリズム１１は複数の入射面と出射面
との対を有し、各入射面にはそれぞれ特定波長の光を発
する光源１２ａ、１２ｂをこの入射面に密着させて取り
付け、各出射面には対となる入射面に取り付けた光源か
ら発せられ反射面にて反射された測定光を受光する検出
器１３ａ、１３ｂをこの出射面に密着させて取り付け、
複数の波長の測定をそれぞれの対により行うようにした
ことを特徴とする。
ＡＴＲプルズムを用いたスペクトル測定装置を提供す
る。 【構成】 ＡＴＲプリズム１１は複数の入射面と出射面
との対を有し、各入射面にはそれぞれ特定波長の光を発
する光源１２ａ、１２ｂをこの入射面に密着させて取り
付け、各出射面には対となる入射面に取り付けた光源か
ら発せられ反射面にて反射された測定光を受光する検出
器１３ａ、１３ｂをこの出射面に密着させて取り付け、
複数の波長の測定をそれぞれの対により行うようにした
ことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スペクトル測定装置に
関し、さらに詳しくは赤外、近赤外スペクトル測定原理
に基づき物質の構造測定、特にプロセスのオンライン測
定に利用されるスペクトル測定装置に関する。
関し、さらに詳しくは赤外、近赤外スペクトル測定原理
に基づき物質の構造測定、特にプロセスのオンライン測
定に利用されるスペクトル測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料表面で全反射する光を測定すること
により試料表面の吸収スペクトルを得て物質測定を行う
全反射吸収測定（以下、ＡＴＲという）によるスペクト
ル分析の方法が知られている。
により試料表面の吸収スペクトルを得て物質測定を行う
全反射吸収測定（以下、ＡＴＲという）によるスペクト
ル分析の方法が知られている。
【０００３】従来のＡＴＲによるスペクトル測定装置
は、図９に示すように反射鏡などを使った集光光学系を
用いて、平板状のＡＴＲプリズムの所定角度に切り出さ
れた入射側の側面に測定光を入射し、被測定試料が密着
されたＡＴＲプリズムの平行な反射面間で繰り返し反射
された後に、ＡＴＲプリズムの出射側の側面からの出力
光を検出器に導いて測定していた。このような装置でＡ
ＴＲ測定をする場合、ＡＴＲプリズム周辺に配置される
光学部品の光学的、機械的な制約を受けるため、分光器
１干渉計からの出力光を一点から入射し、波長走査を行
うことにより、多波長での測定を行っている。複数の単
色光源を使うようにした応用例でもプリズムの外で複雑
な光束合成器を用いる必要がある。
は、図９に示すように反射鏡などを使った集光光学系を
用いて、平板状のＡＴＲプリズムの所定角度に切り出さ
れた入射側の側面に測定光を入射し、被測定試料が密着
されたＡＴＲプリズムの平行な反射面間で繰り返し反射
された後に、ＡＴＲプリズムの出射側の側面からの出力
光を検出器に導いて測定していた。このような装置でＡ
ＴＲ測定をする場合、ＡＴＲプリズム周辺に配置される
光学部品の光学的、機械的な制約を受けるため、分光器
１干渉計からの出力光を一点から入射し、波長走査を行
うことにより、多波長での測定を行っている。複数の単
色光源を使うようにした応用例でもプリズムの外で複雑
な光束合成器を用いる必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなＡＴＲ測
定では、ＡＴＲプリズムの周辺に集光光学系を有すると
ともにこの光学系を調整するための調整機構を必要とす
る。そのため、構成部品数が多くなり、複雑な光学系と
なる。また、これらの光学系の調整も煩雑である。 本
発明は以上のような問題を解決し、光学系の構成部品数
を低減し、低価格化、高生産性を図るとともに装置の小
型化を図り、さらには調整機構を不要として安定性、操
作性を向上させることを目的とする。
定では、ＡＴＲプリズムの周辺に集光光学系を有すると
ともにこの光学系を調整するための調整機構を必要とす
る。そのため、構成部品数が多くなり、複雑な光学系と
なる。また、これらの光学系の調整も煩雑である。 本
発明は以上のような問題を解決し、光学系の構成部品数
を低減し、低価格化、高生産性を図るとともに装置の小
型化を図り、さらには調整機構を不要として安定性、操
作性を向上させることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
になされた本発明のスペクトル測定装置は、測定光が入
射される入射面、被測定試料表面が密着され被測定試料
表面により前記測定光が反射される反射面、反射面にお
いて反射された後の測定光が出射される出射面を有する
ＡＴＲプリズムを用いて測定するスペクトル測定装置に
おいて、前記ＡＴＲプリズムは複数の入射面と出射面と
の対を有し、各入射面にはそれぞれ特定波長の光を発す
る光源をこの入射面に密着させて取り付け、各出射面に
は対となる入射面に取り付けた光源から発せられ反射面
にて反射された測定光を受光する検出器をこの出射面に
密着させて取り付けることにより、複数の波長の全反射
吸収測定を行うようにしたことを特徴とする。以下、こ
のスペクトル測定装置がどのように作用するかを説明す
る。
になされた本発明のスペクトル測定装置は、測定光が入
射される入射面、被測定試料表面が密着され被測定試料
表面により前記測定光が反射される反射面、反射面にお
いて反射された後の測定光が出射される出射面を有する
ＡＴＲプリズムを用いて測定するスペクトル測定装置に
おいて、前記ＡＴＲプリズムは複数の入射面と出射面と
の対を有し、各入射面にはそれぞれ特定波長の光を発す
る光源をこの入射面に密着させて取り付け、各出射面に
は対となる入射面に取り付けた光源から発せられ反射面
にて反射された測定光を受光する検出器をこの出射面に
密着させて取り付けることにより、複数の波長の全反射
吸収測定を行うようにしたことを特徴とする。以下、こ
のスペクトル測定装置がどのように作用するかを説明す
る。
【０００６】
【作用】本発明のスペクトル測定装置では、ＡＴＲプリ
ズムに光源、検出器が密着されているので、従来ＡＴＲ
測定に必要であった反射鏡、レンズなどの集光光学系が
不要となり、装置構成が簡易なものとなる。測定は、複
数の入射面と出射面との対ごとに１つの波長の測定をす
るので、これらの複数対により複数の波長での測定が行
われる。ここで被測定試料に合わせて測定する波長の組
み合わせを選ぶことにより、必要な情報が得られる。特
にプロセスのオンライン測定では連続的に波長を走査し
て測定することなく、特定の波長を測定すればよいので
本装置が有効である。
ズムに光源、検出器が密着されているので、従来ＡＴＲ
測定に必要であった反射鏡、レンズなどの集光光学系が
不要となり、装置構成が簡易なものとなる。測定は、複
数の入射面と出射面との対ごとに１つの波長の測定をす
るので、これらの複数対により複数の波長での測定が行
われる。ここで被測定試料に合わせて測定する波長の組
み合わせを選ぶことにより、必要な情報が得られる。特
にプロセスのオンライン測定では連続的に波長を走査し
て測定することなく、特定の波長を測定すればよいので
本装置が有効である。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図を用いて説明す
る。図１は本発明の一実施例を示すスペクトル測定装置
の全体構成図を示す。また、図２は本発明の一実施例を
示すスペクトル測定装置のＡＴＲプリズム部分の平面
図、図３は図２の３−３’断面図、図４は図２の４−
４’断面図を示す。このスペクトル測定装置１０は、Ａ
ＴＲプリズム１１、光源としての半導体レーザ１２ａ、
１２ｂ、検出器としてのフォトダイオード１３ａ、１３
ｂ、半導体レーザの電源１４ａ、１４ｂ、フォトダイオ
ードの出力信号の増幅器１５ａ、１５ｂ、装置の制御や
演算を行う制御部１６とからなる。
る。図１は本発明の一実施例を示すスペクトル測定装置
の全体構成図を示す。また、図２は本発明の一実施例を
示すスペクトル測定装置のＡＴＲプリズム部分の平面
図、図３は図２の３−３’断面図、図４は図２の４−
４’断面図を示す。このスペクトル測定装置１０は、Ａ
ＴＲプリズム１１、光源としての半導体レーザ１２ａ、
１２ｂ、検出器としてのフォトダイオード１３ａ、１３
ｂ、半導体レーザの電源１４ａ、１４ｂ、フォトダイオ
ードの出力信号の増幅器１５ａ、１５ｂ、装置の制御や
演算を行う制御部１６とからなる。
【０００８】ＡＴＲプリズム１１は、互いに平行である
上面、下面と、これらの面に対して４５度の角度で切り
落とされた４つの側面からなる正四角錐台の形状を有し
ている。ＡＴＲプリズムの上面と下面とには被測定試料
が密着するように取り付けられる（これらの面は反射面
となる）。ＡＴＲプリズムの４つの側面のうち隣合う２
つの面には半導体レーザ１２ａ、１２ｂがこの面に直接
に密着するように取り付けられる（これらの面は入射面
となる）。半導体レーザ１２ａ、１２ｂが取り付けられ
た面の対面にはフォトダイオード１３ａ、１３ｂが直接
に密着するように取り付けられる（これらの面は出射面
となる）。そして、半導体レーザ１２ａから発せられる
光は反射面で繰り返し反射された後でフォトダイオード
１３ａに至り、同様に、半導体レーザ１２ｂから発せら
れる光はフォトダイオード１３ｂに至るようにされてい
る。
上面、下面と、これらの面に対して４５度の角度で切り
落とされた４つの側面からなる正四角錐台の形状を有し
ている。ＡＴＲプリズムの上面と下面とには被測定試料
が密着するように取り付けられる（これらの面は反射面
となる）。ＡＴＲプリズムの４つの側面のうち隣合う２
つの面には半導体レーザ１２ａ、１２ｂがこの面に直接
に密着するように取り付けられる（これらの面は入射面
となる）。半導体レーザ１２ａ、１２ｂが取り付けられ
た面の対面にはフォトダイオード１３ａ、１３ｂが直接
に密着するように取り付けられる（これらの面は出射面
となる）。そして、半導体レーザ１２ａから発せられる
光は反射面で繰り返し反射された後でフォトダイオード
１３ａに至り、同様に、半導体レーザ１２ｂから発せら
れる光はフォトダイオード１３ｂに至るようにされてい
る。
【０００９】半導体レーザ１２ａ、１２ｂは、被測定試
料に応じて適当な発光波長λ１、λ２を有するものが選
択される。波長が任意に変更できる可変波長レーザを用
いれば被測定試料ごとに容易に最適な条件での測定が可
能となる。なお、光源としては半導体レーザに限るもの
ではなく、要するにＡＴＲプリズムに密着させることが
できて、特定波長の光を発することができ、プリズム対
向面に全反射した光を投影できる性質を実現できるもの
であればよい。また、検出器についてもフォトダイオー
ドに限らず、要するにＡＴＲプリズムに密着でき、測定
光を検出できるものであればよい。
料に応じて適当な発光波長λ１、λ２を有するものが選
択される。波長が任意に変更できる可変波長レーザを用
いれば被測定試料ごとに容易に最適な条件での測定が可
能となる。なお、光源としては半導体レーザに限るもの
ではなく、要するにＡＴＲプリズムに密着させることが
できて、特定波長の光を発することができ、プリズム対
向面に全反射した光を投影できる性質を実現できるもの
であればよい。また、検出器についてもフォトダイオー
ドに限らず、要するにＡＴＲプリズムに密着でき、測定
光を検出できるものであればよい。
【００１０】図５に２波長測定の原理を示す。図におい
てλ２は被測定試料の測定対象となる特有の吸収波長で
あり、λ１はバックグランド、すなわち被測定試料の測
定対象外の介存物による吸収波長である。したがって、
被測定試料の存在量はＢ／Ａの比によって求められる。
本実施例では、たとえば半導体レーザ１２ａの発光波長
としてλ１を選び、半導体レーザ１２ｂとしてとしてλ
２を選ぶようにすれば、フォトダイオード１３ａ、１３
ｂの出力の比を求めることによりこの原理による測定を
行うことができる。
てλ２は被測定試料の測定対象となる特有の吸収波長で
あり、λ１はバックグランド、すなわち被測定試料の測
定対象外の介存物による吸収波長である。したがって、
被測定試料の存在量はＢ／Ａの比によって求められる。
本実施例では、たとえば半導体レーザ１２ａの発光波長
としてλ１を選び、半導体レーザ１２ｂとしてとしてλ
２を選ぶようにすれば、フォトダイオード１３ａ、１３
ｂの出力の比を求めることによりこの原理による測定を
行うことができる。
【００１１】なお、ＡＴＲプリズム１１の材料は従来か
らのＡＴＲプリズムと同じ基準で選択された材料を用い
ればよい。
らのＡＴＲプリズムと同じ基準で選択された材料を用い
ればよい。
【００１２】測定をするときは、電源１４ａ、１４ｂを
ＯＮにして半導体レーザ１２ａ、１２ｂを駆動する。半
導体レーザ１２ａ、１２ｂからはそれぞれλ１、λ２の
波長の光が発せられ、ＡＴＲプリズム内を図３、図４に
て矢印で示すように進み、試料表面で繰り返し全反射さ
れる。反射された測定光はやがてフォトダイオード１３
ａ、１３ｂに至り、増幅器１５ａ、１５ｂを介して測定
信号がスペクトル測定装置の制御部１６に送られて演算
される。制御部ではそれぞれの信号の比が算出されて出
力される。このようにして、２波長測定による試料の測
定を行うことができる。
ＯＮにして半導体レーザ１２ａ、１２ｂを駆動する。半
導体レーザ１２ａ、１２ｂからはそれぞれλ１、λ２の
波長の光が発せられ、ＡＴＲプリズム内を図３、図４に
て矢印で示すように進み、試料表面で繰り返し全反射さ
れる。反射された測定光はやがてフォトダイオード１３
ａ、１３ｂに至り、増幅器１５ａ、１５ｂを介して測定
信号がスペクトル測定装置の制御部１６に送られて演算
される。制御部ではそれぞれの信号の比が算出されて出
力される。このようにして、２波長測定による試料の測
定を行うことができる。
【００１３】上記の実施例では、２つの半導体レーザを
同時に連続発振させるようにしたが、試料やプリズムが
粒子的な散乱要素を含むときは一方のみを交互にパルス
発振するようにすることにより、散乱による迷光の影響
を抑えることができる。さらに、試料を通じて外光の影
響がある場合は、２つの半導体レーザともＯＦＦの周期
を設けて外光の影響を除去することもできる。
同時に連続発振させるようにしたが、試料やプリズムが
粒子的な散乱要素を含むときは一方のみを交互にパルス
発振するようにすることにより、散乱による迷光の影響
を抑えることができる。さらに、試料を通じて外光の影
響がある場合は、２つの半導体レーザともＯＦＦの周期
を設けて外光の影響を除去することもできる。
【００１４】なお、上記の実施例では側面の切り落とし
角を４５度としたが、これに限るものではなく、３０
度、６０度など被測定試料との関係により選択すればよ
い。また、側面の数を６面にすれば３組の入射面と出射
面の対ができ、３波長での測定が行える。同様に、８
面、１０面と増加させていってもよい。
角を４５度としたが、これに限るものではなく、３０
度、６０度など被測定試料との関係により選択すればよ
い。また、側面の数を６面にすれば３組の入射面と出射
面の対ができ、３波長での測定が行える。同様に、８
面、１０面と増加させていってもよい。
【００１５】図６、７、８は本発明による他の実施例を
示すもので、図６は平面図、図７は図６における７−
７’断面図、図８は図６における８−８’断面図であ
る。このものは、レーザの直進性を利用したものであ
り、平行な上面と下面を有する柱状のプリズムの上面
（先端部分）にたとえば４５度に切り落とした正四角形
面などの多角形面を設け、この多角形面の外面に被測定
試料を密着させる。また、下面（他端側の面）に半導体
レーザ２２ａ、２２ｂ、フォトダイオード２３ａ、２３
ｂを取り付ける。このとき、半導体レーザ２２ａから発
せられる光が先端の多角形面で反射した後で、対となる
フォトダイオード２３ａに至るように半導体レーザ２２
ａ、フォトダイオード２３ａが取り付けられる。半導体
レーザ２２ｂ、フォトダイオード２３ｂについても同様
である。この場合、半導体レーザとフォトダイオードと
が同一面に取り付けられていることから入射面と出射面
とは同一面で兼用した形となっている。
示すもので、図６は平面図、図７は図６における７−
７’断面図、図８は図６における８−８’断面図であ
る。このものは、レーザの直進性を利用したものであ
り、平行な上面と下面を有する柱状のプリズムの上面
（先端部分）にたとえば４５度に切り落とした正四角形
面などの多角形面を設け、この多角形面の外面に被測定
試料を密着させる。また、下面（他端側の面）に半導体
レーザ２２ａ、２２ｂ、フォトダイオード２３ａ、２３
ｂを取り付ける。このとき、半導体レーザ２２ａから発
せられる光が先端の多角形面で反射した後で、対となる
フォトダイオード２３ａに至るように半導体レーザ２２
ａ、フォトダイオード２３ａが取り付けられる。半導体
レーザ２２ｂ、フォトダイオード２３ｂについても同様
である。この場合、半導体レーザとフォトダイオードと
が同一面に取り付けられていることから入射面と出射面
とは同一面で兼用した形となっている。
【００１６】以下に、本発明が応用されている態様をま
とめておく。
とめておく。
【００１７】（１）測定光が入射される入射面、被測定
試料表面が密着され被測定試料表面により前記測定光が
反射される反射面、反射面において反射された後の測定
光が出射される出射面を有するＡＴＲプリズムを用いて
測定するスペクトル測定装置において、前記ＡＴＲプリ
ズムは複数の入射面と出射面との対を有し、各入射面に
はそれぞれ特定波長の光を発する光源をこの入射面に密
着させて取り付け、各出射面には対となる入射面に取り
付けた光源から発せられ反射面にて反射された測定光を
受光する検出器をこの出射面に密着させて取り付け、各
光源を別々のタイミングで点灯する制御手段を設け、複
数の波長の全反射吸収測定を別々のタイミングで行うよ
うにしたことを特徴とするスペクトル測定装置。
試料表面が密着され被測定試料表面により前記測定光が
反射される反射面、反射面において反射された後の測定
光が出射される出射面を有するＡＴＲプリズムを用いて
測定するスペクトル測定装置において、前記ＡＴＲプリ
ズムは複数の入射面と出射面との対を有し、各入射面に
はそれぞれ特定波長の光を発する光源をこの入射面に密
着させて取り付け、各出射面には対となる入射面に取り
付けた光源から発せられ反射面にて反射された測定光を
受光する検出器をこの出射面に密着させて取り付け、各
光源を別々のタイミングで点灯する制御手段を設け、複
数の波長の全反射吸収測定を別々のタイミングで行うよ
うにしたことを特徴とするスペクトル測定装置。
【００１８】（２）測定光が入射される入射面、被測定
試料表面が密着され被測定試料表面により前記測定光が
反射される反射面、反射面において反射された後の測定
光が出射される出射面を有するＡＴＲプリズムを用いて
測定するスペクトル測定装置において、前記ＡＴＲプリ
ズムは柱状をなし、その下面には特定波長を発する光源
と、この光源から発せられ、上面に形成された反射面に
て反射され再び下面から出射される反射測定光を検出す
る検出器とからなる複数の対が密着して取り付けられ、
複数の波長の全反射吸収測定を個々の対により測定する
ようにしたことを特徴とするスペクトル測定装置。
試料表面が密着され被測定試料表面により前記測定光が
反射される反射面、反射面において反射された後の測定
光が出射される出射面を有するＡＴＲプリズムを用いて
測定するスペクトル測定装置において、前記ＡＴＲプリ
ズムは柱状をなし、その下面には特定波長を発する光源
と、この光源から発せられ、上面に形成された反射面に
て反射され再び下面から出射される反射測定光を検出す
る検出器とからなる複数の対が密着して取り付けられ、
複数の波長の全反射吸収測定を個々の対により測定する
ようにしたことを特徴とするスペクトル測定装置。
【００１９】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
ＡＴＲプリズムに複数の入射面と出射面との対を設け
て、各入射面にはそれぞれ特定波長の光を発する光源を
この入射面に密着させて取り付け、各出射面には対とな
る入射面に取り付けた光源から発せられ反射面にて反射
された測定光を受光する検出器をこの出射面に密着させ
て取り付けたので、複雑な光学系を用いることなく、Ａ
ＴＲ測定を行うことができる。そのため、構成部品が少
なくなり、光学系の調整も不要であり、装置の小型化が
可能となる。特に、プロセスのオンライン測定において
いくつかの特定の波長についての測定連続的に監視する
場合に小型で安定性のよい本発明のスペクトル測定装置
は効果的である。
ＡＴＲプリズムに複数の入射面と出射面との対を設け
て、各入射面にはそれぞれ特定波長の光を発する光源を
この入射面に密着させて取り付け、各出射面には対とな
る入射面に取り付けた光源から発せられ反射面にて反射
された測定光を受光する検出器をこの出射面に密着させ
て取り付けたので、複雑な光学系を用いることなく、Ａ
ＴＲ測定を行うことができる。そのため、構成部品が少
なくなり、光学系の調整も不要であり、装置の小型化が
可能となる。特に、プロセスのオンライン測定において
いくつかの特定の波長についての測定連続的に監視する
場合に小型で安定性のよい本発明のスペクトル測定装置
は効果的である。
【図１】本発明の一実施例であるスペクトル測定装置の
全体構成図。
全体構成図。
【図２】本発明の一実施例であるスペクトル測定装置の
ＡＴＲプリズム部分の平面図。
ＡＴＲプリズム部分の平面図。
【図３】図２における３−３’断面図。
【図４】図２における４−４’断面図。
【図５】２波長測定の原理を示す図。
【図６】本発明の他の一実施例であるスペクトル測定装
置のＡＴＲプリズム部分の平面図（下面図）。
置のＡＴＲプリズム部分の平面図（下面図）。
【図７】図６における７−７’断面図。
【図８】図６における８−８’断面図。
【図９】従来からのＡＴＲプリズムを用いたスペクトル
測定の原理図。
測定の原理図。
１０：スペクトル測定装置 １１：ＡＴＲプリズム １２ａ、１２ｂ：半導体レーザ １３ａ、１３ｂ：フォトダイオード １６：制御部
Claims (1)
- 【請求項１】測定光が入射される入射面、被測定試料表
面が密着され被測定試料表面により前記測定光が反射さ
れる反射面、反射面において反射された後の測定光が出
射される出射面を有するＡＴＲプリズムを用いて測定す
るスペクトル測定装置において、前記ＡＴＲプリズムは
複数の入射面と出射面との対を有し、各入射面にはそれ
ぞれ特定波長の光を発する光源をこの入射面に密着させ
て取り付け、各出射面には対となる入射面に取り付けた
光源から発せられ反射面にて反射された測定光を受光す
る検出器をこの出射面に密着させて取り付けることによ
り、複数の波長の全反射吸収測定を行うようにしたこと
を特徴とするスペクトル測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP733195A JPH08201278A (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | スペクトル測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP733195A JPH08201278A (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | スペクトル測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08201278A true JPH08201278A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=11662981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP733195A Pending JPH08201278A (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | スペクトル測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08201278A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1444502A2 (en) * | 2001-10-11 | 2004-08-11 | Sentelligence, Inc. | Low-cost on-line and in-line spectral sensors based on solid-state source and detector combinations for monitoring lubricants and functional fluids |
| EP1583955A1 (en) * | 2003-01-07 | 2005-10-12 | The Lubrizol Corporation | Apparatus for on-line monitoring quality/condition of fluids |
| JP2006064405A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | System Instruments Kk | 光吸収測定方法及び装置、並びに同測定方法又は装置において使用可能な光導波路 |
| JP2008070391A (ja) * | 2007-12-05 | 2008-03-27 | Fujifilm Corp | 全反射光を利用した測定装置 |
| US7459713B2 (en) | 2003-08-14 | 2008-12-02 | Microptix Technologies, Llc | Integrated sensing system approach for handheld spectral measurements having a disposable sample handling apparatus |
| US20110051125A1 (en) * | 2008-02-27 | 2011-03-03 | Jsm Healthcare Inc. | Apparatus and Method for Analyzing Urine Components in Toilet in Real-Time by Using Miniature ATR Infrared Spectroscopy |
| JP2011508887A (ja) * | 2008-01-03 | 2011-03-17 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | バイオセンサにおけるエバネセント場変調 |
| JP2011169738A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Sharp Corp | 化学物質検出装置 |
-
1995
- 1995-01-20 JP JP733195A patent/JPH08201278A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1444502A2 (en) * | 2001-10-11 | 2004-08-11 | Sentelligence, Inc. | Low-cost on-line and in-line spectral sensors based on solid-state source and detector combinations for monitoring lubricants and functional fluids |
| EP1444502A4 (en) * | 2001-10-11 | 2007-05-09 | Sentelligence Inc | SPECTRAL LINEAR AND LOW PRICE SPECTRAL SENSORS BASED ON COMBINATIONS OF SOURCES AND TRANSISTORIZED LUBRICANT SURVEILLANCE MONITORS AND FUNCTIONAL FLUIDS |
| US7339657B2 (en) | 2001-10-11 | 2008-03-04 | Sentelligence, Inc. | Low-cost on-line and in-line spectral sensors based on solid-state source and detectors combinations for monitoring lubricants and functional fluids |
| EP1583955A1 (en) * | 2003-01-07 | 2005-10-12 | The Lubrizol Corporation | Apparatus for on-line monitoring quality/condition of fluids |
| AU2004204512B2 (en) * | 2003-01-07 | 2008-11-06 | The Lubrizol Corporation | Apparatus for on-line monitoring quality/condition of fluids |
| US7459713B2 (en) | 2003-08-14 | 2008-12-02 | Microptix Technologies, Llc | Integrated sensing system approach for handheld spectral measurements having a disposable sample handling apparatus |
| JP2006064405A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | System Instruments Kk | 光吸収測定方法及び装置、並びに同測定方法又は装置において使用可能な光導波路 |
| JP4516803B2 (ja) * | 2004-08-24 | 2010-08-04 | システム・インスツルメンツ株式会社 | 光吸収測定方法及び装置 |
| JP2008070391A (ja) * | 2007-12-05 | 2008-03-27 | Fujifilm Corp | 全反射光を利用した測定装置 |
| JP2011508887A (ja) * | 2008-01-03 | 2011-03-17 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | バイオセンサにおけるエバネセント場変調 |
| US20110051125A1 (en) * | 2008-02-27 | 2011-03-03 | Jsm Healthcare Inc. | Apparatus and Method for Analyzing Urine Components in Toilet in Real-Time by Using Miniature ATR Infrared Spectroscopy |
| JP2011169738A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Sharp Corp | 化学物質検出装置 |
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