FI119159B - Kapacitiv accelerationsgivarkonstruktion - Google Patents

Kapacitiv accelerationsgivarkonstruktion Download PDF

Info

Publication number
FI119159B
FI119159B FI20030207A FI20030207A FI119159B FI 119159 B FI119159 B FI 119159B FI 20030207 A FI20030207 A FI 20030207A FI 20030207 A FI20030207 A FI 20030207A FI 119159 B FI119159 B FI 119159B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
electrode
electrodes
acceleration sensor
accelerometer
pairs
Prior art date
Application number
FI20030207A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI20030207A0 (sv
Inventor
Tuomo Lehtonen
Original Assignee
Vti Technologies Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vti Technologies Oy filed Critical Vti Technologies Oy
Priority to FI20030207A priority Critical patent/FI119159B/sv
Publication of FI20030207A0 publication Critical patent/FI20030207A0/sv
Priority to KR1020057014709A priority patent/KR20050111587A/ko
Priority to PCT/FI2004/000047 priority patent/WO2004072656A1/en
Priority to EP04706699A priority patent/EP1592973A1/en
Priority to CNA2004800039487A priority patent/CN1748147A/zh
Priority to JP2006502058A priority patent/JP2006517661A/ja
Priority to US10/774,691 priority patent/US7398683B2/en
Application granted granted Critical
Publication of FI119159B publication Critical patent/FI119159B/sv

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Claims (16)

1. En kapacitiv accelerationsgivare, som omfattar ätminstone fyra par elektroder sä, att varje elektrodpar 5 omfattar en rörlig elektrod (5) som reagerar för acceleration och ätminstone ett orörligt skivparti (6), och att varje elektrodpar ytterligare omfattar en rotationsaxel (7), som väsentligen bildar axel för detsamma sälunda, att accelerationsgivarens rörliga 10 elektrod (5) är fast stödd vid rotationsaxeIn (7) sä, den rörliga elektroden (5) kan vridas i rotationsrörelse i förhällande till rotationsaxeln (7), kännetecknad av, att elektrodparens position valts symmetriskt i förhällande till en symmetriaxel eller symmetriaxlar, och 15 att de negativa riktningsvektorerna för de rörliga elektroderna i de ätminstone fyra elektrodparen skär varandra i väsentligen en och samma punkt.
2. Kapacitiv accelerationsgivare enligt patentkrav 1, .. kännetecknad av, att elektrodparens form valts lämpligt i * ·· *... relation till antalet elektrodpar. • * ·1· • · • * * ·» I,.1
3. Kapacitiv accelerationsgivare enligt patentkrav 1 • · * · .Π 25 eller 2, kännetecknad av, att man använt fyra elektrodpar • · *..! i accelerationsgivaren.
• · • ♦ *·♦ .. 4. Kapacitiv accelerationsgivare enligt patentkrav 3, • · · • · · *.* kännetecknad av, att man genom att använda fyra • · • · "1 30 elektrodpar ästadkommit en accelerationsgivare med en • · · axel. ··· • · • · · * 2 2
5. Kapacitiv accelerationsgivare enligt patentkrav 3, ··· ··.·; kännetecknad av, att man genom att använda fyra 35 elektrodpar ästadkommit en accelerationsgivare med tvä axlar. 119159
6. Kapacitiv accelerationsgivare enligt patentkrav 3, kännetecknad av, att man genom att använda fyra elektrodpar ästadkommit en accelerationsgivare med tre 5 axlar.
7. Kapacitiv accelerationsgivare enligt nägot av de föregäende patentkraven 3-6, kännetecknad av, att elektrodparen är placerade sa, att det uppstär fyra 10 symmetriaxlar.
8. Kapacitiv accelerationsgivare enligt nägot av de föregäende patentkraven 3-7, kännetecknad av, att elektrodparen ligger i givaren sä, att den positiva 15 riktningsvektorn hos var och en av de rörliga elektroderna bildar en vinkel om 90°, 180° och 270° med den positiva riktningsvektorn hos var och en av de tre övriga rörliga elektroderna.
9. Kapacitiv accelerationsgivare enligt patentkrav l eller 2, kännetecknad av, att man använt ätta elektrodpar • · • ·· °... i accelerationsgivaren. • · • · • ti • t • · · • M
10. Kapacitiv accelerationsgivare enligt patentkrav 9, • · t · 25 kännetecknad av, att man genom att använda ätta • · · • elektrodpar ästadkommit en accelerationsgivare med en • * ***** axel. φ · • · · m\]·'
11. Kapacitiv accelerationsgivare enligt patentkrav 9, • · '*;·* 3 0 kännetecknad av, att man genom att använda ätta elektrodpar ästadkommit en accelerationsgivare med tvä axlar. ··· • * • · ···
12. Kapacitiv accelerationsgivare enligt patentkrav 9, 35 kännetecknad av, att man genom att använda ätta elektrodpar ästadkommit en accelerationsgivare med tre 119159 axlar.
13. Kapacitiv accelerationsgivare enligt nägot av de föregäende patentkraven 9-12, kännetecknad av, att 5 elektrodparen är placerade sä, att det uppstär fyra symmetriaxlar.
14. Kapacitiv accelerationsgivare enligt nägot av de föregäende patentkraven 1-13, kännetecknad av, att de 10 olika elektrodparen är anpassade för mätning inom olika accelerationsomräden.
15. Kapacitiv accelerationsgivare enligt nägot av de föregäende patentkraven 1-14, kännetecknad av, att nägra 15 av elektrodparen i accelerationsgivaren är redundanta elektrodpar.
16. Kapacitiv accelerationsgivare enligt nägot av de föregäende patentkraven 1-15, kännetecknad av, att man 20 utnyttjar nägra av elektrodparen i accelerationsgivaren för linearisering av kapacitansförändringen. • ·· ··· • · • » ··· • · • · · a ·· * · »·· • · • * ··« ·· · • · · • · • · • · · • · • * *·· • e • e e • · e • * • e· • · • · ft·· • ft • ft ft • · · ··· • •ft ft · • · *·· • •ft ft · • · ··· ·
FI20030207A 2003-02-11 2003-02-11 Kapacitiv accelerationsgivarkonstruktion FI119159B (sv)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20030207A FI119159B (sv) 2003-02-11 2003-02-11 Kapacitiv accelerationsgivarkonstruktion
KR1020057014709A KR20050111587A (ko) 2003-02-11 2004-01-30 용량형 가속도 센서
PCT/FI2004/000047 WO2004072656A1 (en) 2003-02-11 2004-01-30 Capacitive accelaration sensor
EP04706699A EP1592973A1 (en) 2003-02-11 2004-01-30 Capacitive accelaration sensor
CNA2004800039487A CN1748147A (zh) 2003-02-11 2004-01-30 电容性加速度传感器
JP2006502058A JP2006517661A (ja) 2003-02-11 2004-01-30 容量型加速度センサー
US10/774,691 US7398683B2 (en) 2003-02-11 2004-02-10 Capacitive acceleration sensor

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20030207A FI119159B (sv) 2003-02-11 2003-02-11 Kapacitiv accelerationsgivarkonstruktion
FI20030207 2003-02-11

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FI20030207A0 FI20030207A0 (sv) 2003-02-11
FI119159B true FI119159B (sv) 2008-08-15

Family

ID=8565599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20030207A FI119159B (sv) 2003-02-11 2003-02-11 Kapacitiv accelerationsgivarkonstruktion

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7398683B2 (sv)
EP (1) EP1592973A1 (sv)
JP (1) JP2006517661A (sv)
KR (1) KR20050111587A (sv)
CN (1) CN1748147A (sv)
FI (1) FI119159B (sv)
WO (1) WO2004072656A1 (sv)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101064285B1 (ko) 2005-04-15 2011-09-14 매그나칩 반도체 유한회사 일축 가속도 측정 소자 및 이를 이용한 가속도 측정 센서
FI118930B (sv) 2005-09-16 2008-05-15 Vti Technologies Oy Förfarande för mikromekanisk mätning av acceleration och mikromekanisk accelerationssensor
US8462109B2 (en) 2007-01-05 2013-06-11 Invensense, Inc. Controlling and accessing content using motion processing on mobile devices
US7934423B2 (en) 2007-12-10 2011-05-03 Invensense, Inc. Vertically integrated 3-axis MEMS angular accelerometer with integrated electronics
US8952832B2 (en) 2008-01-18 2015-02-10 Invensense, Inc. Interfacing application programs and motion sensors of a device
US8250921B2 (en) 2007-07-06 2012-08-28 Invensense, Inc. Integrated motion processing unit (MPU) with MEMS inertial sensing and embedded digital electronics
KR100921814B1 (ko) * 2007-04-26 2009-10-16 주식회사 애트랩 포인팅 장치 및 이의 움직임 제어 방법
EP2176672A2 (en) * 2007-07-24 2010-04-21 Nxp B.V. Multi-axial sensor for determining displacement, velocity and acceleration of a linear or angular movement
US8042396B2 (en) 2007-09-11 2011-10-25 Stmicroelectronics S.R.L. Microelectromechanical sensor with improved mechanical decoupling of sensing and driving modes
DE102007046017B4 (de) * 2007-09-26 2021-07-01 Robert Bosch Gmbh Sensorelement
US7793542B2 (en) * 2007-12-28 2010-09-14 Freescale Semiconductor, Inc. Caddie-corner single proof mass XYZ MEMS transducer
IT1391973B1 (it) 2008-11-26 2012-02-02 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico mono o biassiale con aumentata sensibilita' al rilevamento di velocita' angolari
ITTO20090489A1 (it) 2008-11-26 2010-12-27 St Microelectronics Srl Circuito di lettura per un giroscopio mems multi-asse avente direzioni di rilevamento inclinate rispetto agli assi di riferimento, e corrispondente giroscopio mems multi-asse
IT1391972B1 (it) 2008-11-26 2012-02-02 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico con movimento di azionamento rotatorio e migliorate caratteristiche elettriche
IT1392741B1 (it) 2008-12-23 2012-03-16 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico con migliorata reiezione di disturbi di accelerazione
SG173732A1 (en) * 2009-02-17 2011-09-29 Agency Science Tech & Res Miniaturized piezoelectric accelerometers
IT1394007B1 (it) 2009-05-11 2012-05-17 St Microelectronics Rousset Struttura microelettromeccanica con reiezione migliorata di disturbi di accelerazione
US8322216B2 (en) * 2009-09-22 2012-12-04 Duli Yu Micromachined accelerometer with monolithic electrodes and method of making the same
CN102038508B (zh) * 2009-10-10 2014-04-16 卓越进科技（深圳）有限公司 睡眠窒息检测仪
ITTO20091042A1 (it) 2009-12-24 2011-06-25 St Microelectronics Srl Giroscopio integrato microelettromeccanico con migliorata struttura di azionamento
ITTO20110806A1 (it) 2011-09-12 2013-03-13 St Microelectronics Srl Dispositivo microelettromeccanico integrante un giroscopio e un accelerometro
US9404747B2 (en) 2013-10-30 2016-08-02 Stmicroelectroncs S.R.L. Microelectromechanical gyroscope with compensation of quadrature error drift
US9952252B2 (en) 2015-05-15 2018-04-24 Invensense, Inc. Offset rejection electrodes
US11231441B2 (en) * 2015-05-15 2022-01-25 Invensense, Inc. MEMS structure for offset minimization of out-of-plane sensing accelerometers
US10295558B2 (en) 2015-05-15 2019-05-21 Invensense, Inc. Offset rejection electrodes
US10712360B2 (en) 2017-09-27 2020-07-14 Azoteq (Pty) Ltd Differential charge transfer based accelerometer

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH642461A5 (fr) * 1981-07-02 1984-04-13 Centre Electron Horloger Accelerometre.
JPS6199382A (ja) * 1984-10-19 1986-05-17 Komatsu Ltd 圧力センサの製造方法
US4736629A (en) * 1985-12-20 1988-04-12 Silicon Designs, Inc. Micro-miniature accelerometer
GB8718004D0 (en) * 1987-07-29 1987-12-16 Marconi Co Ltd Accelerometer
DE3741036A1 (de) * 1987-12-03 1989-06-15 Fraunhofer Ges Forschung Mikromechanischer beschleunigungsmesser
US5095762A (en) * 1988-07-14 1992-03-17 University Of Hawaii Multidimensional force sensor
JP2773495B2 (ja) * 1991-11-18 1998-07-09 株式会社日立製作所 三次元加速度センサ
JPH08160070A (ja) * 1994-11-30 1996-06-21 Akebono Brake Ind Co Ltd 加速度センサ
US5488864A (en) * 1994-12-19 1996-02-06 Ford Motor Company Torsion beam accelerometer with slotted tilt plate
DE19547642A1 (de) * 1994-12-20 1996-06-27 Zexel Corp Beschleunigungssensor und Verfahren zu dessen Herstellung
SE9500729L (sv) * 1995-02-27 1996-08-28 Gert Andersson Anordning för mätning av vinkelhastighet i enkristallint material samt förfarande för framställning av sådan
EP0762128B1 (en) * 1995-09-04 2000-05-17 Murata Manufacturing Co., Ltd. Acceleration detection device
JP3147789B2 (ja) * 1995-09-04 2001-03-19 株式会社村田製作所 加速度検出素子
DE19649715C2 (de) * 1996-11-30 2001-07-12 Telefunken Microelectron Anordnung zur Messung von Beschleunigungen
US5831164A (en) * 1997-01-21 1998-11-03 Conrad Technologies, Inc. Linear and rotational accelerometer
US5900550A (en) * 1997-06-16 1999-05-04 Ford Motor Company Capacitive acceleration sensor
JP4056591B2 (ja) * 1997-07-16 2008-03-05 住友精密工業株式会社 加速度センサ
US6000287A (en) * 1998-08-28 1999-12-14 Ford Motor Company Capacitor center of area sensitivity in angular motion micro-electromechanical systems
US6862795B2 (en) * 2002-06-17 2005-03-08 Vty Holding Oy Method of manufacturing of a monolithic silicon acceleration sensor
US6829937B2 (en) * 2002-06-17 2004-12-14 Vti Holding Oy Monolithic silicon acceleration sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006517661A (ja) 2006-07-27
EP1592973A1 (en) 2005-11-09
FI20030207A0 (sv) 2003-02-11
KR20050111587A (ko) 2005-11-25
US7398683B2 (en) 2008-07-15
WO2004072656A1 (en) 2004-08-26
CN1748147A (zh) 2006-03-15
US20040216523A1 (en) 2004-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI119159B (sv) Kapacitiv accelerationsgivarkonstruktion
US8079262B2 (en) Pendulous accelerometer with balanced gas damping
CN101118250B (zh) 一种硅mems压阻式加速度传感器
TWI292825B (en) Multiple axis acceleration sensor
FI119528B (sv) Kapacitiv accelerationsgivarkonstruktion
JP2008537139A (ja) センサ装置を備える装置
JP2008509390A (ja) 流体の熱対流を利用した加速度及び傾斜角測定装置とその測定方法
CN104459203B (zh) 一种加速度计中的z轴结构及三轴加速度计
CN1844934A (zh) 一种双轴电容式微机械加速度计
US7155976B2 (en) Rotation sensing apparatus and method for manufacturing the same
TW201009340A (en) Triaxial acceleration sensor
CN110040680A (zh) 基于电热预加载具有准零刚度特性的mems微重力传感器芯片
US20160216165A1 (en) Mems piton-tube capacitive force sensor
CN104764904B (zh) 一种三轴压电加速度计
CN100559187C (zh) 利用流体热对流测量加速度和/或倾斜角的方法和装置
CN104459204B (zh) 惯性测量模块及三轴加速度计
Jiao et al. Electrical conduction of nanoparticle monolayer for accurate tracking of mechanical stimulus in finger touch sensing
CN101683965A (zh) 在非对称质量分布情况下具有对称面结构的微机械传感器
CN202442829U (zh) 一种阵列力传感器
Han et al. Research on tilt sensor technology
CN102507979A (zh) 一种接触式电容微加速度传感器
JP2000097707A (ja) 加速度センサ
CN215338344U (zh) 一种离面检测陀螺仪
RU192953U1 (ru) Мэмс-акселерометр
Peng et al. Liquid Droplet for Motion Sensing

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Ref document number: 119159

Country of ref document: FI

PC Transfer of assignment of patent

Owner name: MURATA ELECTRONICS OY

MM Patent lapsed