EP2644900B1 - Pumpensystem zur Evakuierung von Gas aus einer Mehrzahl von Kammern sowie Verfahren zur Steuerung des Pumpensystems - Google Patents
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- EP2644900B1 EP2644900B1 EP13156718.2A EP13156718A EP2644900B1 EP 2644900 B1 EP2644900 B1 EP 2644900B1 EP 13156718 A EP13156718 A EP 13156718A EP 2644900 B1 EP2644900 B1 EP 2644900B1
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Definitions
- One or more chambers can continue to be exposed to gas loads, these can both by connections to the outside of the chamber ("atmosphere"), by an on-handed gas load from an upstream chamber, by otherwise generated, usually process-related gas streams, also by the admission of inert or process gases which are usually noble gases such as helium, caused by desorption of introduced into the chamber workpieces, specimens and / or the chamber components and / or by active in the process resulting reaction products.
- inert or process gases which are usually noble gases such as helium
- each chamber In order to maintain the process within each chamber, they must be evacuated by vacuum pumping systems connected to an intended vacuum pressure and the pressure then kept as constant as possible.
- These individual vacuum pump systems each consist either of a single pump or of a series and / or parallel connection of several pumps. Depending on the amount of gas accumulating several chambers can be evacuated by individual pumps simultaneously or even several pumps are evacuated by a common backing pump. Between the chambers and pumps, both series, parallel circuits or any combinations thereof can be designed as compounds.
- JP 2010-167338 A includes a pump system, in which turbopumps and the turbopump upstream pre-pumps are provided. This to the stand The technology belonging system can be further improved in terms of cost.
- US 2010/0206407 A1 also includes a lock system for a vacuum system in which also fine vacuum pumps and backing pumps are provided. With the large number of pumps used in this pump system, a further improvement can also be achieved in terms of economy.
- the technical problem underlying the invention is to make optimum use of as many pumps as possible from an economic and technical point of view, and to obtain gas loads as evenly as possible without repercussions distributed to the process on a plurality of as simple as possible and similar or the same pump.
- the maximum gas flow in the respective wiring harness is limited by one or more cross-sectional constrictions.
- cross-sectional constriction in the sense of Invention is also understood to mean a device for completely closing a wire strand.
- a cross-sectional constriction can be advantageously carried out as a simple aperture. This represents a component which has a defined cross-sectional constriction over a certain length of the existing strand.
- An orifice is in the simplest case provided with a fixed constriction.
- Another particularly advantageous embodiment is adjustable within a defined range.
- This embodiment is called a throttle valve.
- the adjustment The range can be done either mechanically by hand or electrically, pneumatically or hydraulically via the control drive.
- the adjustment of the throttle valve is advantageously based on a previously determined, calibrated scale, but offers no feedback on the actual cross section or gas flow.
- a gas flow measurement can be done either separately or integrated, so that the execution is possible as a closed loop to be able to control a given gas flow.
- corresponding default values are electrically generated as an analog signal, for example as voltage, current, pulse width modulation or other conventional methods or transmitted as a digital signal via any bus system.
- a specification can also be generated via a locally or remotely connected operator panel with a user interface. This device is commonly referred to as a gas flow regulator.
- the gas flow controller is a commercially available component, which is also referred to as "Mass Flow Controller".
- the mentioned cross-sectional constrictions can be carried out in a suitable manner individually or as a combination of identical or different embodiments in parallel and / or in series.
- the use of one or more valves for separating one or more sub-strands of the constructed network additionally expands the possibilities for adaptation to individual process states.
- the invention it is possible, at one or more locations both at one or more chambers and / or at any points within the cable strands or at provided for the terminals of the pumps to measure the current vacuum pressure and / or the gas flow and to use to control the aforementioned means.
- the simplest embodiment describes a pressure switch, which gives a signal for opening or closing a sub-string at a predetermined limit pressure in order to avoid overloading a connected pump or influencing the process specifications.
- a further advantageous embodiment of the invention provides a higher-level process control.
- higher-level process control it is possible to use the acquired measured values from different locations for process evaluation and influencing, thus optimizing the optimization of the process and the load on the individual pumps.
- LCMS systems in which one of the low load pumps must pump mainly light gases (low particle masses) in at least one process state, such as helium in the "additional gasload" is initiated as a process gas.
- the performance of most pumping principles depends on the atomic or molecular weights to be pumped, while light gases with low masses are usually more difficult to pump.
- the pumping power of such pumps increases greatly when heavier gases are used as trailing medium. In this case, the heavy particles entrain the light in the right direction through the pump, thus reducing the backflow of the light gases.
- the pump has to pump more gas in total, the pumping power for light gases increases significantly.
- the discharge of the first pump which delivers via a cross-sectional constriction gas flow with a lower proportion of light gases to the second pump, leading in the case of the second pump, which in the case described a high proportion light gases pumping, to a corresponding drag effect, so that light gases can be pumped much better.
- the problem can be solved by the inventive installation of at least one cross-sectional constriction at least between the affected first variable speed pump and / or variable drive power and a second pump, which either pumps off an area in which the chamber pressure is irrelevant and / or for at least one directly the pump connected to the chamber, for example one or more molecular pumps (n) generates the admission pressure, which reacts robustly to pressure changes on its discharge side.
- the simple change or adjustment of said cross-sectional constriction compensates for the difference in pumping capacity of the first pump so that the affected chamber pressure remains constant without intervention in or on the chamber.
- Such an adjustment can, as already described, also be carried out with an internally or externally connected control unit which determines the process state, for example the vacuum pressure of the chamber concerned and adjusts the cross-sectional constriction to a desired value in the current process state.
- a control can also eliminate the problem that the variable pumping power is not due to influences of the power supply network, but due to differences in the operating state of the pump, so it shows different pump powers in warm operating condition or changed environmental conditions, especially ambient and / or cooling water temperature.
- the pump system according to the invention has two or more chambers, which are at least partially interconnected and which are operated with mostly different vacuum pressures. Gas streams are generated by the admission of gases to be analyzed and often by the admission of further auxiliary gases into other chambers.
- at least one of the additional vacuum pumps may have more than one pump inlet (“split flow", interstage port) connected to at least one other chamber than that at the first inlet of the pump.
- the Pumps have a high robustness against high discharge pressures, typical is the pressure between molecular and forepump in a range of 1 to 20 mbar (millibars).
- at least one connection is realized with a cross-sectional constriction between the suction connections of the first-mentioned and a second pre-pump, which allows maximally so much gas flow, so that the second pre-pump can always hold at least a certain suction pressure.
- the first, relieved pre-pump can be chosen smaller, the second is better utilized.
- turbomolecular pump 3 must maintain the predetermined pressure in the chamber 1 and the turbomolecular pump 4, the predetermined pressure in the chamber 2.
- the pumps 3, 4, 5, 6 must be qualified accordingly. This means that they have to provide the required pump power under the country-specific conditions of the voltage network and the mains frequency.
- Q is the gas flow.
- the chambers 1, 2 are interconnected. At different pressures in the chambers 1, 2, a gas flow Q takes place between the chambers.
- a gas inlet 7 is provided to supply a process gas to the chamber 2.
- a wiring harness 8 is provided between the backing pumps 5, 6, a wiring harness 8 is provided.
- a diaphragm 9 is arranged in the wiring harness 8 . With this panel 9, the gas flow in the wiring harness 8 can be regulated.
- a wiring harness 8 is provided, which is provided with a diaphragm 9.
- an additional turbomolecular pump 20 is provided for evacuation of the chamber 15.
- a wiring harness 8 is provided, in which a diaphragm 9 is arranged.
- a relief of the first pump 5 is provided, which emits gas flow over the cross-sectional constriction 9 with a small proportion of light gases to the second pump 6.
- the second pump 6 which in the present case pumps a high proportion of light gases, to a corresponding drag effect, so that light gases can be pumped much better.
- a wiring harness 8 is provided, in which a diaphragm 9 is arranged.
- a device for measuring the current vacuum pressure is also arranged at a designated port.
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Description
- Die Erfindung betrifft ein Pumpensystem zur Evakuierung von Gas aus einer Mehrzahl von Kammern sowie ein Verfahren zur Steuerung des Pumpensystems.
- Ein Gesamtsystem besteht in der Praxis aus einer oder mehreren Vakuumkammern (Rezipienten). Diese Kammern können einzeln genutzt werden, jedoch auch zumindest teilweise miteinander verbunden sein. Für diesen Fall bestimmt bei anliegender Druckdifferenz zwischen zwei Kammern der Leitwert einer Öffnung in der gemeinsamen Wand zwischen zwei Prozesskammern oder der Leitwert der verbindenden Rohrleitung maßgeblich den Gasstrom zwischen ihnen. Eine oder mehrere Kammern können weiterhin mit Gaslasten beaufschlagt werden, diese können sowohl durch Verbindungen zum Kammeräußeren ("Atmosphäre"), durch eine weitergereichte Gaslast aus einer vorgeschalteten Kammer, durch anderweitig erzeugte, meist prozessbedingte Gasströme, auch durch das Einlassen von Inert- oder Prozessgasen, welche in der Regel Edelgase wie Helium sind, durch Desorption von in die Kammer eingebrachten Werkstücken, Prüflingen und/oder der Kammerbestandteile und/oder durch aktiv im Prozess entstehende Reaktionsprodukte entstehen.
- Um den Prozess innerhalb jeder Kammer aufrechtzuerhalten, müssen diese durch jeweils verbundene Vakuumpumpsysteme auf einen vorgesehenen Vakuumdruck evakuiert und der Druck dann möglichst konstant gehalten werden. Diese einzelnen Vakuumpumpsysteme bestehen entweder je aus einer einzelnen Pumpe oder je einer Reihen- und/oder Parallelschaltung von mehreren Pumpen. Je nach anfallender Gasmenge können mehrere Kammern durch einzelne Pumpen gleichzeitig evakuiert oder auch mehrere Pumpen durch eine gemeinsame Vorpumpe evakuiert werden. Zwischen den Kammern und Pumpen können sowohl Reihen-, Parallelschaltungen oder auch beliebige Kombinationen daraus als Verbindungen ausgeführt werden.
- Aus dem Stand der Technik (
WO 2011/121322 A2 ) ist bekannt, dass Pumpen sich in geeigneter Weise gegenseitig unterstützen können, indem diese an verschiedenen Druckniveaus innerhalb einer anderen Pumpe verbunden werden. - Meist erfordern Prozesse in Mehrkammersystemen eine hohe Gaslast bei niedrigem Druck, so dass dort große Vorpumpen eingesetzt werden müssen, um den gewünschten Vakuumdruck halten zu können. Niedriger Druck bedeutet, dass ein hohes Saugvermögen vorliegen soll. Gleichzeitig können andere Kammern eines solchen Systems mit sehr geringem Aufwand auf Vakuumdruck gehalten werden und eine kleine Pumpe ist ausreichend. Je mehr Gaslast eine Pumpe zu bewältigen hat, desto höher ist ihr Energiebedarf und der damit verbundene Kühlungsbedarf bedingt durch Gasreibung und elektrische sowie mechanische Verluste.
- Durch die vorgegebenen Umgebungs- und Randbedingungen, zum Beispiel begrenzter Bauraum, erlaubte Wärmeleistung, Geräusch- oder Vibrationsentwicklung kann es vorteilhaft sein, mehrere kleine Pumpen statt einer großen zu verwenden. Weiterhin ist es vorteilhaft, die Lasten möglichst gleichmäßig zu verteilen, um eine höhere Effizienz der Pumpen zu gewährleisten.
- Für reale Anwendungsfälle sind die Gaslasten und Vakuumdrücke von Kammer zu Kammer stark unterschiedlich und eine Anpassung laut den genannten Möglichkeiten ist unter Beibehaltung der gewünschten Prozessdaten schwierig und nur unter Interessenabwägung möglich. Eine Art der Lösung beschreibt der Stand der Technik (
WO 2011/121322 A2 ), diese erfordert jedoch spezielle Pumpen mit passend gewählten Zwischenanschlüssen. - Zum Stand der Technik (
JP 2010-167338 A - Weiterhin gehört zum Stand der Technik (
US 4,919,599 A ) ein Pumpensystem, bei dem ebenfalls mehrere Vorpumpen und mehrere Turbomolekularpumpen vorgesehen sind. Auch dieses Pumpensystem lässt sich hinsichtlich der Wirtschaftlichkeit weiter verbessern. - Zum Stand der Technik (
US 2010/0206407 A1 ) gehört darüber hinaus ein Schleusensystem für eine Vakuumanlage, bei dem ebenfalls Feinvakuumpumpen und Vorpumpen vorgesehen sind. Bei der Vielzahl von verwendeten Pumpen in diesem Pumpensystem kann hinsichtlich der Wirtschaftlichkeit ebenfalls noch eine weitere Verbesserung erzielt werden. - Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht darin, möglichst viele Pumpen unter wirtschaftlichen und technischen Gesichtspunkten optimal auszunutzen und anfallende Gaslasten möglichst gleichmäßig ohne Rückwirkungen auf den Prozess auf eine Mehrzahl von möglichst einfachen und ähnlichen oder gleichen Pumpen zu verteilen.
- Dieses technische Problem wird durch ein Pumpensystem mit den Merkmalen gemäß Anspruch 1 sowie durch ein Verfahren mit den Merkmalen gemäß Anspruch 9 gelöst.
- Das erfindungsgemäße Pumpensystem zur Evakuierung von Gas aus einer Mehrzahl von Kammern mit wenigstens vier Vakuumpumpen, wobei wenigstens zwei Vorpumpen und wenigstens zwei Turbomolekularpumpen vorgesehen sind, wobei die Kammern miteinander verbunden sind und einen unterschiedlichen Vakuumdruck haben, wobei einer ersten Kammer eine erste Turbomolekularpumpe zugeordnet ist und einer zweiten Kammer eine zweite Turbomolekularpumpe zugeordnet ist, wobei die erste Turbomolekularpumpe von einer ersten Vorpumpe unterstützt wird und die zweite Turbomolekularpumpe von einer zweiten Vorpumpe unterstützt wird und bei dem in wenigstens einer Verbindungsleitung zwischen den wenigstens zwei Vorpumpen wenigstens eine Querschnittsverengung zur Regelung eines Gasstromes vorgesehen ist, zeichnet sich dadurch aus, dass sämtliche Turbomolekularpumpen baugleich ausgebildet sind, und dass an wenigstens einer Stelle in der wenigstens einen Kammer und/oder in dem wenigstens einen Leitungsstrang und/oder an dafür vorgesehenen Anschlüssen der Pumpen eine Vorrichtung zur Messung des aktuellen Vakuumdruckes oder des Gasdurchflusses vorgesehen ist.
- Gemäß der Erfindung wird zwischen parallelgeschalteten Pumpen der maximale Gasstrom im jeweiligen Leitungsstrang durch eine oder mehrere Querschnittsverengungen begrenzt. Unter Querschnittsverengung im Sinne der Erfindung wird auch eine Vorrichtung zum vollständigen Verschließen eines Leitungsstranges verstanden.
- Durch die Erfindung ist es möglich, nicht nur stark unterschiedliche Baugrößen von Pumpen zu vermeiden, sondern möglichst zwei oder mehr gleiche Pumpen an unterschiedlicher Position einzusetzen, um damit die Variantenanzahl in Produktion, Verkauf, Einbau und Anwendung gering zu halten und damit für Hersteller und Kunden eine Kosteneinsparung zu realisieren. Diese Kosteneinsparung wird unter anderem dadurch erreicht, dass der Qualifizierungsaufwand gering ist. Qualifizierungsaufwand bedeutet, dass der Anwender mehrere Pumpen gleicher Bauart einsetzt und ausprobiert, welche Pumpen in Kombination die geforderte Aufgabe im landesspezifisch vorgegebenen Spannungsnetz oder bei der landesspezifisch vorgegebenen Netzfrequenz am besten lösen. Diese Taktik kann sowohl für Pumpen im Vorvakuumbereich wie in obigem Beispiel angewendet werden, als auch für Pumpen, die direkt oder über eine Verbindungsleitung an der Kammer angeschlossen werden.
- Eine Querschnittsverengung kann vorteilhaft als einfache Blende ausgeführt werden. Diese stellt ein Bauteil dar, welches eine definierte Querschnittsverengung auf einer bestimmten Länge des vorhandenen Stranges aufweist.
- Eine Drosselblende ist im einfachsten Fall mit einer festen Verengung versehen.
- Eine weitere besonders vorteilhafte Ausführung ist innerhalb eines definierten Bereiches verstellbar. Diese Ausführungsform wird als Drosselventil bezeichnet. Die Verstellung des Bereiches kann sowohl mechanisch per Hand oder elektrisch, pneumatisch oder hydraulisch per Steuerantrieb erfolgen.
- Die Einstellung des Drosselventils erfolgt vorteilhaft anhand einer vorab ermittelten, kalibrierten Skala, bietet jedoch keine Rückmeldung über den tatsächlichen Querschnitt beziehungsweise Gasstrom. Hierfür kann vorteilhaft eine Gasflussmessung entweder separat oder integriert erfolgen, damit ist die Ausführung als geschlossener Regelkreis möglich, um auf einen vorgegebenen Gasfluss regeln zu können. Meist werden entsprechende Vorgabewerte elektrisch als Analogsignal, zum Beispiel als Spannung, Strom, Pulsweitenmodulation oder anderen üblichen Verfahren erzeugt oder als Digitalsignal über ein beliebiges Bussystem übermittelt. Ersatzweise oder zusätzlich kann eine Vorgabe auch über ein lokal oder entfernt verbundenes Bediengerät mit einer Benutzerschnittstelle erzeugt werden. Diese Vorrichtung wird allgemein als Gasflussregler bezeichnet. Der Gasflussregler ist ein handelsübliches Bauteil, welches auch als "Mass Flow Controller" bezeichnet wird.
- Die genannten Querschnittsverengungen können in geeigneter Weise einzeln oder als eine Kombination von gleichen oder verschiedenen Ausführungen parallel und/oder reihengeschaltet ausgeführt werden. Der Einsatz von ein oder mehreren Ventilen zum Trennen eines oder mehrerer Teilstränge des aufgebauten Netzwerkes erweitert die Möglichkeiten zur Anpassung an einzelne Prozesszustände zusätzlich.
- Gemäß der Erfindung besteht die Möglichkeit, an einer oder mehreren Stellen sowohl an einer oder mehreren Kammern und/oder an beliebigen Punkten innerhalb der Leitungsstränge oder an
dafür vorgesehenen Anschlüssen der Pumpen den aktuellen Vakuumdruck und/oder den Gasdurchfluss zu messen und zur Regelung der vorgenannten Mittel zu verwenden. Die einfachste Ausführung beschreibt einen Druckschalter, welcher bei einem vorgegebenen Grenzdruck ein Signal zur Öffnung oder Schließung eines Teilstranges gibt, um eine Überlastung an einer verbundenen Pumpe oder eine Beeinflussung der Prozessvorgaben zu vermeiden. - Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht eine übergeordnete Prozesssteuerung vor. Mit einer übergeordneten Prozesssteuerung ist es möglich, die erfassten Messwerte von verschiedenen Stellen für eine Prozessbeurteilung und Beeinflussung zu nutzen und damit eine Optimierung des Prozesses und der Belastung der einzelnen Pumpen zu optimieren.
- Bei Verwendung von Pumpen, deren Pumpleistung zumindest teilweise von ihrem Ausstoßdruck abhängig ist, zum Beispiel Molekularpumpen, ist es vorteilhaft, wenn diese auf ihrer Ausstoßseite mindestens eine Pumpstufe besitzen, welche über einen großen Druckbereich konstante Pumpleistungen liefern. Dies können zum Beispiel Gaede-, Siegbahn- und/oder Holweckstufen sein. Die Robustheit der Pumpe gegenüber Druckschwankungen an der Ausstoßseite ermöglicht eine deutliche Vereinfachung der weiteren Auslegung des Systems. Damit kann eher mit einer einfachen Drossel statt einem geschalteten oder geregelten Ventil gearbeitet werden.
- Die beschriebene Lösung führt zu Vorteilen bei Systemen, zum Beispiel so genannten LCMS-Systemen, bei denen eine der Pumpen mit geringer Last in mindestens einem Prozesszustand hauptsächlich leichte Gase (niedrige Teilchenmassen) pumpen muss, wie beispielsweise beim "additional gasload", bei dem Helium als Prozessgas eingeleitet wird. Die Leistungsfähigkeit der meisten Pumpprinzipien hängt von den zu pumpenden Atom- beziehungsweise Molekülgewichten ab, leichte Gase mit niedrigen Massen lassen sich allgemein meist schwieriger pumpen. Die Pumpleistung solcher Pumpen erhöht sich stark, wenn schwerere Gase als Schleppmedium eingesetzt werden. Die schweren Teilchen reißen in diesem Fall die leichten in die richtige Richtung durch die Pumpe hindurch mit und reduzieren so die Rückströmung der leichten Gase. Obwohl die Pumpe insgesamt mehr Gas pumpen muss, nimmt die Pumpleistung für leichte Gase deutlich zu. Die Entlastung der ersten Pumpe, welche über eine Querschnittsverengung Gasstrom mit einem geringeren Anteil an leichten Gasen an die zweite Pumpe abgibt, führt bei der zweiten Pumpe, welche im beschriebenen Fall einen hohen Anteil an leichten Gasen pumpt, zu einem entsprechenden Schleppeffekt, so dass leichte Gase deutlich besser gepumpt werden können.
- Pumpen, die direkt am örtlichen Stromversorgungsnetz oft mit Frequenzumrichter betrieben werden, drehen je nach landesspezifischer Netzfrequenz (typisch 50 Hz oder 60 Hz) oder auch Netzspannung (typisch 90V, 110V, 230V) verschieden schnell und/oder mit unterschiedlicher maximaler Antriebsleistung (zum Beispiel durch Begrenzung des Antriebsstroms oder dem daraus resultierenden Wärmeeintrag) und verändern damit auch entsprechend ihre maximale Pumpleistung. Dies führt dazu, dass Kammern, die direkt von einer solchen Pumpe evakuiert werden, je nach vorhandenem Stromversorgungsnetz auf ein unterschiedliches Druckniveau gepumpt werden. Um dies zu vermeiden, ist es gemäß der üblichen Praxis bislang notwendig, die Gasströme durch Anpassung von Stellventilen oder Drosselblenden innerhalb oder an der Kammer so zu regulieren, dass der gewünschte Prozessdruck bei dem vorhandenen oder vorgegebenen Stromversorgungsnetz erreicht wird. Dies ist je nach Komplexität des Gesamtsystems nicht einfach realisierbar und mit hohem Aufwand verbunden, da meist mehrere korrespondierende Kammern betroffen sind. Das Problem kann durch den erfindungsgemäßen Einbau mindestens einer Querschnittsverengung mindestens zwischen der betroffenen ersten Pumpe mit variabler Drehzahl und/oder variabler Antriebsleistung und einer zweiten Pumpe, welche entweder einen Bereich abpumpt, in dem der Kammerdruck irrelevant ist und/oder die für mindestens eine direkt mit der Kammer verbundene Pumpe, zum Beispiel eine oder mehrere Molekularpumpe(n) den Vordruck erzeugt, wobei diese robust gegenüber Druckänderungen auf ihrer Ausstoßseite reagieren, gelöst werden. Das einfache Wechseln oder Verstellen der genannten Querschnittsverengung gleicht den Unterschied der Pumpleistung der ersten Pumpe so aus, dass der betroffene Kammerdruck konstant bleibt, ohne dass Eingriffe in oder an der Kammer vorgenommen werden müssen. Ein solches Verstellen kann, wie bereits beschrieben, auch mit einer intern oder extern angebundenen Regeleinheit vorgenommen werden, die den Prozesszustand, also zum Beispiel den Vakuumdruck der betroffenen Kammer ermittelt und durch Verstellen der Querschnittsverengung diesen auf einen im aktuellen Prozesszustand gewünschten Wert stellt.
- Eine Regelung kann auch das Problem beseitigen, dass die variable Pumpleistung nicht durch Einflüsse des Stromversorgungsnetzes, sondern durch Unterschiede im Betriebszustand der Pumpe begründet liegt, sie also im betriebswarmen Zustand oder bei veränderten Umgebungsbedingungen, speziell Umgebungs- und/oder Kühlwassertemperatur, unterschiedliche Pumpleistungen zeigt. Das Pumpensystem gemäß der Erfindung hat zwei oder mehrere Kammern, welche zumindest teilweise untereinander verbunden sind und die mit meist unterschiedlichen Vakuumdrücken betrieben werden. Gasströme werden durch den Einlass von zu analysierenden Gasen und oft durch Einlass weiterer Hilfsgase in andere Kammern erzeugt. Wahlweise kann mindestens eine der zusätzlichen Vakuumpumpen mehr als einen Pumpeinlass besitzen ("SplitFlow", Interstage-Port), welcher mit mindestens einer anderen Kammer als der am ersten Einlass der Pumpe verbunden ist. Vorteilhafterweise weisen die Pumpen eine hohe Robustheit gegenüber hohen Ausstoßdrücken auf, typisch ist der Druck zwischen Molekular- und Vorpumpe in einem Bereich von 1 bis 20 mbar (Millibar). Um mindestens eine der mindestens zwei Vorpumpen zu entlasten, wird mindestens eine Verbindung mit einer Querschnittsverengung zwischen den Sauganschlüssen der erstgenannten und einer zweiten Vorpumpe realisiert, welche maximal so viel Gasfluss erlaubt, so dass die zweite Vorpumpe immer mindestens einen gewissen Ansaugdruck halten kann. Die erste, entlastete Vorpumpe kann kleiner gewählt werden, die zweite wird besser ausgelastet.
- Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich anhand der zugehörigen Zeichnung, in der mehrere Ausführungsbeispiele eines erfindungsgemäßen Pumpensystems nur beispielhaft dargestellt sind. In der Zeichnung zeigen:
- Fig. 1
- ein Pumpensystem gemäß dem Stand der Technik;
- Fig. 2
- ein erstes Ausführungsbeispiel in schematischer Darstellung;
- Fig. 3
- ein zur Erfindung nicht gehörendes Beispiel in schematischer Darstellung;
- Fig. 4
- ein geändertes Ausführungsbeispiel in schematischer Darstellung;
- Fig. 5
- ein geändertes Ausführungsbeispiel in schematischer Darstellung;
- Fig. 6
- ein geändertes Ausführungsbeispiel in schematischer Darstellung.
-
Fig. 1 zeigt ein zum Stand der Technik gehörendes Pumpensystem mit zwei zu evakuierenden Kammern 1, 2. Der Kammer 1 ist eine Turbomolekularpumpe 3 zugeordnet und der Kammer 2 eine Turbomolekularpumpe 4. - Die Turbomolekularpumpe 3 wird von einer Vorpumpe 5 unterstützt. Die Turbomolekularpumpe 4 wird von einer Vorpumpe 6 unterstützt.
- Dieses zum Stand der Technik gehörende Pumpensystem weist den Nachteil auf, dass die Turbomolekularpumpe 3 den vorgegebenen Druck in der Kammer 1 halten muss und die Turbomolekularpumpe 4 den in der Kammer 2 vorgegebenen Druck. Die Pumpen 3, 4, 5, 6 müssen entsprechend qualifiziert sein. Das bedeutet, dass sie die geforderte Pumpleistung unter den landespezifischen Bedingungen des Spannungsnetzes und der Netzfrequenz erbringen müssen.
- Mit Q ist der Gasfluss gekennzeichnet. Die Kammern 1, 2 sind miteinander verbunden. Bei unterschiedlichen Drücken in den Kammern 1, 2 findet zwischen den Kammern ein Gasfluss Q statt. In der Kammer 2 ist darüber hinaus ein Gaseinlass 7 vorgesehen, um ein Prozessgas der Kammer 2 zuzuführen.
-
Fig. 2 zeigt die Kammern 1, 2, die von den Turbomolekularpumpen 3, 4 evakuiert werden. - Die Vorpumpen 5, 6 unterstützen hierbei die Turbomolekularpumpen 3, 4.
- Zwischen den Vorpumpen 5, 6 ist ein Leitungsstrang 8 vorgesehen. In dem Leitungsstrang 8 ist, schematisch dargestellt, eine Blende 9 angeordnet. Mit dieser Blende 9 lässt sich der Gasstrom in dem Leitungsstrang 8 regeln.
- Durch diese erfindungsgemäße Anordnung ist es möglich, die Pumpen 3, 4 gleich zu dimensionieren beziehungsweise Turbomolekularpumpen 3, 4 gleicher Bauart zu verwenden. Es erfolgt auch eine Entlastung der ersten Pumpe 5, welche über die Blende 9 einen Gasstrom mit einem geringeren Anteil an leichten Gasen an die zweite Pumpe 6 abgibt. Dies führt bei der zweiten Pumpe 6, welche gemäß
Fig. 2 einen hohen Anteil an leichten Gasen pumpt, zu einem entsprechenden Schleppeffekt, so dass leichte Gase deutlich besser gepumpt werden können. - Zwischen den Vorpumpen 5, 6 ist wiederum ein Leitungsstrang 8 vorgesehen, der mit einer Blende 9 versehen ist.
-
Fig. 3 zeigt ein zur Erfindung nicht gehörendes Beispiel mit drei Kammern 1, 2, 10. GemäßFig. 3 sind wieder die beiden Vorpumpen 5, 6 vorgesehen sowie die Turbomolekularpumpe 3 zur Evakuierung der Kammer 1. Zur Evakuierung der Kammern 2, 10 ist eine SplitFlow-Pumpe 11 vorgesehen, die zwei Einlässe 12, 13 aufweist. Zwischen den Vorpumpen 5, 6 ist wiederum der Leitungsstrang 8 vorgesehen, in dem die Blende 9 angeordnet ist. -
Fig. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel mit den zu evakuierenden Kammern 1, 2, 10, 13, 14, 15. Die Kammern 2, 10, 13 weisen zusätzliche Gaseinlässe 16, 17, 18 für Prozessgase auf. - Für die Evakuierung der Kammer 1 ist die Turbomolekularpumpe 3 vorgesehen, die von der Vorpumpe 5 unterstützt wird. Zur Evakuierung der Kammern 2, 13 und 14 ist eine SplitFlow-Pumpe 19 vorgesehen, die von der Vorpumpe 6 unterstützt wird.
- Zur Evakuierung der Kammer 15 ist eine zusätzliche Turbomolekularpumpe 20 vorgesehen.
- Zwischen den Vorpumpen 5, 6 ist wiederum ein Leitungsstrang 8 vorgesehen, in dem eine Blende 9 angeordnet ist. Auch hier ist eine Entlastung der ersten Pumpe 5 vorgesehen, welche über die Querschnittsverengung 9 Gasstrom mit einem geringen Anteil an leichten Gasen an die zweite Pumpe 6 abgibt. Dies führt bei der zweiten Pumpe 6, welche im vorliegenden Fall einen hohen Anteil an leichten Gasen pumpt, zu einem entsprechenden Schleppeffekt, so dass leichte Gase deutlich besser gepumpt werden können.
-
Fig. 5 zeigt eine Anordnung mit den Kammern 1, 2, 10, 13. Die Kammer 1 wird mit der Turbomolekularpumpe 3 evakuiert, die Kammer 2 mit der Turbomolekularpumpe 4. Die Turbomolekularpumpe 3 wird hierbei von der Vorpumpe 5 unterstützt. Die Turbomolekularpumpe 4 wird von der Vorpumpe 6 unterstützt. - Zwischen den Vorpumpen 5, 6 ist ein Leitungsstrang 8 vorgesehen, in dem eine Blende 9 angeordnet ist.
- Zur Evakuierung der Kammern 10, 13 ist eine SplitFlow-Pumpe 11 vorgesehen, die von einer Vorpumpe 21 unterstützt wird. Zwischen der Vorpumpe 6 und der Vorpumpe 21 ist ein zusätzlicher Leitungsstrang 22 angeordnet, der eine Blende 23 aufweist.
-
Fig. 6 zeigt eine Pumpenanordnung für ein Mehrkammersystem mit den Kammern 1, 2, 10, 13, 14, 15. - Die Kammern 1, 2, 13, 14, 15 werden von baugleichen Turbomolekularpumpen 3, 4, 20, 24, 25 evakuiert. Die Turbomolekularpumpe 3 wird hierbei von der Vorpumpe 5 unterstützt. Die Pumpen 4, 20, 24, 25 werden von der Vorpumpe 6 unterstützt. Zwischen der Vorpumpe 5 und der Vorpumpe 6 ist wiederum der Leitungsstrang 8 vorgesehen, in dem die Blende 9 angeordnet ist.
- Zwischen den Vorpumpen 5, 6 ist ein Leitungsstrang 8 angeordnet, in dem eine Blende 9 angeordnet ist.
- In der Kammer 14 ist eine Vorrichtung zur Messung des aktuellen Vakuumdruckes vorgesehen.
- An der Pumpe 20 ist an einem dafür vorgesehenen Anschluss ebenfalls eine Vorrichtung zur Messung des aktuellen Vakuumdruckes angeordnet.
- In einem Leitungsstrang ist eine weitere Vorrichtung zur Messung des Gasdurchflusses vorgesehen.
- In dem Leitungsstrang 8 ist eine Vorrichtung zur Messung des Gasdurchflusses angeordnet.
-
- 1
- Kammer
- 2
- Kammer
- 3
- Turbomolekularpumpe
- 4
- Turbomolekularpumpe
- 5
- Vorpumpe
- 6
- Vorpumpe
- 7
- Gaseinlass
- 8
- Leitungsstrang
- 9
- Blende
- 10
- Kammer
- 11
- SplitFlow-Pumpe
- 12
- Einlass
- 13
- Einlass
- 14
- Kammer
- 15
- Kammer
- 16
- Gaseinlass
- 17
- Gaseinlass
- 18
- Gaseinlass
- 19
- SplitFlow-Pumpe
- 20
- Turbomolekularpumpe
- 21
- Vorpumpe
- 22
- Leitungsstrang
- 23
- Blende
- 24
- Turbomolekularpumpe
- 25
- Turbomolekularpumpe
- Q
- Gasfluss
Claims (9)
- Pumpensystem zur Evakuierung von Gas aus einer Mehrzahl von Kammern (1, 2, 10, 13, 14, 15) mit wenigstens vier Vakuumpumpen (3, 4, 5, 6, 20, 21, 24, 25), wobei wenigstens zwei Vorpumpen (5, 6, 21) und wenigstens zwei Turbomolekularpumpen (3, 4, 20, 24, 25) vorgesehen sind, wobei die Kammern miteinander verbunden sind und einen unterschiedlichen Vakuumdruck haben, wobei einer ersten Kammer eine erste Turbomolekularpumpe zugeordnet ist und einer zweiten Kammer eine zweite Turbomolekularpumpe zugeordnet ist, wobei die erste Turbomolekularpumpe von einer ersten Vorpumpe unterstützt wird und die zweite Turbomolekularpumpe von einer zweiten Vorpumpe unterstützt wird, wobei in wenigstens einer Verbindungsleitung (8) zwischen den wenigstens zwei Vorpumpen (5, 6, 21) wenigstens eine Querschnittsverengung (9) zur Verminderung und/oder Regelung eines Gasstromes vorgesehen ist,
und wobei an wenigstens einer Stelle in der wenigstens einen Kammer (1, 2, 10, 13, 14, 15) und/oder in dem wenigstens einen Leitungsstrang (8) und/oder an dafür vorgesehenen Anschlüssen der Pumpen (3, 4, 20, 24, 25) eine Vorrichtung zur Messung des aktuellen Vakuumdruckes oder des Gasdurchflusses vorgesehen ist,
dadurch gekennzeichnet, dass sämtliche Turbomolekularpumpen (3, 4, 20, 24, 25) baugleich ausgebildet sind. - Pumpensystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Querschnittsverengung (9) als eine verstellbare Querschnittsverengung (9) ausgebildet ist.
- Pumpensystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Querschnittsverengung (9) eine Blende, ein Drosselventil oder ein Gasflussregler vorgesehen ist.
- Pumpensystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Querschnittsverengung (9) ein geregeltes oder geschaltetes Ventil vorgesehen ist.
- Pumpensystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Querschnittsverengungen (9) in Reihe und/oder parallel geschaltet angeordnet sind.
- Pumpensystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine übergeordnete Prozesssteuerung zur Regelung der wenigstens einen Querschnittsverengung (9) vorgesehen ist.
- Pumpensystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Pumpe (3, 4, 20, 24, 25) eine von ihrem Ausstoßdruck abhängige Pumpe vorgesehen ist.
- Pumpensystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine zusätliche Turbomolekularpumpe (11, 19) wenigstens zwei Pumpeinlässe aufweist.
- Verfahren zur Steuerung eines Pumpensystems mit den Merkmalen gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an wenigstens einer Stelle in der wenigstens einen Kammer (1, 2, 10, 13, 14, 15) und/oder in dem wenigstens einen Leitungsstrang (8) oder an dafür vorgesehenen Anschlüssen der Pumpen ein aktueller Vakuumdruck oder der Gasdurchfluss gemessen wird, und dass dieser wenigstens eine Messwert zur Regelung der Querschnittsverengung (9) verwendet wird.
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