EP1890835A1 - Laserbearbeitungsmaschine mit laserbearbeitungsdüsenjustierung zum ausrichten des laserstrahles mit der laserbearbeitungsdüsenbohrung - Google Patents

Laserbearbeitungsmaschine mit laserbearbeitungsdüsenjustierung zum ausrichten des laserstrahles mit der laserbearbeitungsdüsenbohrung

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EP1890835A1
EP1890835A1 EP06753958A EP06753958A EP1890835A1 EP 1890835 A1 EP1890835 A1 EP 1890835A1 EP 06753958 A EP06753958 A EP 06753958A EP 06753958 A EP06753958 A EP 06753958A EP 1890835 A1 EP1890835 A1 EP 1890835A1
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EP
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laser
laser processing
mirror
nozzle
laser beam
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Withdrawn
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EP06753958A
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Inventor
Jürgen-Michael Weick
Michael Häcker
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Original Assignee
Trumpf Werkzeugmaschinen SE and Co KG
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Publication date
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    • B23K26/702—Auxiliary equipment
    • B23K26/705—Beam measuring device

Definitions

  • the present invention relates to a laser processing machine
  • This object is achieved by a laser processing machine according to
  • the nozzle center by a
  • the measuring signals can be transmitted via the
  • Visible light detectors are used, which are used, which are used, which are visible light detectors.
  • Light source come a laser diode for beam generation, optics
  • a laser processing machine can be integrated.
  • the optics for beam guidance and focusing of a laser beam can be any optics for beam guidance and focusing of a laser beam.
  • FIG. 1 shows a laser cutting machine
  • Figure 2 shows a part of the laser beam guide and a reflection
  • Figure 3 shows a variant of the reflection in conjunction with a
  • FIG. 4 shows the focused laser cutting beam within the
  • Figure 5 shows the illumination of the cutting nozzle bore using the
  • FIG. 6 is a plan view of a quadrantector.
  • FIG. 1 shows the structure of a laser processing machine 1
  • Laser processing head 3 and a workpiece support 4 can be seen.
  • a generated laser beam 5 is using deflecting mirrors for
  • the laser beam Before a continuous kerf arises, the laser beam must be 5
  • cutting gases 7 can oxygen, Nitrogen, compressed air and / or application-specific gases used
  • Particles and gases can be generated by means of a
  • Suction device 8 are sucked out of a suction chamber 9.
  • Laser beam 14 of the laser diode 11 is widened so that it on the
  • the laser diode 11 is fully illuminated.
  • the laser beam 14 touches the edge of the
  • Nozzle bore 10 One directly under the laser cutting nozzle 10 '
  • arranged screen 18 shows a red spot with a
  • Diameter D whose boundary exactly the nozzle bore 10th
  • Nozzle center can be determined and for automatic adjustment
  • Figure 3 shows the combination of the invention with a
  • Mirror 13 ' has a hole through which the machining laser beam
  • the additional beam source is via a
  • the laser cutting machine can work with the optical
  • the process light measuring device is.
  • Such measuring devices may be of conventional design. Such measuring devices
  • PCS is an optical one
  • the laser power beam is created at the puncture position is directed by the scraper mirror 13 'on a photodiode 19, the
  • Electronics 20 in the measuring head measures this current and transmits it
  • Nozzle hole 10 are worked.
  • the sensor is then a CO 2 -
  • the quadrant detector could be used as follows:
  • the laser beam 5 is defocused so far that it the nozzle bore
  • the nozzle center is the
  • the machine axis is the small imaged beam on the
  • Nozzle hole 10 fills. Now the nozzle 10 'will be in the two

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Description

B E S C H R E I B U N G
LASERBEARBEITUNGSMASCHINE MIT LASERBEARBEITUNGSDÜSENJUSTIERUNG ZUM AUSRICHTEN DES LASERSTRAHLES MIT DER LASERBEARBEITUNGSDÜSENBOHRUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laserbearbeitungsmaschine
mit einer Optik zur Strahlführung und Fokussierung eines
Laserbearbeitungsstrahls.
Derartige Laserbearbeitungsmaschinen sind allgemein bekannt.
Für eine optimale Materialbearbeitung ist es erforderlich, den
Laserstrahl innerhalb der Laserbearbeitungsdüse möglichst zentrisch
anzuordnen. Diese Laserbearbeitungsdüsenjustierung wird bisher
manuell durchgeführt.
Der Anmelder hat sich die Aufgabe gestellt, die möglichst zentrische
Anordnung des Laserbearbeitungsstrahls innerhalb der Düsenbohrung
einer Laserbearbeitungsdüse des Laserschneidkopfs automatisieren
zu können. Diese Aufgabe wird durch eine Laserbearbeitungsmaschine gemäß
Patentanspruch 1 gelöst.
Durch die Erfindung kann die Düsenmitte durch eine
Referenzmessung bestimmt werden, wobei je ein Bild der
ausgeleuchteten Düse und eines fokussierten Strahles aufgenommen
und ausgewertet wird. Die Messsignale können über die
Maschinensteuerung für die automatische Laserdüsenzentrierung
verwendet werden.
Es ist eine separate Lichtquelle zur Ausleuchtung der Düsenbohrung
vorgesehen Dies hat den Vorteil, dass der zur Laserbearbeitung
ausgebildete Laserstrahl nicht verstellt werden muss. Ein weiterer
wesentlicher Vorteil bei der Verwendung einer separaten Lichtquelle
liegt darin, dass man sichtbares Licht verwendet kann. Daher können
Detektoren für sichtbares Licht eingesetzt werden, welche
standardmäßig und kostengünstig hergestellt werden können. Die
Verwendung der vorhandenen Optik zur Einkopplung Lichtstrahls der Lichtquelle hat den Vorteil, dass keine zusätzliche Optik für
Einkopplung benötigt wird.
In technischer Umsetzung der Arbeitsweise mit einer separaten
Lichtquelle kommen eine Laserdiode zur Strahlerzeugung, eine Optik
zur Strahlaufweitung, ein Umlenkspiegel und ein Spiegel zur
Einspiegelung des Lichtstrahls kollinear zum Laserbearbeitungsstrahl
in Betracht.
Wenn der Umlenkspiegel und der Spiegel Teil einer
Prozesslichtmesseinrichtung sind, kann die Erfindung mit einer an sich
bekannten Prozesslichtmesseinrichtung kombiniert und vorteilhaft in
eine Laserbearbeitungsmaschine integriert werden.
Zur Auswertung ist eine Bilderfassungs- und Bildauswerteeinrichtung
vorteilhaft.
Die Optik zur Strahlführung und Fokussierung eines Laserstrahls kann
einen adaptiven Spiegel umfassen, der zur Einstellung der
Ausleuchtung eingesetzt werden kann. Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der
schematischen Zeichnung erläutert. Es zeigt:
Figur 1 eine Laserschneidmaschine;
Figur 2 einen Teil der Laserstrahlführung und eine Einspiegelung
eines weiteren Laserstrahls zur Ausleuchtung der
Schneiddüsenbohrung;
Figur 3 eine Variante der Einspiegelung in Verbindung mit einer
Prozesslichtmessung;
Figur 4 den fokussierten Laserschneidstrahl innerhalb der
Schneiddüse;
Figur 5 die Ausleuchtung der Schneiddüsenbohrung mithilfe des
weiteren Laserstrahls;
Figur 6 eine Draufsicht eines Quadrantensektors. Aus der Figur 1 ist der Aufbau einer Laserbearbeitungsmaschine 1
zum Laserschneiden mit einem CXVLaser 2, einem
Laserbearbeitungskopf 3 und einer Werkstückauflage 4 ersichtlich.
Ein erzeugter Laserstrahl 5 wird mithilfe von Umlenkspiegeln zum
Laserbearbeitungskopf 3 geführt und mithilfe von Spiegeln auf ein
Werkstück 6 gerichtet. In die Strahlführung des Laserstrahls 5 kann
die erfindungsgemäße Vorrichtung an beliebiger Stelle eingebaut
werden.
Bevor eine durchgängige Schnittfuge entsteht, muss der Laserstrahl 5
das Werkstück 6 durchdringen. Das Blech 6 muss an einer Stelle
punktförmig geschmolzen oder oxidiert werden, und die Schmelze
muss ausgeblasen werden.
Beim langsamen Einstechen mit einer Rampe kann die Laserleistung
allmählich erhöht, reduziert und über einen bestimmten Zeitraum
konstant gehalten werden, bis das Einstechloch erzeugt ist. Sowohl
das Einstechen als auch das Laserschneiden werden durch Hinzufügen
eines Gases unterstützt. Als Schneidgase 7 können Sauerstoff, Stickstoff, Druckluft und/oder anwendungsspezifische Gase eingesetzt
werden. Welches Gas letztendlich verwendet wird, ist davon
abhängig, welche Materialien geschnitten und welche
Qualitätsansprüche an das Werkstück gestellt werden.
Dort, wo der Laserstrahl 5 auf das Blech 6 auftrifft, wird das Material
geschmolzen und zum größten Teil oxidiert. Die entstandene
Schmelze wird zusammen mit den Eisenoxiden ausgeblasen.
Entstehende Partikel und Gase können mithilfe einer
Absaugeinrichtung 8 aus einer Absaugkammer 9 abgesaugt werden.
Gemäß Figur 2 umfasst die Einrichtung zur Ausleuchtung einer
Schneiddüsenbohrung IO einer Schneiddüse 10' des Schneidkopfs 3
im Wesentlichen eine Laserdiode 11, einen unter einem Winkel von
45° angeordneten Umlenkspiegel 12 und einen Spiegel 13, der es
erlaubt, einen sichtbaren Laserstrahl 14 kollinerar zum
Laserschneidstrahl 5 des CO2-Lasers einzuspiegeln. Dazu wird der
Laserstrahl 14 der Laserdiode 11 so aufgeweitet, dass er auf den
Rand des Spiegels 13 trifft. Die Brennweite einer Aufweitlinse 15 und
ihr Abstand zu dem Spiegel 13 sind so gewählt, dass eine Fokussieroptik 16 (Linse oder Spiegel) mithilfe des Laserstrahls 14
der Laserdiode 11 voll ausgeleuchtet wird.
Mittels eines adaptiven Spiegels 17 wird die Fokuslage von Linse oder
Fokussierspiegel 16 nun so weit verstellt, dass die Düsenbohrung 10
voll ausgeleuchtet wird. Der Laserstrahl 14 streift dabei den Rand der
Düsenbohrung 10. Eine direkt unter der Laserschneiddüse 10'
angeordnete Mattscheibe 18 zeigt einen roten Fleck mit einem
Durchmesser D, dessen Berandung exakt der Düsenbohrung 10
entspricht. Mittels Kamera und Bildauswertung kann nun in einem
ersten Verfahrensschritt genau die Düsenmitte der Düsenbohrung 10
bestimmt und ausgewertet werden (siehe Figur 4). Die Fokuslage
wird in einem zweiten Verfahrensschritt genau in die Ebene der
Düsenunterkante gelegt. Der dem Fokus entsprechende Fleck besitzt
einen Durchmesser D' von ca. 0,1 mm. Dessen Mitte wird wieder
bestimmt (siehe Figur 5). Die Abweichung von Strahlmitte zu
Düsenmitte kann bestimmt und zur automatischen Justierung
verwendet werden. Figur 3 zeigt die Kombination der Erfindung mit einer
Prozesslichtmesseinrichtung. Der wichtigste Punkt ist, dass der
Spiegel 13' ein Loch aufweist, durch das der Bearbeitungslaserstrahl
5 durchtritt. Die zusätzliche Strahlquelle wird über einen
teildurchlässigen Spiegel 12' und den sog. Scraper-Spiegel 13' in die
Strahlführung eingekoppelt. Als Spiegel 13' ist mit dem PCS Scraper
ein geeigneter Spiegel in der Laserschneidmaschine bereits
vorhanden, der zu diesem Zweck zusätzlich verwendet werden kann.
Die Laserschneidmaschine kann mit der optischen
Prozesslichtmesseinrichtung versehen sein, wobei der Spiegel 13' Teil
der Prozesslichtmesseinrichtung ist. Die Prozesslichtmesseinrichtung
kann herkömmlicher Bauart sein. Derartige Messeinrichtungen
werden beispielsweise von der Firma TRUMPF, Ditzingen, Deutschland
unter der Bezeichnung "PCS" vertrieben. PCS ist ein optisches
System, welches das Prozesslicht während des Einstichs misst.
Entsprechend der angewählten Funktion im DIAS-PCS-PC kann mit
Hilfe dieser Messwerte der Einstechvorgang gesteuert (sanftes
Einstechen) und / oder das Einstech-Ende erkannt werden (sanftes
und volles Einstechen). Rückreflektiertes Prozesslicht 5', das aufgrund
des Laser-Leistungsstrahls an der Einstechposition entsteht, wird mithilfe des Scraperspiegels 13' auf eine Photodiode 19 gelenkt, die
dessen Intensität in einen entsprechenden Strom umwandelt. Die
Elektronik 20 im Messkopf misst diesen Strom und überträgt diese
Messwerte digital an die Auswerte-Elektronik, die diese Daten
entsprechend weiter verarbeitet.
In ähnlicher Weise kann an Stelle des Laserstrahls 14 auch mit einem
abgeschwächten Laserbearbeitungsstrahl 5 zur Ausleuchtung der
Düsenbohrung 10 gearbeitet werden. Als Sensor ist dann eine CO2-
Laserlicht empfindliche Kamera oder zumindest ein CO2-Laserlicht
empfindlicher Quadrantendetektor notwendig.
Der Quadrantendetektor könnte folgendermaßen verwendet werden :
1. Variante
Der Laserstrahl 5 wird soweit defokussiert, dass er die Düsenbohrung
10 des ortsfest angeordneten Schneidkopfs 3 ausfüllt. Der Laserstrahl
wird mit Hilfe der optischen Elemente der Strahlführung soweit
verschoben, dass das Signal z.B. im -X-Quadranten verschwindet. Dieser Wert wird gespeichert. Dann wird der Wert in +X-Richtung
durch Verfahren mit der X-Achse ermittelt. Die Düsenmitte ist der
Mittelwert der beiden gewonnenen Werte. Analog wird in der Y-
Richtung verfahren. Nun wird der Fokuspunkt mithilfe des Spiegels 17
auf den Quadrantendetektor 18 abgebildet. Die Verstelleinrichtung im
Schneidkopf wird jetzt so verstellt, bis alle 4 Quadranten denselben
Messwert anzeigen (siehe Figur 6). Der Laserstrahl 5 ist zentriert.
2. Variante
Bei ortsfest angeordnetem Fokussierspiegel wird die Düse bewegt. Mit
den Maschinenachsen wird der klein abgebildete Strahl so auf dem
Detektor verfahren, dass alle 4 Quadranten des Quadrantendetektors
18 denselben Messwert anzeigen. Nun wird der Laserstrahl mittels
Defokussierung durch den Spiegel 17 so vergrößert, dass er die
Düsenbohrung 10 ausfüllt. Jetzt wird die Düse 10' so in den beiden
Achsen verstellt, bis alle 4 Quadranten denselben Messwert zeigen.

Claims

PAT E N TA N S P RÜ C H E
1. Laserbearbeitungsmaschine (1) mit einer Optik zur
Strahlführung und Fokussierung eines Laserstrahls (5) mit
einer Einrichtung zur Ausleuchtung der Düsenbohrung (10)
einer Laserbearbeitungsdüse (10') des Laserbearbeitungskopfs
(3), mit einer Einrichtung zur Bestimmung der Mitte der
Düsenbohrung (10) mithilfe der Ausleuchtung und mit einer
Einrichtung zur Bestimmung des Abstandes des
Laserstrahlfokus zur Düsenmitte, dadurch gekennzeichnet,
dass eine separate Lichtquelle (11) zur Ausleuchtung der
Düsenbohrung (10) und ein optisches Element der
Strahlführung des Laserstrahls (5) zur Einkoppelung des
Lichtstrahls (14) vorgesehen sind.
2. Laserbearbeitungsmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass eine Laserdiode (11) zur
Strahlerzeugung, eine Optik (15) zur Strahlaufweitung, ein
Umlenkspiegel (12, 12') und ein Spiegel (13, 13') zur Einspiegelung des Lichtstrahls (14) kollinear zum
Laserbearbeitungsstrahl (5) vorgesehen sind.
3. Laserbearbeitungsmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass der Umlenkspiegel (12') und der Spiegel
(13') Teil einer Prozesslichtmesseinrichtung sind.
4. Laserbearbeitungsmaschine nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine
Bilderfassungs- und Bildauswerteeinrichtung vorgesehen ist.
5. Laserbearbeitungsmaschine nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Optik zur
Strahlführung und Fokussierung eines Laserstrahls einen
adaptiven Spiegel (17) umfasst.
EP06753958A 2005-05-31 2006-05-30 Laserbearbeitungsmaschine mit laserbearbeitungsdüsenjustierung zum ausrichten des laserstrahles mit der laserbearbeitungsdüsenbohrung Withdrawn EP1890835A1 (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005334926A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Yamazaki Mazak Corp レーザ加工機におけるレーザ加工工具のノズルプリセッタ
DE102007013623A1 (de) 2007-03-21 2008-10-02 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten eines Laserstrahls
ATE531083T1 (de) * 2008-06-25 2011-11-15 Atec Holding Ag Vorrichtung zur strukturierung eines solarmoduls
RS52165B (en) * 2009-08-26 2012-08-31 Indaffil Holding Ag PROCEDURE FOR THE DESIGN OF A SURFACE STRUCTURE OF A METAL PRESSURE PLATE, ENDLESS BAND OR ENGRAVING ROLLER
CN102248309B (zh) * 2010-05-17 2014-04-02 苏州天弘激光股份有限公司 Ccd装置辅助定位的晶圆激光划片方法
EP2409808A1 (de) * 2010-07-22 2012-01-25 Bystronic Laser AG Laserbearbeitungsmaschine
US9289852B2 (en) 2011-01-27 2016-03-22 Bystronic Laser Ag Laser processing machine, laser cutting machine, and method for adjusting a focused laser beam
EP2667998B1 (de) 2011-01-27 2020-11-18 Bystronic Laser AG Laserbearbeitungsmaschine sowie verfahren zum zentrieren eines fokussierten laserstrahles
DE102011003717A1 (de) 2011-02-07 2012-08-09 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung und insbesondere zur Regelung eines Laserschneidprozesses
EP2883647B1 (de) 2013-12-12 2019-05-29 Bystronic Laser AG Verfahren zur Konfiguration einer Laserbearbeitungsvorrichtung
CN103769753B (zh) * 2014-02-10 2016-08-31 苏州领创激光科技有限公司 防爆穿孔***
USD762748S1 (en) * 2014-05-14 2016-08-02 Trumpf Gmbh + Co. Kg Housing of a laser processing machine
EP2957378A1 (de) * 2014-06-16 2015-12-23 Synova SA Bearbeitungskopf zum Einkopplen eines Laserstrahles in einem Flüssigkeitsstrahl mit einer Flüssigkeitschnittstelle
US20160269715A1 (en) * 2015-03-13 2016-09-15 Sensors Unlimited, Inc. Parallax correction of imaging system
USD866621S1 (en) 2016-06-08 2019-11-12 Trumpf Gmbh + Co. Kg Laser cutting machine
USD870166S1 (en) * 2016-08-31 2019-12-17 Trumpf Gmbh + Co. Kg Laser processing machine
US10814668B2 (en) * 2016-11-08 2020-10-27 Jeffery James Jackson Kiosk and method for making puzzle tags
DE102017213511A1 (de) 2017-08-03 2019-02-07 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Lasermaterialbearbeitung und Lasermaschine
EP3533557B1 (de) * 2018-03-01 2021-05-26 Synova S.A. Vorrichtung zur bearbeitung eines werkstückes unter verwendung eines laserstrahles und eines flüssigkeitstrahl mit automatischen laser-düsen-ausrichtung ; verfahren zur ausrichten eines solchen strahl
DE102019120398B3 (de) 2018-08-17 2020-01-30 Precitec Gmbh & Co. Kg Laserbearbeitungssystem und Verfahren für eine zentrische Ausrichtung eines Laserstrahls in einem Bearbeitungskopf eines Laserbearbeitungssystems
DE102019114477A1 (de) * 2019-05-29 2020-12-03 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Automatische Materialerkennung mit Laser
JP6968126B2 (ja) * 2019-06-26 2021-11-17 株式会社アマダ レーザ加工機の設定方法及びレーザ加工機
DE102020100217B4 (de) * 2020-01-08 2024-08-01 Precitec Gmbh & Co. Kg Verfahren zur automatisierten Strahlpositionierung eines Laserstrahls bezüglich einer Düse eines Laserbearbeitungskopfes und Laserbearbeitungssystem zum Bearbeiten eines Werkstücks mit einem Laserstrahl
CN112975162B (zh) * 2021-04-21 2021-08-24 武汉华工激光工程有限责任公司 一种基于自适应光学的毛玻璃切割装置及方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5933092A (ja) * 1982-08-17 1984-02-22 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ用導光路
FR2541468B1 (fr) * 1983-02-17 1986-07-11 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'alignement d'un faisceau laser par l'intermediaire de moyens optiques de visee, procede de reperage de l'axe d'emission du faisceau laser et procede de mise en oeuvre du dispositif, pour controler l'alignement
US5023886A (en) * 1988-12-01 1991-06-11 Coherent, Inc. High power laser with focusing mirror sets
JP2720744B2 (ja) * 1992-12-28 1998-03-04 三菱電機株式会社 レーザ加工機
JP2728358B2 (ja) * 1993-11-19 1998-03-18 株式会社新潟鉄工所 レーザ加工機のノズルのセンタリング方法及び装置
JP3761657B2 (ja) * 1997-03-10 2006-03-29 株式会社アマダ レーザ加工方法および装置
SE524066C2 (sv) * 2002-01-21 2004-06-22 Permanova Lasersystem Ab Anordning för centrering av laserstrålen i ett laserbearbetningssystem
JP2003225787A (ja) * 2002-01-30 2003-08-12 Amada Eng Center Co Ltd レーザ加工機のノズルの芯出し方法および装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2006128663A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
EP1728581B1 (de) 2009-10-21
US20090001063A1 (en) 2009-01-01
CN201128048Y (zh) 2008-10-08
EP1728581A1 (de) 2006-12-06
WO2006128663A1 (de) 2006-12-07
DE502005008372D1 (de) 2009-12-03
ATE446159T1 (de) 2009-11-15

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