EP1850011B1 - Rotor- oder Statorscheibe für eine Molekularpumpe - Google Patents

Rotor- oder Statorscheibe für eine Molekularpumpe Download PDF

Info

Publication number
EP1850011B1
EP1850011B1 EP07008041A EP07008041A EP1850011B1 EP 1850011 B1 EP1850011 B1 EP 1850011B1 EP 07008041 A EP07008041 A EP 07008041A EP 07008041 A EP07008041 A EP 07008041A EP 1850011 B1 EP1850011 B1 EP 1850011B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
disc
rotor
blades
blade
discs
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Not-in-force
Application number
EP07008041A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1850011A2 (de
EP1850011A3 (de
Inventor
Andreas Zipp
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
Publication of EP1850011A2 publication Critical patent/EP1850011A2/de
Publication of EP1850011A3 publication Critical patent/EP1850011A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1850011B1 publication Critical patent/EP1850011B1/de
Not-in-force legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
    • F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
    • F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
    • F04D29/324—Blades
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/542—Bladed diffusers

Definitions

  • the invention relates to a rotor or stator disk for a molecular pump.
  • a common design consists of sheet metal, which is punched during manufacture so that a round disc with radial slots is formed.
  • the radial slots are provided only over an outer part. The part between the slots is bent over, ie exposed out of the window plane, so that blades are formed. This solution is for example in the DE-OS 100 52 637 shown.
  • Both solutions have the great disadvantage that the sheets must be quite thin. As a result, the discs can not be exposed to rapid rotations because the material load on the blade ground would be too high.
  • the second solution has the disadvantage that the sheets must be mutually oriented and fixed. A creation of dead spaces between the sheets can not be excluded, so that the solution in the high vacuum range can not be applied.
  • the blades have large areas with surface normal in the direction of the shaft axis, so that the pumping speed of such a pump is poor.
  • the DE-A-10052637 which is considered to be the closest prior art, discloses a disc rotor disc for a turbomolecular pump.
  • the part discs are formed as sheet metal body.
  • the US-B-6318964 relates to a fan made of a molded plastic. To make the fan visually dense, she proposes to assemble the fan from partial wheels.
  • the object of the invention is therefore to produce a disk for rotor and / or stator of a molecular vacuum pump, which avoids the above-mentioned disadvantages of the prior art and in particular allows more freedom in the choice of the blade geometry.
  • a disk which is constructed from at least a first and a second partial disk, wherein trapezoidal cross-section blades are arranged in an arrangement plane on each partial disk and the arrangement planes are axially spaced, makes it possible to adapt the geometry of the disk much better to the needs.
  • the geometry can be designed in a simple way according to the vacuum technical requirements. In the state of Technique, geometry was a limiting framework. With the disc according to the invention it is therefore possible to significantly improve the pumping action.
  • the development according to claim 4 provides smooth, stepless blade surfaces, resulting from the surfaces of the blades of the dividing discs.
  • the steplessity improves the pumping action and prevents perpendicular to the pumping direction surfaces, from which molecules can be reflected against the pumping direction.
  • the pumping effect can be further improved by the angles of attack of the blades of different part discs are different. Backflow can be reduced.
  • a further improvement results in that at least one dividing disk is optically dense. This reduces backflow since molecules can not pass directly through the disk in the pumping direction.
  • An arrangement of a spacer between the part discs improves the pumping action, as forms in the region of the spacer a calming zone in which molecules can interact with each other and thus takes place a Impulsan protest.
  • the first figure shows a disk 1 according to a first embodiment.
  • two part discs 2 and 3 are arranged on a shaft 7, two part discs 2 and 3 are arranged. Each of these dividing discs has blades 4. For the perspective view shown only a portion of the blades per part of disc was shown. The blades are distributed over the entire circumference of the part discs, so that there is a rotationally symmetrical structure.
  • Both partial discs have a support ring. 9 on which the blades are mounted in an assembly plane. the arrangement levels of both partial discs are axially spaced from each other. Blades and support ring may be integrally formed. The area of the blades, which lies radially inward, ie at the transition to the support ring, is called the blade root.
  • the radially outer region is referred to as a blade head.
  • the outermost region of the blade head with its radially outer surface is referred to as the blade tip 5.
  • the blade tips of the partial disks 2 and 3 lie on a common, imaginary line 6.
  • the blades have a trapezoidal cross section.
  • the advantage of such a geometry lies in the simple and inexpensive production, for example by sawing.
  • the preparation of the disc can be simplified by pins 8 are provided which protrude from the support ring of a dividing disc and immerse in matching, not shown holes of the next part of the disc. This ensures that the part discs are rotated at the correct angle to each other.
  • the second figure shows a composite of two part discs 2 and 3 disc.
  • only one blade 4, 4 ' is shown per partial disk.
  • Figure 2a the outline is shown.
  • pins 8 are arranged, which allow an orientation of the part discs against each other.
  • the blades 4. These blades have blade edges 25 and 26 which extend in the radial direction. Due to the radial design of the edges results in a total blade surface, which is almost continuous, ie, the two blades 4 and 4 'form a blade with a continuous surface.
  • the radial configuration of the edges 25 and 26 can be achieved by using the blades. This requires different angles of attack of the blades on the blade head and blade ground.
  • Figure 2b is a section through the blades 4, 4 'shown on the blade bottom along the line AA.
  • the blade 4 is arranged on the support ring of the dividing disk 2, the blade 4 'on the support ring of the indexing disk 3.
  • Dash-dotted lines are the arrangement levels of the blades 10 and 11.
  • the blades are inclined with an angle of attack ⁇ against these arrangement levels.
  • Figure 2c shows the section BB in the area of the blade head.
  • the angle of attack is ⁇ , where ⁇ > ⁇ . If the blades are designed with a trapezoidal cross-section, the blade edges of the blades of the various partial disks are surfaces that are in contact with each other.
  • the Figure 3 shows a development of a third embodiment.
  • the disc is constructed here of the four part discs 2, 3, 20 and 21.
  • the blades are arranged in array planes 10, 11, 12, and 13 with the planes of the four discs being axially spaced apart.
  • the angles of attack on the blade base and the blade head are the same within a dividing disk, but the blades of the various dividing disks have a different angle of attack.
  • Such a shape is made possible only by the structure of the disc of part discs. This disc has an improved pumping action.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
  • Transition And Organic Metals Composition Catalysts For Addition Polymerization (AREA)
  • Iron Core Of Rotating Electric Machines (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Rotor- oder Statorscheibe für eine Molekularpumpe.
  • Mehrere erfolgreiche Typen von Molekularpumpen basieren auf Scheiben, bei denen Schaufeln an einem Tragring angebracht sind, welcher auf einer schnelldrehenden Welle sitzt. Beispielhaft hierfür sind die sogenannten Turbomolekularpumpen, in denen sich Rotor- und Statorscheiben abwechseln. Die Geometrie der Schaufeln hat einen großen Einfluss auf die Leistungsdaten und Lebensdauer der Pumpe.
  • Verschiedene Arten von Rotor- oder Statorscheiben sind im Stand der Technik bekannt. Eine gängige Bauart besteht aus Blech, welches bei der Herstellung so gestanzt wird, dass eine runde Scheibe mit radialen Schlitzen entsteht. Die radialen Schlitze sind nur über einen äußeren Teil vorgesehen. Der zwischen den Schlitzen befindliche Teil wird umgebogen, d.h. aus der Scheibenebene herausgestellt, so dass Schaufeln entstehen. Diese Lösung ist beispielsweise in der DE-OS 100 52 637 gezeigt.
  • Eine angedachte, aber nicht gängig gewordene Bauform nach der DE-AS 1 071 275 nutzt eine Vielzahl von dünnen Blechen, die kreisförmig sind und am äußeren Rand Zähne aufweist. Diese Bleche werden gegeneinander versetzt gestapelt, so dass die Einhüllende eine schaufelartige Form erhält.
  • Beide Lösungen weisen den großen Nachteil auf, dass die Bleche recht dünn sein müssen. Dadurch können die Scheiben keinen schnellen Drehungen ausgesetzt werden, da die Materialbelastung am Schaufelgrund zu hoch würde. Zudem weist die zweite Lösung den Nachteil auf, dass die Bleche gegeneinander orientiert und fixiert werden müssen. Ein Entstehen von Toträumen zwischen den Blechen ist nicht auszuschließen, so dass die Lösung im Hochvakuumbereich nicht angewendet werden kann. Außerdem besitzen die Schaufeln große Flächen mit Flächennormale in Richtung Wellenachse, so dass das Saugvermögen einer solchen Pumpe schlecht ist.
  • Eine weitere gängige Lösung ist, die Scheiben aus Vollmaterial durch Einsägen von zur Scheibenebene schräg gestellten Kanälen herzustellen. Die herstellbaren Geometrien sind durch dieses Werkzeug eingeschränkt. Beispielsweise ist es schwierig, am Schaufelgrund einen steileren Anstellwinkel zu erzeugen, weil dann die Säge mit dem Außenteil der Schaufel in Berührung kommt.
  • Die DE-A-10052637 , die als nächstliegender Stand der Technik angesehen wird, offenbart eine aus Teilscheiben zusammengesetzte Rotorscheibe für eine Turbomolekularpumpe. Zwecks einer einfachen Herstellbarkeit sind die Teilscheiben als Blechkörper ausgebildet.
  • Die US-B-6318964 betrifft ein Lüfterrad aus einem gegossenen Kunststoff. Um das Lüfterrad optisch dicht gestalten zu können, schlägt sie vor, das Lüfterrad aus Teilrädern zusammenzusetzen.
  • Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Scheibe für Rotor und/oder Stator einer Molekularvakuumpumpe herzustellen, die die oben genannten Nachteile des Standes der Technik vermeidet und insbesondere mehr Freiheiten bei der Wahl der Schaufelgeometrie erlaubt.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Rotor- oder Statorscheibe mit den Merkmalen des ersten Anspruches.
  • Eine Scheibe, die aus mindestens einer ersten und einer zweiten Teilscheibe aufgebaut ist, wobei auf jeder Teilscheibe Schaufeln mit trapezoidem Querschnitt in einer Anordnungsebene angeordnet sind und die Anordnungsebenen axial beabstandet sind, erlaubt es, die Geometrie der Scheibe viel besser den Notwendigkeiten anzupassen. Die Geometrie kann erstmals auf einfache Weise nach den vakuumtechnischen Anforderungen gestaltet werden. Im Stand der Technik war die Geometrie eine begrenzende Rahmenbedingung. Mit der erfindungsgemäßen Scheibe ist es daher möglich, die Pumpwirkung deutlich zu verbessern.
  • Die Ansprüche 2 bis 10 stellen vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung dar.
  • Die Weiterbildung nach Anspruch 2, nach der die Schaufelspitzen wenigstens eines Teils der Schaufeln der ersten und der zweiten Teilscheibe auf einer gemeinsamen Linie liegen, vermeidet Stufen und Lücken im Bereich des Schaufelkopfes. Dies verbessert die Pumpwirkung.
  • Die Weiterbildung nach Anspruch 3, bei der wenigstens eine Teilscheibe unterschiedliche Anstellwinkel an Schaufelgrund und Schaufelkopf aufweist, erlaubt es, verwendelte Scheiben herzustellen. Dies erhöht die Pumpwirkung.
  • Die Weiterbildung nach Anspruch 4 sorgt für glatte, stufenlose Schaufelflächen, die sich aus den Flächen der Schaufeln der Teilscheiben ergeben. Die Stufenlosigkeit verbessert die Pumpwirkung und verhindert senkrecht gegen die Pumprichtung stehende Flächen, von denen Moleküle gegen die Pumprichtung reflektiert werden können.
  • Die Pumpwirkung lässt sich weiter verbessern, indem die Anstellwinkel der Schaufeln von verschiedenen Teilscheiben unterschiedlich sind. Rückströmungen können so verringert werden.
  • Eine weitere Verbesserung ergibt sich, indem wenigstens eine Teilscheibe optisch dicht ist. Dies vermindert Rückströmungen, da Moleküle nicht direkt in Pumprichtung durch die Scheibe treten können.
  • Wird auf einer Teilscheibe ein ganzzahliges Vielfaches der Schaufelanzahl einer zweiten Teilscheibe angeordnet, werden die Rückströmungen in den Kanälen zwischen den Schaufeln reduziert. Dies erhöht die Kompression.
  • Die Weiterbildung nach Anspruch 8 erlaubt eine einfache Herstellung der Teilscheiben mit bereits bekannten Herstellungsverfahren.
  • Die Weiterbildung nach Anspruch 9 erlaubt es, die Scheibe zu verbessern, da die verschiedenen Teilscheiben unterschiedlichen Temperatur- und mechanischen Bedingungen unterliegen. Die Wahl von verschiedenen Materialien für die verschiedenen Teilscheiben erlaubt es, hierauf zu reagieren.
  • Eine Anordnung einer Distanzscheibe zwischen den Teilscheiben verbessert die Pumpwirkung, da sich im Bereich der Distanzscheibe eine Beruhigungszone ausbildet, in der Moleküle miteinander wechselwirken können und dadurch ein Impulsangleich stattfindet.
  • Mit Hilfe der Abbildungen soll die Erfindung an Ausführungsbeispielen näher erläutert und die Vorteile derselben vertieft werden. Die Abbildungen zeigen:
    • Fig. 1:
    Perspektivische Darstellung einer gestapelten Scheibe gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels.
    Fig. 2:
    a) Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Scheibe, b) Sicht auf die Scheibe in der Scheibenebene nach Schnitt A-A, c) Sich auf die Scheibe in der Scheibenebene nach Schnitt B-B.
    Fig. 3:
    Abwicklung eines dritten Ausführungsbeispiels einer gestapelten Scheibe.
  • Die erste Abbildung zeigt eine Scheibe 1 nach einem ersten Ausführungsbeispiel. Auf einer Welle 7 sind zwei Teilscheiben 2 und 3 angeordnet. Jede dieser Teilscheiben weist Schaufeln 4 auf. Für die gezeigte perspektivische Darstellung wurde jeweils nur ein Teil der Schaufeln je Teilscheibe gezeigt. Die Schaufeln sind auf den gesamten Umfang der Teilscheiben verteilt, so dass sich ein rotationssymetrisches Gebilde ergibt. Beide Teilscheiben weisen einen Tragring 9 auf, an dem die Schaufeln in einer Anordnungsebene befestigt sind. die Anordnungsebenen beider Teilscheiben sind axial voneinander beabstandet. Schaufeln und Tragring können einstückig ausgebildet sein. Den Bereich der Schaufeln, der radial innen liegt, also am Übergang zum Tragring, nennt man Schaufelgrund. Der radial außen liegende Bereich wird als Schaufelkopf bezeichnet. Den äußersten Bereich des Schaufelkopfes mit seiner radial außen liegenden Fläche bezeichnet man als Schaufelspitze 5. Nach dem Ausführungsbeispiel liegen die Schaufelspitzen der Teilscheiben 2 und 3 auf einer gemeinsamen, gedachten Linie 6. Die Schaufeln weisen einen trapezoiden Querschnitt auf. Der Vorteil einer solchen Geometrie liegt in der einfachen und kostengünstigen Herstellung, beispielsweise durch Sägen. Die Herstellung der Scheibe lässt sich vereinfachen, indem Stifte 8 vorgesehen werden, die aus dem Tragring der einen Teilscheibe hervor ragen und in passende, nicht gezeigte Löcher der nächsten Teilscheibe eintauchen. Hierdurch wird gewährleistet, dass die Teilscheiben im richtigen Winkel gegeneinander verdreht sind.
  • Die zweite Abbildung zeigt eine aus zwei Teilscheiben 2 und 3 zusammengesetzte Scheibe. Zur klareren Darstellung ist je Teilscheibe nur eine Schaufel 4, 4' gezeigt. In Abbildung 2a ist der Draufblick gezeigt. Auf einem Tragring 9 sind Stifte 8 angeordnet, die eine Orientierung der Teilscheiben gegeneinander erlauben. Vom Tragring erstrecken sich radial nach außen die Schaufeln 4. Diese Schaufeln weisen Schaufelkanten 25 und 26 auf, die sich in radialer Richtung erstrecken. Durch die radiale Gestaltung der Kanten ergibt sich eine Gesamtschaufelfläche, die nahezu stufenlos ist, d.h. die beiden Schaufeln 4 und 4' bilden eine Schaufel mit durchgehender Fläche. Die radiale Gestaltung der Kanten 25 und 26 kann durch eine Verwendelung der Schaufeln erzielt werden. Diese bedingt unterschiedliche Anstellwinkel der Schaufeln an Schaufelkopf und Schaufelgrund. In Abbildung 2b ist ein Schnitt durch die Schaufeln 4, 4' am Schaufelgrund entlang der Linie A-A gezeigt. Die Schaufel 4 ist am Tragring der Teilscheibe 2 angeordnet, die Schaufel 4' am Tragring der Teilscheibe 3. Strichpunktiert eingezeichnet sind die Anordnungsebenen der Schaufeln 10 und 11. Die Schaufeln sind mit einem Anstellwinkel α gegen diese Anordnungsebenen geneigt. Abbildung 2c zeigt den Schnitt B-B im Bereich des Schaufelkopfes. Hier ist der Anstellwinkel β, wobei α > β gilt. Werden die Schaufeln mit trapezoidem Querschnitt gestaltet, sind die Schaufelkanten der Schaufeln der verschiedenen Teilscheiben Flächen, die aufeinandersitzen. Durch die Fliehkräfte, die insbeondere bei der schnellen Drehung von Rotorscheiben entstehen, findet eine Entwendelung statt. Das bedeutet, dass der zunächst flachere Winkel am Schaufelkopf versucht, sich zum steileren Winkel am Schaufelgrund aufzuweiten. Durch das Berühren der Flächen der Schaufelkanten wird dies verhindert, so dass insgesamt eine zusätzliche Versteifung stattfindet.
  • Die Abbildung 3 zeigt eine Abwicklung eines dritten Ausführungsbeispiels. Die Scheibe ist hier aus den vier Teilscheiben 2, 3, 20 und 21 aufgebaut. Bei jeder Teilscheibe sind die Schaufeln in Anordnungsebenen 10, 11, 12 und 13 angeordnet, wobei die Ebenen der vier Scheiben axial voneinander beabstandet sind. Die Anstellwinkel an Schaufelgrund und Schaufelkopf sind innerhalb einer Teilscheibe gleich, allerdings besitzen die Schaufeln der verschiedenen Teilscheiben einen unterschiedlichen Anstellwinkel. Eine solche Form wird erst durch den Aufbau der Scheibe aus Teilscheiben ermöglicht. Diese Scheibe weist eine verbesserte Pumpwirkung auf.

Claims (10)

  1. Aus einer Mehrzahl von axial hintereinander angeordneten, mit Tragring und Schaufeln versehenen Teilscheiben zusammengesetzte Scheibe (1) für den Rotor oder Stator einer Molekularvakuumpumpe, dadurch gekennzeichnet, dass die Scheibe mindestens eine erste (2) und eine zweite (3) Teilscheibe in jeweils einer Anordnungsebene (10, 11) angeordnete Schaufeln (4, 4') mit trapezoidem Querschnitt und mit zur Teilscheibenebene geneigte Schaufelflächen aufweist und die Anordnungsebenen der Teilscheiben axial beabstandet sind.
  2. Rotor- oder Statorscheibe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Schaufelspitzen (5) wenigstens eines Teils der Schaufeln (4, 4') der ersten (2) und der zweiten (3) Teilscheibe auf einer gemeinsamen Linie (6) liegen.
  3. Rotor- oder Statorscheibe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaufeln (4, 4') wenigstens einer Teilscheibe (2, 3, 20, 21) unterschiedliche Anstellwinkel (α, β) an Schaufelgrund und Schaufelkopf aufweisen.
  4. Rotor- oder Statorscheibe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilscheiben (2, 3, 20, 21) so axial hintereinander angeordnet sind, dass die geneigten Schaufelflächen eine stufenlose Gesamtfläche ergeben.
  5. Rotor- oder Statorscheibe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Anstellwinkel der Schaufeln(4, 4') von verschiedenen Teilscheiben (2, 3, 20, 21) unterschiedlich sind.
  6. Rotor- oder Statorscheibe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Teilscheibe (2, 3, 20, 21) in axialer Richtung optisch dicht ist.
  7. Rotor- oder Statorschreibe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste Teilscheibe ein ganzzahliges Vielfaches der Schaufelanzahl einer zweiten Teilscheibe aufweist.
  8. Rotor- oder Statorschreibe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilscheiben (2, 3, 20, 21) aus Vollmaterial gefräst sind.
  9. Rotor- oder Statorschreibe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilscheiben (2, 3, 20, 21) aus verschiedenen Materialien bestehen.
  10. Rotor- oder Statorschreibe nach einem der Anspruch 1 oder Anspruch 3 oder einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen zwei Teilscheiben (2, 3, 20, 21) eine Distanzscheibe angeordnet ist.
EP07008041A 2006-04-29 2007-04-20 Rotor- oder Statorscheibe für eine Molekularpumpe Not-in-force EP1850011B1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006020081A DE102006020081A1 (de) 2006-04-29 2006-04-29 Rotor- oder Statorscheibe für eine Molekularpumpe

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP1850011A2 EP1850011A2 (de) 2007-10-31
EP1850011A3 EP1850011A3 (de) 2007-11-14
EP1850011B1 true EP1850011B1 (de) 2010-01-06

Family

ID=38268966

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP07008041A Not-in-force EP1850011B1 (de) 2006-04-29 2007-04-20 Rotor- oder Statorscheibe für eine Molekularpumpe

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP1850011B1 (de)
AT (1) ATE454556T1 (de)
DE (2) DE102006020081A1 (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007048703A1 (de) 2007-10-11 2009-04-16 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Mehrstufiger Turbomolekularpumpen-Pumpenrotor
EP3032106B1 (de) * 2014-12-08 2020-02-12 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
JP6706566B2 (ja) 2016-10-20 2020-06-10 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、および真空ポンプに備わるらせん状板、回転円筒体、ならびにらせん状板の製造方法
GB2583938A (en) * 2019-05-14 2020-11-18 Edwards Ltd Vacuum rotor blade

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2583826B1 (fr) * 1985-06-21 1989-07-13 Etri Sa Helice de ventilateur
US6318964B1 (en) * 2000-09-08 2001-11-20 Sheng Shyan Yang Complex cooling fan with increased cooling capacity
DE10052637B4 (de) * 2000-10-24 2021-03-11 Pfeiffer Vacuum Gmbh 16.02.2001 Scheiben für eine Turbomolekularpumpe
DE10103230A1 (de) * 2001-01-25 2002-08-01 Leybold Vakuum Gmbh Turbomolekularvakuumpumpe mit Rotor-und Statorschaufeln
US6572336B2 (en) * 2001-09-28 2003-06-03 Sunonwealth Electric Machine Industry Co., Ltd. Impeller structure
TW514353U (en) * 2002-03-28 2002-12-11 Delta Electronics Inc Composite heat-dissipating device
TWI227109B (en) * 2003-09-22 2005-01-21 Sheng-An Yang Heat dissipation blade

Also Published As

Publication number Publication date
DE102006020081A1 (de) 2007-10-31
EP1850011A2 (de) 2007-10-31
EP1850011A3 (de) 2007-11-14
DE502007002522D1 (de) 2010-02-25
ATE454556T1 (de) 2010-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69734028T3 (de) Vakuumpumpe
EP1934483B1 (de) Ventilatorrad
EP1731766B1 (de) Statorscheibe für Turbomolekularpumpe
DE102007043575A1 (de) Fluiddynamische Lagerstruktur und fluiddynamisches Lager
DE102007037924A1 (de) Strömungsarbeitsmaschine mit Ringkanalwandausnehmung
EP1850011B1 (de) Rotor- oder Statorscheibe für eine Molekularpumpe
DE2652642A1 (de) Axialventilator mit der aussenkontur eines ein paar quadratische begrenzungsflaechen aufweisenden quaders
EP2253851B1 (de) Vakuumpumpe
DE2544379C3 (de) Gebläserotor für ein Querstromgebläse
EP1498612B1 (de) Turbomolekularpumpe
DE1503704C3 (de) Schaufelkranz fuer ein lauf und oder leitrad einer turbomolekularpumpe
CH677009A5 (de)
EP1918588B1 (de) Statorscheibe für eine Turbomolekularpumpe
DE2416654C3 (de) Mahlscheibe für Scheibenmühlen
DE102008034422A1 (de) Rotor für einen elektronisch kommutierten Motor
EP1201928A2 (de) Scheiben für eine Turbomolekularpumpe
EP2458221B1 (de) Turbomolekularpumpe
EP2863063A2 (de) Vakuumpumpe
EP2549115A2 (de) Turbomolekularpumpe
EP3093496B1 (de) Rotor einer vakuumpumpe
DE2717366B2 (de) Laufrad für eine Turbomolekularpumpe
DE102016118373A1 (de) Bürstenloser Motor
DE602004000666T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Stators für eine Vakuumpumpe und nach diesem Verfahren hergestellten Stator
EP3051140B1 (de) Statorscheibe für eine vakuumpumpe
EP1541871B1 (de) Seitenkanalpumpstufe

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL BA HR MK YU

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL BA HR MK YU

17P Request for examination filed

Effective date: 20080208

17Q First examination report despatched

Effective date: 20080305

AKX Designation fees paid

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

REF Corresponds to:

Ref document number: 502007002522

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20100225

Kind code of ref document: P

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: VDEP

Effective date: 20100106

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

LTIE Lt: invalidation of european patent or patent extension

Effective date: 20100106

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100506

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100417

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100506

Ref country code: LT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FD4D

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

Ref country code: LV

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100407

BERE Be: lapsed

Owner name: PFEIFFER VACUUM G.M.B.H.

Effective date: 20100430

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100406

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100430

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

26N No opposition filed

Effective date: 20101007

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100430

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100420

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20110430

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20110430

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20120330

Year of fee payment: 6

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100420

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100707

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100106

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MM01

Ref document number: 454556

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20120420

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20120420

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20131231

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20130430

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20210224

Year of fee payment: 15

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20210326

Year of fee payment: 15

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20220420

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20220420

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20221026

Year of fee payment: 16

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 502007002522

Country of ref document: DE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20231103