EP1247875A2 - Process and apparatus for low pressure carbonitriding of steel parts - Google Patents

Process and apparatus for low pressure carbonitriding of steel parts Download PDF

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EP1247875A2
EP1247875A2 EP02006249A EP02006249A EP1247875A2 EP 1247875 A2 EP1247875 A2 EP 1247875A2 EP 02006249 A EP02006249 A EP 02006249A EP 02006249 A EP02006249 A EP 02006249A EP 1247875 A2 EP1247875 A2 EP 1247875A2
Authority
EP
European Patent Office
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pressure
nitrogen
mbar
gas
donor gas
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP02006249A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP1247875A3 (en
Inventor
Herwig Altena
Franz Schrank
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aichelin Industrieofenbau GmbH
Original Assignee
Aichelin Industrieofenbau GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by Aichelin Industrieofenbau GmbH filed Critical Aichelin Industrieofenbau GmbH
Publication of EP1247875A2 publication Critical patent/EP1247875A2/en
Publication of EP1247875A3 publication Critical patent/EP1247875A3/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/34—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases more than one element being applied in more than one step
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/74—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
    • C21D1/76—Adjusting the composition of the atmosphere

Definitions

  • the invention relates to a method for low-pressure carbonitriding of steel parts where the parts are in a temperature range from about 780 ° C to 1050 ° C with a carbon donor gas carburized at a pressure below 500 mbar are then embroidered with a nitrogen donor gas become.
  • the invention further relates to a device for treatment of steel parts with which such a process is carried out can be, with at least one treatment chamber that with a vacuum pump can be coupled and at least one inlet for has a carbon donor gas and for a nitrogen donor gas, with a heater for heating the minimum a treatment chamber, and with a controller for control the temperature and atmosphere within the at least one Treatment chamber.
  • the invention is therefore based on the object of a method and a device for the thermochemical treatment of steel parts to indicate, through which a carburization in case of negative pressure and an embroidery on the desired values in the border zone of the Parts can be achieved in the simplest and cheapest possible way are. Furthermore, during a subsequent hardening of the parts a sufficient case depth over a desired range be achievable.
  • This task is carried out in a method according to the above Kind solved in that at the end of the carburizing phase or after cooling to a temperature range of about 780 ° C to 950 ° C a nitrogen donor gas containing ammonia, starting from a negative pressure to a pressure of less than 1000 mbar, in the at least one treatment chamber is let in to embroider the parts.
  • the carburizing takes place in an advantageous further development of the invention at about 850 ° C to about 1000 ° C, preferably at about 850 ° C to 950 ° C, preferably a pressure of less than 200 mbar, preferably less than 50 mbar, is observed.
  • the carburizing phase can in a preferred further development of the invention comprise a plurality of fumigation cycles while whose carbon donor gas into the at least one treatment chamber is admitted, and wherein a plurality of diffusion cycles is used, during which no carbon donor gas is fed.
  • Propane is preferably used as the carbon donor gas, Acetylene or ethylene is used.
  • Temperature before or during embroidery to about 780 ° C 900 ° C, preferably reduced to about 830 ° C to 870 ° C.
  • the embroidery is preferably in a temperature range from about 820 ° C to 950 ° C.
  • the duration of the temperature is adjusted accordingly. in this connection usually result in a treatment duration of around 15 up to 60 min good results.
  • the nitrogen donor gas is preferably used during the nitrification phase starting from a partial pressure of at most 500 mbar, preferably of at most 50 mbar, until it is reached of the maximum pressure of less than 1000 mbar.
  • the nitrogen donor gas can flow over the entire duration the embroidery phase or the pressure after Reaching the maximum pressure can be kept constant.
  • the pressure is less than 1000 mbar is kept constant. It is used as a nitrogen donor gas preferably used a gas that is predominantly ammonia contains. If necessary, it can be even more molecular Nitrogen with a low partial pressure may be included.
  • the embroidery can advantageously in the same treatment chamber how to carry out the carburizing.
  • the parts are preferably made after finishing the embroidery quenched, which is preferred at high pressure by gas quenching he follows.
  • the method according to the invention becomes a partial embroidery before the carburization (Pre-nitrogen) with a nitrogen donor gas, that contains ammonia.
  • Nitrogen donor gas is supplied with, for example, 3 m 3 / h.
  • the carburization is preferably controlled so that in the layers near the surface have a carbon content of about 0.5 to 1.0% by weight, preferably from about 0.7 to 0.9% by weight.
  • the object of the invention is solved a device according to the type mentioned above, that the controller is designed to start with Carburizing at a temperature of around 780 ° C to 1050 ° C Carbon donor gas up to a pressure of less than 500 mbar into the at least one treatment chamber and for subsequent embroidery at a temperature of 780 ° C to 950 ° C nitrogen donor gas containing ammonia, up to a partial pressure of less than 1000 mbar in the minimum to admit a treatment chamber.
  • This device also preferably has means for high-pressure gas quenching of the parts on.
  • Such a device is for performing the invention
  • Process suitable, temperature and atmosphere program-controlled can be complied with fully automatically to ensure a high reproducibility of the treatment.
  • ammonia-containing gas is only supplied up to a partial pressure below the Atmospheric pressure.
  • Fig. 1 is a device for performing a low pressure carbonitriding treatment of steel parts 24 schematically shown and designated overall by the number 10.
  • the Device 10 includes a treatment chamber 12 which is gastight is enclosed by a housing 20 and on all sides by one Cooling (e.g. water cooling) is enclosed and on the front can be closed gas-tight by a cover 68.
  • a heating chamber 13 Within the treatment chamber 12 is provided with a heating chamber 13, through the front of the cover 68 a door 70 is closable and its top and bottom is closed by movable doors 64, 66.
  • a parts holder 22 can be moved into the heating chamber 13, in the parts 24 can be included.
  • a plurality of heating elements 26 are provided.
  • Next to the side the heating chamber 13 are driven by a motor 72 Fan 30 and a cooling water heat exchanger located in front of it 28 for high pressure gas quenching intended.
  • the device 10 also has a vacuum pump 14 which via a valve 16 and a line 18 to the treatment chamber 12 can be coupled to evacuate them.
  • Treatment chamber 12 also has a series of gas inlets on to various gases, especially nitrogen, propane, Acetylene or eythylene and ammonia, in a suitable manner to be able to.
  • gases especially nitrogen, propane, Acetylene or eythylene and ammonia
  • a pressurized nitrogen tank 48 via a pressure reducer (not shown) and a Valve 46 is connected to an inlet 44 leading into the treatment chamber 12 flows.
  • pressurized container 42 for receiving of propane in turn via a pressure reducer (not shown) and a valve 40 connected to an inlet 34 which in the treatment chamber 12 opens.
  • an under Pressurized container 38 to hold ammonia in turn via a pressure reducer (not shown) and a valve 36 connected to an inlet 32, which in the treatment chamber 12th empties.
  • the device 10 has a central control 50, preferably in the form of a programmable controller which over a series of control lines 52, 54, 56, 58, 60, 62 with the relevant valves 46, 40, 36 and the coupled thereto Pressure reducers for tanks 48, 42, 38 and with the valve 16 and the vacuum pump 14, and coupled to the heating elements 26 is the temperature, pressure and gas atmosphere composition targeted within the treatment chamber 12 to be able to influence.
  • the control is with an operating mechanism 67 for the upper and lower door 64, 66 the Heating chamber 13 and fan 30 coupled via lines 63, 60, to be able to carry out high pressure gas quenching.
  • the top and lower doors 64, 66 of the heating chamber 13 opened, cooling gas in the Treatment chamber 12 let in and over the heat exchanger 28 circulated by means of the fan 30.
  • FIG. 3 schematically sketched and designated overall with the number 100.
  • the device is designed as a multi-chamber system, in which the carbonitriding process in a treatment chamber 102 and the deterrent in a separate deterrent chamber 103 can be performed.
  • the device 100 is in turn of a gastight housing 101 enclosed in the treatment chamber 102 for carbonitriding treatment parts 24 can be closed by a door 104 is arranged.
  • a quenching chamber 103 is provided in front of it, which can be closed via doors 105, 106 and which with a Quench air duct 107 with blower and heat exchanger for Quenching the parts is provided.
  • a given geometry of the treating parts 24 and for certain target values the carbon and nitrogen content in the peripheral zone and for the entire process sequence takes place at a desired case hardening depth preferably program-controlled, so that the process can be done fully automatically, provided the treatment parameters were previously optimized for the respective application.
  • the treatment chamber 12 is designed to be sufficiently pressure-resistant to also use high pressure gas quenching at a gas pressure of 15 bar or more.
  • the parts After degreasing of the parts, which can be done by a washing process or only thermally, the parts are heated to a temperature T 1 at which carburization is carried out.
  • the temperature for carburizing can generally be in a range from 780 ° C. to 1050 ° C., preferably in a range from approximately 900 ° C. to 1000 ° C., and a temperature of 930 ° C. has been selected in the case shown. Heating to temperature T 1 can take place, for example, within 30 minutes.
  • the pressure P is first reduced as much as possible from the atmospheric pressure in order to remove residual oxygen and then increased to a pressure P 1 which is below 50 mbar, preferably about 1 or 0.8 mbar.
  • a holding stage is then inserted at constant pressure P 1 and constant temperature T 1 , which can last, for example, 1 to 2 h, for example 1.5 h. While the temperature T 1 is now kept constant, carburization takes place with a sequence of gassing cycles during which carbon donor gas, for example propane, is admitted into the treatment chamber 12. Each gassing cycle is preferably followed by a short diffusion time without gas supply, while the last gassing cycle is followed by a longer diffusion time without gas supply.
  • the number of gassing cycles, the duration of the respective gas supply and the gas flow rate depend on the type of steel used and the desired carbon concentration, which is aimed for in the peripheral zone.
  • the temperature T 1 is reduced to a lower temperature T 2 , at which the nitriding is carried out.
  • the nitriding can in principle take place in a temperature range from approximately 780 ° C. to 950 ° C. using a nitrogen donor gas which predominantly contains ammonia, a temperature range between approximately 800 ° C. and 900 ° C. preferably being selected, or from approximately 860 ° C. as in the case shown.
  • nitrogen dispensing gas for example ammonia at 1 m 3 / h
  • the vacuum valve 16 closed, starting from the pressure P 3 .
  • the pressure rises over a period of 30 min to the pressure P 4 , which is just under 400 mbar in the example shown.
  • an inert gas for example with N 2 , for example up to 500 mbar, and only then to let in NH 3 .
  • the ammonia dissociates more quickly into N 2 and H 2 at a higher temperature, as a result of which the nitrogen cannot be incorporated into the austenite as quickly at the higher temperature, since the intermediate products NH 2 , NH, N and H convert more quickly to the end products H 2 and transform N 2 .
  • the nitriding results at a lower temperature T 2 are better than at a higher temperature T 1 .
  • bringing the gassing forward with NH 3 can shorten the total time required to reach the desired final nitrogen concentration.
  • the nitrogen absorption capacity of the steel is influenced by the present carbon content.
  • nitrogen nitriding on an Fe foil (0.01% C) at 930 ° C by gassing with NH 3 resulted in a nitrogen content of 0.78% for 10 minutes.
  • an embroidery of an Fe film with 0.76% C only gave a nitrogen content of 0.31%.
  • the nitrogen absorption capacity decreases further.
  • embroidery is also carried out after the diffusion phase (or during the diffusion) with the edge carbon content already lowered, and not already during the carbonation cycles.
  • a treatment chamber 12 with a volume of approximately 5.3 m 3 , approximately 50 rods with a diameter of 20 mm and a length of 500 mm of Ck15 (ballast) and 2 polished samples of Ck45 and two polished samples of 16MnCr5 were treated.
  • the last gassing cycle was followed by a diffusion cycle at a temperature T 1 of 930 ° C of 65 min at a partial pressure of 0.8 mbar. This was followed by cooling to the temperature T 2 of 860 ° C., followed by a nitrogen phase at T 2 for 30 min, with 1 m 3 / h NH 3 gassing with the vacuum valve 16 closed.
  • the carbon content and the nitrogen content in the peripheral zone was determined using GDOS analyzes. The result was a content of about 0.75% C and about 0.5% N, for steel 16MnCr5 to a depth of approx. 0.3 mm. At Ck 45 the carbon content was 0.77% C and a Nitrogen content of about 0.3% N determined in the peripheral zone, to a depth of approx. 0.4 mm. The result was 45 at Ck a surface hardness of around 600 HV.
  • Usual marginal nitrogen contents of 0.25 to 0.4% can preferably be achieved by introducing gas with a simultaneous increase in pressure. Comparative experiments showed that an equilibrium concentration depending on the NH 3 throughput and temperature is established with gas flow, which is in some cases considerably lower than with gas inlet.
  • samples of CK45 and 16MnCr5 were first heated to 930 ° C with extensive evacuation and then held at 930 ° C and at a partial pressure of 0.8 mbar for 70 minutes.
  • a brief nitrogen nitriding pre-nitrogen nitriding was carried out during the holding phase at 930 ° C. even before the start of low-pressure carburization, by NH 3 gassing at 3 m 3 / h for 10 minutes. The process was then continued as described in exemplary embodiment 1.

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Abstract

Low-pressure carbonitriding of steel components (24) comprises carburizing the components at 780-1050 degrees C with a carbon-donating gas at a partial pressure below 500 mbar and nitrogenizing with a nitrogen-donating gas. At the end of the carburizing phase or after cooling to 780-950 degrees C a nitrogen-donating gas containing ammonia is fed into at least one treatment chamber (12) at a nitrogen-donating gas pressure of less than 1000 mbar to nitrogenize the components. Independent claims are also included for: steel components produced by the above process; and a device (10) for treating the steel components using the above process. Preferred Features: The carbon-donating gas is propane, acetylene or ethylene. The nitrogen-donating gas predominantly contains ammonia.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Niederdruck-Carbonitrierung von Stahlteilen, bei dem die Teile in einem Temperaturbereich von etwa 780 °C bis 1050 °C mit einem Kohlenstoffspendergas bei einem Druck unterhalb von 500 mbar aufgekohlt werden und anschließend mit einem Stickstoffspendergas aufgestickt werden.The invention relates to a method for low-pressure carbonitriding of steel parts where the parts are in a temperature range from about 780 ° C to 1050 ° C with a carbon donor gas carburized at a pressure below 500 mbar are then embroidered with a nitrogen donor gas become.

Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Behandlung von Stahlteilen, mit der ein solches Verfahren durchgeführt werden kann, mit mindestens einer Behandlungskammer, die mit einer Vakuumpumpe koppelbar ist und mindestens einen Einlaß für ein Kohlenstoffspendergas und für ein Stickstoffspendergas aufweist, mit einer Heizeinrichtung zur Beheizung der mindestens einen Behandlungskammer, und mit einer Steuerung zur Steuerung der Temperatur und der Atmosphäre innerhalb der mindestens einen Behandlungskammer.The invention further relates to a device for treatment of steel parts with which such a process is carried out can be, with at least one treatment chamber that with a vacuum pump can be coupled and at least one inlet for has a carbon donor gas and for a nitrogen donor gas, with a heater for heating the minimum a treatment chamber, and with a controller for control the temperature and atmosphere within the at least one Treatment chamber.

Ein derartiges Verfahren und eine derartige Vorrichtung sind aus der DE 199 09 694 A1 bekannt.Such a method and such an apparatus are known from DE 199 09 694 A1.

Danach ist ein Verfahren zum Carbonitrieren bei Unterdruckprozessen bekannt, wonach zunächst eine Unterdruckaufkohlung durchgeführt wird und anschließend bei Verwendung von molekularem Stickstoff als Spendergas oder von Ammoniak bei höherem Druck von bis zu einigen bar eine Aufstickung durchgeführt wird. Das bekannte Verfahren stellt demnach eine Kombination eines Unterdruck-Aufkohlens mit einem anschließenden Aufsticken bei Überdruck dar.After that is a process for carbonitriding in vacuum processes known, after which a vacuum carburizing is carried out and then when using molecular Nitrogen as donor gas or ammonia at higher Pressure of up to a few bar an embroidery was carried out becomes. The known method therefore represents a combination a vacuum carburizing with a subsequent embroidery at overpressure.

Wie das Verfahren jedoch im einzelnen ausgeführt werden soll, um günstige Behandlungsergebnisse zu erzielen, bleibt völlig offen.However, how the procedure is to be carried out in detail remains completely in order to achieve favorable treatment results open.

Abgesehen von der' vorgenannten Veröffentlichung, die dem Fachmann keinen Hinweis dafür liefert, wie denn ein solcher Carbonitrierprozeß in der Praxis tatsächlich durchgeführt werden kann, wird es in der Fachwelt bislang als nicht möglich angesehen, ein Unterdruck-Carbonitrieren ohne eine Plasmaanregung durchzuführen, womit ausreichende Stickstoffgehalte und Kohlenstoffgehalte in der Randzone der behandelten Teile erzielt werden. Begründet wird dies durch das sogenannte Sievertsche Gesetz, das besagt, daß mit abnehmendem Stickstoffpartialdruck der Atmosphäre die Stickstofflöslichkeit im Bauteil sinkt und Stickstoff aus dem Bauteil herausdiffundiert.Aside from the 'aforementioned publication, which the skilled person provides no indication of how such a carbonitriding process actually be carried out in practice , it has so far not been considered possible in the professional world, vacuum carbonitriding without plasma excitation to carry out, with sufficient nitrogen and carbon contents can be achieved in the edge zone of the treated parts. This is justified by the so-called Sievertsche law, that means that with decreasing nitrogen partial pressure the atmosphere reduces nitrogen solubility in the component and Nitrogen diffuses out of the component.

Die aus der DE 199 09 694 A1 bekannte Lösung, die Aufstickung im Überdruckbereich durchzuführen, erfordert eine aufwendige Anlagentechnik einer als Druckbehälter ausgeführten Heizkammer sowie einen erheblichen Gasverbrauch, der zum Befüllen derselben erforderlich ist.The solution known from DE 199 09 694 A1, the embroidery Carrying out in the overpressure range requires a complex one System technology of a heating chamber designed as a pressure vessel as well as a significant gas consumption, which is used to fill them is required.

Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur thermochemischen Behandlung von Stahlteilen anzugeben, durch die bei Unterdruck eine Aufkohlung und eine Aufstickung auf die gewünschten Werte in der Randzone der Teile auf möglichst einfache und kostengünstige Weise erzielbar sind. Ferner soll bei einer anschließenden Härtung der Teile eine ausreichende Einsatzhärtetiefe über einen gewünschten Bereich erzielbar sein.The invention is therefore based on the object of a method and a device for the thermochemical treatment of steel parts to indicate, through which a carburization in case of negative pressure and an embroidery on the desired values in the border zone of the Parts can be achieved in the simplest and cheapest possible way are. Furthermore, during a subsequent hardening of the parts a sufficient case depth over a desired range be achievable.

Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren gemäß der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß zum Ende der Aufkohlungsphase oder nach einer Abkühlung auf einen Temperaturbereich von etwa 780 °C bis 950 °C ein Stickstoffspendergas, das Ammoniak enthält, ausgehend von einem Unterdruck bis zu einem Druck von weniger als 1000 mbar, in die mindestens eine Behandlungskammer eingelassen wird, um die Teile aufzusticken.This task is carried out in a method according to the above Kind solved in that at the end of the carburizing phase or after cooling to a temperature range of about 780 ° C to 950 ° C a nitrogen donor gas containing ammonia, starting from a negative pressure to a pressure of less than 1000 mbar, in the at least one treatment chamber is let in to embroider the parts.

Die Aufgabe der Erfindung wird auf diese Weise vollkommen gelöst. The object of the invention is completely achieved in this way.

Es hat sich nämlich gezeigt, daß bei Einlaß eines Stickstoffspendergases, das zumindest Ammoniak enthält oder überwiegend aus Ammoniak besteht, bei Unterdruck in die mindestens eine Behandlungskammer und bei anschließendem Druckanstieg des Stickstoffspendergases auf einen Partialdruck von weniger als 1000 mbar in einem Temperaturbereich von etwa 780 °C bis etwa 950 °C gute Behandlungsergebnisse erzielbar sind.It has been shown that when a nitrogen donor gas is admitted, that contains at least ammonia or predominantly consists of ammonia, with negative pressure in the at least one treatment chamber and with subsequent pressure increase of the nitrogen donor gas to a partial pressure of less than 1000 mbar in a temperature range from about 780 ° C to about 950 ° C good treatment results can be achieved.

Hierbei erfolgt die Aufkohlung in vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung bei etwa 850 °C bis etwa 1000 °C, vorzugsweise bei etwa 850 °C bis 950 °C, wobei vorzugsweise ein Druck von weniger als 200 mbar, vorzugsweise von weniger als 50 mbar, eingehalten wird.The carburizing takes place in an advantageous further development of the invention at about 850 ° C to about 1000 ° C, preferably at about 850 ° C to 950 ° C, preferably a pressure of less than 200 mbar, preferably less than 50 mbar, is observed.

Die Aufkohlungsphase kann hierbei in bevorzugter Weiterbildung der Erfindung eine Mehrzahl von Begasungszyklen umfassen, während derer Kohlenstoffspendergas in die mindestens eine Behandlungskammer eingelassen wird, und wobei eine Mehrzahl von Diffusionszyklen verwendet wird, während derer kein Kohlenstoffspendergas zugeführt wird.The carburizing phase can in a preferred further development of the invention comprise a plurality of fumigation cycles while whose carbon donor gas into the at least one treatment chamber is admitted, and wherein a plurality of diffusion cycles is used, during which no carbon donor gas is fed.

Hierbei wird vorzugsweise als Kohlenstoffspendergas Propan, Acetylen oder Ethylen verwendet.Propane is preferably used as the carbon donor gas, Acetylene or ethylene is used.

In weiter vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird die. Temperatur vor oder während der Aufstickung auf etwa 780 °C bis 900 °C, vorzugsweise auf etwa 830 °C bis 870 °C, abgesenkt.In a further advantageous embodiment of the invention. Temperature before or during embroidery to about 780 ° C 900 ° C, preferably reduced to about 830 ° C to 870 ° C.

Zur Behandlung des Stahles Ck45 und des Stahles 16MnCr5 hat es sich hierbei als vorteilhaft erwiesen, wenn die Aufkohlung in einem Temperaturbereich von etwa 850 °C bis 950 °C mit einer Mehrzahl von Begasungszyklen bei einem Teildruck von weniger als 50 mbar und einer Gesamtdauer von etwa 10 bis 90 min, mit anschließenden Diffusionszyklen bei Teildruck durchgeführt wird, wobei sich an den letzten Begasungszyklus ein längerer Diffusionszyklus von mindestens 5 min bei einem verringerten Teildruck von weniger als 10 mbar anschließt.For the treatment of the steel Ck45 and the steel 16MnCr5 it has proved to be advantageous if the carburization in a temperature range of about 850 ° C to 950 ° C with a Multiple fumigation cycles with a partial pressure of less than 50 mbar and a total duration of about 10 to 90 min, with subsequent diffusion cycles carried out at partial pressure a longer one at the last gassing cycle Diffusion cycle of at least 5 min with a reduced Partial pressure of less than 10 mbar connects.

Mit einer derartigen Verfahrensführung läßt sich für die beiden zuvor genannten Stähle und für Stähle mit ähnlichen Eigenschaften eine ausreichende Aufkohlung der Randzone gewährleisten.Such a procedure can be used for the two previously mentioned steels and for steels with similar properties ensure sufficient carburization of the peripheral zone.

Die Aufstickung wird vorzugsweise in einem Temperaturbereich von etwa 820 °C bis 950 °C durchgeführt. Je nach der Art des verwendeten Ausgangsmaterials, insbesondere dessen Affinität zu Stickstoff, die durch die Legierungselemente beeinflußt wird, je nach erforderlicher Einsatzhärtetiefe und der verwendeten Temperatur wird die Zeitdauer entsprechend angepaßt. Hierbei ergeben sich meistens mit einer Behandlungsdauer von etwa 15 bis 60 min gute Ergebnisse.The embroidery is preferably in a temperature range from about 820 ° C to 950 ° C. Depending on the type of used starting material, in particular its affinity for Nitrogen, which is influenced by the alloying elements, depending on the required case depth and the one used The duration of the temperature is adjusted accordingly. in this connection usually result in a treatment duration of around 15 up to 60 min good results.

In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung wird bereits während des letzten Diffusionszyklus der Aufkohlungsphase mit einem Einlaß des Stickstoffspendergases in die mindestens eine Behandlungskammer begonnen, bevor mit der Abkühlung bis auf die Temperatur der Aufstickungsphase begonnen wird.In an advantageous development of the invention is already during the last diffusion cycle of the carburizing phase with a Inlet of nitrogen donor gas into the at least one Treatment chamber started before cooling down to the The temperature of the nitrogen phase is started.

Auf diese Weise kann eine besonders zeit- und damit kostensparende Behandlung der Teile erzielt werden.In this way, a particularly time-saving and thus cost-saving Treatment of the parts can be achieved.

Vorzugsweise wird das Stickstoffspendergas während der Aufstickungsphase beginnend von einem Teildruck von höchstens 500 mbar, vorzugsweise von höchstens 50 mbar, bis zum Erreichen des Maximaldrucks von weniger als 1000 mbar ständig zugeführt.The nitrogen donor gas is preferably used during the nitrification phase starting from a partial pressure of at most 500 mbar, preferably of at most 50 mbar, until it is reached of the maximum pressure of less than 1000 mbar.

Hierbei kann das Stickstoffspendergas über die gesamte Dauer der Aufstickungsphase zugeführt werden oder aber der Druck nach Erreichen des Maximaldrucks konstant gehalten werden.The nitrogen donor gas can flow over the entire duration the embroidery phase or the pressure after Reaching the maximum pressure can be kept constant.

Es hat sich gezeigt, daß sich besonders dann, wenn der Druck des Stickstoffspendergases während der gesamten Dauer der Aufstickungsphase durch ständigen Gaszutritt bei ansonsten geschlossener Behandlungskammer ständig erhöht wird, bevorzugte Stickstoffgehalte von ca. 0,2 - 0,4 Gew.-% in den Randzonen erzielen lassen.It has been shown that especially when the pressure of the nitrogen donor gas during the entire duration of the nitrification phase through constant gas access with the otherwise closed Treatment chamber is constantly increasing, preferred Achieve nitrogen contents of approx. 0.2 - 0.4% by weight in the peripheral zones to let.

Gleichwohl ist eine sinnvolle Behandlung auch dann möglich, wenn der Druck bei Erreichen des Maximaldrucks von weniger als 1000 mbar konstant gehalten wird. Dabei wird als Stickstoffspendergas vorzugsweise ein Gas verwendet, das überwiegend Ammoniak enthält. Dabei kann gegebenenfalls noch molekularer Stickstoff mit einem geringen Teildruck enthalten sein.Nevertheless, sensible treatment is also possible if the pressure is less than 1000 mbar is kept constant. It is used as a nitrogen donor gas preferably used a gas that is predominantly ammonia contains. If necessary, it can be even more molecular Nitrogen with a low partial pressure may be included.

Die Aufstickung kann vorteilhaft in derselben Behandlungskammer wie die Aufkohlung durchgeführt werden.The embroidery can advantageously in the same treatment chamber how to carry out the carburizing.

Jedoch ist es bei größeren Anlagen auch möglich, verschiedene Behandlungskammern für die Aufstickung und die Aufkohlung zu verwenden.However, in the case of larger systems, it is also possible to use various Treatment chambers for nitriding and carburizing use.

Die Teile werden vorzugsweise nach Beendigung der Aufstickung abgeschreckt, was bevorzugt bei Hochdruck durch Gasabschreckung erfolgt. The parts are preferably made after finishing the embroidery quenched, which is preferred at high pressure by gas quenching he follows.

Darüber hinaus ist es bevorzugt, wenn eine separate Abschreckkammer verwendet wird. Dadurch ist es möglich, durch eine kalte Abschreckkammer sehr hohe Abschreckraten zu erreichen, was für niedrig legierte und unlegierte C-Stähle besonders günstig ist, die für Carbontrierprozesse bevorzugt verwendet werden.In addition, it is preferred if a separate quenching chamber is used. This makes it possible to go through a cold Quenching chamber to achieve very high quenching rates, what for low-alloy and unalloyed carbon steels is particularly cheap, which are preferred for carbon cutting processes.

Bei einer bevorzugten Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird vor der Aufkohlung eine teilweise Aufstickung (Voraufstickung) mit einem Stickstoffspendergas durchgeführt, das Ammoniak enthält.In a preferred development of the method according to the invention becomes a partial embroidery before the carburization (Pre-nitrogen) with a nitrogen donor gas, that contains ammonia.

Dies kann beispielsweise während der ersten Haltephase im Temperaturbereich von etwa 780 bis 1050 °C durchgeführt werden, vorzugsweise bei einem Partialdruck von weniger als 1000 mbar, etwa indem ausgehend von einem niedrigen Partialdruck wie etwa 50 mbar oder darunter über einen gewissen Zeitraum (z.B. 10 Minuten) Stickstoffspendergas mit z.B. 3 m3/h zugeführt wird.This can be carried out, for example, during the first holding phase in the temperature range from approximately 780 to 1050 ° C., preferably at a partial pressure of less than 1000 mbar, for example by starting from a low partial pressure such as approximately 50 mbar or below over a certain period of time (for example 10 minutes ) Nitrogen donor gas is supplied with, for example, 3 m 3 / h.

Es hat sich gezeigt, daß durch diese Voraufstickung in kurzer Zeit eine deutliche Stickstoffanreicherung in der Randschicht auftritt. Dieser Stickstoff diffundiert während der anschließenden Aufkohlung teiweise in den Werkstoff, effundiert jedoch auch teilweise aufgrund des niedrigen Prozeßdruckes (Partialdruckes). Die im Werkstoff verbleibende Stickstoffkonzentration reicht jedoch aus, um während der anschließenden Aufkohlung die Kohlenstoffaufnahme zu verbessern und die Diffusionsgeschwindigkeit zu erhöhen. Somit können in kürzeren Zeiten größere Aufkohlungstiefen erzielt werden. Auf diese Weise kann die Prozeßführung weiter verbessert verbessert werden. It has been shown that this pre-embroidery in short Time a significant nitrogen enrichment in the boundary layer occurs. This nitrogen diffuses during the subsequent one Carburization partly in the material, but effuses also partly due to the low process pressure (Partial pressure). The nitrogen concentration remaining in the material however, is sufficient to during the subsequent Carburizing to improve carbon uptake and diffusion rate to increase. Thus, in shorter times greater carburization depths can be achieved. In this way the process control can be further improved.

Die Aufkohlung wird vorzugsweise so gesteuert, daß sich in den oberflächennahen Schichten ein Kohlenstoffgehalt von etwa 0,5 bis 1,0 Gew.-%, vorzugsweise von etwa 0,7 bis 0,9 Gew.-%, einstellt.The carburization is preferably controlled so that in the layers near the surface have a carbon content of about 0.5 to 1.0% by weight, preferably from about 0.7 to 0.9% by weight.

Auf diese Weise wird das Entstehen von Restaustenit bei Stickstoffeinlagerung vermieden.In this way, the formation of residual austenite with nitrogen storage avoided.

Hinsichtlich der Vorrichtung wird die Aufgabe der Erfindung bei einer Vorrichtung gemäß der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Steuerung dazu ausgebildet ist, zunächst für eine Aufkohlung bei einer Temperatur von etwa 780 °C bis 1050 °C Kohlenstoffspendergas bis zu einem Druck von weniger als 500 mbar in die mindestens eine Behandlungskammer einzulassen und für eine anschließende Aufstickung bei einer Temperatur von 780 °C bis 950 °C Stickstoffspendergas, das Ammoniak enthält, bis zu einem Partialdruck von weniger als 1000 mbar in die mindestens eine Behandlungskammer einzulassen.With regard to the device, the object of the invention is solved a device according to the type mentioned above, that the controller is designed to start with Carburizing at a temperature of around 780 ° C to 1050 ° C Carbon donor gas up to a pressure of less than 500 mbar into the at least one treatment chamber and for subsequent embroidery at a temperature of 780 ° C to 950 ° C nitrogen donor gas containing ammonia, up to a partial pressure of less than 1000 mbar in the minimum to admit a treatment chamber.

Diese Vorrichtung weist ferner vorzugsweise Mittel zur Hochdruckgasabschreckung der Teile auf.This device also preferably has means for high-pressure gas quenching of the parts on.

Eine derartige Vorrichtung ist zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignet, wobei Temperatur und Atmosphäre programmgesteuert vollautomatisch eingehalten werden können, um so eine hohe Reproduzierbarkeit der Behandlung zu gewährleisten.Such a device is for performing the invention Process suitable, temperature and atmosphere program-controlled can be complied with fully automatically to ensure a high reproducibility of the treatment.

Weitere Vorteile ergeben sich dadurch, daß ammoniakhaltiges Gas nur bis zu einem Teildruck zugeführt wird, der unterhalb des Atmosphärendruckes liegt. Further advantages result from the fact that ammonia-containing gas is only supplied up to a partial pressure below the Atmospheric pressure.

Hierdurch werden die sonst notwendigen Sicherheitsmaßnahmen bei Verwendung von Ammoniak erheblich vereinfacht, was zur kostengünstigen Ausgestaltung der Vorrichtung und zu einer kostengünstigen Verfahrensführung beiträgt. Auch wird der Verbrauch von Prozeßgas auf ca. 5 - 30 % der bislang notwendigen Volumina gesenkt. Eine aufwendige Ausführung der Heizkammer als Druckbehälter wird ebenfalls vermieden.As a result, the security measures otherwise required Use of ammonia is significantly simplified, resulting in low cost Design of the device and an inexpensive Process management contributes. Also the consumption of Process gas reduced to approx. 5 - 30% of the previously required volumes. A complex design of the heating chamber as a pressure vessel is also avoided.

Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale der Erfindung nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.It is understood that the above and those below Features of the invention not yet to be explained in the specified combination, but also in others Combinations or alone can be used without the Leave the scope of the invention.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1
eine schematische Darstellung einer Vorrichtung, die zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignet ist;
Fig. 2a), b)
ein schematisiertes Temperaturprofil und Druckprofil zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens;
Fig. 3
eine schematische Darstellung einer Mehrkammer-Behandlungsanlage zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens und
Fig. 4a), b)
ein schematisiertes Temperaturprofil und Druckprofil bei einer leicht gegenüber Fig. 2a), b) abgewandelten Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
Embodiments of the invention are shown in the drawing and are explained in more detail in the following description. Show it:
Fig. 1
is a schematic representation of a device which is suitable for performing the method according to the invention;
2a), b)
a schematic temperature profile and pressure profile for performing the method according to the invention;
Fig. 3
a schematic representation of a multi-chamber treatment system for performing the method according to the invention and
4a), b)
a schematic temperature profile and pressure profile in a slightly modified compared to Fig. 2a), b) embodiment of the method according to the invention.

In Fig. 1 ist eine Vorrichtung zur Durchführung einer Niederdruck-Carbonitrier-Behandlung von Stahlteilen 24 schematisch dargestellt und insgesamt mit der Ziffer 10 bezeichnet. Die Vorrichtung 10 umfaßt eine Behandlungskammer 12, die gasdicht von einem Gehäuse 20 umschlossen ist und die allseits von einer Kühlung (z.B. Wasserkühlung) umschlossen ist und an der Vorderseite durch einen Deckel 68 gasdicht verschließbar ist. Innerhalb der Behandlungskammer 12 ist eine Heizkammer 13 vorgesehen, die an ihrer dem Deckel 68 zugewandten Vorderseite durch eine Tür 70 verschließbar ist und deren Oberseite und Unterseite durch verfahrbare Türen 64, 66 verschlossen ist.In Fig. 1 is a device for performing a low pressure carbonitriding treatment of steel parts 24 schematically shown and designated overall by the number 10. The Device 10 includes a treatment chamber 12 which is gastight is enclosed by a housing 20 and on all sides by one Cooling (e.g. water cooling) is enclosed and on the front can be closed gas-tight by a cover 68. Within the treatment chamber 12 is provided with a heating chamber 13, through the front of the cover 68 a door 70 is closable and its top and bottom is closed by movable doors 64, 66.

In die Heizkammer 13 ist eine Teilehalterung 22 einfahrbar, in der die Teile 24 aufgenommen werden können. In der Heizkammer ist eine Mehrzahl von Heizelementen 26 vorgesehen. Seitlich neben der Heizkammer 13 sind ein von einem Motor 72 angetriebener Ventilator 30 sowie ein davor befindlicher Kühlwasser-Wärmeaustauscher 28 für eine Gasabschreckung unter Hochdruck vorgesehen.A parts holder 22 can be moved into the heating chamber 13, in the parts 24 can be included. In the heating chamber a plurality of heating elements 26 are provided. Next to the side the heating chamber 13 are driven by a motor 72 Fan 30 and a cooling water heat exchanger located in front of it 28 for high pressure gas quenching intended.

Die Vorrichtung 10 weist ferner eine Vakuumpumpe 14 auf, die über ein Ventil 16 und eine Leitung 18 mit der Behandlungskammer 12 koppelbar ist, um diese zu evakuieren.The device 10 also has a vacuum pump 14 which via a valve 16 and a line 18 to the treatment chamber 12 can be coupled to evacuate them.

Ferner weist die Behandlungskammer 12 eine Reihe von Gaseinlässen auf, um verschiedene Gase, insbesondere Stickstoff, Propan, Acetylen oder Eythylen und Ammoniak, in geeigneter Weise zuführen zu können. Hierzu ist ein unter Druck stehender Stickstofftank 48 über einen Druckminderer (nicht dargestellt) und ein Ventil 46 mit einem Einlaß 44 verbunden, der in die Behandlungskammer 12 mündet.Treatment chamber 12 also has a series of gas inlets on to various gases, especially nitrogen, propane, Acetylene or eythylene and ammonia, in a suitable manner to be able to. For this is a pressurized nitrogen tank 48 via a pressure reducer (not shown) and a Valve 46 is connected to an inlet 44 leading into the treatment chamber 12 flows.

Ferner ist ein unter Druck stehender Behälter 42 zur Aufnahme von Propan wiederum über einen Druckminderer (nicht dargestellt) und ein Ventil 40 mit einem Einlaß 34 verbunden, der in die Behandlungskammer 12 mündet. Schließlich ist ein unter Druck stehender Behälter 38 zur Aufnahme von Ammoniak wiederum über einen Druckminderer (nicht dargestellt) und ein Ventil 36 mit einem Einlaß 32 verbunden, der in die Behandlungskammer 12 mündet.There is also a pressurized container 42 for receiving of propane in turn via a pressure reducer (not shown) and a valve 40 connected to an inlet 34 which in the treatment chamber 12 opens. After all, is an under Pressurized container 38 to hold ammonia in turn via a pressure reducer (not shown) and a valve 36 connected to an inlet 32, which in the treatment chamber 12th empties.

Ferner weist die Vorrichtung 10 eine zentrale Steuerung 50, vorzugsweise in Form einer programmierbaren Steuerung auf, die über eine Reihe von Steuerleitungen 52, 54, 56, 58, 60, 62 mit den betreffenden Ventilen 46, 40, 36 bzw. den damit gekoppelten Druckminderern für die Behälter 48, 42, 38 sowie mit dem Ventil 16 und der Vakuumpumpe 14, sowie mit den Heizelementen 26 gekoppelt ist, um die Temperatur, den Druck und die Gasatmosphärenzusammensetzung innerhalb der Behandlungskammer 12 gezielt beeinflussen zu können. Ferner ist die Steuerung mit einem Betätigungsmechanismus 67 für die obere und untere Tür 64, 66 der Heizkammer 13 und dem Ventilator 30 über Leitungen 63, 60 gekoppelt, um eine Hochdruckgasabschreckung durchführen zu können.Furthermore, the device 10 has a central control 50, preferably in the form of a programmable controller which over a series of control lines 52, 54, 56, 58, 60, 62 with the relevant valves 46, 40, 36 and the coupled thereto Pressure reducers for tanks 48, 42, 38 and with the valve 16 and the vacuum pump 14, and coupled to the heating elements 26 is the temperature, pressure and gas atmosphere composition targeted within the treatment chamber 12 to be able to influence. Furthermore, the control is with an operating mechanism 67 for the upper and lower door 64, 66 the Heating chamber 13 and fan 30 coupled via lines 63, 60, to be able to carry out high pressure gas quenching.

Zur Durchführung einer Gasabschreckung werden die oberen und unteren Türen 64, 66 der Heizkammer 13 geöffnet, Kühlgas in die Behandlungskammer 12 eingelassen und über den Wärmetauscher 28 mittels des Ventilators 30 umgewälzt.To perform gas quenching, the top and lower doors 64, 66 of the heating chamber 13 opened, cooling gas in the Treatment chamber 12 let in and over the heat exchanger 28 circulated by means of the fan 30.

Eine abgewandelte Ausführung einer Vorrichtung zur Durchführung der Niederdruck-Carbonitrier-Behandlung ist in Fig. 3 äußerst schematisch skizziert und insgesamt mit der Ziffer 100 bezeichnet. Hierbei ist die Vorrichtung als Mehr-Kammeranlage ausgeführt, bei der der Carbonitrierprozeß in einer Behandlungskammer 102 und die Abschreckung in einer davon getrennten Abschreckkammer 103 durchgeführt werden können.A modified version of a device for implementation the low pressure carbonitriding treatment is extreme in Fig. 3 schematically sketched and designated overall with the number 100. The device is designed as a multi-chamber system, in which the carbonitriding process in a treatment chamber 102 and the deterrent in a separate deterrent chamber 103 can be performed.

Die Vorrichtung 100 ist wiederum von einem gasdichten Gehäuse 101 umschlossen, in dem die Behandlungskammer 102 zur Carbonitrier-Behandlung von Teilen 24 über eine Tür 104 verschließbar angeordnet ist. Davor ist eine Abschreckkammer 103 vorgesehen, die über Türen 105, 106 verschließbar ist und die mit einer Abschreckluftführung 107 mit Gebläse und Wärmetauscher zum Abschrecken der Teile versehen ist.The device 100 is in turn of a gastight housing 101 enclosed in the treatment chamber 102 for carbonitriding treatment parts 24 can be closed by a door 104 is arranged. A quenching chamber 103 is provided in front of it, which can be closed via doors 105, 106 and which with a Quench air duct 107 with blower and heat exchanger for Quenching the parts is provided.

Auf die Darstellung der zusätzlichen Teile wie Gasleitungen, Steuerleitungen, Ventile, Steuerungen u. dgl. wurde bei Fig. 3 der Einfachheit halber verzichtet.On the representation of the additional parts such as gas pipes, Control lines, valves, controls u. The like. Was in Fig. 3rd omitted for the sake of simplicity.

Für einen bestimmten Werkstoff, eine gegebene Geometrie der zu behandelnden Teile 24 und für bestimmte Zielwerte betreffend den Kohlenstoff- und Stickstoffgehalt in der Randzone sowie für eine gewünschte Einsatzhärtetiefe erfolgt der gesamte Verfahrensablauf vorzugsweise programmgesteuert, so daß der Ablauf vollautomatisch erfolgen kann, sofern die Behandlungsparameter für den jeweiligen Einsatzfall zuvor optimiert wurden. For a certain material, a given geometry of the treating parts 24 and for certain target values the carbon and nitrogen content in the peripheral zone and for the entire process sequence takes place at a desired case hardening depth preferably program-controlled, so that the process can be done fully automatically, provided the treatment parameters were previously optimized for the respective application.

Die Behandlungskammer 12 ist ausreichend druckfest ausgebildet, um auch eine Hochdruckgasabschreckung bei einem Gasdruck von 15 bar oder mehr durchführen zu können.The treatment chamber 12 is designed to be sufficiently pressure-resistant to also use high pressure gas quenching at a gas pressure of 15 bar or more.

Im folgenden wird der Behandlungsablauf, der typischerweise zur Niederdruck-Carbonitrierung und anschließenden Gasabschreckhärtung durchgeführt werden kann, näher anhand von Fig. 2a) und b) erläutert.In the following, the course of treatment, which is typically for Low pressure carbonitriding and subsequent gas quench hardening can be carried out in more detail with reference to FIGS. 2a) and b) explained.

Nach einer Entfettung der Teile, die durch einen Waschprozeß oder lediglich auf thermische Weise erfolgen kann, folgt eine Aufheizung der Teile auf eine Temperatur T1, bei der eine Aufkohlung durchgeführt wird. Die Temperatur zur Aufkohlung kann grundsätzlich in einem Bereich von 780 °C bis 1050 °C liegen, vorzugsweise in einem Bereich von etwa 900 °C bis 1000 °C gearbeitet wird, und wobei im dargestellten Fall eine Temperatur von 930 °C gewählt wurde. Eine Aufheizung auf die Temperatur T1 kann beispielsweise innerhalb von 30 min erfolgen. Gleichzeitig wird der Druck P vom Atmosphärendruck zunächst so weit wie möglich erniedrigt, um Restsauerstoff zu entfernen und sodann auf einen Druck P1, der unterhalb von 50 mbar liegt, vorzugsweise bei etwa 1 oder 0,8 mbar, erhöht. Es wird sodann eine Haltestufe bei konstantem Druck P1 und konstanter Temperatur T1 eingelegt, die beispielsweise 1 bis 2 h, z.B. 1,5 h, dauern kann. Während nun die Temperatur T1 weiter konstant gehalten wird, erfolgt eine Aufkohlung mit einer Folge von Begasungszyklen, während derer Kohlenstoffspendergas, z.B. Propan, in die Behandlungskammer 12 eingelassen wird. An jeden Begasungszyklus schließt sich vorzugsweise eine kurze Diffusionszeit ohne Gaszufuhr an, während sich an den letzten Begasungszyklus eine längere Diffusionszeit ohne Gaszufuhr anschließt. Die Anzahl der Begasungszyklen, die Dauer der jeweiligen Gaszufuhr und die Gasflußrate hängen von der verwendeten Stahlsorte und der gewünschten Kohlenstoffkonzentration ab, die in der Randzone angestrebt wird.After degreasing of the parts, which can be done by a washing process or only thermally, the parts are heated to a temperature T 1 at which carburization is carried out. The temperature for carburizing can generally be in a range from 780 ° C. to 1050 ° C., preferably in a range from approximately 900 ° C. to 1000 ° C., and a temperature of 930 ° C. has been selected in the case shown. Heating to temperature T 1 can take place, for example, within 30 minutes. At the same time, the pressure P is first reduced as much as possible from the atmospheric pressure in order to remove residual oxygen and then increased to a pressure P 1 which is below 50 mbar, preferably about 1 or 0.8 mbar. A holding stage is then inserted at constant pressure P 1 and constant temperature T 1 , which can last, for example, 1 to 2 h, for example 1.5 h. While the temperature T 1 is now kept constant, carburization takes place with a sequence of gassing cycles during which carbon donor gas, for example propane, is admitted into the treatment chamber 12. Each gassing cycle is preferably followed by a short diffusion time without gas supply, while the last gassing cycle is followed by a longer diffusion time without gas supply. The number of gassing cycles, the duration of the respective gas supply and the gas flow rate depend on the type of steel used and the desired carbon concentration, which is aimed for in the peripheral zone.

Bei dem Stahl Ck45 oder 16MnCr5 können beispielsweise 4 Zyklen à 3 min Gaseinlaß mit 600 l/h Propan mit 20 mbar durchgeführt werden, die jeweils von einem Diffusionszyklus von 1 min gefolgt sind, woran sich beispielsweise 6 Zyklen ä 3 min Gaseinlaß mit 400 l/h Propan bei 20 mbar anschließen, die jeweils von einem Diffusionszyklus von 1 min gefolgt sind, wobei sich an den letzten Begasungszyklus ein längerer Diffusionszyklus bei dem Teildruck P3, der etwa dem Teildruck P1 entsprechen kann, und der z.B. 0,5 bis 2 h, beispielsweise 65 min, dauern kann, anschließt.With the steel Ck45 or 16MnCr5, for example, 4 cycles of 3 min gas inlet with 600 l / h propane at 20 mbar can be carried out, each followed by a diffusion cycle of 1 min, which is followed, for example, by 6 cycles of 3 min gas inlet with 400 l / h h Connect propane at 20 mbar, which are each followed by a diffusion cycle of 1 min, with a longer diffusion cycle at the partial pressure P 3 , which may correspond approximately to the partial pressure P 1 , and which, for example, 0.5 to 2, follow the last gassing cycle h, for example 65 minutes, then connects.

Am Ende dieses Diffusionszyklus wird die Temperatur T1 auf eine niedrigere Temperatur T2 abgesenkt, bei der die Aufstickung durchgeführt wird. Die Aufstickung kann grundsätzlich in einem Temperaturbereich von etwa 780 °C bis 950 °C unter Verwendung eines Stickstoffspendergases erfolgen, das überwiegend Ammoniak enthält, wobei bevorzugt ein Temperaturbereich zwischen etwa 800 °C und 900 °C gewählt wird, oder von etwa 860 °C, wie im dargestellten Fall.At the end of this diffusion cycle, the temperature T 1 is reduced to a lower temperature T 2 , at which the nitriding is carried out. The nitriding can in principle take place in a temperature range from approximately 780 ° C. to 950 ° C. using a nitrogen donor gas which predominantly contains ammonia, a temperature range between approximately 800 ° C. and 900 ° C. preferably being selected, or from approximately 860 ° C. as in the case shown.

Mit Erreichen der Temperatur T2 wird ausgehend von dem Druck P3 Stickstoffspendergas, also beispielsweise Ammoniak mit 1 m3/h, bei geschlossenem Vakuumventil 16 zugeführt. Bei einem Volumen der Behandlungskammer 12 von z.B. 5,3 m3 steigt der Druck über eine Zeitdauer von 30 min auf den Druck P4 an, der knapp 400 mbar in dargestelltem Beispiel beträgt. When the temperature T 2 is reached, nitrogen dispensing gas, for example ammonia at 1 m 3 / h, is supplied with the vacuum valve 16 closed, starting from the pressure P 3 . With a volume of the treatment chamber 12 of, for example, 5.3 m 3 , the pressure rises over a period of 30 min to the pressure P 4 , which is just under 400 mbar in the example shown.

Gemäß einer Verfahrensvariante ist es möglich, die Behandlungskammer zunächst mit einem Inertgas, etwa mit N2, z.B. bis auf 500 mbar zu fluten und erst dann NH3 einzulassen.According to a process variant, it is possible to flood the treatment chamber first with an inert gas, for example with N 2 , for example up to 500 mbar, and only then to let in NH 3 .

Daran schließt sich vorzugsweise eine Gashochdruckabschreckung mit Stickstoff an, wozu der Druck kurzzeitig beispielsweise auf etwa 15 bar erhöht werden kann und sodann eine Schnellabkühlung mit Unterstützung des Ventilators 30 innerhalb von etwa 5 min auf Raumtemperatur erfolgen kann. Alternativ kann zunächst der Druck durch Evakuieren abgesenkt werden und anschließend mit Kühlgas (N;) geflutet werden.This is preferably followed by high-pressure gas quenching with nitrogen, for which the pressure is briefly on, for example about 15 bar can be increased and then rapid cooling with the support of the fan 30 within about 5 min can take place at room temperature. Alternatively, the Pressure can be reduced by evacuation and then with Cooling gas (N;) are flooded.

Es versteht sich, daß die in Fig. 2a) und b) dargestellten Temperatur- und Druckprofile vereinfacht sind, um lediglich den idealen Verlauf zu erläutern, während in der Realität naturgemäß nicht immer ein Aufheizen bzw. Abkühlen mit konstanter Aufheiz- bzw. Abkühlgeschwindigkeit erfolgt und auch die Druckänderungen in der Regel nicht geradlinig erfolgen.It is understood that the temperature shown in Fig. 2a) and b) and pressure profiles are simplified to just the to explain ideal course while in reality by nature not always a heating or cooling with constant The rate of heating or cooling takes place and also the pressure changes usually not done in a straight line.

Jedoch ist das Prinzip anhand von Fig. 2a) und b) ohne weiteres erkennbar.However, the principle based on FIGS. 2a) and b) is straightforward recognizable.

Die besten Aufstickungsergebnisse in der Randzone wurden mit der zuvor dargestellten stetigen Zufuhr von Ammoniak bei geschlossenem Vakuumventil 16 über die gesamte Aufstickungsphase erzielt.The best embroidery results in the border zone were included the steady supply of ammonia shown above with the closed Vacuum valve 16 over the entire nitrogen phase achieved.

Im Durchfluß, d.h. bei einer stetigen Zufuhr von Stickstoffspendergas bei gleichzeitig geöffnetem Vakuumventil 16, ist bei sonst gleichen Randbedingungen mit einem Zufluß von 1m3 NH3 über 30 min während der Temperaturhaltephase auf Temperatur T2, gleichfalls eine wunschgemäße Einlagerung von Stickstoff in die Randschicht erreichbar, wobei jedoch höhere NH3-Begasungsmengen notwendig sind.In the flow, ie with a constant supply of nitrogen donor gas with the vacuum valve 16 open at the same time, with otherwise identical boundary conditions with an inflow of 1m 3 NH 3 over 30 min during the temperature maintenance phase to temperature T 2 , a desired incorporation of nitrogen into the boundary layer can also be achieved , but higher amounts of NH 3 fumigation are necessary.

Es ist denkbar, wie mit der strichpunktierten Linie in Fig. 2b) angedeutet, die Ammoniakzufuhr schon vor dem Ende des letzten Diffusionszyklus, d.h. also noch während der Aufkohlungsphase, bei Temperatur T1 zu beginnen und stetig fortzusetzen, bis nach dem Ende des Diffusionszyklus die Temperatur von T1 auf T2 auf die Haltetemperatur für die Aufstickungsphase abgesenkt wird.It is conceivable, as indicated by the dash-dotted line in Fig. 2b), to start the ammonia feed at temperature T 1 before the end of the last diffusion cycle, that is to say still during the carburizing phase, and to continue it continuously until after the end of the diffusion cycle Temperature is reduced from T 1 to T 2 to the holding temperature for the nitrogen phase.

Bekanntlich dissoziiert bei höherer Temperatur der Ammoniak schneller in N2 und H2, wodurch der Stickstoff bei der höheren Temperatur nicht so schnell in den Austenit eingelagert werden kann, da die Zwischenprodukte NH2, NH, N und H sich schneller zu den Endprodukten H2 und N2 umbilden. Insoweit sind die Aufstickungsergebnisse bei niedrigerer Temperatur T2 besser als bei höherer Temperatur T1. Jedoch kann durch die Vorverlegung der Begasung mit NH3 die notwendige Gesamtzeit bis zum Erreichen der gewünschten Endstickstoffkonzentration verkürzt werden.As is known, the ammonia dissociates more quickly into N 2 and H 2 at a higher temperature, as a result of which the nitrogen cannot be incorporated into the austenite as quickly at the higher temperature, since the intermediate products NH 2 , NH, N and H convert more quickly to the end products H 2 and transform N 2 . In this respect, the nitriding results at a lower temperature T 2 are better than at a higher temperature T 1 . However, bringing the gassing forward with NH 3 can shorten the total time required to reach the desired final nitrogen concentration.

Als weitere Möglichkeit ist in Fig. 2b) der Gasdurchfluß mit der doppelstrichpunktierten Linie angedeutet, der zu einem niedrigeren, konstanten Enddruck P4'' führt und der insgesamt jedoch nicht zu gleichermaßen vorteilhaften Ergebnissen für die stetige Druckerhöhung bei konstanter Gaszufuhr mit geschlossenem Vakuumventil 16 führt.As a further possibility, the gas flow with the double-dash line is indicated in Fig. 2b), which leads to a lower, constant final pressure P 4 '' and which, however, does not lead overall to equally advantageous results for the constant pressure increase with constant gas supply with the vacuum valve 16 closed ,

Ferner wurde festgestellt, daß die Stickstoffaufnahmefähigkeit des Stahls durch den vorliegenden Rand-Kohlenstoffgehalt beeinflußt wird. So ergab eine Aufstickung einer Fe-Folie (0,01 % C) bei 930 °C durch NH3-Begasung über 10 Minuten einen Stickstoffgehalt von 0,78 %. Dagegen ergab unter sonst gleichen Bedingungen eine Aufstickung einer Fe-Folie mit 0,76 % C nur einen Stickstoffgehalt von 0,31 %. Mit zunehmendem Kohlenstoffgehalt bis zur Sättigung verringert sich die Stickstoffaufnahmefähigkeit weiter. Aus diesem Grund wird erfindungsgemäß auch das Aufsticken im Anschluß an die Diffusionsphase (bzw. während der Diffusion) mit bereits abgesenktem Rand-Kohlenstoffgehalt durchgeführt, und nicht schon während der Kohlungszyklen.It has also been found that the nitrogen absorption capacity of the steel is influenced by the present carbon content. For example, nitrogen nitriding on an Fe foil (0.01% C) at 930 ° C by gassing with NH 3 resulted in a nitrogen content of 0.78% for 10 minutes. In contrast, under otherwise identical conditions, an embroidery of an Fe film with 0.76% C only gave a nitrogen content of 0.31%. With increasing carbon content up to saturation, the nitrogen absorption capacity decreases further. For this reason, according to the invention, embroidery is also carried out after the diffusion phase (or during the diffusion) with the edge carbon content already lowered, and not already during the carbonation cycles.

Eine weitere günstige Art der Prozeßführung besteht nun darin, eine Aufstickung zu Prozeßbeginn (Voraufstickung) durchzuführen, d.h. nach Erreichen der Behandlungstemperaturen vor dem Beginn der Niederdruck-Aufkohlung. Dadurch kann in kurzer Zeit von z.B. 10 Minuten eine deutliche Stickstoffanreicherung in der Randschicht auftreten. Dieser Stickstoff diffundiert während des anschließenden Kohlungsprozesses teilweise in den Werkstoff, er effundiert auch teilweise aufgrund des niedrigen Partialdrucks. Die im Werkstoff verbleibende Stickstoffkonzentration reicht jedoch aus, um die Kohlenstoffaufnahme sowie die Diffusionsgeschwindigkeit von Kohlenstoff in den Werkstoff zu beschleunigen. Somit können in kürzeren Zeiten größere Aufkohlungstiefen erzielt werden.Another cheap way of litigation now consists in perform an embroidery at the beginning of the process (pre-embroidery), i.e. after reaching the treatment temperatures before Low-pressure carburization begins. This can be done in a short time from e.g. 10 minutes of significant nitrogen enrichment in the boundary layer occur. This nitrogen diffuses during of the subsequent coaling process partly in the Material, it also partially effuses due to the low Partial pressure. The nitrogen concentration remaining in the material is sufficient, however, to the carbon uptake as well Diffusion rate of carbon in the material too accelerate. This allows greater carburization depths in shorter times be achieved.

Ausführungsbeispiel 1Embodiment 1

In einer Behandlungskammer 12 mit einem Volumen von ca. 5,3 m3 wurden ca. 50 Stäbe mit einem Durchmesser von 20 mm und 500 mm Länge aus Ck15 (Ballast) und 2 polierten Proben aus Ck45 und zwei polierten Proben aus 16MnCr5 behandelt. In a treatment chamber 12 with a volume of approximately 5.3 m 3 , approximately 50 rods with a diameter of 20 mm and a length of 500 mm of Ck15 (ballast) and 2 polished samples of Ck45 and two polished samples of 16MnCr5 were treated.

Hierbei erfolgte zunächst über eine Zeitdauer von 30 min eine Aufheizung auf eine Temperatur T1 von 930 °C bei weitgehender Evakuierung, woran sich eine Haltestufe bei 930 °C und einem Teildruck von 0,8 mbar über 70 min anschloß. Daran schloß sich eine Aufkohlungsphase über eine Gesamtdauer von 104 min an, mit 4 Zyklen von je 3 min Gaseinlaß (Propan) mit 600 l/h bei 20 mbar, jeweils gefolgt von einem Diffusionszyklus von einer min. Daran schlossen sich 6 Zyklen zu jeweils 3 min Gaseinlaß mit 400 l/h Propan bei 20 mbar an, gefolgt von einem Diffusionszyklus von jeweils 1 min. An den letzten Begasungszyklus schloß sich ein Diffusionszyklus weiterhin bei der Temperatur T1 von 930 °C von 65 min bei einem Teildruck von 0,8 mbar an. Danach erfolgte eine Abkühlung auf die Temperatur T2 von 860 °C, worauf sich eine Aufstickungsphase bei T2 über 30 min anschloß, und zwar mit 1 m3/h NH3-Begasung bei geschlossenem Vakuumventil 16.This was initially carried out over a period of 30 minutes with a temperature T 1 of 930 ° C. with extensive evacuation, which was followed by a holding level at 930 ° C. and a partial pressure of 0.8 mbar over 70 minutes. This was followed by a carburizing phase for a total of 104 min, with 4 cycles of 3 min gas inlet (propane) at 600 l / h at 20 mbar, each followed by a diffusion cycle of one min. This was followed by 6 cycles of 3 min gas inlet with 400 l / h propane at 20 mbar, followed by a diffusion cycle of 1 min each. The last gassing cycle was followed by a diffusion cycle at a temperature T 1 of 930 ° C of 65 min at a partial pressure of 0.8 mbar. This was followed by cooling to the temperature T 2 of 860 ° C., followed by a nitrogen phase at T 2 for 30 min, with 1 m 3 / h NH 3 gassing with the vacuum valve 16 closed.

Daran schloß sich eine Gasabschreckung mit 15 bar N2 an.This was followed by gas quenching with 15 bar N 2 .

An den so hergestellten Proben wurde der Kohlenstoffgehalt und der Stickstoffgehalt in der Randzone mittels GDOS-Analysen bestimmt. Es ergab sich ein Gehalt von etwa 0,75 % C und von etwa 0,5 % N, beim Stahl 16MnCr5 bis zu einer Tiefe von ca. 0,3 mm. Bei Ck 45 wurde ein Kohlenstoffgehalt von 0,77 % C und ein Stickstoffgehalt von etwa 0,3 % N in der Randzone ermittelt, bis zu einer Tiefe von ca. 0,4 mm. Dabei ergab sich bei Ck 45 eine Oberflächenhärte von etwa 600 HV.The carbon content and the nitrogen content in the peripheral zone was determined using GDOS analyzes. The result was a content of about 0.75% C and about 0.5% N, for steel 16MnCr5 to a depth of approx. 0.3 mm. At Ck 45 the carbon content was 0.77% C and a Nitrogen content of about 0.3% N determined in the peripheral zone, to a depth of approx. 0.4 mm. The result was 45 at Ck a surface hardness of around 600 HV.

Die stärkere Einlagerung von Stickstoff bei 16MnCr5 mit etwa 0,5 % N im Vergleich zu etwa 0,3 % N bei Ck45 ist auf die höhere Affinität der Legierungselemente zu Stickstoff und die Bildung von fein verteilten Cr-Nitriden zurückzuführen.The stronger incorporation of nitrogen at 16MnCr5 with about 0.5% N compared to about 0.3% N for Ck45 is on the higher one Affinity of the alloying elements to nitrogen and formation of finely divided Cr nitrides.

Übliche Rand-Stickstoffgehalte von 0,25 bis 0,4 % lassen sich bevorzugt durch Gaseinlaß bei gleichzeitigem Druckanstieg erzielen. Vergleichsversuche zeigten, daß sich bei Gasdurchfluß eine Gleichgewichtskonzentration in Abhängigkeit vom NH3-Durchsatz und Temperatur einstellt, die zum Teil erheblich niedriger als bei Gaseinlaß ist.Usual marginal nitrogen contents of 0.25 to 0.4% can preferably be achieved by introducing gas with a simultaneous increase in pressure. Comparative experiments showed that an equilibrium concentration depending on the NH 3 throughput and temperature is established with gas flow, which is in some cases considerably lower than with gas inlet.

Ein Diffundieren von Stickstoff aus der randnahen Zone wurde trotz Evakuierung (und Transport der Charge in der evakuierten Anlage gemäß Fig. 3) nicht festgestellt.A diffusion of nitrogen from the zone near the edge was observed despite evacuation (and transport of the batch in the evacuated System according to Fig. 3) not found.

Eine Aufstickung lediglich mit 1 bar N2 führte dagegen nicht zu dem gewünschten Stickstoffgehalt im Werkstoff.In contrast, nitrogen nitriding only with 1 bar N 2 did not lead to the desired nitrogen content in the material.

Ausführungsbeispiel 2Embodiment 2

Bei gleicher Verfahrensführung wie beim Ausführungsbeispiel 1 wurden Proben aus CK45 und 16MnCr5 zunächst auf 930 °C bei weitgehender Evakuierung aufgeheizt und sodann bei 930 °C und bei einem Teildruck von 0,8 mbar 70 min gehalten. In Abweichung zum Ausführungsbeispiel 1 wurde während der Haltephase bei 930 °C noch vor Beginn der Niederdruck-Aufkohlung eine kurze Aufstickung (Voraufstickung) durchgeführt, indem 10 Minuten lang eine NH3-Begasung mit 3 m3/h erfolgte. Anschließend wurde der Prozeß wie beim Ausführungsbeispiel 1 beschrieben fortgesetzt.With the same procedure as in embodiment 1, samples of CK45 and 16MnCr5 were first heated to 930 ° C with extensive evacuation and then held at 930 ° C and at a partial pressure of 0.8 mbar for 70 minutes. In a departure from exemplary embodiment 1, a brief nitrogen nitriding (pre-nitrogen nitriding) was carried out during the holding phase at 930 ° C. even before the start of low-pressure carburization, by NH 3 gassing at 3 m 3 / h for 10 minutes. The process was then continued as described in exemplary embodiment 1.

Bei den so hergestellten Proben wurde wiederum der Kohlenstoffgehalt bestimmt. Es ergaben sich höhere Kohlenstoffgehalte, die in der Randzone von etwa 0,77 % C auf 0,85 % C anstiegen und eine um etwa 0,1 mm erhöhte Aufkohlungstiefe gegenüber Ausführungsbeispiel 1 aufwiesen.The carbon content was again in the samples produced in this way certainly. There were higher carbon levels increased in the peripheral zone from about 0.77% C to 0.85% C and a carburizing depth increased by approximately 0.1 mm compared to the exemplary embodiment 1 had.

Auf diese Weise lassen sich somit in kürzeren Zeiten größere Aufkohlungstiefen oder gleiche Aufkohlungstiefen bei kürzerer Behandlungsdauer erzielen.In this way, larger times can be achieved in shorter times Carburization depths or equal carburization depths for shorter ones Achieve treatment duration.

Claims (24)

Verfahren zur Niederdruck-Carbonitrierung von Stahlteilen, bei dem die Teile (24) in einem Temperaturbereich von etwa 780 °C bis 1050 °C mit einem Kohlenstoffspendergas bei einem Partialdruck unterhalb von 500 mbar aufgekohlt werden und anschließend mit einem Stickstoffspendergas aufgestickt werden, dadurch gekennzeichnet, daß zum Ende der Aufkohlungsphase oder nach einer Abkühlung auf einen Temperaturbereich von etwa 780 °C bis 950 °C ein Stickstoffspendergas, das Ammoniak enthält, ausgehend von einem Unterdruck bis zu einem Partialdruck des Stickstoffspendergases von weniger als 1000 mbar in die mindestens eine Behandlungskammer (12, 102) eingelassen wird, um die Teile (24) aufzusticken.A process for low-pressure carbonitriding of steel parts, in which the parts (24) are carburized in a temperature range of approximately 780 ° C to 1050 ° C with a carbon donor gas at a partial pressure below 500 mbar and then embroidered with a nitrogen donor gas, characterized in that that at the end of the carburizing phase or after cooling to a temperature range of about 780 ° C to 950 ° C, a nitrogen donor gas containing ammonia, starting from a negative pressure up to a partial pressure of the nitrogen donor gas of less than 1000 mbar, into the at least one treatment chamber (12 , 102) is let in to embroider the parts (24). Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufkohlung bei etwa 850 °C bis 1000 °C, vorzugsweise bei etwa 850 °C bis 950 °C erfolgt.A method according to claim 1, characterized in that the carburization takes place at about 850 ° C to 1000 ° C, preferably at about 850 ° C to 950 ° C. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufkohlung bei einem Druck von weniger als 200 mbar, vorzugsweise bei weniger als 50 mbar erfolgt. Method according to claim 1 or 2, characterized in that the carburization takes place at a pressure of less than 200 mbar, preferably at less than 50 mbar. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufkohlungsphase eine Mehrzahl von Begasungszyklen umfaßt, während derer Kohlenstoffspendergas in die mindestens eine Behandlungskammer (12) eingelassen wird, und eine Mehrzahl von Diffusionszyklen umfaßt, während derer kein Kohlenstoffspendergas zugeführt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the carburizing phase comprises a plurality of gassing cycles, during which carbon donor gas is admitted into the at least one treatment chamber (12), and comprises a plurality of diffusion cycles, during which no carbon donor gas is supplied. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Kohlenstoffspendergas Propan, Acetylen oder Ethylen verwendet wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that propane, acetylene or ethylene is used as the carbon donor gas. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur vor oder während der Aufstickung auf etwa 780 °C bis 900 °C, vorzugsweise auf etwa 830 °C bis 870 °C abgesenkt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the temperature before or during the nitriding is reduced to about 780 ° C to 900 ° C, preferably to about 830 ° C to 870 ° C. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufkohlung in einem Temperaturbereich von etwa 850 °C bis 950 °C eine Mehrzahl von Begasungszyklen bei einem Teildruck von weniger als 50 mbar und einer Gesamtdauer von etwa 10 bis 90 Minuten, mit anschließenden Diffusionszyklen bei Teildruck umfaßt, wobei sich an den letzten Begasungszyklus ein Diffusionszyklus von mindestens 5 Minuten bei einem verringerten Teildruck von weniger als 10 mbar anschließt.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the carburization in a temperature range from approximately 850 ° C to 950 ° C a plurality of gassing cycles at a partial pressure of less than 50 mbar and a total duration of approximately 10 to 90 minutes, with subsequent diffusion cycles at partial pressure, with the last gassing cycle being followed by a diffusion cycle of at least 5 minutes at a reduced partial pressure of less than 10 mbar. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufstickung in einem Temperaturbereich von etwa 820 °C bis 950 °C über eine Zeitdauer von etwa 10 bis 90 Minuten durchgeführt wird. Method according to one of the preceding claims, characterized in that the nitriding is carried out in a temperature range of approximately 820 ° C to 950 ° C over a period of approximately 10 to 90 minutes. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bereits während des letzten Diffusionszyklus noch während der Aufkohlungsphase mit einem Einlassen des Stickstoffspendergases in die mindestens eine Behandlungskammer (12, 102) begonnen wird, bevor mit der Abkühlung bis auf die Temperatur der Aufstickungsphase begonnen wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the nitrogen donor gas is already let into the at least one treatment chamber (12, 102) during the last diffusion cycle, even during the carburization phase, before cooling to the temperature of the nitrification phase is started , Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Stickstoffspendergas während der Aufstickungsphase beginnend von einem Teildruck von höchstens 500 mbar, vorzugsweise von höchstens 50 mbar, bis zum Erreichen des Maximaldrucks ständig zugeführt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the nitrogen donor gas is continuously supplied during the nitriding phase starting from a partial pressure of at most 500 mbar, preferably of at most 50 mbar, until the maximum pressure is reached. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck nach Erreichen des Maximaldrucks konstant gehalten wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the pressure is kept constant after the maximum pressure has been reached. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile (24) nach Beendigung der Aufstickung abgeschreckt werden, vorzugsweise bei Hochdruck gasabgeschreckt werden.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the parts (24) are quenched after the end of the nitriding, preferably gas quenched at high pressure. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufstickung in derselben Behandlungskammer (12) wie die Aufkohlung erfolgt.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the nitriding takes place in the same treatment chamber (12) as the carburizing. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufstickung und die Aufkohlung in einer von einer Abschreckkammer (103) getrennten Behandlungskammer (102) durchgeführt werden. Method according to one of the preceding claims, characterized in that the nitriding and carburizing are carried out in a treatment chamber (102) which is separate from a quenching chamber (103). Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Aufkohlung eine Voraufstickung mit einem Stickstoffspendergas durchgeführt wird, das Ammoniak enthält, durchgeführt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that before the carburization, a pre-nitrogenation is carried out with a nitrogen donor gas which contains ammonia. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Voraufstickung bei einem Partialdruck von weniger als 1000 mbar in einem Temperaturbereich von etwa 780 °C bis 1050 °C, vorzugsweise bei etwa 850 °C bis 1000 °C durchgeführt wird.A method according to claim 15, characterized in that the pre-nitrogenation is carried out at a partial pressure of less than 1000 mbar in a temperature range of about 780 ° C to 1050 ° C, preferably at about 850 ° C to 1000 ° C. Verfahren nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Voraufstickung in einem Temperaturbereich von etwa 850 °C bis 950 °C über eine Zeitdauer von etwa 2 bis 30 Minuten, vorzugsweise über eine Zeitdauer von etwa 5 bis 15 Minuten, durchgeführt wird.A method according to claim 15 or 16, characterized in that the pre-nitrogenation is carried out in a temperature range of about 850 ° C to 950 ° C over a period of about 2 to 30 minutes, preferably over a period of about 5 to 15 minutes. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Stickstoffspendergas über die gesamte Dauer der Aufstickungsphase oder Voraufstickungsphase zugeführt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the nitrogen donor gas is supplied over the entire duration of the nitrogen or pre-nitrogen phase. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Stickstoffspendergas überwiegend Ammoniak enthält.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the nitrogen donor gas contains predominantly ammonia. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufkohlung so gesteuert wird, daß sich in den oberflächennahen Schichten ein Kohlenstoffgehalt von etwa 0,5 bis 1,0 Gew.-%, vorzugsweise von etwa 0,7 bis 0,9 Gew.-% einstellt. Method according to one of the preceding claims, characterized in that the carburization is controlled in such a way that a carbon content of approximately 0.5 to 1.0% by weight, preferably approximately 0.7 to 0.9% by weight, is found in the layers near the surface .-% sets. Stahlteile hergestellt nach einem Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche.Steel parts manufactured by a process according to a of the preceding claims. Vorrichtung zur Behandlung von Stahlteilen, mit mindestens einer Behandlungskammer (12, 102), die mit einer Vakuumpumpe (14) koppelbar ist und einen Einlaß (32, 34) für ein Kohlenstoffspendergas (42) und für ein Stickstoffspendergas (38) aufweist, mit einer Heizeinrichtung (28) zur Beheizung der mindestens einen Behandlungskammer (12, 102), und mit einer Steuerung (50) zur Steuerung der Temperatur und der Atmosphäre innerhalb der mindestens einen Behandlungskammer (12, 102), dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerung (50) dazu programmiert ist, für eine Aufkohlung bei einer Temperatur von etwa 780 °C bis 1050 °C Kohlenstoffspendergas (42) bis zu einem Partialdruck von weniger als 500 mbar in die mindestens eine Behandlungskammer (12) einzulassen und für eine anschließende Aufstickung bei einer Temperatur von 780 °C bis 950 °C Stickstoffspendergas, das Ammoniak enthält, ausgehend von einem Unterdruck, bis zu einem Partialdruck des Stickstoffspendergases von weniger als 1000 mbar in die mindestens eine Behandlungskammer (12, 102) einzulassen.Device for the treatment of steel parts, with at least one treatment chamber (12, 102) which can be coupled to a vacuum pump (14) and has an inlet (32, 34) for a carbon donor gas (42) and for a nitrogen donor gas (38), with a Heating device (28) for heating the at least one treatment chamber (12, 102), and with a controller (50) for controlling the temperature and the atmosphere within the at least one treatment chamber (12, 102), characterized in that the controller (50) is programmed to let carbon donation gas (42) up to a partial pressure of less than 500 mbar into the at least one treatment chamber (12) for a carburization at a temperature of about 780 ° C to 1050 ° C and for a subsequent nitriding at a temperature of 780 ° C to 950 ° C nitrogen donor gas containing ammonia, starting from a negative pressure, up to a partial pressure of the nitrogen donor gas of less than 1000 mbar into the at least one treatment chamber (12, 102). Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerung dazu programmiert ist, vor der Aufkohlung eine Voraufstickung mit einem Stickstoffspendergas durchzuführen, das Ammoniak enthält.Apparatus according to claim 22, characterized in that the control is programmed to perform a pre-nitrogenation with a nitrogen donor gas containing ammonia before the carburization. Vorrichtung nach Anspruch 22 oder 23, gekennzeichnet durch Mittel (30, 44, 46, 48, 107) zur Hochdruckgasabschreckung der Teile (24).Device according to claim 22 or 23, characterized by means (30, 44, 46, 48, 107) for high-pressure gas quenching of the parts (24).
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