EP1153670A2

EP1153670A2 - Cleaning system

Info

Publication number: EP1153670A2
Application number: EP01111633A
Authority: EP
Inventors: Friedrich Pink
Original assignee: Pink Thermosysteme GmbH
Current assignee: Pink Thermosysteme GmbH
Priority date: 2000-05-12
Filing date: 2001-05-14
Publication date: 2001-11-14
Also published as: DE10023137A1; EP1153670A3

Abstract

The system has a gray room (11) for preparing the contaminated components, a cleaning device (12) and a clean room (13) for mounting and processing the cleaned components. The cleaning device separates the gray room from the clean room and is accessible from both via doors (16,17); it forms at least part of a dividing wall between the rooms. Independent claims are also included for the following: a method of cleaning contaminated components or assemblies before assembly or processing.

Description

Die Erfindung betrifft ein Reinigungssystem zur Reinigung kontaminierter Bauelemente oder Baugruppen vor einer nachfolgenden Montage oder Weiterverarbeitung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine Reinigungsvorrichtung, insbesondere zur Verwendung in einem derartigen Reinigungssystem, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 3 und ein Verfahren zur Reinigung kontaminierter Bauelemente oder Baugruppen vor einer nachfolgenden Montage oder Weiterverarbeitung umfassend die Verfahrensschritte des Anspruchs 6.The invention relates to a cleaning system for cleaning contaminated Components or assemblies before a subsequent assembly or Further processing according to the preamble of claim 1 and a Cleaning device, in particular for use in such Cleaning system, according to the preamble of claim 3 and a Process for cleaning contaminated components or assemblies before subsequent assembly or further processing comprehensively the Process steps of claim 6.

Reinigungssysteme der eingangs genannten Art werden insbesondere eingesetzt bei der Verarbeitung von elektronischen Bauelementen oder Baugruppen, wie beispielsweise Chips, deren Zuverlässigkeit im Betrieb in entscheidendem Maß von einer möglichst von Verunreinigungen freien elektrischen Kontaktierung der Bauelemente oder Baugruppen mit weiteren Komponenten abhängig ist. Das gleiche ist natürlich zutreffend für Halbzeuge, wie beispielsweise Wafer, die nach ihrer Herstellung in einzelne elektronische Bauelemente, also Chips, zerteilt werden und die zur Vorbereitung einer nachfolgenden Kontaktierung mit weiteren Bauelementen oder Bauelementgruppen mit geeigneten Kontaktflächenstrukturen auf ihrer Oberfläche versehen werden. Derartige Bearbeitungen eines Wafers werden zur Vermeidung von Verunreinigungen in sogenannten Rein- oder Reinsträumen durchgeführt.Cleaning systems of the type mentioned are particularly used in the processing of electronic components or Assemblies, such as chips, whose reliability in operation to a decisive extent of one that is as free as possible from impurities electrical contacting of the components or assemblies with others Components is dependent. The same is true of course Semi-finished products, such as wafers, which are manufactured in individual electronic components, i.e. chips, are divided and the to prepare a subsequent contact with other components or component groups with suitable contact surface structures be provided on their surface. Such edits of a wafer are used to avoid contamination in so-called Clean or clean rooms performed.

Um zu verhindern, dass die Reinraumatmosphäre nicht durch auf der Oberfläche der Bauelemente oder Baugruppen haftende Verunreinigungen kontaminiert wird, ist es bekannt, die Bauelemente oder Baugruppen vor einer nachfolgenden Montage oder Weiterverarbeitung in einem Reinraum einer Reinigung zu unterziehen. Hierzu werden die in einem sogenannten Grauraum, also einem Raum mit mehr oder minder stark kontaminierter Atmosphäre, bereitgestellten Bauelemente oder Baugruppen in eine Reinigungsvorrichtung gegeben und erst nach erfolgter Reinigung in den Reinraum überführt. Dabei hat sich jedoch als nachteilig herausgestellt, dass durch den Transport der in der Reinigungsvorrichtung gereinigten Bauelemente oder Baugruppen in den Reinraum bereits wieder erneute Kontaminationsmöglichkeiten gegeben sind, so dass es beispielsweise bekannt ist, die gereinigten Bauelemente oder Baugruppen zum Transport in den Reinraum in einen schützenden Transportbehälter einzubringen und zusammen mit dem Transportbehälter in den Reinraum zu überführen.To prevent the clean room atmosphere from going through on the Contamination adhering to the surface of the components or assemblies is contaminated, it is known the components or assemblies before a subsequent assembly or further processing in a clean room to be cleaned. For this, the so-called Gray room, i.e. a room with more or less highly contaminated Atmosphere, provided components or assemblies in one Given cleaning device and only after cleaning in the Transferred clean room. However, it turned out to be disadvantageous that by transporting the cleaned in the cleaning device Components or assemblies in the clean room again Contamination opportunities exist, so for example is known, the cleaned components or assemblies for transportation to be placed in a protective transport container in the clean room and to be transferred together with the transport container into the clean room.

Zum einen ist hiermit ein entsprechender Transportaufwand verbunden, zum anderen muss ein mehrfaches Handling der Bauelemente oder Baugruppen zur Übergabe von der Reinigungsvorrichtung in den Reinraum erfolgen, womit zumindest ein gewisses Kontaminationsrisiko verbunden ist.On the one hand, this involves a corresponding amount of transport, on the other hand, multiple handling of the components or assemblies for transfer from the cleaning device into the clean room take place, which involves at least a certain risk of contamination is.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, sowohl den Transportaufwand als auch das Kontaminationsrisiko bei der Übergabe von Bauelementen oder Baugruppen aus einer Reinigungsvorrichtung in einen Reinraum zu reduzieren.The present invention is therefore based on the object, both the transport costs as well as the contamination risk during the handover of components or assemblies from a cleaning device to reduce in a clean room.

Zur Lösung dieser Aufgabe weist das erfindungsgemäße Reinigungssystem die Merkmale des Anspruchs 1 auf. To achieve this object, the cleaning system according to the invention has the features of claim 1.

Bei dem erfindungsgemäßen Reinigungssystem trennt die Reinigungsvorrichtung den Reinraum vom Grauraum und ist darüber hinaus sowohl vom Grauraum als auch vom Reinraum her zugänglich. Hierdurch ist sichergestellt, dass vom Grauraum in die Reinigungsvorrichtung eingebrachte zu reinigende Bauelemente oder Baugruppen nachfolgend der Reinigung unmittelbar vom Reinraum her der Reinigungsvorrichtung entnommen werden können, ohne dass zuvor ein Transport der aus der Reinigungsvorrichtung entnommenen Bauelemente oder Baugruppen über eine Kontaminationsstrecke erfolgen müsste.In the cleaning system according to the invention, the cleaning device separates the clean room from the gray room and is also from both Gray room and accessible from the clean room. This ensures that brought into the cleaning device from the gray room cleaning components or assemblies after cleaning taken directly from the clean room of the cleaning device can be transported without first having to be transported out of the cleaning device removed components or assemblies over a contamination route should be done.

Bei einer besonders vorteilhaften Ausführungsform des Reinigungssystems bildet die Reinigungsvorrichtung zumindest einen Teil einer Trennwand zwischen dem Grauraum und dem Reinraum und weist jeweils eine dem Grauraum und dem Reinraum zugewandte Türeinrichtung auf. Hierdurch ist es möglich, die Trennung zwischen Grauraum und Reinraum durch die Anordnung der Reinigungsvorrichtung selbst zu definieren. Die Reinigungsvorrichtung wirkt somit gleichzeitig als eine zwischen dem Grauraum und dem Reinraum angeordnete Zutrittsschleuse für den Reinraum, der unmittelbar an die Reinigungsvorrichtung anschließt.In a particularly advantageous embodiment of the cleaning system the cleaning device forms at least part of a partition between the gray room and the clean room and each has one the door device facing the gray room and the clean room. Hereby it is possible to separate the gray room and clean room to be defined by the arrangement of the cleaning device itself. The Cleaning device thus acts simultaneously as one between the Gray room and the clean room arranged access gate for the clean room, which connects directly to the cleaning device.

Die erfindungsgemäße Reinigungsvorrichtung, die sich insbesondere zur Verwendung in einem erfindungsgemäßen Reinigungssystem eignet, weist die Merkmale des Anspruchs 3 auf.The cleaning device according to the invention, which is particularly for Suitable for use in a cleaning system according to the invention the features of claim 3.

Erfindungsgemäß ist die Reinigungsvorrichtung mit einer Reinigungskammer versehen, die zumindest zwei unabhängig voneinander betätigbare Türeinrichtungen aufweist.According to the invention, the cleaning device has a cleaning chamber provided the at least two independently operable Has door devices.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Reinigungsvorrichtung sind die Türeinrichtungen in zwei einander gegenüberliegenden Seitenwänden der Reinigungskammer angeordnet, so dass die Reinigungsvorrichtung in besonderer Weise dazu geeignet ist, durch Anordnung in einem beliebigen Raum diesen Raum in zwei Teilräume, nämlich einen Grauraum und einen Reinraum, zu unterteilen. In a preferred embodiment of the cleaning device the door devices in two opposite side walls the cleaning chamber arranged so that the cleaning device in is particularly suitable by arrangement in any Space this space into two subspaces, namely a gray room and to divide a clean room.

In jedem Fall erweist sich die Verwendung der Reinigungsvorrichtung als zumindest ein Teil einer zwischen einem Grauraum und einem Reinraum angeordneten Trennwand als vorteilhaft, da somit gleichzeitig auch der bauliche Aufwand zur Errichtung oder Definition eines Reinraums entsprechend reduziert wird.In any case, the use of the cleaning device proves to be at least part of one between a gray room and a clean room arranged partition as advantageous, since at the same time construction effort for the establishment or definition of a clean room accordingly is reduced.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Reinigung kontaminierter Bauelemente oder Baugruppen vor einer nachfolgenden Montage oder Weiterverarbeitung weist die Merkmale des Anspruchs 6 auf.The inventive method for cleaning contaminated components or assemblies before subsequent assembly or further processing has the features of claim 6.

Erfindungsgemäß erfolgt zunächst eine Bereitstellung der kontaminierten Bauelemente oder Baugruppen im Grauraum. Anschließend erfolgt die Übergabe der Bauelemente oder Baugruppen in eine zu einem Reinraum hin verschlossene Reinigungsvorrichtung. Während der Reinigung der Bauelemente oder Baugruppen wird die Reinigungsvorrichtung sowohl zum Grauraum als auch zum Reinraum hin verschlossen gehalten. Schließlich erfolgt die Entnahme der gereinigten Bauelemente oder Baugruppen vom Reinraum her, während die Reinigungsvorrichtung zum Grauraum hin verschlossen ist.According to the invention, the contaminated is first made available Components or assemblies in the gray room. Then the Transfer of the components or assemblies to a clean room closed cleaning device. While cleaning the Components or assemblies are both the cleaning device kept closed to the gray room as well as to the clean room. Finally, the cleaned components or are removed Assemblies from the clean room, while the cleaning device for Gray room is closed.

Als besonders vorteilhaft erweist es sich, die Reinigung der kontaminierten Bauelemente oder Baugruppen in der Reinigungsvorrichtung unter Verwendung einer auf die zu reinigenden Teile aufgebrachten Reinigungsflüssigkeit durchzuführen. Dabei kann die Reinigungsflüssigkeit gleichzeitig zum Abtransport der Verunreinigungen von den Teilen verwendet werden.It has proven particularly advantageous to clean the contaminated Components or assemblies in the cleaning device below Use a cleaning liquid applied to the parts to be cleaned perform. The cleaning liquid at the same time as the contaminants are removed from the parts be used.

Wenn darüber hinaus die Reinigungsflüssigkeit innerhalb eines geschlossenen Systems in der Reinigungsvorrichtung in einem Reinigungskreis gefördert und wieder aufbereitet wird, ergibt sich der besondere Vorteil, dass auch über die Reinigungsflüssigkeit kein Kontakt zur Umgebung der Reinigungsvorrichtung besteht, so dass auch die Reinigungsflüssigkeit als Träger von aus der Umgebung stammenden Kontaminationen ausscheidet. Diese vorteilhafte Verfahrensvariante kann unabhängig davon durchgeführt werden, ob die Reinigungsflüssigkeit im Wege einer Spritzoder Sprühreinigung auf die Oberfläche der zu reinigenden Teile aufgebracht wird oder die Reinigungsflüssigkeit als Energieübertragungsmedium, wie beispielsweise für Ultraschallschwingungen, genutzt wird. Als besonders vorteilhaft hinsichtlich einer raschen Trocknung der Oberflächen der zu reinigenden Teile hat sich herausgestellt, wenn eine Reinigungskammer der Reinigungsvorrichtung nachfolgend einer Nassreinigungsphase unter Verwendung von Reinigungsflüssigkeit in einer Trocknungsphase mit einem Vakuum beaufschlagt wird. Durch das Vakuum sind im Vergleich zu Umgebungsbedingungen niedrigere Trocknungstemperaturen möglich, so dass auch besonders temperaturempfindliche Bauelemente oder Baugruppen, wie beispielsweise Halbleiter oder Halbleiterbaugruppen, effektiv getrocknet werden können, ohne Gefahr einer überhöhten Temperaturbelastung für die Bauelemente oder Baugruppen.If, in addition, the cleaning fluid is inside a closed System in the cleaning device in a cleaning circuit is promoted and reprocessed, there is the special advantage that there is no contact with the environment of the cleaning fluid Cleaning device exists, so that the cleaning liquid as carrier of contaminants originating from the environment. This advantageous method variant can be used independently be carried out whether the cleaning liquid by spray or Spray cleaning applied to the surface of the parts to be cleaned or the cleaning liquid as an energy transfer medium, such as for ultrasonic vibrations. As particularly advantageous with regard to rapid drying of the surfaces The parts to be cleaned have been found to have a cleaning chamber the cleaning device following a wet cleaning phase using cleaning fluid in a drying phase is subjected to a vacuum. Through the vacuum are lower drying temperatures compared to ambient conditions possible, so that also particularly temperature sensitive Components or assemblies, such as semiconductors or semiconductor assemblies, can be dried effectively without the risk of excessive temperature load for the components or assemblies.

Gemäß einer vorteilhaften Verfahrensvariante erfolgt nachfolgend der Nassreinigungsphase oder nachfolgend der vorbeschriebenen Vakuum-Trocknungsphase eine Spülung einer Reinigungskammer mit einem Trocknungsmedium. Hierbei sorgt das Trockungsmedium einerseits für eine Wärmeübertragung zwischen einer Wärmequelle der Reinigungskammer und den zu trocknenden Teilen sowie andererseits zum Abtransport der von der Oberfläche der zu trocknenden Teile ins Trocknungsmedium übernommenen Feuchte. Als besonders vorteilhaft hat sich hierbei die Verwendung von Stickstoff als Trocknungsmedium herausgestellt.According to an advantageous method variant, the following is carried out Wet cleaning phase or following the vacuum drying phase described above rinsing a cleaning chamber with a Drying medium. Here, the drying medium ensures on the one hand heat transfer between a heat source of the cleaning chamber and the parts to be dried and on the other hand for removal from the surface of the parts to be dried into the drying medium assumed moisture. It has been found to be particularly advantageous highlighted the use of nitrogen as a drying medium.

Als weiterhin vorteilhaft sowohl für den Reinigungs- als auch den Trocknungsprozess hat sich eine Bewegung der Bauelemente oder Baugruppen während der Reinigung oder Trocknung innerhalb der Reinigungskammer erwiesen, derart, dass die Bauelemente oder Baugruppen in der Reinigungskammer auf einem ein- oder mehrachsig bewegbaren Teileträger angeordnet sind. Bei diesem Teileträger kann es sich beispielsweise um einen Drehteller oder auch um einen Umlaufförderer handeln, der einen definierten Förderweg innerhalb der Reinigungskammer beschreibt. Somit ist es möglich, dass alle in der Reinigungskammer angeordneten Teile während der Reinigungs- oder Trocknungsphase in gleicher Weise exponiert sind.It is also advantageous for both the cleaning and the drying process there has been a movement of components or assemblies during cleaning or drying inside the cleaning chamber proven in such a way that the components or assemblies in the cleaning chamber on a single or multi-axis movable parts carrier are arranged. This parts carrier can be, for example a turntable or a rotary conveyor that one describes the defined conveying path within the cleaning chamber. Consequently it is possible that all parts arranged in the cleaning chamber exposed in the same way during the cleaning or drying phase are.

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele für das Reinigungssystem, die innerhalb des Reinigungssystems zum Einsatz kommende Reinigungsvorrichtung sowie das Reinigungsverfahren anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1: ein Reinigungssystem in schematischer Darstellung;
Fig. 2: ein Ablaufdiagramm zur Erläuterung verschiedener Varianten des Reinigungsverfahrens.

Exemplary embodiments for the cleaning system, the cleaning device used within the cleaning system and the cleaning method are explained in more detail below with reference to the drawings. Show it:

Fig. 1: a cleaning system in a schematic representation;
Fig. 2: a flow chart to explain different variants of the cleaning process.

Fig. 1 zeigt ein Reinigungssystem 10 umfassend einen Grauraum 11, eine Reinigungsvorrichtung 12 und einen Reinraum 13. Im vorliegenden Fall bildet die Reinigungsvorrichtung 12 gleichzeitig eine zwischen dem Grauraum 11 und dem Reinraum 13 ausgebildete Trennwand. Die Reinigungsvorrichtung 12 verfügt über zwei in Seitenwänden 14, 15 vorgesehene Türeinrichtungen 16, 17, die jeweils dem Grauraum 11 bzw. dem Reinraum 13 zugeordnet sind. 1 shows a cleaning system 10 comprising a gray room 11, a cleaning device 12 and a clean room 13. In the present case, the cleaning device 12 simultaneously forms a partition wall formed between the gray room 11 and the clean room 13. The cleaning device 12 has two door devices 16, 17 provided in side walls 14, 15, each of which is assigned to the gray room 11 or the clean room 13.

Die Reinigungsvorrichtung 12 ist im vorliegenden Fall in eine Reinigungskammer 18 und eine durch einen Kammerboden 19 abgeteilte Aggregatkammer 20 aufgeteilt. In der Reinigungskammer 18 befinden sich in dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel ein Teileträger 21, der im vorliegenden Fall auf übereinanderliegend angeordneten Fachböden 22 zu reinigende Teile 23 aufweist. In den Eckbereichen der Reinigungskammer 18 sind jeweils Düsenstöcke 24 mit einer Mehrzahl von Düsen 25 zur Beaufschlagung der Teile 23 mit einer Reinigungsflüssigkeit 26 angeordnet.The cleaning device 12 is in the present case in a cleaning chamber 18 and one divided by a chamber floor 19 Unit chamber 20 divided. Are in the cleaning chamber 18 in the embodiment shown here, a parts carrier 21, the in the present case on shelves 22 arranged one above the other Parts 23 to be cleaned. In the corner areas of the cleaning chamber 18 are each nozzle blocks 24 with a plurality of nozzles 25 for loading the parts 23 with a cleaning liquid 26 arranged.

Wie aus Fig. 1 ferner ersichtlich, sind die vier in den Eckbereichen der Reinigungskammer 18 angeordneten Düsenstöcke 24 über eine Fluidleitung 27 an eine sogenannte Reinigungsflotte 28 angeschlossen, die abweichend von dem in Fig.1 dargestellten Ausführungsbeispiel eine Mehrzahl von Behältern enthaltend unterschiedliche Reinigungsflüssigkeiten umfassen kann. Die Reinigungsflotte 28 sowie eine über eine Fluidleitung 29 mit der Reinigungsflotte 28 verbundene Aufbereitungseinrichtung 30 befindet sich in der durch den Kammerboden 19 von der Reinigungskammer 18 abgeteilten Aggregatkammer 28. Im Kammerboden 19 ist ein Sammelablauf 31 vorgesehen, der eine Rückführung der aus den Düsenstöcken 24 auf die Teile 23 aufgespritzten Reinigungsflüssigkeit 26 über eine Fluidleitung 32 in die Aufbereitungseinrichtung 30 der Nassreinigungseinrichtung 33 zur Wiederaufbereitung der nach einer Reinigung mit Verunreinigungen kontaminierten Reinigungsflüssigkeit in einem Reinigungskreis 47 ermöglicht.As can also be seen from FIG. 1 , the four nozzle sticks 24 arranged in the corner regions of the cleaning chamber 18 are connected via a fluid line 27 to a so-called cleaning liquor 28 which, in contrast to the exemplary embodiment shown in FIG. 1 , can comprise a plurality of containers containing different cleaning liquids . The cleaning liquor 28 as well as a treatment device 30 connected to the cleaning liquor 28 via a fluid line 29 is located in the aggregate chamber 28 which is separated from the cleaning chamber 18 by the chamber bottom 19 the parts 23 sprayed cleaning liquid 26 via a fluid line 32 into the treatment device 30 of the wet cleaning device 33 for reprocessing the cleaning liquid contaminated after cleaning with impurities in a cleaning circuit 47.

Weiterhin befindet sich in der in Fig. 1 dargestellten Reinigungsvorrichtung 12 eine Trocknungseinrichtung 34 ausgebildet, die eine in der Reinigungskammer 18 angeordnete Heizeinrichtung 35 sowie eine über eine Fluidleitung 36 mit einer Ventileinrichtung 37 an die Reinigungskammer 18 angeschlossene Vakuumpumpe 38 umfasst. Die Trocknungseinrichtung 34 umfassend die Heizeinrichtung 35 und die Vakuumpumpe 38 ermöglicht ein erstes Trocknungsverfahren, bei dem nach Durchführung der Nassreinigung mittels der Vakuumpumpe 38 ein Vakuum in der Reinigungskammer 18 erzeugt wird, so dass bereits die Erzeugung einer relativ niedrigen Trocknungstemperatur in der Reinigungskammer mittels der Heizeinrichtung 35 zur Trocknung der gereinigten Teile 23 ausreichend ist.Furthermore, in the cleaning device 12 shown in FIG. 1 there is a drying device 34, which comprises a heating device 35 arranged in the cleaning chamber 18 and a vacuum pump 38 connected to the cleaning chamber 18 via a fluid line 36 with a valve device 37. The drying device 34, comprising the heating device 35 and the vacuum pump 38, enables a first drying method in which, after the wet cleaning has been carried out by means of the vacuum pump 38, a vacuum is generated in the cleaning chamber 18, so that the heating device already generates a relatively low drying temperature in the cleaning chamber 35 is sufficient for drying the cleaned parts 23.

Für den Fall, dass die vorbeschriebene Vakuumtrocknung sich für eine vollständige Trocknung der gereinigten Teile 23 als nicht ausreichend erweisen sollte, umfasst das Trocknungssystem 34 als weitere Einrichtungen einen Umluftventilator 39 sowie einen Tank 40, der über eine mit einer Ventileinrichtung 41 versehene Fluidleitung 42 an die Reinigungskammer 18 angeschlossen ist. Als besonders effektiv hat sich herausgestellt, den Umluftventilator 39 im Inneren der als Wärmetauscher ausgebildeten Heizeinrichtung 35 zu installieren, um, wie durch die Umluftpfeile 43 angedeutet, eine Umluftströmung durch die Heizeinrichtung 35 hindurch und somit eine Umluftförderung in der Reinigungskammer 18 zu ermöglichen.In the event that the vacuum drying described above is for a complete drying of the cleaned parts 23 as insufficient should prove, the drying system 34 includes other facilities a circulating air fan 39 and a tank 40, which has a a fluid line 42 provided with a valve device 41 to the cleaning chamber 18 is connected. It turned out to be particularly effective the circulating air fan 39 inside the one designed as a heat exchanger Install heater 35 to, as by the air recirculation arrows 43, a circulating air flow through the heating device 35 through and thus a circulation of air in the cleaning chamber 18 to enable.

Im Betrieb der Trocknungseinrichtung 34 wird für den Fall einer unzureichenden Vakuumtrocknung nach Erzeugung eines Vakuums in der Reinigungskammer 18 mittels der Vakuumpumpe 38 die Reinigungskammer 18 durch Öffnen der Ventileinrichtung 41 mit einem im Tank 40 bevorrateten Trocknungsmedium 43 geflutet. Anschließend erfolgt mittels des Umluftventilators 39 eine Umwälzung des über die Heizeinrichtung 35 erwärmten Trocknungsmediums 44 in der Reinigungskammer 12 zur Aufnahme von auf den Teilen 23 verbliebener Restfeuchte. Schließlich erfolgt mittels der Vakuumpumpe 38 eine Absaugung des Trocknungsmediums 44 zusammen mit der darin aufgenommenen Restfeuchte aus der Reinigungskammer 18. Dabei erfolgt sowohl die Evakuierung der Reinigungskammer 18 als auch die Absaugung des Trocknungsmediums 44 aus der Reinigungskammer 18 über eine Entlüftungsöffnung 45 in den Grauraum 11 hinein. Eine anschließende Belüftung der Reinigungskammer 18, um nachfolgend der Reinigung und Trocknung der in der Reinigungskammer 18 aufgenommenen Teile 23 eine Öffnung der zum Reinraum 13 hingewandten Türeinrichtung 17 zu ermöglichen, erfolgt über eine in der Seitenwand 15 zum Reinraum 13 hin vorgesehene Belüftungsöffnung 46.In the operation of the drying device 34 is in the case of an insufficient Vacuum drying after creating a vacuum in the cleaning chamber 18 the cleaning chamber 18 by means of the vacuum pump 38 by opening the valve device 41 with one stored in the tank 40 Drying medium 43 flooded. Then takes place using the Recirculation fan 39 circulates through the heating device 35 heated drying medium 44 in the cleaning chamber 12 for Absorption of residual moisture remaining on parts 23. Finally the drying medium is suctioned off by means of the vacuum pump 38 44 together with the residual moisture from the Cleaning chamber 18. The cleaning chamber is both evacuated 18 as well as the suction of the drying medium 44 the cleaning chamber 18 via a ventilation opening 45 into the gray room 11 in. Subsequent ventilation of the cleaning chamber 18, to subsequent cleaning and drying the in the cleaning chamber 18 accommodated parts 23 an opening of the clean room 13 To enable facing door device 17 is carried out in the Side wall 15 to the clean room 13 provided ventilation opening 46.

Fig. 2 zeigt in schematischer Darstellung den grundsätzlichen Ablauf des Verfahrens, bei dem zunächst vom Grauraum 11 her eine Eingabe der zu reinigenden Teile 23 in die Reinigungskammer 18 erfolgt. Dazu wird entsprechend der Darstellung in Fig. 1 die Türeinrichtung 16 auf der Seite des Grauraums 11 geöffnet und die Türeinrichtung 17 auf der Seite des Reinraums 13 geschlossen gehalten. 2 shows a schematic representation of the basic sequence of the method, in which the parts 23 to be cleaned are first entered into the cleaning chamber 18 from the gray space 11. 1, the door device 16 on the side of the gray room 11 is opened and the door device 17 on the side of the clean room 13 is kept closed.

Anschließend wird die Türeinrichtung 16 verschlossen, so dass in der sowohl zum Grauraum 11 als auch zum Reinraum 13 hin verschlossenen Reinigungskammer 18 die Nassreinigung erfolgt. Neben der unter Bezugnahme auf der in Fig. 1 beschriebenen Variante der Nassreinigung mittels einer Spritz- oder Sprühreinigung durch Beaufschlagung der zu reinigenden Teile 23 mittels aus Düsenstöcken 24 aufgebrachter Reinigungsflüssigkeit 26 ist es auch möglich, die Reinigungskammer 18 mit einer Reinigungsflüssigkeit zu fluten und die Reinigungsflüssigkeit als Energieübertragungsmedium bei Beaufschlagung der Reinigungsflüssigkeit mit Ultraschall zu nutzen. In diesem Fall kann die Reinigungsflüssigkeit darüber hinaus zum Abtransport der durch die Ultraschallwirkung von der Oberfläche der zu reinigenden Teile abgelösten Verunreinigungen verwendet werden.The door device 16 is then closed, so that wet cleaning takes place in the cleaning chamber 18, which is closed both towards the gray room 11 and towards the clean room 13. In addition to the variant of wet cleaning by means of spray or spray cleaning by applying the parts 23 to be cleaned by means of cleaning liquid 26 applied from nozzle sticks 24, it is also possible to flood the cleaning chamber 18 with a cleaning liquid and the cleaning liquid with reference to the variant described in FIG. 1 to be used as an energy transfer medium when the cleaning liquid is subjected to ultrasound. In this case, the cleaning liquid can also be used to remove the contaminants detached from the surface of the parts to be cleaned by the ultrasound effect.

Weiterhin besteht auch die Möglichkeit, die zu reinigenden Teile nicht nur durch Energie, sondern auch durch Masse, also beispielsweise mit Plasma, zu beaufschlagen, um Reinigungseffekte zu erzielen.There is also the option of not cleaning the parts only through energy, but also through mass, for example with Plasma to be applied to achieve cleaning effects.

Schließlich erfolgt die Trocknung der gereinigten Teile 23, wobei grundsätzlich die unter Bezugnahme auf Fig. 1 beschriebene Vakuumtrocknung sowie die ebenfalls unter Bezugnahme auf Fig. 1 beschriebene Umlufttrocknung alternativ oder kombiniert zum Einsatz kommen können.Finally, the cleaned parts 23 are dried, whereby in principle the vacuum drying described with reference to FIG. 1 and the circulating air drying also described with reference to FIG. 1 can be used alternatively or in combination.

Claims

Reinigungssystem zur Reinigung kontaminierter Bauelemente oder Baugruppen vor einer nachfolgenden Montage oder Weiterverarbeitung umfassend einen Grauraum zur Bereitstellung der kontaminierten Bauelemente oder Baugruppen, eine Reinigungsvorrichtung und einen Reinraum zur Montage und Weiterverarbeitung der gereinigten Bauelemente oder Baugruppen,
dadurch gekennzeichnet, dass die Reinigungsvorrichtung (12) den Reinraum (13) vom Grauraum (11) trennt und sowohl vom Grauraum als auch vom Reinraum zugänglich ist.Cleaning system for cleaning contaminated components or assemblies prior to subsequent assembly or further processing comprising a gray room for providing the contaminated components or assemblies, a cleaning device and a clean room for assembling and processing the cleaned components or assemblies,
characterized in that the cleaning device (12) separates the clean room (13) from the gray room (11) and is accessible both from the gray room and from the clean room.

Reinigungssystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass die Reinigungsvorrichtung (12) zumindest einen Teil einer Trennwand zwischen dem Grauraum (11) und dem Reinraum (13) bildet und jeweils eine dem Grauraum und dem Reinraum zugewandte Türeinrichtung (16, 17) aufweist. Cleaning system according to claim 1,
characterized in that the cleaning device (12) forms at least part of a partition between the gray room (11) and the clean room (13) and each has a door device (16, 17) facing the gray room and the clean room.

Reinigungsvorrichtung, insbesondere zur Verwendung in einem Reinigungssystem nach Anspruch 1 oder 2,
gekennzeichnet durch
eine Reinigungskammer (18), die zumindest zwei unabhängig voneinander betätigbare Türeinrichtungen (16, 17) aufweist.Cleaning device, in particular for use in a cleaning system according to claim 1 or 2,
marked by
a cleaning chamber (18) which has at least two door devices (16, 17) which can be actuated independently of one another.

Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, dass die Türeinrichtungen (16, 17) in zwei einander gegenüberliegenden Seitenwänden (14, 15) der Reinigungskammer (18) angeordnet sind.Cleaning device according to claim 3,
characterized in that the door devices (16, 17) are arranged in two opposite side walls (14, 15) of the cleaning chamber (18).

Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 3 oder 4,
dadurch gekennzeichnet, dass die Reinigungsvorrichtung (12) zumindest einen Teil einer zwischen einem Grauraum (11) und einem Reinraum (13) angeordneten Trennwand bildet.Cleaning device according to claim 3 or 4,
characterized in that the cleaning device (12) forms at least part of a partition arranged between a gray room (11) and a clean room (13).

Verfahren zur Reinigung kontaminierter Bauelemente oder Baugruppen vor einer nachfolgenden Montage oder Weiterverarbeitung umfassend die Verfahrensschritte:

Bereitstellung kontaminierter Bauelemente oder Baugruppen (23) in einem Grauraum (11);

Übergabe der Bauelemente oder Baugruppen (23) in eine zu einem Reinraum (13) hin verschlossene Reinigungsvorrichtung (12);

Reinigung der Bauelemente oder Baugruppen (23) in der sowohl zum Grauraum (11) als auch zum Reinraum (13) hin verschlossenen Reinigungsvorrichtung (12);

Entnahme der gereinigten Bauelemente oder Baugruppen (23) aus der zum Grauraum (11) hin verschlossenen Reinigungsvorrichtung (12) in den Reinraum (13).

Process for cleaning contaminated components or assemblies before subsequent assembly or further processing comprising the process steps:

Provision of contaminated components or assemblies (23) in a gray room (11);

Transfer of the components or assemblies (23) into a cleaning device (12) closed to a clean room (13);

Cleaning the components or assemblies (23) in the cleaning device (12) which is closed both towards the gray room (11) and towards the clean room (13);

Removal of the cleaned components or assemblies (23) from the cleaning device (12) closed to the gray room (11) into the clean room (13).

Verfahren nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, dass die Reinigung der kontaminierten Bauelemente oder Baugruppen in der Reinigungsvorrichtung (12) unter Verwendung einer auf den zu reinigenden Teilen (23) aufgebrachten Reinigungsflüssigkeit (26) erfolgt.Method according to claim 6,
characterized in that the contaminated components or assemblies are cleaned in the cleaning device (12) using a cleaning liquid (26) applied to the parts to be cleaned (23).

Verfahren nach Anspruch 7,
dadurch gekennnzeichnet,
dass die Reinigungsflüssigkeit (26) innerhalb eines geschlossenen Systems in der Reinigungsvorrichtung (12) in einem Reinigungskreis (47) gefördert und wiederaufbereitet wird.Method according to claim 7,
characterized by
that the cleaning liquid (26) is conveyed and reprocessed within a closed system in the cleaning device (12) in a cleaning circuit (47).

Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 6 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, dass eine Reinigungskammer (18) der Reinigungsvorrichtung (12) nachfolgend einer Nassreinigungsphase unter Verwendung der Reinigungsflüssigkeit (26) in einer Trocknungsphase mit einem Vakuum beaufschlagt wird.Method according to one or more of claims 6 to 8,
characterized in that a cleaning chamber (18) of the cleaning device (12) is subjected to a vacuum following a wet cleaning phase using the cleaning liquid (26) in a drying phase.

Verfahren nach Anspruch 8 oder 9,
dadurch gekennzeichnet, dass eine Reinigungskammer (18) der Reinigungsvorrichtung (12) nachfolgend der Naßreinigungsphase oder nachfolgend der Vakuum-Trocknungsphase mit einem Trocknungsmedium (44) gespült wird.Method according to claim 8 or 9,
characterized in that a cleaning chamber (18) of the cleaning device (12) is rinsed with a drying medium (44) following the wet cleaning phase or subsequently the vacuum drying phase.

Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 6 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, dass die zu reinigenden Bauelemente oder Baugruppen (23) während der Reinigung auf einem ein- oder mehrachsig bewegbaren Teileträger (21) innerhalb der Reinigungskammer (18) bewegt werden.Method according to one or more of claims 6 to 10,
characterized in that the components or assemblies (23) to be cleaned are moved during cleaning on a single or multi-axis movable parts carrier (21) within the cleaning chamber (18).