EP0946781A1 - Vacuum treatment equipment - Google Patents

Abstract

In order to utilise in an optimal manner the wall of a vacuum container with openings (3) for flanging surface treatment stations, conductors (62) are incorporated into the wall material along surface lines of the wall cylinder and these conductors (62) are connected by connecting pipes (64) to the adjacent openings (3) for the treatment chambers.

Description

VakuumbehandlungsanlageVacuum treatment plant

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumbehandlungsanlage nach dem Oberbegriff von Anspruch 1.The present invention relates to a vacuum treatment plant according to the preamble of claim 1.

Die vorliegende Erfindung, gemäss Oberbegriff von Anspruch 1, geht von der Kenntnis aus, dass eine ohnehin vorzusehende Aussengehäusewand bekannter Anlagen schlecht ausgenützt ist und deshalb viele Zuführleitungen, wie insbesondere Pumpenanschlüsse zu den jeweils vorgesehenen Bearbeitungsstationen separat zu führen sind, was trotz kompakter Anlagebauweise um diese herum ein Wirrwarr unzähliger Anschlussleitungen ergibt, teilweise mit ungenau definierten Leitwerten. Es stellt sich die vorliegende Erfindung zur Aufgabe, eine gemäss Oberbegriff von Anspruch 1 aufgebaute Anlage weiter kompakter aufzubauen, was durch deren Ausbildung nach dem Kennzeichen von Anspruch 1 erreicht wird. Dadurch, dass in die Wandung des Aussengehäuses achsparallele Bohrungen zwischen den Öffnungen vorgesehen sind, jeweils mit einem Anschluss nach aus- sen zum Anschliessen eines externen Aggregates sowie mit je mindestens einem weiteren Anschluss im die die angrenzenden Öffnungen definierenden Wandungsbereiche des Aussengehäuses, wird erreicht, dass an der Anlage kürzestmögliche Leitungen mit hohen, klar definierten Leitwerten, insbesondere als Vakuumleitungen realisiert werden. Sie werden insbesondere als Pumpanschlüsse zu Pumpen direkt und mehrfach genutzt, ebenso für gegebenenfalls vorgesehene Gasanschlüsse. Sie wirken weiter als Verteilsysteme direkt in die erwähnte Wandung integriert .The present invention, based on the preamble of claim 1, is based on the knowledge that an external housing wall to be provided in any case is poorly used and therefore many supply lines, such as pump connections in particular, have to be routed separately to the processing stations provided in each case, which despite the compact system design means that these are used a jumble of innumerable connecting cables results, some with inaccurately defined guide values. It is the object of the present invention to further build a system constructed according to the preamble of claim 1, which is achieved by its design according to the characterizing part of claim 1. The fact that axially parallel bores are provided between the openings in the wall of the outer housing, each with a connection to the outside for connecting an external unit and with at least one further connection in each case in the wall regions of the outer housing defining the adjacent openings, is achieved in that the shortest possible lines with high, clearly defined conductance values, in particular as vacuum lines. In particular, they are used directly and repeatedly as pump connections to pumps, as well as for gas connections that may be provided. They continue to act as distribution systems integrated directly into the wall mentioned.

Bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemässen Behandlungsanlage zeichnen sich gemäss Wortlaut der abhängigen Ansprüche 2 bis 7 aus; bevorzugte Verwendungen nach den Ansprüchen 8 bis 10. Die Erfindung wird anschliessend beispielsweise anhand von Figuren erläutert. Es zeigen:Preferred embodiments of the treatment plant according to the invention are distinguished according to the wording of the dependent claims 2 to 7; preferred uses according to claims 8 to 10. The invention is subsequently explained using figures, for example. Show it:

Fig. 1 schematisch eine erfindungsgemasse Anlage unter dem ersten Aspekt;Fig. 1 shows schematically a system according to the invention under the first aspect;

Fig. 2 ausgehend von der Darstellung gemäss Fig. 1 eine bevorzugte fluid- , vorzugsweise pneumatisch oder hydraulisch getriebene Mitnehmeranordnung anhand einer vergrösserten Ausschnittsdarstellung eines Mitnehmer-Bereiches ;FIG. 2, starting from the illustration according to FIG. 1, a preferred fluid, preferably pneumatically or hydraulically driven driver arrangement on the basis of an enlarged detail of a driver area; FIG.

Fig. 3 schematisch eine Dichtungsanordnung im Öffnungsbereich einer Behandlungskammer unter dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung;3 schematically shows a sealing arrangement in the opening area of a treatment chamber in accordance with the second aspect of the present invention;

Fig. 4 schematisch eine bevorzugte Ausführungsform der Dichtung nach Fig. 3;Fig. 4 schematically shows a preferred embodiment of the seal according to Fig. 3;

Fig. 5 schematisch die Aufsicht auf einen Aussengehäuse- Ausschnitt einer Anlage;Fig. 5 shows schematically the top view of an outer housing section of a system;

Fig. 6 eine Schnittdarstellung durch einen Abschnitt des Anlageaussengehäuses, wie schematisch in Fig. 5 dargestellt und geschnitten entlang der Line I-I;FIG. 6 shows a sectional illustration through a section of the system outer housing, as shown schematically in FIG. 5 and cut along the line I-I;

Fig. 7 einen Querschnittsausschnitt durch eine bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemässen Anlage in vereinfachter Darstellung;7 shows a cross section through a preferred embodiment of a system according to the invention in a simplified representation;

Fig. 8 eine Längsschnittdarstellung durch einen Teil einer erfindungsgemässen Anlage in bevorzugter Ausführungsform; Fig. 9 eine Querschnittsdarstellung durch einen Teil einer erfindungsgemässen Anlage gemäss Fig. 8 in einer weiteren bevorzugten Ausführungsform.8 shows a longitudinal sectional view through part of a system according to the invention in a preferred embodiment; FIG. 9 shows a cross-sectional view through part of a system according to the invention according to FIG. 8 in a further preferred embodiment.

In Fig. 1 ist, rein schematisch, eine Anlage dargestellt grundsätzlich der in der EP-A-0 136 562 vorbekannten Art, aber gemäss dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung weitergebildet .1 shows, purely schematically, an installation basically of the type previously known in EP-A-0 136 562, but developed according to the first aspect of the present invention.

An einem im wesentlichen um eine Achse A zylindrisch ausgebildeten Aussengehäuse 1 sind entlang mindestens eines, wie dargestellt entlang zweier Grosskreise K, Öffnungen 3 zum Durchtransport oder zur Behandlung von Werkstücken 5 vorgesehen. An den Öffnungen 3 sind Behandlungskammern angeordnet, worunter generell Beschichtungs- , Ätz-, Kühl-, Heiz-, Transport- oder Schleusenkammern verstanden seien, dabei vorzugsweise mindestens eine Oberflächenbehandlungskammer, vorzugsweise Plasma-Oberflächenbehandlungskammer, dabei weiter vorzugsweise Zerstäubungskammer, insbesondere mit einer Magnetronquelle .On an outer housing 1, which is essentially cylindrical about an axis A, openings 3 are provided along at least one, as shown along two large circles K, for the transport through or for the treatment of workpieces 5. Treatment chambers are arranged at the openings 3, which generally include coating, etching, cooling, heating, transport or lock chambers, preferably at least one surface treatment chamber, preferably plasma surface treatment chamber, more preferably atomization chamber, in particular with a magnetron source.

Gemeinsam mit der Innenwand des Aussengehäuses 1 bildet die Aussenwand eines Innengehäuses 7, ebenfalls im wesentlichen bezüglich der Achse A zylindrisch, eine ringförmige Transportkammer 9. Darin ist, bezüglich der Achse A drehgetrieben, ein Karussell 11 vorgesehen, woran, entlang der erwähnten Grosskreise K, die Werkstücke 5, dabei bevorzugterweise scheibenförmige Werkstücke, abgelegt und gehaltert sind. Bevorzugterweise handelt es sich um Speicherplatten, wie CD, DVD, HD, insbesondere um wiederbeschreibbare Speicherplatten wie MOD, Phase-Change-Disks und RC (Recordable Disks) . Durch die Drehbewegung des Karussells 11 um die Achse A werden die Werkstücke 5 auf ein oder mehreren Grosskreisen K sukzessive gegenüber Öffnungen 3 der jeweiligen Kammern 14 positioniert. Am Innengehäuse 7 sind erfindungsgemäss, je den Öffnungen 3 gegenüberliegend, Antriebe 16 vorgesehen, mittels welcher Stössel 18 als Mitnehmer radial gegen die Öffnungen 3 hin bewegt bzw. von letzteren zurückgeholt werden. Ob direkt oder indirekt, z.B. über einen (hier nicht dargestellten) Aufnah- meteller, wirken die Stössel 18 auf die entsprechend positionierten Werkstücke 5, und ihr Vorschub bewegt die Werkstücke 5 in gefordertem Masse zu den Öffnungen 3 hin bzw. von letzteren zurück. Jeder der Antriebe 16 kann einerseits, wann immer erwünscht, aktiviert werden, und anderseits kann sein Hub spezifisch so ausgelegt werden, wie es die jeweilige Bearbeitung an der jeweiligen Kammer 14 erfordert. Ist die Kammer 14 beispielsweise eine Schleusenkammer, so kann am entsprechenden Antrieb 16 ein etwas grösserer Hub erforderlich sein als an andern Kammern, um eine höheren Anforderungen genügende Abdichtung im Öffnungsbereich 3 zu erzielen.Together with the inner wall of the outer housing 1, the outer wall of an inner housing 7, likewise essentially cylindrical with respect to the axis A, forms an annular transport chamber 9. In this case, a carousel 11 is provided, rotatably driven with respect to the axis A, on which, along the large circles K mentioned, the workpieces 5, preferably disk-shaped workpieces, are stored and held. It is preferably storage disks such as CD, DVD, HD, in particular rewritable storage disks such as MOD, phase change disks and RC (recordable disks). By rotating the carousel 11 about the axis A, the workpieces 5 are successively positioned on one or more large circles K with respect to openings 3 of the respective chambers 14. According to the invention, drives 16 are provided on the inner housing 7, opposite each of the openings 3, by means of which plungers 18, as drivers, are moved radially against the openings 3 or retrieved from the latter. The rams 18 act on the correspondingly positioned workpieces 5, whether directly or indirectly, for example via a receiving plate (not shown here), and their advance moves the workpieces 5 to the openings 3 or back from the latter to the required extent. On the one hand, each of the drives 16 can be activated whenever desired, and on the other hand its stroke can be specifically designed in such a way that the respective processing on the respective chamber 14 requires it. If the chamber 14 is, for example, a lock chamber, a somewhat larger stroke may be required on the corresponding drive 16 than on other chambers in order to achieve a seal in the opening area 3 which satisfies higher requirements.

Wie aus Fig. 1 somit ersichtlich, wird jeder der vorgesehenen Stössel mit einem eigenen Antrieb 16 versehen. In Fig. 1 werden Werkstücke vom Karussell an zwei Grosskreisen K jeweils zugeordneten Kammern 14 zugeführt, wobei in den meisten Fällen Kammern 14 nur entlang einem Grosskreis K vorgesehen werden mit entsprechender Auslegung von Karussell 11 und Antrieben 16.As can be seen from FIG. 1, each of the provided plungers is provided with its own drive 16. In FIG. 1, workpieces are fed from the carousel to two chambers 14 each assigned to large circles K, in most cases chambers 14 being provided only along a large circle K with a corresponding design of carousel 11 and drives 16.

Es ist durchaus möglich, an der Kammer gemäss Fig. 1 wohl Behandlungskammern 14 entlang mehrerer Grosskreise K vorzusehen, das Karussell 11 aber nur so auszulegen, dass Werkstücke 5 entlang eines einzigen Grosskreises K angeordnet werden, dann aber das Karussell 11 auch axial, d.h. in Richtung der Achse A auf- und abzuverschieben, um beispielsweise die Werkstücke erst an den Behandlungskammern 14 am einen Grosskreis K, dann an den Behandlungskammern 14 entlang eines zweiten Grosskreises K vorbeizuführen. Die Antriebe 16 gemäss Fig. 1 können magnetisch, elektromotorisch fluidgetrieben, dabei pneumatisch oder hydraulisch sein, vorzugsweise pneumatisch.It is entirely possible to provide treatment chambers 14 along several large circles K on the chamber according to FIG. 1, but to design the carousel 11 only in such a way that workpieces 5 are arranged along a single large circle K, but then the carousel 11 also axially, ie in Move up and down in the direction of the axis A, for example in order to first pass the workpieces past the treatment chambers 14 along a large circle K, then past the treatment chambers 14 along a second large circle K. The drives 16 according to FIG. 1 can be magnetically, electromotively fluid-driven, in this case pneumatic or hydraulic, preferably pneumatic.

Eine bevorzugte Ausführungsform eines derartigen Antriebes 16 ist schematisch in Fig. 2 dargestellt. Es muss betont werden, dass ein derartiger Antrieb, d.h. generell eine solche fluid- gesteuerte, insbesondere pneumatische oder hydraulische Dichtungssteuerung auch an andersgearteten Vakuumbehandlungsanlagen als der in Fig. 1 gezeigten eingesetzt werden kann, nämlich überall dort, wo angestrebt wird, ein Werkstück der Öffnung einer Behandlungskammer zuzuführen, dabei letztere in erforderlichem Ausmass abzudichten.A preferred embodiment of such a drive 16 is shown schematically in FIG. 2. It must be emphasized that such a drive, i.e. Generally, such a fluid-controlled, in particular pneumatic or hydraulic, seal control can also be used in vacuum treatment systems of a different type than that shown in FIG. 1, namely wherever the aim is to supply a workpiece to the opening of a treatment chamber, thereby sealing the latter to the required extent.

Ein pneumatischer Antrieb wird aus vakuumtechnischen Gründen bevorzugt .A pneumatic drive is preferred for vacuum reasons.

An einer Wand, vorzugsweise einer stationären Gehäusewand 7a, welche einseitig einen Transportraum 9a definiert oder gegebenenfalls an einem ebenfalls beweglichen, nicht weiter dargestellten Transportorgan, beispielsweise für die Bedienung mehrerer Behandlungskammeröffnungen 3a, ist ein dichter Balg 20 vorgesehen, vorzugsweise mit einer Stabilisierungspartie 22 oder einer Eingriffspartie, wie gestrichelt bei 23 dargestellt .A sealed bellows 20 is provided on a wall, preferably a stationary housing wall 7a, which defines a transport space 9a on one side or, if appropriate, on a likewise movable transport element (not shown), for example for operating a plurality of treatment chamber openings 3a, preferably with a stabilizing section 22 or one Intervention part, as shown in dashed lines at 23.

Durch Druckbeaufschlagung des Balgvolumens und dessen Expansion wird das Werkstück 5 von einer Transportanordnung 11a, wie vom Karussell 11 von Fig. 1, gegen die Öffnung 3a angehoben und damit in erforderlichem Masse ein Abdichten des Prozessraumes der Behandlungskammer 14 von der Transportkammer 9a erzielt. Durch Druckentlastung, beispielsweise mittels eines Auslassventils 25 vom Balgraum, wird der gegebenenfalls federgespannte Balg mit dem Werkstück 5 rückgeholt . Damit wird eine fluid-, insbesondere pneumatisch oder hydraulisch betätigbare bzw. steuerbare Dichtungsanordnung im Öffnungsbereich 3a der Behandlungskammer 14 realisiert.By pressurizing the bellows volume and expanding it, the workpiece 5 is raised against the opening 3a by a transport arrangement 11a, such as from the carousel 11 of FIG. 1, and thus the process chamber of the treatment chamber 14 is sealed to the required extent by the transport chamber 9a. By relieving pressure, for example by means of an outlet valve 25 from the bellows chamber, the bellows, which may be spring-loaded, is retrieved with the workpiece 5. In order to a fluid, in particular pneumatically or hydraulically actuated or controllable sealing arrangement is realized in the opening area 3a of the treatment chamber 14.

Mit Blick auf Fig. 1 ist ohne weiteres erkenntlich, dass durch Ausbildung der Antriebe 16 von Fig. 1, wie in Fig. 2 schematisch dargestellt, sich eine extrem geringe Baugrösse ergibt, und dass, weiterhin mit Blick auf Fig. 1, die Anordnung der Antriebe nach Fig. 2 modular am Innenzylinder 7, ermöglicht diesen kleinstmöglich auszubilden, weil praktisch im Innenzylinder 7 keine Hublängen aufzunehmen sind.With reference to FIG. 1, it is readily apparent that the design of the drives 16 of FIG. 1, as shown schematically in FIG. 2, results in an extremely small size, and that, still with reference to FIG. 1, the arrangement 2 modularly on the inner cylinder 7, enables this to be designed as small as possible because practically no stroke lengths can be accommodated in the inner cylinder 7.

In Fig. 3 ist eine weitere Ausführungsvariante einer hydraulisch, insbesondere pneumatisch oder hydraulisch, vorzugsweise pneumatisch gesteuerten Dichtungsanordnung schematisch dargestellt. Um den Öffnungsbereich 3b einer Behandlungskammer 14 ist ein elastischer Schlauch 30 oder ein elastischer Balg angeordnet und wird, wie mit p dargestellt, gesteuert druckbeaufschlagt. Dabei dehnt sich der Schlauch 30 im Rahmen seiner Eigenelastizität aus und legt sich dichtend an die Transportanordnung 11b für das Werkstück 5 oder, falls dies zulässig ist, direkt an das Werkstück 5 (nicht dargestellt) an. Dabei muss das Werkstück 5 bezüglich der Transportanordnung 11b nicht in Richtung der Öffnung 3b bzw. von ihr weg verschoben werden.3 schematically shows a further embodiment variant of a hydraulically, in particular pneumatically or hydraulically, preferably pneumatically controlled sealing arrangement. An elastic hose 30 or an elastic bellows is arranged around the opening area 3b of a treatment chamber 14 and, as shown by p, is pressurized in a controlled manner. The hose 30 expands within the scope of its inherent elasticity and lies sealingly against the transport arrangement 11b for the workpiece 5 or, if this is permissible, directly against the workpiece 5 (not shown). The workpiece 5 does not have to be displaced with respect to the transport arrangement 11b in the direction of the opening 3b or away from it.

Anstelle der wie in Fig. 3 dargestellten Schlauch- bzw. Balganordnung 30 kann die schematisch in Fig. 4 dargestellte Anordnung treten, bei der anstelle des Balges bzw. Schlauches 30 ein metallischer Balg 31 tritt, der gegebenenfalls mit einem Elastomer beschichtet ist. Der gegebenenfalls Elasto- mer-aussenbeschichtete metallische Balg 31 wird bei seiner, wie mit p wiederum schematisch dargestellt, erfolgenden Druckbeaufschlagung, bevorzugterweise auf eine O-Ring-Anord- nung 32 gepresst. Die in Fig. 4 dargestellte gesteuerte Dichtungsanordnung erlaubt es, höheren Temperaturbelastungen ausgesetzt zu werden, als die in Fig. 3 dargestellte, indem die Elastizitätswerte der Metallmembrane bzw. des Metallbalges 31 in wesentlich weiteren Temperaturbereichen im wesentlichen konstant bleiben, verglichen mit denjenigen elastischer Schläuche bzw. Bälge 30 aus einem Kunststoff. Damit wird die Anordnung gemäss Fig. 4 vornehmlich in thermisch höher belasteten Bereichen eingesetzt.Instead of the hose or bellows arrangement 30 as shown in FIG. 3, the arrangement shown schematically in FIG. 4 can take the place of the bellows or hose 30, which is replaced by a metallic bellows 31, which is optionally coated with an elastomer. The metallic bellows 31, optionally coated on the outside with elastomer, is preferably subjected to an O-ring arrangement when it is pressurized, as is schematically represented by p. 32 pressed. The controlled sealing arrangement shown in FIG. 4 allows exposure to higher temperature loads than the one shown in FIG. 3 by the elasticity values of the metal membrane or the metal bellows 31 remaining substantially constant in substantially further temperature ranges compared to those of elastic hoses or Bellows 30 made of a plastic. The arrangement according to FIG. 4 is therefore used primarily in areas subjected to higher thermal loads.

In Fig. 5 ist ein Ausschnitt der Aussenwandung bzw. des Aussengehäuses 1 einer erfindungsgemässen Vakuumbehandlungsanlage unter dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung schematisch dargestellt. Sie umfasst Öffnungen 3 für die Montage der vorbeschriebenen Behandlungskammern. Dazwischen sind, in Richtung von Zylindermantellinien, in die Wandung des Gehäuses 60 Leitungen bzw. Bohrungen 62 eingelassen, welche über Anschlüsse 64 je mit benachbarten Wandpartien, welche die Öffnungen 3 bilden, kommunizieren und mit einem weiteren Anschluss 66 von aussen anschliessbar sind. Selbstverständlich sind die Leitungen 62 oben und unten verschlossen bzw. können z.B. mit Gewindebolzen verschlossen werden, oder die Anschlüsse 66 sind direkt oben bzw. unten an die Bohrungen 62 angesetzt.5 schematically shows a section of the outer wall or the outer housing 1 of a vacuum treatment system according to the invention under the third aspect of the present invention. It comprises openings 3 for the assembly of the treatment chambers described above. In between, in the direction of the cylinder jacket lines, in the wall of the housing 60 lines or bores 62 are let in, each communicating via connection 64 with adjacent wall parts which form the openings 3 and can be connected from the outside to a further connection 66. Of course, the lines 62 are closed at the top and bottom or can e.g. be closed with threaded bolts, or the connections 66 are attached directly above or below the holes 62.

Im weiteren können wahlweise auch die Anschlüsse 64, wie schematisch bei 68 dargestellt, wie z.B. mit Schraubbolzen verschlossen werden, so dass eine hohe Flexibilität erreicht wird, mit dem so realisierten Verteilsystem 62, 64, 66, die an den Öffnungen 3 angeschlossenen Behandlungskammern abzupumpen, zu fluten oder gegebenenfalls gaszubeaufschlagen.In addition, the connections 64 can also be selected, as shown schematically at 68, e.g. be closed with screw bolts, so that a high degree of flexibility is achieved, with the distribution system 62, 64, 66 realized in this way, to pump out, to flood or, if necessary, to apply gas to the treatment chambers connected to the openings 3.

Durch die Leitungsanordnung gemäss Fig. 5 werden hohe Leitungsleitwerte erreicht, indem nur sehr kurze Distanzen bei grösstmöglichen Leitungsquerschnitten zwischen externen Anschlüssen und für Behandlungskammern vorgesehene Öffnungen 3 realisiert werden können.5, high line conductance values are achieved by using only very short distances Largest possible line cross sections between external connections and openings 3 provided for treatment chambers can be realized.

In Fig. 6 ist eine Schnittdarstellung gemäss Linie I-I von Fig. 5 an einer bevorzugten Ausführungsform des Aussengehäuses 1 dargestellt. Es sind dieselben Bezugszeichen wie in Fig. 5 verwendet. In der dargestellten Realisation sind die Anschlüsse 66 direkt stirnseitig der Leitungen 62 vorgesehen. Die Leitungen 62 gehen durch die Ausdehnung des Aussengehäu- sewand 1 wie bei (a) dargestellt hindurch oder sind wie bei (b) dargestellt als Sachbohrungen ausgebildet oder gegebenenfalls mit einem z.B. einschraubbaren Trennbolzen 63 trennbar. Direkt auf die Anschlüsse 66 werden Aggregate, vorzugsweise Turbovakuumpumpen 67 aufgeflanscht bzw. Abschlussdeckel 68. Wie ersichtlich, ergibt diese Konfiguration eine sehr hohe Flexibilität, externe Aggregate, insbesondere die erwähnten Turbovakuumpumpen 67 aber auch Ventile und/oder weiter Pumpen anzuschliessen.FIG. 6 shows a sectional illustration along line I-I of FIG. 5 on a preferred embodiment of the outer housing 1. The same reference numerals are used as in FIG. 5. In the implementation shown, the connections 66 are provided directly on the front side of the lines 62. The lines 62 pass through the extension of the outer housing wall 1 as shown in (a) or are designed as material bores as shown in (b) or, if necessary, with a e.g. screw-in separating pin 63 separable. Units, preferably turbovacuum pumps 67 or end covers 68 are flanged directly onto the connections 66. As can be seen, this configuration gives a very high flexibility to connect external units, in particular the turbovacuum pumps 67 mentioned, but also valves and / or further pumps.

Das Gehäuse 1 ist dabei massiv, vorzugsweise einteilig ausgebildet. Es besteht vorzugsweise aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung .The housing 1 is solid, preferably in one piece. It is preferably made of aluminum or an aluminum alloy.

Auch das Innengehäuse 7 gemäss Fig. 1 wird vorzugsweise aus den erwähnten Metallen und vorzugsweise dabei auch massiv, vorzugsweise einteilig, ausgebildet.The inner housing 7 according to FIG. 1 is also preferably made of the metals mentioned and preferably also solid, preferably in one piece.

In Fig. 7 ist ein Teil eines Querschnittes durch eine heute bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemässen Behandlungsanlage vereinfacht dargestellt, bei welcher die Aspekte7 shows a part of a cross section through a preferred embodiment of a treatment plant according to the invention, in which the aspects

jeder Mitnehmer sein Antrieb pneumatische Dichtungssteuerungeach driver has its drive pneumatic seal control

optimale Wandungsausnützung für Leitungssystemeoptimal wall utilization for pipe systems

realisiert sind. Es werden womöglich und zur Erleichterung des Quervergleichs die bereits eingeführten Bezugszeichen für bereits beschriebene Organe und Aggregate eingesetzt.are realized. The reference symbols already introduced for organs and units already described are possibly used and to facilitate the cross-comparison.

Das Aussengehäuse 1 weist die Öffnungen 3 zur Aufnahme von Bearbeitungsstationen auf, wie einer Beschichtungsstation 14a und einer Schleusenstation 14b. In den Eckbereichen zwischen den Öffnungen 3 sind die Bohrungen 62 in die Wandung des Aussengehäuses 1 eingearbeitet, mit den Anschlüssen 64 zu den jeweils angrenzenden Öffnungen 3. Die Wandungsdicke des Aussengehäuses 1 ist so bemessen, dass von einer Plasmabeschich- tungs- oder Ätzkammer 14a der Prozessraum 70 durch die Aus- sengehäusewand begrenzt ist bzw. der Schleusenraum 72 an einer Schleusenstation 14b mit äusserem Schleusenventil 74. Das Innengehäuse 7 trägt, den Öffnungen 3 gegenüberliegend, in der in Fig. 2 dargestellten Art betätigbare Stösseleinrich- tungen, woran Druckbeaufschlagung eines Balgraumes das Anheben eines Mitnehmers 76 gegen die Rückholkraft einer Zugfeder 78 auslöst. In dem vom Innen- und Aussengehäuse gebildeten, ringförmigen Transportraum 9 ist das Karussell 11 drehbeweglich getrieben angeordnet, mit eingelegten Werkstückträgern 80 für die Werkstückscheiben 5. Durch Anheben der Werkstückträger 80 mittels Aktivieren der pneumatischen Stösselantrie- be 20, 76 wird in dem mit B bezeichneten, eingekreisten, um die Öffnung 3 umlaufenden Bereich in erwünschtem Masse abgedichtet. Wie an der Schleusenstation 14b ersichtlich, bildet dabei der Werkstückträgerteller 80 das innere Schleusenventil.The outer housing 1 has the openings 3 for receiving processing stations, such as a coating station 14a and a lock station 14b. In the corner areas between the openings 3, the bores 62 are machined into the wall of the outer housing 1, with the connections 64 to the respectively adjacent openings 3. The wall thickness of the outer housing 1 is dimensioned such that that of a plasma coating or etching chamber 14a Process space 70 is delimited by the outer housing wall or the lock space 72 at a lock station 14b with an outer lock valve 74. The inner housing 7, opposite the openings 3, carries actuatable tappet devices in the manner shown in FIG the lifting of a driver 76 against the return force of a tension spring 78 triggers. In the annular transport space 9 formed by the inner and outer housing, the carousel 11 is arranged so as to be rotatably driven, with inserted workpiece carriers 80 for the workpiece disks 5. By lifting the workpiece carriers 80 by activating the pneumatic ram drives 20, 76, the one designated by B is shown in FIG , Circled, around the opening 3 surrounding area sealed to the desired extent. As can be seen at the lock station 14b, the workpiece carrier plate 80 forms the inner lock valve.

In Fig. 8 ist detaillierter als in Fig. 7 eine Längsschnitt- Darstellung entlang der Achse A von Fig. 7 und durch eine Behandlungs- insbesondere Beschichtungsstation 14a (selber nicht geschnitten) dargestellt. Wiederum sind womöglich dieselben Bezugszeichen eingesetzt für bereits beschriebene Einrichtungen. Zusätzlich zu den Ausführungen gemäss Fig. 7 wird verwiesen auf die Lagerung 82 des Karussells 11 sowie dessen Antrieb bei 84. Im weiteren sind in dieser Darstellung Rückholfedern 86 deutlich ersichtlich, welche, beispielsweise und bevorzugterweise als Blattfedern ausgebildet, den Werkstückträger 80 bei Entlastung und Rückholung des Balges 20 mit Mitnehmer 76 ebenfalls rückholen.8 is a longitudinal section in more detail than in FIG. Representation along the axis A of FIG. 7 and represented by a treatment and in particular coating station 14a (itself not cut). Again, the same reference numerals may be used for devices already described. In addition to the explanations according to FIG. 7, reference is made to the bearing 82 of the carousel 11 and its drive at 84. Return springs 86 are also clearly shown in this illustration, which, for example and preferably in the form of leaf springs, the workpiece carrier 80 during unloading and retrieval also bring back the bellows 20 with driver 76.

In Fig. 9 ist in einer Schnittdarstellung senkrecht zur Achse A von Fig. 7 eine weitere Ausführungsvariante der bevorzugten Art dargestellt, bei der gemäss Fig. 3 auf die Werkstücke 5 keine radiale Hubbewegung ausgeführt wird. Wiederum sind für bereits vorbeschriebene Einrichtungen dieselben Bezugszeichen eingesetzt. Verwiesen wird hier insbesondere auf die elastischen Dichtungsbälge 30, welche zwischen den Berandungen der Öffnungen 3 und dem Karussell 11 wirken. Wie schon mehrmals erwähnt, können solche umlaufenden Dichtungsbälge 30 oder gemäss Fig. 4 metallischen Dichtungsmembrane 31 durchaus auch auf die Werkstücke 5 direkt wirken, sofern dies bei den betrachteten Werkstücken 5 und der entsprechenden Oberflächenbehandlung zulässig ist.FIG. 9 shows a further embodiment variant of the preferred type in a sectional illustration perpendicular to the axis A of FIG. 7, in which no radial lifting movement is carried out on the workpieces 5 according to FIG. 3. Again, the same reference numerals are used for previously described devices. Reference is made here in particular to the elastic sealing bellows 30, which act between the edges of the openings 3 and the carousel 11. As already mentioned several times, such circumferential sealing bellows 30 or, according to FIG. 4, metallic sealing membrane 31 can also act directly on the workpieces 5, provided this is permissible for the workpieces 5 under consideration and the corresponding surface treatment.

Die dargestellte Anlage kumuliert folgende Vorteile:The system shown accumulates the following advantages:

- Wenig bewegte Teile mit kurzen Bewegungshuben, was die Zuverlässigkeit und Wartungsfreundlichkeit wesentlich erhöht ;- Few moving parts with short movement strokes, which significantly increases reliability and ease of maintenance;

- hohe Wirtschaftlichkeit bei Anlagenherstellung; hohe Durchsätze aufgrund kleiner durch die Werkstücke zurückzulegender Wege und kleiner zu bewegender Massen;- high efficiency in plant manufacturing; high throughputs due to small distances to be covered by the workpieces and smaller masses to be moved;

für Mehrschichtsystem-Aufbringung äusserst geeignet aufgrund der gegenseitigen Abschotbarkeit der Behandlungskammern nach Mass;extremely suitable for multi-layer system application due to the mutual separability of the treatment chambers made to measure;

optimale Ausnützung des Aussengehäuses für die Leitungsführung zu Behandlungskammern und damit höchst kompakte Bauweise;optimal use of the outer housing for the cable routing to treatment chambers and thus extremely compact design;

Verschleissunabhangige, individuell einstellbar gesteuerte Dichtungen an den Bearbeitungsstationen;Wear-independent, individually adjustable seals at the processing stations;

individuell zeit- und hubsteuerbare Stösselantriebe;individually time and stroke controllable ram drives;

freie Zugänglichkeit vom Innenraum Z des Innengehäuses zu den Steuerorganen und -Antrieben. free access from the interior Z of the inner housing to the control elements and drives.

Claims

Patentansprüche : Claims:

1. Vakuumbehandlungsanlage mit1. Vacuum treatment plant with

(a) einem Aussengehäuse (1) , das, um eine Achse (A) , eine im wesentlichen zylindrische Innenwand definiert,(a) an outer housing (1) which defines an essentially cylindrical inner wall about an axis (A),

(b) mindestens zwei Öffnungen (3) zur Behandlung oder für den Durchtransport jeweils eines Werkstückes (5) , entlang mindestens eines Grosskreises (K) der zylindrischen Innenwand angeordnet,(b) at least two openings (3) for the treatment or for the transport of one workpiece (5) each, arranged along at least one large circle (K) of the cylindrical inner wall,

(c) je einer Behandlungs- , Transport- oder Schleusenkammer (14) , mit den Öffnungen (3) wirkverbunden,(c) one treatment, transport or lock chamber (14), operatively connected to the openings (3),

dadurch gekennzeichnet, dass in die Wandung des Aussengehäuses (1) achsparallele Leitungen (62) zwischen den Öffnungen (3) eingelassen sind, mit je einem Anschluss (66) nach aussen sowie je mindestens einem weiteren Anschluss (64) in die die angrenzenden Öffnungen (3) definierenden Wandungsbereiche des Aussengehäuses (1) .characterized in that axially parallel lines (62) between the openings (3) are embedded in the wall of the outer housing (1), each with one connection (66) to the outside and at least one further connection (64) into which the adjacent openings ( 3) defining wall areas of the outer housing (1).

2. Anlage nach dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die weiteren Anschlüsse (64) lösbar verschliessbar sind und vorzugsweise mindestens ein Teil der Leitungen (62) durchgehend ausgebildet ist, vorzugsweise aber mittels eines Einsatzes (63) unterteilbar ist und/oder mindestens eine der Leitungen (62) als Sackbohrung (62b) ausgebildet ist.2. System according to claim 1, characterized in that the further connections (64) are releasably closable and preferably at least part of the lines (62) is continuous, but preferably can be subdivided by means of an insert (63) and / or at least one the lines (62) is designed as a blind bore (62b).

3. Anlage nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Wandung des Aussengehäuses (1) im Öffnungsbereich (3) mindestens Teil der Wand einer Schleusenkammer bildet oder den Prozessraum einer Vakuumbeschientungs- , Ätz- oder Heizstation, insbesondere einer Plasma-Oberflächenbehandlungskammer, dabei vorzugsweise einer Kammer mit Magnetronquelle.3. Installation according to one of claims 1 or 2, characterized in that the wall of the outer housing (1) in the opening area (3) forms at least part of the wall of a lock chamber or the process space of a vacuum control, Etching or heating station, in particular a plasma surface treatment chamber, preferably a chamber with a magnetron source.

4. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 3 , dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungsebenen ein Polygon festlegen, in den Eckbereichen die Leitungen (62) vorgesehen sind, in den Sehnenbereichen mit den Öffnungen (3) die Wand nach Anspruch 3 ausgebildet ist .4. Installation according to one of claims 1 to 3, characterized in that the opening planes define a polygon, in the corner regions the lines (62) are provided, in the chord regions with the openings (3) the wall according to claim 3 is formed.

5. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Aussengehäuse aus Vollmaterial, vorzugsweise einteilig, gearbeitet ist, dabei vorzugsweise aus AI oder einer AI-Legierung.5. Plant according to one of claims 1 to 4, characterized in that the outer housing is made of solid material, preferably in one piece, preferably made of Al or an Al alloy.

6. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Teil der Leitungen (62) über den Anschluss (66) direkt mit einer Vakuumpumpe, vorzugsweise einer Turbovakuumpumpe, oder einem Ventil verbunden ist.6. Plant according to one of claims 1 to 5, characterized in that at least a part of the lines (62) via the connection (66) is directly connected to a vacuum pump, preferably a turbo vacuum pump, or a valve.

7. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Öffnungen (3) mit mindestens einer Pumpe über eine der Leitungen (62) verbunden ist.7. Installation according to one of claims 1 to 6, characterized in that at least one of the openings (3) is connected to at least one pump via one of the lines (62).

8. Verwendung der Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 7 für die Fertigung von Mehrschichtsystemen.8. Use of the system according to one of claims 1 to 7 for the manufacture of multilayer systems.

9. Verwendung der Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 7 für die Herstellung von Speicherplatten.9. Use of the system according to one of claims 1 to 7 for the production of storage disks.

10. Verwendung nach Anspruch 9 für die Herstellung von CD, DVD, HD, insbesondere von wiederbespielbaren Speicherplatten, wie von MOD, Phase-Change-Disks und RC (Recordable Disks) . 10. Use according to claim 9 for the production of CD, DVD, HD, in particular rewritable storage disks, such as MOD, phase change discs and RC (recordable discs).

11. Transportkammer für eine Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 7 mit dem Aussengehäuse, den Öffnungen sowie den Leitungen. 11. Transport chamber for a system according to one of claims 1 to 7 with the outer housing, the openings and the lines.