EP0394720A1 - Pumpe zur Förderung von Gasen und zur Erzeugung eines Differenzdruckes - Google Patents

Pumpe zur Förderung von Gasen und zur Erzeugung eines Differenzdruckes Download PDF

Info

Publication number
EP0394720A1
EP0394720A1 EP90106475A EP90106475A EP0394720A1 EP 0394720 A1 EP0394720 A1 EP 0394720A1 EP 90106475 A EP90106475 A EP 90106475A EP 90106475 A EP90106475 A EP 90106475A EP 0394720 A1 EP0394720 A1 EP 0394720A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
shaft
pump
pot
hollow body
pistons
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP90106475A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0394720B1 (de
Inventor
Kurt Hölss
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH
Balzers Pfeiffer GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH, Balzers Pfeiffer GmbH filed Critical Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH
Priority to AT90106475T priority Critical patent/ATE89370T1/de
Publication of EP0394720A1 publication Critical patent/EP0394720A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0394720B1 publication Critical patent/EP0394720B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C21/00—Oscillating-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C21/002—Oscillating-piston pumps specially adapted for elastic fluids the piston oscillating around a fixed axis

Definitions

  • the invention relates to a pump for conveying gases and for generating a differential pressure. There are no oil or grease lubricated parts in the pump room, so it can be described as a completely dry pump.
  • a hydrocarbon-free residual gas atmosphere is required in many cases when generating high vacuum and ultra high vacuum.
  • dry pump systems such as e.g. Ion getter pumps, sublimation pumps, cryopumps and turbomolecular pumps are used.
  • Ion getter pumps e.g. Ion getter pumps
  • sublimation pumps e.g., sublimation pumps
  • cryopumps e.g., cryopumps
  • turbomolecular pumps e.g.
  • Diaphragm pumps can also be used to create an oil-free vacuum. However, they have a very limited service life due to the strong deformation of the membrane. In addition, the series connection of several pump stages is complex.
  • Sorption pumps can also be used, but only if a coolant such as e.g. liquid nitrogen, are sufficiently effective, and require regeneration and are therefore too cumbersome to use, so that they would be suitable for use in production - where automation of the pumping process is increasingly required today.
  • a coolant such as e.g. liquid nitrogen
  • the invention has for its object to construct a vacuum pump working against atmospheric pressure, which is completely dry in the pump chamber.
  • the disadvantages of the existing dry pump systems should be avoided.
  • surface sealing between moving and stationary parts is aimed for.
  • the harmful space should be kept as small as possible in view of a high pressure ratio.
  • the torsionally hollow body which is mechanically relatively weakly stressed, achieves a longer service life than other pumps with deformable parts, such as, for example, the diaphragm pump. There is an areal seal between moving and stationary parts, which minimizes gas backflow.
  • the harmful space is very minimal, which favors the formation of a high pressure ratio.
  • the constructions of multi-stage designs can be easily implemented.
  • the pump can be used both to generate a negative pressure and to generate an excess pressure.
  • the invention is described with reference to FIGS. 1 to 5 using the example of a two-stage pump.
  • the indices a and b relate to the first and second pump stages, respectively.
  • a torsion-proof hollow body 5 is attached in a vacuum-tight manner.
  • This component can be, for example, a metal sleeve, a rubber or plastic hose or an axial shaft tube.
  • a pot 6 which is attached to the side of the shaft 1 opposite the ball bearings 2.
  • the shaft 1 is set into an oscillating rotational movement by a drive device, as is shown for example at 7 and in FIG. On the pot 6, which this movement of the wave performed, as can be seen from Fig.2, segment pistons 8a and 8b (two in the present example) are attached.
  • the housing 9 is connected to the flange 4.
  • Fixed segments 10a and 10b are located between the oscillating segment pistons 8a and 8b. These are centered by guide pins 11.
  • the scoops 12a and 12b, in which the oscillating segment pistons 8a and 8b move, are each located between the fixed segments 10a and 10b.
  • the shape of the segments was chosen in the present example. In principle, however, other shapes are also possible.
  • Fig.1 two pump stages are shown in longitudinal section and in Fig. 5a1 to 5b2 in cross section.
  • the gas inlet 13 connects the first pump stage to the lower pressure side, and the last pump stage connects to the higher pressure side via the gas outlet 14.
  • the drive device 7 sets the shaft 1 in an oscillating rotational movement. This movement is transmitted via the pot 6 to the segment pistons 8a and 8b.
  • the torsion-proof hollow body 5 hermetically seals the pump chamber from the drive elements.
  • the fixed segments 10a and 10b are each in the same axial section as the movable segment pistons 8a and 8b. These perform an oscillating rotational movement between the fixed ones. With this movement, gas is extracted from the entrance of a stage to its exit.
  • the gas to be pumped passes from the gas inlet 13 via the gas channels 15, which are located on the same axis as the guide pins 11, and via the inlet valves 16 into the scooping spaces 12a.
  • the gas is conveyed into the second stage through the exhaust valves 17, the gas channels 18 and the intake valves.
  • the guide pins 11 close the gas channels from the inlet valves 16 to the outlet valves 17th
  • the segment pistons are connected in series so that an anti-cyclical sequence of movements takes place, i.e. if the pump chamber becomes smaller in the first stage, then the pump chamber increases in the second stage. Every half period of the oscillating movement corresponds to a full work cycle.
  • the pistons 8a take the position as shown in Fig. 5a2. Accordingly, the pistons 8b of the second pumping stage assume the position as shown in Fig. 5b2.
  • FIG. 1 Another embodiment is shown in FIG.
  • the shaft is no longer floating on one end, but there is an additional bearing 19 on the other end.
  • This construction guides the shaft more precisely and narrower gaps are possible in the pump chamber.
  • the number of segment pistons and thus the number of pumping chambers as well as the number of pump stages can be varied. In particular, it is advantageous to vary the number of segment pistons from stage to stage in order to achieve optimal pump properties.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Gas Separation By Absorption (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

Bei der hier beschriebenen Pumpe ist der Schöfpraum hermetisch abgedichtet gegenüber der Antriebseinheit. Im Schöpfraum selbst befinden sich keine öl- oder fettgeschmierten Teile, so daß die Pumpe als vollkommen trocken bezeichnet werden kann. Die Abdichtung erfolgt durch einen torsionsfähigen Hohlkörper 5, welcher sich zwischen einer Welle 1 und einem Topf 6 befindet. Die Welle 1 führt eine oszillierende Rotationsbewegung aus, welche auf den Topf 6 übertragen wird. Auf diesem befinden sich Segmentkolben 8a und 8b, die zwischen feststehenden Teilen 10a und 10b oszillieren und so den Pumpeffekt hervorrufen.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Pumpe zur Förderung von Gasen und zur Erzeugung eines Differenzdruckes. Im Pumpenraum befinden sich keine öl- oder fettgeschmierten Teile, so daß sie als vollkommen trockene Pumpe bezeichnet werden kann.
  • Bei der Erzeugung von Hochvakuum und Ultrahochvakuum wird in vielen Fällen eine kohlenwasserstoff-freie Restgasatmosphäre verlangt. Hierfür werden meistens die bekannten sogenannten "trockenen" Pumpsysteme, wie z.B. Ionengetterpumpen, Sublimationspumpen, Kryopumpen und Turbomolekularpumpen, verwendet. Um eine Kontamination des Rezipienten mit Kohlenwasserstoffen mit Sicherheit auszuschließen, möchte man auch zur Vorevakuierung von Atmosphärendruck bis zum Einsatzpunkt dieser Pumpen ölgeschmierte oder ölgedichtete Vorpumpen vermeiden.
  • Man hat versucht, mechanische Vorpumpen, wie z.B. Schieberpumpen, mit trocken laufenden Kohleschiebern oder Wälzkolbenpumpen einzusetzen, bei denen Kohlenwasserstoffe als Abdichtungsmittel im Förderraum vermieden werden. Solange für diese Pumpen geschmierte Lager verwendet werden, ist selbst bei Abdichtung der Lagerstellen gegenüber dem Förderraum durch übliche Dichtmanschetten keine vollkommene Sicherung gegen den Durchtritt des Schmiermittels gegeben. Eine einwandfreie Lösung erhält man nur, wenn eine wirklich gasdichte Abtrennung der Lagerung vom Schöpfraum erzielt wird.
  • Membranpumpen können grundsätzlich auch zur Herstellung eines ölfreien Vakuums eingesetzt werden. Sie haben jedoch wegen der starken Verformung der Membrane eine sehr begrenzte Lebensdauer. Außerdem ist das Hintereinanderschalten mehrere Pumpstufen aufwendig.
  • Weiterhin können Sorptionspumpen verwendet werden, die jedoch nur bei Einsatz eines Kühlmittels, wie z.B. flüssigen Stickstoffs, genügend wirksam sind, sowie einer Regenerierung bedürfen und deshalb in der Handhabung zu umständlich sind, als daß sie für den Einsatz in der Produktion - wo heute mehr und mehr eine Automation des Pumpprozesses gefordert wird - geeignet wären.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gegen Atmosphärendruck arbeitende Vakuumpumpe zu konstruieren, die im Pumpenraum vollkommen trocken ist. Die bei den vorhandenen trockenen Pumpsystemen bestehenden Nachteile sollen vermieden werden. Um den Gasrückstrom auf ein Minium zu begrenzen, wird eine Flächenabdichtung zwischen bewegten und feststehenden Teilen angestrebt. Der schädliche Raum soll im Hinblick auf ein hohes Druckverhältnis möglichst klein gehalten werden.
  • Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Teile des 1. und 4. Patentanspruches gelöst. Die übrigen Ansprüche stellen weitere Ausgestaltungen der Erfindungen dar.
  • Damit wird ein Pumpsystem vorgestellt, welches im Pumpenraum vollkommen trocken ist und bei welchem dieser gegen die Antriebseinheit hermetisch abgedichtet ist. Durch den mechanisch relativ schwach beanspruchten torsionsfähigen Hohlkörper wird eine höhere Lebensdauer als bei anderen Pumpen mit verformbaren Teilen, wie z.B. bei der Membranpumpe, erreicht. Zwischen bewegten und feststehenden Teilen ist eine flächenhafte Abdichtung vorhanden, wodurch Gasrückströmungen auf ein Minimum begrenzt sind.
  • Der schädliche Raum ist sehr minimal, was die Ausbildung eines hohen Druckverhältnisses begünstigt. Die Konstruktionen von mehrstufigen Ausführungen können problemlos verwirklicht werden. Die Pumpe kann sowohl zur Erzeugung eines Unterdruckes als auch zur Erzeugung eines Überdruckes verwendet werden.
  • Die Erfindung wird anhand der Fig. 1 bis 5 am Beispiel einer zweistufigen Pumpe beschrieben. Die Indizez a und b beziehen sich jeweils auf die erste bzw. zweite Pumpstufe.
  • Es zeigen:
    • Fig.1 Längsschnitt durch die Pumpe
    • Fig.2 Montagezeichnung einer Pumpstufe
    • Fig.3 Weitere Ausführungsform
    • Fig.4 Die Antriebsseite als Kurbeltrieb ausgelegt.
    • Fig.5a1/2 Einen Querschnitt in A-A zum Zeitpunkt t₁/t₂
    • Fig.5b1/2 Einen Querschnitt in B-B zum Zeitpunkt t₁/t₂
  • In Fig. 1 ist die Welle 1 an einem Ende mit zwei Kugellagern 2 fliegend gelagert, wobei die Kugellager selbst in den Flanschen 3 und 4 gehalten werden. Am anderen Ende der Welle ist ein torsionsfähiger Hohlkörper 5 vakuumdicht befestigt. Dieses Bauteil kann zum Beispiel eine Metallhülse, ein Gummi- oder Kunststoffschlauch oder ein axiales Wellenrohr sein. Über dem torsionsfähigen Hohlkörper 5 befindet sich ein Topf 6, welcher an der den Kugellagern 2 gegenüberliegenden Seite der Welle 1 befestigt ist. Die Welle 1 wird durch eine Antriebsvorrichtung, wie sie zum Beispiel bei 7 und in Fig.4 dargestellt ist, in eine oszillierende Rotationsbewegung versetzt. Auf den Topf 6, welcher diese Bewegung der Welle mit vollführt, sind, wie aus Fig.2 ersichtlich, Segmentkolben 8a und 8b (im vorliegenden Beispiel je zwei) befestigt. Mit dem Flansch 4 ist das Gehäuse 9 verbunden.
  • Zwischen den oszillierenden Segmenkolben 8a und 8b befinden sich feststehende Segmente 10a und 10b (im vorliegenden Beispiel je zwei). Diese werden durch FÜhrungsstifte 11 zentriert. Die Schöpfräume 12a und 12b, in welchen sich die oszillierenden Segmentkolben 8a und 8b bewegen, befin­den sich jeweils zwischen den feststehenden Segmenten 10a und 10b.
  • Für die Kolben 8a und 8b sowie für die feststehenden Teile 10a und 10b wurde im vorliegenden Beispiel die Form von Segmenten gewählt. Grundsätzlich sind jedoch auch andere Formen möglich.
  • In Fig.1 sind zwei Pumpstufen im Längsschnitt und in den Fig. 5a₁ bis 5b₂ im Querschnitt dargestellt. Der Gaseinlaß 13 verbindet die erste Pumpstufe mit der Seite des niedrigeren Druckes, und die letzte Pumpstufe ist über den Gaseauslaß 14 mit der Seite des höheren Druckes verbunden.
  • Durch die Antriebsvorrichtung 7 wird die Welle 1 in eine oszillierende Rotationsbewegung versetzt. Diese Bewegung wird über den Topf 6 auf die Segmentkolben 8a und 8b übertragen. Durch den torsionsfähigen Hohlkörper 5 wird der Pumpenraum gegenüber den Antriebselementen hermetisch abge­dichtet. Die feststehenden Segmente 10a und 10b befinden sich jeweils im gleichen axialen Abschnitt wie die beweglichen Segmentkolben 8a und 8b. Diese führen zwischen den feststehenden eine oszillierende Rotationsbewegung aus. Durch diese Bewegung findet eine Gasförderung vom Eingang einer Stufe zu deren Ausgang statt.
  • Das zu pumpende Gas gelangt vom Gaseinlaß 13 über die Gaskanäle 15, welche sich auf der gleichen Achse wie die Führungsstifte 11 befinden, und über die Einlaßventile 16 in die Schöpfräume 12a. Während der Kompression wird das Gas über die Auslaßventile 17, die Gaskanäle 18 und die Einlaßventile der zweiten Stufe in diese befördert. Die Führungsstifte 11 verschließen die Gaskanäle von den Einlaßventilen 16 zu den Auslaßventilen 17.
  • Die Segmentkolben sind so hintereinandergeschaltet, daß ein antizyklischer Bewegungsablauf stattfindet, d.h. verkleinert sich der Pumpenraum in der ersten Stufe, dann vergrößert sich der Pumpenraum in der zweiten Stufe. Jede halbe Periode der oszillierenden Bewegung entspricht einem vollen Arbeitstakt.
  • Die einzelnen Schritte des Pumpvorganges sind in den Fig. 5a₁ bis 5b₂ dargestellt:
  • Wenn die Kolben 8a sich zum Zeitpunkt t₁ in der Position befinden, wie in Fig.5a₁ dargestellt, gelangt das zu pumpende Gas über die Einlaßventile 16 in die Schöpfräume 12a. Zu diesem Zeitpunkt befinden sich die Kolben 8b der zweiten Pumpstufe in den Positionen, wie in Fig. 5b₁ dargestellt.
  • Zum Zeitpunkt t₂ nehmen die Kolben 8a die Position ein, wie in Fig. 5a₂ dargestellt. Entsprechend nehmen die Kolben 8b der zweiten Pumpstufe die Position ein, wie in Fig. 5b₂ dargestellt.
  • Durch die vorangegangene Kolbenbewegung wurde das Gas in den Schöpfräumen 12a der ersten Stufe verdichtet und über die Auslaßventile 17, die Gaskanäle 18 und die Einlaßventile der zweiten Stufe in deren Schöpfräume 12b befördert.
  • Eine weitere Ausführungsform ist in Fig.3 dargestellt. Hier ist die Welle nicht mehr fliegend nur an einem Ende gelagert, sondern es befindet sich ein zusätzliches Lager 19 am anderen Ende. Dadurch ergibt sich eine Aufteilung des in Fig.1 mit 5 bezeichneten torsionsfähigen Hohlkörpers in zwei Teile 20 und 21. Durch diese Konstruktion wird die Welle präziser geführt und im Pumpenraum sind engere Spalte möglich.
  • Die Anzahhl der Segmenkolben und somit die der Schöpfräume sowie die Anzahl der Pumpstufen können variiert werden. Insbesondere ist es vorteilhaft, die Anzahl der Segmentkolben von Stufe zu Stufe zu variieren, um so optimale Pumpeigenschaften zu erreichen.

Claims (5)

1. Pumpe zur Förderung von Gasen und zur Erzeugung eines Differenzdruckes mit einer Welle (1), welche mit einer Antriebseinheit (7) verbunden ist und durch diese in eine oszillierende Rotationsbewegung versetzt werden kann, dadurch gekennzeichnet, daß die Welle von einem Topf (6) umgeben ist, welcher seinerseits mit dem Pumpenraum in Verbindung steht und an einer beliebigen Stelle mit der Welle (1) verbunden ist, wobei zwischen der Welle (1) und dem Topf (6) ein torsionsfähiger Hohlkörper (5) zur hermetischen Abdichtung zwischen Antriebseinheit und Pumpenraum vorhanden ist.
2. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Welle (1) an einem Ende fliegend gelagert ist, daß der Topf (6) am anderen Ende der Welle (1) befestigt ist, daß ebenfalls an diesem Ende der torsionsfähige Hohlkörper (5) vakuumdicht mit der Welle (1) verbunden ist und daß die andere Seite des torsionsfähigen Hohlkörpers (5) auf der Seite der Lagerung (2) der Welle (1) vakuumdicht mit dem Flansch (4) verbunden ist.
3. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Welle (1) an beiden Enden gelagert ist, daß der Topf (6) in der Mitte an der Welle (1) befestigt ist, daß der torsionsfähige Hohlkörper (5) aus zwei Teilen besteht, deren eine Seite jeweils in der Mitte der Welle (1) mit dieser vakuumdicht verbunden ist und deren andere Seiten vakuumdicht mit dem Flansch (4) bzw. mit dem Flansch (22) verbunden sind.
4. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Topf (6) Kolben (8a, 8b), welche vorzugsweise die Form von Segmenten aufweisen, verbunden sind und daß sich zwischen diesen Kolben feststehende Teile (10a, 10b) welche ebenfalls vorzugweise die Form von Segmenten aufweisen, vorhanden sind, wobei zwischen den Kolben (8a, 8b) und den feststehenden Teilen (10,a, 10b) Schöpfräume (12a, 12b) entstehen.
5. Pumpe nach Anspruch (4), dadurch gekennzeichnet, daß sich an den Flächen (23) der feststehenden Teile (10a, 10b) Gasinlaßventile (16) und Gasauslaßventile (17) befinden, durch welche das zu pumpende Gas in die Schöpfräume hinein bzw. aus diesen heraus befördert wird.
EP90106475A 1989-04-28 1990-04-05 Pumpe zur Förderung von Gasen und zur Erzeugung eines Differenzdruckes Expired - Lifetime EP0394720B1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT90106475T ATE89370T1 (de) 1989-04-28 1990-04-05 Pumpe zur foerderung von gasen und zur erzeugung eines differenzdruckes.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3914042 1989-04-28
DE3914042A DE3914042A1 (de) 1989-04-28 1989-04-28 Pumpe zur foerderung von gasen und zur erzeugung eines differenzdruckes

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0394720A1 true EP0394720A1 (de) 1990-10-31
EP0394720B1 EP0394720B1 (de) 1993-05-12

Family

ID=6379667

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP90106475A Expired - Lifetime EP0394720B1 (de) 1989-04-28 1990-04-05 Pumpe zur Förderung von Gasen und zur Erzeugung eines Differenzdruckes

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5017106A (de)
EP (1) EP0394720B1 (de)
JP (1) JPH02301693A (de)
AT (1) ATE89370T1 (de)
DD (1) DD294068A5 (de)
DE (2) DE3914042A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999022118A1 (de) * 1997-10-28 1999-05-06 Ernst Beck Vorrichtung für die förderung eines mediums oder zum antrieb durch ein medium
EP1843042A1 (de) * 2006-04-07 2007-10-10 Zf Friedrichshafen Ag Schwenkmotor

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008040574B4 (de) * 2008-07-21 2013-08-14 Manfred Max Rapp Kolbenmaschine
EP2614260B8 (de) * 2011-09-28 2015-07-15 FESTO AG & Co. KG Fluidbetätigte drehantriebsvorrichtung
US9957831B2 (en) * 2014-07-31 2018-05-01 The Boeing Company Systems, methods, and apparatus for rotary vane actuators

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB842304A (en) * 1957-10-15 1960-07-27 Clarence Lamar Norsworthy Jr Improvements in oscillating vane motors, pumps, or the like
DE1801860A1 (de) * 1967-10-25 1969-05-29 Commissariat Energie Atomique Vakuumpumpe
DE1503569A1 (de) * 1965-02-11 1969-09-04 Lorenz Dr Albert Antriebsvorrichtung fuer fluessigkeitsueberlagerte,um eine vertikale Achse drehbare Bauelemente,insbesondere bei Vakuumpumpen
DD93301A5 (de) * 1971-11-24 1972-10-12 Wyzsza Szkola Inzynierska Mehrkammer-machine mit Flügelkolben
DE2613472A1 (de) * 1976-03-30 1977-10-13 Hori Technical Lab Ltd Trockenlaufender verdichter
DE3328961C1 (de) * 1983-08-11 1984-05-10 Klein, Schanzlin & Becker Ag, 6710 Frankenthal Metallischer Faltenbalg zur Abdichtung von Drehbewegungen

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE829554C (de) * 1950-07-06 1952-01-28 Merz Werke Gebrueder Merz Abdichtung von Pumpen, Kompressoren und aehnlich wirkenden Vorrichtungen
US3731599A (en) * 1971-03-08 1973-05-08 Cameron Iron Works Inc Rotary operator

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB842304A (en) * 1957-10-15 1960-07-27 Clarence Lamar Norsworthy Jr Improvements in oscillating vane motors, pumps, or the like
DE1503569A1 (de) * 1965-02-11 1969-09-04 Lorenz Dr Albert Antriebsvorrichtung fuer fluessigkeitsueberlagerte,um eine vertikale Achse drehbare Bauelemente,insbesondere bei Vakuumpumpen
DE1801860A1 (de) * 1967-10-25 1969-05-29 Commissariat Energie Atomique Vakuumpumpe
DD93301A5 (de) * 1971-11-24 1972-10-12 Wyzsza Szkola Inzynierska Mehrkammer-machine mit Flügelkolben
DE2613472A1 (de) * 1976-03-30 1977-10-13 Hori Technical Lab Ltd Trockenlaufender verdichter
DE3328961C1 (de) * 1983-08-11 1984-05-10 Klein, Schanzlin & Becker Ag, 6710 Frankenthal Metallischer Faltenbalg zur Abdichtung von Drehbewegungen

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999022118A1 (de) * 1997-10-28 1999-05-06 Ernst Beck Vorrichtung für die förderung eines mediums oder zum antrieb durch ein medium
EP1843042A1 (de) * 2006-04-07 2007-10-10 Zf Friedrichshafen Ag Schwenkmotor

Also Published As

Publication number Publication date
DD294068A5 (de) 1991-09-19
ATE89370T1 (de) 1993-05-15
DE3914042A1 (de) 1990-10-31
US5017106A (en) 1991-05-21
DE59001407D1 (de) 1993-06-17
EP0394720B1 (de) 1993-05-12
JPH02301693A (ja) 1990-12-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3710782A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum abpumpen von daempfen und/oder dampfhaltigen gemischen und/oder gas-dampf-gemischen oder dgl. medien
DE2658793A1 (de) Hubkolben- und -zylindermaschine
EP0611888A1 (de) Handbetätigbare Vakuumpumpe
DE102006020710A1 (de) Vakuumpumpe mit Gehäuse
EP0072892A1 (de) Für die Durchführung der Gegenstrom-Lecksuche geeignete Turbomolekularpumpe
EP0394720B1 (de) Pumpe zur Förderung von Gasen und zur Erzeugung eines Differenzdruckes
DE2354039A1 (de) Drehschieberpumpe
DE4326408A1 (de) Vielfach-Axialkolbenverdichter
DE102005042451B4 (de) Vakuumpumpvorrichtung
DE3127893A1 (de) "arbeitsmaschine zum foerdern von fluessigkeiten und gasen
EP2949938B1 (de) Vakuumpumpe
WO2000020762A1 (de) Reibungsvakuumpumpe mit stator und rotor
DD283190A5 (de) Mehrstufige vakuumpumpe
EP1119710B1 (de) Reibungsvakuumpumpe
DE102008034948A1 (de) Vakuumpumpe
DE10055445C1 (de) Kompressor mit umlaufenden Zylindern
DE4326407C2 (de) Hubkolben-Kältemittelverdichter mit ansaugseitigem Drehschieber
DE7534297U (de) Druckmittelgeraet
DE2523999A1 (de) Taumelplattenkompressor
DE170678C (de)
DE102017102324A1 (de) Ölfreie Vakuumpumpe mit prismatischem Kolben und dementsprechender Kompressor
DE19819408A1 (de) Membranpumpe zur Förderung von gasförmigen oder flüssigen Medien
DE3587123T2 (de) Balgdichtung.
DE1503509A1 (de) Vakuumpumpe
DE2000375A1 (de) Gaspumpe- bzw.-verdichter

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LI NL SE

17P Request for examination filed

Effective date: 19910305

17Q First examination report despatched

Effective date: 19920414

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LI NL SE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Effective date: 19930512

REF Corresponds to:

Ref document number: 89370

Country of ref document: AT

Date of ref document: 19930515

Kind code of ref document: T

REF Corresponds to:

Ref document number: 59001407

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19930617

ITF It: translation for a ep patent filed

Owner name: ING. ZINI MARANESI & C. S.R.L.

RAP2 Party data changed (patent owner data changed or rights of a patent transferred)

Owner name: BALZERS-PFEIFFER GMBH

ET Fr: translation filed
REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PFA

Free format text: BALZERS-PFEIFFER GMBH

NLT2 Nl: modifications (of names), taken from the european patent patent bulletin

Owner name: BALZERS-PFEIFFER GMBH TE ASSLAR, BONDSREPUBLIEK DU

GBV Gb: ep patent (uk) treated as always having been void in accordance with gb section 77(7)/1977 [no translation filed]

Effective date: 19930512

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: 777B

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: 777A

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 19940520

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Payment date: 19960319

Year of fee payment: 7

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 19960325

Year of fee payment: 7

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Payment date: 19960426

Year of fee payment: 7

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Payment date: 19960430

Year of fee payment: 7

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: RN

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: FC

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Effective date: 19970405

Ref country code: AT

Effective date: 19970405

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Effective date: 19970430

BERE Be: lapsed

Owner name: BALZERS-PFEIFFER G.M.B.H.

Effective date: 19970430

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Effective date: 19971101

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 19970405

NLV4 Nl: lapsed or anulled due to non-payment of the annual fee

Effective date: 19971101

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 19980403

Year of fee payment: 9

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 19980715

Year of fee payment: 9

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 19990430

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 19990430

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 19990531

Year of fee payment: 10

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 19991231

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20010201

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.

Effective date: 20050405

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT