EP0346819A3 - Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Vermessung und ggf. abtragenden Bearbeitung von Oberflächen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Vermessung und ggf. abtragenden Bearbeitung von Oberflächen Download PDF

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EP0346819A3
EP0346819A3 EP19890110657 EP89110657A EP0346819A3 EP 0346819 A3 EP0346819 A3 EP 0346819A3 EP 19890110657 EP19890110657 EP 19890110657 EP 89110657 A EP89110657 A EP 89110657A EP 0346819 A3 EP0346819 A3 EP 0346819A3
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interferometrically
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Karl-Hermann Dipl.-Ing. Netzel
Werner Dr. Preuss
Rudolf Dipl.-Ing. Fetting
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Hpo Hanseatische Prazisions- und Orbittechnik I K GmbH
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Hpo Hanseatische Prazisions- und Orbittechnik I K GmbH
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

Die Erfindung betrifft Verfahren zur berührungslosen Vermessung und ggf. abtragenden Bearbeitung von Oberflächen, insbesondere von großflächigen Spiegeln oder dergleichen, bei dem zur Ermittlung von Konturabweichungen der Oberfläche die Differenz zwischen interferometrisch erfaßten Oberflächenkontur-Istwerten und vorgewählten Oberflächenkontur-Sollwerten bestimmt wird. Erfindungsgemäß wird eine Bezugskontur wenigstens eines Referenzelements, deren Erstreckung einem Vermessungs-und ggf. Bearbeitungsbereich der Oberfläche im wesentlichen entspricht, interferometrisch bezüglich eines Normals vermessen, dessen Geometrie innerhalb der zulässigen Konturtoleranz der Oberfläche bekannt ist. Die zu vermessende Oberfläche wird in eine definierte räumliche Lage bezüglich des Referenzelementes gebracht, die Beabstandung der Bezugskontur vom Vermessungs- bzw. Bearbeitungsbereich der Oberfläche wird inkrementell interferometrisch erfaßt und die jeweilige Differenz zwischen Ist- und Sollwert wird bestimmt. Für die Bearbeitung wird ggf. ein Materialabtrag von der Oberfläche vorgenommen, dessen Ausmaß die zulässige Konturtoleranz nicht übersteigt.
Außerdem betrifft die Erfindung Vorrichtungen zur Durchführung dieser Verfahren.
EP19890110657 1988-06-14 1989-06-13 Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Vermessung und ggf. abtragenden Bearbeitung von Oberflächen Withdrawn EP0346819A3 (de)

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EP0346819A2 EP0346819A2 (de) 1989-12-20
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JPH02118407A (ja) 1990-05-02
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