DK157290B - Fremgangsmaade til fremstilling af klinker paa basis af calciumsilicater og -aluminater, saasom portlandcement og aluminacement - Google Patents

Description

DK 157290 B

Den foreliggende opfindelse angâr en fremgangsmâde til industriel fremstilling af klinker pâ basis af cal-ciumsilikater og -aluminater, sâsom portlandcement og aluminacement eller andre produkter, der indeholder en 5 stor andel af monocalciumsilikater og dicalciumsilika-ter.

Ved den klassiske fremgangsmâde til fremstilling af portlandcement-klinker eller aluminacement-klinker eller 10 produkter, der indeholder en stor andel monocalciumsilikater eller dicalciumsilikater, opvarmer man i en f0rste fase râvareblandingen, der indeholder calciumcarbonat, til en temperatur i stprrelsesordenen 900 °C til fjer-nelse af kuldioxid. Ved fremstilling af portlandcement, 15 bringes den for kuldioxid befriede râblanding i en anden fase til en temperatur pâ ca. 1 500 °C i en ovn, sædvan-ligvis en roterovn, hvori den omdannes til klinker, og hvori en del og kun en del af produktet smelter. Nâr det drejer sig om produkter af typen aluminacementer eller 20 monocalciumsilikater, bliver hele produktet sintret, men det kan ogsâ smeltes. Dette er tilfældet med alcement (ciment fondu) eller monocalciumsilikat (fransk patent-skrift nr. 1 584 873). Nâr man ved den klassiske fremstilling af portlandcement anvender râvarer indeholdende 25 urenheder sâsom alkalimetaller, natrium eller kalium, chlor, phosphor eller svovl, genfindes disse urenheder for en stor del i det sintrede produkt, hvis kvalitet derved nedsættes. Disse urenheder forflygtiges delvis i ovnens varme dele, men ved de normale, klassiske frem-30 gangsmâder befries râvareblandingen for kuldioxid ved modstr0mscirkulation af varm gas stammende fra sinter-ovnen, fra ovnen til klinkerdannelse eller til smeltnin-gen, og denne gas er sâledes belastet med disse flygtige bestanddele. Disse kondenserer for en stor del pâ den 35 kolde râblanding og recirkuleres. Herved dannes et luk-ket kredsl0b, hvorfra urenhederne kun undslipper med det 2

DK 157290 B

behandlede produkt, og dette lukkede kredsl0b kan derud-over f0re til forskellige uregelmæssigheder, sâsom til-stopning af gaskanalerne eller af selve ovnen.

5 Man kan formindske virkningen af en sâdan recirkulation ved at tilvejebringe rensning af gassen, men dette med-f0rer en stigning i varmeforbruget og har kun en begræn-set virkning pâ indholdet af urenheder i slutproduktet.

10 Laboratoriefors0g har vist, jf. F.P. Glasser, "Cernent and Concrète Research", 1975, bind 5, side 55-61, at en behandling af en portlandcement-râvareblanding i en plasmaovn f0rte til sænkning af kaliumindholdet til mindre end 0,05%, dog pâ bekostning af en kraftig for0g-15 else af energiforbruget og uden klar forbedring af den sâledes fremstillede cements tekniske egenskaber. I de fleste tilfælde fandt man yderligere en forringelse af disse egenskaber soin f0lge. af tilstedeværelsen af vitr0-se faser i varierende mængder, hyppigt dog i betydelige 20 mængder.

Plasmaovne er imidlertid b-levet forbedret i teknologisk henseende. Man kan især tillade sig at hâbe pâ at opnâ energiforbrug, der er lavere end for de klassiske ovne.

25

Blandt de l0sninger, der er fremf0rt til nedsætning af energiforbruget, og udover sâdanne, som angâr selve opbygningen af plasmaovnen, kan nævnes anvendelse af et râmateriale, der indeholder kulstof; dette omdannes til 30 CO i ovnên, og det sâledes fremstillede CO f0res til en anordning, hvor man forbrænder det til fremstilling af elektricitet, som tilf0res plasmaen. En sâdan l0sning er sindrig, men det totale energiudbytte er beskedent. Man kan mere enkelt lede den dannede gas igennem det ene 35 kammer i en varmeveksler, idet dennes andet kammer tje-ner til forvarmning af râmaterialet. En sâdan l0sning 3

DK 157290 B

kræver betydelige investeringer uden at være perfekt med hensyn til udbyttet. L0sningen er sâledes ringere end den. direkte opvarmning af râmaterialet ved kontakt med den udstr0mmende gas; men med den direkte opvarmning 5 stpder man sa atter pâ problemet knyttet til recirkula-tion af urenhederne, som er omtalt tidligere.

Den foreliggende opfindelse har til formai at afhjælpe de ovenfor anforte ulemper og f0re til fremstilling af 10 cementklinker, som er befriet for st0rstedelen af de flygtige urenheder, idet dette résultat opnâs med et energiforbrug, der ikke er særlig stort, og som er sam-menligneligt med eller mindre end det ved den klassiske klinKerfremstilling anvendte energiforbrug takket være 15 den plasmadannende gas lille rumfang sammenlignet med rumfanget af den forbrændingsluft, der er n0dvendig til forbrændingen af et organisk brændstof.

Den foreliggende opfindelse angâr en fremgangsmâde til 20 fremstilling af klinker indeholdende over 50% af ét af f0lgende produkter: tricalciumsilikat, dicalciumsilikat, monocalciumsilikat, monocalciumaluminat eller hpjovns-slagge, hvorved man i en f0rste fase opvarmer et fast râmateriale til en h0j temperatur, som medf0rer afgiv-25 else af carbondioxid fra calciumcarbonatet, idet denne opvarmning i det mindste delvis opnâs ved hjælp af varm gas, f.eks. stammende fra en forbrænding, som cirkulerer i modstr0m med de râmaterialer, der skal opvarmes, og i direkte kontakt med disse, hvorpâ man i en anden fase 30 bringer det sâledes opvarmede râmateriale op pâ en endnu h0jere temperatur i naervær af en vis mængde gas, hvoref-ter man i en tredje fase k0ler det opvarmede materiale, idet den under den tredie fase dannede varme gas tilf0-res produkterne til opvarmning af disse under den f0rste 35 fase, uden at gassen passerer gennem det rum, hvori den anden fase finder sted og idet den gas, der anvendes i 4

DK 157290 B

den anden fase, ikke bringes i kontakt med den f0rste fases râmateriale eller kun bringes i kontakt med dette râmateriale, nâr gassens indhold af urenheder ligger pâ et acceptabelt nivea.u, hvilken fremgangsmâde er ejendom-5 melig ved, at man i den anden fase bringer râmaterialet op pâ en temperatur pâ over 1 500 °C, hvilket muligg0r smeltning af mere end 80% af materialet.

Ved en foretrukken udfprelsesform anvendes en plasmaovn 10 i den anden fase, og den fra denne anden fase udstrpm-mende gas genanvendes i det mindste delvis som plasma-dannende gas i plasmaovnen.

Det skal imidlertid bemaerkes, at plasmaovnen kan erstat-15 tes af en ovn af anden type pâ betingelse af, at den har tilstrækkelig kapacitet til at bringe produkterne til de h0je temperaturer, der er npdvendige, og dette med en sâ begrænset gasstrpm som muligt. Man kan f.eks. anvende ovne med oxygenflammer, lysbueovne etc. Man b0r her sær-20 ligt nævne strâleovne, sâsom de sâkaldte solovne.

Man har fundet det intéressant at anvende en plasmaovn, hvis elektroder bestâr af grafit forsynet med en beklæd-ning, som beskytter dem mod oxidation, f.eks. en beklæd-25 ning af siliciumcarbid eller af kobbercarbid. Det er pâ denne mâde muligt at arbejde i en oxyderende atmosfære, uden at der foregâr et forbrug af elektroderne ved oxidation, eller i det mindste med et forbrug, som holdes inden for acceptable grænser. Pâ denne mâde kan der op-30 nâs betydelige besparelser, idet man som plasmadannende gas erstatter argon med mere almindelige gasarter, sâsom luft, r0g eller CO2-

Til den anden fase er det, ved industriel praksis, vær-35 difuldt at anvende en roterovn, hvis akse hælder h0jst 60 0 i forhold til horisonten. En vertikal ovn, som den 5

DK 157290 B

plasmaovn, der har været anvendt ved de eksperimenter, der er omtalt af F.P. Glasser i ovennævnte artikel, til-lader kun meget korte genneml0bstider. Sâdanne tider eg-ner sig til smâ hastigheder af materiale med meget fin 5 kornst0rrelse, men ikke til anlæg af et vist omfang.

Roterovnens karakteristiske egenskaber, særligt dens hældning, vælges afhængigt af den n0dvendige opholdstid og viskositeten af det flydende produkt, begge pâ én 10 gang afhængig af produktets art og behandlingsbetingel-serne. Til portlandcement foretrækkes sædvanligvis hæld-ninger fra 30 0 til 40 °, medens værdier mellem 50 0 og 60 0 er bedre egnet for aluminacementer.

15 I det fplgende beskrives opfindelsen nærmere ved hjælp af praktiske eksempler under henvisning til tegningen, hvor : fig. 1 skematisk viser en enkel installation med plasma-20 ovn, som arbejder i overensstemmelse med opfindelsen, fig. 2 viser et anlæg analogt med det i fig. 1 viste, som dog yderligere omfatter en recirkulation af den plasmadannende gas, 25 fig. 3 viser et anlæg analogt med det i fig. 1 viste, som dog yderligere omfatter anvendelsen af den plasmadannende gas til forvarmning af râblandingen, 30 fig. 4 viser et anlæg analogt med det i fig. 1 viste, men med direkte tilfprsel til plasmaovnen af en râblan-ding, der er befriet for carbondioxid ved hjælp af r0g-gas fra en forbrændingsovn, 35 fig. 5 viser de modifikationer, der er en f0lge af anvendelsen af fremgangsmâden if0lge opfindelsen ved et 6

DK 157290 B

eksisterende anlæg med en lang ovn, fig. 6 er analog med fig. 5, idet der dog er taie om et anlæg med vertikal varmeveksler, og 5 fig. 7 er analog med fig. 5 og 6, idet der dog er taie om et anlæg med vertikal varmeveksler og forcalcine-ringsanlæg.

10 Det væsentligste element i de anlæg, der er beskrevet i det efterf0lgende som eksempler, er en ovn til opvarm-ning til h0je temperaturer, typisk en roterende smelte-ovn, hvis rotationsakse hælder fra 3 til 60 ° i forhold til den horisontale akse, og som er opvarmet med plasma 15 (mærket (1) pâ tegningerne) og som fortrinsvis kan være af typen "ANVARFOEX" med opvarmning med udtrukket plasma eller med trefaset plasma.

Denne ovn kan f0des med en râblanding, der er befriet 20 for carbondioxid, eller med allerede sintrede produkter.

Ovnens rolle er at bringe den for kuldioxid befriede râblanding eller klinkeren, der er varmebehandlet i et andet apparatur, til fortrinsvis fuldstændig smeltning ved en temperatur stprre end 1 500 °C, st0rre end 1 800 25 °C eller endog st0rre end 1 950 °C, afhængig af de be- handlede produkter. Den tillader sâledes at opnâ et pro-dukt, der er fuldstændig smeltet og befriet for en stor del af sine urenheder, med et elektricitetsforbrug 5 til 10 gange lavere end det, som opnâs ved den tidligere om-30 talte plasmasmeltning.

Fig. 1 viser til en vis grad dette skematiske grundlag for anlægget, som, anfprt i den rækkef0lge, som produk-tet gennemlpber anlægget, omfatter en forvarmer og et 35 calcineringsanlæg for râproduktet 2, en roterovn 3, smelteovnen 1 og en klinker-k0ler 4. Til forskel fra de 7

DK 157290 B

klassiske anlæg ledes gassen ikke i modstr0m med produk-terne i hele anlægget, idet den passerer fra k0leren 4 til roterovnen 3 og til forvarmeren og calcineringsan-lægget 2, idet den undgar smelteovnen 1. Ved udgangen 5 fra k0leren gâr den luft, der er opvarmet ved kontakt med klinkerne, delvis til roterovnen, hvor den f0des ind til brændingen i brændstofforbrænderen, og tildels til en brænder 5 til opvarmning af forvarmeren og calcine-ringsanlægget 2. Som vist pâ fig. 1 udtages de plasma-10 dannende gasarter, der strdmmer ud fra smelteovnen 1, og som udg0r et rumfang pâ mindre end 0,150 Nm3/Kwh, idet dette tal kan gâ ned til 0,08 Nm3/Kwh, idet de medf0rer praktisk taget aile de forflygtigede urenheder, men med-f0rer betydelig mindre energi, end nâr det drejer sig om 15 rensning med forbrændingsgas i særdeleshed ved de tradi-tionelle fremgangsmâder til fremstilling af portlandce-mentklinker (op til 6 gange mindre).

I fig. 2 er vist en anden udfprelsesform, hvori den 20 plasmadannende gas recirkuleres til ovnen 1 efter passage gennem en kondensator 6, hvori urenhederne frasepa-reres.

I fig. 3 er vist et analogt anlæg til ud0velse af frem-25 gangsmâden, hvori den plasmadannende gas efter passage gennem kondensatoren 6 vil tilfpre sin resterende varme til forvarmeren og calcineringsanlægget 2, idet den passerer gennem brænderen 5 for til sidst at blive evakue-ret.

30

Det er klart, at valget mellem disse to udf0relsesformer afhænger af prisforholdet mellem elektrisk energi, som anvendes i ovnen 1, og brændstof, som anvendes i brænderen 5.

35 8

DK 157290 B

Fig. 4 svarer til den direkte tilf0rsel til ovnen 1 af râvarer, der har afgivet carbondioxid. I dette tilfælde f0res al den gas, der forlader kpleren 4, til brænderen 5. Denne l0sning tillader, at man undgâr roterovnen.

5

Den i fig. 4 viste indretning kan kombineres med indret-ningen vist i fig. 2, som omfatter en recirkulation af den plasmadannende gas (der forlader ovnen 1 hen over en kondensator 6, og den kan forenes med systemet i fig. 3, 10 idet den plasmadannende gas, der forlader ovnen 1, sâ f0res hen over kondensatoren 6 og til forvarmeren og calcineringsanlægget 2. Valget mellem de forskellige pâ figurerne viste lpsninger er afhængige af talrige fakto-rer, blandt hvilke, som ovenfor nævnt, er forholdet 15 mellem brændselspriserne og elektricitetspriserne.

En fordel ved fremgangsmâden ifplge opfindelsen bestâr i, at eftersom d'en ikke omfatter passage for gassen mellem klinkerkoleren og hpjtemperaturovnen, hvad enten 20 denne er en plasmaovn eller ikke, er det lettere at opnâ meget hurtig afk0ling. En anden særlig egenskab ved fremgangsmâden if0lge opfindelsen er, at den tillader anvendelse af varmekilder, med hvilke man kan nâ meget h0je temperaturer, som klart er h0jere end produktets 25 smeltepunkt, uden at energiforbruget for0ges pâ prohibi-tiv mâde.

Der opstâr her muligheder for at indvirke pâ klinkernes endelige egenskaber ved modifikation af k0lemetoden: 30 Dersom produktet bringes over i flydende tilstand, kan man vælge mellem en langsom afkpling ved udhældning i st0beskeer og en hurtig afkpling ved neddypning i luft eller i vand. Man ved, at en hurtig eller meget hurtig k0ling for0ger indholdet af frit kalk og formindsker 35 indholdet af aluminiumferriter for produkter, som inde-holder kalk, aluminiumoxider og jernoxider.

9

DK 157290 B

Man kan sâledes 0ve indflydelse pâ afbindingshastigheden eller pâ langtidsstyrkeegenskaberne.

I det f0lgende er som eksempel anf0rt styrken for port-5 landcement udtrykt i MPa pâ pr0vestykker af cernent frem-stillet ud fra en ren blanding med et V/C-forhold (vand/cement baseret pâ vægt) pâ 0,5: A betyder en kontrol 10 B en cernent fremstillet ud fra den samme klinker, men smeltet i plasmaovn og bratk0let i vand C den samme cernent som B, men bratk0let i luft 15 D den samme cernent som B og C, men langsomt k0let E en cernent fremstillet ud fra samme râblanding som de foregâende, idet denne râblanding er blevet opvarmet 20 direkte i plasmaovnen og derpâ bratk0let i vand.

Styrke i MPa efter 1 dag 7 dage 28 dage 25 A 4 24 40 B 4,5 26 44 C 4 23,5 50 D 6,b 35 53 30 E 8 28,5 58

Ved fremgangsmâden if0lge opfindelsen tilvejebringes en 35 kraftig formindskelse af indholdet af flygtige urenheder i den fremstillede klinker.

10

DK 157290 B

I det f0lgende vises eksempler pâ analyser af - et tilfælde med behandling af et industrielt udgangs-materiale, betegnet "râblanding" ved fremgangsmâden if0lge opfindelsen: 5

Klinker fremstillet ved fremgangsmâden ifplge opfindelsen, Râblanding, smeltning og brat- 10 omregnet til 100 k0ling i vand

Uopl0seligt ) 0,05 ) 23,20 15 S1O2 23,10 AI2O3 4,65 4,65

Fe203 ) 2,90 2,40

FeO ) 0,10

CaO 66,50 66,85 20 MgO 1,40 1,50 SO3 ) 0,05 C02 ) 0,48 0,25

Vand, flygtigt materiale 0,40 25 K30 total 0,72 0,11

Na30 total 0,15 0,05

Total 100 99,51

CaO frit - 1,55 30 - - et tilfælde af behandling af en industriel klinker 35 11

DK 157290 B

Industriel klinker, IK, fremstillet Behandlet IK Behandlet IK, if0lge kendt bratk0let i bratk0let i 5 teknik vand luft

Uopl0seligt 0,35 0,20 0,15

Si02 21,65 22,45 22,30 10 Α1203 4,90 5,15 5,25

Fe203 3,15 3,18 3,35

FeO 0,10 0,18 0,06

MgO 1,75 1,40 1,50

CaO 66,00 66,50 66,46 15 Frit kalk 0,15 0,60 0,45 SO3 0,75 0,10 0,15 K20 total 0,70 0,18 0,20

Na20 total 0,50 0,06 0,13 20 K20 opl0seligt 0,59 0,01 0,05

Na20 oplpseligt 0,07 0,01 0,08 25 I fig. 5-7 illustreres ombygning af tre typer allerede eksisterende anlæg med henblik pâ at tillerape disse til fremgangsmâden if0lge opfindelsen.

2Q I fig. 5 vises et anlæg med en lang ovn, hvor râmateria-let tilf0res direkte til en roterovn 3. Ombygningen be-stâr i, at man fjerner den yderste ende af udgangen 8 af ovnen 3, dvs. den varmeste del, og i stedet for anbrin-ger plasmaovnen 1, om 0nsket efterfulgt af et granule-25 ringsværk 9, som bibeholdes. Den varme gas, der forlader k0leren 4, fores direkte til den roterende ovn svarende 12

DK 157290 B

til systemet vist i fig. 1-4.

I fig. 6 vises et anlæg med en vertikal forvarmer og calcineringsanlæg og en roterovn. Ogsâ her bestâr ombyg-5 ningen i hovedsagen i, at man fjerner den varmeste del af ovnen 3 og erstatter denne med plasmaovnen 1 samt eventuelt med et granuleringsapparat for det smeltede produkt 9 efterfulgt af en k0ler 4.

10 I fig. 7 vises et anlæg med vertikal forvarmer og calcineringsanlæg, hvis nedre del bestâr af præ-calcinerings-ovn samt en roterovn af ganske kort længde. I dette til-fælde bestâr ombygningen i den fuldstændige fjernelse af roterovnen 3. Plasmaovnen og den éventuelle granulator 15 kan pâ grund af deres meget smâ dimensioner anbringes direkte under præ-calcineringsanlægget, og k0leren 4 kan anbringes ved 4a i samme lodrette linie, hvilket f0rer til et særligt kompakt anlæg.

20 Man kan fremstille produkter baseret pâ dicalciumsili-kat, monocalciumsilikat og monocalciumaluminat pâ de samme anlæg. For de to sidstnævnte produkter f0rer visse fremgangsmâder til en smeltning, og produktet udst0bes i st0beskeer eller granuleres. Den foreliggende fremgangs-25 mâde rummer mulighed for hurtigt at opnâ h0je temperatu-rer, hvilket formindsker produktets viskositet og pâ denne mâde letter udst0bningen af produktet under samti-dig meget kraftig reduktion af tabene gennem væggene og med r0ggassen i forhold til de kendte fremgangsmâder, 30 hvor sâdanne tab for0ges derigennem, at de 0nskede tem-peraturer befinder sig i grænseomrâdet for, hvad der kan opnâs med fossilt brændstof forbrændt med luft. Den foreliggende opfindelse f0rer ligeledes til en betydelig formindskelse af det kalorieforbrug, der er knyttet til 35 fremstillingen af sâdanne produkter. Denne reduktion var ikke selvf0lgelig, eftersom den indtraf samtidig med en 13

DK 157290 B

forh0jelse af de maksimale temperaturer. Den kan nâ op pâ 2 400 KJ/kg, dvs. 33% i forbindelse med aluminacemen-ter, og til 14 000 KJ/kg, dvs. 85% med fremstillingen ved smeltning af monocalciumsilikat.

5

Det ovenfor beskrevne f abr ikationsfor:S0g for cernent blev udf0rt under anvendelse af argon som pJLasmadannede gas.

Man har udfort andre fors0g med tilsvarende resultater under anvendelse af luft eller endog r0ggas, idet plas-10 maovnens elektroder sa bestod af grafit beklædt med si-liciumcarbid eller kobbercarbid. Man har ligeledes med held anvendt CO2 ved fors0g med smeltning af oxider til ildfaste materialer.

15 20 25 30 35

Claims (10)

1. Fremgangsmâde til fremstilling af klinker indehold-5 ende over 50% af ét af f0lgende produkter: tricalcium-silikat, dicalciumsilikat, monocalciumsilikat, monocal-ciumaluminat eller h0jovnsslagge, hvorved man i en f0r-ste fase opvarmer et fast râraateriale, der indeholder calciumcarbonat, til en hpj temperatur, soin medfprer af-10 givelse af carbondioxid fra calciumcarbonatet, idet den-ne opvarmning i det mindste delvis opnâs ved hjælp af varm gas, f.eks. stammende fra en forbrænding, under cirkulation i modstr0m med de râmaterialer, der skal op-varmes, og i direkte kontakt med disse, hvorpâ man i en 15 anden fase bringer det sâledes opvarmede râmateriale op pâ en endnu hojere temperatur i nærvær af en vis mængde gas, hvorefter man i en tredje fase k0ler det opvarmede materiale, idet den under den tredje fase dannede varme gas tilfores produkterne til opvarmning af disse under 20 den f0rste fase, uden at gassen passerer gennem det rum, hvori den anden fase finder sted, og idet den under den anden fase anvendte gas ikke bringes i kontakt med den f0rste fases râmateriale eller kun bringes i kontakt med dette materiale, nâr indholdet af urenheder ligger pâ et 25 acceptabelt niveau, kendetegnet ved, at man i den anden fase bringer râmaterialet op pâ en temperatur pâ over 1 500 °C, hvilket muligg0r smeltning af mere end 80% af materialet.

2. Fremgangsmâde if0lge krav 1, kendetegnet ved, at den i den anden fase af râmaterialet opnâede temperatur er h0jere end 1 800 °C.

3. Fremgangsmâde if0lge krav 2, kendetegnet 35 ved, at den i den anden fase opnâede temperatur af râmaterialet er h0jere end 1 950 °C. DK 157290 B

4. Fremgangsmâde if0lge et hvilket som helst af kravene 1-3, kendetegnet ved, at man i den anden fase anvender en plasmaovn, der gennemstr0rames af det pro-dukt, som skal behandles, og hvis udgangsgas medriver de 5 produkturenheder, der er flygtige ved behandlingstem-peraturen.

5. Fremgangsmâde if0lge krav 4, kendetegnet ved, at den anvendte plasmaovn er en roterovn, hvis akse 10 afviger 3-60 0 fra den horisontale akste.

6. Fremgangsmâde if0lge krav 4 eller 5, kendetegnet ved, at den i anden fase anvendte gas i det mindste delvis genanvendes som plasmadannende gas i 15 plasmaovnen.

7. Fremgangsmâde if0lge et hvilket som helst af kravene 1-6, kendetegnet ved, at man underkaster det smeltede produkt en hurtig eller meget hurtig k0ling ved 20 hjælp af luft eller vand.

8. Fremgangsmâde if0lge et hvilket som helst af kravene 1-6, kendetegnet ved, at man underkaster det smeltede produkt en langsom k0ling i en stpbeske. 25

9. Fremgangsmâde ifplge et hvilket som helst af kravene 1-8, kendetegnet ved, at man til d^n anden fase recirkulerer den fra denne fase udstrpmmende gas efter ved kondensation at hâve frasepareret de i denne 30 anden fase forflygtigede urenheder. 1 Fremgangsmâde ifplge et hvilket som helst af kravene 1-9, kendetegnet ved, at man til den f0rste fase tilf0rer den fra den anden fase udstr0mmende gas 35 efter ved kondensation at hâve frasepareret de i denne anden fase forflygtigede urenheder. DK 157290 B

11. Fremgangsmâde if0lge et hvilket som helst af kravene 4-10, kendetegnet ved, at man som plasmadan-nende gas anvender oxiderende gas, sâsom luft eller r0g-gas og ved, at plasmaovnens elektroder er grafitelektro-5 der beklædt med et beskyttelseslag mod oxidation, sâsom et lag af silicium- eller kobbercarbid. 10 15 20 25 30 35