DE974136C - Verfahren zur Herstellung eines Verdampfers - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Verdampfers

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DE974136C
DE974136C DES31720A DES0031720A DE974136C DE 974136 C DE974136 C DE 974136C DE S31720 A DES31720 A DE S31720A DE S0031720 A DES0031720 A DE S0031720A DE 974136 C DE974136 C DE 974136C
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DE
Germany
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boat
evaporation
evaporator
boats
carbon
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Expired
Application number
DES31720A
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English (en)
Inventor
Emil Dr Duhme
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/26Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
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Description

In dem Hauptpatent 851 385 wurde bereits ein VerdampferschifEchen angegeben, bei dem die stabförmige Metallelektrode in die Kohle hineinragt und innerhalb der Kohle mindestens an ihrem Ende mechanisch fest und elektrisch gut leitend mit der Kohle verbunden ist. Diese Verdampferschiffchen haben sich besonders für die Verdampfung von Aluminium als geeignet erwiesen. Der Grund hierfür Hegt einerseits in der festen, elektrisch gut leitenden Verbindung der Zuführungselektrode mit der Kohle und den Halbleitereigenschaften des Schiffchens. Hierdurch entsteht nämlich beim Betrieb der Verdampferschiffchen eine heiße Zone an den Enden des vom Metall benetzten Teiles des Schiffchens, wodurch vor allem bei der Verdampfung von Aluminium ein Überkriechen des Verdampfungsmetalls über die heiße Zone an die kalten Enden des Schiffchens vermieden wird. In der Mitte des von dem Verdampfungsgut benetzten Teiles des Schiffchens ist die Erwärmung infolge des Kurzschlusses des Halbleiters durch das metallische Verdampfungsgut wesentlich geringer.
Diese geschilderten Eigenschaften des Verdampfers nach dem Hauptpatent haben nun aber zur Folge, daß eine Bedampfung breiter Bänder erschwert ist, weil das Schiffchen nicht beliebig lang ausgebildet werden kann. Würde man es trotzdem tun, so würde die Bedampfung infolge des Kurzschlusses des Schiffchens durch das Verdampfungsgut in der Mitte des Schiffchens wesentlich geringer sein als an den Enden, und die auf dem breiten Band niedergeschlagene Metallschicht würde ungleich stark werden. Es genügt nicht, zur Beseitigung des Kurzschlusses des Halbleiters ein langes Kohlestück zu verwenden, das mit einzelnen Bohrungen, Ausnehmungen od. dgl. für die Aufnahme des Bedampfungsgutes versehen ist, wie dies z. B. in Fig. 1 dargestellt ist; denn in diesem Falle kommt die oben geschilderte Ausbildung einer heißen Zone zwischen den von dem Bedampfungsgut benetzten Teilen des Schiffchens in Fortfall; das AIuminium würde daher während der Verdampfung schnell die zwischen den einzelnen Ausnehmungen für das Aluminium befindlichen Oberflächenteile der Kohle benetzen und wieder den Kurzschluß für die Kohlen bilden. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird deshalb vorgeschlagen, zur Bedampfung breiter Bänder mehrere Kohleschiffchen gemäß dem Hauptpatent zu verwenden und diese jeweils durch ein mit seinen beiden Enden mit je einem Kohleschiffchen verschweißte Zwischenelektrode in Reihenschaltung miteinander zu verbinden, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist. In Fig. 2 bedeutet wieder 1 ein nach dem Hauptpatent hergestelltes Kohleschiffchen, das bei 6 und 7 mit je einer Elektrode aus einem hochschmelzenden Metall, wie Wolfram, Molybdän oder Tantal, in der im Hauptpatent angegebenen Weise verschmolzen ist. Im ganzen sind in dem gezeigten Ausführungsbeispiel vier Kohleschiffchen hintereinandergeschaltet, die jeweils durch die Zwischenelektroden 5' elektrisch miteinander verbunden sind. Die Stromlinien bei diesen Kohleschiffchen verlaufen also im wesentlichen von °o den Endpunkten 6, 7 der Elektroden 4, 5 durch die Schiffchen 1 zu dem Verdampfungsgut, insbesondere dem Aluminium in den Ausnehmungen der Schiffchen. Infolge der hohen Erhitzung und wegen der Halbleitereigenschaft des Schiffchens nimmt der Widerstand des Stromweges von den Verschweißungsstellen 6, 7 der Elektroden 4, 5 und 5' zu dem Verdampfungsgut 10 stark ab, so daß bei Dauerbetrieb fast der gesamte Strom nur über diesen Weg fließt, die übrigen Teile des Verdampferschiffchens jedoch verhältnismäßig kälter bleiben. Es bildet sich also an den Enden des von dem Verdampfungsgut 10 benetzten Teiles des Schiffchens jeweils eine hoch erhitzte Zone aus, die das Überkriechen des Verdampfungsgutes verhindert.
Die Durchführung dieses erfindungsgemäßen Verfahrens ist nicht auf die Verwendung von Kohleschiffchen beschränkt. An Stelle von Kohleschiffchen können vielmehr auch Schiffchen aus Karbiden, wie solchen der Schwermetalle, des Siliciums oder Bors, verwendet werden, die mit den Stromzuführungen 4 bzw. 5 in der im Hauptpatent angegebenen Weise »verschweißbar« sind.
Eine gemäß vorliegender Erfindung aus mehreren hintereinandergeschalteten Verdampferschiffchen bestehende Anordnung eignet sich zur fortlaufenden Verdampfung von Metall, besonders von Aluminium, zur Bedampfung von Bändern, deren Breite wesentlich größer ist als die Länge der einzelnen Verdampferschiffchen, besonders von Isolierstoffbändern für elektrische Kondensatoren oder für elektrische Registrierzwecke.

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung eines Verdampfers nach Patent 851385, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere getrennte Schiffchen (1) aus Kohlenstoff oder Karbiden, wie solchen der Schwermetalle, des Siliciums oder Bors, durch mit dem Schiffchen nach dem Hauptpatent verschweißte Zwischenelektroden (5') in Reihenschaltung miteinander verbunden werden.
2. Anwendung einer aus mehreren hintereinandergeschalteten Verdampferschiffchen bestehenden Anordnung nach Anspruch 1 zur fortlaufenden Verdampfung von Metall, vorzugsweise von Aluminium zur Bedampfung von breiten Bändern, insbesondere von Isolierstoffbändern für elektrische Kondensatoren oder für elektrische Registrierzwecke, wobei die Breite der Bänder wesentlich größer ist als die Länge des einzelnen Verdampferschiffchens.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1193765B (de) * 1960-03-31 1965-05-26 Nat Res Corp Verdampfergefaess zum Vakuumbedampfen von beweglichen Unterlagen mit Aluminium und Verfahren zu dessen Herstellung
EP0989201A1 (de) * 1998-09-24 2000-03-29 Leybold Systems GmbH Verdampferkörper

Citations (2)

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DE205115C (de) *
DE851385C (de) * 1950-10-13 1952-10-02 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung einer Stromzufuehrung zu einem Kohlestueck, z. B. einem Verdampferschiffchen aus Kohle

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