DE961370C - Magnetic pole piece lens - Google Patents

Magnetic pole piece lens

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DE961370C
DE961370C DES10377D DES0010377D DE961370C DE 961370 C DE961370 C DE 961370C DE S10377 D DES10377 D DE S10377D DE S0010377 D DES0010377 D DE S0010377D DE 961370 C DE961370 C DE 961370C
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DE
Germany
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diaphragm
tongue
arrangement according
magnetic
slide
Prior art date
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Expired
Application number
DES10377D
Other languages
German (de)
Inventor
Dr-Ing Ernst Ruska
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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Priority to FR53533D priority patent/FR53533E/en
Application granted granted Critical
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Expired legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/09Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J37/10Lenses
    • H01J37/14Lenses magnetic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

besondere, in der senkrechten Richtung wirkende Verstelleinrichtung, die einen Kopf 27 besitzt, der das Ende der Blendenzunge derart umfaßt, daß eine kleine Bewegungsmöglichkeit der Blendenzunge in ihrer eigenen Bewegungsrichtung bestehenbleibt, daß aber die Blendenzunge quer zur eigenen Richtung durch die zweite, sonst entsprechend ausgebildete Verstellvorrichtung 28 mitgenommen wird. Um die Bewegung der Blendenzungen zu ermögliehen-, ist die Zunge um kleine Beträge quer verschieblich ausgebildet, sei es durch entsprechende Ouersdhnittbemessung, durch eine eingebaute Federung oder durch ein Gelenk.special, acting in the vertical direction adjusting device which has a head 27 which the end of the diaphragm tongue includes such that a small possibility of movement of the diaphragm tongue in their own direction of movement remains, but that the diaphragm tongue is transverse to its own direction is taken along by the second, otherwise correspondingly designed adjusting device 28. In order to enable the diaphragm tongues to move, the tongue can be moved transversely by small amounts formed, be it by appropriate cross-section dimensioning, by a built-in suspension or by a joint.

Man kann die Anordnung abweichend von der dargestellten Ausführungsform auch so ausbilden, daß beide Blendenarten gleichzeitig seitlich eingebracht und bewegt werden. Jeder Blende sind zwei Verstellschrauben 19 zugeordnet, die vorzugsweise um jeweils 900 gegeneinander versetzt sind. Dabei kann man die Anordnung bei einem senkrecht stehenden Mikroskop beispielsweise so wählen, daß die Verstellung der ,Objektträgerblende von vorn und die Aperturblendenverstellung von hinten betätigt werden kann. Beim Herausnehmen der Blende braucht nur die die Blendenzunge haltende Verstelleinrichtung herausgeschraubt zu werden, während die zugehörige um 900 versetzte Verstelleinrichtung ungeändert am Objektiv verbleiben kann. Beim Wiedereinsetzen der Blendenzunge führt sich diese von selbst in die um 900 versetzte Verstelleinrichtung ein.In a departure from the embodiment shown, the arrangement can also be designed in such a way that both types of diaphragm are inserted and moved laterally at the same time. Each aperture is associated with two adjusting screws 19, which are preferably offset from each other by 90 0th In the case of a vertical microscope, the arrangement can be selected, for example, so that the adjustment of the slide diaphragm can be actuated from the front and the aperture diaphragm adjustment can be actuated from the rear. When removing the shutter only the diaphragm tongue retaining adjustment device needs to be unscrewed, while the associated 90 0 offset adjusting device can remain unchanged on the lens. When replacing the diaphragm tongue, this introduces the 90 0 offset adjustment by itself.

Claims (9)

Patentansprüche:Patent claims: i. Magnetische Polschuhlinse, insbesondere Objektiv für Elektronenmikroskope, bei der innerhalb der' den Magnetkern bildenden Ummantelung der Linse in der Höhenlage der Polschuhspitzen eine ringförmige Scheibe aus un- magnetischem Material angeordnet ist, die eine oder mehrere radiale Bohrungen aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Bohrungen in der unmagnetischen Scheibe den in zwei quer zur Strahlrichtung liegenden Koordinaten verstellbaren Halter einer als Objektträger ausgebildeten Blendenzunge aufnimmt und daß der Halter mit der Objektträgerzunge ohne Lageänderung des Polschuhsystems seitlich herauszunehmen und auszuwechseln ist.i. Magnetic pole shoe lens, in particular lens for electron microscopes, in the within the casing of the lens, which forms the magnetic core, at the level of the pole piece tips, an annular disc made of un- magnetic material is arranged, which has one or more radial bores, thereby characterized in that one of the bores in the non-magnetic disc is transverse to the two to the beam direction lying coordinates adjustable holder of a designed as a slide Receives aperture tongue and that the holder with the slide tongue without changing position of the pole shoe system is to be removed from the side and replaced. 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als verstellbare Halter der Blendenzungen Gewindeschrauben dienen, die in durch Fett abgedichtete Muttergewinde der äußeren magnetischen Ummantelung eingeschraubt sind.2. Arrangement according to claim 1, characterized in that that serve as an adjustable holder of the diaphragm tongues threaded screws in the nut thread sealed by grease outer magnetic sheath are screwed. 3. Anordnung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch die Verwendung zweier konzentrischer Doppelgewinde mit etwas verschiedener Gewindesteigung, wobei der Gewindebolzen., welcher die Blendenzunge trägt, beispielsweise durch Stift und Nut am Mitdrehen gehindert ist.3. Arrangement according to claim 2, characterized by the use of two concentric Double thread with slightly different thread pitches, whereby the threaded bolt., which carries the diaphragm tongue, is prevented from rotating, for example by a pin and groove. 4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der die Blendenzunge tragende Gewindebolzen in einer mit entsprechendem Gewinde versehenen Sacklochbohrung des zweiten von außen her verdrehbaren Gewindebolzens hin- und hergeschraubt werden kann.4. Arrangement according to claim 3, characterized in that the one carrying the diaphragm tongue Threaded bolt in a correspondingly threaded blind hole of the second externally rotatable threaded bolt can be screwed back and forth. 5. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der die beiden Polschuhe eines Polschuheinsatzkörpers zusammenhaltende unmagnetische Zwischenring eine den Bohrungen in der unmagnetischen Scheibe entsprechende Öffnung besitzt, durch die eine Blendenzunge hindurchführbar ist.5. Arrangement according to claim 1 or one of the following, characterized in that the non-magnetic intermediate ring holding the two pole shoes of a pole shoe insert body together has an opening corresponding to the bores in the non-magnetic disk, through which a diaphragm tongue can be passed is. 6. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß in den Spalt zwischen den beiden Polschuhspitzen zwei vorzugsweise um i8o° gegeneinander versetzt liegende Blendenzungen hineinragen, von denen die eine die Objektträgerblende und die andere eine Aperturblende trägt.6. Arrangement according to claim 1 or one of the following, characterized in that in the gap between the two pole piece tips two preferably offset from one another by 180 ° lying diaphragm tongues protrude, one of which is the slide diaphragm and the others have an aperture stop. 7. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Blendenzunge noch ein Verstelltrieb senkrecht zur Beweglichkeit in der Zungenrichtung zugeordnet ist, der einen das Ende der Blendenzunge umklammernden Kopf besitzt, welcher eine Bewegungsmöglichkeit in der Zungenrichtung zuläßt.7. Arrangement according to claim 1 or one of the following, characterized in that each diaphragm tongue still has an adjustment drive perpendicular to the mobility in the tongue direction is assigned, which has a head clasping the end of the diaphragm tongue, which allows movement in the direction of the tongue. 8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Blendenzunge um kleine Beträge quer verschieblich gemacht ist durch entsprechende Querschnittdimensionierung oder eine eingebaute Federung oder ein Gelenk.8. Arrangement according to claim 7, characterized in that the diaphragm tongue to small Amounts can be shifted transversely through appropriate cross-sectional dimensioning or a built-in suspension or a hinge. 9. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, gekennzeichnet durch eine solche Anordnung der Verstellschrauben der beiden Blendenzungen, daß die Verstellung der einen Blende (vorzugsweise der Objektträgerblende) an zwei nach der Vorderseite des Gerätes gerichteten, um 900 gegeneinander versetzten Schrauben durchgeführt wird, während für dit Querverstellung der anderen Blende zwei nach der Rückseite des Gerätes liegende, um 900 gegeneinander versetzte Schrauben dienen.9. Arrangement according to claim 1 or one of the following, characterized by such an arrangement of the adjusting screws of the two diaphragm tongues that the adjustment of one diaphragm (preferably the slide diaphragm) is carried out on two screws directed towards the front of the device, offset by 90 ° from one another while, serve for dit transverse adjustment of the other two orifice to the rear of the instrument lying at 90 0 staggered screws. In Betracht gezogene Druckschriften: v. Ar denn e, Elektronen-Übermikroskopie, Berlin 1940, S. 218.Documents considered: v. Ar because e, electron microscopy, Berlin 1940, p. 218. Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings © 600 8S2 3. S?© 600 8S2 3rd S?
DES10377D 1942-12-30 1942-12-30 Magnetic pole piece lens Expired DE961370C (en)

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NL115002D NL115002C (en) 1942-12-30
DES10377D DE961370C (en) 1942-12-30 1942-12-30 Magnetic pole piece lens
FR53533D FR53533E (en) 1942-12-30 1944-03-18 Corpuscular ray apparatus

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DE961370C true DE961370C (en) 1957-04-04

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ID=7473298

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DE (1) DE961370C (en)
FR (1) FR53533E (en)
NL (1) NL115002C (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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NL115002C (en)
FR53533E (en) 1946-03-04

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