DE9307263U1 - Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats - Google Patents

Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats

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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Description

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Leybold Aktiengesellschaft Wilhelm-Rohn-Straße 25
D-6450 Hanau 1
Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen
Substrats
Die Neuerung betrifft eine Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen, vorzugsweise scheibenförmigen, Substrats, die im wesentlichen aus mehreren Greifern und einer Membran aus elastischem Material besteht, die eine, in einem Druckgehäuse angeordnete Öffnung verschließt.
In der Vakuum-Prozeßtechnik - insbesondere in der Dünnschicht-Technik - ist das Beschichten von kreissscheibenförmigen Substraten, beispielsweise von Glas- oder Aluminiumscheiben für magnetische oder magneto-optische Datenträger bekannt. Diese scheibenförmigen Substrate werden als Speichermedien für digitale Information vielfältig verwendet. In einem Sputterprozeß werden beispielsweise' geprägte Kunststoffscheiben mit einer Aluminiumschicht überzogen. Die hierzu eingesetzten Sput-
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ter-Beschichtungsanlagen besitzen in aller Regel eine automatisierte Handling-Einrichtung für die Beförderung der Substrate vor, in und hinter einer Vakuum-Kammer.
Von einem Puffer aus transportiert beispielsweise ein Schwenkarm eines Handling-Systems die Substrate in die Vakuum-Kammer. In der Kammer werden dann die Substrate auf einen Drehteller aufgelegt und mit diesem durch die einzelnen Stationen der Vakuum-Kammer hindurchbewegt. Zum Be- und Entladen der Drehteller mit den Substraten sind im Stand der Technik zahlreiche Vorrichtungen zum Greifen und Halten bekannt.
Bisher wurden in den Vakuum-Kammern meist solche Greifer verwendet, die mittels einer Vakuum-Schiebedurchführung von außerhalb der Kammer betätigt werden.
Diese bekannten Vorrichtungen haben den Nachteil, daß sie meist zu viele bewegte Teile enthalten, daß durch die Gleitbewegungen in den Schiebedurchführungen unerwünschte Partikel erzeugt werden, die später in den Beschichtungsraum gelangen und das Beschichtungsergebnis nachteilig beeinflussen. Weiterhin läßt sich bei solchen Schiebedurchführungen in aller Regel nach einer bestimmten Betriebsdauer ein Dichtungsverschleiß feststellen, der immer eine Leckage der Vakuum-Kammer und somit eine zeit- und kostenintensive Reparatur zur Folge hat.
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Aufgabe der vorliegenden Neuerung ist es nun, die oben genannten Nachteile abzustellen und eine Vorrichtung anzugeben, die es erlaubt Substrate inner- und außerhalb von Vakuum-Kammern zu Greifen und zu Halten.
Diese Aufgabe wird neuerungsgemäß dadurch gelöst, daß eine Membran eine, in einem druckfesten Gehäuse angeordnete Öffnung verschließt und auf der Vorder- und Rückseite der Membran unterschiedlich Drücke einstellbar sind und die Membran so angeordnet ist, daß sie bei anliegender Druckdifferenz eine Auslenkung aus ihrer Ruhelage ausführt und bei Druckgleichheit durch eine Druckfeder wieder in ihre Ruhelage zurückstellbar ist. Des weiteren sind die Greifer mit ihrem jeweils einen Ende mechanisch mit der Membran verbunden, so daß sie mit ihrem anderen, freien Ende eine Schwenkbewegung proportional zur Auslenkung der Membran - ausführen und somit das Substrat greifen und halten, beziehungsweise freigeben. Es ist sowohl eine Ausführungsform mit einem Greifer denkbar, der beispielsweise ein Substrat gegen einen Anschlag bewegt und somit hält, als auch mit zwei, drei oder mehreren Greifern, die dann das Substrat ohne weitere Hilfsmittel klemmen und halten.
Durch diese neuerungsgemäße Vorrichtung werden die Substrate vorteilhafterweise inner- und außerhalb von Vakuum-Kammern gegriffen und gehalten, wobei die Bewegungen nahezu verschleißfrei ausgeführt werden. Weiterhin wird durch die vorliegende Neuerung eine Minimierung des Platzbedarfs erreicht,
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da kein separates Antriebselement mehr erforderlich ist.
Weitere Vorteile und Ausführungsformen der Neuerung sind in den Unteransprüchen beschrieben. Die Neuerung selbst ermöglicht die unterschiedlichsten Ausführungsformen, eine davon ist in den anhängenden Zeichnungen beispielhaft dargestellt. Dies sind:
Fig. 1 eine Vorrichtung zum Greifen und Halten eines scheibenförmigen Substrats in
drucklosem Zustand in Schnittdarstellung und
Fig. 2 eine Vorrichtung nach Fig. 1 in druckführendem Zustand in Schnittdarstellung.
In einer Kammerwand 1 (Fig. 1) einer nicht dargestellten Vakuum-Kammer K befindet sich in einer kreisförmigen öffnung eine Vorrichtung V zum Greifen und Halten scheibenförmiger Substrate. Ein im wesentlichen glockenförmiges Gehäuse 2 ist auf die Kammerwand 1 aufgesetzt, während auf dem Gehäuse 2 selbst ein weiteres deckeiförmiges Gehäuse 3 angeordnet ist, welches wiederum den Innenraum der Vakuum-Kammer K zur Atmosphäre hin abdichtet. In das Gehäuse 3 ist zentrisch eine Bohrung 4 eingebracht, an die eine nicht dargestellte Druckluft-Versorgungseinheit angeschlossen ist. Von dieser Druckluft-Versorgungseinheit wird die Druckluft in Richtung des Pfeiles L in das Gehäuse 3 eingespeist .
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Zwischen den Gehäusen 2 und 3 ist eine Membran 5 eingelegt, wobei das deckeiförmige Gehäuse 3 und das Gehäuse 2 mit mehreren Schrauben 6, 6', ... fest miteinander verbunden sind. In dem Innenraum des Gehäuses 2 ist ein Träger 7 zur Aufnahme aller beweglichen, mechanischen Teile vorgesehen und mit den Schrauben 8, 8·, ... im Gehäuse 2 befestigt. In drei schlitzartigen Ausnehmungen, die symmetrisch über die kreisförmige Stirnfläche auf der Oberseite des Trägers 7 verteilt angeordnet sind, ist je ein Hebel 9, 9',... eingesetzt und mittels der Zylinderstifte 10, 10',... drehbar gelagert. Zur Rückstellung der Hebel 9, 9', ... sind zwischen den Hebeln 9, 9',... und dem Träger 7 je eine Druckfeder 11, 11',... vorgesehen. Auf der Unterseite der Hebel 9, 9',... sind zylindrische Greiferfinger 12, 12',... befestigt, welche in den Innenraum der Vakuum-Kammer K hineinreichen. Am unteren Ende der Greiferfinger 12, 12',... ist je eine ringförmige Nut 13, 13',... vorgesehen.
Als äußere Anschlagsbegrenzung für die Greiferfinger 12, 12',... ist in dem Träger 7 eine Scheibe 14 eingesetzt und mit einem Sicherungsring 15 befestigt. Unterhalb der Vorrichtung V befindet sich in der Vakuum-Kammer K das zu beschichtende Substrat 16, welches in den Nuten 13, 13',... der Greiferfinger 12, 12',... symmetrisch gehalten wird.
Zentrisch in dem Träger 7 ist von oben ein zylindrischer Zentrierstift 17 eingesetzt, der eine
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Glocke 18 führt. Konzentrisch um den Zentrierstift 17 ist eine Druckfeder 19 angeordnet, die sich einerseits im Träger 7 abstützt und andererseits die Glocke 18 durch eine Öffnung 20 gegen die Membran 5 andrückt.
Bei Erhöhung des Luftdrucks in Pfeilrichtung L (Fig. 2)gibt die Membran 5 die am unteren Ende der Bohrung 4 befindliche Öffnung 21 frei. Die Rückseite der Membran 5 weist in ihrem radial innen liegenden Bereich einen Abstand A zur Vorderkante der Öffnung 21 auf, so daß sich zwischen dem Dekkel 3 und der Membran 5 ein Hohlraum 22 einstellt. Durch die Absenkung der Membran 5 um den Abstand A wird zwangsläufig auch die Glocke 18 um den Abstand A gegen die Federkraft der Druckfeder 19 nach unten bewegt.
Die im radial äußeren Bereich der Glocke 18 angeordnete kragenförmige Erhöhung 23, 23',... drückt auf die Oberseite der Hebel 9, 9',... , so daß die mit dem Hebel 9, 9',... verbundenen Greiferfinger 12, 12',... eine Auslenkung X aus ihrer ursprünglich vertikalen Lage erfahren. Damit geben die Greiferfinger 12, 12',... die Stirnseite 24 der Bohrung 25 des Substrats 16 frei und dieses kann somit zum Innenraum der Vakuum-Kammer K hin entnommen werden.
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Bezugszeichenliste
1 Kammerwand
2 Gehäuse
3 Gehäuse
4 Bohrung
5 Membran
6,6',... Schraube
7 Träger
8,8', ... Schraube
9,9', ... Hebel
10,10',... Zylinderstift
11,11',... Druckfeder
12,12', . . . Greifer, -fing
13,13', ... Nut
14 Scheibe
15 Sicherungsring
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16 Substrat
17 Zentrierstift
18 Glocke
19 Druckfeder
20 Öffnung
21 Öffnung
22 Hohlraum
23 Erhöhung
24 Stirnseite
25 Bohrung
V Vorrichtung
K Vakuum-Kammer
L Druckluft
A Abstand, Auslenkung
X Auslenkung, Schwenkbewegung

Claims (21)

9 3 5 Schutzansprüche
1. Vorrichtung (V) zum Greifen und Halten eines flachen, vorzugsweise scheibenförmigen Substrats (16), im wesentlichen bestehend aus mehreren Greifern (12,12',...) und einer Membran (5) aus elastischem Material, die eine, in einem druckfesten Gehäuse (3) angeordnete Öffnung (21) verschließt, wobei auf der Vorder- und Rückseite der Membran (5) unterschiedliche Drücke einstellbar sind und die Membran (5) so angeordnet ist, daß sie bei anliegender Druckdifferenz eine Auslenkung (A) aus ihrer Ruhelage ausführt und bei Druckgleichheit durch eine Druckfeder (19) wieder in ihre Ruhelage zurückstellbar ist und wobei die Greifer (12,12',...) mit ihrem jeweils einen Ende mechanisch mit der Membran (5) so verbunden sind, daß sie mit ihrem anderen, freien Ende eine Schwenkbewegung (X) proportional zur Auslenkung (A) der Membran
(5) zum Greifen und Halten, beziehungsweise Freigeben des Substrats (16) ausführen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (5) aus einem gummi-, textil- oder metallhaltigen Werkstoff hergestellt ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (5) vakuumdicht ist.
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4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (5) als dünne, ebene Platte ausgeführt ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (5) mit ihrem radial äußeren Rand fest zwischen dem Gehäuse (3) und einem Gehäuse (2) gehalten ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der radial innen liegende Bereich der Membran (5) zur Vorder- und zur Rückseite frei verformbar ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckerhöhung auf einer Seite der Membran (5) pneumatisch oder hydraulisch erfolgt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Greifer (12,12',...) gebogen oder geschweift ausgeführt sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Greifer (12,12',...) geradlinig und zylindrisch als Greiffinger ausgeführt sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei gleichartige Greiferfinger (12,12',...) verwendet werden.
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11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiffinger (12,12',...) symmetrisch zueinander an der Vorderseite der Membran (5) angeordnet sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiffinger (12,12',...) mit ihrem einen Ende direkt mit der Membran
(5) verlötet, verschweißt oder verklebt sind.
13. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiffinger (12,12',...) indirekt über Hebel (9,9',...), Erhöhung (23) und Druckfedern (11,11',...,19) mit der Membran (5) verbunden sind.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiffinger (12,12',...), Hebel (9,9',...) und Federn (11,11',...,19) auf der Vorderseite der Membran (5) in einem Träger (7) angeordnet sind.
15. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß alle Greiffinger (12,12',...) dieselbe Auslenkung (X) ausführen.
16. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiffinger (12,12',...) an ihrem freien Ende eine umlaufende Nut (13,13',...) aufweisen.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiffinger (12,12',...) in
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eine zentrische Bohrung (25) des Substrats (16) hineinragen.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiffinger (12,12',...) an der Stirnseite (24) der Bohrung (25) des Substrats (16) angreifen.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiffinger (12,12',...) fingerartig gespreizt werden.
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiffinger (12,12',...) das Substrat (16) kraft- oder formschlüssig halten..
21. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Träger (7) eine Druckfeder (19) zum Ausgleich der Druckdifferenz und zur Rückstellung der Membran (5) vorgesehen ist.
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Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19605598C1 (de) * 1996-02-15 1996-10-31 Singulus Technologies Gmbh Vorrichtung zum Greifen und Halten von Substraten
DE19605599C1 (de) * 1996-02-15 1996-10-31 Singulus Technologies Gmbh Vorrichtung zum Transport von Substraten
DE19529537A1 (de) * 1995-08-11 1997-02-13 Leybold Ag Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats
DE19529945A1 (de) * 1995-08-16 1997-02-20 Leybold Ag Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats
DE19614596C1 (de) * 1996-04-13 1997-05-22 Singulus Technologies Gmbh Vorrichtung zum Transport von Substraten
DE19549045C1 (de) * 1995-12-28 1997-06-05 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten
EP0858963A2 (de) * 1997-02-13 1998-08-19 Leybold Systems GmbH Vorrichtung zum Halten eines flachen Substrats
DE19821019A1 (de) * 1998-05-11 1999-11-18 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten
EP0963930A2 (de) 1998-04-02 1999-12-15 Leybold Systems GmbH Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats
DE19827124A1 (de) * 1998-06-18 1999-12-23 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten von und nach Behandlungsstationen
DE10050412A1 (de) * 2000-10-12 2002-04-25 Multi Media Maschinery Gmbh Vorrichtung zum Greifen und Halten von auf einem Substrathalter abgelegten Disketten
WO2002074449A1 (en) * 2001-03-16 2002-09-26 Toda Citron Technologies, Inc. Disk lubrication mechanism
DE10236456A1 (de) * 2002-08-08 2004-02-26 Steag Hamatech Ag Haltevorrichtung für Substrate in einer Vakuumkammer
EP1536456A1 (de) * 2003-11-28 2005-06-01 Singulus Technologies AG Trägeranordnung

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3803411A1 (de) * 1988-02-05 1989-08-17 Leybold Ag Vorrichtung zur halterung von werkstuecken
DE3047513C2 (de) * 1979-12-21 1990-03-29 Varian Associates, Inc., Palo Alto, Calif., Us
EP0389820A1 (de) * 1989-03-30 1990-10-03 Leybold Aktiengesellschaft Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen eines Werkstücks in eine Vakuumkammer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3047513C2 (de) * 1979-12-21 1990-03-29 Varian Associates, Inc., Palo Alto, Calif., Us
DE3803411A1 (de) * 1988-02-05 1989-08-17 Leybold Ag Vorrichtung zur halterung von werkstuecken
EP0389820A1 (de) * 1989-03-30 1990-10-03 Leybold Aktiengesellschaft Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen eines Werkstücks in eine Vakuumkammer

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19529537A1 (de) * 1995-08-11 1997-02-13 Leybold Ag Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats
EP0761839A1 (de) * 1995-08-11 1997-03-12 Balzers und Leybold Deutschland Holding Aktiengesellschaft Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats
US5803521A (en) * 1995-08-11 1998-09-08 Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag Apparatus for gripping a flat substrate
US5669652A (en) * 1995-08-16 1997-09-23 Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag Apparatus for gripping a flat substrate
DE19529945A1 (de) * 1995-08-16 1997-02-20 Leybold Ag Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats
EP0761840A1 (de) * 1995-08-16 1997-03-12 Balzers und Leybold Deutschland Holding Aktiengesellschaft Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats
US5807062A (en) * 1995-12-28 1998-09-15 Jenoptik Aktiengesellschaft Arrangement for handling wafer-shaped objects
DE19549045C1 (de) * 1995-12-28 1997-06-05 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten
EP0790331A1 (de) * 1996-02-15 1997-08-20 Singulus Technologies GmbH Vorrichtung zum Greifen und Halten von Substraten
EP0790330A1 (de) * 1996-02-15 1997-08-20 Singulus Technologies GmbH Vorrichtung zum Transport von Substraten
US5876082A (en) * 1996-02-15 1999-03-02 Singulus Technologies Gmbh Device for gripping and holding substrates
US5879121A (en) * 1996-02-15 1999-03-09 Singulus Technologies Gmbh Substrate transporting apparatus
DE19605598C1 (de) * 1996-02-15 1996-10-31 Singulus Technologies Gmbh Vorrichtung zum Greifen und Halten von Substraten
DE19605599C1 (de) * 1996-02-15 1996-10-31 Singulus Technologies Gmbh Vorrichtung zum Transport von Substraten
EP0801147A1 (de) * 1996-04-13 1997-10-15 Singulus Technologies GmbH Vorrichtung zum Transport von Substraten
US5913653A (en) * 1996-04-13 1999-06-22 Singulus Technologies Gmbh Device for transporting substrates
DE19614596C1 (de) * 1996-04-13 1997-05-22 Singulus Technologies Gmbh Vorrichtung zum Transport von Substraten
EP0858963A3 (de) * 1997-02-13 1998-08-26 Leybold Systems GmbH Vorrichtung zum Halten eines flachen Substrats
DE19705394A1 (de) * 1997-02-13 1998-08-20 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung zum Halten eines flachen Substrats
EP0858963A2 (de) * 1997-02-13 1998-08-19 Leybold Systems GmbH Vorrichtung zum Halten eines flachen Substrats
EP0963930A2 (de) 1998-04-02 1999-12-15 Leybold Systems GmbH Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats
DE19821019A1 (de) * 1998-05-11 1999-11-18 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten
DE19827124A1 (de) * 1998-06-18 1999-12-23 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten von und nach Behandlungsstationen
DE10050412A1 (de) * 2000-10-12 2002-04-25 Multi Media Maschinery Gmbh Vorrichtung zum Greifen und Halten von auf einem Substrathalter abgelegten Disketten
DE10050412B4 (de) * 2000-10-12 2004-12-09 Pfeiffer Vacuum Systems Gmbh Vorrichtung zum Greifen und Halten von auf einem Substrathalter abgelegten Disketten
WO2002074449A1 (en) * 2001-03-16 2002-09-26 Toda Citron Technologies, Inc. Disk lubrication mechanism
DE10236456A1 (de) * 2002-08-08 2004-02-26 Steag Hamatech Ag Haltevorrichtung für Substrate in einer Vakuumkammer
EP1536456A1 (de) * 2003-11-28 2005-06-01 Singulus Technologies AG Trägeranordnung

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