Vorrichtung zur Herstellung von übermikroskopischen Stereobildern
Es ist in der Übermikroskopie sehr erwünscht, stereoskopische Bilder von Objekten
herzustellen, da es vielfach mit Hilfe dieser stereoskopischen Bilder gelingt, in
einfacher Weise eingehende Schlüsse über die erhaltenen Elektronenbilder zu gewinnen.
Die Herstellung von stereoskopischen Bildern von Objekten erfolgt in der Übermikroskopie
in der Weise, daß das Objekt unter verschiedenen Winkeln vom Elektronenstrahl durchstrahlt
wird. Beispielsweise kann das Objekt zu diesem Zweck in einem schwenkbar gelagerten
Objektträger befestigt werden, welcher mit Hilfe einer Feder gegen eine zylindrische
oder sphärische Gleitfläche gedrückt wird, deren Krümmungsmittelpunkt mit der Mitte
der Objektträgerblende zusammenfällt. Der Objektträger wird dann zunächst in die
eine Lage gebracht und nach Aufnahme des ersten Teilbildes in die andere Lage geschwenkt.
Es ist auch bekannt, das Objekt in der Achse eines Hahnkükens anzuordnen, wobei
durch eine Drehung des Schliffes die Winkellage des Objektes zu verändern ist, so
daß die erforderlichen Teilbilder für stereoskopische Aufnahmen ohne Ausschleusung
des Objektes hergestellt werden können. Diese bekannten Vorrichtungen zur Herstellung
von übermikroskopischen Stereobildern haben den Nachteil, daß mechanisch verhältnismäßig
komplizierte Anordnungen getroffen werden müssen, um die Kippeng des Objektes bewirken
zu können.Device for the production of microscopic stereo images
It is very desirable in super microscopy to get stereoscopic images of objects
since it is often possible to use these stereoscopic images in
easy way to gain detailed conclusions about the electron images obtained.
The production of stereoscopic images of objects takes place in super microscopy
in such a way that the electron beam shines through the object at different angles
will. For example, the object can be pivoted for this purpose
Slides are attached, which with the help of a spring against a cylindrical
or spherical sliding surface is pressed, the center of curvature with the center
the slide aperture collapses. The slide is then first in the
brought one position and swiveled into the other position after taking the first partial image.
It is also known to arrange the object in the axis of a cock plug, wherein
the angular position of the object can be changed by rotating the bevel, so
that the necessary partial images for stereoscopic recordings without diverting
of the object can be produced. These known devices for manufacture
of microscopic stereo images have the disadvantage that they are mechanically proportionate
Complicated arrangements have to be made in order to cause the object to tilt
to be able to.
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Herstellung von übermikroskopischen
Stereobildern, bei der die Kippeng des Objektes vermieden wird.
Nach
der Erfindung ist der Elektronenstrahl mittels zweier Ablenkorgane derart abzulenken,
däß er das Objekt nacheinander unter zwei verschiedenen Winkeln durchsetzt. Zur
Herstellung der beiden stereoskopischen Teilbilder braucht also weder das Objekt
gekippt zu werden, noch ist die mechanische Neigung eines anderen Teiles des Gerätes
notwendig.The invention relates to a device for the production of super microscopic
Stereo images that prevent the object from tilting.
To
According to the invention, the electron beam is to be deflected by means of two deflection elements in such a way that
that it penetrates the object one after the other at two different angles. To the
Neither the object needs to produce the two stereoscopic partial images
being tilted, nor is the mechanical inclination of any other part of the device
necessary.
Der Gegenstand der Erfindung ist an den in den Figuren dargestellten
Ausführungsbeispielen erläutert. Die Fig. i zeigt die Herstellung von elektronenoptischen
Stereobildern mittels elektrischer Strahlablenkung. Es sind zu diesem Zweck zwei
Kondensatoren C1 und C2 vorgesehen, welche vom Elektronenstrahl durchsetzt werden.
Durch das Feld des Kondensators C1 ist der Elektronenstrahl aus der optischen Achse
abgelenkt, während das entgegengesetzte Feld des Kondensators C2 den ausgelenkten
Elektronenstrahl derart zurückbiegt, daß er die optische Achse in der Objektebene
O schneidet. Der Schnittwinkel a kann durch Variation der Spannung an den Kondensatoren
C1 und C2 geregelt werden. Durch einfaches Umpolen der Kondensatoren wird die entgegengesetzte
Strahlauslenkung erhalten. Es ist also zur Herstellung von Stereobildern lediglich
notwendig, eine Aufnahme vor und eine Aufnahme nach dem Umpolen der Kondensatoren
herzustellen.The object of the invention is shown in the figures
Embodiments explained. Fig. I shows the manufacture of electron optical
Stereo images by means of electrical beam deflection. There are two for this purpose
Capacitors C1 and C2 are provided through which the electron beam passes.
Due to the field of the capacitor C1, the electron beam is out of the optical axis
deflected, while the opposite field of capacitor C2 is the deflected
Bends the electron beam back in such a way that it has the optical axis in the object plane
O cuts. The angle of intersection α can be determined by varying the voltage across the capacitors
C1 and C2 are regulated. By simply reversing the polarity of the capacitors, the opposite
Beam deflection received. So it is only used to produce stereo images
necessary, one recording before and one recording after reversing the polarity of the capacitors
to manufacture.
Gegebenenfalls können zur Strahlablenkung auch magnetische Strahlablenkungsmittel
benutzt werden, wie es in der Fig. 2 schematisch angedeutet ist. Die der Fig. i
entsprechenden Teile sind in gleicher Weise bezeichnet. Zur magnetischen Ablenkung
dienen in diesem Fall die entgegengesetzt gerichteten Magnetfelder Ml, M2. Die oben
beschriebenen Anordnungen können sogar zur direkten stereoskopischen Betrachtung
der Elektronenbilder auf dem Leuchtschirm, ohne daß Photographien herzustellen sind,
benutzt werden. Zu diesem Zweck kann an die oben beschriebenen Kondensatoren bzw.
an die magnetischen Ablenkmittel eine in geeigneter Frequenz kommutierte Spannung
gelegt werden. Wird nun entsprechend der Fig. 3 durch ein weiteres Ablenkorgan,
welches in dieser Figur als Kondensator C3 ausgebildet ist, aber auch durch ein
Magnetfeld ersetzt werden kann, das Elektronenbild abwechselnd auf die beiden Leuchtschirme
L1, L2 geworfen, so können diese Leuchtschirme mittels eines üblichen Stereoapparates
betrachtet und damit das Elektronenbild direkt stereoskopisch gesehen werden. Die
Frequenz der Kommutierung wird beispielsweise etwa 2o bis 30 pro Sekunde
betragen. Gegebenenfalls kann diese Frequenz aber auch geringer sein, wenn nachleuchtende
Leuchtschirme zur Anwendung kommen. An das dritte Ablenkorgan wird eine Spannung
gelegt, welche in derselben Frequenz und Phase wie die an den Abl.enkorganen Ci,
C2 kommutiert ist.If necessary, magnetic beam deflection means can also be used for beam deflection, as is indicated schematically in FIG. 2. The parts corresponding to FIG. I are designated in the same way. In this case, the oppositely directed magnetic fields Ml, M2 serve for the magnetic deflection. The arrangements described above can even be used for direct stereoscopic viewing of the electron images on the phosphor screen without having to take photographs. For this purpose, a voltage commutated at a suitable frequency can be applied to the capacitors described above or to the magnetic deflection means. If, according to FIG. 3, the electron image is thrown alternately onto the two fluorescent screens L1, L2 by a further deflection element, which in this figure is designed as a capacitor C3, but can also be replaced by a magnetic field Stereo apparatus viewed and thus the electron image can be seen directly stereoscopically. The frequency of the commutation will be, for example, about 20 to 30 per second. If necessary, however, this frequency can also be lower if phosphorescent luminous screens are used. A voltage is applied to the third deflection element, which is commutated in the same frequency and phase as that at the deflection elements Ci, C2.
An Stelle von zwei Leuchtschirmen bei der Anordnung nach Fig. 3 kann
auch ein Leuchtschirm benutzt werden, wenn eine geeignete Optik derart angeordnet
wird, daß jedes Auge den Leuchtschirm abwechselnd sieht. Beispielsweise können automatisch
durch die Spannung VC gesteuerte Blenden vorgesehen werden.Instead of two luminescent screens in the arrangement according to FIG
a fluorescent screen can also be used if appropriate optics are so arranged
becomes that each eye sees the fluorescent screen alternately. For example, you can automatically
Shutters controlled by the voltage VC are provided.
Bei der Verwendung einer Vorrichtung nach der Erfindung ist, falls
eine Objektivhlende zur Anwendung gelangt, noch dafür Sorge zu tragen, daß die Objektivblende
geeignet ausgebildet wird, da berücksichtigt werden muß, daß der Elektronenstrahl
aus der optischen Achse nach zwei verschiedenen Richtungen abgelenkt wird.When using a device according to the invention, if
a lens hood is used, still ensure that the lens diaphragm
is suitably formed because it must be taken into account that the electron beam
is deflected from the optical axis in two different directions.