Die - .Deutung von übermikroskopischen Aufnahmen ist .häufig erst
möglich, wenn Stereobilder hergestellt werden. Stereoaufnahmen lassen sich in der
Weise erzeugen, daß das. Objekt aus zwei verschiedenen Richtungen nacheinander bestrahlt
wird und die beiden photographischen Aufnahmen mit dem Stereoskop betrachtet werden.
Zur Vermeidung des Umweges über die photographischen Aufnahmen ist bereits vorgeschlagen
worden, das Objekt in genügend schneller Folge abwechselnd aus zwei Richtungen zu
bestrahlen und die beiden am gleichen Ort entstehenden Bilder in gleicher Folge
abwechselnd mit dem einen und dem anderen Auge zu betrachten. In diesem Fall können
die Elektronenbilder direkt stereoskopisch betrachtet werden.The - .interpretation of supermicroscopic images is. Often only
possible when stereo images are produced. Stereo recordings can be made in the
Generate way that the object irradiates from two different directions one after the other
and the two photographs can be viewed with the stereoscope.
To avoid the detour via the photographic recordings, this has already been suggested
the object has been alternating from two directions in sufficiently rapid succession
irradiate and the two images created in the same place in the same sequence
to look alternately with one eye and the other. In this case you can
the electron images can be viewed directly stereoscopically.
Die Erfindung betrifft ein Elektronenübermikroskop zur Erzeugung stereoskopischer
Bilder durch Betrachtung des Objektes unter verschiedenen Winkeln, welches den Vorteil
hat, daß die beiden Stereoteilbilder gleichzeitig nebeneinander entstehen und gleichzeitig
stereoskopisch betrachtet werden. Dieses wird nach der Erfindung dadurch erzielt,
daß unter Ausnutzung des sphärischen Fehlers der Linse die beiden Bilder gleichzeitig
nebeneinander entstehen und gleichzeitig stereoskopisch betrachtet werden. Es wird
also der Öffnungsfehler der Elektronenlinsen benutzt.The invention relates to an electron microscope for generating stereoscopic
Pictures by looking at the object from different angles, which has the advantage
has that the two stereo sub-images arise at the same time side by side and at the same time
can be viewed stereoscopically. This is achieved according to the invention by
that taking advantage of the spherical error of the lens, the two images simultaneously
arise side by side and at the same time be viewed stereoscopically. It will
thus the aperture error of the electron lenses is used.
Das dem Gegenstand der Erfindung zugrunde liegende Prinzip ist im
folgenden an Hand der Fig. i näher erläutert. Ein Objekt O wird. durch zwei feine
Elektronenstrahlen I und II beleuchtet, welche unter .dem Winkel mit der optischen
Achse entstehen. An der Stelle Bbefindet sich der Ort des idealen Bildes. Mit Rücksicht
auf den Öffnungsfehler entsteht aber der angedeutete Strahlengang mit .den Bildpunkten
Bi und B2. Wenn mit C die Konstante der sphärischen Aberration der Linse bezeichnet
wird, dann besteht für die Erfindung die folgende Beziehung
Für elektrostatische Linsen mit ihren großen Werten der Aberrationskonstanten C
lassen sich leicht erhebliche Abstände erzielen. Bei C ,-:z::# 80 mm, t = 30,a =
5 - io-2,-;:3° ergibt sich ö =@2 mm. a Dieser Abstand kann leicht durch Nachvergrößerung
mit einer zweiten Linse auf die .gewünschte Entfernung vergrößert werden. Bei diesem
Ausführungsbeispiel ,genügt eine etwa 3ofache Nachvergrößerung für eine Aufspaltung
von 6 cm. Zur Erzeugung der beiden - Elektronenstrahlen kann entweder eine Kathode
mit Doppelblende' und geeigneten Ablenk- bzw. Konzentrierungsmitteln benutzt werden,
oder es -können zwei Kathoden verwendet werden.The principle on which the subject matter of the invention is based is explained in more detail below with reference to FIG. An object O becomes. Illuminated by two fine electron beams I and II, which arise at .dem angle with the optical axis. The location of the ideal image is located at point B. With regard to the aperture error, however, the indicated beam path arises with the image points Bi and B2. If C denotes the constant of the spherical aberration of the lens, then the following relationship exists for the invention For electrostatic lenses with their large values of the aberration constant C, considerable distances can easily be achieved. At C, -: z :: # 80 mm, t = 30, a = 5 - io-2, - ;: 3 ° the result is ö = @ 2 mm. a This distance can easily be enlarged to the desired distance by further magnification with a second lens. In this embodiment, an approximately 3-fold subsequent enlargement is sufficient for a split of 6 cm. Either a cathode with a double aperture and suitable deflecting or concentrating means can be used to generate the two electron beams, or two cathodes can be used.
Zur Erzeugung eines kontrastreichen Elektronenbildes ist es zweckmäßig,
durch feine Blenden die Streuelektronen abzufangen. Mit Rücksicht auf das Vorhandensein
von zwei Elektronenstrählengängen müssen auch zwei Blenden vorgesehen werden. Gegebenenfalls
kann auch eine sehr enge Schlitzblende benutzt werden, welche die beiden Strahlengänge
durchläßt. Es ist auch möglich, über der Schlitzblende verschiebbare Schneiden (Fig.
2) vorzusehen, welche die Erzeugung zweier Blendenlöcher in wählbarem Abstand ermöglichen.To generate a high-contrast electron image, it is useful to
to intercept the scattered electrons through fine diaphragms. With regard to the presence
two orifices must also be provided for two electron beam passages. Possibly
a very narrow slit diaphragm can also be used, which separates the two beam paths
lets through. It is also possible to use cutting edges that can be moved over the slit diaphragm (Fig.
2) to be provided, which allow the creation of two aperture holes at a selectable distance.
Es ist zweckmäßig, die Vergrößerung nicht zu hoch zu wählen, um zu
vermeiden, daß der Astigmatismus stören kann. Zudem muß die Bestrahlungsapertur
sehr klein sein, und zwar wesentlich kleiner als io-2, vorzugsweise etwa io-4, und
geringer.It is advisable not to choose the magnification too high in order to
avoid that the astigmatism can interfere. In addition, the irradiation aperture
be very small, much smaller than io-2, preferably about io-4, and
less.