DE9015191U1 - Chemikalientransportbehälter - Google Patents
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Description
Ref.90/009
My/L10824
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Der Gegenstand des Gebrauchsmusters betrifft einen Chemikalientransportbehälter
für flüssige Chemikalien, insbesondere flüssige Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie
.
In den letzten Jahren sind die Anforderungen an die Reinheit
von flüssigen SpezialChemikalien, z.B. von Prozeßchemikalien für die Elektronikindustrie, stark gestiegen.
Dabei wird, z.B. bedingt durch die immer kleiner werdenden Abmessungen der von der Elektronikindustrie unter
Verwendung von Prozeßchemikalien hergestellten Mikro-1c chips, zunehmend die Forderung nach Partikelfreiheit der flüssigen Hochreinchemikalien erhoben.
Verwendung von Prozeßchemikalien hergestellten Mikro-1c chips, zunehmend die Forderung nach Partikelfreiheit der flüssigen Hochreinchemikalien erhoben.
Die Herstellung flüssiger, partikelfreier Hochreinchemikalien
wird von den Feinchemikalienherstellern beherrscht. Zur Lagerung und zum Transport sind allerdings
bekannte Behälter aus handelsüblichen Werkstoffen nicht geeignet.
Bei der Lieferung der flüssigen Hochreinchemikalien an
2c die Elektronikindustrie kommen aus wirtschaftlichen Gründen nur Großgebinde in Betracht. Diese sollten so beschaffen sein, daß sie eine Kontamination des Behälterinhaltes ausschließen, auch bei rauher Behandlung durch
Gabelstapler und dergleichen bruchsicher sowie einfach
und preiswert herstellbar sind.
2c die Elektronikindustrie kommen aus wirtschaftlichen Gründen nur Großgebinde in Betracht. Diese sollten so beschaffen sein, daß sie eine Kontamination des Behälterinhaltes ausschließen, auch bei rauher Behandlung durch
Gabelstapler und dergleichen bruchsicher sowie einfach
und preiswert herstellbar sind.
Sie sollen von Gabelstaplern und anderen üblichen Transportvorrichtungen
ohne Transportrisiko bewegt werden
können, d.h. auch bei einem Fall den Behälter sicher vor Bruch schützen.
können, d.h. auch bei einem Fall den Behälter sicher vor Bruch schützen.
Ein Großchemikalienbehälter, der alle vorgenannten Anforderungen erfüllt, ist nicht bekannt. Durch das vorliegen-
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de Gebrauchsmuster wird ein Großchemikalientransportbehälter zur Verfügung gestellt, der diese Anforderungen
erfüllt.
Der Transportbehälter für flüssige Chemikalien, insbesondere flüssige Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie
des vorliegenden Gebrauchsmusters, ist dadurch gekennzeichnet, daß er aus einer inneren Schale aus
hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen und einer äußeren Schale aus handelsüblichem, Hilfsmittel
enthaltendem Polyethylen besteht.
Der Raum zwischen innerer und äußerer Schale ist vorteilte
hafterweise mit einem Gas gefüllt, das über ein Ventil in der äußeren Schale dosiert werden kann. Geeignete Gase
sind beispielsweise Stickstoff, Edelgase wie beispielsweise Helium, Neon oder Argon, oder auch Luft.
.-,p, Zweckmäßigerweise wird die Innenschale so hergestellt,
daß sie eine möglichst glatte, fugen- und übergangslose
Innenfläche bildet. Der obere und untere Teil können beispielsweise aus tiefgezogenen Klöpperböden, die ihrerseits
aus Platten hergestellt sind, gebildet sein, die
-j- mit einem zylindrischen Mittelstück fugenlos verbunden
sind. Diese innere Schale ist mit der äußeren Schale vollständig und nahtlos umhüllt.
Auf diese Weise wird erreicht, daß ein Austreten von ,„ Flüssigkeit an die Umwelt verhindert wird, falls die
mechanisch instabile innere Schale beispielsweise aufgrund extremer Transportbelastungen zerstört wird.
Die Öffnung des erfindungsgemäßen Behälters ist mit einem
Verschluß, z.B. einer Verschlußplatte, bevorzugt aber mit einem eingeschweißten Blockflansch, verschlossen. Vorteilhafterweise
besteht der Flansch wie die äußere Schale aus Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen und ist an der
chemikalienberührten Innenseite mit einer Platte aus
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hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen verschweißt. Der Blockflansch verbindet die innere und
die äußere Schale durch Verschweißung.
Der Flansch besitzt mehrere Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen, Steig- oder Tauchrohre und dergleichen, die
eine Befüllung und Entleerung des Behälters gestatten. Die Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen der flüssigen
^q Chemikalie, die Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen
der Inert- und/oder Druckgase und dgl. können als Anschlußstutzen ausgeführt werden, die ihrerseits mit geeigneten
Verschlüssen, wie z.B. Schraubverschlüssen, Schnellkupplungen, Hähnen und/oder Ventilen verschließbar
.< c sind. In dem eigentlichen Behälterverschluß können auch
Anschlüsse für Sensoren und die Sensoren für die Überwachung des Befüllungs- oder Entleerungsvorgangs angeordnet
sein.
2Q Die in dem Verschluß angeordneten Anschlüsse dienen sowohl
der Befüllung des Behälters als auch zur Entnahme der Chemikalien aus dem Behälter. Die hierfür erforderlichen
Zu- und Ableitungen für die Chemikalie sowie eventuelle Zu- und Ableitungen für die genannten Inert- oder
Druckgase oder die für den Befüllungs- oder Entnahmevorgang erforderlichen Sensoren oder dergleichen werden sowohl
bei der Abfüllung als auch bei der Entnahme der Chemikalie an die in dem Verschluß vorhandenen Anschlüsse
angeschlossen. Die Anschlüsse, z.B. Anschlußstutzen kön-
2Q nen in ihrer Ausgestaltung, z.B. in ihrem Durchmesser,
untereinander alle gleich ausgestaltet sein. Von dieser gleichen Ausgestaltung können jedoch ein oder mehrere
Anschlüsse oder Anschlußstutzen abweichen. Es können auch alle Anschlußstutzen unterschiedlich ausgestaltet sein.
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Die Entleerung des inneren Behälters kann durch Überdruck
oder Pumpen erfolgen. Mehrere Anschlüsse sind mit mehreren bis auf den Boden der inneren Schale reichenden
Steigrohren aus hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltenden Polethylen verbunden. Zweckmäßigerweise erfolgt die
Belüftung über ein Membranventil oder Nadelventil. Die
Belüftung über das Ventil verhindert das unkontrollierte Austreten von Chemikalien über einen der Steigrohran-
IQ Schlüsse, wenn sich ein chemikalienspezifischer Behälterüberdruck
aufgebaut hat. Des weiteren kann bei Unterdruck partikelfreies gefiltertes Gas zum Druckausgleich zugeführt
werden.
. c In einer besonderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Behälters wird dieser in einen äußeren Behälter aus PoIyethylenrohr
eingestellt und durch Streben fixiert. Das Rohr ist durch einen ebenen Unterboden verschlossen und
vorzugsweise auf eine Kunststoffpalette montiert. Die
2Q Oberseite ist mit einem konvexen Oberboden mit öffnungen
für den Flansch durch Verschweißung verschlossen, wobei ein überhöhter Kragen die Funktion eines Schutzkragen für
die auf dem Behälterflansch montierten Armaturen hat. Es ist zweckmäßig, am tiefsten Punkt des konvexen Oberbodens
eine nach außen führende Dränage, z.B. ein Rohr, anzubringen. Der obere Rand des äußeren Behälters kann
schließlich noch mit einer zusätzlichen Platte abgeschlossen sein.
3Q Der Raum zwischen dem äußeren und dem inneren Behälter
kann leer oder aber ganz oder teilweise mit einem Material, beispielsweise einem wärmeisolierenden Material,
ausgefüllt sein.
3c Als wäremisolierendes Material können z.B. Kork, lose
Wolle, Mineralfaserstoffe, insbesondere aber Schaumkunst-
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stoffe, verwendet werden. Schaumkunststoffe können offen-
oder geschlossenzellig sein und sind von thermoplastischen, elastomeren oder duromeren Polymeren bekannt. Bei-
c spielsweise kann der Schaumkunststoff aus Polystyrol,
Polyvinylchlorid, Polyethylen, Harnstoff-Formaldehyd-Harz, Epoxidharz, Polyimid, insbesondere aber aus Polyurethan,
beispielsweise auf Basis von Methyl-bis-phenylisocyanat,
bestehen. Vorzugsweise wird der Zwischenraum
..Q zwischen äußerem und innerem Behälter mit einem sogenannten
Polyurethan-Integralschaum ausgeschäumt.
Der erfindungsgemäße Chemikalientransportbehälter ermöglicht,
auch bei Inhalten von 500 1 und mehr einen sicheren Transport hochreiner flüssiger, gegebenenfalls auch
aggressiver Chemikalien ohne Kontaminationsgefahr und
Bruchrisiko. Auch werden größere Temperaturschwankungen beim Transport und bei der Lagerung vermieden.
2Q Die Neuerung wird anhand der beiliegenden Figur weiter
erläutert, in der eine bevorzugte Ausführungsform des
neuerungsgemäßen Transportbehälter im Vertikalschnitt schematisch dargestellt ist.
„,. Tn der Figur ist die innere Schale mit 1 und die äußere
Schale mit 2 bezeichnet. In den Zwischenraum 3 zwischen innerer und äußerer Schale kann über das Ventil 4 ein Gas
eindosiert werden. Der Blockflansch 5 verbindet innere und äußere Schale durch Verschweißung und besitzt mehrere,
in der Figur nicht gezeigte Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen, Steig- oder Tauchrohre und dergleichen.
Der innere Behälter ist in einem äußeren Behälter aus Polyethylenrohr 6 eingestellt und durch Streben 7 fixiert.
Das Rohr ist durch einen ebenen Unterboden 8 verschlossen und auf eine Palette 9 montiert. Die Oberseite
ist mit einem konvexen Oberboden 10 mit einer Öffnung für
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den Flansch 5 verschlossen. Eine Dränage 11 führt vom
tiefsten Punkt des konvexen Oberbodens 10 nach außen. Der äußere Behälter 6 ist nach oben durch eine zusätzliche
Platte 12 abgeschlossen.
Der Raum zwischen dem äußeren und dem inneren Behälter ist im unteren Teil mit einem Schaum 14 ausgeschäumt.
Claims (7)
1. Transportbehälter für flüssige Chemikalien, insbesondere
flüssige Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter aus einer
inneren Schale (1) aus hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen und einer äußeren Schale (2) aus
IQ handelsüblichem, Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen
besteht.
2. Transportbehälter gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Raum (3) zwischen innerer und äußerer
Schale mit einem Gas gefüllt ist, das über ein Ventil (4) in der äußeren Schale dosiert werden kann.
3. Transportbehälter gemäß Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung mit einem eingeschweißten
Blockflansch (5) verschlossen ist.
4. Transportbehälter gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Blockflansch (5) aus Hilfsmittel enthaltendem
Polyethylen besteht und an der chemikalienberührten Innenseite mit einer Platte aus hochreinem, keine
Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen verschweißt ist.
5. Transportbehälter gemäß einem oder mehreren der Ansprüche
1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Trans-
3Q portbehälter in einen äußeren Behälter (6) aus Polyethylenrohr
eingestellt und durch Streben (7) fixiert ist.
6. Transportbehälter gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Raum zwischen äußerem und inneren Behalter
(13) ganz oder teilweise mit einem Material (14),
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beispielsweise einem wärmeisolierenden Material, ausgefüllt
ist.
7. Transportbehälter gemäß Anspruch 5 und/oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der äußere Behälter (6) auf eine
Kunststoffpalette (9) montiert ist.
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Publications (1)
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