Verfahren zur Entgasung von Elektronenröhren, insbesondere geschwindigkeitsmodulierten
Elektronenröhren oder Röntgenröhren Bei der Entgasung von Elektronenröhren ist eine
Wärmebehandlung der Systemteile erforderlich, um die insbesondere in den Metallteilen
vorhandenen Gasreste in Freiheit zu setzen. Zu diesem Zweck kann man beispielsweise
eine Erhitzung durch Elektronenbombardement vornehmen. Auf diese Weise lassen sich
jedoch nur die dem Elektronenbombardement ausgesetzten Teile, wie Gitter und Anoden,
auf die zur Entgasung erforderliche Temperatur erhitzen. Um die übrigen in der Röhre
vorhandenen Metallteile zu entgasen, hat sich als zweckmäßig die Hochfrequenzerhitzung
erwiesen. Das zu entgasende Entladungsgefäß wird während des Pumpvorganges in ein
Hochfrequenzfeld gebracht, das durch eine über das Entladungsgefäß geschobene Spule
erzeugt wird. Es zeigte sich nun, daß trotz dieser Maßnahme bei dem Pumpvorgang
während des Betriebes ein Nachlassendes Vakuums auftritt, welches durch von den
Isolierteilen, wie Wandung, Stützteile u. dgl., losgelösten Gaspartikelchen herrührt.
Dieses führt insbesondere bei mit höheren Spannungen arbeitenden Entladungsgefäßen,
wie geschwindigkeitsmodulierten Elektronenröhren, Röntgenröhren, Hochleistungssenderöhren,
zu Schwierigkeiten, da die frei werdenden Gasreste das Auftreten von Überschlägen
begünstigen.Process for the degassing of electron tubes, especially speed-modulated ones
Electron tubes or X-ray tubes When degassing electron tubes is one
Heat treatment of the system parts required, especially in the metal parts
to set existing gas residues in freedom. For this purpose one can for example
heating by electron bombardment. In this way you can
but only those parts exposed to electron bombardment, such as grids and anodes,
Heat to the temperature required for degassing. To the rest in the tube
To degas existing metal parts, high-frequency heating has proven to be useful
proven. The discharge vessel to be degassed is in a
High-frequency field brought about by a coil pushed over the discharge vessel
is produced. It has now been found that, despite this measure, during the pumping process
a decrease in the vacuum occurs during operation, which is caused by the
Insulating parts, such as walls, support parts and the like, originates from detached gas particles.
This leads, especially in the case of discharge vessels working with higher voltages,
such as speed-modulated electron tubes, X-ray tubes, high-power transmitter tubes,
to difficulties, since the released gas residues cause flashovers
favor.
Nach der Erfindung lassen sich diese Nachteile bei Elektronenröhren
vermeiden. Erfindungsgemäß wird zur Entgasung .der Elektronenröhren auf die Teile
des Entladungsgefäßes während des Hochfrequenzentgasungsglühens
Ultraschall
zur Einwirkung gebracht. Die Wirkung des erfindungsgemäßen Verfahrens läßt sich
dadurch erläutern, daß be,i dem Hochfrequenzglühendie Gasreste aus den Metallteilen
entfernt werden. Es werden aber nicht die an der Glaswandung und an anderen Isolierteilen
oldklwdierten Gase entfernt, da die Isolierteile nicht auf die dazu urförderliche
Temperatur kommen. Durch die kombinierte Anwendung von Hochfrequenzentgasungsglühen-
und Ultraschall wird demgegenüber eine einwandfreie Entgasung erzielt, da durch
die Einwirkung des Ultraschalls auch die an den Isolierteilen okkludierten Gaspartikelchen
losgerissen werden.According to the invention, these disadvantages can be eliminated in the case of electron tubes
avoid. According to the invention, for degassing .the electron tubes on the parts
of the discharge vessel during high-frequency degassing annealing
Ultrasonic
brought to action. The effect of the method according to the invention can be
explain by the fact that in the high-frequency annealing the gas residues from the metal parts
removed. But there are not those on the glass wall and other insulating parts
Old-fashioned gases are removed, as the insulating parts do not affect the essential elements
Temperature come. Through the combined use of high-frequency degassing annealing
and ultrasound, on the other hand, perfect degassing is achieved, as through
the effect of the ultrasound also affects the gas particles occluded on the insulating parts
be torn loose.
Zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens hat es sich in manchen
Fällen als zweckmäßig erwiesen, mit einer solchen Ultraschallfrequenz zu arbeiten,
.daß Resonanz in den zu entgasenden Teilen auftritt. Die Stärke der Ultraschallwellendarf
dabei jedoch nicht so hoch gewählt werden, daß eine Zerstörung der Röhre auftritt.
Dieses läßt sich aber durch Ausprobieren der zu wählenden Stärke in einfacher Weise
ermitteln. Um die Röhre möglichst wenig zu beanspruchen, kann man beispielsweise
zunächst mit kleinen Amplituden arbeiten und dann -die Amplituden kontinuierlich
steigern.To carry out the method according to the invention, it has been found useful in some
Cases proven to be useful to work with such an ultrasonic frequency,
.that resonance occurs in the parts to be degassed. The strength of the ultrasonic waves
however, they should not be chosen so high that the tube is destroyed.
However, this can be done in a simple manner by trying out the strength to be selected
determine. In order to stress the tube as little as possible, you can, for example
work first with small amplitudes and then -the amplitudes continuously
increase.
Gegebenenfalls kann man auch die Ultraschallfrequenz kontinuierlich
zwischen zwei Werten verändern, was insofern Vorteile mit sich bringt, als damit
.die verschiedenen Teile in der Röhre für sich in Resonanz kommen. Man kann damit
auch erreichen, -daß sowohl die Metallteile als auch die Isolierteile für sich in
Resonanz kommen. Man wird zu diesem Zweck ein Wobbeln der Frequenzen vornehmen.
.If necessary, the ultrasonic frequency can also be set continuously
change between two values, which has advantages in that it does
.the different parts in the tube come into resonance for themselves. You can with it
also achieve -that both the metal parts and the insulating parts are in themselves
Response. For this purpose, the frequencies will be wobbled.
.
In manghen Fällen hat es sich als besonders einfach erwiesen, das
Entgasungsglühen mit der gleichen Frequenz wie die Ultraschallbehandlung vorzunehmen,
was besonders zweckmäßig ist, wenn man mit tieferen Frequenzen, wie beispielsweise
2o kHz, arbeitet, da in diesem Fall ein magnetostriktiver Schallsender -Verwendung
finden kann. Ferner bringt das Arbeiten bei tieferen Ultraschallfrequenzen den Vorteil,
daß ein besserer Übergang der Ultraschallwellen auf die zu behandelnden Teile der
Entladungsröhre erfolgt.In a few cases it has proven to be particularly easy to do the
Carry out degassing annealing at the same frequency as the ultrasonic treatment,
which is particularly useful when dealing with lower frequencies, such as
2o kHz, works because in this case a magnetostrictive sound transmitter is used
Can be found. Furthermore, working at lower ultrasonic frequencies has the advantage of
that a better transition of the ultrasonic waves to the parts to be treated
Discharge tube takes place.