Es sind "Elektronenstrahlgeräte,- insbesondere Elektronenübermikroskope,
bekannt, die mit einem zum Betrachten eines ebenen Leuchtschirmes dienenden optischen
System ausgerüstet sind. Diese Geräte sind in der Regel so ausgebildet, d'aß der
Leuchtschirm von der der Elektronens.trahlenquelle zugekehrten Seite her betrachtet
wird. Aus konstruktiven Gründen wird daher bei den bekannten Geräten der Leuchtschirm
unter einem Winkel von etwa 30 bis 45° gegen seine Normale, die zur Achsenrichtung
des abbildenden Elektronenstrahles parallel berichtet ist, betrachtet. Durch Verwendung
von optischen Geräten besonderer Bauart kann man bei diesen Geräten wenigstens für
das zentrale Bildfeld eine befriedigende Schärfe erzielen.Electron beam devices, in particular electron microscopes, are known which are equipped with an optical system for viewing a flat fluorescent screen. These devices are generally designed so that the fluorescent screen is viewed from the side facing the electron beam source For structural reasons, the fluorescent screen is therefore viewed in the known devices at an angle of about 30 to 45 ° to its normal, which is reported parallel to the axial direction of the imaging electron beam achieve a satisfactory sharpness for the central image field.
Mit einem wesentlich einfacheren optischen System kommt man. jedoch
bei dem Elektronenstrahlgerät gemäß der Erfindung aus,. bei dem der Leuchtschirm
mindestens in seinem den Durchtrittspunkt der optischen Achse enthaltenden Bereich
mit dieser Achse einen von 9o° weniger verschiedenen Winkel aufweist als die Einstellebene
des abbildenden Elektronenstrahles mit diesem. Man. wird, soweit es die Bauart des-
Gerätes irgend zuläßt, anstreben, daß die optische Achse des Betrachtungssystems
möglichst parallel zu den zu diesem Bereich der Leuchtschirmoberfläche gehörenden
Normalen; gerichtet ist. Man erreicht dadurch größte Abbildungsschärfe des optischen
Systems für diesen Bereich.You can get there with a much simpler optical system. However
in the electron beam device according to the invention. where the luminescent screen
at least in its area containing the point of passage of the optical axis
with this axis has an angle less different from 90 ° than the setting plane
of the imaging electron beam with this. Man. as far as the design of the
Device somehow allows striving that the optical axis of the viewing system
as parallel as possible to those belonging to this area of the luminescent screen surface
Normals; is directed. This achieves the greatest sharpness of the optical image
Systems for this area.
Für sehr viele Anwendungszwecke genügt die Verwendung eines ebenen
Leuchtschirms, der senkrecht zur optischen Achse des Betrachtungssystems angeordnet
ist. Ein solcher Schirm ist, wenn die Brennweite des Betrachtungssystems seiner
Größe in der üblichen; Weise angepaßt ist, bereits mit verhältnismäßig wohlfeilen
Mitteln bis zum Randscharf abbildbar.For many purposes, the use of a flat one is sufficient
Luminescent screen arranged perpendicular to the optical axis of the viewing system
is. Such a screen is when the focal length of the viewing system is its
Size in the usual; Wise adapted, already with relatively cheap
Averages can be mapped up to the edge.
Die Figur zeigt in schematischer Darstellung ein Ausführungsbeispiel
des Elektronenistrahlgerätes gemäß der Erfindung.The figure shows a schematic representation of an embodiment
of the electron beam device according to the invention.
Die Elektronenstrafhlen i mögen dazu dienen, auf der photographischen
Schicht 2, die zu der Strahlachse senkrecht steht, ein Bild zu erzeugen. Zu diesem
Zweck wird zur Erzielung größter Bildschärfe die Einstellebene des Elektronenstrahles
in die Ebene :2 gelegt. Bei den bekannten Geräten wird zur Betrachtung des in der
Einstellebene zu erwartenden Elektronenbildes vor der Aufnahme in die Einstellebene
ein Leuchtschirm gebracht, der unter einem meist beträchtlichen Winkel gegen seine
Normale mittels eines optischen Systems betrachtet wird. Bei dem dargestellten.
Ausführungsbeispiel bildet gemäß der Erfindung der Leuchtschirm 3 mit der Einstellebene
:2 einen solchen Winkel 9p, daß er mit der optischen Achse 5 des durch die Linse
4. schematisch dargestelltenBetrachtungssystemseinen Winkel a bildet, der von 9o°
möglichst wenig verschieden sein sollte.The electron beams i may serve on the photographic
Layer 2, which is perpendicular to the beam axis, to generate an image. To this
The aim is to achieve the greatest possible sharpness in the setting plane of the electron beam
Placed in level: 2. In the known devices to consider the in the
Setting level of the expected electron image prior to inclusion in the setting level
brought a fluorescent screen, which is usually at a considerable angle against his
Normal is viewed by means of an optical system. With the one shown.
Embodiment forms according to the invention the luminescent screen 3 with the setting level
: 2 such an angle 9p that it coincides with the optical axis 5 of the through the lens
4. The viewing system shown schematically forms an angle α of 90 °
should be as little different as possible.