DE8431413U1 - Ultraschall-Detektionssensor in Hybridaufbau mit zugehöriger Elektronikschaltung - Google Patents
Ultraschall-Detektionssensor in Hybridaufbau mit zugehöriger ElektronikschaltungInfo
- Publication number
- DE8431413U1 DE8431413U1 DE19848431413 DE8431413U DE8431413U1 DE 8431413 U1 DE8431413 U1 DE 8431413U1 DE 19848431413 DE19848431413 DE 19848431413 DE 8431413 U DE8431413 U DE 8431413U DE 8431413 U1 DE8431413 U1 DE 8431413U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- transducer
- substrate
- sensor according
- foils
- ultrasonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 22
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 15
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 11
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims description 11
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical class [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 239000002828 fuel tank Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2437—Piezoelectric probes
- G01N29/245—Ceramic probes, e.g. lead zirconate titanate [PZT] probes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
Siemens Aktiengesellschaft Unser Zeichen
Berlin und München VPA ,
P 1 8 7 9 OE
Ultraschall-Detektionssensor in Hybridaufbau mit zugehöriger
Elektronikschaltung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschall-Detektionssensor,
wie im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegeben.
Es ist bekannt, mit Ultraschall zwischen Körpern vorhandene Abstände zu detektieren. Im Regelfall ist dabei ein
Ultraschall-Wandler an dem einen Körper angebracht und es wird die Laufzeit der an dem im Abstand gegenüberstehenden
Körper reflektierten und empfangenen Ultraschall-Strahlung ausgewertet. Sendewandler und Empfangswandler können auch
voneinander getrennt am jeweils einander gegenüberstehenden Körper angebracht sein, jedoch erfordert dies zwei getrennte
Wandler. Der eine oder die beiden Körper können auch sonstige Ultraschall reflektierende Grenzflächen, wie
z.B. eine Flüssigkeitsoberfläche, sein. Letzteres wird bei Flüssigkeitsstands-Detektoren mit Ultraschall ausgenutzt,
wobei an der Flüssigkeitsoberfläche entweder in die Flüssigkeit zurückreflektierte oder außen an der Flüssigkeitsoberfläche zurückreflektierte Ultraschall-Strahlung ausgewertet
wird. Bekannt sind z.B. Tankmeßgeräte, insbesonder für Treibstofftanks in Kraftfahrzeugen. Zu einem solchen
Gerät gehört ein beispielsweise am Boden des Kraftstofftanks angebrachter Ultraschall-Wandler, dessen ausgesandte
Ultraschall-Strahlung an der Oberfläche des im Tank befindlichen Treibstoffes reflektiert wird und in den
Empfangswandler (der auch Sendewandler sein kann) zurückgelangt. Auch die Auswertung einer solchen Betriebsweise ist
bekannt.
BtS 1 Kow / 23.10.1984
-2- 84 P 13 7 9 CE
Insbesondere für die Anwendung in großen Stückzahlen, wie z.B. bei Kraftfahrzeugserien., ist es erforderlich, Wandler
zur Verfügung zu haben, die sowohl leistungsfähig sind als auch einfachen und insbesondere robusten Aufbau (preisgünstige
Ausführung) haben. Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein derartiges Bauelement anzugeben.
Diese Aufgabe ist mit einem Ultraschall-Sensor mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelost. Weitere Ausgestaltungen
und Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Der Erfindung liegen mehrere Einzelgedanken zugrunde, und zwar insbesondere der, einen solchen Aufbau des Ultraschall-Wandlers
zu finden, der möglichst gute akustische Widerstandsanpassung besitzt. Bei der Erfindung ist die Möglichkeit
genutzt, mittels Kunststoffmaterial auf einfachem Wege akustische Widerstandsanpassung zu erreichen. Weiterhin
liegt der Erfindung der Gedanke zugrunde, einen möglichst kompakten Aufbau zu haben, der nicht nur integriertes Herstellungsverfahren
ermöglicht, sondern der auch Aufwand beim Einbau des Gerätes beim Anwender einspart. Bei der Erfindung
ist ein Substratmaterial vorgesehen, das eine harte akustische Masse als 'backing' bildet. Der eigentliche Ultraschall-Wandler
besteht aus einer Scheibe aus Piezo-Keramik und daran
vorder- und rückseitig angebrachten Kunststoffkörpern. Dieser Verbund bildet einen Viertelwellenlängen-Wandler (^M bzw.
(2n+l). ^M-Wandler). Mit der einen Fläche ist dieser Verbundwandler
- im folgenden kurz Wandler genannt - an dem Substrat angebracht. Die andere Fläche des Wandlers ist die
Abstrahlfläche, an die das Schallausbreitungs-Medium, vorzugsweise
Flüssigkeit, angrenzt. Bei der Erfindung ist vorgesehen, möglichst weitgehend akustische Anpassung zu
erreichen. Möglichst weitgehend wird angestrebt, daß der
I I· III·
• t I · I !till·
r · ι ι ι ι ι I
I I I I I I I . I I I I· '
_3_ 84 P 187 9 DE
Mittelwert des Produkts aus Schallgeschwindigkeit und Dichte beim Wandler zwischen den entsprechenden Produktwerten des
Substratmaterials einerseits und angrenzender Flüssigkeit andererseits liegt. Durch den geschichteten Aufbau des
Wandlers aus Piezokeramikfolie und aus Kunststoff- oder Piezopolymerfolie läßt sich für den Wandler ein solcher
Mittelwert erreichen.
Auf einem wie erwähnten Substrat kann ein einzelner Ultraschall-Wandler
aufgebracht sein. Es können auch zwei Wandler aufgebracht sein, von denen der eine Wandler als Sendewandler
und der andere als Empfangswandler verwendet wird. Die Erfindung umfaßt aber auch Ult.raschall-Array-Anordnungen,
die aus mehreren funktionell getrennt auf ein und demselben Substrat angebrachten Wandlern bestehen, die nach
jeweils bekanntem Muster als Sendewandler-Array angeregt werden.
Bei der Erfindung ist als weitergehende Maßnahme vorgesehen, auf dem Substrat auch die elektronische Auswerteschaltung
anzuordnen. In einem solchen Fall bedarf diese Anordnung nur noch der Zuführung der Versorgungsspannung und sie
besitzt einen Signalausgang, der direkt an eine endgültige Anzeige (Tankuhr im Armaturenbrett) geführt werden kann. Die
elektrischen Verbindungen auf dem Substrat sind vorzugsweise als Leiterbahnen ausgeführt. Vorzugsweise ist die kurze
Verbindung zur Elektrode am schwingenden Wandler ein Draht bzw. eine Litze. Bevorzugtes Substratmaterial ist solches,
das auch für Dickschichtschaltungen verwendet wird.
Weitere Erläuterungen der Erfindung gehen aus der nachfolgenden, anhand der Figuren gegebenen Beschreibung hervor.
I · · · (Il
84 P J 8 7 3 DE
-A-
In Fig.l ist mit 1 eine Wandler-Anordnung bezeichnet. Auf
einer Substratplatte 2 aus beispielsweise gesintertem Aluminiumoxid oder Keramik sind beispielsweise vier Ultraschall-Wandler
3; 3,1; 3,2; 3,3 in vorzugsweise einer Reihe angeordnet. Mit 4 ist auf die Hauptausstrahlrichtung des
einzelnen Wandlers 3 bzw. der Array-Anordnung mit den Wandlern 3 bis 3,3 (bei phasengleicher Anregung) hingewiesen.
Mit 5 ist eine auf der Substratplatte angeordnete Elektronikschaltung
bezeichnet, die eine Dick-Schichtschaltung mit Leiterbahnen 5a, Dickschicht-Bauelementen 5b und mit gegebenenfalls
in Hybridtechnik zusätzlich aufgesetzten Bauelementen 5c ist. An die Anschlüsse 6, 6a ist die elektrische
Versorgungsspannung U anzuschließen; der Anschluß 7 ist der ein- oder zweipolige Signalausgang. Die Elektronikschaltung
5 ist insbesondere so ausgebildet, daß man mit ihr sowohl die Sende-Anregung der Wandler als auch die Auswertung
der den Wandlern zu entnehmenden Empfangssignale durchführen kann.
Die gestrichelte Linie 8 gibt eine in Fig.l linksseitige Begrenzung eines beispielsweise als Tanksensor zu verwendenden
Ultraschall-Abstandssensors an. Am Ort der Linie 8 abgetrennt besteht der in Fig.l rechtsseitig verbleibende Anteil
aus dem einen (als Sendewandler und als Empfangswandler zu verwendenden) Ultraschall-Wandler 3 und der Elektronik 5.
Dieser Ultraschall-Wandler 3 und die Elektronik 5 befinden sich als Hybridaufbau auf dem gemeinsamen Substrat 2. Mit 9,
10 ist auf Verbindungsleitungen zwischen dem Wandler 3 und der Elektronik 5 hingewiesen.
Die Wandler 3; 3,1 ... sind auf der einen und die Elektronikschaltung
1st auf derselben und/oder der anderen Oberflächenseite der Substratplatte ? angeordnet.
• ·
• t · ·
ö 84 P 1 8 7 9 DE
Fig.2 gibt in erheblich vergrößerter Darstellung einen bei
der Erfindung verwendeten Schichtaufbau für den Wandler 3 I wieder. Der Wandler 3 besteht aus der Piezokeramikfolie 33
fr und den anliegenden Folien 31 und 32 aus einem Material mit
einer spezifischen Dichte kleiner als etwa 2, das insbesondere ein (Kohlenstoff- und/oder Silizium-)Polymer-Kunststoff
sein kann. Als Kunststoffe eignen sich beispielsweise Polymeräthylen, Epoxid, PVDF u.s.w.. Vorzugsweise umhüllt
der Kunststoff die Keramik auch seitlich (Fig. 3, 6,7).
Auf den Oberflächen besitzt die Keramikfolie 33 an sich bekannte Elektrodenbelegungen 35, 36. Mit 37 ist ein erster
I und mit 38 ist ein zweiter, an der Außenseite der Folie 33
I elektrisch isoliert geführter Anschluß fyr den Wandler 3
ti bezeichnet. Diese Anschlüsse 37 und 38 sind mit den Leiterin bahnen 9 und 10 und damit mit der Elektronikschaltung 5
I verbunden.
I Die Substratplavte 2 kann an der Stelle, wo die Wandler 3;
ε 3,1; ... aufgebracht sind, zum Zweck der elektrischen Schir-
i mung und zur Verbesserung der Klebfähigkeit mit einer elek-
? trisch leitfähigen Schicht, z.B. aus Einbrennmetall oder aus
1 aufgesputtertem Metall, belegt sein.
; Figur 3 gibt eine seitliche Schnittansicht eines Sensors 40,
\ wie der in Figur 1 von der Linie 8 rechtsseitige Anteil,
hier in Figur 3 jedoch mit allseitiger Schutzumhüllung 41, ■ wieder. Die Schutzumhüllung ist z.B. ein Tauchlack oder eine
;·. durch Wirbelsintern aufgebrachte Umhüllung. Wie ersichtlich,
ist die für die Schallabstrahlung 4 vorgesehene Oberfläche des Wandlers 3 freigehalten. Diese Oberfläche des Wandlers 3
besteht ohnehin aus dem Kunststoffmaterial der Folie 32. Die Anschlüsse 6, 6a und 7 sind durch die Umhüllung 41 hindurch
herausgeführt und stehen zu ihrer jeweiligen Verwendung zur Verfügung. Die übrigen Bezugszeichen in Figur 3 beziehen
■ · tin ■ '· ···
,*'''. I · I I I t t T ·
84 P 18 79 DH
-O-
sich auf zu den Figuren 1 und 2 beschriebene Einzelheiten.
Eine Anordnung nach Figur 3 ist vielseitig verwendbar und kenn z.B. auch im Inneren von Flüssigkeitsbehältern, und
zwar auch untergetaucht, in der Flüssigkeit benutzt und betrieben werden. Dies kann auch im Zusammenhang mit aggressiven
und/oder Lösungsmittelcharakter aufweisenden Flüssigkeiten erfolgen, da für die Schutzumhüllung jeweils geeignete
Materialien bekanntermaßen zur Verfugung stehen.
Figur 4 zeigt als Ausschnitt skizzenhaft eine Ausführungsform
eines Wandler-Arrays für eine Anordnung nach der vorliegenden
Erfindung. Die Schnittdarstellung zeigt denjenigen Anteil der Substratplatte 2, auf dem sich das Wandler-Array
3; 3,1; 3,2 ... befindet. Mit 31 und 32 sind die Kunststoff-Folien bezeichnet, die eine beispielsweise streifenförmige
Piezokeramikfolie 42 wie dargestellt umhüllen. Die
Wandler 3; 3,1; 3r2 ... sind hier integrale Bestandteile
des gesamten Wandler-Arrays 300. Mit 35 ist die jeweils eine
Elektrodenbelegung des Wandlers 3, des Wandlers 3, 1, des Wandlers 3, 2 usw. bezeichnet. Die gegenüberliegende Elektrodenbelegung
136 kann eine durchgehende streifenförmige Belegung sein, durch die die Wandler 3; 3,1; 3,2 ... miteinander
einpolig verbunden sind. Durch entsprechende Anregung über die Anschlüsse 37 können die einzelnen Wandler
3; 3,1; 3,2 ... der vorgegebenen Betriebsweise des Arrays entsprechend, beispielsweise gleichphasig oder mit verschiedener
Pnase, zu Ultraschallschwingungen angeregt werden. Figur 5 zeigt ebenfalls lediglich skizzenhaft in Aufsicht
den Schnitt V, Va aus Fig. 4, und zwar in Höhe der Unterseite des Piezokeramikstreifens 42. Durch Einschnitte bl in den
Piezokeramikstreifen 42 sind die einzelnen Wandler 3; 3, 1; 3, 2 ... hinsichtlich ihrer Funktion rls Ultraschallschwinger
voneinander entkoppelt.
_7_ 84 P 1879OE
Figur 6 zeigt sin spezielles Beispiel für die Ausführung der
Kontaktierung der Elektrodenbelegungen 35 und 36 der Piezokeramikfolie
33 eines Wandlers 3. Wieder ist mit 2 der entsprechende Ausschnitt der Substratplatte bezeichnet. Mit
ist die Piezokeramikfolie mit ihren Elektrodenbelegungen
und 36 bezeichnet. Die Anschlußleitungen 37 und 38 sind feine Drähte oder Litzen, die zu stirnseitigen Metallisierungen
137 und 138 des Wandlers 3 bzw. seiner Kunststoff-Folien 31 und 32 führen. Mit 9 und 10 sind wiederum die auf der
Substratpplatte 2 aufgebrachten, für den Anschluß des Wandlers 3 vorgesehenen Leiterbahnen bezeichnet. Mit 109 und
sind Lotverbindungen zwischen der Leiterbahn 9 und der Metallisierung 137 bzw. der Leiterbahn 10 und der Metallisierung
138 bezeichnet. Solche Lotverbindungen sind von Dickschichtschaltungen und solche Metallisierungen 137 und 138
von Kunststoffkondensatoren her bekannt.
Figur 7 zeigt im Schnitt eine Mehrschicht-Ausführung eines für die vorliegende Erfindung zu verwendenden Wandlers 103.
Das dargestellte Ausführungsbeispiel besitzt übereinander drei Piezokeramikfolien 33, 33a und 33b. Mit 31 und 32 sind
wiederum die beiden äußeren Kunststoff-Folien bezeichnet. Die die Piezokeramikfolien voneinander trennenden weiteren
Kunststoff-Folien sind mit 31a und 31b bezeichnet. Nicht weiter dargestellt sind in Figur 7 die sinngemäß entsprechenc
der Figur 2 vorgesehenen Elektrodenbelegungen der Piezokeramikfolien
und deren vorzusehende Anschlußleitungen. Die Wirkungsweise eines Mehrschichtenwandlers nach Figur 7 ist
prinzipiell gleich derjenigen eines Wandlers nach Figur 2. Zum Beispiel kann auch ein Array entsprechend den Figuren
und 5 als Mehrschichtenwandler sinngemäß nach Figur 7 ausgestaltet sein.
Für die Dicke der Piezokeramikfolien 33, 33a, 33b kommen Abmessungen kleiner als etwa 0,5 mm in Frage. Die Dicken-
-8- 84 P 1 8 7 9 DE
abmessungen der Kunststoff-Folien liegen im Bereich von
Werten der gleichen Größenordnung bis jeweils bis zu 10 mal dicker als die verwendete Keramikfolie.
Figur 8 zeigt ein Anwendungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Sensors 40 als Füllstandssensor in einem Tank 410. Die Laufzeit der an der Flüssigkeitsoberfläche 420 reflektierten
und vom Sensor 40 wieder empfangenen Ultraschalls ist das Maß für die Füllstandshöhe.
15 P^nsprüche
8 Figuren
8 Figuren
Claims (12)
1. Ultraschall-Detektionssensor, insbesondere für Detektionen in Flüssigkeiten
mit wenigstens einem Ultraschall-Wandler, der auf einer als backing wirkenden Platte angebracht ist,
mit einer Elektronikschaltung zum Betrieb des Wandlers als Ultraschall-Sender und/oder Ultraschall-Empfänger,
gekennzeic hnet dadurch,
- daß die Platte ein für eine Dickschichtschaltung (5) zu verwendendes Substrat (2) ist,
- daß auf dem Substrat (2) die Elektronikschaltung in
an sich bekannter Weise als Dickschichtschaltung (5, 5a, 5b,
5c) mit Anschlüssen (6, 6a, 7) ausgeführt ist,
- daß der Ultraschall-Wandler (3; 3,1; 3,2...) einen
Scnichtaufbau (Fig. 2, 6) hat, der aus wenigstens einer Folie aus Piezokeramik (33, 33a, 33b, 42) und wenigstens
zwei Folien (Jl, 32, 31a, 31b) aus Kunststoff-Material mit einem spezifischem Gewicht kleiner etwa 2 besteht, wobei
diese Kunststoff-Folien und Keramikfolien abwechselnd aufeinander folgen und dieses Folienpaket nach außen jeweils
eine Kunststoff-Folie (31 und 32) aufweist, so daß die Abstrahl- bzw. Empfangsfläche des Wandlers (3; 3,1;
3,2...) zu einer äußeren Kunststoff-Folie (32) gehört und dieser Wandler mit der anderen äußeren Kunststoff-Folie (31)
auf dem Substrat (2) befestigt ist und
-daß der für diesen Wandler geltende Mittelwert des Produkts aus Schallgeschwindigkeit und Dichte ( .c) im bzw.
des Materials des Wandlers (3; 3,1; 3,2...) kleiner als der entsprechende Produktwert für das Substratmaterial (2) bemessen
ist.
2, Sensor nach Anspruch 1, gekennzeichnet
dadurch, daß durch Schichtaufbau (Fig.2) des wenigstens einen
Bts 1 Kow / 11.7.1986
-2-
Ultraschall-Wandlers (3, ...) so bemessen ist, daß der für diesen Wandler geltende Wert des Produkts aus Schallgeschwindigkeit
und Dichte im bzw, des Materials des Wandlers (3, ...) gleich wenigstens angenähert dem Mittelwert der
entsprechenden Produktwerte bemessen ist, die für das Substratmaterial einerseits und für das Medium, in das die
Schallabstrahlung (4) zu erfolgen hat, andererseits gelten.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet
dadurch, daß der wenigstens eine Ultraschall-Wandler (3, ...) und die Elektronikschaltung (5) auf ein und
derselben Oberflächenseite des Substrats (2) angebracht sind.
4. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet
dadurch, daß der wenigstens eine Ultraschallwandler (3, ...) auf der einen Oberflächenseite des
Substrats (2) und wenigstens ein Anteil der Elektronikschaltung (5) auf der gegenüberliegenden Oberflächenseite des
Substrats (2) angebracht ist.
5. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet
dadurch, daß mehrere Ultraschall-Wandler (3; 3,1; 3,2...) als Wandler-Array (Fig. 1, 4 u. 5) auf dem
Substrat (2) ausgeführt sind.
6. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet
dadurch, daß der wenigstens eine Ultra- »chall-Wandler (103) ein Wcncier mit mehreren Piezokeramik-Folien
(33, 33a, 33b) ist, die zusammen mit Kunststoff-Folien (31, 31a, 31b, 32), die abwechselnd im Abstand der Dicke der
Kunststoff-Folien übereinander aufeinanderliegend angeordnet lind, wobei die Piezokeramikfolien und Kunststoff-Folien
ein Folienpaket mit jeweils außenliegender Kunststoff-Folie
(31, 32) bilden.
7. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet
dadurch, daß die Kunststoff-Folien (31,
31a, 31b, 32) über den äußeren Rand der Piezokeramik-Folien (33, 33a, 33b) hinausreichend sind (Fig. 3, 4, 6, 7).
8. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet
dadurch, daß die auf dem Substrat (2) befindliche Elektronikschaltung (5), der wenigstens einen
Ultraschall-Wandler (3j ...) und das Substrat (2) mit einer Schutzumhüllung (41) umgeben sind, wobei jedoch die Oberfläche
der gegenüber dem Substrat (2) jeweils außenliegenden Kunststoff-Folie (32) des betreffenden Wandlers für unbehinderte
Ultraschallaussendung (4) bzw. -empfang von der Umhüllung freigehalten ist und die Anschlüsse (6, 6a, 7) für
Zuführung der Versorgungsspannung und für den Signalausgang durch die Schutzumhüllung (41) nach außen hin durchgeführt
sind.
9. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet
dadurch, daß die Kontaktierung der Piezokeramik-Folien (33, 33a, 33b) durch Metallisierung der jeweiligen
anliegenden Kunststoff-Folie (31, 32, 31a, 31b) bewirkt ist.
10. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet
dadurch, daß Kontaktierung (137, 138) auf Stirnseiten des Wandlers vorgesehen ist und diese Kontaktierungen
(137, 138) mit auf der Substratoberfläche vorgesehenen Leiterbahnen (9, 10) durch Lot (109, 110) nach Art
einer Dickschichtschaltung verbunden sind (Fig. 6).
-4-
11. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet
dadurch, daß für ein Array die wenigstens eine Piezokeramik-Folie (Fig. 4, 5) für
wenigstens eine größere Anzahl der Wandler (3, ...) einstückig ist und zwischen den einzelnen für die Wandler bestimmten
Anteilen der betreffenden Piezokeramik-Folie (133) Einkerbungen (51) zur akustischen Entkopplung eingebracht
sind.
12. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet
dadurch, daß das Kunststoff-Material der Folien (31, 32, 31a, 31b) ein Material der Art eines Polymers
aus im wesentlichen Kohlen- und/oder Siliziumwasserstoffen
ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19848431413 DE8431413U1 (de) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | Ultraschall-Detektionssensor in Hybridaufbau mit zugehöriger Elektronikschaltung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19848431413 DE8431413U1 (de) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | Ultraschall-Detektionssensor in Hybridaufbau mit zugehöriger Elektronikschaltung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE8431413U1 true DE8431413U1 (de) | 1986-08-14 |
Family
ID=6772079
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19848431413 Expired DE8431413U1 (de) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | Ultraschall-Detektionssensor in Hybridaufbau mit zugehöriger Elektronikschaltung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE8431413U1 (de) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3720574A1 (de) * | 1987-06-22 | 1989-01-05 | Deutsch Pruef Messgeraete | Ultraschall-mehrfachpruefkopf |
DE3912783A1 (de) * | 1989-04-19 | 1990-10-25 | Bayerische Motoren Werke Ag | Fuellstands-messvorrichtung fuer kraftfahrzeuge |
DE4014990A1 (de) * | 1990-05-10 | 1991-11-14 | Herbert Prof Dr Zott | Vorrichtung zur bestimmung des fluessigkeitsstandes einer fluessigkeit in einem behaelter |
DE4025326A1 (de) * | 1990-05-10 | 1991-11-14 | Krieg Gunther | Verfahren und vorrichtung zu fuellstandsmessung |
EP0607443A1 (de) * | 1991-10-08 | 1994-07-27 | Yokogawa Medical Systems, Ltd | Ultraschallwellensensor |
FR2741717A1 (fr) * | 1995-11-27 | 1997-05-30 | Mitsubishi Electric Corp | Appareil a sonde composite |
DE102005011376A1 (de) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Füllstandsmessung |
DE102011118711A1 (de) * | 2011-11-16 | 2013-05-16 | Seuffer Gmbh & Co.Kg | Messvorrichtung |
DE102012003495A1 (de) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Ultraschallwandler zur Anregung und/oder zur Detektion von Ultraschall unterschiedlicher Frequenzen |
DE102022200918B3 (de) | 2022-01-27 | 2023-04-27 | Vitesco Technologies Germany Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Ultraschallsensors und Ultraschallsensor |
-
1984
- 1984-10-25 DE DE19848431413 patent/DE8431413U1/de not_active Expired
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3720574A1 (de) * | 1987-06-22 | 1989-01-05 | Deutsch Pruef Messgeraete | Ultraschall-mehrfachpruefkopf |
DE3912783A1 (de) * | 1989-04-19 | 1990-10-25 | Bayerische Motoren Werke Ag | Fuellstands-messvorrichtung fuer kraftfahrzeuge |
DE4014990A1 (de) * | 1990-05-10 | 1991-11-14 | Herbert Prof Dr Zott | Vorrichtung zur bestimmung des fluessigkeitsstandes einer fluessigkeit in einem behaelter |
DE4025326A1 (de) * | 1990-05-10 | 1991-11-14 | Krieg Gunther | Verfahren und vorrichtung zu fuellstandsmessung |
EP0607443A1 (de) * | 1991-10-08 | 1994-07-27 | Yokogawa Medical Systems, Ltd | Ultraschallwellensensor |
EP0607443A4 (de) * | 1991-10-08 | 1995-01-25 | Yokogawa Medical Syst | Ultraschallwellensensor. |
FR2741717A1 (fr) * | 1995-11-27 | 1997-05-30 | Mitsubishi Electric Corp | Appareil a sonde composite |
DE102005011376A1 (de) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Füllstandsmessung |
DE102011118711A1 (de) * | 2011-11-16 | 2013-05-16 | Seuffer Gmbh & Co.Kg | Messvorrichtung |
DE102012003495A1 (de) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Ultraschallwandler zur Anregung und/oder zur Detektion von Ultraschall unterschiedlicher Frequenzen |
DE102012003495B4 (de) * | 2012-02-24 | 2015-04-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Ultraschallwandler zur Anregung und/oder zur Detektion von Ultraschall unterschiedlicher Frequenzen |
DE102022200918B3 (de) | 2022-01-27 | 2023-04-27 | Vitesco Technologies Germany Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Ultraschallsensors und Ultraschallsensor |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0182140B1 (de) | Ultraschall-Detektionssensor in Hybridaufbau mit zugehöriger Elektronikschaltung | |
DE69217994T2 (de) | Flüssigkeitsstandsmesser | |
DE69710314T2 (de) | Schallwandler mit mehreren elementen und gemeinsamer massenelektrode | |
DE2824144C2 (de) | Einrichtung zur kapazitiven Niveauhöhenmessung von Flüssigkeiten oder Feststoffen | |
DE8431413U1 (de) | Ultraschall-Detektionssensor in Hybridaufbau mit zugehöriger Elektronikschaltung | |
DE3017447C2 (de) | ||
DE2727691A1 (de) | Ultraschallsonde | |
DE112007002645T5 (de) | Ultraschallsonde | |
EP0017216A2 (de) | Ultraschallwandler | |
DE69506131T2 (de) | Akustischer richtwandler | |
DE69507705T2 (de) | Ultraschallwandleranordnung mit apodisiertem elevationsfokus | |
DE102004054293A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines mehrschichtigen keramischen akustischen Wandlers | |
EP3256264B1 (de) | Schallwandler umfassend eine vielzahl von einzelwandlern und verfahren zu dessen herstellung | |
EP3992639B1 (de) | Beschleunigungsaufnehmer | |
EP0478958A2 (de) | Kapazitiver Sensor zur Messung eines Kraftstoffwandfilms | |
DE19621760A1 (de) | Ultraschall-Flüssigkeitsniveaudetektor | |
EP3992638A1 (de) | Beschleunigungsaufnehmer | |
DE2711460A1 (de) | Elektroakustische signalverarbeitungseinrichtung | |
DE3124562A1 (de) | Mehrelementige ultraschallsonde und verfahren zu ihrer herstellung | |
EP3329473B1 (de) | Einrichtung und verfahren zur untersuchung von wertdokumenten und / oder des transports von wertdokumenten mittels ultraschall | |
EP0166180A1 (de) | Hydrophon | |
DE2938542C2 (de) | Signalzuführungsanordnung für ein Oberflächenwellen-Bauteil | |
EP0825585A2 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung des Abstandes von Objekten | |
DE4328792C1 (de) | Detektoreinrichtung zur Detektierung von Flüssigkeitsfüllständen | |
DE3720574C2 (de) |