DE69902636D1 - Verfahren und werkzeuge zur kollektiven herstellung von mikroreliefs, insbesondere von mikroprismen, durch mikrobearbeitung - Google Patents

Verfahren und werkzeuge zur kollektiven herstellung von mikroreliefs, insbesondere von mikroprismen, durch mikrobearbeitung

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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1329744B1 (de) * 2002-01-10 2007-08-15 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Etalon aus Lithiumniobat oder Lithiumtantalat und dessen Herstellungsverfahren
CN100463775C (zh) * 2004-03-04 2009-02-25 精工爱普生株式会社 微细结构元件的制造方法及其应用
JP2005279918A (ja) 2004-03-04 2005-10-13 Seiko Epson Corp 微細構造素子の製造方法、この方法により製造された微細構造素子、空間光変調装置及びプロジェクタ
KR20110017379A (ko) * 2008-05-06 2011-02-21 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. 마이크로스케일 광학 구조 제조 방법
KR20110006722A (ko) * 2008-05-09 2011-01-20 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. 광자 가이딩 시스템 구성 방법

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3254556A (en) * 1961-05-29 1966-06-07 Coleman Instr Corp Composite optical prism unit
JPS59139002A (ja) * 1983-01-31 1984-08-09 Sony Corp マイクロプリズム用原板の製造方法
US5069003A (en) * 1990-08-13 1991-12-03 Dynatech Electro-Optics Corporation Method for making microprisms
EP0532229A1 (de) * 1991-09-12 1993-03-17 AT&T Corp. Polierverfahren für optische Siliziumwellenleiter
WO1994017956A1 (en) * 1993-02-12 1994-08-18 Kondratenko Vladimir Stepanovi Process for machining components made of brittle materials and a device for carrying out the same
DE4429080C1 (de) * 1994-08-17 1996-02-08 Technoglas Neuhaus Gmbh Verfahren zur Herstellung von Prismen, insbesondere Mikroprismen

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