DE698090C - pparate - Google Patents
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- DE698090C DE698090C DE1938B0182492 DEB0182492D DE698090C DE 698090 C DE698090 C DE 698090C DE 1938B0182492 DE1938B0182492 DE 1938B0182492 DE B0182492 D DEB0182492 D DE B0182492D DE 698090 C DE698090 C DE 698090C
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3244—Gas supply means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/087—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy
- B01J19/088—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy giving rise to electric discharges
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Description
- Gaszuleitung und -ableitung für Vakuum-Reaktionsapparate Es sind bei der elektrischen Gasreinigung bereits geerdete Gitter oder Siebe zur Entionisierung von Gasen bekanntgeworden. Man hat auch bereits im Verbindungskanal zwischen Niederschlagskammer und Trockenofen durchlässige Trennwände zur Verhütung von Entzündungen angebracht. Weiter ist es kannt, bei Metalldampfgleichrichtern zur Vermeidung von Stromübergängen nach den Pumpenteilen Isolierstücke mit besonderen Hilfslelektroden anzuordnen, die einen störungsfreien Ausgleich des Potentialgefälles herbeiführen. Alle diese bekannten Maßnahmen dienen dazu, die Entladung zwischen Leitern verschiedenen Potentials ohne Betriebsstörung zu überbrücken.
- Eis wurde bei Versuchen festgestellt, daß die Gaszuleitung bzw. Gasableitung durch die Wandung von Vakuumapparaten zur Durchführung chemischer Reaktionen, die unter Verwendung einer elektrischen Gasentladung, z. B. einer Glimmentladung, durchgeführt werden, Schwierigkeiten bietet, wenn die Wandung des Vakuum Reaktionsapparates als Kathode geschaltet ist. Die Glimmentladung breitet sich dabei leicht im Gaszuleitungsrohr oder Gasableitungsrohr aus, wodurch der Betrieb erheblich gestört wird. Durch die Erfindung werden diese unerwünschten Entladungen vermieden.
- Die Erfindung betrifft eine Gaszuleitung und ableitung für Vakuumapparate zur.Durchführung chemischer Reaktionen zwischen Stoffen beliebigen Aggriegatzustan.des mittels elektrischer leuchtender Entladungen, dadurch gekennzeichnet, daß dort, wo die durch die Kathode des Vakuum-Reaktionsapparates führende und mit ihr elektrisch leitend verbundenen Gaszu- oder ableitung in den Reaktionsraum mündet, ein Sieb oder Filter in die Gasleitung eingebaut ist. Dabei werden die Maschen des Siebes so eng gehalten, daß die Gasentladung, insbesondere Glimmentladung, nicht in die Gaszuleitung bzw. Gas ableitung hineinschlagen kann. Vorzugsweise wird das Sieb mit Löchern oder Machen von weniger als 3 mm Durchmesser, durch die die Glimmentladung nicht mehr hindurchschlagen kann, versehen. Es können auch mehrere Siebe hintereinander so angeordnet werden, daß sich ihre Öffnungen gegenseitig verdecken. An Stelle von Lochsieben kann man auch vorteilhaft Siebe verwenden, die aus einem einfachen oder mehrfachen Drahtgeflecht bestehen. Hierdurch wird eine Abdeckung der Öffnung des Gaszuleirungs- bzw.
- -ableitungsrohres gegen das Durchschlagen von Entladungen erreicht, während das Gas frei durchtreten kann. Das Filter oder Sieb wird vorzugsweise aus dem gleichen Baustoff wie die. Wandung des Reaktionsapparates hergestellt, also z. B. aus Metallen oder Legierungen. Durch das Gaszuleitungsrohr können in den Reaktionsapparat die umzusetzenden Reaktionskompoenenten in geregelter Menge eingeleitet werden, während an das Gasableitungsrohr eine Vakuumpumpe augeschlossen ist, durch die in dem Reaktionsapparat der gewünschte Unterdruck, z. B. 40 bis 0,001 mm Hg, eingestellt wird.
- In der Zeichnung ist die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel schematisch näher erläutert, und zwar zeigt die Abbildung einen Schnitt durch eine Gasableitung in größerem Maßstabe.
- In die als Kathode geschaltete Wandung 2 eines Vakuum-Reaktionsapparates zur Durch führung chemischer Reaktionen ist in die Gasableitung 1 das Sieb 1a eingebaut, welches verhindert, daß die Gasentladung insebsondere Gimmentladung, in die Gasableitung hineinschlagt. Die Maschnweite des Siebes ist z. B. kleiner als 1 mm. Das Sieb ist dabei z. B. in einer auswechselbar,en Hülse 1b angeordnet.
Claims (1)
- PATENTANSPRUCH: Gaszuleitung und ableitung für Vakuum-Reaktionsapparate zur Durchführung chemischer Reaktionen zwischen Stoffen beliebigen Aggregatzustandes mittels .elektrischer leuchtender Entladungen, dadurch gekennzeichnet, daß dort, wo die durch die Kathode des Vakuum-Reaktionsapparates führende und mit ihr elektrisch leitend verbundene Gaszu- oder -ableitung - in den Reaktionsraum mündet, ein Sieb oder Filter in die Gasleitung eingebaut ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1938B0182492 DE698090C (de) | 1938-03-23 | 1938-03-23 | pparate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1938B0182492 DE698090C (de) | 1938-03-23 | 1938-03-23 | pparate |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE698090C true DE698090C (de) | 1940-11-01 |
Family
ID=7009346
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1938B0182492 Expired DE698090C (de) | 1938-03-23 | 1938-03-23 | pparate |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE698090C (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19749348C2 (de) * | 1996-11-15 | 2002-03-21 | Lg Semicon Co Ltd | Verfahren zum Reinigen einer Gasverteilerplatte in einer Anlage zur chemischen Abscheidung aus der Gasphase unter atmosphärischem Druck |
-
1938
- 1938-03-23 DE DE1938B0182492 patent/DE698090C/de not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19749348C2 (de) * | 1996-11-15 | 2002-03-21 | Lg Semicon Co Ltd | Verfahren zum Reinigen einer Gasverteilerplatte in einer Anlage zur chemischen Abscheidung aus der Gasphase unter atmosphärischem Druck |
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