DE69736874T2

DE69736874T2 - Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten und Fixieren von optischen Fasern

Info

Publication number: DE69736874T2
Application number: DE69736874T
Authority: DE
Inventors: Pierre Labeye; Patrick Pouteau; Claude Chabrol; Herve Denis
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Current assignee: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 1996-05-10
Filing date: 1997-05-07
Publication date: 2007-05-24
Anticipated expiration: 2017-05-08
Also published as: EP0806686A1; US5937132A; DE69736874D1; FR2748574A1; FR2748574B1; EP0806686B1; JPH1048454A

Description

Technisches Gebiet und Stand der Technik
Die vorliegende Erfindung betrifft das Gebiet der Positionierung bzw. Ausrichtung und Fixierung einer optischen Faser. Sie betrifft insbesondere das Gebiet der integrierten Optik, wo die optischen Fasern Einrichtungen sind, um Licht – in integrierten optischen Bauteilen, oder von diesen ausgehend – zu koppeln und zu entkoppeln. Noch genauer hat die Erfindung die Aufgabe des Koppelns und Entkoppelns, wenn die integrierten optischen Bauteile optische Mikroleiter umfassen. Aufgrund der relativ kleinen Dimensionen der integrierten optischen Bauteile, insbesondere der Mikroleiter und der optischen Fasern, ist es notwendig, mechanische Strukturen zu benutzen, um eine relativ genaue Ausrichtung der beiden sich gegenüberstehenden Elemente zu realisieren.
Das Dokument FR-2 659 148 beschreibt ein Verbindungsverfahren zwischen einer optischen Faser und einem optischen Mikroleiter. In diesem Dokument wird ein einziger Träger benutzt, nämlich das Substrat, auf bzw. in dem der optische Mikroleiter realisiert ist, und das einen Sitz umfasst, um die optische Faser gegenüber diesem Mikroleiter auszurichten oder zu positionieren und zu fixieren. Die in diesem Stand der Technik beschriebene Realisierungsart weist einen ersten Nachteil auf, der darin besteht, dass nichts vorgesehen ist, um das Beigeben des Klebstoffs zu erleichtern, sobald die Faser in Position gebracht worden ist. Ein zweiter Nachteil betrifft das Ergreifen der Faser und die Größe des Greifsystems: das Ergreifen der Faser kann nur an dem oberen Halbzylinder erfolgen, der durch den oberen Teil der Faser gebildet wird.
Eine andere bekannte Vorrichtung ist in den 1A (Draufsicht) und 1B (Schnittansicht gemäß I-I der 1A) dargestellt. Die Vorrichtung umfasst im Wesentlichen ein Substrat 2, in das Rillen 4-1,..., 4-n geätzt sind, um n optische Fasern 8-1,..., 8-n zu positionieren. Sobald eine Faser 8-1 in ihrer Rille positioniert ist, wird ein Tropfen Klebstoff 10 auf die genannte Faser getropft. Ein Quergraben 6 ist vorgesehen, um zu verhindern, dass der Klebstoff sich über zwei Zonen 12, 14 beiderseits des Grabens verteilt. Mit anderen Worten wird der Klebstoff in wenigstens einer der beiden Zonen beigegeben, aber nicht in dem Graben. Es ist in dieser Vorrichtung also nichts vorgesehen, um das Beigeben des Klebstoffs zu erleichtern, nachdem die Faser positioniert worden ist. Außerdem kann auch bei einer solchen Struktur das Ergreifen der Faser nur an einem Teil ihres oberen Halbzylinders erfolgen, und dies mit einem Greifsystem von geringer Größe (das Problem des Platzbedarfs des Greifsystems wurde nicht berücksichtigt).
Ein Dokument des Stands der Technik, "Patent abstracts of Japan", Vol. 004, Nr. 107 (P-021), 31. Juli 1980 & Jp 55 065913 A (NIPPON TELEGR & TELEPH CORP), 17. Mai 1980, beschreibt eine Vorrichtung zur Positionierung und Fixierung von N optischen Fasern, die ein Substrat mit N parallelen Rillen umfasst, von denen jede eine optische Faser aufnimmt, und von Gräben mit senkrechter Richtung zu diesen Rillen, wobei die einen das Zuschneiden bzw. Aufteilen (découpe) des Substrats ermöglichen und die anderen eine Ausgabe bzw. einen Ausfluss (émission) von Haftsubstanz.
Darstellung der Erfindung
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum genauen Positionieren bzw. Ausrichten einer optischen Faser auf einem Substrat, eine verbessertes Anbringen des Klebstoffs zwischen der Faser und dem Substrat und eine bessere Fixierung der Faser während der Positionierungs- und Klebungsoperationen.
Noch genauer hat die Erfindung eine Vorrichtung zum Ausrichten und Fixieren einer optischen Faser zum Gegenstand, die ein Substrat, eine Rille zur Aufnahme der optischen Faser und wenigstens eine erste und eine zweite Verbreiterung der Rille längs einer Längsachse dieser letzteren umfasst, wobei die Enden dieser Verbreiterungen abgegrenzt sind.
Die eine oder die andere der Verbreiterungen der Rille ermöglicht, den Klebstoff auf dem Boden der Fixierungsstruktur der Faser – bzw. auf dem Substrat – anzubringen. Diese Verbreiterung lässt nämlich zwischen der Faser und dem Substrat einen Raum frei, durch den der Klebstoff vor oder nach der Positionierung der Faser in die Rille eindringen kann. Die andere Verbreiterung ermöglicht, die Faser mit einem größeren Greifwerkzeug zu ergreifen und zu handhaben, das die Faser über einen größeren Teil ihres Umfangs ergreifen kann, als die bei den Vorrichtungen nach dem Stand der Technik der Fall ist.
In der vorliegenden Beschreibung versteht man unter "Klebstoff" jede Substanz mit haftender Wirkung zwischen der Oberfläche des Substrats und derjenigen der Faser. Man kann zum Beispiel im Falle eines Substrats aus Silicium und einer Faser aus Siliciumdioxid als Klebstoff einen Epoxydkleber nennen.
Die Erfindung hat auch eine Vorrichtung zum Ausrichten und Fixieren von N optischen Fasern zum Gegenstand, die ein Substrat und N parallele Rillen umfasst, von denen jede zur Aufnahme einer optischen Faser bestimmt ist und jede eine Längsachse und wenigstens eine erste und eine zweite Verbreiterung längs ihrer Längsachse aufweist, wobei die Enden dieser Verbreiterungen abgegrenzt sind.
Im Falle von N optischen Fasern entsprechen die Effekte, die man mit der ersten und zweiten Verbreiterung erzielt, den oben beschriebenen.
In diesem zweiten Fall (mit einer Vielzahl optischer Fasern) kann die erste Verbreiterung von wenigstens einer Rille mit der ersten Verbreitung von wenigstens einer Nachbarrille kommunizieren.
Ebenso kann die zweite Verbreiterung von wenigstens einer Rille mit der zweiten Verbreitung von wenigstens einer Nachbarrille kommunizieren.
Die Erfindung hat auch ein Verfahren zum Fixieren einer optischen Faser auf einem Substrat einer Vorrichtung wie oben beschrieben zum Gegenstand, das die folgenden Schritte umfasst:

– Positionieren der optischen Faser in der Rille des Substrats,
– Festhalten der Faser mit Hilfe eines Werkzeugs an wenigstens einem Punkt der Faser, der sich in Höhe einer der Verbreiterungen befindet,
– Eingeben einer Haftsubstanz in die andere Verbreiterung dieser selben Rille.

Die Erfindung hat auch diverse Werkzeuge zur Positionierung und Fixierung einer Faser zum Gegenstand, die in Verbindung mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung benutzt werden können.
Kurzbeschreibung der Figuren
Die Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen noch besser aus der nachfolgenden erläuternden und nicht einschränkenden Beschreibung von Realisierungsbeispielen hervor, bezogen auf die folgenden beigefügten Figuren:
die 1A und 1B, schon beschrieben, die eine Vorrichtung zur Positionierung einer Vielzahl optischer Fasern nach dem Stand der Technik darstellen,
die 2A und 2B zeigen eine perspektivischen und geschnittene Ansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Fixierung einer optischen Faser,
die 3A und 3B sind Beispiele von Fasergreifwerkzeugen,
die 4 zeigt eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Fixierung von N optischen Fasern,
die 5 zeigt eine Vorrichtung, bei der erfindungsgemäße Fixierungseinrichtungen von optischen Fasern vorgesehen sind,
die 6 zeigt ein die Fixierung der optischen Fasern betreffendes Detail der Vorrichtung der 5.
Detaillierte Beschreibung von Realisierungsarten der Efindung
Die 2A zeigt eine erste Realisierungsart der Erfindung. In einem Substrat 20 wurde eine Rille 22 realisiert. Wenigstens zwei Aussparungen 24, 26 definieren Verbreiterungen der Rille 22. In einem nichtverbreiterten Teil der Rille 22 hat diese letztere eine Breite, die im Wesentlichen dem Durchmesser einer optischen Faser 28 entspricht, die in ihr positioniert werden soll. Andererseits ist in den Verbreiterungszonen wie zum Beispiel der Zone 26 zwischen den Innenrändern 30 des Substrats 20 und der optischen Faser 28 ein Raum ausgespart. Man kann zum Beispiel, nachdem man die optische Faser provisorisch in der Rille 22 positioniert hat, ein großes Fasergreif- und -fixierungswerkzeug in Höhe einer der Verbreiterungen positionieren und dann den Klebstoff in die andere Verbreiterung hineingeben, zwischen den Innenrändern des Substrats und der optischen Faser. Auf diese Weise dringt der Klebstoff besser unter dieser Faser vor. Zudem kann das Greifwerkzeug in die Verbreiterung der Rille eindringen, was ermöglicht, die Faser an einem größeren Oberflächenbereich als nur dem durch ihren oberen Halbzylinder definierten festzuhalten. Die 2B zeigt einen Schnitt der Vorrichtung der 2A gemäß der Achse I-I. Diese 2B zeigt deutlich, dass dank der Verbreiterung 26 die Faser 28 nicht nur an ihrem oberen Halbzylinder (in 2B die Linie AB) festgehalten werden kann, sondern auch an ihren Seitenflächen (in der 2B die Linien AC und BD). Dies ermöglicht eine bessere Fixierung während der Klebeoperationen.
Zwar ermöglicht die Erfindung, die Faser an einem größeren Teil ihrer Oberfläche festzuhalten, ist jedoch nicht auf ein derartiges Festhalten beschränkt. Es kann nämlich ein Festhalten nur über einen Teil der Linie AB genügen.
Im Rahmen dieses ersten Beispiels sind nur zwei Verbreiterungen längs der Rille 22 dargestellt worden. Es kann auch eine größere Anzahl Verbreiterungen vorgesehen werden, insbesondere um mehr Klebstoffeingabestellen und/oder Fixierungspunkte für ein großes Greifwerkzeug zu erhalten.
Zudem können die Verbreiterungen Enden aufweisen, die abgegrenzt oder abgeschlossen sind (wie in den Figuren 2A und 2B), oder auch nicht abgegrenzt sind. In Abhängigkeit von der Viskosität der verwendeten Haftsubstanz oder des Klebstoffs kann es vorteilhaft sein, abgegrenzte Verbreiterungen zu realisieren.
Dies ist insbesondere für eine eher flüssige Substanz der Fall.
Zwei Beispiele von verwendbaren Positionierungs- und Fixierungswerkzeugen sind in den 3A und 3B dargestellt.
Im Falle der 3A wird die Faser 28 mit Hilfe eines Greifwerkzeugs 21 fixiert, das einen Kopf 23 aufweist, dessen Breite L größer ist als der Durchmesser der Faser. Ein mit Saugeinrichtungen (nicht dargestellt in der Figur) verbundener Saugkanal 25 ermöglicht, die Faser 28 in dem Kopf 23 festzuhalten. Die Faser wird zwischen zwei Backen 27, 37 festgehalten. Dieses Werkzeug ermöglicht eine Fixierung mittels des oberen Halbzylinders. Es können Varianten dieses Werkzeugs realisiert werden, um auf eine Fläche unterhalb des Halbzylinders zuzugreifen.
Das Werkzeug der 3B umfasst eine Heizspitze 29 und eine Wachsschicht 31. Dieses Werkzeug ermöglicht eine Fixierung auf einer Fläche, die größer ist als der obere Halbzylinder (der Linie AB). Die Loslösung des Werkzeugs erfolgt anschließend durch Heizen auf eine Temperatur über der Schmelztemperatur des Wachses 31.
Nun wird in Verbindung mit der 4 eine andere Realisierungsart der Erfindung beschrieben. In dieser Figur sind N Rillen 34-1,..., 34-N in einem Substrat 32 vorgesehen. Längs jeder Rille sind wenigstens zwei Verbreiterungen 36-1,..., 36-N und 38-1,..., 38-N vorgesehen. Für jede Rille ist die Funktion jeder der beiden Verbreiterungen die gleiche wie oben im Rahmen der ersten Realisierungsart beschrieben.
Die Verbreiterungen können Enden aufweisen, die abgegrenzt oder abgeschlossen sind (wie in der 4) oder auch nicht abgegrenzt sind. In Abhängigkeit von der Viskosität der verwendeten Haftsubstanz oder des Klebstoffs kann es vorteilhaft sein, abgegrenzte Verbreiterungen zu realisieren.
Wenn die Verbreiterungen miteinander kommunizieren, bilden sie einen Graben, der an seinen Enden abgegrenzt oder abgeschlossen sein kann oder auch nicht. Die Realisierung eines abgeschlossenen Grabens kann sich hier wieder als vorteilhaft erweisen, je nach Viskosität oder Fluidität der verwendeten Haftsubstanz.
Außerdem können für jede Rille mehr als nur zwei Verbreiterungen vorgesehen werden, um die Klebe- und/oder Fixierungspunkte der Faser zu vervielfachen.
Auch hier ermöglichen diese Verbreiterungen 38-1, 38-N, die Faser 40 mittels einer Fläche zu fixieren, die größer sein kann als die auf ihren oberen Halbzylinder begrenzte, da ein Greifwerkzeug in die Verbreiterungen eindringen kann. Ein solches Werkzeug kann von dem oben in Verbindung mit den 3A und 3B beschriebenen Typ sein. Ebenso ermöglichen die Verbreiterungen 36-1, 36-N, das Anbringen eines Klebstoffs zwischen den Fasern 40 und dem Substrat 32 zu erleichtern. Die Positionierung und Fixierung der Fasern kann individuell oder kollektiv erfolgen, mit entsprechenden Greifwerkzeugen und Klebstoffspendeeinrichtungen.
Auf jeden Fall hängt die Form der realisierten Ätzungen (egal ob dies die Rille oder deren Verbreiterungen betrifft) sowohl von dem Material, aus dem die Struktur ist, als auch von den angewendeten Ätzverfahren ab. Im Falle eines Siliciumsubstrats kann man trocken oder naß oder isotrop oder anisotrop ätzen. Man kann auch Gießpolymere verwenden, um eine Vorrichtung mit Rille(n) und Verbreiterungen) zu realisieren.
Die 5 zeigt eine Vorrichtung, die in Verbindung mit der erfindungsgemäßen Positionierungsstruktur für optische Fasern verwendet werden kann. Die dargestellte Vorrichtung ist eine optisch-mechanische Vorrichtung. Sie umfasst eine plane Schicht bzw. eine Leitstruktur 50 (die aus einer oder mehreren Schichten bestehen kann), realisiert auf einem Substrat 52, zum Beispiel aus monokristallinem Silicium, mit einer Eingangsseite E und einer Ausgangsseite S, parallel zueinander und zum Beispiel durch Spaltung realisiert. Die Leitstruktur 50 umfasst zum Beispiel eine Pufferschicht 54 aus Siliciumdioxid (8 bis 12 μm dick) und eine obere Schicht 56 aus Siliciumdioxid (2 bis 10 μm dick), die bei bestimmten Anwendungen durch Luft ersetzt werden kann.
Die Leitstruktur umfasst auch einen Eingangsmikroleiter 58 und zwei Ausgangsmikroleiter 60 und 62 aus Siliciumdioxid, zum Beispiel phosphordotiert, die 2 bis 6 μm hoch und 2 bis 8 μm breit sind, sowie einen Multimode-Koppler 64 mit im Wesentlichen derselben Höhe (2 bis 6 μm) und einer typisch zwischen 10 und 50 μm enthaltenen Breite. Die Mikroleiter 58, 60, 62 sind parallel zu einer Richtung x, die ihrerseits parallel ist zu der Hauptfläche 59 der planen Schicht oder Leitstruktur 50, und sie befinden sich beiderseits einer die Leitstruktur 50 durchquerenden Aussparung 66.
Die Aussparung 66 grenzt in der Leitstruktur 50 und dem Substrat einen stationären Teil und einen flexiblen Balken 68 ab, der im Ruhezustand parallel ist zu der Richtung x. Dieser Balken kann sich in der Aussparung 66 in einer Richtung y bewegen, die parallel zu der Oberfläche 59 der Leitstruktur und senkrecht zu der Richtung x ist. Der Balken umfasst ein mit dem stationären Teil verbundenes festes Ende 70 und ein freies Ende 72, das sich in der Aussparung 66 bewegen kann. In der Verlängerung des Eingangsmikroleiters 58 erstreckt sich ein zentraler Mikroleiter 74 über die gesamte Länge des Balkens 68, wobei sein Ende 76 an dessen Ende 72 mündet.
Der Mulitimodekoppler 64 steht dem Ende 76 des Mikroleiters 74 gegenüber. Unter "Multimodekoppler" versteht man einen Koppler oder einen Multimodeleiter von mehreren Ausbreitungsmoden oder mehreren Monomodeleitern.
Die Länge L des Multimodekopplers 64 ist vorzugsweise so, dass – wenn ein in den Eingangsquerschnitt des Kopplers einfallendes Lichtbündel I eine Intensitätsverteilung mit einem einzigen Maximum aufweist –, man ein Ausgangsbündel mit N Maxima erhält, mit N≥2.
Die Bedingungen zur Erlangung eines solchen Resultats bei Multimodekopplern werden zum Beispiel durch die analytische Methode bestimmt, die beschrieben wird in einem Artikel von R. Ulrich et al. mit dem Titel: "Self imaging in homogeneous planar optical waveguides", veröffentlicht in Applied Physics Letters, Vol. 27, Nr. 6, 15. September 1975, Seiten 337–339.
Wenn das System im Ruhezustand ist, das heißt wenn das Lichtbündel am Eingang des Kopplers auf die Symmetrieachse dieses letzteren zentriert ist, erhält man am Ausgang N Maxima, symmetrisch verteilt in Bezug auf die Symmetrieachse des Kopplers.
Wenn das Eingangslichtbündel dezentriert ist, befindet sich die Intensitätsverteilung am Ausgang des Kopplers im Ungleichgewicht.
In der Folge wird die Funktionsweise dieser Vorrichtung beschrieben.
Eine Strahlungsquelle (nicht dargestellt in der Figur) erzeugt ein optisches Signal (zum Beispiel mit der Wellenlänge 0,78 μm), das dann durch eine optische Eingangsfaser 57, den Mikroleiter 58 und dann 74 in Richtung des Multimodekopplers 64 übertragen wird. Am Ausgang dieses Letzteren übertragen N Ausgangsleiter 60, 62 (N=2 in der 5) die aus dem Koppler 64 austretende Strahlung in N optische Fasern 78, 80, die ihrerseits mit N Fotodetektoren 82, 84 verbunden sind. Jeder Ausgangsmikroleiter ist am Ausgang des Kopplers an einer Stelle positioniert, wo sich ein Maximum bildet, wenn das Eingangslichtbündel sich in einer auf den Eingang des Kopplers zentrierten Position befindet. Jeder Detektor liefert ein Signal, das repräsentativ ist für das optische Signal, das ihm durch die optische Faser geliefert wird, der er zugeordnet ist. Schließlich sind diese Detektoren mit Einrichtungen 86 zur Verarbeitung der durch sie gelieferten Signale verbunden.
Wenn sich eine Vibration oder Beschleunigung ereignet, verschiebt sich das freie Ende des Balkens 68 entsprechend der y-Richtung, was die Verteilung der Strahlung am Ausgang des Multimodekopplers, also der Strahlung, die durch die N Ausgangsleiter 60, 62 übertragen wird, und folglich das Signal modifiziert, das die Detektoren 82, 84 erzeugen. Die Verschiebung d_y ist mit der Beschleunigung y der Vibration durch folgende Relation verknüpft:
wo f₀ die natürliche Resonanzfrequenz des Balkens 68 ist.
Ein Beispiel eines Herstellungsverfahrens einer solchen Vorrichtung umfasst die folgenden Schritte:

– einen Schritt zur Bildung der Schicht 54, zum Beispiel durch thermische Oxidation des Substrats 52,
– das Abscheiden einer SiO₂-Schicht durch LPCVD oder PECVD, die man zum Beispiel mit Phosphor dotiert,
– einen Schritt zur Realisierung zum Beispiel (durch Photolithographie) einer Maske aus positivem Resist, die die Zonen maskiert, die bestimmt sind zur Bildung der Mikroleiter 74, 60, 62 und des Multimodekopplers 64 (oder der gekoppelten Monomodeleiter),
– einen Schritt zum anisotropen Ätzen (des Typs Reaktives Ionenätzen), durch die Maske hindurch ausgeführt, um die Mikroleiter und den Multimodekoppler zu erhalten; die Maske wird anschließend mit einem Sauerstoffplasma eliminiert,
– einen Schritt zum Abscheiden der Schicht 56 durch LPCVD oder PECVD,
– einen Schritt zur Realisierung einer weiteren Maske (wie oben), um den Balken 68 freizulegen,
– einen Schritt zum anisotropen Ätzen des Typs Reaktives Ionenätzen mit zum Beispiel CHF₃, wobei dieser Schritt ermöglicht, die Schichten 54 und 56 gleichzeitig zu ätzen, um den Balken und die Verbindungs- bzw. Anschlusszonen zu definieren,
– einen Schritt zum anisotropen Ätzen (Reaktives Ionenätzen mit zum Beispiel SF₆) des Siliciumsubstrats 52, indem man dieselbe Maske benutzt, um den Balken von dem Substrat frei zu machen, aber auch die Realisierung der Zonen für den Anschluss der optischen Fasern 78, 80 zu beenden.

Die so definierten Verbindungs- bzw. Anschlusszonen entsprechen der Rille zur Aufnahme der optischen Fasern. Wie in der 6 dargestellt (die nur einen einzigen der Ausgangsleiter und die entsprechende optische Faser zeigt), kann die für die Faser 78 vorgesehene Verbindungszone 90 außerdem an bestimmten Stellen 90a, 90b, 90c, 90d erfindungsgemäß verbreitert sein, um das Beigeben des optischen Klebstoffs zu erleichtern und das Fixieren der Fasern zu ermöglichen. Die Verbreiterungen 90a–90d werden gleichzeitig mit der Verbindungszone 90 realisiert. Dies kann bei der Verbindungszone von jeder der Fasern 57, 78, 80 Anwendung finden.

Claims

Vorrichtung zum Ausrichten und Fixieren einer optischen Faser, eine optische Faser (28), ein Substrat (20), eine Rille (22) zur Aufnahme der optischen Faser (28) und wenigstens eine erste und eine zweite Verbreiterung (24, 26) der Rille längs einer Längsachse dieser letzteren umfassend, wobei die Enden dieser Verbreiterungen abgegrenzt sind, eine Haftsubstanz in eine der beiden Verbreiterungen eingebracht wird, diese Haftsubstanz die Faser auf dem Substrat fixiert.
Vorrichtung zum Ausrichten und Fixieren von N optischen Fasern, N optische Fasern (40), ein Substrat (32) und N parallele Rillen (34-1,..., 34-N) umfassend, von denen jede eine optische Faser (40) aufnimmt und jede eine Längsachse und wenigstens eine erste und eins zweite Verbreiterung (36-1,..., 36-N; 38-1,..., 38-N) jeder Rille längs ihrer Längsachse aufweist, wobei die Enden dieser Verbreiterungen abgegrenzt sind, eine Haftsubstanz in eine der beiden Verbreiterungen eingebracht wird, diese Haftsubstanz die entsprechende Faser in dem Substrat fixiert.
Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die erste Verbreiterung von mindestens einer Rille mit der ersten Verbreiterung von wenigstens einer Nachbarrille kommuniziert.
Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die ersten Verbreiterungen miteinander einen Graben bilden, der an seinen Enden abgegrenzt ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2, 3 oder 4, wobei die zweite Verbreiterung von mindestens einer Rille mit der zweiten Verbreiterung von wenigstens einer Nachbarrille kommuniziert.
Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei die zweiten Verbreiterungen miteinander einen Graben bilden, der an seinen Enden abgegrenzt ist.
Verfahren zum Fixieren einer optischen Faser auf einem Substrat (20) einer Vorrichtung, die außer dem Substrat (20) eine Rille (22) zur Aufnahme der optischen Faser (28) und mindestens eine erste und eine zweite Verbreiterung (24, 26) der Rille längs einer Längsachse dieser letzteren umfasst, wobei die Enden dieser Verbreiterungen abgegrenzt sind und das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: – Positionieren der optischen Faser in der Rille (22) des Substrats, – Festhalten der Faser mit Hilfe eines Werkzeugs in wenigstens einem Punkt der Faser, der sich gegenüber bzw. auf Höhe einer der Verbreiterungen befindet, – Einbringen einer Haftsubstanz in die andere Verbreiterung dieser selben Rille, wobei diese Haftsubstanz dazu dient, die Faser auf dem Substrat zu fixieren.
Verfahren zum Fixieren von optischen Fasern auf einem Substrat (32) einer Vorrichtung, die außer dem Substrat (32) N parallele Rillen (34-1,..., 34-N) zur Aufnahme von jeweils einer optischen Faser (40) und mindestens eine erste und eine zweite Verbreiterung (36-1, ,36-N; 38-1, ,38-N) jeder Rille längs ihrer Längsachse umfasst, wobei die Enden dieser Verbreiterungen abgegrenzt sind und das Fixierverfahren für jede optische Faser die folgenden Schritte umfasst: – Positionieren der optischen Faser in einer der Rillen des Substrats, – Festhalten der Faser mit Hilfe eines Werkzeugs in wenigstens einem Punkt der Faser, der sich gegenüber bzw. auf Höhe einer der Verbreiterungen der Rille befindet, in der sie positioniert ist – Einbringen einer Haftsubstanz in die andere Verbreiterung dieser selben Rille, wobei diese Haftsubstanz dazu dient, die Faser auf dem Substrat zu fixieren.
Verfahren nach einem der Ansprüche 7 oder 8, wobei die am nächsten bei dem Ende jeder Faser befindliche Verbreiterung zum Einbringen der Haftsubstanz benutzt wird, und die andere zum Festhalten der Faser benutzt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei der Schritt zum Einbringen der Haftsubstanz vor dem Positionieren jeder Faser in ihrer Rille erfolgt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei der Schritt zum Einbringen der Haftsubstanz während des Festhaltens jeder Faser mit Hilfe eines Werkzeugs erfolgt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei der Schritt zur Positionierung jeder Faser mit dem Festhalteschritt zusammenfällt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 12, wobei das Werkzeug zum Festhalten jeder Faser ein Werkzeug (21) zum Umgreifen der optischen Faser (28) ist, das einen Faserumgreifungskopf (23) mit einer Breite umfasst, die größer ist als der Durchmesser der Faser.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei der Faserumgreifungskopf zwei Schenkel (27, 37) zur Blockierung der optischen Faser (28) und eine Ansaugleitung (25) zwischen den beiden Schenkeln umfasst.
Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 12, wobei das Werkzeug zum Festhalten jeder Faser ein Greifwerkzeug mit einer Heizspitze (29) ist, fähig ein Wachs (31) zu erhitzen, das dazu bestimmt ist, die optische Faser wenigstens partiell zu umgegeben.