DE69605461T2 - Spiralvakuumpumpe - Google Patents
SpiralvakuumpumpeInfo
- Publication number
- DE69605461T2 DE69605461T2 DE69605461T DE69605461T DE69605461T2 DE 69605461 T2 DE69605461 T2 DE 69605461T2 DE 69605461 T DE69605461 T DE 69605461T DE 69605461 T DE69605461 T DE 69605461T DE 69605461 T2 DE69605461 T2 DE 69605461T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pump
- disc
- spiral
- movable
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 241001125831 Istiophoridae Species 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/02—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0042—Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
- F04C29/005—Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions
- F04C29/0057—Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions for eccentric movement
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C17/00—Arrangements for drive of co-operating members, e.g. for rotary piston and casing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C21/00—Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
- F01C21/10—Outer members for co-operation with rotary pistons; Casings
- F01C21/102—Adjustment of the interstices between moving and fixed parts of the machine by means other than fluid pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/02—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F04C18/0207—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
- F04C18/0215—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form where only one member is moving
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/02—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F04C18/0207—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
- F04C18/0215—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form where only one member is moving
- F04C18/0223—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form where only one member is moving with symmetrical double wraps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Compressor (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit Kreisschiebungszyklus.
- Genauer betrifft sie eine Vakuumpumpe mit Kreisschiebungszyklus, umfassend einen feststehenden bzw. stationärer Körper mit einer feststehenden Scheibe, die auf wenigstens einer ihrer Seiten einen spiralförmigen Vorsprung aufweist, einer der feststehenden Scheibe gegenüberliegenden, beweglichen Scheibe, die ebenfalls wenigstens einen spiralförmigen Vorsprung aufweist, der mit dem spiralförmigen Vorsprung der feststehenden Scheibe ineinander greift und dieselbe Winkelamplitude aufweist, einen Mechanismus, durch welchen die bewegliche Scheibe mit dem Körper verbunden ist und durch diesen abgestützt ist, um eine Kreisschiebungsbewegung der beweglichen Scheibe in bezug auf den Körper während des Betriebs der Pumpe zu steuern bzw. zu regeln, Motorelemente, um die bewegliche Scheibe über eine Pumpenwelle anzutreiben und sie die Kreisschiebungsbewegung ausführen zu lassen, welche Pumpe auch eine Ausfederungs- bzw. Anschlagbegrenzungsvorrichtung für die Kreisschiebung umfaßt, die die bewegliche Scheibe in ihrer Kreisschiebungsbewegung unter Vermeidung jeglicher Verdrehung bzw. Verwindung führt.
- Eine Pumpe dieses Typs ist beispielsweise in der FR-A 2 141 402 beschrieben. Obwohl eine derartige Pumpe gemäß diesem Dokument exzellente Ergebnisse ergibt, weist sie jedoch den Nachteil auf, zahlreiche Stücke bzw. Teile zu umfassen und voluminös bzw. groß insbesondere in radialer Richtung zu sein, wobei insbesondere die Tatsache berücksichtigt wird, daß der genannte Mechanismus aus drei Kurbeln besteht, die miteinander in synchronisierter Weise gekuppelt und am Umfang der Pumpe angeordnet sind, wobei diese Kurbeln durch sich selbst die Anschlagbegrenzungs- bzw. Ausfederungsbegrenzung der Kreisschiebung sicherstellen.
- Um diese Nachteile zu vermeiden, wurde insbesondere bereits in dem Dokument FR-A 1 596 943 eine Vakuumpumpe mit Kreisschiebungszyklus vorgeschlagen, umfassend einen feststehenden bzw. stationärer Körper mit wenigstens einer feststehenden Scheibe, die auf einer ihrer Seiten einen spiralförmigen Vorsprung aufweist, einer der feststehenden Scheibe gegenüberliegenden, beweglichen Scheibe, die ebenfalls wenigstens einen spiralförmigen Vorsprung aufweist, der mit dem spiralförmigen Vorsprung der feststehenden Scheibe ineinander greift und dieselbe Winkelamplitude aufweist, einen Mechanismus, durch welchen die bewegliche Scheibe mit dem Körper verbunden ist und durch diesen abgestützt ist, um eine Kreisschiebungsbewegung der beweglichen Scheibe in bezug auf den Körper während des Betriebs der Pumpe zu steuern bzw. zu regeln, Motorelemente, um die bewegliche Scheibe über eine Pumpenwelle anzutreiben und sie die Kreisschiebungsbewegung ausführen zu lassen, welche Pumpe auch eine Ausfederungs- bzw. Anschlagbegrenzungsvorrichtung für die Kreisschiebung umfaßt, welcher Mechanismus wenigstens ein Lager, welches von der Pumpenwelle getragen ist, umfaßt, wobei die Pumpenwelle in zentraler Position in bezug auf den feststehenden Körper angeordnet ist, welcher Mechanismus auch eine Kurbelwelle umfaßt, die ausgebildet ist, sich gemäß einer Kreisschiebungsbewegung zu verlagern, und welche durch eines ihrer Enden an die bewegliche Scheibe, welche sie während ihrer Bewegung antreibt, gekoppelt ist, während ihr anderes den Motorelementen benachbarte Ende von dem Lager getragen bzw. unterstützt ist.
- Gemäß diesem Dokument umfaßt die Ausfederungs- bzw. Anschlagsbegrenzungsvorrichtung für die Kreisschiebung Vorsprünge, die an dem Umfang bzw. dem Rand der Kurbelwelle angeordnet sind, die in Kerben bzw. Aussparungen, die in einem feststehenden Teil des Gehäuses vorgesehen sind, eingreifen. Diese Vorrichtung weist den Nachteil der Erhöhung des axialen Raumbedarfs der Pumpe auf.
- Um diesen Nachteil zu vermeiden, ist gemäß der Erfindung eine Vakuumpumpe mit Kreisschiebungszyklus dadurch gekennzeichnet, daß die Ausfederungs- bzw. Anschlagbegrenzungsvorrichtung für die Kreisschiebung eine Wellrohrfeder ist, wobei ein Ende der Wellrohrfeder einstückig bzw. verbunden mit dem feststehenden Körper ausgebildet ist und das andere Ende der Wellrohrfeder einstückig bzw. verbunden mit der Kurbelwelle ausgebildet ist, wobei die Wellrohrfeder die Kurbelwelle umgibt.
- Die Erfahrung hat tatsächlich gezeigt, daß eine derartige Wellrohrfeder, die an sich beispielsweise aus dem Dokument US-A 3 817 664 bekannt ist, fähig ist, die Funktion der Anschlagbegrenzung oder Antitorsion sicherzustellen, wenn die Pumpe dimensioniert ist, um ohne Probleme, insbesondere ohne Ermüdung, Volumina von wenigstens 25 m³/h zu fördern; darüber hinaus wird feststellt, daß eine derartige Feder bzw. ein derartiger Balg gleichzeitig die vollständige Isolation des Raums der Pumpe, worin das Vakuum realisiert bzw. ausgebildet wird, in bezug auf das Äußere oder den Rest der Pumpe sicherstellt, was die Anzahl der möglichen Anwendungen einer derartigen Pumpe erhöht. Eine derartige Pumpe ist somit Teil von sogenannten Trockenpumpen, deren wirksame bzw. aktive Teile gegenüber dem Äußeren isoliert sind und frei von jedem Schmiermittel, Öl oder Fett sind. Man wird leicht verstehen, daß eine derartige Pumpe eine große Einfachheit, einen geringen Raumbedarf und als Konsequenz einen geringen Selbstkostenpreis aufweist.
- Vorzugsweise umfaßt die Pumpe eine bewegliche Scheibe, die aus zwei beweglichen Platten gebildet ist, deren spiralförmige Vorsprünge an gegenüberliegenden Seiten der beweglichen Platten angeordnet sind, wobei die bewegliche Scheibe zwischen einer feststehenden, ringförmigen Scheibe und einem Flansch angeordnet ist, dessen gegenüberliegende Seiten die spiralförmigen, feststehenden Vorsprünge tragen.
- Vorzugsweise weist der Flansch einen in Umfangsrichtung verlaufenden, spiralförmigen Vorsprung auf, der sich zur Achse der Pumpe entsprechend einem zentralen, spiralförmigen Vorsprung verlängert bzw. fortsetzt, dessen axiale Höhe geringer als die des in Umfangsrichtung verlaufenden Vorsprungs ist, wobei die zwei Vorsprünge, in Umfangsrichtung und zentral, ihre freien Enden in derselben Querschnittsebene aufweisen, wobei eine der beweglichen Platten gegenüberliegend dem Flansch einerseits mit einem spiralförmigen Vorsprung, der mit dem in Umfangsrichtung verlaufenden Vorsprung des Flansches verzahnt ist und dieselbe Winkelamplitude aufweist, und andererseits mit einem spiralförmigen Vorsprung versehen ist, der mit dem zentralen Vorsprung des Flansches verzahnt ist und dieselbe Winkelamplitude aufweist.
- Vorzugsweise sind die zwei Platten der beweglichen Scheibe durch einen ringförmigen Kranz mit U-förmigem Querschnitt, dessen Wände eine Dicke aufweisen, die es den Platten erlaubt, sich axial gegeneinander zu verlagern, verbunden; eine zwischen den zwei Platten angeordnete Feder beaufschlagt diese zwei Platten zu einem axialen Entfernen relativ zueinander.
- Vorzugsweise sind die Platten, ihre Vorsprünge und der ringförmige Kranz aus einem einzigen Stück aus einem Material gefertigt, das einen Kontakt zwischen der beweglichen Scheibe einerseits und der feststehenden Scheibe und dem Flansch, die aus Metall vorgesehen sind, andererseits ermöglicht, wobei dieser Kontakt unter minimaler Reibung stattfindet; bevorzugt wirken die spiralförmigen Vorsprünge der feststehenden Scheibe und die spiralförmigen Vorsprünge der beweglichen Scheibe während des Betriebs der Pumpe unter Reibung zusammen.
- Bevorzugt weist die Kurbelwelle einen zentralen Bereich mit allgemein kegelstumpfförmiger Form auf, dessen neben der kleinen Basis gelegenes Ende eine zylindrische Muffe aufweist, die an ihrer Außenoberfläche mit Längsrillen versehen ist, die mit komplementären Längsrillen wechselwirken, die an der Innenoberfläche einer Schürze, die von der beweglichen Platte gegenüberliegend dem Flansch getragen ist, ausgebildet sind.
- Vorzugsweise ist die Schürze ebenfalls aus einem einzigen Stück mit der beweglichen Scheibe ausgebildet.
- Vorteilhafterweise ist die Pumpenwelle eine Hohlwelle, die einerseits eine externe, zylindrische Lagerfläche, durch welche sie von dem Körper bzw. Gestell unter Zwischenschaltung von Rollen- bzw. Wälzlagerelementen getragen ist, und andererseits eine zylindrische Bohrung aufweist, die das Lager unter Zwischenschaltung einer Rolle bzw. eines Wälzlagers aufnimmt, wobei die äußere, zylindrische Lagerfläche in axialer Richtung in bezug auf die zylindrische Bohrung, deren Durchmesser größer als der Durchmesser der externen, zylindrischen Lagerfläche ist, versetzt ist.
- Vorzugsweise weist die Wellrohrfeder zwei gewellte Bereiche auf, die axial zu beiden Seiten eines zentralen, zylindrischen Bereichs angeordnet sind.
- Die Charakteristika und Vorteile der Erfindung ergeben sich darüber hinaus aus der folgenden, beispielhaften Beschreibung unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung, in welcher:
- Fig. 1 eine teilweise Längsschnittansicht einer Pumpe gemäß der Erfindung ist;
- Fig. 2 eine Endansicht gemäß II-II der Fig. 1 der einzigen beweglichen Doppelplatte ist.
- Unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 umfaßt eine Vakuumpumpe mit Kreisschiebungszyklus einen feststehenden bzw. stationären Körper 10, der gemäß dem dargestellten Beispiel aus dem Zusammenbau von vier Elementen 11 bis 14, nämlich einer Muffe bzw. Hülse 11, einer zwischenliegenden Platte 12, einer ringförmigen, feststehenden Scheibe 13 und einem Flansch 14, besteht, die in axialer Richtung aufeinanderfolgend in der Reihenfolge, in welcher sie genannt wurden, angeordnet sind; diese Elemente sind durch Schrauben, wie die am Umfang verteilten Schrauben 15, zusammengebaut; ringförmige Dichtungen 16 und 17 sind zwischen der zwischenliegenden Platte 12 und der ringförmigen Scheibe 13 einerseits und zwischen derselben ringförmigen Platte 13 und dem Flansch 14 andererseits angeordnet.
- Die feststehende, ringförmige Scheibe 13 weist an der zum Flansch 14 gewandten Seite bzw. Fläche einen Vorsprung in Form einer Spirale 23 auf; der Flansch 14 weist an der zur ringförmigen Scheibe 13 gewandten Seite 13 ebenfalls einen Vorsprung in Form einer in Umfangsrichtung verlaufenden Spirale 24 auf, die sich in Richtung zur Achse der Pumpe gemäß einem Vorsprung in Form einer zentralen Spirale 25 verlängert, deren axiale Höhe geringer ist als jene des Vorsprungs 24 in Umfangsrichtung, wobei die zwei Vorsprünge in Umfangsrichtung 24 und zentral 25 ihre freien Ende in ein und derselben Querschnittsebene 18 aufweisen.
- Eine bewegliche Scheibe 30 ist zwischen der ringförmigen, feststehenden Scheibe 13 und dem ebenfalls feststehenden Flansch 14 angeordnet; die bewegliche Scheibe 30 umfaßt eine erste Platte 31, welche der feststehenden Scheibe 13 gegenüberliegt und mit einem Vorsprung in Form einer Spirale 33 versehen ist, der in den Vorsprung 23 der feststehenden Scheibe 13 eingreift und dieselbe Winkelamplitude aufweist; die bewegliche Scheibe 30 umfaßt auch eine zweite Platte 32, die dem Flansch 14 gegenüberliegt und die einerseits mit einem spiralförmigen Vorsprung 34, der in den Vorsprung 24 des Flansches 14 eingreift und dieselbe Winkelamplitude aufweist, und andererseits mit einem spiralförmigen Vorsprung 35 ausgebildet ist, der in den Vorsprung 25 des Flansches 14 eingreift und dieselbe Winkelamplitude aufweist.
- Die zwei Platten 31, 32 sind durch einen ringförmigen Kranz 36 mit einem U- förmigen, offenen Querschnitt in Richtung nach außen in bezug auf die Achse der Pumpe verbunden; die Dicke der Wände mit U-förmigem Querschnitt des ringförmigen Kranzes 36 ist relativ gering, sodaß die Platten 31, 32 eine Möglichkeit zur axialen Verlagerung gegeneinander aufweisen; eine schraubenartige Feder 37, die zwischen den Platten 31, 32 angeordnet ist, beaufschlagt diese zu einem axialen Entfernen relativ voneinander.
- Die Platten 31, 32 und ihre spiralförmigen Vorsprünge 33, 34, 35 ebenso wie der ringförmige Kranz 36 sind durch Formen und/ oder Bearbeiten aus einem einzigen Stück aus einem Material hergestellt, welches einen Kontakt zwischen der beweglichen Scheibe 30 einerseits und der feststehenden Scheibe 13 und dem feststehenden Flansch 14 andererseits ermöglicht, die aus Metall vorgesehen sind, wie beispielsweise aus rostfreiem Stahl oder einer Aluminiumlegierung, wobei dieser Kontakt mit minimaler Reibung ausgeführt wird; ein derartiges Material ist beispielsweise jenes, welches unter der Handelsbezeichnung VESCO NITE von der Firma MARLIN INTERNATIONAL vertrieben wird; dieses Material, welches, wie dies bekannt ist, auf der Basis von Polyethylenterephthalat gefertigt ist, enthält ein fluides Silikon und Molybdändisulfid, welche die Reibung auf einem Metallstück minimieren; ein anderes äquivalentes Material zu diesem kann selbstverständlich verwendet werden, um die bewegliche Scheibe 30 auszubilden; es ist selbstverständlich auch möglich, sämtliche in Kontakt befindlichen Stücke aus Metall zu fertigen und wenigstens eines von ihnen, beispielsweise das bewegliche Stück, mit einer geringen Dicke, wie beispielsweise einigen Mikrometern, eines adaptierten Harzes zu ummanteln, wie beispielsweise das fluorierte Harz, das unter der Handelsbezeichnung FLUORIMID 10P von der Firma FLUOROTECHNIQUE vertrieben wird. Dank diesen Anordnungen ist die Leistung der Pumpe in bezug auf ihre Größe erhöht.
- Es ist ein Mechanismus vorgesehen, um die bewegliche Scheibe 30 an dem feststehenden Körper 10 festzulegen und sie abzustützen; dieser Mechanismus umfaßt eine Kurbelwelle 40, die einen im allgemeinen kegelstumpfförmigen, zentralen Bereich 45 aufweist, dessen Ende an der Seite der kleinen Basis eine zylindrische Muffe 41 trägt, die an ihrer äußeren Oberfläche mit Längsrillen 42 versehen ist, die mit komplementären Längsrillen 38 wechselwirken, die an der Innenoberfläche einer Schürze 39 angeordnet sind, die durch die zweite Platte 32 getragen ist; die Schürze 39 ist ebenfalls einstückig mit der beweglichen Scheibe 30 ausgebildet; an seinem anderen Ende weist der kegelstumpfförmige, zentrale Bereich 45 der Kurbelwelle 40 einen Kragen bzw. Innenrand 43 mit größerem Durchmesser als jener der großen Basis des zentralen Bereichs 45 auf; der Kragen 43 verlängert sich gemäß einem kegelstumpfförmigen Ende 44 mit umgekehrtem Winkel relativ zu jenem des zentralen Bereichs 45; dieses kegelstumpfförmige Ende 44 ist durch eine Schraube 46 mit einem Lager 47 verbunden, das ein Wälzlager 48 an der Innenseite unterstützt, das darüber hinaus an der Außenseite in eine zylindrische Bohrung 51 einer zentralen Antriebswelle der Pumpe, hier einer Hohlwelle 50, die zu der Achse 55 der Pumpe zentriert ist, eingreift; das Lager 47 ist um eine zur Achse 55 versetzte Achse 65 zentriert und bildet eine Kurbel aus, die einstückig mit der Kurbelwelle 40 verbunden ist; die Hohlwelle 50 weist eine äußere, zylindrische Lagerfläche 52 auf; Wälzele mente 19 bzw. Wälzlager sind zwischen dem äußeren, zylindrischen Lager 52 der Hohlwelle 50 und einer zylindrischen, inneren Bohrung der Hülse bzw. Muffe 11 angeordnet, um die Hohlwelle 50 relativ zum Körper 10 abzustützen. Die äußere, zylindrische Lagerfläche 52 ist in axialer Richtung in bezug auf die zylindrische Bohrung 51 versetzt, deren Durchmesser daher größer ist als der Durchmesser der äußeren, zylindrischen Lagerfläche 52; dank dieser Anordnung, die zu jener hinzugeführt ist, gemäß welcher die durch das Lager 47 gebildete Kurbelwelle axial in Abstand von der feststehenden 13 und beweglichen Scheibe 30 angeordnet ist, weist die Pumpe vorteilhafterweise einen geringen Raumbedarf in Durchmesserrichtung auf.
- Die Hohlwelle 50 ist mit einem Antriebsflansch 26 verbunden, der Finger 27 aufweist, die in Umfangsrichtung in Finger 28 einer Mutter 29 eingreifen, die durch einen Keil 22 der Motorwelle 21 eines teilweise in Fig. 1 dargestellten Motors 20 verbunden ist.
- Der zentrale Bereich 45 der Kurbelwelle 40 ist gemäß der Erfindung von einer Wellrohrfeder 60 umgeben; die Wellrohrfeder 60 weist vorzugsweise zwei gewellte Bereiche 60A, 60C auf, die axial zu beiden Seiten eines zentralen, zylindrischen Bereichs 60B angeordnet sind; sie ist durch eines ihrer Enden an dem Kragen 43 der Kurbelwelle 40 festgelegt; das andere Ende der Wellrohrfeder bzw. des Balges 60 ist am Ende einer Glocke 53, die mit der zwischenliegenden Platte 12 des Körpers bzw. Rahmens 10 verbunden ist, so nahe wie möglich zu der Schürze 39 der zweiten Platte 32 der beweglichen Scheibe 30 derart festgelegt, daß die Wellrohrfeder 60 eine große Länge aufweist; dank dieser Anordnung ist der Durchfederungswinkel der Wellrohrfeder 60 während des Funktionierens gering, was so die Ermüdung der gewellten Bereiche 60A, 60C der Wellrohrfeder begrenzt; die Wellrohrfeder 60 stellt eine gute Führung der beweglichen Scheibe 30 während ihrer Kreisschiebungsbewegung sicher, wobei die Welle 40 an einem Drehen um sich selbst, d. h. an jedem unerwünschten Torsionseffekt, gehindert wird.
- Die Motorwelle 21 des Motors 20 ist auf der Pumpenachse 55 zentriert; die Achse 65 des Lagers 47, die auch die Achse der Kurbelwelle 40 ist, ist exzentrisch in bezug auf die Achse 55 der Pumpe.
- Es ist aus Fig. 1 ersichtlich, daß das Ansaugen 56 der Pumpe und die Förderung 57 derselben stromabwärts eines Rückschlagventils 59 erfolgt; die variablen Endkammern, die durch die spiralförmigen Vorsprünge definiert sind, stehen aufgrund von seitlichen Spannflächen bzw. abgesetzten Flächen in den Platten 31 und 32, wie beispielsweise die abgeetzte Fläche 58 der Platte 31, die in Fig. 2 gezeigt ist, in Verbindung; man wird feststellen, daß das Ansaugen 56 und die Förderung 57 in radialer Weise um 90º zueinander versetzt angeordnet sind. Während des Einsatzes der Pumpe wird das gasförmige, gepumpte Fluid einem kontinuierlichen und fortschreitenden Komprimierungseffekt aufgrund der Ausfederung der kreisförmigen Verschiebung der spiralförmigen, beweglichen Vorsprünge relativ zu den spiralförmigen, feststehenden Vorsprüngen unterworfen.
- Wie dies ersehen wird, ist das Pumpengehäuse, wo das Vakuum realisiert wird, vollständig von dem Äußeren und dem Rest der Pumpe durch die Wellrohrfeder 60 isoliert; eine Ventilationsgruppe 54 kühlt die querverlaufende Außenseite des Flansches 40, die relativ massiv vorgesehen ist, um die durch das Pumpen produzierten Wärmemengen zu absorbieren und sie auf die Kühlluft zu übertragen.
- Man wird die Einfachheit einer derartigen Pumpe erkennen, die selbst für geförderte Volumen von mehr als 25 m³/h geeignet ist. Selbstverständlich ist es auch möglich, falls nicht ein stark reduzierter, radialer Platzbedarf erforderlich wird, größere Volumina zu fördern, indem die Wellrohrfeder 60 einer zweiten Wellrohrfeder durch ihre Enden mit denselben Gliedern verbunden ist, mit welchen jene der Wellrohrfeder 60 verbunden sind.
- Die letzte Stufe der Pumpe, die durch die Vorsprünge 25 und 35 mit kleinen Abmessungen gebildet ist, ermöglicht einen Fluiddruck beim Ausströmen von im wesentlichen gleich dem Atmosphärendruck.
Claims (11)
1. Vakuumpumpe mit Kreisschiebungszyklus, umfassend einen
feststehenden bzw. stationärer Körper (10) mit wenigstens einer
feststehenden Scheibe (13, 14), die auf einer ihrer Seiten einen spiralförmigen
Vorsprung (23, 24, 25) aufweist, einer der feststehenden Scheibe (13,
14) gegenüberliegenden, beweglichen Scheibe (30), die ebenfalls
wenigstens einen spiralförmigen Vorsprung (33, 34, 35) aufweist, der mit dem
spiralförmigen Vorsprung (23, 24, 25) der feststehenden Scheibe (13, 14)
ineinander greift und dieselbe Winkelamplitude aufweist, einen
Mechanismus, durch welchen die bewegliche Scheibe (30) mit dem Körper (10)
verbunden ist und durch diesen abgestützt ist, um eine kreisförmige
Translation bzw. Kreisschiebungsbewegung der beweglichen Scheibe (30)
in bezug auf den Körper (10) während des Betriebs der Pumpe zu steuern
bzw. zu regeln, Motorelemente (20), um die bewegliche Scheibe (30) über
eine Pumpenwelle (50) anzutreiben und sie die Kreisschiebungsbewegung
ausführen zu lassen, welche Pumpe auch eine Ausfederungs- bzw.
Anschlags- bzw. Verschiebungsbegrenzungsvorrichtung für die
Kreisschiebung umfaßt, welcher Mechanismus wenigstens ein Lager (47), welches
von der Pumpenwelle (50) getragen ist, umfaßt, wobei die Pumpenwelle
(50) in zentraler Position in bezug auf den feststehenden Körper (10)
angeordnet ist, welcher Mechanismus auch eine Kurbelwelle (40) umfaßt,
die ausgebildet ist, sich gemäß einer Kreisschiebungsbewegung zu
verlagern, und welche durch eines ihrer Enden (41) an die bewegliche
Scheibe (30), welche sie während ihrer Bewegung antreibt, gekoppelt ist,
während ihr anderes den Motorelementen (20) benachbarte Ende (44) von
dem Lager (47) getragen bzw. unterstützt ist, dadurch gekennzeichnet,
daß die Ausfederungs- bzw. Anschlagbegrenzungsvorrichtung für die
Kreisschiebung eine Wellrohrfeder bzw. ein metallisches Wellrohr (60) ist,
wobei ein Ende der Wellrohrfeder (60) einstückig bzw. verbunden mit dem
feststehenden Körper (10) ausgebildet ist und das andere Ende der
Wellrohrfeder (60) einstückig bzw. verbunden mit der Kurbelwelle (40)
ausgebildet ist, wobei die Wellrohrfeder (60) die Kurbelwelle (40) umgibt.
2. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine
bewegliche Scheibe (30) umfaßt, die aus zwei beweglichen Platten (31, 32)
gebildet ist, deren spiralförmige Vorsprünge (33, 34, 35) an
gegenüberliegenden Seiten der beweglichen Platten (31, 32) angeordnet sind, wobei
die bewegliche Scheibe (30) zwischen einer feststehenden, ringförmigen
Scheibe (13) und einem Flansch (14) angeordnet ist, dessen
gegenüberliegende Seiten die spiralförmigen, feststehenden Vorsprünge (23, 24, 25)
tragen.
3. Pumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Flansch (14)
einen umfänglichen bzw. in Umfangsrichtung verlaufenden, spiralförmigen
Vorsprung (24) aufweist, der sich zur Achse der Pumpe entsprechend
einem zentralen, spiralförmigen Vorsprung (25) verlängert bzw. fortsetzt,
dessen axiale Höhe geringer als die des in Umfangsrichtung verlaufenden
Vorsprungs (24) ist, wobei die zwei Vorsprünge, in Umfangsrichtung (24)
und zentral (25), ihre freien Enden in derselben Querschnittsebene (18)
aufweisen, wobei eine der beweglichen Platten (32) gegenüberliegend
dem Flansch (14) einerseits mit einem spiralförmigen Vorsprung (34), der
mit dem in Umfangsrichtung verlaufenden Vorsprung (24) des Flansches
(14) verzahnt ist und dieselbe Winkelamplitude aufweist, und andererseits
mit einem spiralförmigen Vorsprung (35) versehen ist, der mit dem
zentralen Vorsprung (25) des Flansches (14) verzahnt ist und dieselbe
Winkelamplitude aufweist.
4. Pumpe nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß
die zwei Platten (31, 32) der beweglichen Scheibe (30) durch einen
ringförmigen Kranz (36) mit U-förmigem Querschnitt, dessen Wände eine
Dicke aufweisen, die es den Platten (31, 32) erlaubt, sich axial
gegenein
ander zu verlagern, verbunden sind.
5. Pumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine zwischen den
zwei Platten (31, 32) angeordnete Feder (37) diese zu einem axialen
Entfernen relativ zueinander beaufschlagt.
6. Pumpe nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Platten
(31, 32), ihre Vorsprünge (33, 34, 35) und der ringförmige Kranz (36) aus
einem Stück aus demselben Material gefertigt sind, was einen Kontakt
zwischen der beweglichen Scheibe (30) einerseits und der feststehenden
Scheibe (13) und dem Flansch (14), die aus Metall vorgesehen sind,
andererseits ermöglicht, wobei dieser Kontakt unter minimaler Reibung
stattfindet bzw. eine solche aufweist.
7. Pumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die spiralförmigen
Vorsprünge (23, 24, 25) der feststehenden Scheibe (13, 14) und die
spiralförmigen Vorsprünge (33, 34, 35) der beweglichen Scheibe (30)
während des Betriebs der Pumpe reibend wechselwirken.
8. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß
die Kurbelwelle (40) einen zentralen Bereich (45) mit allgemein
kegelstumpfförmiger Form aufweist, dessen neben der kleinen Basis gelegenes
Ende eine zylindrische Muffe (41) aufweist, die an ihrer Außenoberfläche
mit Längsrillen (42) versehen ist, die mit komplementären Längsrillen (38)
wechselwirken, die an der Innenoberfläche einer Schürze (39), die von der
beweglichen Platte (32) gegenüberliegend dem Flansch (14) getragen ist,
ausgebildet sind.
9. Pumpe nach den Ansprüchen 6 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß die
Schürze (39) ebenfalls aus einem einzigen Stück mit der beweglichen
Scheibe (30) ausgebildet ist.
10. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß
die Pumpenwelle (50) eine Hohlwelle ist, die einerseits eine externe,
zylindrische Lagerfläche (52), durch welche sie von dem Körper bzw.
Gestell (10) unter Zwischenschaltung von Rollen- bzw.
Wälzlagerelementen (19) getragen ist, und andererseits eine zylindrische Bohrung (51)
aufweist, die das Lager (47) unter Zwischenschaltung einer Rolle bzw. eines
Wälzlagers (48) aufnimmt, wobei die äußere, zylindrische Lagerfläche (52)
in axialer Richtung in bezug auf die zylindrische Bohrung (51), deren
Durchmesser größer als der Durchmesser der externen, zylindrischen
Lagerfläche (52) ist, versetzt ist.
11. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß
die Wellrohrfeder (60) zwei gewellte Bereiche (60A, 60C) aufweist, die
axial zu beiden Seiten eines zentralen, zylindrischen Bereichs (60B)
angeordnet sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9502209A FR2731051B1 (fr) | 1995-02-24 | 1995-02-24 | Pompe a vide a cycle de translation circulaire |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69605461D1 DE69605461D1 (de) | 2000-01-13 |
DE69605461T2 true DE69605461T2 (de) | 2000-07-27 |
Family
ID=9476504
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69605462T Expired - Fee Related DE69605462T2 (de) | 1995-02-24 | 1996-02-23 | Spiralvakuumpumpe |
DE69605461T Expired - Lifetime DE69605461T2 (de) | 1995-02-24 | 1996-02-23 | Spiralvakuumpumpe |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69605462T Expired - Fee Related DE69605462T2 (de) | 1995-02-24 | 1996-02-23 | Spiralvakuumpumpe |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6022202A (de) |
EP (2) | EP0728948B1 (de) |
JP (2) | JP3914974B2 (de) |
KR (2) | KR100383695B1 (de) |
DE (2) | DE69605462T2 (de) |
ES (2) | ES2140040T3 (de) |
FR (1) | FR2731051B1 (de) |
TW (2) | TW311162B (de) |
WO (2) | WO1996026366A1 (de) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0863313A1 (de) * | 1997-03-04 | 1998-09-09 | Anest Iwata Corporation | Zweistufiger Spiralverdichter |
FR2764347B1 (fr) | 1997-06-05 | 1999-07-30 | Alsthom Cge Alcatel | Machine du type scroll |
US6050792A (en) * | 1999-01-11 | 2000-04-18 | Air-Squared, Inc. | Multi-stage scroll compressor |
GB9912212D0 (en) | 1999-05-26 | 1999-07-28 | Boc Group Plc | Scroll-type apparatus |
EP1148246A3 (de) * | 2000-04-19 | 2002-11-20 | Unipulse Corporation | Spiralverdichter und Spiraldrucktransformatoranlage |
US6464479B1 (en) | 2000-05-24 | 2002-10-15 | The Boc Group Plc | Scroll-type apparatus |
CN1761848A (zh) * | 2003-01-24 | 2006-04-19 | 布里斯托尔压缩机公司 | 用于制冷***中分级容量调制的***和方法 |
US20050063850A1 (en) * | 2003-09-18 | 2005-03-24 | Liepert Anthony G. | Scroll pump using isolation bellows and synchronization mechanism |
US7043146B2 (en) * | 2003-12-15 | 2006-05-09 | Solomon Semaza | All season heat fan with electric heating elements powered by rotating rings and ball bearings |
JP2007524031A (ja) * | 2004-01-23 | 2007-08-23 | スターローター コーポレーション | 準等温ブレイトン・サイクル・エンジン用のジェロータ装置 |
US7261528B2 (en) * | 2004-03-30 | 2007-08-28 | Varian, Inc. | Scroll pump with load bearing synchronization device |
US8272854B2 (en) * | 2004-05-03 | 2012-09-25 | Castronovo Charles A | Vacuum cleaners especially quiet vacuum cleaners, pumps, and engines |
FR2881189A1 (fr) * | 2005-01-21 | 2006-07-28 | V G B Vulliez Gestion Brevets | Pompe a vide a cycle de translation circulaire a plusieurs arbres |
GB0600588D0 (en) * | 2006-01-12 | 2006-02-22 | Boc Group Plc | Scroll-type apparatus |
US7942655B2 (en) * | 2006-02-14 | 2011-05-17 | Air Squared, Inc. | Advanced scroll compressor, vacuum pump, and expander |
US10683865B2 (en) | 2006-02-14 | 2020-06-16 | Air Squared, Inc. | Scroll type device incorporating spinning or co-rotating scrolls |
US8523544B2 (en) * | 2010-04-16 | 2013-09-03 | Air Squared, Inc. | Three stage scroll vacuum pump |
US10221852B2 (en) | 2006-02-14 | 2019-03-05 | Air Squared, Inc. | Multi stage scroll vacuum pumps and related scroll devices |
US8668479B2 (en) * | 2010-01-16 | 2014-03-11 | Air Squad, Inc. | Semi-hermetic scroll compressors, vacuum pumps, and expanders |
US20080318010A1 (en) * | 2007-06-20 | 2008-12-25 | Wozniak John C | Release liner having print receptive surface and methods for manufacturing and using |
US8622724B2 (en) | 2009-09-25 | 2014-01-07 | Agilent Technologies, Inc. | Scroll pump with isolation barrier |
US11047389B2 (en) | 2010-04-16 | 2021-06-29 | Air Squared, Inc. | Multi-stage scroll vacuum pumps and related scroll devices |
JP5562263B2 (ja) * | 2011-01-11 | 2014-07-30 | アネスト岩田株式会社 | スクロール流体機械 |
US20130232975A1 (en) | 2011-08-09 | 2013-09-12 | Robert W. Saffer | Compact energy cycle construction utilizing some combination of a scroll type expander, pump, and compressor for operating according to a rankine, an organic rankine, heat pump, or combined organic rankine and heat pump cycle |
US9404491B2 (en) * | 2013-03-13 | 2016-08-02 | Agilent Technologies, Inc. | Scroll pump having bellows providing angular synchronization and back-up system for bellows |
US9328730B2 (en) | 2013-04-05 | 2016-05-03 | Agilent Technologies, Inc. | Angular synchronization of stationary and orbiting plate scroll blades in a scroll pump using a metallic bellows |
US9366255B2 (en) | 2013-12-02 | 2016-06-14 | Agilent Technologies, Inc. | Scroll vacuum pump having external axial adjustment mechanism |
US9360013B2 (en) | 2013-12-11 | 2016-06-07 | Agilent Technologies, Inc. | Scroll pump having axially compliant spring element |
US9429020B2 (en) | 2013-12-11 | 2016-08-30 | Agilent Technologies, Inc. | Scroll pump having axially compliant spring element |
US10508543B2 (en) | 2015-05-07 | 2019-12-17 | Air Squared, Inc. | Scroll device having a pressure plate |
US10865793B2 (en) | 2016-12-06 | 2020-12-15 | Air Squared, Inc. | Scroll type device having liquid cooling through idler shafts |
CN112119219B (zh) | 2018-05-04 | 2022-09-27 | 空气平方公司 | 固定和动涡旋压缩机、膨胀机或真空泵的液体冷却 |
US20200025199A1 (en) | 2018-07-17 | 2020-01-23 | Air Squared, Inc. | Dual drive co-rotating spinning scroll compressor or expander |
US11067080B2 (en) | 2018-07-17 | 2021-07-20 | Air Squared, Inc. | Low cost scroll compressor or vacuum pump |
US11530703B2 (en) | 2018-07-18 | 2022-12-20 | Air Squared, Inc. | Orbiting scroll device lubrication |
CN109268265A (zh) * | 2018-10-18 | 2019-01-25 | 东北大学 | 一种涡旋真空泵 |
US11473572B2 (en) | 2019-06-25 | 2022-10-18 | Air Squared, Inc. | Aftercooler for cooling compressed working fluid |
US11898557B2 (en) | 2020-11-30 | 2024-02-13 | Air Squared, Inc. | Liquid cooling of a scroll type compressor with liquid supply through the crankshaft |
US11885328B2 (en) | 2021-07-19 | 2024-01-30 | Air Squared, Inc. | Scroll device with an integrated cooling loop |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1255799A (en) * | 1967-12-18 | 1971-12-01 | Krauss Maffei Ag | Rotary positive fluid displacement apparatus |
US3782865A (en) * | 1971-03-05 | 1974-01-01 | A Braun | Sealing sleeve |
FR2153129B2 (de) * | 1971-06-01 | 1974-01-04 | Vulliez Paul | |
US3817664A (en) * | 1972-12-11 | 1974-06-18 | J Bennett | Rotary fluid pump or motor with intermeshed spiral walls |
CH586348A5 (de) * | 1975-02-07 | 1977-03-31 | Aginfor Ag | |
US4178143A (en) * | 1978-03-30 | 1979-12-11 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Relative orbiting motion by synchronoously rotating scroll impellers |
JPS57212303A (en) * | 1981-06-23 | 1982-12-27 | Matsushita Refrig Co | Scroll type hydraulic machine |
JPS5896193A (ja) * | 1981-12-03 | 1983-06-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | スクロ−ル型圧縮機 |
JPS58106190A (ja) * | 1981-12-18 | 1983-06-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | スクロ−ル型圧縮機 |
JPS58160579A (ja) * | 1982-03-19 | 1983-09-24 | Hitachi Ltd | スクロ−ル圧縮機 |
DE3243571A1 (de) * | 1982-11-25 | 1984-05-30 | Volkswagenwerk Ag, 3180 Wolfsburg | Verdraengermaschine fuer kompressible medien |
US4477238A (en) * | 1983-02-23 | 1984-10-16 | Sanden Corporation | Scroll type compressor with wrap portions of different axial heights |
JPS59224401A (ja) * | 1983-06-03 | 1984-12-17 | Mitsubishi Electric Corp | スクロ−ル流体機械 |
JPS6114493A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Mitsubishi Electric Corp | スクロ−ル圧縮機 |
JPS6158993A (ja) * | 1984-08-29 | 1986-03-26 | Nippon Denso Co Ltd | スクロ−ル型圧縮機 |
JPS61152984A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-11 | Nippon Soken Inc | スクロ−ル型圧縮機 |
US4795323A (en) * | 1987-11-02 | 1989-01-03 | Carrier Corporation | Scroll machine with anti-rotation mechanism |
JPH066947B2 (ja) * | 1988-04-11 | 1994-01-26 | 新明和工業株式会社 | スクロール形流体機械 |
JP2753317B2 (ja) * | 1989-03-20 | 1998-05-20 | 株式会社日立製作所 | スクロール流体機械 |
JPH04339189A (ja) * | 1991-05-15 | 1992-11-26 | Sanden Corp | スクロール型流体装置 |
JP2718295B2 (ja) * | 1991-08-30 | 1998-02-25 | ダイキン工業株式会社 | スクロール圧縮機 |
JP3170904B2 (ja) * | 1992-10-05 | 2001-05-28 | 花王株式会社 | 鋳物砂用二酸化炭素ガス硬化型粘結剤水溶液及び鋳型の製造方法 |
-
1995
- 1995-02-24 FR FR9502209A patent/FR2731051B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-02-23 JP JP52546196A patent/JP3914974B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-02-23 ES ES96400386T patent/ES2140040T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1996-02-23 US US08/894,637 patent/US6022202A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-02-23 EP EP96400386A patent/EP0728948B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-02-23 TW TW085102063A patent/TW311162B/zh active
- 1996-02-23 US US08/894,638 patent/US5951268A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-02-23 JP JP52546296A patent/JP4088340B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-02-23 DE DE69605462T patent/DE69605462T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-02-23 WO PCT/FR1996/000289 patent/WO1996026366A1/fr active IP Right Grant
- 1996-02-23 ES ES96400385T patent/ES2140039T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1996-02-23 WO PCT/FR1996/000290 patent/WO1996026367A1/fr active IP Right Grant
- 1996-02-23 DE DE69605461T patent/DE69605461T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-02-23 KR KR1019970705856A patent/KR100383695B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-02-23 EP EP96400385A patent/EP0728947B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-02-23 TW TW085102064A patent/TW314576B/zh not_active IP Right Cessation
- 1996-02-23 KR KR1019970705831A patent/KR100383696B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR19980702432A (ko) | 1998-07-15 |
EP0728948B1 (de) | 1999-12-08 |
JPH11500804A (ja) | 1999-01-19 |
KR100383695B1 (ko) | 2004-05-20 |
US6022202A (en) | 2000-02-08 |
ES2140039T3 (es) | 2000-02-16 |
KR19980702456A (ko) | 1998-07-15 |
JP4088340B2 (ja) | 2008-05-21 |
JPH11504692A (ja) | 1999-04-27 |
TW314576B (de) | 1997-09-01 |
EP0728947B1 (de) | 1999-12-08 |
DE69605462T2 (de) | 2000-07-27 |
DE69605461D1 (de) | 2000-01-13 |
FR2731051B1 (fr) | 1997-04-30 |
WO1996026366A1 (fr) | 1996-08-29 |
EP0728947A1 (de) | 1996-08-28 |
DE69605462D1 (de) | 2000-01-13 |
KR100383696B1 (ko) | 2004-05-20 |
ES2140040T3 (es) | 2000-02-16 |
TW311162B (de) | 1997-07-21 |
US5951268A (en) | 1999-09-14 |
WO1996026367A1 (fr) | 1996-08-29 |
FR2731051A1 (fr) | 1996-08-30 |
EP0728948A1 (de) | 1996-08-28 |
JP3914974B2 (ja) | 2007-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69605461T2 (de) | Spiralvakuumpumpe | |
EP1078165B1 (de) | Spiralkompressor | |
EP2217824B1 (de) | Kolben für einen bremssattel einer scheibenbremse | |
EP0485697B1 (de) | Elastisches Gleitlager | |
EP2201258B2 (de) | Kupplungsbetätigungssystem | |
DE69937495T2 (de) | Wellendichtung und verfahren zur herstellung | |
EP1206641B1 (de) | Membranpumpe | |
DE69409131T2 (de) | Selbstausrichtender kolben | |
DE60215522T2 (de) | Axiallager für hermetisch abgeschlossene kompressoren | |
DE19831015C1 (de) | Antriebsanordnung mit einem Gleichlauffestgelenk und einem Dämpfungselement | |
DE3014520A1 (de) | Drehkolbenmaschine | |
EP0514653B1 (de) | Einrichtung mit einer Welle und einer Dichtungsanordnung | |
WO2013064228A1 (de) | Brennkraftmaschine | |
DE69308506T2 (de) | Gewinderollenmechanismus für ein Raumfahrzeug und Linearstellglied mit einem solchen Mechanismus | |
DE3931709A1 (de) | Waelzlager | |
DE60316321T2 (de) | Drehgedämpfte rotierende wellen | |
DE3030285A1 (de) | Axialkolbenpumpe | |
DE10113442C2 (de) | Lageranordnung für ein Wellenlager | |
DE2723585C2 (de) | Verwendung eines Gleitlagers | |
DE69611891T2 (de) | Hydraulische Kraftfahrzeug-Kupplungsbetätigung eingliedernd einen Zylinder mit einem metallischen Kolben | |
DE69413537T2 (de) | Kreiskolbenverdichter | |
EP1588051B1 (de) | Kolbenmaschine mit welle und wälzlager | |
DE4129892C2 (de) | Axialkolbenmaschine mit mit Gleitringen versehenen Kolben | |
EP3862599B1 (de) | Lamellendichtring mit x-förmiger querschnittsgeometrie | |
EP0212570A2 (de) | Rollkolbenverdichter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: VULLIEZ, ANTOINE, BIHOREL, FR Owner name: VULLIEZ, GUILLAUME, PONT AUDEMER, FR Owner name: VULLIEZ, ALEXIS, MANNEVILLE-SUR-RISLE, FR Owner name: GAUTIER, FLORENCE, PONT AUDEMER, FR |