DE69419183T2 - Methode zur temperaturkompensation für druckwandler - Google Patents
Methode zur temperaturkompensation für druckwandlerInfo
- Publication number
- DE69419183T2 DE69419183T2 DE69419183T DE69419183T DE69419183T2 DE 69419183 T2 DE69419183 T2 DE 69419183T2 DE 69419183 T DE69419183 T DE 69419183T DE 69419183 T DE69419183 T DE 69419183T DE 69419183 T2 DE69419183 T2 DE 69419183T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pressure
- temperature
- bridge
- resistors
- measuring points
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 9
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 3
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000002277 temperature effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
- G01L9/065—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices with temperature compensating means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kompensation der Temperatur in Drucksensoren. Der Drucksensor wandelt dabei den aufgenommenen Druck in ein elektrisches Signal um, das durch eine Meßeinrichtung aufgenommen wird.
- Ein zu diesem Zweck eingesetztes, bekanntes Verfahren beruht darauf, eine Anzahl von Widerständen an einer druckempfindlichen Membran anzuordnen, wobei sich die Widerstandswerte dieser Widerstände in Abhängigkeit von Änderungen der Konfiguration der Membran ändern, wenn diese Druckänderungen ausgesetzt ist. In der Regel sind die Widerstände in einer als Wheatstonesche Brücke bekannten Brückenschaltung elektrisch verbunden.
- Alle Meßwertaufnehmer haben unabhängig davon, ob sie Widerstände aufweisen, die durch Dünnfilme oder Dickfilme auf einem isolierenden Matierial oder durch Ionenimplantation in Siliciummaterialien (bekannt als die piezoresistive Meßwertaufnehmer) hergestellt wurden, den Nachteil, extrem temperaturabhängig zu sein. Dies bedeutetet, daß das Ausgangssignal des Meßwertaufnehmers, das den Druck in einem bestimmten Moment wiedergibt, sich bei Temperaturänderungen ändert, auch wenn der Druck konstant bleibt. Diese Temperaturabhängigkeit kann in manchen Fällen extrem hoch sein.
- Wenn der Druckmeßwertaufnehmer in einer Anwendung eingesetzt ist, bei der die Temperaturschwankungen vergleichsweise gering sind, kann er kalibriert werden, wenn sich die Umgebungsbedingungen weitgehend stabilisiert haben.
- Danach sind die Wirkungen von den Temperaturschwankungen weitgehend vernachlässigbar.
- Weitere bekannte Verfahren zur Kompensation der Temperatur bestehen darin, Widerstände mit bekannten Temperaturkennlinien in verschiedenen Diagonalen der Brücke zu verbinden oder das Ausgangssignal bei Temperatureinflüssen mittels einer in den Meßwertaufnehmer eingebauten Elektronik aktiv auszugleichen. Jedoch ist in diesem Fall auch die Elektronik den besagten Temperaturschwankungen ausgesetzt und als Folge müssen auch diese Schwankungen beachtet werden. Solange wie die Temperaturschwankungen klein sind, ist es dennoch möglich, mit jedem der vorgenannten Verfahren akzeptable Meßergebnisse zu erhalten.
- Bei thermischer Sterilisierung mittels Dampf in einem Autoklav sind die Bedingungen andererseits sehr schwer zu handhaben, da während eines Ablaufs der Druck zwischen ungefähr 30 Millibar absolutem Druck und annähernd 5 Bar absolutem Druck variiert, was ein Druckverhältnis von ungefähr 1 zu 150 bedeutet. Zur gleichen Zeit variierte die Temperatur zwischen ungefähr 20ºC und 140ºC. Desweiteren erfolgen die Wechsel zwischen den Maximal- und den Minimalwerten und umgekehrt, sowohl bezüglich des Drucks als auch der Temperatur, schnell und mehrmals innerhalb einer vergleichsweise kurzen Zeitspanne während eines Ablaufs.
- Die vorgenannten Stabilisierungsmethoden gemäß dem Stand der Technik sind bei dieser Anwendung jedoch völlig ungeeignet, um die Anforderungen an die Genauigkeit in bezug auf die Präzision der gemessenen Werte der Sterilisierung zu erfüllen. Insbesondere für den Fall niedriger Drücke sind die prozentualen Abweichungen der gemessenen Werte sehr beachtlich, oftmals mehrere hundert Prozent. Gleichzeitig sind niedere Drücke in diesem Zusammenhang ein wichtiger Meßbereich.
- Bei einer solchen extremen Anwendung wie Dampfsterilisierung wurden deshalb zahlreiche Messungen vorgenommen um Temperatureffekte auf den Drucksensor zu vermeiden.
- Beispiele solcher Messungen sind die Isolierung des Drucksensors von dem Inneren des Autoklavs, wo der Druck gemessen wird und Übertragung des Drucks auf den Sensor beispielsweise durch einen Ölpuffer, ein Wasserbehältnis oder den Einsatz von Kapillarröhren. Eine weitere Möglichkeit ist ein Kühlen des Drucksensors um zu verhindern, das dieser dem Temperaturanstieg im Inneren das Autoklavs folgt.
- Alle diese verschiedenen, vorbekannten Verfahren zur Vermeidung eines Temperaturanstiegs in dem Drucksensor erfordern jedoch die Ausbildung von Hohlräumen zwischen der Kammer des Autoklavs und dem Sensor. Solche Hohlräume sind unerwünscht und normalerweise nach den gängigen Standardspezifizierungen auch nicht zulässig, da sich in ihnen eine Umgebung ausbildet die die Ansammlung und das Wachstum von Mikroorganismen fördert. Stattdessen ist es ein Ziel, in der Lage zu sein, das aufnehmende Membran des Drucksensors direkt in die Wand des Inneren des Autoklavs zu positionieren, ohne den Einsatz von Zwischenrohren oder Zwischenleitungen.
- Selbstverständlich ist es immer möglich einen separaten Temperatursensor an oder benachbart zu der Membran zum Zwecke der Messung der tatsächlichen Temperatur während des Druckaufnahmevorgangs anzuordnen. Dies löst jedoch nicht das Problem, da der Drucksensor nur Informationen über die Temperatur an dessen Anordnungpostition an die Membran liefert und nicht über die tatsächlichen Effekte, denen die druckempfindlichen Widerstände ausgesetzt sind.
- Die vorliegende Erfindung schlägt ein Verfahren vor, das es möglich macht, die Membran des Drucksensors wie gewünscht direkt in der Wand der Kammer des Autoklavs zu positionieren, um unerwünschte Hohlräume zu vermeiden, wobei gleichzeitig eine Kompensation der Temperatur in allen für den Autoklavierprozeß relevanten Temperaturbereichen erzielt wird und exzellente Meßergebnisse innerhalb des in Frage kommenden Meßbereichs erzielt werden. Der Drucksensors, der in diesem Zusammenhang in Betracht kommen könnte, ist eine, bei dem ein Druck mittels einer Membran erfaßt wird, die an einer elektrischen Brückenschaltung mit vier in einer vierseitigen Brücke in Reihe geschalteten Widerständen angeschlossen ist, einer sogenannten Wheatstoneschen Brücke, wobei die Widerstände ihre Werte aufgrund auf von der Konfigurationsänderungen der Membran ändern, die durch Änderungen des aufgenommenen Drucks bewirkt werden. Die charakteristischen Merkmale des Verfahrens sind den Ansprüchen zu entnehmen.
- Die Erfindung wird nachfolgend detailliert mit Bezug auf die beigefügte Zeichnung beschrieben. Dabei zeigt:
- Fig. 1 eine Brückenerschaltung, die als Meßeinrichtung eines nicht dargestellten Drucksensors in einem Autoklav dient und die mit der Membran des Drucksensors verbunden ist,
- Fig. 2 eine graphische Darstellung, wobei der Kurvenverlauf die in Millivolt/Bar ausgedrückte Empfindlichkeit des Drucksensors darstellt,
- Fig. 3 eine graphische Darstellung, dessen Kurven die Empfindlichkeit zweier verschiedener Drucksensoren als Funktion des sich ergebenden Widerstands der Brücke darstellt,
- Fig. 4 eine graphische Darstellung, wobei Kurven den sogenannten Offset in bezug auf zwei verschiedene Drucksensoren als eine Funktion des sich ergebenden Widerstands der Brücke darstellt.
- Das erfindungsgemäße Verfahren ist dazu vorgesehen, bei Drucksensoren jener Art eingesetzt zu werden, bei denen der Sensor eine Membran aufweist, die ihre Konfiguration in Folge von. Druckänderungen ändert und die an eine elektrischen Brückenschaltung 1 angeschlossen ist. Wie sich aus Fig. 1 ergibt besteht die Brückenschaltung 1 aus vier miteinander verbundenen Widerständen 2, 3, 4 und die in Reihe und als Viereck miteinander verbunden sind und eine Schaltung bilden die im allgemeinen als Wheatstonesche Brücke bezeichnet wird. Die Widerstände 2, 3, 4, 5 ändern ihre Werte primär in Folge von Änderungen der Konfiguration der Membran, werden aber ebenso durch Temperaturschwankungen beeinflußt. Um bei der Druckmessung ein elektrisches Meßsignal in zwei diagonal gegenüberliegenden Punkten 6, 7 in der Brückenerschaltung 1 zu erhalten, sind zwei gegenüberliegend angeordnete Punkte 8, 9 der Brückenerschaltung 1 an Strom bzw. Spannung angeschlossen. Die Versorgung mit Strom bzw. Spannung ist konstant, um eine Beeinflussung der Ausgangssignale an den Punkten 6, 7 zu vermeiden.
- Wenn die Versorgung in Form einer konstanten Spannung erfolgt, ist der Spannungsabfall zwischen den beiden Versorgungspunkten 8, 9 unabhängig davon, wie die vier Widerstände 2, 3, 4, 5 ihre jeweiligen Werte ändern, immer konstant. Das Ausgangssignal zwischen den beiden anderen Punkten 6, 7 folgt den Werten der vier Widerstände in der herkömmlichen Weise.
- Wenn die Brücke 1 jedoch mit einem konstanten Strom versorgt ist, ist es ebenso möglich, den Gesamtwiderstand der Brücke an den zwei Versorgungspunkten 8, 9 zu messen. Diese Größe ist ein hervorragender Referenzwert der Temperaturabhängigkeit des Drucksensors, da sie in direkten Bezug zu dem bei der Druckbestimmung eingesetzten Widerständen. 2, 3, 4, 5 steht.
- Jeder Drucksensor weist eine Empfindlichkeit auf, die beispielsweise in Minivolt/Bar angegeben ist. Im Ideal fall bildet das Ausgangssignal eines Drucksensors, wie in Fig. 2 dargestellt, eine vom Nullpunkt ausgehende gerade Linie mit einer der Empfindlichkeit des Drucksensors entsprechenden Steigerung. Tatsächlich werden sowohl der Nullpunkt (Offset) als auch die Steigung (Empfindlichkeit) durch die Temperatur beeinflußt.
- Bei der Herstellung von Drucksensoren werden der Offset (die Nullpunktverschiebung) und die Steigung als Funktionen des gesamten Brückenwiderstands des angeordneten Drucksensors über dem für den Drucksensor relevanten Temperaturbereich bestimmt. Der Brückenwiderstand RB ist das Verhältnis zwischen der Spannung UB an der Brücke 1 und dem Versorgungsstrom ik durch die Brücke. Die nachstehende Tabelle bezieht sich auf einen bestimmten Drucksensor, dessen Temperaturabhängigkeit in Intervallen von 20ºC von Zimmertemperatur bis ungefähr 140ºC bestimmt wurde. Die Werte des Offsets und der Empfindlichkeit wurden gemäß die dem Beispiel bei sieben verschiedenen Temperaturen als Funktionen des Brückenwiderstands aufgezeichnet. Die Meßwerte wurden im Speicher eines Computers abgelegt und sind die Daten, auf denen die Berechnungen zur Kompensation der Temperatur basieren.
- Fig. 3 zeigt ein Beispiel einer graphischen Darstellung worin ein Kurvenpaar die Meßwerte der Empfindlichkeit von zwei Drucksensoren als eine Funktion von RB zeigt. Fig. 4 zeigt in entsprechender Weise eine graphische Darstellung des Offsets von zwei Drucksensoren als eine Funktion von RB. Die Intervalle zwischen zwei benachbarten Meßpunkten sind mittels gerader Linien verbunden und die Berechnung erfolgt durch Interpolierung zwischen den Meßpunkten, was eine Vereinfachung einer kontinuierlichen Funktion ist.
- Da bei jedem einzelnen Drucksensor separat in dieser Weise verfahren wird und dessen Kennwerte in einen Computer eingegeben werden, wird als Ergebnis der Computerberechnungen zu jedem Temperaturwert eine volle Kompensation der Temperatur erhalten. In Fig. 2 zeigen die gepunkteten Linien wie im Falle eines Ausgangssignals ein Druckwert P&sub1; in dem vorliegenden Fall ermittelt wird, wobei nach der Temperaturkompensation der korrektere Wert P&sub2; erhalten wird.
- In Fig. 1 sind zwei Widerstände R&sub1; und R&sub2; angegeben, die zu den jeweiligen Widerständen 3 und 4 parallel geschaltet und zum Zwecke einer groben Kompensation der Temperatur vorgesehen sind. Desweiteren ist ein Widerstandspaar R&sub3; und R&sub4; zum Zwecke der Minimierung des Offsets angeschlossen. Mit Vorteil können jedoch diese Widerstände R&sub1;, R&sub2;, R&sub3;, R&sub4; in dem Steuerungssystem angeordnet werden, wo sie geringeren Temperaturschwankungen ausgesetzt sind, als wenn sie direkt an dem Drucksensor angeordnet wären. Dies ist jeweils durch strichpunktierte Linien und durch Linienunterbrechungen 10 und 11 dargestellt. Die durch diese Widerstände R&sub1;, R&sub2;, R&sub3;, R&sub4; erzielte grobe Kompensation erfordert geringere Korrekturen des Computerprogramms, was zu einem deutlichen Anstieg der Meßgenauigkeit führt.
Claims (2)
1. Verfahren zur Kompensation der Temperatur bei
Drucksensoren, bei denen der Druck mittels einer Membran
erfaßt wird, die in einer elektrischen
Brückenschaltung mit vier in einer vierseitigen Brücke (1), einer
Wheatstoneschen Brücke, in Reihe geschalteten
Widerständen (2, 3, 4, 5) liegt, wobei die Widerstände ihre
Werte als Reaktion auf solche Änderungen der
Membrankonfiguration ändern, die durch Änderungen des
erfaßten Druckes bewirkt werden, dadurch gekennzeichnet,
daß die Brücke (1) an zwei gegenüberliegenden Punkten
(8, 9) mit einem Konstantstrom (ik) versorgt wird und
Ausgangssignale von der Brücke (1) einem Rechner
zugeführt werden, der von Temperaturschwankungen an der
Meßstelle nicht beeinflußt ist, wobei erste Meßpunkte,
die den Offset des Drucksensors bei mehreren
Temperaturhöhen wiedergeben, in einem Kurvenbild aufgetragen
werden, das die Spannung als Funktion des sich
ergebenden Widerstands (RB) der Brücke (1) anzeigt, daß
danach benachbarte Meßpunkte durch Geraden miteinander
verbunden werden und eine Berechnung durch
Interpolation zwischen den Meßpunkten durchgeführt wird, daß
die Empfindlichkeit des Drucksensors, wie in
Span
nungs-/Druckeinheiten, auf entsprechende Weise bei
verschiedenen Temperaturhöhen durch Auftragen zweiter
Meßpunkte in einem zweiten Kurvenbild bestimmt wird,
das die Empfindlichkeit als Funktion des sich
ergebenden Widerstands (RB) anzeigt, und das die
letztgenannten Meßpunkte auf ähnliche Weise mittels Geraden
miteinander verbunden werden und die Berechnung durch
Interpolation zwischen den Meßpunkten und Verarbeiten
der sich ergebenden Kurvenbilder in dem Rechner
ausgeführt wird, wonach ein Signal von dem Druckmeßwert
einen direkt temperaturkompensierten Druckwert
bereitstellt, der von einem dritten Kurvenbild abgelesen
werden kann, das ein zu dem herrschenden Druck
proportionales Ausgangssignal anzeigt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet die
zwei erste Widerstände (R&sub1;, R&sub2;), die an ihrem
jeweiligen Widerstand (3 bzw. 4) in der Brückenschaltung
parallelgeschaltet sind und zur groben
Temperaturkompensation bestimmt sind, und zwei andere Widerstände (R&sub3;,
R&sub4;), positionieren werden, die mit ihrem jeweiligen der
verbleibenden Widerstände (2 bzw. 5) in der
Brückenschaltung in Reihe geschaltet sind und die Abweichung
von Null eines Ausgangssignals in einer Umgebung, in
der die Temperaturschwankungen geringer sind als neben
dem Drucksensor, minimieren sollen.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/SE1994/001160 WO1996017236A1 (en) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | A temperature compensation method in pressure sensors |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69419183D1 DE69419183D1 (de) | 1999-07-22 |
DE69419183T2 true DE69419183T2 (de) | 1999-12-09 |
Family
ID=20393554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69419183T Expired - Fee Related DE69419183T2 (de) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | Methode zur temperaturkompensation für druckwandler |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5877423A (de) |
EP (1) | EP0803054B1 (de) |
JP (1) | JPH11511849A (de) |
AU (1) | AU691239B2 (de) |
DE (1) | DE69419183T2 (de) |
ES (1) | ES2132628T3 (de) |
FI (1) | FI972895A (de) |
WO (1) | WO1996017236A1 (de) |
ZA (1) | ZA9510231B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10120982A1 (de) * | 2001-04-28 | 2002-10-31 | Hottinger Messtechnik Baldwin | Vorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren von Dehnungsmeßschaltungen |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2741951B1 (fr) * | 1995-12-04 | 1998-02-20 | Europ Propulsion | Pont de wheatstone avec compensation de gradient de temperature entre resistances principales du pont et application a un capteur de pression a jauges extensometriques |
FR2776384B1 (fr) * | 1998-03-20 | 2000-06-23 | Snecma | Capteur de pression avec compensation de la non-linearite de la derive de zero aux tres basses temperatures |
US6700473B2 (en) * | 2000-02-14 | 2004-03-02 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Pressure transducer employing on-chip resistor compensation |
US6581468B2 (en) | 2001-03-22 | 2003-06-24 | Kavlico Corporation | Independent-excitation cross-coupled differential-pressure transducer |
DE10156951A1 (de) * | 2001-11-20 | 2003-05-28 | Wabco Gmbh & Co Ohg | Elektrische Schaltungsanordnung |
US6725514B2 (en) * | 2002-05-31 | 2004-04-27 | Delphi Technologies, Inc. | Method of making thick film pressure and temperature sensors on a stainless steel diaphragm |
US6901794B2 (en) * | 2003-10-16 | 2005-06-07 | Festo Corporation | Multiple technology flow sensor |
US7164355B2 (en) * | 2004-05-19 | 2007-01-16 | Rosemount Inc. | Process transmitter with a plurality of operating modes |
US7331237B2 (en) * | 2006-02-01 | 2008-02-19 | Brooks Automation, Inc. | Technique for improving Pirani gauge temperature compensation over its full pressure range |
US8701460B2 (en) * | 2011-03-31 | 2014-04-22 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method and system to compensate for temperature and pressure in piezo resistive devices |
JP6090742B2 (ja) * | 2013-02-28 | 2017-03-08 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力検出装置 |
DE102013110368A1 (de) | 2013-09-19 | 2015-03-19 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmessumformer |
JP2016003977A (ja) * | 2014-06-18 | 2016-01-12 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー装置、高度計、電子機器および移動体 |
JP7420022B2 (ja) * | 2020-09-03 | 2024-01-23 | Tdk株式会社 | 圧力センサ |
CN112414594B (zh) * | 2020-11-09 | 2022-04-01 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 硅压阻式压力传感器温度误差修正方法 |
CN114061823B (zh) * | 2021-11-16 | 2024-04-02 | 杭州电子科技大学温州研究院有限公司 | 一种温度自补偿的高灵敏度压力传感器阵列及其制备方法 |
CN116067537B (zh) * | 2023-02-01 | 2024-05-03 | 大诚精密医疗技术(深圳)有限公司 | 压阻式传感器感测电路、医用导管及医疗监测*** |
CN117553946B (zh) * | 2024-01-12 | 2024-06-04 | 锐马(福建)电气制造有限公司 | 一种测力传感器温度补偿方法 |
CN117889999B (zh) * | 2024-03-14 | 2024-06-21 | 锐马(福建)电气制造有限公司 | 一种六维力传感器零点补偿方法及*** |
CN117949137B (zh) * | 2024-03-26 | 2024-06-21 | 锐马(福建)电气制造有限公司 | 一种六维力传感器温度补偿方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4192005A (en) * | 1977-11-21 | 1980-03-04 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Compensated pressure transducer employing digital processing techniques |
JPS58140604A (ja) * | 1982-02-17 | 1983-08-20 | Hitachi Ltd | 温度補償回路付き集積化センサ |
JPS60135717A (ja) * | 1983-12-24 | 1985-07-19 | Shimadzu Corp | 圧力検出回路 |
DE3427743A1 (de) * | 1984-07-27 | 1986-02-06 | Keller AG für Druckmeßtechnik, Winterthur | Verfahren zur temperaturkompensation und messschaltung hierfuer |
US4765188A (en) * | 1986-11-24 | 1988-08-23 | Bourns Instruments, Inc. | Pressure transducer with integral digital temperature compensation |
JP3071202B2 (ja) * | 1989-07-19 | 2000-07-31 | 富士電機株式会社 | 半導体圧力センサの増巾補償回路 |
US5146788A (en) * | 1990-10-25 | 1992-09-15 | Becton, Dickinson And Company | Apparatus and method for a temperature compensation of a catheter tip pressure transducer |
US5116331A (en) * | 1991-04-23 | 1992-05-26 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Pressure transducer and system for cryogenic environments |
-
1994
- 1994-12-02 ES ES95906571T patent/ES2132628T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1994-12-02 WO PCT/SE1994/001160 patent/WO1996017236A1/en active IP Right Grant
- 1994-12-02 US US08/849,416 patent/US5877423A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-02 DE DE69419183T patent/DE69419183T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-02 EP EP95906571A patent/EP0803054B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-12-02 AU AU14689/95A patent/AU691239B2/en not_active Ceased
- 1994-12-02 JP JP8517161A patent/JPH11511849A/ja not_active Ceased
-
1995
- 1995-12-01 ZA ZA9510231A patent/ZA9510231B/xx unknown
-
1997
- 1997-07-08 FI FI972895A patent/FI972895A/fi active IP Right Revival
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10120982A1 (de) * | 2001-04-28 | 2002-10-31 | Hottinger Messtechnik Baldwin | Vorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren von Dehnungsmeßschaltungen |
DE10120982B4 (de) * | 2001-04-28 | 2017-05-04 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren von Dehnungsmessschaltungen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES2132628T3 (es) | 1999-08-16 |
EP0803054A1 (de) | 1997-10-29 |
US5877423A (en) | 1999-03-02 |
AU1468995A (en) | 1996-06-19 |
FI972895A0 (fi) | 1997-07-08 |
ZA9510231B (en) | 1996-07-16 |
WO1996017236A1 (en) | 1996-06-06 |
FI972895A (fi) | 1997-08-28 |
DE69419183D1 (de) | 1999-07-22 |
AU691239B2 (en) | 1998-05-14 |
JPH11511849A (ja) | 1999-10-12 |
EP0803054B1 (de) | 1999-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69419183T2 (de) | Methode zur temperaturkompensation für druckwandler | |
DE69411035T2 (de) | Messung der gasmenge in einem behälter | |
DE112012005548B4 (de) | Ausgangswertkorrekturverfahren für eine Sensorvorrichtung für eine physikalische Grösse, Ausgangskorrekturverfahren für einen Sensor für eine physikalische Grösse, Sensorvorrichtung für eine physikalische Grösse und Ausgangswertkorrekturvorrichtung für einen Sensor für eine physikalische Grösse | |
EP1736745B1 (de) | Verfahren zur adaptiven Korrektur von Drifterscheinungen bei einer Kraftmessvorrichtung sowie eine Kraftmessvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. | |
DE19613229C2 (de) | Verfahren zur Kalibrierung eines Strahlungsthermometers | |
DE69417337T2 (de) | Druckdifferenzmessverfahren und Verschiebungs-Umwandlungsvorrichtung | |
DE69531258T3 (de) | Druckübertrager mit entfernter trennmembran und korrektur der temperatur sowie höhe ( auch membransteifheit ) | |
EP1963825A1 (de) | Kalibrierung im laborreferenzverfahren | |
EP3047249B1 (de) | Druckmessumformer | |
DE102018106563B4 (de) | Verfahren zur Messwertkompensation bei kapazitiven Druckmesszellen | |
DE2900382A1 (de) | Spannungsmesser-druckwandlergeraet | |
DE102006040409A1 (de) | Verfahren zum Bestimmen einer Kennlinie einer Fühleranordnung | |
DE102009026425A1 (de) | Luftströmungsmessvorrichtung und Luftströmungskorrekturverfahren | |
DE69820043T2 (de) | Vorrichtung zur druckmessung | |
DE3719532A1 (de) | Kraftmesseinrichtung | |
DE102006014042A1 (de) | Analog/Digital-Umwandlungsvorrichtung und Erfassungsvorrichtung, welche dieselbe aufweist | |
WO2010003432A1 (de) | Verfahren zum kalibrieren eines druckmessumformers sowie druckmessumformer | |
DE3132267C2 (de) | Temperaturkompensationsanordnung an einer Wägezelle mit Dehnungsmeßstreifen | |
DE10336763B4 (de) | Verfahren zur Überwachung einer Messung auf Basis eines resistiven Sensors, Überwachungseinrichtung und Industriewaage | |
EP0508517B1 (de) | Kompensiertes Differenzdruckmessgerät | |
AT405102B (de) | Verfahren und vorrichtung zur differenzdruckmessung mit periodischem nullabgleich | |
DE102019122383A1 (de) | Digitale Messwertkorrektur bei einer in einer Anschlussstruktur eingebauten Kraftmessvorrichtung | |
DE1924469C3 (de) | ||
DE2353390A1 (de) | Temperatur-kompensations-schaltung, insbesondere fuer temperatur- und druckmessfuehler | |
DE102019210371B4 (de) | Verfahren zum Messen von Verformungen eines Fahrzeugbauteils eines Kraftfahrzeugs, Messvorrichtung und Kraftfahrzeug |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: GETINGE STERILIZATION AB, GETINGE, SE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |