DE69415662T2

DE69415662T2 - Druckisolatorvorrichtung für sanitärverarbeitung

Info

Publication number: DE69415662T2
Application number: DE69415662T
Authority: DE
Inventors: Craig A. Minnetonka Mn 55345 Everett; Steven M. Chaska Mn 55318 Lemire; Bennett L. Plymouth Mn 55441 Louwagie
Original assignee: Rosemount Inc
Current assignee: Rosemount Inc
Priority date: 1993-04-23
Filing date: 1994-04-12
Publication date: 1999-07-29
Anticipated expiration: 2014-04-13
Also published as: CN1058568C; JPH08509811A; US5495768A; EP0695418B1; SG43766A1; CN1121369A; WO1994025843A1; DE69415662D1; EP0695418A1

Description

GEBIET DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung betrifft eine druckempfindliche Baugruppe, die mit Druckmessvorrichtungen gekoppelt ist. Insbesondere empfängt und sendet die Baugruppe einen anliegenden Druck von Hygiene- bzw. Sanitär-Prozeßmedien in Hygiene-Getränke- oder Nahrungsmittelprozessen durch ein Fluid, das durch geeignete Rohr- bzw. Schlauchmittel zwischen der Isolatorbaugruppe und einem Druckmeßumformer gezwungen wird.

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

Bekannte Verfahren zum Erfassen des Prozeßmediumdrucks verwenden eine dünne Isolatormembran, die mit einem Aufnehmer gekoppelt ist, der innerhalb eines Druckmeßumformer-Gehäuses angeordnet ist. Wenn die Prozeßbedingungen eine Fernmessung der Eigenschaften des Prozeßmediums erfordern, enthalten entfernte (Ab)Dichtungs- oder Isolatorbaugruppen flexible Isolatormembranen, die zu den Prozeßmedien hin offen sind, die den Druck durch ein inkompressibles Fluid übertragen, welches in geeigneten Kapilarrohrmitteln gefaßt ist, die zwischen der entfernten Isolatorbaugruppe und einem Sensor in einem Druckmeßumformer verbunden sind. In der Nahrungsmittel und Getränke verarbeitenden Industrie sind hygienische Prozeßbedingungen erforderlich und das Füllfluid für die Isolatormembran und die Rohrmittel dürfen für den Menschen nicht schädlich sein. Wenn eine Membran einreißt, kommt deshalb kein Material, das für Menschen schädlich ist, in Berührung mit den Prozeßmedien. Das geeignete Füllfluid kann natürlich irgendeines der Fluide sein, die im allgemeinen als sicher von dem US Federal Department of Agriculture, CFR Titel 21 betrachtet werden.
Druckmeßumformer, die mit entfernten Isolatormembranen gekoppelt sind, stellen eine zuverlässige Einrichtung zum Messen eines Prozeßdruckes bereit, während sie verhindern, daß das Prozeßmedium mit der inneren Meßumformermembran in Berührung kommt. Dementsprechend erfassen entfernte Isolatormembranen die Druckeigenschaften von korrosiven Prozeßmedien, von Prozeßmedien, die suspendierte Feststoffe enthalten, von zähflüssigen Prozeßmedien, von Prozeßmedien mit extremer Temperatur, von sanitären bzw. Hygiene- oder aseptischen Prozeßbedingungen und von Medien, die von Leitungen und Einrichtungen zwischen Prozeßchargen gespült werden müssen. Sanitäre Prozeßeinrichtungen bestehen oftmals aus einem Prozeßbehälter mit Isolatormembranen, die in der inneren Oberfläche der Behälterwand angeordnet sind. Die Isolatormembran berührt somit die Prozeßmedien und überträgt Drucksignale zu manuell zugänglichen Druckumformern über geeignete, gefüllte Rohrmittel.
Bei sanitären Prozeßanwendungen, bei denen eine Kontamination der Prozeßmedien vermieden werden muß, scheuern dichte Sprühstrahle von Reinigungslösungen die Prozeßmedien-Behälter, einschließlich der Oberflächen der Isolatormembranen, die zu den Medien hin freiliegen, zu periodischen Zeitpunkten, was einen Ausfall der Isolatormembran ergibt. Beim Einsatz trifft die Kraft des sich bewegenden Sprühstrahls auf die freiliegende Isolatormembran- Oberfläche, wodurch das Füllfluid in Richtung der Verbindung oder der Abdichtung zwischen der Membran und dem Membranhalteteil getrieben wird. Diese Belastung der Membranabdichtungsverbindung kann eine Metallermüdung verursachen. Diese Bedingung tritt bei sanitären Isolatormembranen wahrscheinlicher auf als bei anderen Membranein richtungen, da die meisten Druckerfassungsanwendungen einen im wesentlichen gleichen Druckgradienten über der gesamten Oberfläche der flexiblen Membran aufweisen. Reinigungssysteme, die in der Hygiene-Prozeßindustrie verwendet werden, neigen deshalb dazu, die Eigenschaft der Isolatormembran zu verschlechtern und die effektive Standzeit der Membran zu verkürzen.
Automatisierte Reinigungssysteme, die als Reinigung-vor- Ort-Systeme (= Clean-In-Place (CIP)-Systeme) bezeichnet werden, und manuelle Reinigungssysteme, die bei der Hygieneverarbeitung verwendet werden, führen beide zu einer ähnlichen Verschlechterung der Isolatormembranbaugruppen. CIP- und manuelle Reinigungssysteme arbeiten, indem Ströme von Reinigungslösungen aus Düsen bei erhöhten Temperaturen und Drücken ausgeführt werden. Die Sprühstrahlen der CIP-Systeme bewegen sich systematisch in Zyklen über die gesamte freiliegende Verarbeitungsoberfläche in einer gesteuerten Art und Weise, wodurch eine Deformation der Isolatormembran bewirkt wird. Diese heftige Einwirkung erhöht die Wartungsdienst-Erfordernisse, wenn Membranen des Stands der Technik verwendet werden.

ÜBERBLICK ÜBER DIE ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung umfaßt eine Isolatorbaugruppe mit einer Hygiene-Abdichtung, die periodischen CIP- Vorgängen standhält, einschließlich der Verwendung von erwärmten, konzentrierten Fluidströmen mit hohem Druck, die gegen die Oberflächen der Abdichtung gelenkt werden. Die Isolatorbaugruppe der vorliegenden Erfindung verwendet ein Membranteil, das mit einem Halteteil verbunden ist, das eine planare Rand-Halteoberfläche bei einer ersten Erhöhung um eine Vertiefung herum hat, wobei die Halteoberfläche mit einer ringförmigen, geneigten Oberfläche verbunden ist, die zu der Bodenoberfläche der Vertiefung führt. Die Bodenoberfläche ist an einer zweiten Erhöhung. Die Randoberfläche hält die Membran, die einen Oberflächenabschnitt hat, der zu der geneigten Oberfläche paßt und über dieser liegt. Die Membran überspannt die Vertiefung in dem Halteteil, um einen Fluidhohlraum im Bereich der Vertiefung zu definieren, die mit einem im wesentlichen inkompressiblen Fluid gefüllt ist. Ein Druck, der auf die freiliegenden Oberflächen der Membran einwirkt, lenkt die Membran um einen primären Membran- Gelenkpunkt an der unteren Kante der geneigten Oberfläche aus, und nicht dort, wo die Membran mit dem Halteteil an der Randoberfläche verbunden ist. Eine Steuerung der Kantenkonfiguration, wo die Membran gehalten ist, begrenzt die Belastung der Membranabdichtung und reduziert eine Membranverzerrung- und deformation, insbesondere, wenn ein konzentrierter Fluidstrom unter Druck auf die freiliegende Isolatormembran-Oberfläche auftrifft.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist ein dreidimensionales Bezugsdiagramm, das zwei Fern-Isolatormembran-Baugruppen in Flachbauweise zeigt, die mit einem herkömmlichen Differenzdruckmeßumformer verbunden sind.
Fig. 2 ist eine teilweise Schnitt-Seitenansicht einer Fern-Isolatorabdichtungsmembran-Baugruppe des Stands der Technik.
Fig. 3 ist eine teilweise Schnitt-Seitenansicht der Fern-Abdichtungsisolatormembran-Baugruppe des Stands der Technik während des Anliegens eines örtlichen Druckgradienten.
Fig. 4 ist eine teilweise Schnitt-Seitenansicht der Fern-Isolatorbaugruppe der vorliegenden Erfindung.
Fig. 5 ist eine teilweise Schnitt-Seitenansicht, die eine Deformation der Isolatormembran der vorliegenden Erfindung während des Anliegens einer örtlichen Belastung zeigt.
Fig. 6 ist eine weitere vergrößerte Schnitt-Seitenansicht eines Kantenabschnitts der Fern-Isolatorbaugruppe der vorliegenden Erfindung.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Die Elemente, die in den beiliegenden Figuren gezeigt sind, wurden nicht gezeichnet, um eine Größe anzugeben, sondern wurden ausgearbeitet, um die wesentlichen Merkmale des Gegenstands der Erfindung herauszustellen. Ähnlich geben Bezugszeichen gleiche Elemente an, die in den Figuren enthalten sind, und zwar nur zum Zwecke des vereinfachten Bezugs.
Es wird nun auf die Figuren Bezug genommen, in denen die Fig. 1 identische Fern-Abdichtungsisolator-Baugruppen 12 zeigt, die jeweils eine freiliegende Oberfläche 9 einer Isolatormembran 10 zum Erfassen von Druck haben. Eine äußerere periphere Kante jeder Membran 10 dichtet auf der Kante des Halteteils 16 ab, wodurch ein Hohlraum 21 zwischen ihnen, wie in der Fig. 2 gezeigt ist, erzeugt wird. Fluidkanäle 15 verbinden fluidgefüllte Kammern, die durch die Membran 10 ausgebildet werden, mit einem geeigneten Druckmeßumformer 14. Der Isolator-Druckmeßumformer 14 kann direkt mit den Isolatorbaugruppen 12 gekoppelt sein oder mit geeigneten Rohr- oder Schlauchmitteln, wie in der Fig. 1 gezeigt ist, mit den Isolatorbaugruppen 12 ferngekoppelt sein. In beiden Fällen überträgt ein Versatz der Membran 10 Drucksignale von der entfernten Isolatormembran zu einer erfassenden Membran, die innerhalb des Druckmeßumformers 14 angeordnet ist, aufgrund der Bewegung des Füllfluids, das den Hohlraum zwischen der Membran 10 und deren Halteteil 16 einnimmt und die Kanäle 15 füllt.
Die Fig. 2 erläutert eine Fern-Abdichtungsisolatormembran 10, die wie bei 18 entlang einer Abdichtlinie am Umfang eines Trägers bzw. Halters 16 angebracht ist und im wesentlichen in der gleichen Ebene wie die Halteteiloberfläche 22 angeordnet ist. In der gezeigten Ausführungsform umfaßt die Anbringungs-Abdichtlinie 18 eine herkömmliche Wolfram-Inertgas-Verschweißung (TIG = Tungsten Inert Gas), die eine fluiddichte Dichtung für die Membran 10 um den Umfang des fluidgefüllten Hohlraums 21 herum bereitstellt.
Die Fig. 3 zeigt schematisch die Fern-Abdicht-Isolatorbaugruppe des Stands der Technik im Querschnitt, während des Anwendens eines örtlichen Hochintensitätssprühens aus einer Düse, wie durch die Pfeile 17 angedeutet ist. Eine Verzerrung der Membran 10 tritt als Ergebnis des Versatzes des im wesentlichen inkompressiblen Isolator-Füllfluids auf, das sich in dem Hohlraum 21 zwischen der Membran 10 und der Oberfläche 22 des Halters 16 befindet.
Eine solche Verzerrung der Membran 10 erzeugt demzufolge eine primäre Membran-Gelenklinie 19 neben der Anbringung bei 18 an der Kante der Membran 10 und die Membran wird stark belastet, da das anschwellende Fluid die Membran 10 deformiert. Der Sprühstrahl 17 pulsiert und wird zu unterschiedlichen Stellen bewegt, was eine Ermüdungsbelastung der Membran 10 ergibt.
Die Fig. 4 zeigt eine Fern-Abdichtungsbaugruppe 23, die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung aufgebaut ist. Verbindungsmedien oder ein Verbindungsmaterial 24 sichern einen peripheren Kantenabschnitt der flexiblen Isolatormembran 13 an dem Halteteil 16A über eine relativ große ringförmige Verbindungs-Halteoberfläche 26 an dem Halteteil 16A. Eine innere Kante 27 der Trägeroberfläche 26 ist mit einer ringförmigen (teilkonisch) geneigten Oberfläche 30 verbunden. Die geneigte Oberfläche 30 erstreckt sich konisch nach unten und geht in eine zweite zentrale Oberfläche 29 des Halters 16A an einer zweiten Erhöhung über, die einen Boden einer Vertiefung 32 bildet. Die Oberfläche 29 wird von der Membran 13 abgedeckt. Die Membran 13 und die zweite Oberfläche 29 bilden eine Isolatorkammer 34, die mit einer gewünschten Menge von inkompressiblem Fluid bzw. Flüssigkeit gefüllt ist. Die Membran 13 enthält einen ringförmigen, geneigten Wandabschnitt 28, der in Profil und Form ähnlich zu der ringförmig geneigten Oberfläche 30 ist, und eine zentralen, inneren, flexiblen Abschnitt 38 (der zu dem Prozeßmedium hin freiliegt), der mit dem Wandabschnitt 28 einstückig verbunden ist. Die Oberfläche 30, die im Halteteil 16A ausgebildet ist, ist im Querschnitt gerade und bevorzugt ungefähr 35º von einer Ebene, die zu der Halteoberfläche 26 parallel ist, wie in der Fig. 5 gezeigt ist, aus ge neigt. Anders ausgedrückt ist diese teilkonische Oberfläche mit einem Konuswinkel von über 55º von einer Vertikalachse der Halteoberfläche 26 aus ausgebildet.
In einer bevorzugten Ausführungsform umfaßt das Verbindungsmaterial 24 ein Hartlötmaterial, um eine fluiddichte Hartlötverbindung zwischen der Halteoberfläche 26 und dem peripheren Kantenabschnitt der Membran 13 auszubilden. Eine ringförmige Rille 31, die in dem Halter 16A ausgebildet ist und sich zur Halteoberfläche 26 hin öffnet, nimmt ein vorgeformtes Draht-Hartlötmaterial vor dem Bonden des Materials auf, wie mit den gepunkteten Linien in der Fig. 6 gezeigt ist. Wenn die Membran 13 über der Oberfläche 26 angeordnet ist und die Membran und der Halter 16A erwärmt werden, wandert das Hartlötmaterial in der Rille 31 von der Rille 31 aus zu der Verbindungsoberfläche 26 in dem gegenüberliegenden Oberflächenabschnitt der Membran 13, um eine fluiddichte Abdichtung über im wesentlichen das gesamte Gebiet der Verbindungsoberfläche 26 auszubilden. Der Halter 16A kann während der Erwärmung umgedreht werden. Das bevorzugte Hartlötmaterial umfaßt eine Legierung von ungefähr 82% Gold und 18% Nickel und ist in einer Drahtform ausgebildet, aber geeignete Hartlötlegierungen, die eine Verbindungstemperatur von weniger als 1000ºC haben, sind in der vorliegenden Erfindung annehmbar.
Die Fig. 5 zeigt das dynamische Verhalten der Fern- Abdichtungsbaugruppe 23 der vorliegenden Erfindung während des Anwendens von Reinigungslösungen mit hohem Druck (d. h. einem CIP-System), was durch die Pfeile 33 angedeutet ist, wobei die Lösungen für gewöhnlich mit einer Düse aufgebracht werden. Das Fluid unter Druck, das durch die Pfeile 33 gezeigt ist und von einer Düse austritt, trifft allgemein auf einen Abschnitt der Membran 13 bei einem Winkel zum Reinigen von Hygiene- bzw. Sanitär-Oberflächen und wirkt derart, daß eine Neigung besteht, das inkompressible Fluid zu einer Seite des Hohlraums 34 hin zu schieben. In der bevorzugten Ausführungsform definiert der ringförmige Wandabschnitt 28 der Membran 13 einen spitzen Winkel, der dem Winkel der Wand 30 relativ zur Verbindungs-Halteoberfläche 26 gleich ist.
In der bevorzugten Ausführungsform ist die Oberfläche 29 ebenfalls vertieft oder versetzt um ungefähr 0,762-1,27 mm (0,030-0,050 Zoll) relativ zur im wesentlichen ebenen Halteoberfläche 26, wie durch den Pfeil 40 in der Fig. 6 gezeigt ist. In der bevorzugten Ausführungsform ist die primäre Membran-Gelenklinie während des Auslenkens entlang einer Linie 35 am Übergang der unteren Kante des ringförmigen, geneigten Wandabschnitts 28 und der zentralen, inneren Wand 38 derart, daß beim Anlegen einer örtlichen Sprühkraft mit hohem Druck, wie durch die Pfeile 33 verdeutlicht wird, die Membran 13 verzerrt wird und sich im wesentlichen in Richtung und in Berührung mit der Oberfläche 30 bei dem Gelenkbereich für die Membran 13 bewegt. Der zentrale innere Abschnitt 38 wölbt sich nach oben, wie mit den gestrichelten Linien in der Fig. 6 gezeigt ist. Die Gelenklinie 35 für den zentralen inneren Abschnitt 38 ist in der Nähe des Bodens des geneigten Wandabschnitts 28 und nicht am Umfang der Membran 13 und auch nicht an der Innenkante 27 des Verbindungsgebiets 26. Die Membran verschiebt sich oder bewegt sich nahe zur Oberfläche 30 neben der Gelenklinie 35 und neigt dazu, den Raum an der Kante der Wand 30 derart einzuschränken, daß das Fluid im Hohlraum 34 nicht dazu neigt, zwischen die Oberfläche 30 und den Membranabschnitt 28 nach oben zu fließen. Somit verursacht das im wesentlichen inkompressible Füllfluid in dem Hohlraum 34 kein Anschwellen und Verbiegen der Membran 13 in der Nachbarschaft der Verbindungsmedien 24. Die Belastungen, die durch den Reinigungssprühstrahl 33 mit hohem Druck verursacht werden, werden an dem unteren Ende der ringförmigen, geneigten Oberfläche 30 des Halteteils 16A konzentriert. Die vorliegende Erfindung ist von größtem Nutzen bei Anwendungen, wenn CIP-Reinigungssysteme und manuelle Reinigungssysteme angewendet werden, die in im wesentlichen ungleiche Druckgradienten resultieren, die sich entlang der freiliegenden Oberfläche der flexiblen Membran 13 bewegen.
Das bevorzugte Verbindungsverfahren startet damit, daß das Membranteil 13 im wesentlichen planar ist, so daß es sich entlang der Ebene der Halteoberfläche 26 anfänglich derart erstreckt, daß während des Erwärmens für das Hartlöten das Hartlötmaterial zwischen die Oberfläche 26 und die dazu passende Oberfläche der Membran 13 fließt oder wandert, aber an der inneren Kante 27 aufgrund der relativ großen, abrupten Öffnung stoppt, die durch die geneigte Oberfläche 13 des Halters 16A ausgebildet ist. Dann, nachdem die hartgelötete Baugruppe abgekühlt ist, wird Druck im wesentlichen normal zu der Oberfläche der Membran 13 derart aufgebracht, daß die Membran 13 gegen die Oberfläche 29 der Vertiefung 32 deformiert wird und sich nahe an die Konfiguration der Oberflächen 29 und 30 des Halteteils 16A annähert. Dem Verbindungsschritt nachfolgend wird der fluiddichte Hohlraum 34 zwischen dem Halter 16A und der Membran 13 mit im wesentlichen inkompressiblem Füllfluid befüllt. Die Oberfläche 29 und die ausgebildete Membran 13 haben ringförmige Wellen, wie gezeigt ist.
Obwohl die vorliegende Erfindung mit Bezug auf bevorzugte Ausführungsformen beschrieben wurde, ist es für einen Fachmann zu erkennen, daß Änderungen durchgeführt werden können, ohne daß vom Gedanken bzw. Schutzbereich der Erfindung abgewichen wird. Z. B. stellt die vorliegende Erfindung die gleiche Nützlichkeit beim Flachbau, der Flanschbefestigung, der erweiterten Membran und der streifenförmigen Abdichtungskonfigurationen bereit, entweder ferngekoppelt oder nahegekoppelt mit einem geeigneten Druckmeßumformer, wie es die spezielle Anwendung erfordert.

Claims

1. Druckempfindliche Fern-Isolatormembran-Baugruppe (23) zur Verwendung in Hygiene-Verarbeitungsanwendungen, bei denen Systeme mit einer Fluidreinigung mit hoher Intensität in der Baugruppe verwendet werden, die aufweist:

ein Isolator-Halteteil (16A) und eine dünne, flexible Isolatormembran (13), die mit diesem verbunden ist, wobei ein Hohlraum zwischen ihnen ausgebildet ist;

ein Rohr (15), das mit einer Öffnung des Halteteils (16A) verbunden ist und zu einem Drucksensor führt und einen eingeschlossenen fluiddichten Hohlraum (34) zwischen der Membran (13) und dem Halteteil (16A) ausbildet; und ein inkompressibles Fluid innerhalb des fluiddichten Hohlraums (34) zum Übertragen einer Bewegung der Membran (13) durch das Rohr zu dem verbundenen Drucksensor; und

dadurch gekennzeichnet,

daß das Halteteil (16A) ein planares äußeres Randgebiet (26), einen vertieften inneren Oberflächenabschnitt (29) mit einer ringförmigen, geneigten Oberfläche (30) zwischen ihnen hat, wobei die Öffnung in dem vertieften, inneren Abschnitt ausgebildet ist; und

daß die dünne, flexible Isolatormembran (13) einen peripheren Abschnitt, der abdichtend mit der planaren Oberfläche (26) des Halteteils (16A) verbunden ist, und einen vertieften, flexiblen, inneren Abschnitt (38) und einen ringförmigen, geneigten Abschnitt (28) zwischen dem peripheren Abschnitt und dem inneren Abschnitt hat, der über dem vertieften, inneren Oberflächen-Abschnitt (29) des Halteteils (16A) liegt.

2. Baugruppe des Anspruchs 1, worin die ringförmige, geneigte Oberfläche (30) konisch ist und im Querschnitt gerade ist.

3. Baugruppe des Anspruchs 2, worin die geneigte Oberfläche (30) mit einem spitzen Winkel von im wesentlichen 35º relativ zum planaren, äußeren Randgebiet (26) des Halteteiles geneigt ist.

4. Baugruppe des Anspruchs 2, die im wesentlichen identische, ringförmige Grate enthält, die in dem vertieften Gebiet (32) des Halteteils (16A) und dem vertieften, inneren Abschnitt (38) der Isolatormembran (13) ausgebildet sind.

5. Baugruppe des Anspruchs 1, worin das Rohr Kapillar- Rohr- bzw. Schlauchmittel umfaßt.

6. Baugruppe des Anspruchs 1, worin der innere Abschnitt (29) der Isolatormembran im wesentlichen zwischen 0,762 und 1,27 mm (0,030-0,050 Zoll) von dem peripheren Abschnitt der Membran aus vertieft ist.

7. Druckreaktive Fern-Abdichtungsvorrichtung zur Verwendung bei der Hygieneverarbeitung von Prozeßmedien, bei denen Vorort-Reinigung-Druckreinigungssysteme verwendet werden, wobei die Vorrichtung aufweist:

ein Halteteil (16A) und eine flexible Isolatormembran (13), die aneinander gesichert sind, um einen fluiddichten Hohlraum (34) auszubilden;

ein inkompressibles Fluid, das innerhalb des fluiddichten Hohlraums (34) angeordnet ist, zum Übertragen von Druckänderungen, die durch eine Auslenkung der flexiblen Membran (13) verursacht werden, wobei das Fluid ein Fluidmaterial umfaßt, das im allgemeinen als sicher in der Hygiene-Verarbeitungsindustrie anerkannt ist; und

einen abgedichteten Durchgang zum Leiten des Fluids zu einem Drucksensor während der Auslenkung der flexiblen Membran; dadurch gekennzeichnet,

daß das Halteteil (16A) ein erhöhtes, planares, ringförmiges Gebiet (26) zum Halten bzw. Tragen der Membran (13) und ein vertieftes Gebiet (32) hat, das eine zentrale Oberfläche (29), die gegenüber dem planaren, ringförmigen Gebiet (26) versetzt ist, und eine geneigte Oberfläche (30) zwischen dem ringförmigen Gebiet (26) und der versetzten, zentralen Oberfläche (29) hat;

daß die flexible Membran (13) ein vertieftes, inneres Oberflächengebiet (38), ein erhöhtes ringförmiges, ebenes Peripheriegebiet und einen geneigten Wandabschnitt (28) zwischen dem planaren Peripheriegebiet und dem inneren Oberflächengebiet (38) hat, um allgemein an das vertiefte Gebiet (32) des Halteteils (16A) angepaßt zu sein; und

daß ein Verbindungsmaterial (24) zum Sichern des erhöhten, planaren, ringförmigen Gebiets (26) des Halteteils (16A) an dem planaren Peripheriegebiet der Membran über im wesentlichen der gesamten Oberfläche des erhöhten planaren, ringförmigen Gebiets (26) des Halteteils vorgesehen ist, damit der fluiddichte Hohlraum (34) zwischen der Membran (13) und der vertieften, zentralen Oberfläche (29) und der geneigten Oberfläche (30) des Halteteils (16A) ausgebildet ist.

8. Baugruppe des Anspruchs 7, die die geneigte Oberfläche (30) enthält, welche mit einem Winkel derart ausgebildet ist, daß Kräfte an der Membran (13) ein Auslenken der Membran (13) primär am Übergang zwischen dem geneigten Wandabschnitt (28) und dem inneren Oberflächengebiet (38) der Membran (13) verursachen.

9. Baugruppe des Anspruchs 7, worin die geneigte Oberfläche (30) und der geneigte Wandabschnitt (28) bei einem Winkel relativ zur vertieften inneren Oberfläche (38) sind, so daß bei der Auslenkung der Membran das vertiefte innere Oberflächengebiet (38) dazu neigt, das inkompressible Fluid in Richtung der geneigten Oberfläche (30) zu drängen, wobei der Übergang zwischen dem vertieften inneren Oberflächengebiet (38) und dem geneigten Wandabschnitt (28) der Membran (13) in Richtung der geneigten Oberfläche (30) des Halteteils (16A) gezwungen wird, um einen Durchgang des Fluids entlang der geneigten Oberfläche (30) in Richtung des planaren, ringförmigen Gebiets (26) einzuschränken.