DE69408203T2

DE69408203T2 - Magnetischer Aufzeichnungsträger

Info

Publication number: DE69408203T2
Application number: DE69408203T
Authority: DE
Inventors: Yoshihito Ebine; Hidetoshi Honda; Jota Ito; Toshikazu Sasaki; Taketoshi Sato; Yasumi Sato
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1993-05-28
Filing date: 1994-05-17
Publication date: 1998-08-27
Anticipated expiration: 2014-05-18
Also published as: DE69408203D1; EP0626677B1; EP0626677A1; JPH06338049A; US5662984A; KR100278790B1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

Die Erfindung betrifft einen magnetischen Aufzeichnungsträger vom sogenannten Typ mit magnetischem Metalldünnfilm, der eine Dünnschicht aus magnetischem Metall als magnetische Schicht auf einem unmagnetischen Substrat aufweist.
Auf dem Gebiet von Videobandrecordern besteht z.B. im Hinblick auf das Erzielen höherer Bildqualität zunehmende Nachfrage nach Aufzeichnung mit höherer Dichte. Als magnetischer Aufzeichnungsträger zum Erfüllen dieser Nachfrage wurde ein magnetischer Aufzeichnungsträger vom sogenannten Typ mit magnetischem Dünnfilm vorgeschlagen, bei dem eine magnetische Schicht dadurch auf einem unmagnetischen Substrat hergestellt wird, dass ein magnetisches Material aus Metall oder einer Co-Ni-Legierung durch Plattieren oder durch im Vakuum ausgeführte Dünnfilm-Herstellungstechniken, wie durch Abscheiden im Vakuum, Sputtern oder Ionenplattieren, direkt abgeschieden wird.
Ein magnetischer Aufzeichnungsträger vom Typ mit magnetischem Dünnfilm verfügt über viele Vorteile, einschließlich hervorragenden Werten betreffend die Koerzitivfeldstärke, das Hysteresekurve-Seitenverhältnis und elektromagnetische umsetzungseigenschaften im Bereich kurzer Wellenlängen, geringe Entmagnetisierung während des Aufzeichnens, nur geringe Dickenverluste während des Abspielens aufgrund der verringerten Dicke der Aufzeichnungsschicht, sowie hohe Packungsdichte des magnetischen Materials, da es nicht erforderlich ist, ein unmagnetisches Bindemittel in die magnetische Schicht einzumischen.
Bei einem derartigen magnetischen Aufzeichnungsträger erfolgten Versuche, die Spurdichte und die Aufzeichnungsdichte des magnetischen Aufzeichnungsträgers zu erhöhen, um eine Anpassung an erhöhte Aufzeichnungsdichte zu erzielen. Wenn jedoch die Aufzeichnungsdichte höher wird, nehmen Abstandsverluste zu. Demgemäß besteht die Tendenz, dass eine glatte Oberfläche des magnetischen Aufzeichnungsträgers bevorzugt ist, um nachteilige Effekte aus erhöhten Abstandsverlusten zu verhindern.
Wenn jedoch die Oberfläche eines magnetischen Aufzeichnungsträgers übermäßig eingeebnet wird, besteht die Tendenz, dass der Magnetkopf am Aufzeichnungsträger anhaftet, so dass die gegenseitige Reibungskraft zunimmt, mit dem Ergebnis, dass der Aufzeichnungsträger durch größere in ihm erzeugte Scherkräfte beschädigt wird.
Um zufriedenstellende Standeigenschaften zu gewährleisten, wurde so vorgegangen, auf dem unmagnetischen Substrat Oberflächenvorsprünge anzubringen, um dadurch der Oberfläche der magnetischen Schicht oder der auf den unmagnetischen Aufzeichnungsträger aufgestapelten Schutzschicht mäßige Rauhigkeit zu verleihen, um Oberflächeneigenschaften des magnetischen Aufzeichnungsträgers zu steuern.
Um die Oberflächeneigenschaften des magnetischen Aufzeichnungsträgers zu steuern, wie oben beschrieben, wird eine Größenkontrolle der auf dem unmagnetischen Aufzeichnungsträger ausgebildeten Oberflächenvorsprünge wesentlich. D.h., dass das Problem der Beabstandungsverluste umso ausgeprägter wird, je größer die Abmessung der Oberflächenvorsprünge ist, mit dem Ergebnis, dass die elektromagnetischen Umsetzungseigenschaften beeinträchtigt sind. Umgekehrt kann keine ausreichende Betriebsbeständigkeit erzielt werden, wenn die Oberflächenvorsprünge hinsichtlich der Höhe beschränkt werden, wobei jedoch der nachteilige Effekt von Beabstandungsverlusten beseitigt werden kann.
Das Dokument JP-A-01 176 313 (Patent Abstracts of Japan, ungeprüfte Anmeldungen, Band 13, Nr. 454, 13. Oktober 1989) offenbart einen magnetischen Aufzeichnungsträger mit einer Überzugsschicht, die mit feinen Teilchen mit voreingestellter Teilchengröße angeordnet ist. Die Überzugsschicht aus feinen Teilchen ist auf einen hochpolymeren Film auflaminiert und mit einem ferromagnetischen, metallischen Dünnfilm, einem harten Kohlenstoff-Dünnfilm und einer Schmiermittelschicht bedeckt. Die Überzugsschicht aus feinen Teilchen verleiht dem ferromagnetischen Metallfilm eine feine aufgerauhte Oberfläche, was zusammen mit dem harten Kohlenstoff-Dünnfilm und der Schmiermittelschicht zu einer relativ niedrigen Erzeugungsrate abgeriebenen Pulvers führt.
Das Dokument JP-A-01 176 314 (Patent Abstracts of Japan, ungeprüfte Anmeldungen, Band 13, Nr. 454, 13. Oktober 1989) offenbart eine Überzugsschicht aus feinen Teilchen auf einem hochpolymeren Film, der mit einem ferromagnetischen, metallischen Dünnfilm, einem diamantähnlichen, harten Kohlenstoff- Dünnfilm und einer darauf befindlichen Schmiermittelschicht bedeckt ist. Da die Aufrauhungsteilchen nicht mehr dadurch beschädigt werden, dass sie Spannungen von außen erfahren, wird die Kopfausgangsleistung beibehalten und durch Verringern der Höhe und der Dichte der vorstehenden Teile verbessert, was Beabstandungsverluste und auf der Kopfseite hervorgerufene Schäden verringert.
Das Dokument JP-A-Ol 176 311 (Patent Abstracts of Japan, ungeprüfte Anmeldungen, Band 13, Nr. 454, 13. Oktober 1989) offenbart einen ersten ferromagnetischen, metallischen Dünnfilm, der von einer ebenen Schutzschicht, einem zweiten ferromagnetischen, metallischen Dünnfilm und einer darauf befindlichen, schützenden Schmiermittelschicht bedeckt ist. Ein mit dieser Anordnung aufgebauter magnetischer Aufzeichnungsträger verfügt über verbessertes T/R-Verhältnis im Bereich kurzer Wellenlängen.
Daher ist es eine Aufgabe der Erfindung, einen magnetischen Aufzeichnungsträger zu schaffen, mit dem es möglich ist, die Standfestigkeit zu verbessern, während gute elektromagnetische Umsetzungseigenschaften beibehalten sind.
Als Ergebnis ihrer angestrengten Suche zum Lösen der obigen Aufgabe haben die Erfinder herausgefunden, dass gute Betriebgeschwindigkeit und Eigenschaften hoher elektromagnetischer Umsetzung gleichzeitig dadurch erzielt werden können, dass ein Kohlenstoff-Schutzfilm auf dem magnetischen, metallischen Dünnfilm hergestellt wird und zwei verschiedene Arten von Oberflächenvorsprüngen verschiedener Größen mit jeweiligen voreingestellten Dichten auf der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms hergestellt werden.
So schafft die Erfindung einen magnetischen Aufzeichnungsträger mit einem unmagnetischen Substrat, einer dünnen magnetischen Metallschicht, die auf dem unmagnetischen Substrat ausgebildet ist, und einem Kohlenstoff-Schutzfilm, der auf dem magnetischen Metalldünnfilm ausgebildet ist, wobei die Verbesserung darin liegt, dass der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 3 nm bis 30 nm aufweist, der Kohlenstoff-Schutzfilm erste Vorsprünge und zweite Vorsprünge mit jeweiligen voreingestellten Dichten aufweist, wobei die ersten Vorsprünge eine Höhe im Bereich von 65 nm ± 15 nm bis 95 nm ± 15 nm aufweisen, und wobei die zweiten Vorsprünge eine Höhe im Bereich von 18 nm ± 5 nm bis 28 nm ± 5 nm aufweisen, wobei die jeweiligen voreingestellten Dichten so festgelegt sind, dass ein vorgegebenes Ausgangssignal, eine vorgegebene Minimalanzahl von Durchläufen des Kopfs bis zum Auftreten einer Verstopfung, ein vorgegebenes minimales Absinken des Ausgangsleistungspegels und vorgegebene Standeigenschaften erzielt werden.
Gemäß einer Erscheinungsform der Erfindung weist der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 3 nm bis 7 nm auf, die ersten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 65 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff- Schutzfilms mit einer Dichte von 1,5 x 10&sup4;/mm² bis 6,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet, und die zweiten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 18 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 500 x 10&sup4;/mm² bis 4500 x 10&sup4;/mm² ausgebildet.
Gemäß einer anderen Erscheinungsform der Erfindung weist der Kohlenstoff- Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 3 nm bis 7 nm auf, die ersten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 65 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,1 x 1041mm² bis 5,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet, und die zweiten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 28 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 4000 x 10&sup4;/mm² ausgebildet.
Gemäß einer weiteren Erscheingungsform der Erfindung weist der Kohlenstoff- Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 3 nm bis 7 nm auf, die ersten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 95 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,0 x 10&sup4;/mm² bis 4,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet, und die zweiten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 28 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 3500 x 10&sup4;/mm² ausgebildet.
Gemäß einer weiteren Erscheingungsform der Erfindung weist der Kohlenstoff- Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 7 nm bis 15 nm auf, die ersten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 65 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,0 x 10&sup4;/mm² bis 4,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet, und die zweiten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 18 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 2500 x 10&sup4;/mm² ausgebildet.
Gemäß einer weiteren Erscheinungsform der Erfindung weist der Kohlenstoff- Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 7 nm bis 15 nm auf, die ersten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 95 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 0,7 x 10&sup4;/mm² bis 2,8 x 10&sup4;/mm² ausgebildet, und die zweiten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 28 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 2000 x 10&sup4;/mm² ausgebildet.
Gemäß noch einer anderen Erscheinungsform der Erfindung weist der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 15 nm bis 30 nm auf, die ersten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 65 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,0 x 10&sup4;/mm² bis 3, x 10&sup4;/mm² ausgebildet, und die zweiten Vorsprünge sind mit einer Höhe im Bereich von 18 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 2000 x 10&sup4;/mm² ausgebildet.
Wenn beim magnetischen Aufzeichnungsträger, der eine magnetische Schicht aus einem magnetischen Metalldünnfilm und einem Kohlenstoff-Schutzfilm auf einem unmagnetischen Substrat aufweist, die zwei verschiedenen Arten von Oberflächenvorsprüngen mit verschiedenen Höhen auf der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit jeweils vorbestimmten Dichten ausgebildet sind, können die Oberflächeneigenschaften des magnetischen Aufzeichnungsträgers zufriedenstellend mit dem Ergebnis eingestellt werden, dass der Kontaktzustand des Aufzeichnungsträgers mit dem Magnetkopf während des Gleitvorgangs des Aufzeichnungsträgers verbessert werden kann, wodurch das Laufvermögen des Aufzeichnungsträgers verbessert werden kann. Andererseits kann verhindert werden, dass die elektromagnetischen Umsetzungseigenschaften durch Beabstandungsverluste beeinträchtigt werden.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist eine Schnittansicht, die ein Strukturbeispiel eines erfindungsgemäßen magnetischen Aufzeichnungsträgers zeigt.
Fig. 2 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte erster Teilchen, die intern in das unmagnetische Substrat eingefügt sind, und HF- Eigenschaften zeigt, wie durch einen Versuch 1 klargestellt.
Fig. 3 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der ersten Teilchen und der Anzahl von Durchläufen bis zu einem Verstopfen zeigt.
Fig. 4 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der ersten Teilchen und dem Absinken des Ausgangspegels zeigt.
Fig. 5 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte zweiter, auf dem unmagnetischen Substrat dispergierter Teilchen und Standeigenschaften zeigt.
Fig. 6 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der zweiten Teilchen und HF-Eigenschaften zeigt.
Fig. 7 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte erster Teilchen, die intern im unmagnetischen Substrat hinzugefügt sind, und HF- Eigenschaften zeigt, wie durch einen Versuch 2 klargestellt.
Fig. 8 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der ersten Teilchen und der Anzahl von Durchläufen bis zum Verstopfen beim Versuch 2 zeigt.
Fig. 9 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der ersten Teilchen und einem Absinken des Ausgangspegels beim Versuch 2 zeigt.
Fig. 10 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte erster Teilchen, die intern im unmagnetischen Substrat hinzugefügt sind, und HF- Eigenschaften zeigt, wie durch einen Versuch 3 klargestellt.
Fig. 11 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der ersten Teilchen und der Anzahl von Durchläufen bis zum Verstopfen beim Versuch 3 zeigt.
Fig. 12 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der ersten Teilchen und einem Absinken des Ausgangspegels beim Versuch 3 zeigt.
Fig. 13 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte zweiter Teilchen, die auf dem unmagnetischen Substrat dispergiert sind, und Steheigenschaften beim Versuch 3 zeigt.
Fig. 14 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der zweiten Teilchen und HF-Eigenschaften beim Versuch 3 zeigt.
Fig. 15 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte erster Teilchen, die intern im unmagnetischen Substrat hinzugefügt sind, und HF- Eigenschaften zeigt, wie durch einen Versuch 4 klargestellt.
Fig. 16 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der ersten Teilchen und der Anzahl von Durchläufen bis zum Verstopfen beim Versuch 4 zeigt.
Fig. 17 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der ersten Teilchen und einem Absinken des Ausgangspegels beim Versuch 4 zeigt.
Fig. 18 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte zweiter Teilchen, die auf dem unmagnetischen Substrat dispergiert sind, und Steheigenschaften beim Versuch 4 zeigt.
Fig. 19 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der zweiten Teilchen und HF-Eigenschaften beim Versuch 4 zeigt.
Fig. 20 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte erster Teilchen, die intern im unmagnetischen Substrat hinzugefügt sind, und HF- Eigenschaften zeigt, wie durch einen Versuch 5 klargestellt.
Fig. 21 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der ersten Teilchen und der Anzahl von Durchläufen bis zum Verstopfen beim Versuch 5 zeigt.
Fig. 22 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der ersten Teilchen und einem Absinken des Ausgangspegels beim Versuch 5 zeigt.
Fig. 23 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte zweiter Teilchen, die auf dem unmagnetischen Substrat dispergiert sind, und Steheigenschaften beim Versuch 5 zeigt.
Fig. 24 ist ein Kurvenbild, das die Beziehung zwischen der Dichte der zweiten Teilchen und HF-Eigenschaften beim Versuch 5 zeigt.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG

Die Erfindung wird bei einem magnetischen Aufzeichnungsträger vom sogenannten Typ mit magnetischem Dünnfilm angewandt, bei dem ein magnetischer Metalldünnfilm als magnetische Schicht auf einem unmagnetischen Substrat, das ein Kunststofffilm oder dergleichen sein kann, ausgebildet ist. Es existiert keine Beschränkung hinsichtlich des Aufbaumaterials des magnetischen Metalldünnfilms, sondern es kann jedes wohlbekannte ferromagnetische Material verwendet werden, wie Co, Co-Cr, Co-Ni, Co-Fe-Ni oder Co-Ni-Cr. Als Verfahren zum Herstellen des magnetischen Metalldünnfilms können Techniken zum Herstellen von Dünnfilmen im Vakuum genannt werden, und hinsichtlich im Vakuum ausgeführter Abscheidungsverfahren, Sputterverfahren und Ionenplattierungsverfahren kann ein beliebiges Verfahren verwendet werden.
Beim oben angegebenen magnetischen Aufzeichnungsträger vom Dünnfilmtyp können die Oberflächeneigenschaften dadurch kontrolliert werden, dass Oberflächenvorsprünge auf der Oberfläche des magnetischen Aufzeichnungsträgers hergestellt werden, um dessen Laufeigenschaften zu verbessern. Wenn jedoch die Oberflächenvorsprünge hergestellt werden, werden Beabstandungsverluste entsprechend verringert, mit dem Ergebnis, dass die elektromagnetischen Umsetzungseigenschaften beeinträchtigt werden.
Gemäß der Erfindung wird ein Kohlenstoff-Schutzfilm auf dem magnetischen Metalldünnfilm hergestellt, und auf der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms werden zwei verschiedene Arten von Oberflächenvorsprüngen ausgebildet, um die Oberflächeneigenschaften des magnetischen Aufzeichnungsträgers einzustellen. Auf diese Weise kann die Laufbeständigkeit des magnetischen Aufzeichnungsträgers verbessert werden, ohne dass dessen elektromagnetische Umsetzungseigenschaften wesentlich beeinträchtigt werden.
Wenn die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms weniger als 3 mm beträgt, exis tiert nur ein untergeordneter Effekt hinsichtlich einer Verbesserung der Beständigkeit, wohingegen dann, wenn sie 30 nm überschreitet, die Beabstandungsverluste zunehmen und die elektromagnetischen Umsetzungseigenschaften beeinträchtigt werden. Genauer gesagt, werden bei einer Dicke d des Kohlenstoff-Schutzfilms Beabstandungsverluste von 74 x d/λ (dB) erzeugt, so dass dann, wenn die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 30 nm beträgt, die Beabstandungsverluste ungefähr 4,5 dB betragen. Demgemäß ist es nicht erwünscht, die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms weiter zu erhöhen.
Wenn die Kombination aus der Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms, der Höhe und der Dichte der ersten Oberflächenvorsprünge und der Höhe und der Dichte der zweiten Oberflächenvorsprünge außerhalb des obigen Bereichs liegt, ist das Laufvermögen oder die elektromagnetische Umsetzungscharakteristik beeinträchtigt. Aus diesem Grund bestehen die obigen Beschränkungen hinsichtlich der Höhe und der Dichte der ersten Oberflächenvorsprünge sowie der Höhe und der Dichte der zweiten Oberflächenvorsprünge.
Ein magnetischer Aufzeichnungsträger mit ersten und zweiten Oberflächenvorsprüngen wird unter Verwendung von Teilchen mit Teilchengrößen hergestellt, die den Höhen der jeweiligen Oberflächenvorsprünge entsprechen.
Wenn z.B. das unmagnetische Substrat dadurch hergestellt wird, dass erste Teilchen mit einer Teilchengröße von 65 ± 15 nm in das Ausgangsmaterial für das unmagnetische Substrat (Chip) eingemischt werden, werden Oberflächenvorsprünge erzeugt, die eine dem Teilchendurchmesser entsprechende Höhe aufweisen, wenn sich das Ausmaß der Vorsprünge der ersten Teilchen zur Dicke des darauf ausgebildeten Harzüberzugs addiert. Das Additionsausmaß der ersten Teilchen zum Ausgangsmaterial wird so eingestellt, dass die Dichte der von der Oberfläche des unmagnetischen Substrats vorspringenden Oberflächenvorsprünge innerhalb des obigen Bereichs liegt.
Die zweiten Teilchen mit einer Teilchengröße von 18 nm ± 5 nm sind auf dem unmagnetischen Substrat angeordnet, und sie sind unter Verwendung eines Harzbinders fixiert. Auf diese Weise wird ein unmagnetisches Substrat mit zwei verschiedenen Arten von Oberflächenvorsprüngen von 65 nm ± 15 nm sowie von 18 nm ± 5 nm hergestellt.
Wenn der magnetische Metalldünnfilm auf dem unmagnetischen Substrat hergestellt wird, spiegelt sich die Form der Vorsprünge auf dem unmagnetischen Substrat an der Oberfläche des dünnen magnetischen Metallsubstrats wieder.
Auf ähnliche Weise spiegelt sich, wenn der Kohlenstoff-Schutzfilm darauf ausgebildet wird, die Form der Vorsprünge auf dem magnetischen Metalldünnfilm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms wieder. So wird ein magnetischer Aufzeichnungsträger mit ersten Oberflächenvorsprüngen mit einer Höhe von 65 nm ± 15 nm sowie zweiten Oberflächenvorsprüngen mit einer Höhe von 18 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms erzeugt.
Die Genauigkeit, mit der sich die Form der Vorsprünge auf dem unmagnetischen Substrat an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms wiederspiegelt, hängt von der Dicke des magnetischen Metalldünnfilms und derjenigen des Kohlenstoff-Schutzfilms ab. Da sich die Form der Vorsprünge am unmagnetischen Substrat an der Oberfläche mit höherer Genauigkeit wiederspiegelt, wenn die zwei Filme verringerte Dicke aufweisen, werden die Dicken des magnetischen Metalldünnfilms und des Kohlenstoff-Schutzfilms wünschenswerterweise im Hinblick auf ihre Eigenschaften betreffend das Wiederspiegeln der Form der Vorsprünge eingestellt.
Obwohl die Oberflächenvorsprünge beim oben angegebenen Verfahren vorab auf dem unmagnetischen Substrat hergestellt werden, kann ein unmagnetisches Substrat mit ebener Oberfläche verwendet werden, und die ersten und zweiten Teilchen können mit jeweiligen Dichten auf der Oberfläche des magnetischen Metalldünnfilms angeordnet werden, wobei die Vorsprünge durch einen darauf aufgetragenen Kohlenstoff-Schutzfilm an ihrer Position gehalten werden.
Die die Oberflächenvorsprünge bildenden Teilchen können solche aus SiO&sub2;, TiG&sub2;, Al&sub2;O&sub3; oder CaCO&sub3; oder wässrige oder nichtwässrige Emulsionen hiervon sein. Alternativ können auch Latexe verwendet werden. Es existiert keine spezielle Beschränkung hinsichtlich der Arten der Kunststoffe, wie thermoplastische Kunststoffe, einschließlich Homopolymere oder Copolymere von Vinylacetat, Acrylaten, Methacrylaten, Vinylidenchlorid, Vinylchlorid, Ethylen oder Styrol, durch Wärme härtbare Harze, wie Epoxidharze, oder Synthesekautschuk wie Butadien-Styrol-Copolymere oder Butadien-Acrylonitril-Copolymere.
Als Kohlenstoff-Schutzfilm kann ein beliebiger unter den derartigen Filmen verwendet werden, wie sie bei einem magnetischen Aufzeichnungsträger mit magnetischem Metalldünnfilm genutzt werden. Neben Kohlenstoff können CrO&sub2;, Al&sub2;O&sub3;, Oxide von BN und Co, MgO, SiO&sub2;, Si&sub3;O&sub4;, SiNx, SiC, SiNx-SiO&sub2;, ZrO&sub2;, TiG&sub2; oder TiC verwendet werden. Der Film kann als Einzelfilm, als mehrschichtiger Film oder als Verbundfilm durch im Vakuum ausgeführte Dünnfilm- Herstelltechniken hergestellt werden.
Eine Grundierungsschicht, eine Rückseiten-Überzugsschicht oder eine obere Schicht kann wahlweise auf dem unmagnetischen Substrat ausgebildet werden, wenn dies erwünscht ist. Es existiert keine Beschränkung hinsichtlich des Verfahrens zum Herstellen der Filme der Grundierungsschicht, der Rückseiten-Überzugsschicht oder der oberen Schicht, wenn ein derartiges Verfahren allgemein bei diesem Typ von magnetischem Aufzeichnungsträger verwendet wird. Wünschenswerterweise wird ein Schmiermittelfilm auf dem Kohlenstoff- Schutzfilm hergestellt.

AUSFÜHRUNGSBEISPIELE

Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen werden nun bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung im einzelnen erläutert.
Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel wurden zum Herstellen zweier Arten von Vorsprüngen auf der Oberfläche eines Kohlenstoff-Schutzfilms Oberflächenvorsprünge mit zwei verschiedenen Teilchenarten auf einem unmagnetischen Substrat hergestellt, und anschließend wurden ein magnetischer Metalldünnfilm und der Kohlenstoff-Schutzfilm hergestellt.
Der magnetische Aufzeichnungsträger gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel (Magnetband) verfügt über eine magnetische Dünnfilmschicht 2 mit einer Dicke von 0,5 um oder weniger, die auf einem unmagnetischen Substrat 1 hergestellt ist, und über einen Kohlenstoff-Schutzfilm 3, der auf der magnetischen Schicht 2 hergestellt ist, wie es in Fig. 1 dargestellt ist.
Auf dem unmagnetischen Substrat 1 sind erste Oberflächenvorsprünge 4 größerer Abmessung sowie zweite Oberflächenvorsprünge 5 kleinerer Abmessung ausgebildet.
Bei der Herstellung des vorstehend angegebenen Magnetbands wurden die ersten Oberflächenvorsprünge 4 dadurch hergestellt, dass SiO&sub2;-Teilchen als erste Teilchen 6 mit größerer Teilchengröße intern dem unmagnetischen Substrat 1 zugesetzt wurden, wobei sich die Teilchenform der ersten Teilchen 6 an der Oberfläche des unmagnetischen Substrats 1 wiederspiegelte. Die ersten Teilchen 6 werden in geeigneter Weise im Inneren des unmagnetischen Substrats 1 dispergiert. Jedoch zeigen die ersten Teilchen 6 örtliche Agglomeration.
Die zweiten Oberf lächenvorsprünge 6 wurden dadurch hergestellt, dass SiO&sub2;- Teilchen als zweite Teilchen 7 mit kleinerer Teilchengröße auf dem unmagnetischen Substrat 1 dispergiert wurden und sie unter Verwendung eines Harzbinders oder dergleichen fixiert wurden. Die ersten Teilchen wurden in geeigneter Weise auf dem ersten unmagnetischen Substrat 1 dispergiert, um für die gewünschte Dichte von Vorsprüngen zu sorgen.
Auf dem unmagnetischen Substrat 1, an dem die zwei Arten von Oberflächenvorsprüngen ausgebildet waren, wie oben beschrieben, wurde der magnetische Metalldünnfilm, z.B. durch Abscheidung im Vakuum, hergestellt, um die magnetische Schicht 2 auszubilden. Auf der magnetischen Schicht 2 wurde der Kohlenstoff-Schutzfilm 3 aus diamant-ähnlichem Kohlenstoff mit einer Filmdicke von 3 nm bis 30 nm z.B. durch Sputtern hergestellt, und auf die Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 wurde ein Schmiermittel aufgetragen, um das Magnetband herzustellen.
Genauer gesagt, wurden Magnetbandproben hergestellt, bei denen bei einem Kohlenstoff-Schutzfilm 3 mit einer Dicke von 3 bis 7 nm, von 7 bis 15 nm und von 15 bis 30 nm, erste Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm sowie zweite Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 18 nm ± 5 nm und 28 nm ± 5 nm verwendet wurden und wobei die zwei Teilchen hinsichtlich der Dichtewerte variiert wurden.
Um die optimale Kombination aus der Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 sowie der Teilchengröße und der Dichte der ersten Teilchen 6 und der zweiten Teilchen 7 zu überprüfen, wurden magnetische Eigenschaften der verschiedenen Magnetbandproben überprüft.

Versuch 1

Beim vorliegenden Versuch wurde die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 auf 3 bis 7 nm eingestellt, während die Teilchengröße der zweiten Teilchen 7 auf 18 nm ± 5 nm eingestellt wurde, und es wurde die optimale Kombination aus der Teilchengröße und der Teilchendichte der ersten Teilchen überprüft.
Es wurden erste Magnetbandproben hergestellt, bei denen erste Teilchen 6 mit drei verschiedenen Teilchengrößen von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm hinsichtlich der Teilchendichte geändert wurden und Messungen zur Beziehung zwischen der Teilchendichte und den HF-Eigenschaften erfolgten. Die Beziehungen sind in der Fig. 2 dargestellt. Die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 7 nm eingestellt, wobei es sich um die Dicke handelt, die zur stärksten Beeinträchtigung des Ausgangssignals innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs führt.
Aus Fig. 2 ist erkennbar, dass unabhängig davon, welche Teilchengrößen für die ersten Teilchen 6 verwendet wurden, die HF-Eigenschaften bei einer Zunahme der Teilchendichte der ersten Teilchen 6 abnehmen. Auch verringern sich die HF-Eigenschaften mit einer Zunahme der Teilchengröße der verwendeten ersten Teilchen 6.
Es ist auch erkennbar, dass dann, wenn ein Ausgangssignal nicht unter 0 dB erzeugt werden soll, die Teilchendichte für Teilchengrößen der ersten Teil chen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm auf 7,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger, 6,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger bzw. 4,8 x 10&sup4;/mm² oder weniger eingestellt werden muss.
Andererseits wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte der ersten Teilchen 6 und der Anzahl von Durchläufen bis zu einem Verstopfen für die Magnetbandproben mit den oben beschriebenen drei verschiedenen Teilchengrößen überprüft. Die Ergebnisse sind in Fig. 3 dargestellt. Die Anzahl der Durchläufe bis zum Verstopfen ist die Anzahl von Durchläufen, bis das erste von fünf Decks ein Verstopfen erfährt, und die Dicke des Kohlenstoff- Schutzfilms 3 wurde auf 3 nm eingestellt, was diejenige Dicke ist, bei der die größte Tendenz für ein Verstopfen innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs besteht.
Aus Fig. 3 ist es erkennbar, dass unabhängig davon, welche Teilchengröße für die ersten Teilchen 6 verwendet wird, die Anzahl von Durchläufen bis zum Verstopfen umso größer ist, je höher die Teilchendichte ist. Wenn die Anzahl von Durchläufen auf 90 vorgegeben wird, ist es erforderlich, dass bei einer Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 om die Teilchendichte nicht kleiner als 3,0 x 10&sup4;/mm², nicht kleiner als 1,5 x 10&sup4;/mm² bzw. nicht kleiner als 1,2 x 10&sup4;/mm² ist.
So wurde herausgefunden, dass es zum Erzielen sowohl hervorragender elektromagnetischer Umsetzungseigenschaften als auch von Beständigkeit erforderlich ist, dass für eine Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 om ± 15 nm die Teilchendichte 3,0 bis 7,0 x 10&sup4;/mm², 1,5 bis 6,0 x 10&sup4;/mm² bzw. 1,2 bis 4,8 x 10&sup4;/mm² beträgt.
Wenn diese Ergebnisse in Verbindung mit der Beziehung zwischen der Teilchengröße der ersten Teilchen 6 und dem Absinken des Ausgangspegels ausgehend vom Idealzustand nach Betrieb für vier Stunden analysiert werden, zeigt es sich, dass bei Teilchen mit einer Teilchengröße von 95 om ± 15 nm sowie Teilchen mit einer Teilchengröße von 35 nm ± 15 nm das Absinken des Leistungspegels selbst innerhalb des obigen Bereichs der Teilchendichte deutlich ist, so dass dann, wenn die Untergrenze für das Absinken des Leistungspegels auf 2,25 dB vorgegeben wird, das Magnetband nicht verwendbar wird. Umgekehrt können, wenn Teilchen mit einer Teilchengröße von 65 nm ± 15 nm verwendet werden, ausreichende Eigenschaften innerhalb des obigen Bereichs der Teilchendichte erzielt werden. Es wird darauf hingewiesen, dass der Wert des Absinkens des Leistungspegels nicht von der Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 abhängt.
Aus dem Obigen ist es erkennbar, dass es dann, wenn zweite Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 18 nm ± 5 nm verwendet werden, bevorzugt ist, erste Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 65 nm ± 15 nm bei einer Teilchendichte von 1,5 bis 6,0 x 10&sup4;/mm² zu verwenden.
Für ein Magnetband, bei dem die zugehörigen ersten Teilchen 6 wie oben angegeben definiert waren, wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und den Standeigenschaften überprüft. Die Standeigenschaften sind als mittlere Zeit in Minuten definiert, bis ein Verstopfen in acht Magnetköpfen auftrat, während die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms auf ungefähr 3 nm eingestellt war, was der Wert ist, der hinsichtlich der Steheigenschaften innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs der schlechteste Wert ist.
Fig. 5 zeigt die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und den Steheigenschaften. Indessen sind die Ergebnisse in Fig. 5 zusammen mit Ergebnissen dargestellt, wie sie mit beim Versuch 2 verwendeten Proben erhalten wurden, bei dem die Teilchengröße der zweiten Teilchen 7 auf 28 nm eingestellt war. Die Daten für den vorliegenden Versuch in Fig. 5 sind diejenigen mit der Kennzeichnung 18.
Aus Fig. 5 ist es erkennbar, dass es zum Erzielen praktisch verwendbarer Standeigenschaften von nicht unter 100 Minuten erforderlich ist, dass die Dichte der zweiten Teilchen 7 nicht unter 500 x 10&sup4;/mm² beträgt.
Die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und HF- Eigenschaften ist durch eine Kurve a in Fig. 6 dargestellt. Die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 7 nm eingestellt, was derjenige Wert ist, der hinsichtlich der Steheigenschaften innerhalb des Bedingungebereichs des vorliegenden Versuchs dem schlechtesten Wert entspricht. Indessen kennzeichnen die Kurven b und c Daten zum Versuch 2.
Aus Fig. 6 ist es erkennbar, dass dann, wenn das Ausgangssignal mit HF- Eigenschaften 0 dB oder mehr ausmachen sollte, die Dichte der zweiten Teilchen 7 den Wert 4500 x 10&sup4;/mm² aufweisen sollte.
Demgemäß ist es erforderlich, wenn hervorragende elektromagnetische Umsetzungseigenschaften und hervorragende Beständigkeit gleichzeitig erzielt werden sollen, die Dichte der zweiten Teilchen 7 auf einen Wert von 500 bis 4500 x 10&sup4;/mm² einzustellen.
Aus den obigen Ergebnissen ist es erkennbar, dass durch Fixieren erster Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 65 ± 15 nm sowie zweiter Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 18 ± 5 nm mit Dichten von 1,5 x 10&sup4;/mm² bis 6, x 10&sup4;/mm² bzw. 500 x 10&sup4;/mm² bis 4500 x 10&sup4;/mm² zum Erzeugen von Vorsprüngen am unmagnetischen Substrat, und ferner durch Herstellen des Kohlenstoff-Schutzfilms auf der magnetischen Schicht mit einer Dicke von 3 nm bis 7 nm, ein Magnetband mit elektromagnetischen Umsetzungseigenschaften in gutem Gleichgewicht mit den Laufeigenschaften erzielt werden kann.

Versuch 2

Für Magnetbandproben, bei denen die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 auf 3 bis 7 nm eingestellt war, wie beim Versuch 1, und die Teilchengröße der zweiten Teilchen 7 auf 28 nm ± 5 nm eingestellt war, wurden die wünschenswerte Teilchengröße und die wünschenswerte Teilchendichte der ersten Teilchen überprüft.
So wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte und HF-Eigenschaften für Magnetbandproben überprüft, bei denen die Teilchendichte der ersten Teilchen 6 mit drei Teilchengrößenbereichen von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm geändert wurde. Die Ergebnisse sind in Fig. 7 dargestellt. Die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 7 nm eingestellt, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Wert der Steheigenschaften innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht.
Aus Fig. 7 ist es erkennbar, dass, unabhängig von der Größe der als erste Teilchen 6 verwendeten Teilchen, die HF-Eigenschaften umso geringer wurden, je höher die Teilchendichte der ersten Teilchen 6 war, und die HF-Eigenschaften umso geringer wurden, je größer die Teilchengröße der ersten Teilchen 6 war.
Es ist auch erkennbar, dass dann, wenn ein Ausgangssignal nicht unter 0 dB erwünscht ist, die Teilchendichte für eine Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm auf 6,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger, 5,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger bzw. 4,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger eingestellt werden muss.
Andererseits wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte der ersten Teilchen 6 und der Anzahl von Durchläufen bis zu einem Verstopfen für diese Magnetbandproben mit den oben angegebenen drei verschiedenen Teilchengrößen der ersten Teilchen 6 überprüft. Die Ergebnisse sind in Fig. 8 dargestellt. Die Anzahl der Durchläufe bis zum Verstopfen ist die Anzahl von Durchläufen, bis an einem ersten von fünf Decks ein Verstopfen auftrat, und die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 3 nm eingestellt, was diejenige Dicke ist, bei der innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs die größte Verstopfungstendenz besteht.
Aus Fig. 8 ist es erkennbar, dass, unabhängig von der für die ersten Teilchen 6 verwendeten Teilchengröße, die Anzahl von Durchläufen bis zum Verstopfen umso höher ist, je höher die Teilchendichte ist. Wenn die Anzahl von Durchläufen auf 90 vorgegeben wird, ist es für eine Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm erforderlich, dass die Teilchendichte nicht weniger als 2,0 x 10&sup4;/mm², nicht weniger als 1,1 x 10&sup4;/mm² bzw. nicht weniger als 1,0 x 10&sup4;/mm² beträgt.
So zeigte es sich, dass es zum Erzielen sowohl hervorragender elektromagnetischer Umsetzungseigenschaften als auch von Beständigkeit erforderlich ist, dass für eine Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm eine Teilchendichte von 2,0 bis 6,0 x 10&sup4;/mm², 1,1 bis 5,0 x 10&sup4;/mm² bzw. 1,0 bis 4,0 x 10&sup4;/mm² erforderlich ist.
Diese Ergebnisse wurden in Verbindung mit der Beziehung zwischen der Teilchendichte der ersten Teilchen 6 und dem Absinken des Ausgangspegels ausgehend vom Idealzustand überprüft, wie nach einem Bandlauf für vier Stunden erreicht, wie in Fig. 9 dargestellt.
So ist es erkennbar, dass dann, wenn erste Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 35 nm ± 15 nm verwendet werden, das Absinken des Ausgangspegels selbst innerhalb des obigen Bereichs von Teilchengrößen deutlich wird, und das sich ergebende Band wird unbrauchbar, wenn die Untergrenze des Absinkens des Ausgangspegels auf -2,25 dB vorgegeben wird. Umgekehrt kann, wenn erste Teilchen mit einem Teilchengrößenbereich von 65 nm ± 15 nm oder 95 nm ± 15 nm verwendet werden, ein ausreichender Ausgangspegel innerhalb des oben genannten Bereichs von Teilchendichten erzielt werden. Indessen hängt das Absinken des Ausgangspegels nicht von der Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 ab.
Aus dem Vorstehenden ist es erkennbar, dass es dann, wenn zweite Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 28 nm ± 5 nm verwendet werden, erwünscht ist, erste Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 65 nm ± 15 nm oder 95 nm ± 15 nm mit einer Teilchendichte von 1,1 bis 5,0 x 10&sup4;/mm² bzw. 1,0 bis 4,0 x 10&sup4;/mm² zu verwenden.
Für das Magnetband, dessen erste Teilchen 6 wie oben angegeben beschaffen waren, wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und den Steheigenschaften überprüft. Die Steheigenschaften sind als mittlere Zeit in Minuten bis zu einem Verstopfen in acht Magnetköpfen definiert, während die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 auf 3 nm eingestellt war, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Wert von Steheigenschaften innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht
Fig. 5 zeigt die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und den Steheigenschaften. Indessen sind die Ergebnisse in Fig. 5 zusammen mit den Ergebnissen dargestellt, wie sie für beim Versuch 1 verwendete Proben erhalten wurden, bei denen die Teilchengröße der zweiten Teilchen 7 aus 18 nm eingestellt waren. Die Daten zum vorliegenden Versuch sind in Fig. 5 diejenigen, die mit 28 nm gekennzeichnet sind.
Aus Fig. 5 ist es erkennbar, dass es zum Erzielen praktisch verwendbarer Steheigenschaften von nicht unter 100 nm erforderlich ist, dass die Dichte der zweiten Teilchen 7 nicht weniger als 400 x 10&sup4;/mm² beträgt. Es ist auch erkennbar, dass die vorliegende Probe hinsichtlich der Steheigenschaften derjenigen Probe überlegen ist, bei der die Teilchengröße der zweiten Teilchen 7 auf 18 nm eingestellt ist.
Fig. 6 zeigt auch die Beziehung zwischen der Dichte der zweiten Teilchen 7 und HF-Eigenschaften.
Die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und HF- Eigenschaften ist in Fig. 6 dargestellt. Die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 7 nm eingestellt, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Ausgangssignalwert innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht. Die obige Beziehung unter Verwendung erster Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 65 nm ± 15 nm ist durch eine Kurve b dargestellt, während diejenige unter Verwendung zweiter Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 95 nm ± 15 nm durch eine Kurve c in Fig. 6 dargestellt ist.
Aus Fig. 6 ist es erkennbar, dass zum Erzielen eines Ausgangssignals mit HF-Eigenschaften nicht unter 0 dB die Dichte der zweiten Teilchen 7 auf 4000 x 10&sup4;/mm² und 3500 x 10&sup4;/mm² für Teilchengrößen der ersten Teilchen 6 von 65 nm ± 15 nm bzw. 95 nm ± 15 nm eingestellt werden muss.
Demgemäß ist es erforderlich, wenn es erwünscht ist, zufriedenstellende elektromagnetische Umsetzungseigenschaften und hervorragende Beständigkeit gleichzeitig zu erzielen, die Dichte der zweiten Teilchen 7 auf 400 bis 4000 x 10&sup4;/mm² und auf 400 bis 3500 x 10&sup4;/mm² für Teilchengrößen der ersten Teilchen 6 von 65 nm ± 15 nm bzw. 95 nm ± 15 nm einzustellen.
In Fig. 6 sind durch eine Kurve a auch Daten dargestellt, die unter Verwendung zweiter Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 18 nm ± 5 nm beim obigen Versuch 1 erhalten wurden. Es ist erkennbar, dass die durch die Kurve a erhaltenen Daten hinsichtlich der HF-Eigenschaften den Daten geringfügig überlegen sind, wie sie unter Verwendung zweiter Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 28 nm ± 5 nm erhalten wurden, wie sie durch die Kurven b und c dargestellt sind.
Aus den obigen Ergebnissen ist es erkennbar, dass es durch Fixieren erster Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 65 nm ± 15 nm sowie zweiter Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 28 nm ± 5 nm mit Dichten von 1,1 x 10&sup4;/mm² bis 5,0 x 10&sup4;/mm² bzw. 400 x 10&sup4;/mm² bis 4000 x 10&sup4;/mm², oder durch Fixieren erster Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 95 nm ± 15 nm sowie zweiter Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 28 nm ± 5 nm mit Dichten von 1,0 x 10&sup4;/mm² bis 4,0 x 10&sup4;/mm² bzw. 400 x 10&sup4;/mm² bis 3500 x 10&sup4;/mm² zum Herstellen von Vorsprüngen am unmagnetischen Substrat, und ferner durch Herstellen des Kohlenstoff-Schutzfilms auf der magnetischen Schicht mit einer Dicke von 3 nm bis 7 nm möglich ist, ein Magnetband mit elektromagnetischen Umsetzungseigenschaften herzustellen, die in gutem Gleichgewicht mit den Laufeigenschaften stehen.

Versuch 3

Für Magnetbandproben, bei denen die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 auf 7 bis 15 nm eingestellt war und die Teilchengröße der zweiten Teilchen 7 auf 18 nm ± 5 nm eingestellt war, wurden die wünschenswerte Teilchengröße und die wünschenswerte Teilchendichte der ersten Teilchen überprüft. So wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte und HF-Eigenschaften für Magnetbandproben überprüft, bei denen die Teilchendichte der ersten Teilchen 6 mit drei Teilchengrößenbereichen von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm geändert wurde. Die Ergebnisse sind in Fig. 10 dargestellt. Die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 15 nm eingestellt, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Wert der Steheigenschaften innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht.
Aus Fig. 10 ist es erkennbar, dass, unabhängig von der Größe der als erste Teilchen 6 verwendeten Teilchen, die HF-Eigenschaften umso geringer wurden, je höher die Teilchendichte der ersten Teilchen 6 war, und die HF-Eigenschaften umso geringer wurden, je größer die Teilchengröße der ersten Teilchen 6 war.
Es ist auch erkennbar, dass dann, wenn ein Ausgangssignal nicht unter 0 dB erwünscht ist, die Teilchendichte für eine Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm auf 5,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger, 4,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger bzw. 2,8 x 10&sup4;/mm² oder weniger eingestellt werden muss.
Andererseits wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte der ersten Teilchen 6 und der Anzahl von Durchläufen bis zu einem Verstopfen für diese Magnetbandproben mit den oben angegebenen drei verschiedenen Teilchengrößen der ersten Teilchen 6 überprüft. Die Ergebnisse sind in Fig. 11 dargestellt. Die Anzahl der Durchläufe bis zum Verstopfen ist die Anzahl von Durchläufen, bis an einem ersten von fünf Decks ein Verstopfen auftrat, und die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 7 nm eingestellt, was diejenige Dicke ist, bei der innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs die größte Verstopfungstendenz besteht.
Aus Fig. 11 ist es erkennbar, dass, unabhängig von der für die ersten Teilchen 6 verwendeten Teilchengröße, die Anzahl von Durchläufen bis zum Verstopfen umso höher ist, je höher die Teilchendichte ist. Wenn die Untergrenze der Anzahl von Durchläufen auf 70 vorgegeben wird, ist es für eine Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm erforderlich, dass die Teilchendichte nicht weniger als 2,0 x 10&sup4;/mm², nicht weniger als 1,0 x 10&sup4;/mm² bzw. nicht weniger als 0,7 x 10&sup4;/mm² beträgt.
So zeigte es sich, dass es zum Erzielen sowohl hervorragender elektromagnetischer Umsetzungseigenschaften als auch von Beständigkeit erforderlich ist, dass für eine Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm eine Teilchendichte von 2,0 bis 5,0 x 10&sup4;/mm², 1,0 bis 4,0 x 10&sup4;/mm² bzw. 0,7 bis 2,8 x 10&sup4;/mm² erforderlich ist.
Diese Ergebnisse wurden in Verbindung mit der Beziehung zwischen der Teilchendichte der ersten Teilchen 6 und dem Absinken des Ausgangspegels ausgehend vom Idealzustand überprüft, wie nach einem Bandlauf für vier Stunden erreicht, wie in Fig. 12 dargestellt.
So ist es erkennbar, dass dann, wenn erste Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 35 nm ± 15 nm oder einer Teilchengröße von 95 ± 15 nm verwendet werden, das Absinken des Ausgangspegels selbst innerhalb des obigen Bereichs von Teilchengrößen deutlich wird, und das sich ergebende Band wird unbrauchbar, wenn die Untergrenze des Absinkens des Ausgangspegels auf -2,25 dB vorgegeben wird. Umgekehrt kann, wenn erste Teilchen 6 mit einem Teilchengrößenbereich von 65 nm ± 15 nm oder 95 nm ± 15 nm verwendet werden, ein ausreichender Ausgangspegel innerhalb des oben genannten Bereichs von Teilchendichten erzielt werden. Indessen hängt das Absinken des Ausgangspegels nicht von der Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 ab.
Aus dem Vorstehenden ist es erkennbar, dass es dann, wenn zweite Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 18 nm ± 5 nm verwendet werden, erwünscht ist, erste Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 65 nm ± 15 nm mit einer Teilchendichte von 1,0 bis 4,0 x 10&sup4;/mm² zu verwenden.
Für das Magnetband, dessen erste Teilchen 6 wie oben angegeben beschaffen waren, wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und den Steheigenschaften überprüft. Die Steheigenschaften sind als mittlere Zeit in Minuten bis zu einem Verstopfen in acht Magnetköpfen definiert, während die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 auf 7 nm eingestellt war, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Wert von Steheigenschaften innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht.
Die Ergebnisse sind in Fig. 13 dargestellt, aus der es erkennbar ist, dass es zum Erzielen praktisch verwendbarer Steheigenschaften von nicht weniger als 100 Minuten erforderlich ist, dass die Dichte der zweiten Teilchen 7 nicht weniger als 400 x 10&sup4;/mm² beträgt.
Die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und HF Eigenschaften ist in Fig. 14 dargestellt. Die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 15 nm eingestellt, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Ausgangssignalwert innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht. So ist es erkennbar, dass es zum Erzielen eines Ausgangssignals mit HF-Eigenschaften nicht unter 0 dB erforderlich ist, die Dichte der zweiten Teilchen 7 nicht über 2500 x 10&sup4;/mm² einzustellen.
Demgemäß muss die Dichte der zweiten Teilchen auf 400 bis 2500 x 10&sup4;/mm² eingestellt werden, wenn hohe elektromagnetische Umsetzungseigenschaften und hohe Beständigkeit gleichzeitig erzielt werden sollen.
Aus den obigen Ergebnissen ist es erkennbar, dass durch Fixieren erster Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 65 nm ± 15 nm sowie zweiter Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 18 nm ± 5 nm mit Dichten von 1,0 x 104/mm² bis 4,0 x 10&sup4;/mm² bzw. 400 x 10&sup4;/mm² bis 2500 x 10&sup4;/mm², um Vorsprünge am unmagnetischen Substrat zu erzeugen, und ferner durch Herstellen des Kohlenstoff-Schutzfilms auf der magnetischen Schicht mit einer Dicke von 7 nm bis 15 nm es möglich ist, ein Magnetband mit elektromagnetischen Umsetzungseigenschaften herzustellen, die in gutem Gleichgewicht mit den Laufeigenschaften stehen.

Versuch 4

Für Magnetbandproben, bei denen die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 auf 7 bis 15 nm eingestellt war und die Teilchengröße der zweiten Teilchen 7 auf 28 nm ± 5 nm eingestellt war, wurden die wünschenswerte Teilchengröße und die wünschenswerte Teilchendichte der ersten Teilchen überprüft. So wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte und HF-Eigenschaften für Magnetbandproben überprüft, bei denen die Teilchendichte der ersten Teilchen 6 mit drei Teilchengrößenbereichen von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm geändert wurde. Die Ergebnisse sind in Fig. 15 dargestellt. Die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 15 nm eingestellt, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Wert der Steheigenschaften innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht.
Aus Fig. 15 ist es erkennbar, dass, unabhängig davon, welche Teilchengrößen für die ersten Teilchen 6 verwendet werden, die HF-Eigenschaften mit einer Zunahme der Teilchendichte der ersten Teilchen 6 abnehmen. Auch nehmen die HF-Eigenschaften mit einer Zunahme der Teilchengröße der verwendeten ersten Teilchen 6 ab. Es ist auch erkennbar, dass dann, wenn ein Ausgangssignal nicht unter 0 dB erwünscht ist, die Teilchendichte für eine Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm auf 5,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger, 4,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger bzw. 2,8 x 10&sup4;/mm² oder weniger eingestellt werden muss.
Andererseits wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte der ersten Teilchen 6 und der Anzahl von Durchläufen bis zu einem Verstopfen für diese Magnetbandproben mit den oben angegebenen drei verschiedenen Teilchengrößen überprüft. Die Ergebnisse sind in Fig. 16 dargestellt. Die Anzahl der Durchläufe bis zum Verstopfen ist die Anzahl von Durchläufen, bis an einem ersten von fünf Decks ein Verstopfen auftrat, und die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 7 nm eingestellt, was diejenige Dicke ist, bei der innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs die größte Verstopfungstendenz besteht.
Aus Fig. 16 ist es erkennbar, dass, unabhängig von der für die ersten Teilchen 6 verwendeten Teilchengröße, die Anzahl von Durchläufen bis zum Verstopfen umso höher ist, je höher die Teilchendichte ist. Wenn die Anzahl von Durchläufen auf 70 vorgegeben wird, ist es für eine Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm erforderlich, dass die Teilchendichte nicht weniger als 2,0 x 10&sup4;/mm², nicht weniger als 1,0 x 10&sup4;/mm² bzw. nicht weniger als 0,7 x 10&sup4;/mm² beträgt.
Wenn diese Ergebnisse in Verbindung mit der Beziehung zwischen der Teilchendichte der ersten Teilchen 6, wie in Fig. 17 dargestellt, und dem Absinken des Ausgangspegels ausgehend vom Idealzustand, wie nach einem Laufen des Bands für vier Stunden erreicht, analysiert werden, ist es erkennbar, dass bei Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 35 nm ± 15 nm und Teilchen mit einer Teilchengröße von 65 nm ± 15 nm das Absinken des Leistungspegels selbst innerhalb des obigen Bereichs der Teilchendichten wesentlich ist, so dass dann, wenn die Untergrenze des Absinkens des Leistungspegels auf 2.25 dB eingestellt wird, die Magnetbänder unverwendbar sind. Umgekehrt können, wenn Teilchen mit einer Teilchengröße von 95 nm ± 15 nm verwendet werden, ausreichende Eigenschaften innerhalb des obigen Bereichs von Teilchendichten erzielt werden. Es wird darauf hingewiesen, dass der Wert des Absinkens des Leistungsniveaus nicht von der Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 abhängt.
Aus dem Vorstehenden ist es erkennbar, dass es dann, wenn zweite Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 28 nm ± 5 nm verwendet werden, erwünscht ist, erste Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 95 nm ± 15 nm mit einer Teilchendichte von 0,7 bis 2,8 x 10&sup4;/mm² zu verwenden.
Für das Magnetband, dessen erste Teilchen 6 wie oben angegeben beschaffen waren, wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und den Steheigenschaften überprüft. Die Steheigenschaften sind als mittlere Zeit in Minuten bis zu einem Verstopfen in acht Magnetköpfen definiert, während die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 auf 7 nm eingestellt war, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Wert von Steheigenschaften innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht.
Die Ergebnisse sind in Fig. 18 dargestellt, aus der es erkennbar ist, dass es zum Erzielen praktisch verwendbarer Steheigenschaften von nicht weniger als 100 Minuten erforderlich ist, dass die Dichte der zweiten Teilchen 7 nicht weniger als 400 x 10&sup4;/mm² beträgt.
Fig. 19 zeigt die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und HF-Eigenschaften. Die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 15 nm eingestellt, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Ausgangssignalwert innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht. So ist es erkennbar, dass es zum Erzielen eines Ausgangssignals mit HF-Eigenschaften nicht unter 0 dB erforderlich ist, die Dichte der zweiten Teilchen 7 nicht über 2000 x 10&sup4;/mm² einzustellen.
Demgemäß muss die Dichte der zweiten Teilchen auf 400 bis 2000 x 10&sup4;/mm² eingestellt werden, wenn hohe elektromagnetische Umsetzungseigenschaften und hohe Beständigkeit gleichzeitig erzielt werden sollen.
Aus den obigen Ergebnissen ist es erkennbar, dass durch Fixieren erster Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 95 nm ± 15 nm sowie zweiter Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 28 nm ± 5 nm mit Dichten von 0,7 x 10&sup4;/mm² bis 2,8 x 10&sup4;/mm² bzw. 400 x 10&sup4;/mm² bis 2000 x 10&sup4;/mm², um Vorsprünge am unmagnetischen Substrat zu erzeugen, und ferner durch Herstellen des Kohlenstoff-Schutzfilms auf der magnetischen Schicht mit einer Dicke von 7 nm bis 15 nm es möglich ist, ein Magnetband mit elektromagnetischen Umsetzungseigenschaften herzustellen, die in gutem Gleichgewicht mit den Laufeigenschaften stehen.

Versuch 5

Für Magnetbandproben, bei denen die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 auf 15 nm bis 30 nm eingestellt war und die Teilchengröße der zweiten Teilchen 7 auf 18 nm ± 5 nm eingestellt war, wurden die wünschenswerte Teilchengröße und die wünschenswerte Teilohendichte der ersten Teilchen überprüft.
So wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte und HF-Eigenschaften für Magnetbandproben überprüft, bei denen die Teilchendichte der ersten Teilchen 6 mit drei Teilchengrößenbereichen von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm geändert wurde. Die Ergebnisse sind in Fig. 20 dargestellt. Die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 30 nm eingestellt, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Wert der Steheigenschaften innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht.
Aus Fig. 20 ist es erkennbar, dass, unabhängig von der Größe der als erste Teilchen 6 verwendeten Teilchen, die HF-Eigenschaften umso geringer wurden, je höher die Teilchendichte der ersten Teilchen 6 war, und die HF-Eigenschaften umso geringer wurden, je größer die Teilchengröße der ersten Teilchen 6 war.
Es ist auch erkennbar, dass dann, wenn ein Ausgangssignal nicht unter 0 dB erwünscht ist, die Teilchendichte für eine Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm auf 4,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger, 3,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger bzw. 2,0 x 10&sup4;/mm² oder weniger eingestellt werden muss.
Andererseits wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte der ersten Teilchen 6 und der Anzahl von Durchläufen bis zu einem Verstopfen für diese Magnetbandproben mit den oben angegebenen drei verschiedenen Teilchengrößen der ersten Teilchen 6 überprüft. Die Ergebnisse sind in Fig. 21 dargestellt. Die Anzahl der Durchläufe bis zum Verstopfen ist die Anzahl von Durchläufen, bis an einem ersten von fünf Decks ein Verstopfen auftrat, und die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 15 nm eingestellt, was diejenige Dicke ist, bei der innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs die größte Verstopfungstendenz besteht.
Aus Fig. 21 ist es erkennbar, dass, unabhängig von der für die ersten Teilchen 6 verwendeten Teilchengröße, die Anzahl von Durchläufen bis zum Verstopfen umso höher ist, je höher die Teilchendichte ist. Wenn die Anzahl von Durchläufen auf 70 vorgegeben wird, ist es für eine Teilchengröße der ersten Teilchen 6 von 35 nm ± 15 nm, 65 nm ± 15 nm und 95 nm ± 15 nm erforderlich, dass die Teilchendichte nicht weniger als 2,0 x 10&sup4;/mm², nicht weniger als 1,0 x 10&sup4;/mm² bzw. nicht weniger als 0,7 x 10&sup4;/mm² beträgt.
Diese Ergebnisse wurden in Verbindung mit der Beziehung zwischen der Teilchendichte der ersten Teilchen 6 und dem Absinken des Ausgangspegels ausgehend vom Idealzustand überprüft, wie nach einem Bandlauf für vier Stunden erreicht, wie in Fig. 22 dargestellt.
So ist es erkennbar, dass dann, wenn erste Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 35 nm ± 15 nm oder einer Teilchengröße von 95 ± 15 nm verwendet werden, das Absinken des Ausgangspegels selbst innerhalb des obigen Bereichs von Teilchengrößen deutlich wird, und das sich ergebende Band wird unbrauchbar, wenn die Untergrenze des Absinkens des Ausgangspegels auf -2,25 dB vorgegeben wird. Umgekehrt kann, wenn erste Teilchen 6 mit einem Teilchengrößenbereich von 65 nm ± 15 nm oder 95 nm ± 15 nm verwendet werden, ein ausreichender Ausgangspegel innerhalb des oben genannten Bereichs von Teilchendichten erzielt werden. Indessen hängt das Absinken des Ausgangspegels nicht von der Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 ab.
Aus dem Vorstehenden ist es erkennbar, dass es dann, wenn zweite Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 18 nm ± 5 nm verwendet werden, erwünscht ist, erste Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 65 nm ± 15 nm mit einer Teilchendichte von 1,0 bis 3,0 x 10&sup4;/mm² zu verwenden.
Für das Magnetband, dessen erste Teilchen 6 wie oben angegeben beschaffen waren, wurde die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und den Steheigenschaften überprüft. Die Steheigenschaften sind als mittlere Zeit in Minuten bis zu einem Verstopfen in acht Magnetköpfen definiert, während die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 auf 15 nm eingestellt war, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Wert von Steheigenschaften innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht.
Die Ergebnisse sind in Fig. 23 dargestellt, aus der es erkennbar ist, dass es zum Erzielen praktisch verwendbarer Steheigenschaften von nicht weniger als 100 Minuten erforderlich ist, dass die Dichte der zweiten Teilchen 7 nicht weniger als 400 x 10&sup4;/mm² beträgt.
Fig. 24 zeigt die Beziehung zwischen der Teilchendichte der zweiten Teilchen 7 und HF-Eigenschaften. Die Dicke des Kohlenstoff-Schutzfilms 3 war auf 30 nm eingestellt, was derjenige Wert ist, der dem schlechtesten Ausgangssignalwert innerhalb des Bedingungsbereichs des vorliegenden Versuchs entspricht.
So ist es erkennbar, dass es zum Erzielen eines Ausgangssignals mit HF- Eigenschaften nicht unter 0 dB erforderlich ist, die Dichte der zweiten Teilchen 7 nicht über 2000 x 10&sup4;/mm² einzustellen.
So zeigte es sich, dass dann, wenn zufriedenstellende Umsetzungseigenschaften und hohe Beständigkeit gleichzeitig erzielt werden sollen, die Dichte der zweiten Teilchen 7 auf 400 bis 2000 x 10&sup4;/mm² oder weniger eingestellt werden muss.
Aus den obigen Ergebnissen ist es erkennbar, dass durch Fixieren erster Teilchen 6 mit einer Teilchengröße von 65 nm ± 15 nm sowie zweiter Teilchen 7 mit einer Teilchengröße von 18 nm ± 5 nm mit Dichten von 1,0 x 10&sup4;/mm² bis 3,0 x 10&sup4;/mm² bzw. 400 x 10&sup4;/mm² bis 2000 x 10&sup4;/mm², um Vorsprünge am unmagnetischen Substrat zu erzeugen, und ferner durch Herstellen des Kohlenstoff-Schutzfilms auf der magnetischen Schicht mit einer Dicke von 15 nm bis 30 nm es möglich ist, ein Magnetband mit elektromagnetischen Umsetzungseigenschaften herzustellen, die in gutem Gleichgewicht mit den Laufeigenschaften stehen.
Aus den obigen Versuchen 1 bis 5 ist es erkennbar, dass dann, wenn eine der folgenden sechs Bedingungen erfüllt ist, ein Magnetband mit elektromagnetischen Umsetzungseigenschaften in gutem Gleichgewicht mit den Laufeigenschaften erzielt werden kann.
Die erste Bedingung ist diejenige, dass der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke von 3 bis 7 nm aufweist, erste Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 65 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,5 x 10&sup4;/mm² bis 6,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind und zweite Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 18 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 500 x 10&sup4;/mm² bis 4500 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.
Die zweite Bedingung ist diejenige, dass der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke von 3 bis 7 mm aufweist, erste Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 65 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,1 x 10&sup4;/mm² bis 5,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind und zweite Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 28 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 4000 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.
Die dritte Bedingung ist diejenige, dass der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke von 3 bis 7 nm aufweist, erste Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 95 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer 10 Dichte von 1,0 x 10&sup4;/mm² bis 4,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind und zweite Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 28 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 3500 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.
Die vierte Bedingung ist diejenige, dass der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke von 7 bis 15 nm aufweist, erste Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 65 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,0 x 10&sup4;/mm² bis 4,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind und zweite Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 18 nm ± 5 nm an der Oberfläche des 20 Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 2500 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.
Die fünfte Bedingung ist diejenige, dass der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke von 7 bis 15 nm aufweist, erste Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 95 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 0,7 x 10&sup4;/mm² bis 2,8 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind und zweite Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 28 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 2000 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.
Die sechste Bedingung ist diejenige, dass der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke von 15 bis 30 nm aufweist, erste Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 65 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,0 x 10&sup4;/mm² bis 3,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind und zweite Oberflächenvorsprünge mit einer Höhe von 18 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 2000 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.
Aus dem Obigen ist es erkennbar, dass die Erfindung einen magnetischen Aufzeichnungsträger mit einer dünnen magnetischen Metallschicht und einer Kohlenstoff-Schutzschicht, die auf einem unmagnetischen Substrat ausgebildet sind, schafft, wobei zwei verschiedene Arten von Vorsprüngen mit verschiedenen Tiefen auf dem Kohlenstoff-Schutzfilm mit vorgegebener Dichte ausgebildet sind, um die Oberflächeneigenschaften des Aufzeichnungsträgers einzustellen, wodurch es möglich ist, zu verhindern, dass sich die elektromagnetischen Umsetzungseigenschaften des Aufzeichnungsträgers aufgrund von Beabstandungsverlusten verschlechtern, wodurch die Betriebsbeständigkeit verbessert ist.

Claims

1. Magnetischer Aufzeichnungsträger mit

- einem unmagnetischen Substrat,

- einer dünnen magnetischen Metallschicht, die auf dem unmagnetischen Substrat ausgebildet ist, und

- einem Kohlenstoff-Schutzfilm, der auf dem magnetischen Metalldünnfilm ausgebildet ist,

- wobei die Verbesserung darin liegt, dass

- der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 3 nm bis 30 nm aufweist,

- der Kohlenstoff-Schutzfilm erste Vorsprünge und zweite Vorsprünge mit jeweiligen voreingestellten Dichten aufweist,

- wobei die ersten Vorsprünge eine Höhe im Bereich von 65 nm ± 15 nm bis 95 nm ± 15 nm aufweisen, und

- wobei die zweiten Vorsprünge eine Höhe im Bereich von 18 nm ± 5 nm bis 28 nm ± 5 nm aufweisen, wobei die jeweiligen voreingestellten Dichten so festgelegt sind, dass ein vorgegebenes Ausgangssignal, eine vorgegebene Minimalanzahl von Durchläufen des Kopfs bis zum Auftreten einer Verstopfung, ein vorgegebenes minimales Absinken des Ausgangsleistungspegels und vorgegebene Standeigenschaften erzielt werden.

2. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, bei dem der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 3 nm bis 7 nm aufweist, die ersten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 65 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,5 x 10&sup4;/mm² bis 6,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind, und die zweiten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 18 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 500 x 10&sup4;/mm² bis 4500 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.

3. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, bei dem der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 3 nm bis 7 nm aufweist, die ersten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 65 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,1 x 10&sup4;/mm² bis 5,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind, und die zweiten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 28 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 4000 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.

4. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, bei dem der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 3 nm bis 7 nm aufweist, die ersten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 95 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,0 x 10&sup4;/mm² bis 4,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind, und die zweiten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 28 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x i0&sup4;/mm² bis 3500 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.

5. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, bei dem der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 7 nm bis 15 nm aufweist, die ersten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 65 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,0 x 10&sup4;/mm² bis 4,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind, und die zweiten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 18 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 2500 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.

6. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, bei dem der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 7 nm bis 15 nm aufweist, die ersten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 95 nm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 0,7 x 10&sup4;/mm² bis 2,8 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind, und die zweiten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 28 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 2000 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.

7. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, bei dem der Kohlenstoff-Schutzfilm eine Dicke im Bereich von 15 nm bis 30 nm aufweist, die ersten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 65 mm ± 15 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 1,0 x 10&sup4;/mm² bis 3,0 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind, und die zweiten Vorsprünge mit einer Höhe im Bereich von 18 nm ± 5 nm an der Oberfläche des Kohlenstoff-Schutzfilms mit einer Dichte von 400 x 10&sup4;/mm² bis 2000 x 10&sup4;/mm² ausgebildet sind.