DE69322290T2

DE69322290T2 - Verfahren und Vorrichtung zum Funkenerosionsbearbeiten

Info

Publication number: DE69322290T2
Application number: DE69322290T
Authority: DE
Inventors: Akihiro C/O Mitsubishi Denki K.K. Nagoya Nagoya-Shi Aichi 461 Goto; Yoshihito C/O Mitsubishi Denki K.K. Sangyo Amagasaki-Shi Hyogo 661 Imai; Yoshio C/O Mitsubishi Denki K.K. Nagoya Nagoya-Shi Aichi 461 Ozaki; Tatsushi C/O Mitsubishi Denki K.K. Sangyo Amagasaki-Shi Hyogo 661 Sato; Atsushi C/O Mitsubishi Denki K.K. Nagoya Nagoya-Shi Aichi 461 Taneda
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1992-01-07
Filing date: 1993-01-05
Publication date: 1999-05-20
Anticipated expiration: 2013-01-06
Also published as: DE69322290D1; DE69328443D1; EP0551091B1; DE69305187T2; US5496984A; DE69328443T2; EP0551091A1; DE69305187D1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

1. Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Funkenerosionsverfahren und eine Funkenerosionsvorrichtung.

2. Beschreibung der Hintergrundtechnik

Bei der Funkenerosion muß ein Bearbeitungszustand erfaßt und gesteuert werden, um die Beschädigung von Werkstückoberflächen, die durch die Erzeugung von Lichtbogenentladungen verursacht wird, zu vermeiden. In einer bekannten Funkenerosionsvorrichtung wurden eine Durchschnittsspannung und ein Strom in einem Bearbeitungsspalt, der durch eine einander gegenüberliegende Bearbeitungselektrode und ein Werkstück ausgebildet wird, erfaßt, und die Elektrodenposition wurde eingestellt, um den Bearbeitungszustand aufrechtzuerhalten. Da es jedoch schwierig ist, die Erzeugung von Lichtbogenentladungen nur durch Erfassen des Durchschnittsbearbeitungszustands des Bearbeitungsspalt zu vermeiden, wird das Werkstück unter Bearbeitungsbedingungen bearbeitet, die für eine sichere Bearbeitung eingestellt sind. Um die Bearbeitungsfunktion der Funkenerosionsvorrichtung zu verbessern, muß der Entladezustand bei jeder elektrischen Entladung erfaßt werden und der optimale Bearbeitungsstatus muß aufrecht erhalten werden.
Es ist bekannt, daß Hochfrequenzkomponenten eine Spannungswellenform, eine Stromwellenform und eine Spaltimpedanzewellenform während einer normalen Entladung überlagern, und sie überlagern diese nicht während einer fehlerhaften Entladung. Durch Verwenden dieses Prinzips ist eine Einrichtung zum Erfassen eines Entladezustandes bei jeder elektrischen Entladung entwickelt worden. Eine Einrichtung zum Trennen dieser Hochfrequenzkomponenten mit einem Hochpaßfilter und zum Beurteilen, ob eine Entladung normal oder fehlerhaft ist, ist z. B. in der japanischen offengelegten Patentveröffentlichung Nr. SHO47-13795 veröffentlicht.
Fig. 4 zeigt ein Beispiel solch einer herkömmlichen Funkenerosionsvorrichtung, in der die Ziffer 1 eine Energieversorgung für eine Bearbeitung anzeigt, 2 eine Elektrode bezeichnet, 3 ein Werkstück darstellt, 4 eine Nieder-Frequenz-Abschneideeinrichtung bezeichnet, z. B. einen Hochpaßfilter, 5 einen Gleichrichter bezeichnet, 35, 36 und 37 Schmidt-Schaltungen darstellen, die sich in der inversen Spannung voneinander unterscheiden, 38 bezeichnet einen Schalter und 7 bezeichnet eine Entladezustand- Anzeigeeinrichtung.
Die Funktionsweise wird nun beschrieben. Nur während die Energieversorgung für eine Bearbeitung 1 eine Spannung an einen Bearbeitungsspalt anlegt, bewirkt der Schalter 38, daß der Spannungswert des Bearbeitungsspalts durch den Hochpaßfilter 4 hindurchtritt. Die Ausgabe des Hochpaßfilters 4 wird durch den Gleichrichter 5 gleichgerichtet, an einer Vielzahl von Pegeln durch die Vielzahl von Schmidtschaltungen 35, 36, 37 segmentiert, und als ein Signal, das einen Entladezustand anzeigt, digital angezeigt.
In der herkömmlichen Funkenerosionsvorrichtung, die die zuvor beschriebene Funktionsweise aufweist, da die Ausgabe des Hochpaßfilters 4 fein um ungefähr 0V oszilliert, oszilliert die Ausgabe des Gleichrichters 5 fein zwischen 0V und einem maximalen Amplitudenwert. Entsprechend können sogar die Schmidt-Schaltungen nicht verhindern, daß die Entladezustand-Ausgabe häufige Änderungen macht und in der Tat kann der Entladezustand nicht genau bestimmt werden.
Ferner, wie die vorliegenden Erfinder herausfanden, traten Hochfrequenzkomponenten unmittelbar nach dem Start einer Entladung auf, unabhängig davon, ob die Entladung normal oder fehlerhaft ist. Somit würde die herkömmliche Funkenerosionsvorrichtung einen verschlechterten Entladezustand als normal betrachten, da der Entladezustand über eine gesamte Entladeperiode erfaßt wurde.
Ferner, wenn ein Kurzschluß an dem Bearbeitungsspalt auftritt, hängt die Menge der erzeugten Hochfrequenzkomponenten von dem Grad des Kurzschlusses ab. Die Verschlechterung des Entladezustandes und das Eintreten des Kurzschlusses sind im Wesen nach voneinander verschieden, und müssen unterschiedlich behandelt werden. Da der Entladezustand nur nach dem Betrag der Hochfrequenzkomponenten in der herkömmlichen Funkenerosionsvorrichtung beurteilt wird, wird jedoch der Entladezustand beurteilt und Bearbeitungsbedingungen werden unabhängig davon, ob ein Kurzschluß vorhanden ist oder nicht, gesteuert.
US 4,322,595 offenbart eine Vorrichtung zum Überwachen einer Funkenerosion, in der der Spannungsabfall über den Bearbeitungsspalt zwischen einer Elektrode und einem Werkstück mit zwei Referenzspannungspegeln verglichen wird. Der erste Referenzspannungspegel liegt unterhalb des Bereiches der Entladespannungspegel, und der zweite Referenzspannungspegel liegt oberhalb des Bereiches der Entladepegel. Entladeerfassungseinrichtungen erzeugen ein Entladeanzeigesignal nur dann, wenn der Spannungsabfall über den Bearbeitungsspalt zwischen den ersten und zweiten Referenzspannungspegel fällt. Deshalb wird ein Eintreten einer Entladung angenommen, wenn die Spaltspannung im wesentlichen oberhalb einer Kurzschluß-Spaltspannung aber im wesentlichen unterhalb einer offenen Lückenspannung liegt, was durch die Einstellung der zwei Referenzspannungspegel gewährleistet ist.
GB-A 62-88514 beschreibt eine Elektrodenzuführsteuerung für Funkenerosion, die eine elektrische Entladespannung erfaßt, sie korrigiert, und dann die korrigierte Spannung mit einer Standardspannung A vergleicht, um ein Differenzialsignal zu erzeugen, das dann für Elektrodenzuführ-Startanweisungen verwendet wird.
FR-A-2 099 228 beschreibt eine Funkenerfassungseinrichtung zur Verwendung in einer Funkenerosionsvorrichtung, die eine Spannung an dem Bearbeitungsspalt erfaßt und sie mit einer Referenzspannung Vref vergleicht.
Die im Stand der Technik offenbarten Einrichtungen vergleichen die an dem Bearbeitungsspalt erfaßte Spannung nur mit Referenzwerten oder Schwellwerten. Da die Spannungswellenform an dem Bearbeitungsspalt wertvolle Information enthält, die ein voraussehendes Phänomen anzeigt, daß eine Bearbeitung instabil wird, erscheint es, daß, wenn die an dem Bearbeitungsspalt erfaßte Spannung mit Referenzwerten wie in den oben beschriebenen Einrichtungen verglichen wird, die Information, die in der Wellenform der Spannung an dem Bearbeitungsspalt enthalten ist, verloren geht und ein Voraussehen des Bearbeitungszustands unmöglich wird.
Entsprechend ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung den Nachteil der herkömmlichen Technik zu überwinden, durch Bereitstellen einer Funkenerosionsvorrichtung und eines Verfahrens dafür, die das Erfassen eines instabilen Bearbeitungszustandes an einem frühen Zeitpunkt erlauben.
Diese Aufgabe der Erfindung wird durch eine Funkenerosionsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Die Funkenerosionsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung erkennt die Form der Entladespannung, Entladestrom oder Impedanz, um Störungen, die der Übergangscharakteristik der Nieder-Frequenz-Abschneideeinrichtung oder der Hoch- Frequenz-Abschneideeinrichtung zuzuordnen sind, zu eliminieren.
Weitere Ausführungsformen und Vorteile der vorliegenden Erfindung gehen aus den abhängigen Ansprüchen hervor.
Fig. 1 zeigt ein Blockdiagramm, das eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung darstellt.
Fig. 2 stellt den Prozeß eines Abtastens in der Erfindung dar.
Fig. 3 stellt Wellenformen der Entladespannung dar, die vorgesehen sind, um einen bevorzugte Ausführungsform der Erfindung weiter zu beschreiben.
Fig. 4 zeigt ein Anordnungsdiagramm einer bekannten Funkenerosionsvorrichtung.

Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen

Fig. 1 zeigt ein Anordnungsdiagramm einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung. In Fig. 1 bezeichnet 1 eine Energieversorgung für eine Bearbeitung, 2 bezeichnet eine Elektrode, 3 bezeichnet ein Werkstück, 100 stellt ein Erfassungskabel dar, 101 bezeichnet einen Dämpfer, 102 bezeichnet einen Analog-Digital-Umsetzer, der als Analog- Digital-Umsetzereinrichtung dient, 103 stellt eine Speichereinrichtung dar, 104 bezeichnet eine arithmetische Einrichtung (CPU), die als arithmetische Einrichtung dient, 105 bezeichnet einen Komparator (CPU), der als Vergleichseinrichtung dient, 106 bezeichnet einen Referenzwert oder einen Referenzstrukturgenerator, der als Referenzwert oder als Referenzstruktur-Erzeugungseinrichtung dient, 107 stellt einen Abtastzeitgenerator dar, 108 zeigt eine Abtastzeit Ts an, 109 stellt einen Speicheradreßgenerator dar, 110 bezeichnet einen Entladeerzeugungsdetektor, 111 bezeichnet Adreßbusse, 112 bezeichnet einen Datenbus der Speichereinrichtung und 113 bezeichnet ein Entladepuls Ton/Toff-Zeitsignal. Eine Funkenerosion wird im Allgemeinen im Dielektrikum durchgeführt, auf das in Fig. 1 verzichtet wurde.
Die Funktionsweise wird im folgenden beschrieben. Eine Entladespannung, die an dem Bearbeitungsspalt erzeugt wird, wird an den Dämpfer 101 über das Erfassungskabel 100 zugeführt und der Dämpfer 101 dämpft die Wellenform der Entladespannung auf zum Beispiel 1/10, d. h. dämpft die Eingabespannung von 100 V auf 10 V und gibt sie aus. Auf die Erfassung einer Entladung an dem Bearbeitungsspalt hin, gibt der Entladeerzeugungsdetektor 110 ein Signal aus. Auf das Empfangen diese Signals hin erzeugt der Abtastzeitgenerator 107 das Abtastzeitsignal 108 mit Zyklus Ts. Der Analog/Digital-Umwandler 102 tastet die Ausgabewellenform des Dämpfers 101 in Synchronisation mit dem Abtastzeitsignal 108 ab, und wandelt es in einen digitalen Wert um. Der Speicheradreßgenerator 109, der aus einem Zähler besteht, addiert nacheinander die Abtastzeitsignale 108 und erzeugt Speicheradressen (A0, A1 bis An). Fig. 2 stellt den Prozeß eines Abtastens dar, in der 114 eine Wellenform der Entladespannung bezeichnet, wobei die Zeitachse zum Vereinfachen des Verständnisses verlängert dargestellt ist. 115 bezeichnet Abtastpunkte P0, P1 bis Pn und Ts stellt einen Abtastzyklus dar. Wenn eine Schaltung angeordnet ist, so daß ein Bit des Analog/Digital-Umwandlers 102 gewichtet ist 0, V/1 Bit zu sein, wandelt der Analog/Digital-Umwandler 102 z. B. die Eingabe 10V des Umwandlers, d. h. die Entladespannung des Bearbeitungsspaltes, von 10V in den binären 8-Bit Digitalwert "1100100" um und gibt das Unwandlungsergebnis aus. Die Spannungswellenform wird pro Abtastzyklus Ts abgetastet und in einen digitalen Wert umgewandelt, und Daten Dn an dem Abtastpunkt Pn werden in Adresse An der Speichereinrichtung 103 gespeichert.
Die Direktstromkomponente der Entladespannung kann durch Va = (D0 + D1 + .... + Dn)/n dargestellt werden, unter der Annahme, daß Va der Summenmittelwert der digitalen Werte D0 bis Dn an den Abtastpunkten P0 bis Pn zum Zeitpunkt eines Eintretens einer Entladung ist. Hochfrequenzkomponenten an den Abtastpunkten P0 bis Pn können durch die Absolutwerte der Differenzen zwischen Digitalwerten D0 bis Dn und Va dargestellt werden, D0 - Va , D1 - Va , ...., Dn - Va , und der Mittelwert Vb der Hochfrequenzkomponenten kann durch Vb = ( D0 - Va + D1 - Va + .. + Dn - Va )/n dargestellt werden.
Auf ein Erfassen des Starts einer Entlade-Stop-Zeit Toff von dem Entladepuls-Ton/Toff-Zeitsignal 113 hin, verarbeitet die arithmetische Einrichtung 104 den Summenmittelwert Va der digitalen Werte D0 bis Dn und dem Mittelwert Vb der Hochfrequenzkomponenten, unter Verwendung digitaler Werte D0 bis Dn, die in der Speichereinrichtung 103 gespeichert sind. Der Komparator 105 beurteilt den Bearbeitungszustand durch Vergleichen von Daten mit dem Referenzwertgenerator oder Referenzstrukturgenerator 106. Auf die Annahme hin, daß Va1 der Referenzwert der Direktstromkomponente ist und Vb1 der Referenzwert der Hochfrequenzkomponenten ist, bestimmt der Komparator 105, daß der Bearbeitungszustand stabil ist, wenn die Direktstromkomponente Va größer als ihr Referenzwert Va1 ist, und der Bearbeitungszustand ist instabil, wenn Va kleiner als Va1 ist, und daß der Bearbeitungszustand stabil ist, wenn der Mittelwert Vb der Hochfrequenzkomponenten größer als sein Referenzwert Vb1 ist, und der Bearbeitungszustand ist instabil, wenn Vb kleiner als Vb1 ist.
Selbstverständlich kann die arithmetische Einrichtung 104 und die Vergleichsbeurteilungeinrichtung 105, die in der Ausführungsform durch verschiedene CPUs gebildet wird, auch durch eine einzelne CPU gebildet werden. Die Betriebsbearbeitung und die Vergleichsbearbeitung werden während der Entlade-Stop-Zeit durchgeführt. Auf ein Erfassen eines Eintretens einer Entladung an einem nächsten Puls hin, werden die Umwandlungsbearbeitung und die Speicherbearbeitung des nächsten Pulses wie in den vorhergegangenen Bearbeitungen durchgeführt. Da die Betriebsbearbeitung und die Vergleichsbearbeitung des vorherigen Pulses geendet haben während einer Entlade-Stop- Zeit, braucht die Speichereinrichtung 103 jedoch nicht fortzufahren, um Daten D0 bis Dn des vorangegangenen Pulses zu speichern und kann die Daten des nächsten Pulses in den Speicher überschreiben, und die Speicherkapazität ist ausreichend, wenn die Daten eines Pulses gespeichert werden können, was eine Vorrichtung mit minimaler Speicherkapazität schafft.
Während der einfache Summenmittelwert für den Betrieb der Direktstromkomponente in der Ausführungsform verwendet wurde, kann auch ein allgemeiner Ausdruck n-ten Grades, wie beispielsweise ein Ausdruck ersten Grades, der z. B. durch Va(t) = c1 · t + c2 dargestellt wird, verwendet werden. In diesem Fall ist der Mittelwert Vb der Hochfrequenzkomponenten durch Vb = ( D0 - Va(t) + .. + Dn - Va (t) )/n dargestellt.
Ferner wurden die Spannungswerte über die gesamte Zeitdauer der Entladung zum Berechnen in der Ausführungsform verwendet, und können auch durch die Spannungswerte innerhalb einer Wunschzeitdauer der Entladung ersetzt werden, je nachdem wie es benötigt wird. Ferner, während die Berechnung durch den Computer und das Softwareprogramm in der Ausführungsform gesteuert wurde, ist es selbstverständlich, daß eine ähnliche digitale Berechnung durch eine logische Hardwareschaltung ganz oder teilweise erreicht werden kann. Des weiteren, während die Entladespannung direkt einer Analog/Digital-Umwandlung in der Ausführungsform unterzogen wurde, ist es offensichtlich, daß die Analog/Digital-Umwandlung gemacht werden kann und das zur Berechnung verwendete Ergebnis nach der Bearbeitungsspaltspannung an den Hochpaßfilter, eine Resonanzschaltung etc. geführt worden ist, und die Wechselstromkomponenten oder Hochfrequenzkomponenten einer gewünschten Frequenz geholt werden.
Fig. 3 zeigt Wellenformen der Entladespannung zum Beschreiben der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, wobei die Hochfrequenzkomponenten der Entladespannungswellenform 48-A verteilt sind, um größer in dem anfänglichen Zustand einer Entladepuls-Ton-Zeit zu sein, und um kleiner im Endzustand zu sein. Diese Spannungswellenform stellt wertvolle Information dar, die ein voraussehendes Phänomen, das die Bearbeitung instabil wird, anzeigt. Wenn der Durchschnittswert der Hochfrequenzkomponenten weiterverarbeitet wird und mit dem Referenzwert in dieser Ausführungsform verglichen wird, geht jedoch die Information über die Änderung solch einer Verteilung verloren. Somit führt arithmetische Einrichtung 104 eine Weiterverarbeitung durch und gibt den Durchschnittswert der Hochfrequenzkomponente in der vorliegenden Ausführungsform aus, und erkennt zur gleichen Zeit Strukturen, in denen die Hochfrequenzkomponenten allmählich, wie in der Wellenform 48-A gezeigt, abnehmen, oder nehmen allmählich, wie in Wellenform 48-B gezeigt, zu, und gibt das Ergebnis aus. Die Vergleichsbeurteilungseinrichtung 105 vergleicht eine Struktur mit den Referenzstrukturen (Strukturen A, B etc.) und beurteilt Struktur A als einen voraussehenden Zustand, das der Bearbeitungszustand instabil wird, und der Struktur B als einen stabilen Bearbeitungszustand.
Während die Erfassung von Hochfrequenzkomponenten in einer Wellenform der Entladespannung in einer der Ausführungsformen beschrieben wurde, ist es offensichtlich, daß sie auch auf eine Wellenform eines Entladestromes, auf eine Bearbeitungsspalt-Impedanzewellenform etc. anwendbar sind.
In der Zwischenzeit ist es auf dem Gebiet der Funkenerosion bekannt, daß elektrische Entladecharakteristika von den elektrischen Bedingungen abhängen, die an der.
Energieversorgung für eine Bearbeitung eingestellt sind, wie beispielsweise die Pulsbreite, die Stop-Zeit und der Entlade-Spitzenwert, und Bearbeitungsbedingungen von einer nicht dargestellten Bearbeitungsbedingungs- Einstelleinrichtung (z. B. das Material und die Größe der Elektrode, der Dielektrizitätstyp, die Zeit zu der das Dielektrikum zuletzt geändert wurde, der Zyklus einer Elektrode hoch/runter, die Servospannung und der dielektrische Druck), und daß die Hochfrequenzkomponenten der Entladespannungswellenform, die an dem Bearbeitungsspalt erfaßt werden, unterschiedliche Amplituden oder Frequenzen aufweisen, abhängend von dergleichen.
Dementsprechend können in der oben beschriebenen Ausführungsform die Hochfrequenzamplitudenmeßparameter, wie beispielsweise der Vergleichsreferenzwert des Komparators basierend auf den elektrischen Bedingungen, die an der Energieversorgung für eine Bearbeitung, den Bearbeitungsbedingungen von der Bearbeitungsbedingungs- Einstelleinrichtung und dergleichen geändert werden. In diesem Fall kann die Ausführungsform auf einen weiten Bereich der Bearbeitungsbedingungen reagieren.
Es ist ersichtlich, daß die oben detailliert dargelegte Erfindung ein Funkenerosionsverfahren und eine Vorrichtung dafür bereitstellt, welche einen Funkenerosionszustand genau erfaßt, verhindert, daß kontinuierliche Funken in einem Bearbeitungsspalt erzeugt werden, verhindert, daß eine Elektrode oder ein Werkstück beschädigt wird, und die Bearbeitungseffizienz deutlich verbessert.
Es ist ebenso ersichtlich, daß die vorliegende Erfindung ferner eine Funkenerosionsvorrichtung schafft, die eine stabile Bearbeitung bietet und einen Elektrodenverbrauch minimiert.
Die gesamte Offenbarung jeder der ausländischen Patentanmeldungen, von denen der Nutzen einer ausländischen Priorität in der vorliegenden Anmeldung beansprucht worden ist, ist hierin durch Referenz enthalten, so als ob sie vollständig dargelegt wäre.

Claims

1. Eine Funkenerosionsvorrichtung, umfassend:

- Analog/Digital-Umwandlereinrichtungen (102) zum Abtasten eines Entladestromes, Spannung- oder Impedanzewellenform, die zwischen einer Elektrode (2) und einem Werkstück (3) erfaßt werden, um eine Umwandlung von analogen Werten in digitale Werte (D&sub0; - Dn) durchzuführen

- arithmetische Einrichtungen (107) zum Weiterverarbeiten von Hochfrequenzkomponenten oder Direktstromkomponenten, unter Verwendung der digitalen Werte (D&sub0; - Dn), die durch die Analog/Digital-Umwandlereinrichtung (102) gegeben sind; und

- Vergleichseinrichtungen (105) zum Vergleichen der Ausgabe der arithmetischen Einrichtungen mit einem Referenzentladestrom, Spannung- oder Impedanzwellenform (A, B).

2. Eine Funkenerosionsvorrichtung nach Anspruch 1, ferner umfassend

- Dämpfungseinrichtungen (101) zum Dämpfen des Entladestromes, Spannung- oder Impedanzwellenform, die zwischen einer Elektrode (2) und einem Werkstück (3) erfaßt werden,

- eine Energieversorgung für eine Bearbeitung (1) zum Durchführen einer Funkenerosion durch Erzeugen von Pulsentladungen an einem Bearbeitungsspalt, der durch eine Bearbeitungselektrode (2) und ein Werkstück (3) gebildet wird,

- einen Entladeerzeugungsdetektor (110), der ein Ausgabesignal basierend auf der Erfassung einer Entladung an dem Bearbeitungsspalt erzeugt,

- ein Abtastzeitgenerator (107), der ein Abtastzeitsignal (108) erzeugt,

- ein Speicheradreßgenerator (109), der Speicheradressen (A0, A1 bis An) erzeugt,

- eine Speichereinrichtung (103) zum Speichern der digitalen Werte (D&sub0; - Dn),

- einen Referenzstrukturgenerator (106) zum Erzeugen des Referenzentladestromes, Spannung- oder Impedanzwellenform.

3. Ein Funkenerosionsverfahren umfassend die folgenden Schritte:

- Abtasten eines Entladestromes, Spannung- oder Impedanzwellenform, die zwischen einer Elektrode (2) und einem Werkstück (3) erfaßt werden, um eine Umwandlung von analogen Werten in digitale Werte (D&sub0; - Dn) durchzuführen;

- Weiterverarbeiten von Hochfrequenzkomponenten oder Direktstromkomponenten, unter Verwendung der digitalen Werte (D&sub0; - Dn);

- Vergleichen der Hochfrequenzkomponenten oder Direktstromkomponenten, die weiterverarbeitet worden sind mit einem Referenzentladestrom, Spannung- oder Impedanzwellenform (A, B).

4. Ein Funkenerosionsverfahren nach Anspruch 3, ferner umfassend die folgenden Schritte:

- Erzeugen von Pulsentladungen an einem Bearbeitungsspalt, der durch eine Bearbeitungselektrode (2) und ein Werkstück (3) gebildet wird;

- Erzeugen eines Ausgabesignales basierend auf der Erfassung einer Entladung an dem Bearbeitungsspalt mittels eines Entladeerzeugungsdetektors (110);

- Erzeugen eines Abtastzeitsignals (108);

- Erzeugen von Speicheradressen (A0, A1 bis An);

- Speichern der digitalen Werte (D&sub0; - Dn);

- Erzeugen des Referenzentladestromes, Spannung- oder Impedanzwellenformen (A, B).