DE69109213T2

DE69109213T2 - Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen.

Info

Publication number: DE69109213T2
Application number: DE69109213T
Authority: DE
Inventors: Hideo Wako-Shi Saitama Hirose
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1990-08-31
Filing date: 1991-08-19
Publication date: 1995-09-28
Anticipated expiration: 2011-08-20
Also published as: JPH04112498A; EP0474011B1; DE69109213D1; EP0474011A2; JP2576278B2; EP0474011A3; US5151928A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen durch Bestrahlen eines Targets bzw. einer Auftreffplatte mit einem Laserstrahl unter Erzeugung eines Plasmas zur Emission von Röntgenstrahlen. Das Verfahren und die Vorrichtung können bei Röntgen-Lasern, Röntgen-Lithographie, Röntgen-Mikroskopie, Röntgen-photoelektronenspektroskopischer Mikroskopie usw. verwendet werden.
Bei diesem Typ einer Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen wird ein ebenes oder zylindrisches Element aus einem Metall-Feststoff als ein Target verwendet, auf das ein Laser- Strahl unter Erzeugung eines Plasmas mit hoher Dichte projiziert wird, das frei expandiert, und die in dem frei expandierenden Plasma erzeugten Röntgen-Strahlen werden der Vorrichtung entnommen.
Die vorstehende mit einem Target aus Metall-Feststoff ausgestattete Vorrichtung hat den Nachteil, daß, da das Plasma mit hoher Dichte, das auf der Target-Oberfläche erzeugt wird, sich sofort in das das Target umgebende Vakuum verteilt, die Effizienz der Röntgen-Strahl-Erzeugung nicht vergrößert werden kann.
Aus EP-A-0181193 ist ein Röntgen-Strahlgenerator bekannt, bei dem sich eine Cassette mit einem Metallband innerhalb eines Vakuumeinschlusses befindet. Ein Laser-Strahl wird auf den Film eingestrahlt, wodurch ein Plasma erzeugt wird, dessen Röntgen-Strahlen auf ein Target gerichtet werden. Der Metallfilm wird um zusätzliche Mengen verschoben, wenn er aufgebraucht ist.
Demgemäß ist es wesentliche Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgen-Strahlen zur Verfügung zu stellen, wobei deren Effizienz bei der Erzeugung von Röntgen-Strahlen vergrößert wird, indem das durch Auftreffen des Laserstrahls auf einem Target erzeugte Plasma eingeschlossen wird.
Um die vorstehende Aufgabe zu lösen, umfaßt erfindungsgemäß das Target einen ersten Film, hergestellt aus einem Metall-Feststoff, und einen zweiten Film, der aus einem für Röntgenstrahlen transparenten Material hergestellt ist und auf einer oberfläche des ersten Films darüberliegt. Ein Zwischenraum wird zwischen einem Teil des Metallfilms und einem entsprechenden Teil des für Röntgen-Strahlen transparenten Films gebildet, und ein Laserstrahl wird auf den Teil des Metallfilms, der dem Zwischenraum entspricht, projiziert. Der Laserstrahl, der auf die Oberfläche des Metallfilms trifft, erzeugt ein Plasma, das in dem Zwischenraum zwischen den zwei Filmen für eine bestimmte Zeitdauer eingeschlossen ist, so daß, auch wenn diese sehr kurz ist, der Laserstrahl und das Plasma miteinander für eine längere Zeitdauer als sonst wechselwirken, wodurch die Effizienz der Röntgen-strahl-Erzeugung erhöht wird.
Fig. 1 ist ein schematischer Plan einer Ausführungsform der Erfindung;
Figuren 2(a), (b) und (c) sind vergrößerte Querschnitte, die schematisch verschiedene Zustände des in Figur 1 gezeigten Targets, wenn es mit einem Laserstrahl beschossen wird, zeigen;
Figuren 3(a) und (b) sind Ansichten, ähnlich Figur 2(b), die aber unterschiedliche Ausführungsformen der Erfindung zeigen; und
Fig. 4 ist ein schematischer Querschnitt des Targets gemäß einer weiteren unterschiedlichen Ausführungsform der Erfindung.
In Fig. 1 ist ein Vakuumgehäuse 1 gezeigt, in dem eine Target- Bandcassette 5 bereitgestellt ist. Die Cassette 5 umfaßt ein Paar seitlicher Kammern 5L und 5R, die in einem geeigneten Abstand voneinander entfernt liegen, und eine Mittelkammer 5M, die als Überbrückung dient und mit den seitlichen Kammern 5L und 5R in Verbindung steht.
Die Cassette 5 enthält ein Target, das in der Form eines Doppelschicht-Bands T gemäß der Ausführungsform der Figuren 1 und 2 vorliegt. Das Target-Band T ist auf eine Zuführspule 5S, die drehbar in einer der Kammern, wie in 5R gehalten wird, aufgewickelt und wird von der Spule 5S abgespult, wobei es flach durch die Mittelkammer 5M verläuft, so daß es auf eine Aufnahme-Spule 5T, die drehbar in der gegenüberliegenden Kammer 5L gehalten wird, gewickelt wird. Das Doppelschicht-Band T umfaßt ein erstes kontinuierliches, bestandteilbildendes Band 2, hergestellt aus einem geeigneten Metall wie Al, Au oder Ti, und ein zweites kontinuierliches, bestandteilbildendes Band 3, das aus einem geeigneten Material wie Polyimid, das hoch transparent für Röntgen-Strahlen ist, hergestellt ist und auf dem Metallband 2 darüberliegt.
Eine Öffnung 50a ist in einer Wand 51a der Mittelkammer 5M der Cassette 5 gebildet und eine entsprechende Öffnung 50b ist in der dieser Wand gegenüberliegenden Wand 51b gebildet.
In der Mittelkammer 5M der Cassette 5 sind ein Paar parallele Abstandshalter-Stangen SR und SL, die zwischen den zwei bestandteilbildenden Bändern 2 und 3 des Doppelschicht-Bands T dazwischengeschoben sind, und zwei Paar Führungsrollen GR und GL, zwischen denen das Band T hindurchgeleitet wird, bereitgestellt. Die zwei Abstandshalter-Stangen SR und SL erstrecken sich in Breitenrichtung des Bands T und sind in Längenrichtung des Bands T einen geeigneten Abstand voneinander entfernt, so daß die Abstandshalter-Stangen SR und SL die zwei bestandteilbildenden Bänder 2 und 3 unter Bildung eines Zwischenraums A dazwischen getrennt halten. Die Aostandshalter-Stangen SR und SL haben solch einen Durchmesser, daß der gebildete Zwischenraum A ungefähr 1 mm hoch oder dick ist. Da das Band 2 satzweise longitudinal zugeführt wird, wie später beschrieben wird, wird sukzessive ein neuer Zwischenraum A zwischen den zwei bestandteilbildenden Bändern 2 und 3 gebildet. Das Metallband 2 kann beispielsweise 5 mm breit und 10 bis 100 µm dick sein, während das Polyimid-Band 3 beispielsweise 5 mm breit und 1 µm dick sein kann.
In den Zeichnungen sind die Größen der Bänder 2 und 3, der Abstandshalter-Stangen SR und SL und der anderen Elemente nicht genau, sondern der Bequemlichkeit und der Einfachheit der Veranschaulichung wegen übertrieben gezeigt.
Eine Öffnung 1a ist in einer seitlichen Wand des Vakuumgehäuses 1 gebildet, und eine entsprechende Öffnung 1b ist in der dieser Wand gegenüberliegenden Seitenwand gebildet. Eine konvexe Linse 8a ist luftdicht in die Öffnung 1a eingepaßt, und eine Platte 8b, hergestellt aus einem für Röntgen-Strahlen transparenten Material, ist luftdicht in die Öffnung 1b eingepaßt.
Außerhalb des Vakuumgehäuses 1 ist eine Laser-Quelle 4 angrenzend an die Linse 8a bereitgestellt. Die Positionen der Laser-Quelle 4, der Linse 8a und der Platte 8b von Gehäuse 1 und der Öffnungen 50a und 50b der Mittelkammer 5M der Cassette 5 sind so bestimmt, daß der Laserstrahl B von der Quelle 4 in das Vakuumgehäuse 1 durch die Linse 8a und die Öffnung 50a der Mittelkammer 5M der Cassette 5 eintritt und auf das an den Zwischenraum A angrenzende Metallband 2 fokussiert wird, und daß die erzeugten Röntgen-Strahlen durch die gegenüberliegende Öffnung 50b der Mittelkammer 5M hindurchgehen, wobei sie aus dem Vakuumgehäuse 1 durch die Platte 8b austreten.
Zwischen der Öffnung 50b der Mittelkammer 5M der Cassette 5 und der Platte 8b des Vakuumgehäuses 1 ist ein Hochgeschwindigkeits-Verschluß 6 bereitgestellt, zwischen dem und der Platte 8b ferner eine Röntgen-Strahlen-Optik 7, um parallel gerichtete Röntgen-Strahlen zu erhalten, vorgesehen ist.
Angrenzend an die Öffnung 50a der Mittelkammer 5M der Cassette 5 ist ein Röntgen-Strahlen-Sensor 9 bereitgestellt, dessen Ausgangssignal an eine Verschluß-Steuerung 6a angelegt wird, die die Arbeitsweise des Hochgeschwindigkeits-Verschluß 6 in Wechselwirkung mit dem Ausgangssignal von dem Sensor 9 steuert, wie nachstehend im Detail beschrieben wird.
Jedesmal, wenn die Laser-Quelle 4 einen Laser-Puls erzeugt, arbeitet die Cassetten-Steuerung 5c, indem sie die Cassette 5 steuert, daß das Band T um eine vorbestimmte Länge wie 2 oder 3 mm vorgeschoben wird.
Die Arbeitsweise der Vorrichtung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Figuren 2(a) bis 2(c) beschrieben. Wie in Fig. 2(a) gezeigt, wird, wenn ein Laserstrahl B auf das Metallband 2 fokussiert wird, das Metall von dem bestrahlten Fleck auf dem Band unter Erzeugung eines Plasmas mit hoher Temperatur und hoher Dichte verdampft, von dem sehr helle Röntgen-Strahlen radial emittiert werden. Ein Teil der emittierten Röntgen-Strahlen geht durch den dann geöffneten Verschluß 6 und die Röntgen-Strahloptik 7, wobei sie aus dem Vakuumgehäuse 1 durch die für Röntgen-Strahlen durchlässige Platte 8b austreten.
Das durch das Auftreffen des Laser-Strahls auf dem Metallband 2 erzeugte Plasma ist in dem Zwischenraum A zwischen dem Metallband 2 und dem Polyimidband 3 eingeschlossen, auch wenn nur für eine kurze Zeitdauer, beispielsweise in der Größenordnung von Nanosekunden, so daß der Laserstrahl und das Plasma miteinander für eine längere Zeitdauer als sonst wechselwirken, mit sich daraus ergebender Verbesserung der Effizienz der Erzeugung von Röntgen-Strahlen. Die Plasmateilchen stoßen mit dem Polyimid-Band zusammen, so daß die kinetische Energie der Teilchen, das heißt, ihre Geschwindigkeit verringert wird, mit dem sich ergebenden Vorteil, daß es einfach wird, die gestreuten Teilchen zu steuern und sie darauffolgend durch Verwendung einer Vakuumpumpe zu sammeln.
Das Polyimidband 3 muß so dünn wie möglich sein, z. B. weniger als 1 µm dick, um zu gewährleisten, daß eine möglichst große Menge Röntgen-Strahlen durch das Polyimidband durchgelassen wird. Der Druck des in dem Zwischenraum A durch Auftreffen von Laser-Strahlen erzeugten Plasmas mit hoher Dichte bewirkt die Bildung eines Lochs h in dem Polyimidband 3, wie in Fig. 2(c) gezeigt, und die Plasmateilchen gehen durch das Loch h hindurch und neigen dazu, bis zur Röntgen-Strahlen-Optik und/oder zur für Röntgen-Strahlen durchlässigen Platte 8b zu fliegen, wobei sie daran anhaften.
Um Einschluß des Plasmas in dem Zwischenraum A so lange wie möglich zu ermöglichen, ist die Zeit von dem Auftreffen des Laser-Strahls auf dem Metallband 2 bis zur Bildung des Lochs h in dem Polyimidband 3 vorzugsweise länger als die Pulsbreite des von der Quelle 4 emittierten Laserstrahls.
Der Hochgeschwindigkeits-Verschluß 6 ist vor der Röntgen- Strahloptik 7 angeordnet, um den ungünstigen Einfluß des vorstehend erwähnten Lochs h in dem Polyimidband 3 zu verringern. Die Verschluß-Steuerung 6a steuert den Hochgeschwindigkeits- Verschluß 6 in solch einer Weise, daß der Verschluß 6 normalerweise offen ist und nach Ablauf einer vorbestimmten Zeitdauer, z. B. 0,1 msek nach Nachweis von Röntgen-Strahlen durch den Röntgen-Strahlen-Sensor 9, für eine vorbestimmte Zeitdauer geschlossen wird. Man nimmt an, daß der Hochgeschwindigkeits-Verschluß 6 in einem Abstand von 10 cm entfernt von der Position, an der Röntgen-Strahlen erzeugt werden, angeordnet ist, und daß die Anfangsgeschwindigkeit der Plasmateilchen von 10&sup4; m/sek auf 10³ m/sek aufgrund von Zusammenstößen mit dem Polyimidband verringert wird. Es dauert ungefähr 0,1 msek, bis die Teilchen durch das Loch h fliegen um den Verschluß 6 zu erreichen. Daher können, wenn der Verschluß 6 nach Ablauf von 0,1 msek nach Erzeugung der Röntgen-Strahlen geschlossen wird, die Röntgen-Strahlen durch den Verschluß 6 durchgehen, solange er offen bleibt, aber die Teilchen werden durch den geschlossenen Verschluß 6 blockiert, wodurch verhindert wird, daß die Röntgen-Strahloptik 7 und/oder die für Röntgenstrahlen durchlässige Platte 8b mit den Teilchen befleckt wird.
Der Verschluß 6 kann nach Ablauf von 0,1 msek, nachdem die Laser-Quelle 4 einen Puls eines Laser-Strahls erzeugt hat, geschlossen werden.
Gemäß der vorstehenden Ausführungsform wird durch eine Las erstrahldosis ein Loch von 0,1 bis 1 mm Durchmesser sowohl in dem Metallband 2 als auch in dem Polyimidband 3 gebildet. Durch Zuführen des Bands T in einer Länge von 2 bis 3 mm nach Bestrahlung mit jedem Laserpuls ist es möglich, sukzessive eine neue Fläche des Bands dem Brennpunkt des Laserstrahls zuzuführen, wodurch Röntgen-Strahlen kontinuierlich für eine lange Zeitdauer erzeugt werden.
Wenn das ganze Band T in der Cassette aufgebraucht worden ist, kann es gegen eine neue Cassette durch ein simples und einfaches Verfahren ausgetauscht werden. Dies ist ein praktischer Vorteil.
Die Einschlußzeit des Plasmas kann verlängert werden, indem eine für infrarote Strahlung transparente Platte 10 mit der vorderen Oberfläche des Metallbands 2 vor dem Zwischenraum A, wie in Fig. 3(a) gezeigt, in Kontakt gebracht wird. Selbst wenn ein Loch h in dem Metallband 2 durch Auftreffen des Laser-Strahls auf dem Metallband gebildet wird, hilft die Platte 10, das Loch zu schließen, wenn auch für eine kurze Zeitdauer, wodurch das erzeugte Plasma in dem Zwischenraum A für eine längere Zeitdauer als gemäß der Ausführungsform nach Fig. 2a eingeschlossen ist. Die Platte 10 kann mehrere Millimeter dick sein und wird fest gehalten, bei verschiebbarem Kontakt zwischen dem Metallband 2 und der Platte 10, wenn das Band T bewegt wird.
Anstelle des Doppelschicht-Bands T kann auch ein Dreifachschicht-Band T', wie in Fig 3(b) gezeigt, verwendet werden. Das Band T' umfaßt ein Metallband 2, ein Polyimidband 3 an einer Oberfläche des Metallbands 2 und ein Hilfs-Band 11, ungefähr 1 mm dick und aus einem geeigneten, für Infrarot-Strahlung transparenten Material wie Mylar hergestellt, an der entgegengesetzten Oberfläche des Metallbands 2. Die Dreifachschicht-Struktur hilft, die Einschlußzeit des Plasmas in dem Zwischenraum A zu verlängern.
Das Metallband kann einen einzelnen Film, der aus einer oder mehreren Metallsorten hergestellt ist, oder eine Vielzahl von Filmen, die jeweils aus einer oder mehreren Metallsorten hergestellt sind, umfassen.
In den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen sind die abstandsbildenden Stangen SR und SL zwischen dem Metallband 2 und dem Polyimidband 3 dazwischengeschoben, so daß sie sicher einen Zwischenraum A zwischen diesen Bändern bilden. In Fig. 4 wird das Band T, das ein Metallband 2 und ein Polyimidband 3, das einfach darüberliegt, umfaßt, ohne eine dazwischengeschobene, zwischenraumbildende Einrichtung verwendet. Bei Auftreffen eines Laserstrahls B auf dem Metallband 2 werden alle zwischen dem Metallband 2 und dem Polyimidband 3 eingefangenen Blasen durch die durch das Auftreffen des Laser-Strahls verursachte Wärme expandiert, wodurch ein Zwischenraum zwischen den zwei Bändern gebildet wird, mit sich ergebendem Einschluß des erzeugten Plasmas in dem Zwischenraum, wie gemäß vorstehender Ausführungsformen.
Gemäß der vorstehenden Ausführungsformen ist der Hochgeschwindigkeits-Verschluß 6 vor der Röntgen-Strahloptik 7 angeordnet, so daß verhindert wird, daß die gestreuten Teilchen von dem Plasma die Optik 7 beflecken. In einer Vorrichtung, die nicht mit Röntgen-optischen Elementen ausgestattet ist und bei der wenig Rücksicht auf Beflecken der für Röntgen-Strahlen durchlässigen Platte des Vakuumgehäuses genommen werden muß, muß solch ein Hochgeschwindigkeits-Verschluß nicht bereitgestellt sein.
Gemäß der Erfindung wird auf mindestens einer Oberfläche eines Metallfilms ein für Röntgen-Strahlen transparenter Film zur Verfügung gestellt, wobei ein Zwischenraum zwischen den gegenüberliegenden Teilen der zwei Filme dazwischenliegt, und ein Laserstrahl wird auf den Metallfilm an der Position, die dem Zwischenraum entspricht, projiziert, so daß es möglich ist, das durch das Auftreffen des Laser-Strahls auf dem Metallfilm erzeugte Plasma in dem Zwischenraum bei einer hohen Temperatur und Dichte einzuschließen, wenn auch für eine kurze Zeitdauer, wodurch die Effizienz der Erzeugung von Röntgen-Strahlen erhöht wird. Es ist auch möglich, die Plasmateilchen leicht zu steuern, wodurch die Effizienz des Auffangens von gestreuten Teilchen durch eine Vakuumpumpe gesteigert wird.
Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgen-Strahlen durch Auftreffen von Laser-Strahlen auf einem Target in einem Vakuum-Einschluß unter Erzeugung von Plasma, wobei das Target einen ersten Film, hergestellt aus einem geeigneten Metall, und einen zweiten Film, der aus einem für Röntgen-Strahlen durchlässigen Material hergestellt ist und auf einer Oberfläche des Metallfilms darüberliegt, umfaßt, und wobei ein Zwischenraum zwischen gegenüberliegenden Teilen des ersten und zweiten Films gebildet wird, ein Laser-Strahl auf den Teil des Metallfilms, der dem Zwischenraum entspricht, projiziert wird, so daß Plasma erzeugt wird und in dem Raum für eine längere Zeit als sonst eingeschlossen ist, wodurch die Effizienz der Erzeugung von Röntgen-Strahlen gesteigert wird.

Claims

1. Verfahren zur Erzeugung von Röntgen-Strahlen, umfassend:

a) Bereitstellen eines Targets (5) in einem Vakuum-Einschluß (1), wobei das Target (5) einen ersten Film (2), hergestellt aus einem Metall, und einen zweiten Film (3), der aus einem für Röntgen-Strahlen transparenten Material hergestellt ist und auf einer Oberfläche des Metallfilms (2) darüberliegt, umfaßt;

b) Bildung eines Zwischenraums (A) zwischen gegenüberliegenden Teilen des ersten (2) und des zweiten (3) Films; und

(c) Bestrahlen des Teils des ersten Films (2), der dem Zwischenraum (A) entspricht, mit einem Laser-Strahl (B) unter Erzeugung eines Plasmas zur Emission von Röntgen-Strahlen in dem Zwischenraum.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der erste Film in Form eines ersten kontinuierlichen, bestandteilbildenden Bands und der zweite Film in Form eines zweiten kontinuierlichen, bestandteilbildenden Bands, das auf einer Oberfläche des ersten bestandteilbildenden Bands unter Bildung eines Doppelschicht-Bands darüberliegt, vorliegt.

3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei das erste kontinuierliche, bestandteilbildende Band einen einzelnen Film, hergestellt aus mindestens einer Metallsorte, die aus einer Gruppe augewählt ist, die aus Al, Au und Ti besteht, umfaßt und das zweite kontinuierliche, bestandteilbildende Band einen Film, hergestellt aus Polyimid umfaßt.

4. Verfahren nach Anspruch 2, wobei das erste kontinuierliche, bestandteilbildende Band eine Vielzahl von Filmen, hergestellt jeweils aus mindestens einer Metallsorte, die aus einer Gruppe ausgewählt ist, die aus Al, Au und Ti besteht, umfaßt und das zweite kontinuierliche, bestandteilbildende Band einen Film, hergestellt aus Polyimid, umfaßt.

5. Verfahren nach Anspruch 2, wobei das Target ferner ein drittes kontinuierliches, bestandteilbildendes Band enthält, das einen Film umfaßt, der aus einem für Infrarot-Strahlung transparenten Material hergestellt ist und auf der Oberfläche des ersten kontinuierlichen, bestandteilbildenden Bands darüberliegt, die der gegenüberliegt, auf der das zweite kontinuierliche, bestandteilbildende Band darüberliegt, so daß das erste, zweite und dritte kontinuierliche, bestandteilbildende Band ein Dreischicht-Band bilden.

6. Verfahren nach Anspruch 1, ferner umfassend:

d) Bereitstellen einer Platte, die aus einem für Infrarotstrahlung transparenten Material hergestellt ist, an der Seite des ersten Films, die der einen Oberfläche des ersten Films gegenüberliegt, und mit dem Teil des ersten Films in Kontakt, der dem Zwischenraum entspricht.

7. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Zwischenraum durch zwischenraumbildende Einrichtungen, die zwischen dem ersten und zweiten Film dazwischengeschoben sind, gebildet wird.

8. Verfahren nach Anspruch 2, wobei der Laser-Strahl gepulst ist und das Doppelschicht-Band longitudinal satzweise nach Erzeugung von jedem Puls des Laserstrahls zugeführt wird, so daß kontinuierlich Röntgen-strahlen erzeugt werden.

9. Verfahren nach Anspruch 5, wobei der Laserstrahl gepulst ist und das Dreifachschicht-Band longitudinal satzweise nach Erzeugung von jedem Puls des Laserstrahls zugeführt wird, so daß kontinuierlich Röntgen-Strahlen erzeugt werden.

10. Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgen-Strahlen, umfassend:

a) ein Vakuum-Gehäuse (1), ausgestattet mit einem ersten Fenster (1a) und einem zweiten Fenster (1b);

b) eine Target-Cassette (5), eingeschlossen in das Vakuumgehäuse (1) und umschließend ein Targetband (T), das auf eine Zuführspule (55) aufgewickelt ist, so daß es von der Zuführspule abgespult wird und für eine vorbestimmte Länge eben verläuft, so daß es auf eine Aufnahmespule (5T) aufgewickelt wird, wobei das Targetband (T) ein erstes kontinuierliches, bestandteilbildendes Band, hergestellt aus einem Metall (2), und ein zweites kontinuierliches, bestandteilbildendes Band (3), das aus einem für Röntgen-Strahlen transparenten Material hergestellt ist und auf einer Oberfläche des ersten bestandteilbildenden Band (2) darüberliegt, umfaßt;

c) zwischen das erste und zweite kontinuierliche, bestandteilbildende Band (2, 3) in den flach verlaufenden Bereichen der Bänder dazwischengeschobene Einrichtungen (SL, SR, GL, GR), um das erste und das zweite bestandteilbildende Band (2, 3) unter Ausbildung eines Zwischenraums (A) zwischen den Bändern zu trennen;

d) eine Laser-Quelle (4), angrenzend an das erste Fenster (1a) des Vakuumgehäuses (1) bereitgestellt, zur Erzeugung eines Laserstrahls (B), der durch das erste Fenster (1a) zu projizieren ist, wobei er auf den flach verlaufenden Bereich des ersten bestandteilbildenden Metallbands (2), der dem Zwischenraum (A) entspricht, auftrifft, wodurch Plasma und Röntgen-Strahlen in dem Zwischenraum (A) erzeugt werden;

e) optische Einrichtungen (7) für Röntgen-Strahlen, die zwischen der Targetband-Cassette (5) und dem zweiten Fenster (1b) des Vakuumgehäuses (1) bereitgestellt sind, um die Röntgen-Strahlen zu lenken, so daß sie aus dem Vakuumgehäuse (1) durch das zweite Fenster (1b) austreten; und

f) Einrichtungen (5c), um die Targetband-Cassette (5) zu steuern, wobei das Targetband (T) um eine vorbestimte Länge nach dem Auftreffen des Laserstrahls nachgeführt wird.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, ferner umfassend:

g) einen Verschluß, bereitgestellt zwischen der Targetband- Cassette und den optischen Einrichtungen für Röntgen-Strahlen; und

h) Steuereinrichtungen, um den Verschluß zu schließen, um zu verhindern, daß die Plasmateilchen die optischen Einrichtungen für Röntgen-Strahlen und das zweite Fenster des Vakuumgehäuses erreichen.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, wobei die Steuereinrichtung wirkt, indem sie den Verschluß eine vorbestimmte Zeitdauer nach Emission eines Laserstrahls durch die Laser-Quelle für eine vorbestimmte Zeitdauer schließt.

13. Vorrichtung nach Anspruch 11, wobei die Steuereinrichtung wirkt, indem sie den Verschluß eine vorbestimmte Zeitdauer nach Erzeugung von Röntgen-Strahlen für eine vorbestimmte Zeitdauer schließt.

14. Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei das erste kontinuierliche, bestandteilbildende Band einen einzelnen Film, hergestellt aus mindestens einer Metallsorte, die aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Al, Au und Ti besteht, umfaßt, und das zweite kontinuierliche, bestandteilbildende Band einen Film, hergestellt aus Polyimid, umfaßt.

15. Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei das erste kontinuierliche, bestandteilbildende Band eine Vielzahl von Filmen, hergestellt jeweils aus mindestens einer Metallsorte, die aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Al, Au und Ti besteht, umf aßt, und das zweite kontinuierliche, bestandteilbildende Band einen Film, hergestellt aus Polyimid, umfaßt.

16. Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei das Targetband ferner ein drittes kontinuierliches, bestandteilbildendes Band umfaßt, das aus einem für Infrarot-Strahlung transparentem Material hergestellt ist und auf der Oberfläche des ersten kontinuierlichen, bestandteilbildenden Bands darüberliegt, die der gegenüberliegt, auf der das zweite kontinuierliche, bestandteilbildende Band darüberliegt, so daß das erste, zweite und dritte bestandteilbildende Band ein Dreischicht-Band bilden.

17. Vorrichtung nach Anspruch 10, ferner umfassend:

i) eine Platte, hergestellt aus einem für Infrarot-Strahlung transparenten Material, bereitgestellt an der Seite des ersten Film, die der einen Oberfläche des ersten Films gegenüberliegt und in Kontakt mit dem Teil des ersten Films ist, der dem Zwischenraum entspricht.