DE69009260T2 - Wassergekühlte Niederdruckgasentladungslampe. - Google Patents

Description

• Die vorliegende Erfindung betrifft Niederdruckquecksilberdampf-Gasentladungslampen und befaßt sich insbesondere mit der Kühlung solcher Lampen.
• Photochemische Dampfabscheidung (photochemical vapor deposition, photo-CVD) verwendet Strahlung zur photochemischen Induktion der Abscheidung dünner Beläge auf verschiedenen Substraten. Die Technik ist dank der verhältnismäßig niedrigen Temperaturen, bei denen die Abscheidung durchgeführt werden kann, besonders verbreitet. Photo-CVD kann verwendet werden, um dünne Filme ausgewählter Materialien auf einer Vielzahl von unterschiedlichen Substraten, wie Kunststoffen, Metallen, Glas und zusammengesetztem Material abzuscheiden. Dieses Verfahren ist besonders geeignet zur Behandlung zahlreicher Substrate, wie Kunststoffe, die nicht die hohen Temperaturen aushalten können, die im allgemeinen bei konventionelleren thermischen Dampfabscheidungstechniken erforderlich sind.
• Ultraviolette (UV) Strahlung im Wellenlängenbereich von 180 um (Nanometer) bis 260 um wird allgemein in vielen Photo-CVD-Verfahren zur Induktion der photochemischen Reaktionen verwendet. Diese UV-Strahlung wird typischerweise von Niederdruckquecksilberdampflampen geliefert, weil sie oft die billigste und praktischste verfügbare Lichtquelle sind, die imstande ist, Strahlung im gewünschten Wellenlängenbereich zu liefern.
• Quecksilberdampf hat Emissionslinien bei 185 um und 254 nm. Diese Linien übertragen einen hohen Prozentsatz der von einem elektrischen Lichtbogen im Quecksilberdampf emittierten Lichtenergie, solange die Temperatur unterhalb von etwa 60 ºC bis 70 ºC gehalten wird. Bei höheren Temperaturen kommt es zu einer Verschiebung in der Emission des Dampfes zu längeren, weniger energiereichen Wellenlängen. Diese niedrigeren Energieemissionen sind für viele Photo-CVD-Reaktionen nicht geeignet. Demnach ist es wichtig, daß die Temperatur der Quecksilberdampflampe unter 70 ºC gehalten wird.
• Die Kühlung von Niederdruckquecksilberlampen hat eine Anzahl von Problemen mit sich gebracht, weil sogar während des Betriebs mit niedriger Leistungsdichte eine beträchtliche Menge an Wärme erzeugt wird. Dieses Problem wird infolge der zugeführten Wärme, die erzeugt wird, wenn die Leistungsdichte auf Niveaus erhöht wird, die für viele Photo-CVD-Verfahren notwendig sind, stark vergrößert.
• Eine gewöhnliche Niederdruckquecksilberdampflampe wird in Figur 1 mit 10 gezeigt. Die Lampe 10 schließt ein kreisförmiges Rohr 12, das im allgemeinen aus Quarz besteht, ein. Das Rohr 12 ist mit genügend Quecksilberdampf gefüllt, um einen Maximaldruck von etwa 2 10³ Pa bis 50 10³ Pa (20 bis 500 Millibar) zu erzeugen. Elektroden 14 und 16 liefern den elektrischen Strom oder Lichtbogen durch den Dampf zur Erzeugung der gewünschten UV-Entladung. Ein Aufteiler 18 wird üblicherweise innerhalb der Röhre angebracht, um die Lichtbogenlänge auszudehnen, ohne die gesamte Rohrlänge zu vergrößern.
• Mehrere verschiedene Kühlsysteme wurden verwendet, um Lampen wie die in Figur 1 gezeigte zu kühlen. Beispielweise wird oftmals Luftgebläsekühlung verwendet, und sie gewährleistet ausreichende Kühlung für den Betrieb bei geringer Leistungsdichte. Bedauerlicherweise reicht Luftgebläsekühlung im allgemeinen nicht aus, um Quecksilberdampflampen, die bei hohen Leistungsdichten betrieben werden, zu kühlen. Gewöhnlich ist Wasserkühlung oder irgendeine andere Form von Flüssigkeitskühlung erforderlich, um Hochleistungslampen kühl genug zu halten.
• Kühlwassermäntel, die das Lampenrohr vollständig umgeben, gewährleisten hinreichende Kühlung. Wasser absorbiert jedoch die hochenergetischen Wellenlängen, die für Photo- CVD-Verfahren erforderlich sind.
• Es ist versucht worden, einen Flüssigkeitskühlmantel bereitzustellen, der die Elektrodenkammer umgibt, beispielsweise in der in Figur 1 mit 20 gezeigten Art, wobei das Wasser bei 19 in den Mantel einströmt und bei 21 ausströmt. Der Wassermantel gewährleistet jedoch keine hinreichende Kühlung des Quecksilberdampfes am gegenüberliegenden Ende der Lampe. Außerdem macht die Verwendung eines Wassermantels 20 um den unteren Teil von Lampe 10 den voluminösten Teil der Lampe noch voluminöser.
• EP-A-0 239 374 offenbart eine Lampe zur Erzeugung ultravioletter Strahlung. Diese Lampe ist von gestreckter Form und die Elektroden an den gegenüberliegenden Enden der Lampe werden durch Bereitstellen einer Einfassung um die Elektroden gekühlt.
• Wie aus dem Vorstehenden hervorgeht, besteht gegenwärtig ein Bedarf zur Verbesserung des Kühlsystems von Niederdruckquecksilberdampf- oder Gasentladungslampen, um optimale Kühlung zu gewährleisten, ohne die Fähigkeit der Lampe, hochenergetisches UV-Licht oder andere Strahlung zu erzeugen, negativ zu beeinflussen.
• Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Niederdruckgas- oder Quecksilberdampflampe offenbart, die ein wirksames und einfaches Flüssigkeitskühlsystem aufweist, das es der Lampe ermöglicht, maximale Strahlungsemission bei hohen Energiedichten zu erzeugen.
• Die vorliegende Erfindung beruht auf einer flüssigkeitsgekühlten Niederdruckgas- oder Quecksilberdampflampe, die eine Lampenröhre umfaßt, die eine innerhalb der Lampenröhre angebrachte Wand aufweist, die sich durch die ganze Länge der Lampenröhre erstreckt und die Lampenröhre in eine Entladungskammer und ein Kühlungskammer unterteilt. Kühlungszuflußöffnungen und -abflußöffnungen werden bereitgestellt, so daß Kühlflüssigkeit zum Abtransport der Wärme, die in der Entladungskammer während des Betriebs der Niederdruckgas- oder Quecksilberlampe erzeugt wird, durch die Kühlungkammer geschickt werden kann. Elektroden zur Erzeugung eines Entladungsbogens durch den Quecksilberdampf werden bereitgestellt.
• Die zentrale Wand, die die Kühlungskammer von der Entladungskammer trennt, gewährleistet einen großen Oberflächenbereich für wirksamen Wärmetransport. Die vorliegende Erfindung verwendet ein Kühlsystem, um die Lampenröhre und ihren Gasinhalt gerade in dem Teil der Lampe, wo die nutzbringende Strahlung emittiert wird, kühl zu halten. Die Erfindung erzeugt jedoch keinen Vorhang aus Wasser, der UV-Strahlung daran hindern könnte, das Substrat zu erreichen. Stattdessen gewährleistet sie hochenergetische Strahlung über einen Bereich von 180º. Dies ermöglicht der Lampe, bei Leistungssdichten zu arbeiten, die mindestens die dreifache UV-Energiedichte der bekannten luftgekühlten Lampen emittieren. Dies ermöglicht, daß die Photo-CVD- Abscheidungsrate, die man bei der vorliegenden Erfindung beobachtet, mindestens das Dreifache der Rate beträgt, die man gegenwärtig bei den luftgekühlten Lampen beobachtet.
• Eine große Formvielfalt kann bei der vorliegenden Erfindung genutzt werden, weil das Kühlsystem jeder beliebig geformten Röhre leicht angepaßt werden kann. Daher wird die Kühlungskammer, ungeachtet dessen, ob die Lampenröhre gerade oder gewunden ist, einen maximalen Kühleffekt gewährleisten. Zusätzlich können, wenn Strahlung über 360º gebraucht wird, Ausführungsformen mit mehreren Lampen Strahlung über 360º - entweder nach innen oder nach außen - liefern.
• Die vorstehend diskutierten und viele andere Merkmale und damit verbundene Vorteile der vorliegenden Erfindung werden einleuchten, wenn man die Erfindung unter Berücksichtigung der folgenden ausführlichen Beschreibung - wenn diese in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen betrachtet wird - besser versteht.
• In den beigefügten Zeichnungen zeigt:
• Fig. 1 eine seitliche Ansicht einer herkömmlichen Quecksilberentladungslampe,
• Fig. 2 eine seitliche Ansicht der ersten bevorzugten, als Beispiel dienenden, wassergekühlten Niederdruckgas- oder Quecksilberlampe der vorliegenden Erfindung,
• Fig. 3 eine End-Schnittansicht der ersten bevorzugten, als Beispiel dienenden, wassergekühlten Niederdruckgas- oder Quecksilberlampe der vorliegenden Erfindung, in der III-III-Ebene von Figur 2 gesehen,
• Fig. 4 eine seitliche Ansicht der zweiten bevorzugten, als Beispiel dienenden, wassergekühlten Niederdruckgas- oder Quecksilberlampe der vorliegenden Erfindung,
• Fig. 5 eine seitliche Ansicht eines der Lampenelemente einer dritten bevorzugten, als Beispiel dienenden, wassergekühlten Niederdruckgas- oder Quecksilberlampe der vorliegenden Erfindung,
• Fig. 6 eine Draufsicht der dritten bevorzugten, als Beispiel dienenden, wassergekühlten Niederdruckgas- oder Quecksilberlampe der vorliegenden Erfindung.
• Fig. 7 eine Schnittansicht des unteren Teils eines der Lampenelemente der dritten bevorzugten, als Beispiel dienenden, wassergekühlten Niederdruckgas- oder Quecksilberlampe der vorliegenden Erfindung, in der VII-VII-Ebene von Figur 5 gesehen.
• Eine erste bevorzugte, als Beispiel dienende Ausführungsform einer Quecksilberdampflampe gemäß der vorliegenden Erfindung wird von 22 in Figur 2 gezeigt. Die Gasoder Quecksilberdampflampe 22 umfaßt eine Lampenröhre 24, die vorzugsweise gestreckt ist. Die äußere Begrenzung der Lampenröhre 24 ist vorzugsweise rund, kann aber jede beliebige Gestalt haben, einschließlich eines Quadrats, eines Rechtecks oder eines Dreiecks. Wie in den Figuren 2 und 3 gezeigt, unterteilt eine Wand 26 die Röhre 24 in eine Quecksilberdampfentladungskammer 28 und eine abgetrennte Kühlungskammer 30. Obwohl diese Wand 26, wie in Figur 3 gezeigt, vorzugsweise in der Mitte der Lampenröhre 24 angeordnet ist, kann sie auch außermittig angebracht sein, so daß die Quecksilberdampfentladungskammer 28 und die Kühlungskammer 30 nicht von gleicher Größe sind. Zusätzlich besteht die Lampenröhre 24 vorzugsweise aus Quarz, kann aber auch aus anderem Material, das zur Verwendung in einer Niederdruckquecksilberdamplampe geeignet ist, wie ein UV- durchlässiges Glas, hergestellt sein. Wahlweise besteht die Lampenröhre 24 aus einem Material, das mit anderen Gasen als Quecksilberdampf, die in Entladungslampen verwendet werden können, verträglich ist.
• In der bevorzugten Ausführungsform besteht die Wand 26 vorzugweise aus Quarz oder aus dem gleichen Material wie die Lampenröhre 24, so lange das Material, das die Wand 26 bildet, wärmeleitend und elektrisch isolierend ist. Die Wand 24 kann aus anderen wärmeleitenden, elektrisch isolierenden Materialien bestehen, die mit dem Röhrenmaterial verträglich sind, wie vakuumdichte Keramik. Wenn erwünscht, kann die Wand 26 mit wärmeleitenden Partikeln imprägniert sein, um den Wärmetransport aus der Entladungskammer 28 zur Kühlungskammer 30 zu steigern. Es können beliebige geeignete Materialien verwendet werden, solange sie mit den Lampenröhrenmaterialien und mit Quecksilberdampf oder anderen verwendeten Gasen verträglich sind.
• Elektroden, in Figur 2 mit 31 und 32 gezeigt, sind herkömmliche Elektroden, die als Mittel zur Erzeugung eines durch den Quecksilberdampf oder anderes Gas führenden elektrischen Lichtbogens, durch den das ultraviolette Licht oder eine andere bestimmte Strahlung erzeugt werden, bereitgestellt sind. Andere Mittel, die einen elektrischen Lichtbogen erzeugen, einschließlich HF-induktiver, kapazitiver Entladung oder Mikrowellenmittel, können auch verwendet werden. Der Typ des Gases oder Dampfes als auch seine Konzentration und sein Druck, der in der Entladungskammer 28 verwendet wird, ist nicht kritisch und es kann irgendein Dampf und Gas sein, der/das im allgemeinen in Gasentladungskammern verwendet wird.
• Die Lampenröhre 24 wird mit einer Kühlflüssigkeit 34 gekühlt, die in die Kühlungskammer 30 durch eine Kühlungszuflußöffnung 36 einströmt. Die Kühlflüssigkeit 34 durchfließt die ganze Länge der Kühlungskammer 30 und strömt durch eine Kühlungsabflußöffnung 38 ab. Die durch die Kühlungskammer 30 strömende Flüssigkeit transportiert die Wärme ab, die während des Betriebs der Lampe 22 erzeugt wird, so daß ein höherer Leistungseinsatz möglich wird, während die Temperatur auf akzeptablen Niveaus gehalten wird, um die Strahlungsabgabe bei einer bestimmten Wellenlänge oder in einem bestimmten Wellenlängenbereich zu maximieren.
• Die bevorzugte Kühlflüssigkeit ist Wasser, jedoch können auch andere herkömmliche Kühlflüssigkeiten verwendet werden, wie Öl, Freon oder andere bekannte Flüssigkeiten oder Gase, die herkömmlicherweise zum Wärmeaustausch und für Kühlzwecke verwendet werden.
• Eine zweite bevorzugte, als Beispiel dienende Ausführungsform des Apparats wird in Figur 4 mit 39 gezeigt. Die Lampenröhre 40 ist serpentinenartig geformt, um die Lichtbogenlänge auszudehnen, ohne den von der Lampe eingenommenen Raum wesentlich zu vergrößern. Die Lampenröhre 40 ist auf die gleiche Art wie die in den Figuren 2 und 3 gezeigte Lampenröhre 24 in eine abgetrennte Kühlungs- und Entladungskammer unterteilt. Eine Kühlflüssigkeits-Zuflußöffnung 48 ist zum Einbringen der Kühlflüssigkeit in die Kühlungskammerseite der Lampenröhre 40 angebracht. Die Kühlflüssigkeit durchströmt die ganze Länge der Röhre 40 und wird durch die Abflußöffnung 50 abgeführt. Das gewährleistet einen besonders wirksamen Wärmeabführungsmechanismus, weil die Kühlflüssigkeit Wärmeaustausch und -abführung über die gesamte Länge der serpentinenartig geformten Röhre 40 gewährleistet. Folglich wird eine einheitliche Wärmeabführung erreicht und lokalisierte Überhitzung einzelner Teile der Lampenröhre 40 ermieden. Zur Erzeugung des elektrischen Lichtbogens durch den Quecksilberdampf oder anderes Gas in der Entladungskammer sind herkömmliche Elektroden 47 und 49 angebracht, was bekannt ist.
• Eine dritte bevorzugte, als Beispiel dienende Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist in Figur 6 mit 51 allgemein gezeigt. Die Lampe 51 besteht aus vier getrennten Lampenelementen 52. Seiten- und Querschnittsansichten eines einzelnen Lampenelementes 52 sind in den Figuren 5 beziehungsweise 7 gezeigt.
• Jedes Lampenelement 52 umfaßt eine Lampenröhre 54. Eine zentrale Wand 55 zur Trennung der Lampenröhre 54 in eine Kühlungskammer 60 und eine Entladungskammer 62 wird in gleicher Art wie in den vorstehenden Ausführungsformen zur Verfügung gestellt.
• Eine Kühlflüssigkeits-Zuflußöffnung 56 ist zur Zufuhr der Kühlflüssigkeit in die Kühlungskammer 60 angebracht. Die Kühlflüssigkeit durchströmt die ganze Länge der serpentinenartig geformten Lampenröhre 54 und fließt durch die Abflußöffnung 58 ab. Herkömmliche Elektroden 57 und 59 sind zur Erzeugung des elektrischen Lichtbogens in der Entladungskammer 62 angebracht. Es sollte betont werden, daß die Elektroden und die Kammern, die die Elektroden beherbergen, in allen Ausführungsformen von dem Kühlsystem getrennt gehalten sind und nur mit der Entladungskammer, in der sich der Quecksilberdampf oder das Gas befinden, verbunden sind.
• Wie aus Figur 6 ersichtlich, sind die vier einzelnen Lampenelemente 52 in einem kreisförmigen Muster angeordnet, wobei die Entladungskammern 62 alle an der äußeren Begrenzung der kreisförmigen Lampenanordnung angebracht sind. Diese Anordnung gewährleistet Emission von ultraviolettem Licht über 360º, was nicht möglich ist, wenn einzelne Lampen alleine verwendet werden.
• Zusätzlich zu der in Figur 6 gezeigten Ausführungsform können die einzelnen Lampenelemente 52 so angeordnet sein, daß die Entladungskammern 62 alle auf der Innenseite der Lampenbegrenzung angebracht sind. Diese besondere Anordnung ermöglicht einheitliche nach innen gerichtete Strahlung von allen Stellen rund um die Lampenbegrenzung. Diese Anordnung ist für Photo-CVD in einem röhrenförmigen Reaktionsraum und andere Verfahren sehr geeignet, bei denen es erwünscht ist, Material-Bestrahlung mit hoher Leistungsdichte an einer einzelnen Stelle innerhalb einer definierten Lampenbegrenzung zu gewährleisten. Obwohl in Figur 6 eine kreisförmige Lampenanordnung gezeigt ist, sind andere Anordnungen wie quadratische Anordnungen, sechseckige Anordnungen oder andere vieleckige Anordnungen möglich. Außerdem kann, wenn erwünscht, die Orientierung der einzelnen Elemente 52 alternierend sein, so daß sowohl Strahlung von der Lampenbegrenzung nach außen als auch nach innen gewährleistet werden kann, wenn erwünscht.
• Messungen der UV-Intensität, die mit einem Quecksilberdampflampen-Element gemäß der vorliegenden Erfindung, wie in Figur 5 gezeigt, erreicht wurden, wurden mit einer luftgekühlten, haarnadelförmigen Niederdruckquecksilberlampe verglichen, die man von der Canrad Hanovia Inc. in Newark, New Jersey, bezogen hatte, genau gesagt mit Modell 688 A 45. Beide UV-Lampen wurden in horizontaler Lage 6,5 cm von einem UV-Lichtphotometer angeordnet. Diese 6,5 cm sind ein typischer Abstand zwischen der Lichtquelle und dem Substrat in einer flachen Photo-CVD-Kammer. Das UV- Photometer war ein Modell UVX, bezogen von Ultraviolet Products in San Gabriel, Kalifornien. Das UV-Photometer war auf die Wellenlänge von 253,7 nm (2537 Ångstrom) eingestellt, die für herkömmliche Quecksilber-empfindliche Photo-CVD-Verfahren notwendig ist.
• Mit der Hanovia-Lampe, die den Stand der Technik repräsentiert, betrug die maximale Leistungsdichte, die am Photometer beobachtet wurde, 4,84 mW/cm². Mit der wassergekühlten Lampe der vorliegenden Erfindung betrug die beobachtete maximale Leistungsdichte 13,05 mW/cm². Wie zu sehen, lieferte das Lampenelement der vorliegenden Erfindung eine 2,7-fache Zunahme der nützlichen UV-Energiedichte gegenüber der mit der herkömmlichen Hanovia-Lampe erreichbaren. Die erhöhte UV-Energiedichte, die von dem Lampenelement der vorliegenden Erfindung geliefert wird, stellt eine erhöhte Energie für die photochemische Reaktion bereit und führt zu gesteigerten Abscheidungsraten.
• Nachdem somit als Beispiel dienende Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beschrieben wurden, sollte vom Fachmann beachtet werden, daß die darin enthaltenen Offenbarungen nur beispielhaft sind und daß verschiedene andere Alternativen, Anpassungen und Modifikationen innerhalb des Schutzumfangs der folgenden Ansprüche liegen.

Claims (11)

1. Eine flüssigkeitsgekühlte Niederdruckquecksilberdampfentladungslampe (2; 39; 52) ausgelegt für die Verwendung bei photochemischer Dampfablagerung, wobei die Entladungslampe von dem Typ ist, der eine Gasentladungskammer (28; 62) aufweist, um Strahlung mit einer Wellenlänge von 185 nm und 254 nm bereitzustellen, und wobei die Lampe (22; 39; 52) aufweist: eine Lampenröhre (24; 40; 54) mit einer äußeren Begrenzung und einer zentral angeordneten Wand (26; 55), die sich über die Länge der Lampenröhre (24; 40; 54) erstreckt und die Lampenröhre (24; 40; 54) in eine Entladungskammer (28; 62) und eine separate Kühlungskammer (30; 60) unterteilt; eine ausreichende Menge Gas in der Entladungskammer (28; 62), um Strahlungsemission mit einer Wellenlänge von 185 nm und 254 nm zu bewerkstelligen, wenn ein elektrischer Entladungsbogen durch die Kammer (28; 62) geschickt wird, wenn die Kammer (28; 62) auf einer Temperatur unter 70ºC gehalten wird; eine Vorrichtung (31, 23; 47, 49; 57, 59) zum Schicken eines elektrischen Entladungsbogens durch die Entladungskammer (28; 62); eine Kühleinrichtung zum Schicken eines Stromes von Kühlflüssigkeit durch die Kühlungskammer (30; 60), um dadurch ausreichend Wärme, die bei Betrieb der Niederdruckgasentladungslampe (22; 39; 52) entsteht, abzuführen, um die Temperature der Entladungskammer (28; 62) unter 70ºC zu halten und um dadurch Strahlung mit Wellenlängen von 185 nm und 254 nm zu maximieren, wobei die Strahlung von der Entladungskammer (28; 62) nur durch den Teil der äußeren Begrenzung der Lampenröhre (24; 40; 54) hindurchtritt, die die Entladungskammer (28; 62) definiert.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin die Lampenröhre (24; 40; 54) aus Quarz gemacht ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, worin die Lampenröhre (24; 40; 54) einen runden Querschnitt aufweist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, worin die Lampenröhre (24) sich gerade in die Länge erstreckt.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3, worin die Lampenröhre (40; 54) serpentinenförmig ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin die Kühlflüssigkeit aus der Gruppe bestehend, aus Wasser, Öl und Freon ausgewählt wird.

7. Ein flüssigkeitsgekühltes Niederdruckgasentladungslampensystem mit einer Mehrzahl von Gasentladungslampen nach Anspruch 1, die angeordnet sind, um eine polygonförmige äußere Lampenbegrenzung bereit zu stellen.

8. Ein flüssigkeitsgekühltes Niederdruckgasentladungslampensystem (51) mit einer Mehrzahl von Gasentladungslampen (52) nach Anspruch 1, die angeordnet sind, eine kreisförmige äußere Lampenbegrenzung bereit zu stellen.

9. Ein flüssigkeitsgekühltes Niederdruckgasentladungslampensystem nach Anspruch 7 oder 8, worin die Entladungskammern (62) der Gaslampen (52) von der äußeren Lampenbegrenzung nach außen gerichtet sind.

10. Ein flüssigkeitsgekühltes Niederdruckgasentladungslampensystem nach Anspruch 7 oder 8, worin die Entladungskammern (62) der Gaslampen (52) von der äußeren Lampenbegrenzung nach innen gerichtet sind.

11. Ein flüssigkeitsgekühltes Niederdruckgasentladungslampensystem nach Anspruch 7 oder 8, worin die Entladungskammern (62) eines Teils der Gaslampen (52) von der äußeren Lampenbegrenzung nach außen gerichtet sind und die Entladungskammern (62) der übrigen Gaslampen (52) von der äußeren Lampenbegrenzung nach innen gerichtet sind.