DE68919886T2

DE68919886T2 - Optisches Abtastsystem.

Info

Publication number: DE68919886T2
Application number: DE68919886T
Authority: DE
Inventors: Jun Canon Moeginoryo Makino; Masamichi Tateoka
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1988-04-05
Filing date: 1989-04-05
Publication date: 1995-05-04
Anticipated expiration: 2009-04-06
Also published as: US5066083A; EP0336743A3; DE68919886D1; EP0336743B1; EP0336743A2

Description

Hintergrund der Erfindung

Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein optisches Abtastsystem und auf eine optische Vorrichtung zur Erzeugung von Daten der abgetasteten Oberfläche unter Verwendung des optischen Abtastsystems.

Stand der Technik

In einem optischem Abtastsystem wird gewöhnlich ein Polygonspiegel eingesetzt, bei dem die Ablenkgeschwindigkeit eines Lichttrahles gleichwinklig ist oder ein galvanometrischer Spiegel (Sinus-Schwing-Spiegel), bei dem die Ablenkgeschwindigkeit nicht gleichwinklig ist. GB-A-2185167 zeigt ein Beispiel fur einen drehenden Polygonspiegel, US-A- 4627685 zeigt ein Beispiel für ein System mit einem Schwingspiegel.
Die Fig. 1 bis 3 sind schematische Darstellungen von optischen Abtastvorrichtungen, in denen optische Abtastsysteme angewendet werden. Zur Vereinfachung wird auf die Beschreibung eines optisches Systems zur Ablenkkorrektur verzichtet.
Fig. zeigt ein Beispiel, bei dem als Ablenkeinheit ein galvanometrischer Spiegel verwendet wird. Ein von einer Lichtquelle 101 ausgesendeter Lichtstrahl wird durch eine Sammellinse 102 zu einem parallelen Strahl gebündelt, der auf die Spiegeloberfläche eines galvanometrischen Spiegels 103 fällt. Der Lichtstrahl wird an der Spiegeloberfläche refektiert, verläuft durch eine arcsinΘ-Linse 104 und erzeugt ein Abbildung auf einer abzutastenden Oberfläche 106 durch eine Zylinderlinse 105. Eine lichtempfindliche Trommel 107 zur Aufzeichnung der Lichtquelle ist auf der Oberfläche 106 angeordnet. Der Lichtstrahl fällt auf den galvanometrischen Spiegel 103 innerhalb einer Ebene, die rechtwinklig zur Oberfläche 106 liegt, wobei die Ablenkeinheit, eine Drehachse 108 aufweist, die als z-x-Ebene unter der Annahme des in Fig. 1 zur Vereinfachung gezeigten Koordinatenystems bezeichnet werden soll. Die Zylinderlinse 105 dient der Korrektur der Krümmung der abzutastenden Bildoberfläche in z-Richtung während der Drehung der Spiegeloberfläche. In Fig. 1 ist zu beachten, daß Bezugszeichen 109 einen Antrieb für den galvanometrischer Spiegel 103 zeigt.
Fig. 2 zeigt ein Beispiel, bei dem ein Polygonspiegel als Ablenkeinheit verwendet wird. Ein von einer Lichtquelle 101 ausgesendeter Lichtstrahl wird durch eine Sammellinse 102 zu einem parallelen Strahl gebündelt, der auf die Spiegeloberfläche eines Polygonspiegels 110 fällt. Der parallele Lichtstrahl wird an der Spiegeloberfläche refektiert und erzeugt eine Abbildung auf einer abzutastenden Oberfläche 106 durch eine f-Θ-Linse 111. Der Lichtstrahl fällt auf den Polygonspiegel innerhalb einer Ebene, die senkrecht zur Oberfläche 106 und zur Drehachse der Ablenkeinheit liegt. Diese Ebene wird als y-x-Ebene bezeichnet.
Fig. 3 zeigt ein anderes Beispiel, bei dem ein Polygonspiegel als Reflektor benutzt wird. Ein von einer Lichtquelle 110 ausgesendeter Lichtstrahl wird von einer Kollimatorlinse 102 parallel gebündelt und fällt auf die Oberfläche eines Polygonspiegels 110. Der parallele Lichtstrahl wird an der Spiegeloberfläche refektiert und auf der zu scannenden Oberfläche 106 abgebildet durch eine f-Θ-Linse 111 und eine Zylinderlinse 105. Ein Laserstrahl fällt auf einen Polygonspiegel 110 innerhalb einer z-x-Ebene. Die Zylinderlinse 105 dient der Korrektur der Krümmung der abzutastenden Bildoberfläche in z-Richtung während der Drehung der Spiegeloberfläche. In Fig. 3 ist zu beachten, daß Bezugszeichen 112 einen Antrieb für den galvanometrischer Spiegel 110 zeigt.
Bei einer optischen Abtastvorrichtung vorstehend beschriebener Anordnung muß eine Krümmung auf einer Bildfläche, die durch die Drehung des abtastenden Lichtstrahls durch die Spiegeloberfläche der Ablenkeinheit verursacht wird, korrigiert werden, und die Abtastgeschwindigkeit eines Bildes auf einer abzutastenden Oberfläche durch die Drehbewegung der Ablenkeinheit muß konstant gemacht werden. Zu diesem Zweck sind eine Mehrzahl von Linsensystemen erforderlich. Diese Linsen sind generell alle schwierig herzustellen, haben einen komplizierten Aufbau und sind daher teuer. Aus diesem Grund ist die Richtung des Lichtstrahls, der von der Spiegeloberfläche reflektiert wird, innerhalb einer einzigen Ebene.
Da der Lichtstrahl in dem Beispiel nach Fig. 2 des vorstehend erwähnten Beispiels auf die Spiegeloberfläche innerhalb einer Ebene einfällt, senkrecht zu der abzutastenden Oberfläche 106 und der Drehachse 108 der Ablenkeinheit, wird der reflektierte Lichtstrahl in der gleichen Ebene abgelenkt. Jedoch wird die Richtung des an dem Polygonspiegels reflektierten Lichtstrahls asymmetrisch und die Krümmung der Bildoberfläche, die abgetastet werden soll, wird ebenfalls asymmetrisch. Daher ist ein Linsensystem zur Korrektur kompliziert.
Wenn der Lichtstrahl gemäß Fig. 1 und 3 von einem Punkt innerhalb der z-x Ebene auf die Spiegeloberfläche fällt, kann die Symmetrie des reflektierten Lichtstrahls gesichert werden. Wenn jedoch die durch den Lichtstrahl abzutastende Bildoberfläche in der z-Richtung gegenüber der Drehung der Spiegeloberfläche gekrümmt ist, muß die Zylinderlinse 105 so angeordnet werden, daß die Krümmung korrigiert wird. Die Zylinderlinse wird also zur Korrektur des Ablenkfehlers der Spiegeloberfläche verwendet. Die Krümmung in der z-Richtung ist größer als der Einfluß, der durch die Spiegelfläche bewirkt wird, wobei die Gestalt, die Herstellung und die Justage der Zylinderlinse im allgemeinen schwierig sind, daher ist die Herstellung der f-Θ-Linse und der arcsin-Θ- Linse ebenso schwierig in der Herstellung wie die Zylinderlinse.
Die JP-A-58-189609 zeigt einen Abtastsystem, das einen regulären Polygonspiegel verwendet, der um eine Rotationsachse dreht, wobei die Achse des Polygonspiegels die Drehachse schräg kreuzt.

Zusammenfassung der Erfindung

Nach der vorliegenden Erfindung wird ein Abtastsystem gemäß Patentanspruch 1 geschaffen. Die verbleibenden Ansprüche zeigen vorteilhafte Weiterbildungen.
Die Erfindung wird mit Hilfe der beigefügten Zeichnungen an Beispielen erläutert, die die Erfindung jedoch nicht beschränken.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Die Fig. 1 bis 3 zeigen schematische Ansichten herkömmlicher optischer Abtastvorrichtungen.
Fig. 4 zeigt eine perspektivische Ansicht des Prinzips der vorliegenden Ausführungsform.
Fig. 5 ist eine Schnittdarstellung des Prinzips der vorliegenden Ausführungsform.
Die Fig. 6 bis 13 zeigen weitere Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung.

Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels

In diesem Ausführungsbeispiel sind die Drehachse und die Spiegeloberfläche der Ablenkeinheit geneigt, so daß eine Krümmung einer Bildoberfläche eines Lichtstrahl innerhalb eines erlaubten Bereiches einer Ebene fällt, wobei die Drehachse der Ablenkeinheit geneigt ist zu einer Normalen (z- Richtung) der Ablenkebene, so daß eine Krümmung der Bildoberfläche des Lichtstrahls innerhalb eines erlaubten Bereiches einer Ebene fällt. In diesem Fall ist die Abtastfläche parallel zur z-Achse.
Das wird nachfolgend im Detail an Hand der Zeichnungen erläutert.
Fig. 4 zeigt eine Übersichtsdarstellung zur Erklärung des Prinzips der vorliegenden Erfindung. Wie Fig. 4 zeigt, ist ein x-y-z-Koordinatensystem vorgesehen. Fig. 5 ist eine Schnittansicht entlang einer z-x Ebene in Fig. 4 und zeigt einen Zustand, bei dem der Abtastwinkel (Drehwinkel) eines Spiegels gleich 0 ist. Das heißt, auf und von dem Spiegel ein- und ausfallende Lichtstrahlen liegen in der gleichen Ebene. In Fig. 4 fällt ein von einer Lichtquelle ausgesendeter Lichtstrahl als einfallender Lichtstrahl 11 mit einem Einfallswinkel α auf eine Spiegeloberfläche 12 einer Ablenkeinheit durch eine Kollimatorlinse (nicht gezeigt), wird an der Spiegeloberfläche refektiert und formt auf einer abzutastenden Oberfläche eine Abbildung. Der Lichtstrahl möge ein nicht gezeigtes Linsensystem passieren, das, falls benötigt, zwischen der Lichtquelle und der abzutastenden Oberläche angeordnet ist. Die Spiegeloberfläche 12 der Ablenkeinheit ist fest, bezogen auf die Drehachse 13 der Ablenkeinheit und gedreht gegenüber der Drehachse, wodurch die Abtastung des refektierten Strahles 14 auf der abzutastenden Oberfläche erfolgt. Eine lichtempfindliche Trommel 16 zur Erzeugung einer Aufzeichnung ist an der abzutastenden Oberfläche 15 angeordnet. Ein Winkel, der zwischen der Drehachse und der Spiegeloberfläche eingeschlossen ist, wird mit Bezug auf die Fig. 5 nachfolgend beschrieben. Der einfallende Lichtstrahl fällt unter einem Winkel 2α zur x-Achse ein. Andererseits ist die Spiegeloberfläche in einem Winkel β (nicht 0) zur Drehachse angeordnet. Wenn der Abtastwinkel 0 ist, bildet die Spiegeloberfläche einen Winkel α zu z-Achse. Daher ist der reflektierte Strahl parallel zur x-Achse. Falls β gleich 0 ist, wird die Beziehung zwischen einem Richtungsvektor eines einfallenden Lichtstrahls und dem Normalvektor der Spiegeloberfläche geändert, während der Spiegel gedreht wird, wobei eine z-Komponente in dem Richtungsvektor des reflektierten Lichtstrahls erzeugt wird. Wenn der Drehpunkt des Spiegels von der Position der Spiegeloberfläche des einfallenden Strahls abweicht, ist eine Einfallsposition versetzt zu der z-Richtung und eine Bilderzeugungsposition ist geändert. Da in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Spiegeloberfläche und die Drehachse einen Winkel β ≠ 0 bilden, fällt eine Krümmung der Bilderzeugungsfläche in der z-Richtung, die durch die Spiegeldrehung verursacht wird, in einen zulässigen Bereich. Lichtstrahlen, die an der Spiegeloberfläche reflektiert werden, bevor sie die abzutastende Oberfläche erreichen, fallen in einen Bereich, der eine Ebene bildet.
Es wurde ermittelt, daß der Wert von β unterschiedliche Werte annimmt, in Abhängigkeit vom Winkel des einfallenden Strahl t, einer Einfallsstrahl-Position, einer Krümmung der Spiegeloberfläche und dem Radius der Drehbewegung der Spiegeloberfläche (einem Abstand zwischen der Einfallsposition der Lichtstrahlen auf der Spiegeloberfläche, wenn der Abtastwinkel gleich 0 Grad ist, und der Drehachse).
Es wurden Untersuchungen angestellt, bei denen diese Bedingungen geändert wurden. Es wurde ermittelt, daß β, das die Krümmung der Bilderzeugungsfläche in der z-Richtung bewirkt, in den Bereich von 0.5 x 2α < β < 1,2 x 2α fällt.
Die folgenden Tabelle 1 bis 22 zeigen Werte von ß nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel für einige Einfallsrichtungen, Positionen der Bildoberfläche in z-Richtung einiger Abtastwinkel zur den dazugehörigen β und Positionen der z-Richtung gemäß der Vergleichsbeispiele.
In jeder Tabelle bedeutet 2α ein Winkel, der durch einen einfallenden Lichtstrahl mit der x-Achse gebildet wird, β ist ein Winkel, der gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel zwischen der Drehachse und der Spiegeloberfläche der Ablenkeinheit gebildet wird, und Θ ist der Drehwinkel des Spiegels. In dem Fall repräsentiert der Winkel O einen Winkel der Drebewegung der Spiegeloberfläche, die gegenüber der Drehachse der Ablenkeinheit gedreht ist. Wenn Θ = 0 Grad ist, wird ein Laser-Strahl innerhalb der z-x-Ebene reflektiert. Eine Bildposition vom Drehzentrum des Spiegels ist 200 mm entfernt und eine Position in der z-Richtung ist in mm- Einheiten gezeigt (ein Versatz von der idealen Abtastlinie).
Die Tabellen 1 bis 4 zeigen Fälle, bei denen die Spiegeloberfläche eine Ebene ist und der Radius der Drehbewegung des Spiegels gleich 0 ist.
Die Tabellen 5 bis 8 zeigen Fälle, bei denen die Spiegeloberfläche flach ist und der Radius a der Drehbewegung des Spiegels geändert wurde.
Die Tabellen 9 bis 22 zeigen Fälle, bei denen der Spiegel eine Krümmung r hat und sphärisch ist und einen zylindrischen Spiegel, und der Radius a der Drehbewegung des Spiegels ist geändert. Bei dem zylindrischen Spiegel korrespondiert die Mantellinie der zylindrischen Oberfläche zur Senkrechten des Spiegels. Tabelle 1 2α = 5º Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 2 2α = 10º Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 3 2α = 15º Erfindung (Vergleichsbeispiel Tabelle 4 2α = 20º Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 5 a = 0.5 mm Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 6 a = 10 min Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 7 a = 15 mm Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 8 a = 20 mm Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 9 r = 100 mm a = 0.5 mm 2α = 10º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 10 r = 100 mm a = 0.5 mm 2α = 20º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 11 r = 100 mm a = 10 mm 2α = 10º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 12 20 r = 100 mm a = 10 mm 2α = 20º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 13 r = 80 mm a = 15 mm 2α = 10º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 14 r = 80 mm a = 15 mm 2α = 20º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 15 5 r = 100 mm a = 15 mm 2α = 10º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 16 r = 100 mm a = 15 mm = 20º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 17 r = 150 mm a = 15 mm 2α = 10º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 18 r = 150 mm a = 15 mm 2α = 20º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 19 r = 100 mm a 20 mm 2α = 10º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 20 r = 100 mm a = 20 mm 2α = 20º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel Tabelle 21 r = 100 mm a = 25 mm 2α = 10º sphärischer Spiegel zylindrischer Spiegel Erfindung Vergleichsbeispiel
Auf der Bais der vorstehend genannten Ausführungsformen bewirkt die Beziehung zwischen β und 2α eine Krümmung der Bildfläche in z-Richtung, wodurch ein einzufriedenstellender Einfall innerhalb eines vorgegebenen Bereichs erreicht wird. Als Ergebnis wird folgende Beziehung vorzugsweise angewendet:
0.8 x 2α < β < 1,1 x 2α
Wenn die Spiegeloberfläche eben ist, wird vorzugsweise folgende Bedingung angewendet:
0.8 x 2α < β < 1,1 x 2α
Wenn die Spiegeloberfläche sphärisch ist, wird vorzugsweise folgende Bedingung angewendet:
0.5 x 2α < β < 1,1 x 2α
Wenn die Spiegeloberfläche zylindrisch ist, wird vorzugsweise folgende Bedingung angewendet:
0.9 x 2α < β < 1,1 x 2α
In den vorstehend genannten Ausführungsbeispielen können die reflektierten Strahlen des Lichtstrahls symmetrisch sein, da der Lichtstrahl von einer z-x-Ebene auf die Ablenkeinheit auftrifft (Die Ebene enthält die Drehachse der Ablenkeinheit und ist senkrecht zur Ablenkebene). Das heißt, die von der Ablenkeinheit reflektierten Strahlen können, bezogen auf eine einzelne Ebene, symmetrisch sein.
Fig. 6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, wobei ein galvanometrischer Spiegel als Ablenkeinheit genutzt wird. Fig. 7 zeigt nur den galvanometrischen Spiegel aus Fig. 6. Fig. 7 zeigt einen galvanometrischen Spiegel, der in einem Winkel erfindungsgemäß zur Drehachse 13 geneigt ist, wobei der Spiegel an einem gabelartigen Träger befestigt ist, gezeigt in Fig.7. Der Spiegel 19 schwingt sinusförmig um die Achse 13 durch den Antrieb 21.
Der von der Lichtquelle 17 ausgesendete Lichtstrahl wird duch den Kollimator 18 zu einem parallelen Lichtbündel geformt und fällt dann auf den galvanometrischen Spiegel 19. Dann wird der Strahl von der Spiegeloberfläche reflektiert und formt auf der abzutastenden Oberfläche ein Bild durch eine arcsin- Θ-Linse 20.
Im Gegensatz zu der Anordnung nach Fig. 1 kann bei dieser Ausführungsform eine Krümmung der Bildoberfläche in z- Richtung reduziert werden. Daher ist für die Korrektur keine Zylinderlinse erforderlich.
Fig. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung, die einen Polygonspiegel als Ablenkeinheit benutzt. Fig. 9 ist eine vergrößerte Ansicht des Polygonspiegels 23 aus Fig. 8. Wie in Fig. 9 gezeigt, ist die Spiegeloberfläche des Polygonspiegels 23 nicht parallel zur Drehachse 13. Daher liegt, wie in Fig. 8 gezeigt, die Drehachse 13 des Polygonspiegels in einem anderen Winkel als in den Fig. 2 und 3.
Wie in Fig. 8 gezeigt, wird ein von einer Lichtquelle 17 ausgesendeter Lichtstrahl durch die Kollimatorlinse 18 in ein paralleles Lichtbündel geformt und fällt dann auf die Oberfläche des Polygonspiegels 23. Der Strahl wird an der Spiegeloberfläche reflektiert und und formt auf der abzutastenden Oberfläche eine Abbildung durch eine f-Θ-Linse 24.
Fig. 10 zeigt ein weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei dem der in Fig. 6 gezeigte ebene galvanometrische Spiegel durch einen Konvex-Spiegel ersetzt worden ist, wobei auf die arcsin-Θ-Linse verzichtet wurde.
Ein von der Lichtquelle 17 ausgesendeter Lichtstrahl wird durch die Kollimatorlinse 18 in ein paralles Strahlenbündel geformt und fällt als gebündelter Strahl auf den galvanometrischen Spiegel 27 und formt eine Abbildung auf der abzutastenden Oberfläche 15.
Fig. 11 zeigt eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführungsform wird gegenüber der Ausführungsform nach Fig. 10 zusätzlich eine Zylinderlinse 28 angewendet, um den Neigungsfehler des Spiegels zu korrigieren.
Bei dieser Ausführungsform wird eine Zylinderlinse verwendet. Da jedoch die Krümmung der Bildoberfläche in der z-Richtung klein ist gegenüber der Krümmung mit kleinerem Krümmungsradius in z-Richtung in Fig. 1, sind die Form, die Herstellung und die Justierung der Zylinderlinse weniger aufwendig im Vergleich zu Fig. 1.
Fig. 12 zeigt ein weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführungsform wurde der flache Spiegel des Polygonspiegels aus Fig. 8 durch einen konvexen Spiegel ersetzt, wobei auf die arcsin-Θ-Linse verzichtet wurde.
Ein von der Lichtquelle 17 ausgesendeter Lichtstrahl wird durch die Kollimatorlinse 18 in ein paralleles Strahlenbündel geformt und fällt als gebündelter Strahl auf die Spiegeloberfläche des Polygonspiegels 29 durch die bildformende Linse 26. Der Strahl wird an der Spiegeloberfläche des Polygonspiegels 29 reflektiert und formt eine Abbildung auf der abzutastenden Oberfläche 15. Der Polygonspiegel 29 wird mittels des Spiegelantriebs 25 um die Drehachse 13 gedreht.
Fig. 13 zeigt ein weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführungsform wird gegenüber der Ausführungsform von Fig. 12 eine zusätzliche Linse 30 verwendet, um die Degradation der f-Θ-Charakteristik zu korrigieren.
Wie vorstehend beschrieben, sind gemäß der vorliegenden Erfindung die Drehachse und die Spiegelfläche der Ablenkeinheit in einem vorbestimmten Verhältnis zueinander geneigt, was praktisch eine Geradheit der abzutastenden Oberfläche beinhaltet. Als Ergebnis kann das Linsensystem von der Ablenkeinheit bis zur abzutastenden Oberfläche vereinfacht werden oder entfallen.

Claims

1. Optisches Abtastsystem mit

- einer Lichtquelle (17),

- einer Linse (18) zum Konvergieren eines Lichtstrahls (11) von der Lichtquelle (17) und

- einer Ablenkeinheit (19, 23, 27, 29) zum Ablenken und Scannen des Lichtstrahls der Lichtquelle in eine vorbestimmte Richtung, wobei die Ablenkeinheit eine Reflexionsfläche (12) aufweist und drehbar zu einer vorbestimmten Achse (13) ist, welche zu der Reflexionsfläche (12) geneigt ist, wobei die vorbestimmten Achse (13) und der Lichtstrahl innerhalb einer einzigen Ebene liegen, dadurch gekennzeichnet, daß während des Abtastens, wenn der auf die Ablenkeinheit auftreffende und der reflektierte Lichtstrahl sich auf der einzigen Ebene befinden, folgende Bedingung erfüllt ist:

0,5 x 2α < β < 1,2 x 2α,

wobei β der Winkel zwischen der vorbestimmten Achse (13) und der Reflexionsfläche (12) der Ablenkeinheit in der einzigen Ebene und α der Einfallswinkel des Lichtstrahles (11) von der Lichtquelle (17) auf die Refexionsfläche (12) der Ablenkeinheit ist.

2. Optisches Abtastsystem nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkeinheit einen Polygonspiegel aufweist (23,29) aufweist.

3. Optisches Abtastsystem nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkeinheit einen Sinus-Schwing- Spiegel aufweist (19,27).

4. Optisches Abtastsystem nach einem der Patentansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß folgende Bedingung erfüllt ist:

β < 1,1 x 2α .

5. Optisches Abtastsystem nach Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß weiterhin folgende Bedingung erfüllt ist:

0,8 x 2α < β < 1,1 x 2α .

6. Optisches Abtastsystem nach Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Refexionsfläche (12) der Ablenkeinheit (23,29) eine im wesentlichen sphärische Fläche aufweist.

7. Optisches Abtastsystem nach Patentanspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Refexionsfläche (12) der Ablenkeinheit (19,27) eine im wesentlichen ebene Fläche aufweist und folgende Bedingung erfüllt ist:

0,8 x 2α < β < 1,1 x 2α .

8. Optisches Abtastsystem nach Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Refexionsfläche (12) der Ablenkeinheit (23,29) eine im wesentlichen zylindrische Fläche aufweist und folgende Bedingung erfüllt ist:

0,9 x 2α < β < 1,1 x 2α .