DE60314027T2

DE60314027T2 - Torsionsfeder für MEMS-Struktur

Info

Publication number: DE60314027T2
Application number: DE60314027T
Authority: DE
Inventors: Hee-moon 810-1 ri Gilheung-eub Yongin-city Jeong
Original assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Current assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Priority date: 2002-02-07
Filing date: 2003-02-07
Publication date: 2007-11-22
Anticipated expiration: 2023-02-08
Also published as: US20030227114A1; JP2003231096A; EP1338553B1; KR100465162B1; US6921952B2; KR20030067173A; EP1338553A3; EP1338553A2; DE60314027D1; ATE363453T1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Torsionsfeder für eine mikroelektromechanische Systemstruktur (MEMS-Struktur). Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung eine Torsionsfeder, die eine größere Biegesteifigkeit als Verwindungssteifigkeit aufweist.
2. Beschreibung des Standes der Technik
Die Technologie der mikroelektromechanischen Systeme (MEMS-Technologie) wird bei der Herstellung von mechanischen und elektrischen Elementen durch Halbleiterverfahren verwendet. Die MEMS-Technologie umfasst üblicherweise eine Struktur, die auf einem Trägermaterial und anderen Teilen, wie zum Beispiel einer Feder, montiert ist, um die Struktur zu tragen und um zu ermöglichen, dass sich die Struktur in einer vorgegebenen Richtung bewegt. Zur Herstellung eines MEMS-Gyroskops werden zum Beispiel eine auf einem Trägermaterial montierte Masse und eine auf dem Trägermaterial ausgebildete Torsionsfeder zum Tragen der Masse benötigt, welche um eine jeweilige Achse gedreht werden soll.
In der oben genannten MEMS-Struktur muss die Torsionsfeder ermöglichen, dass die Struktur in einer bestimmten Drehrichtung gedreht werden kann, und die Drehung der Struktur in anderen Richtungen begrenzen. Damit die Torsionsfeder wirksam arbeiten kann, muss die Torsionsfeder eine große Biegesteifigkeit aufweisen, das heißt die Torsionssteifigkeit in einer Richtung senkrecht zu einer Torsionsachse, sowie eine geringe Torsionssteifigkeit, das heißt die Torsionssteifigkeit in einer Richtung parallel zu der Torsionsachse.
Eine in einer Makrostruktur verwendete Torsionsfeder muss einen kreisförmigen Querschnitt oder einen kreuzförmigen Querschnitt aufweisen, so dass die Biegesteifigkeit größer ist als die Torsionssteifigkeit. Bei einer MEMS-Struktur kann das Herstellungsverfahren jedoch sehr komplex sein oder mehrere zusätzliche Verfahren zur Herstellung einer Torsionsfeder mit einem kreisförmigen Querschnitt oder mit einem kreuzförmigen Querschnitt wie oben beschrieben erfordern.
Eine herkömmliche Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur wird als Schiene mit einem viereckigen Querschnitt hergestellt, wie in 1 gezeigt wird. In der Torsionsfeder 10 aus 1 werden die Biegesteifigkeit und die Torsionssteifigkeit auf Basis eines Verhältnisses der Breite, der Länge und der Höhe der Schiene ermittelt. Zum Beispiel werden mit zunehmender Länge der Schiene sowohl die Biegesteifigkeit als auch die Torsionssteifigkeit schwächer. Daher ist es schwierig, eine Torsionsfeder herzustellen, die wie in 1 gezeigt aufgebaut ist und ein großes Verhältnis Biegesteifigkeit zu Torsionssteifigkeit aufweist.
Um das oben genannte Problem zu lösen, ist eine herkömmliche Torsionsfeder 20 wie in den 2A und 2B gezeigt vorgeschlagen worden. Die herkömmliche Torsionsfeder 20 umfasst ein Verbindungsblech 23 zur Verbindung der oberen Teile eines Paares von Schienen 21, wobei das Verbindungsblech 23 senkrecht zu dem Paar von Schienen 21 angeordnet wird und sich über die Länge der Schienen 21 erstreckt. Somit kann in der oben genannten Struktur die Biegesteifigkeit erhöht werden, ohne die Torsionssteifigkeit wesentlich zu erhöhen. Die Torsionsfeder 20 aus den 2A und 2B weist jedoch den Nachteil auf, dass sie mehrere zusätzliche Verarbeitungsschritte erfordert. Darüber hinaus kann die Torsionsfeder 20 nicht in einem einzigen Ätzvorgang hergestellt werden.
US-A-6000280 beschreibt eine Torsionsträgerstruktur mit einem Übergabe-Stützträger, der an jedem seiner Enden an einem Trägermaterial befestigt ist. Die Torsions-Stützträgerstruktur umfasst zwei parallele Segmente auf gegenüberliegenden Seiten der Achse der Schiene, wo die Torsionskraft aufgebracht wird. Beide dieser Segmente sind Schienen mit einem rechteckigen Querschnitt, die an den Seitenwänden von Mesas befestigt sind und durch seitliche Segmente verbunden sind.
Die Verbindungsfläche zwischen den parallelen Segmenten und den seitlichen Segmenten ist rechteckig.
Dementsprechend besteht ein Merkmal eines Ausführungsbeispieles der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung einer Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur mit einer Biegesteifigkeit, die größer ist als die Torsionssteifigkeit derselben und die ein vereinfachtes Fertigungsverfahren ermöglicht.
Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand des unabhängigen Patentanspruches 1 gelöst. Bevorzugte Ausführungsbeispiele sind Gegenstand der abhängigen Patentansprüche.
Vorzugsweise sind die Vielzahl von Schienen parallel. Weiterhin sind die Vielzahl von Schienen ein Paar Schienen. Das Paar Schienen ist vorzugsweise mit einer Vielzahl von Verbindungsstangen verbunden, die in gleichmäßigen Abständen angeordnet werden.
In einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist eine Verbindungsfläche, die zwischen dem Paar Schienen und der Vielzahl von Verbindungsstangen ausgebildet wird, rund.
Vorzugsweise ist ein Abstand zwischen der Vielzahl von Verbindungsstangen gleich der oder größer als eine Breite einer der Vielzahl von Schienen. Indem der Abstand gesteuert wird, kann ein Verhältnis von Biegesteifigkeit zu Torsionssteifigkeit größer werden. Eine Torsionsfeder gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine Biegesteifigkeit aufweisen, die größer ist als die Torsionssteifigkeit, was einfachere Torsion ermöglicht. Zusätzlich kann die Torsionsfeder gut in einem einzelnen Ätzvorgang hergestellt werden.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Die oben genannten und weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden für den Durchschnittsfachmann aus der folgenden ausführlichen Be schreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen derselben unter Bezugnahme auf die anhängenden Zeichnungen ohne Weiteres erkennbar werden.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen:
1 veranschaulicht eine perspektivische Ansicht einer herkömmlichen Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur.
Die 2A und 2B veranschaulichen eine perspektivische Ansicht beziehungsweise eine Seitenansicht einer anderen herkömmlichen Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur.
3 veranschaulicht eine perspektivische Ansicht einer Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur.
4 veranschaulicht eine Ansicht eines Torsions-Zustandsdiagramms in einer Richtung der x-Achse der Torsionsfeder aus 3.
5 veranschaulicht eine Ansicht, die schematisch einen konzeptionellen Abschnitt einer Torsionsfeder zeigt, die zur Berechnung der Steifigkeit der Torsionsfeder aus 3 herangezogen wird.
Die 6A und 6B veranschaulichen eine perspektivische Ansicht beziehungsweise eine Draufsicht eines anderen bevorzugten Ausführungsbeispieles der Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur gemäß der vorliegenden Erfindung.
7 ist ein Diagramm einer geregelten Kennlinie der Torsionsfeder aus 3 im Vergleich zu einer herkömmlichen Torsionsfeder, und
8 ist ein Diagramm eines geregelten Steifigkeitsverhältnisses der Torsionsfeder zu der Größe einer Bohrung.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Die am 7. Februar 2002 eingereichte koreanische Patentanmeldung Nr. 2002-07052 unter dem Titel „Torsion Spring for MEMS Structure" (Torsionsfeder für MEMS-Struktur – nicht autorisierte Übersetzung – d. Übers.) wird hiermit per Verweis vollständig in die vorliegende Anmeldung eingearbeitet.
Die vorliegende Erfindung wird unter Bezugnahme auf die anhängenden Zeichnungen, in denen die bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung gezeigt werden, ausführlicher beschrieben werden. Die Erfindung kann jedoch in unterschiedlichen Formen ausgeführt werden und soll nicht als auf die hierin beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt verstanden werden. Die genannten Ausführungsbeispiele werden vielmehr bereitgestellt, damit die vorliegende Offenlegung gründlich und vollständig ist, und werden den Gedanken der Erfindung für den Durchschnittsfachmann umfassend erkennbar werden lassen. Gleiche Verweisziffern bezeichnen in der gesamten Beschreibung gleiche Teile und Elemente.
3 veranschaulicht eine perspektivische Ansicht einer Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur. Die Torsionsfeder 30 umfasst ein Paar Schienen 31 und vier Verbindungsstangen 33, die mit den Schienen 31 verbunden sind.
Die Schienen 31 werden in einer axialen Torsionsrichtung angeordnet, mit anderen Worten in der Richtung der x-Achse. Eine jede Schiene 31 ist ein Blech mit zwei Enden und einem viereckigen Querschnitt. Die Schienen 31 sind parallel angeordnet und beide Enden der Schienen 31 sind mit einer vorgegebenen Fläche verbunden, wie zum Beispiel mit einem Anker oder mit einer Masse auf einem Trägermaterial (nicht gezeigt).
Die Verbindungsstangen 35 sind Bleche, die im rechten Winkel zu der Längsrichtung, das heißt zu der Richtung der x-Achse, der Schienen 31 angeordnet sind. Mit anderen Worten sind die Verbindungsstangen 33 Bleche, die eine Normallinie entsprechend der x-Achse aufweisen. Die Verbindungsstangen 33 sind in gleichmäßigen Abständen zwischen den Schienen 31 angeordnet. Wenn die Verbindungsstangen 33 wie oben beschrieben angeordnet werden, weist die Torsionsfeder 30 drei Löcher 40 auf, die in einer vertikalen Richtung (der Richtung der z-Achse) eindringen.
Vorzugsweise soll der Abstand zwischen einer jeden der Verbindungsstangen 33 gleich der oder größer als die Breite der Schienen 31 sein. Indem der Abstand gesteuert wird, kann das Verhältnis der Biegesteifigkeit zu der Torsionssteifigkeit größer werden. Darüber hinaus soll die Breite einer jeden der Schienen 31 vorzugsweise zwischen etwa 1 μm und 25 μm liegen.
Die Torsionsfeder hat ein Paar Schienen 31 und vier Verbindungsstangen 33, jedoch können die Anzahl der Schienen 31, die Anzahl der Verbindungsstangen 33 und der Abstand zwischen den Verbindungsstangen 33 geändert werden. Zum Beispiel können drei oder mehr Schienen parallel angeordnet werden oder die Anzahl der Verbindungsstangen kann eins, zwei oder mehr sein. Der Abstand zwischen den Verbindungsstangen kann ebenfalls gleich oder verändert sein.
Die herkömmliche Torsionsfeder 10 aus 1 umfasst eine einzelne Schiene mit einem viereckigen Querschnitt. In der Torsionsfeder 30 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sind jedoch mehr als zwei Schienen 31 durch die Verbindungsstangen 33 verbunden. Wenn daher, wie in 4 gezeigt wird, ein Torsionsmoment (T) gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung auf die Torsionsfeder 30 wirkt, weist eine jede Schiene 31 eine z-Richtungs-Verschiebung (δ₀) und einen x-Richtungs-Drehwinkel (θ₀) aufgrund eines Biegemomentes für die y-Achse beziehungsweise ein Torsionsmoment (T_O) für die x-Achse auf, die erzeugt werden, um die Kompatibilitätsbedingung zwischen den Schienen 31 zu erfüllen.
Die 6A und 6B zeigen ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Unter Bezugnahme auf die 6A und 6B weist eine Torsionsfeder 30' sechs Verbindungsstangen 33 auf, so dass fünf Löcher 40 ausgebildet werden. In den 6A und 6B werden Teilen, die im Wesentlichen gleich mit Teilen aus den 3 und 4 sind, der besseren Übersichtlichkeit der Beschreibung wegen die gleichen Verweisziffern zugeordnet.
Wenn die Torsionsfeder 30' mit fünf Löchern 40 wie in den 6A und 6B gezeigt ausgebildet wird, das heißt wenn ein Paar Schienen 31 unter Verwendung von sechs Verbindungsstangen 33 verbunden werden, sind folgende Werte die bevorzugten numerischen Werte. Eine Breite (w) einer jeden Schiene 31 beträgt 5 μm, eine Höhe (h) einer jeden Schiene 31 beträgt 40 μm und eine Länge (L) einer jeden Schiene 31 beträgt 200 μm. Darüber hinaus ist eine Breite (w_c) einer jeden Verbindungsstange 33 gleich 5 μm, eine Länge (L_c) einer jeden Verbindungsstange 33 ist 5 μm und eine Höhe (h_c) einer jeden Verbindungsstange 33 ist 40 μm, was die gleiche Höhe (h) der Schiene 31 ist. Eine Breite (w_H) eines jeden Loches 40 beträgt zusätzlich 5 μm, was gleich der Länge (L_c) der Verbindungsstangen 33 ist. Eine Länge (L_H) eines jeden Loches beträgt 34 μm.
Die Torsionssteifigkeit einer Torsionsfeder 30 mit den oben genannten Abmessungen kann unter Verwendung einer Finite-Elemente-Methode (FEM) ermittelt werden. Weiterhin kann die Torsionssteifigkeit der herkömmlichen Torsionsfeder 10 durch die Annahme ermittelt werden, dass die Breite der herkömmlichen Torsionsfeder 10 gleich der Summe der Breite der beiden Schienen 31 aus 3 ist, welche 10 μm beträgt. Danach kann die Länge der herkömmlichen Torsionsfeder 10 ermittelt werden, die es ermöglicht, dass die herkömmliche Torsionsfeder 10 die gleiche Torsionssteifigkeit wie die Torsionsfeder 30 aus 3 aufweist.
Darüber hinaus werden die Biegesteifigkeit K_BYO für die y-Achse, das heißt die Richtung der Breite der herkömmlichen Torsionsfeder 10, beziehungsweise die Biegesteifigkeit K_BZO für die z-Achse, das heißt die Richtung der Höhe der herkömmlichen Torsionsfeder 10, ermittelt. Danach werden die Biegesteifigkeit K_BY für die y-Achse, das heißt die Richtung der Breite der Torsionsfeder 30 gemäß der vorliegenden Erfindung, beziehungsweise die Biegesteifigkeit K_BZ für die z-Achse, das heißt die Richtung der Höhe der Torsionsfeder 30, ermittelt.
Die Biegesteifigkeit K_BZ für die z-Achse wird durch den folgenden mathematischen Ausdruck 1 wie bei der herkömmlichen Torsionsfeder 10 ermittelt:
und die Biegesteifigkeit K_BY für die y-Achse wird unter Verwendung der konzeptuellen Torsionsfeder 30a der vorliegenden Erfindung wie in 5 gezeigt ermittelt. Mit anderen Worten, wenn davon ausgegangen wird, dass die beiden Schienen 31a, die die Torsionsfeder 30a bilden, mit einem imaginären Blech 33a verbunden werden, wird die Biegesteifigkeit K_BY für die y-Achse durch den folgenden mathematischen Ausdruck 2 ermittelt und die Biegesteifigkeit K_BY nimmt mit der Zunahme des Trägheitsmomentes zu. Der mathematische Ausdruck 2 lautet:
Die Torsionssteifigkeit K_T wird durch den folgenden mathematischen Ausdruck 3 ermittelt:
wobei k eine Torsionskonstante entsprechend einem Schnittverhältnis, c = b + L_c, ist, E ein Elastizitätsmodul ist und G ein Schermodul ist.
Die Biegesteifigkeit K_BY für die Torsion in der Richtung der y-Achse ist jedoch schwer zu berechnen, wobei es sich um die in 5 dargestellte Messung handelt, wenngleich die beiden Schienen 31 verbunden sind. Um weiterhin die geeignetste und genaueste Messung zu erhalten, wird eine geeignete Struktur ermittelt, indem die Steifigkeit entsprechend der Anzahl der Verbindungsstangen 33 durch Finite-Elemente-Berechnung ermittelt wird.
7 ist ein Diagramm und zeigt das Verhältnis eines jeden Wertes der Kennlinie L, K_BY und K_BZ, ermittelt durch die Torsionsfeder 30 entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, und L_O, K_BY und K_BZO der herkömmlichen Torsionsfeder 10, die ermittelt werden, wenn die Breite der Torsionsfeder 10 allmählich von 10 μm auf 5 μm reduziert wird.
Wie in 7 gezeigt wird, ist, wenn die Summe der Breite (w) einer jeden Schiene 31 der Torsionsfeder 30 gleich der Breite (w_O) der herkömmlichen Torsionsfeder 10 ist, mit anderen Worten, wenn b_O/2b = 1, die Biegesteifigkeit in der Richtung der y-Achse der Torsionsfeder 30 der vorliegenden Erfindung 3,4 Mal so groß wie die der herkömmlichen Torsionsfeder 10 (mit anderen Worten: K_BY/K_BYO = 3,4), und ist die Biegesteifigkeit in der Richtung der z-Achse der Torsionsfeder 30 1,5 Mal so groß wie die der herkömmlichen Torsionsfeder 10 (mit anderen Worten: K_BZ/K_BZO = 1,5). Weiterhin ist b_O/2b = 1, das Verhältnis der Länge (L) der Torsionsfeder 30 zu der Länge (L_O) der herkömmlichen Feder 10, gleich 0,86. Dementsprechend nimmt die Biegesteifigkeit K_BY und K_BZ zu der Torsionssteifigkeit K_T im Vergleich zu der herkömmlichen Torsionsfeder 10 zu, wenngleich die Torsionsfeder 30 mit einer kürzeren Länge im Vergleich zu der herkömmlichen Feder 10 hergestellt wird.
Wenn weiterhin b_O/2b ≥ 0,78 gilt, ist die Biegesteifigkeit der Torsionsfeder 30 für die y-Achse größer als die Biegesteifigkeit der herkömmlichen Torsionsfeder 10. Wenn analog dazu b_O/2b ≥ 0,9 gilt, sind sowohl die Biegesteifigkeit für die y-Achse als auch die Biegesteifigkeit für die z-Achse der vorliegenden Erfindung größer als die entsprechenden Biegefestigkeiten der herkömmlichen Torsionsfeder 10.
Wenn andererseits b_O/2b = 0,5 gilt, das heißt, wenn die Breite (w_O) der herkömmlichen Torsionsfeder 10 und die Breite (w) einer der Schienen 31 der Torsionsfeder 30 gleich sind, ist die Biegesteifigkeit der herkömmlichen Torsionsfeder 10 größer als die der Torsionsfeder 30. In diesem Fall wird die Länge (L_O) der herkömmlichen Torsionsfeder 10 weitaus kürzer als die Länge (L) der Torsionsfeder 30 (UL_O = 5). Daher ist die Struktur der herkömmlichen Torsionsfeder 10 aufgrund der kurzen Länge und der schmalen Breite sehr instabil. Weiterhin ist die Fähigkeit der Herstellung einer solchen herkömmlichen Torsionsfeder 10 begrenzt.
8 ist ein Diagramm und zeigt das Verhältnis der Steifigkeit, das sich mit der Änderung der Anzahl der Löcher 40 von zehn auf eins auf der Grundlage eines Falles, dass die Torsionsfeder 30' ausgebildet ist, um fünf Löcher 40 aufzuweisen (Länge des Loches 40 L_H = 34 μm), wie oben beschrieben, verändert. Die horizontale Achse ist das Verhältnis der Länge (L) der Torsionsfeder 30 zu der Länge (L_H) des Loches 40. Der Grundwert ist 200 μm/34 μm = 5,88. Mit steigender Anzahl der Löcher 40 erhöht sich das Steifigkeitsverhältnis von der Größenordnung der Biegesteifigkeit (K_BZ) in der Richtung der z-Achse. Analog dazu erhöhen sich die Biegesteifigkeit (K_BY) in der Richtung der y-Achse und die Torsionssteifigkeit K_T). Jedoch verändert sich die Biegesteifigkeit (_BZ) in der Richtung der z-Achse nur wenig.
Wie in den 6A und 6B gezeigt wird, werden die Verbindungsflächen der Schienen 31 und der Verbindungsstangen 33 vorzugsweise rund ausgebildet. Wenn die Verbindungsflächen der Schienen 31 und der Verbindungsstangen 33 winkelig ausgebildet werden, wie in 3, kann ein Riss erzeugt werden oder eine Spannungskonzentration; somit können gerundete Löcher die Erzeugung von Rissen oder von Spannungskonzentrationen verhindern.
Wie in den 7 und 8 gezeigt wird, hat sich als bevorzugtes Auslegungsbeispiel der Torsionsfeder 30, wenn das Verhältnis der Länge (L) der Torsionsfeder 30 zu der Länge (L_H) des Loches 40 gleich 5,71 ist und die Summe der Breite (2b) der Torsionsfeder 30 der vorliegenden Erfindung gleich der Breite (w_O) der herkömmlichen Torsionsfeder 10 ist, die Biegesteifigkeit der Torsionsfeder 30, die die gleiche Torsionssteifigkeit wie die herkömmliche Torsionsfeder 10 aufweist, um das 3,4-fache beziehungsweise um das 1,5-fache für die y-Achse beziehungsweise für die z-Achse erhöht. Wenn weiterhin das Verhältnis der Breite (w_O) der herkömmlichen Feder 10 zu der Summe (2b) der Breite der Torsionsfeder 30 gleich 0,78 ist, ist die Biegesteifigkeit für die Torsion der y-Achse größer als die der herkömmlichen Torsionsfeder 10. Wenn das Verhältnis der Breite (w_O) der herkömmlichen Feder 10 zu der Summe (2b) der Breite der Torsionsfeder 30 gleich 0,9 ist, ist die Biegesteifigkeit der Torsion der z-Achse ebenfalls größer als im Vergleich zu der der herkömmlichen Torsionsfeder 10.
Dementsprechend weist eine Torsionsfeder 30 bei Aufrechterhaltung der gleichen Torsionssteifigkeit wie eine herkömmliche ringförmige Torsionsfeder 10 eine hohe Steifigkeit in einer unerwünschten Richtung auf. Darüber hinaus kann durch die Struktur erzeugte Spannung reduziert werden.
Wie in 2A gezeigt wird, erfordert die herkömmliche Torsionsfeder 20 ein komplexeres Fertigungsverfahren, wobei das Ätzen einen Block mit darin ausgebildeten vertikalen Löchern ausbildet.

Claims

Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur, die umfasst: eine Vielzahl von Schienen, wobei jede Schiene zwei Enden hat und beide Enden an einem vorgegebenen Bereich befestigt sind; und eine Vielzahl von Verbindungsstegen, die im rechten Winkel zu einer Längsrichtung der Vielzahl von Schienen angeordnet sind, die Vielzahl von Schienen verbinden, wobei Abstände zwischen Verbindungsstegen genau so groß sind wie oder größer als eine Breite eines der Vielzahl von Schienen, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungsbereiche, die zwischen der Vielzahl von Schienen und der Vielzahl von Verbindungsstegen ausgebildet sind, rund sind, so dass die Verbindungsstege in ihrer Mitte schmaler sind als an den äußeren Enden, an denen sie die Vielzahl von Schienen verbinden.
Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur nach Anspruch 1, wobei die Vielzahl von Schienen parallel sind.
Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur nach Anspruch 1, wobei die Vielzahl von Schienen ein Paar von Schienen ist.
Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur nach Anspruch 3, wobei die Schienen des Paars durch die Vielzahl von Verbindungsstegen verbunden ist.
Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur nach Anspruch 1, wobei die Verbindungsstege in gleichen Abständen angeordnet sind.
Torsionsfeder für eine MEMS-Struktur nach Anspruch 5, wobei die Breite jedes der Vielzahl von Schienen zwischen 1 μm und 25 μm beträgt.