DE602006014759D1 - Elektromechanischer Micro-Kondensator mit variabler Kapazität und Verfahren zur Herstellung eines solchen Kondensators - Google Patents

Elektromechanischer Micro-Kondensator mit variabler Kapazität und Verfahren zur Herstellung eines solchen Kondensators

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    • H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
    • H01G5/16—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes
    • H01G5/18—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes due to change in inclination, e.g. by flexing, by spiral wrapping

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