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GEBIET DER ERFINDUNG
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Das
Gebiet der Erfindung sind Laserdrucker.
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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Bei
Laserdruckern tastet ein modulierter Lichtstrahl (oder eine Anzahl
von Strahlen) die Oberfläche
einer sich bewegenden fotoempfindlichen Oberfläche, so wie eines rotierenden
zylindrischen Fotorezeptors, ab, um ein Bild zu erzeugen. Der Lichtstrahl
tastet die Oberfläche
typischerweise in der Axial-(Abtast-)Richtung ab, um jede Zeile
des Bildes zu erzeugen, während
sich der Zylinder dreht, so dass jede Zeile auf einen verschiedenen
Quer-Abtast-Ort auf der Oberfläche
fällt.
Bei manchen Systemen werden mehrere Zeilen simultan abgetastet.
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Die
US-Patentschrift 5 268 687 ,
erteilt für Peled
et al., beschreibt einen Drucker, bei welchem Fehler in der Drehposition
des Zylinders oder in der zeitlichen Lage der Abtastung kompensiert
werden durch Reflektieren des Lichtstrahls von einem beweglichen
Spiegel, welcher die Quer-Abtast-Position des
Lichtstrahls justiert.
1 der vorliegenden Anmeldung
zeigt
1 der Peled et al. Patentschrift. Die Figur zeigt
einen Zylinder
108, eine Quelle
110 für einen
Lichtstrahl
111, und einen beweglichen Spiegel
112,
der montiert ist zwischen einem Lager
114 und einem Servo-Motor
118,
welcher den Spiegel auf seiner Achse über einen begrenzten Bereich dreht.
Wie aus der Zeichnung gesehen werden kann, ist der Spiegel viel
länger
als er breit ist, und ist von einer geeigneten Länge, so dass der Lichtstrahl
111 von
ihm bei der axialen Abtastung des Lichtstrahls auf jede Position
reflektiert werden kann.
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Eine
Rückkopplungsschleife 129 verwendet die
gemessene Differenz zwischen der Drehposition des Zylinders und
einer erwarteten Position beim Beginn einer Abtastung, ebenso wie
die gemessene Ausrichtung des Spiegels, um den Servo-Motor 118 zu
treiben, welcher die Ausrichtung des Spiegels kontrolliert, und
folglich den azimutalen Ort 116, wo der Lichtstrahl die
Oberfläche
des Zylinders trifft. Die Rückkopplungsschleife
enthält
einen Controller 124, welcher Signale bezüglich der
Drehposition des Zylinders von einem Sensor 109 sowie Signale
bezüglich
der zeitlichen Lage der Abtastung von der Lichtquelle 110 empfängt.
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Folglich
kann der Controller 124 die Differenz zwischen der erwarteten
und der tatsächlichen
Drehposition des Zylinders beim Beginn einer jeden Abtastung bestimmen.
Die Rückkopplungsschleife 129 enthält auch
eine Spiegelregelung 120, welche eine Ausgabe vom Controller 124 nutzt,
um den Servo-Motor 118 anzuweisen, wie weit und in welcher Richtung
er den Spiegel dreht, und nutzt eine Rückkopplung von einem Sensor 122,
welcher die Ausrichtung des Spiegels erfasst.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Ein
fehlerkompensierendes System ähnlich dem
in 1 gezeigten kann gut arbeiten, solange keine mechanischen
Schwingungsmoden des langen Spiegels durch das Regelungssystem erregt werden.
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Zum
Beispiel, wenn eine bestimmte Gesamtbandbreite bei geschlossener
Schleife für
die Rückkopplungsschleife
erwünscht
ist und der Systempositionsfehler um einen großen Faktor vermindert werden
soll, dann mag, um dies zu erreichen, eine hohe Verstärkung bei
offener Schleife über
den Frequenzbereich der Bandbreite bei geschlossener Schleife erforderlich
sein. Zum Erreichen dieses Ziels, und um noch einen genügenden Phasenspielraum
bei der Auslegung eines realen Regelungssystems mit geschlossener
Schleife zu erhalten, ist die tatsächliche Bandbreite (BW) bei
offener Schleife typischerweise viel höher als die BW bei geschlossener
Schleife, zum Beispiel 3 bis 5 mal höher.
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Wenn
irgendeine Resonanz innerhalb eines Frequenzbereichs außerhalb
der Bandbreite der geschlossenen Schleife besteht, zum Beispiel
bis hinauf zu 10 bis 20 mal höher
als die Bandbreite bei geschlossener Schleife, könnte dies in einer Schleifenverstärkung größer als
1 bei diesem hohen Frequenzbereich, mit positiver Rückkopplung,
resultieren, somit eine positive Rückkopplung bewirken, die das
Regelungssystem in Sättigung
bringen könnte, resultierend
in Schwingungen.
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Damit
eine durch positive Rückkopplung
einer Torsionsschwingung (oder einer anderen) bewirkte Schwingung
des Systems vermieden wird, muss die niedrigste (und vorherrschende)
Schwingungsmode des Spiegels, allgemein eine Torsionsmode, bei einer
Frequenz ausreichend oberhalb dieser Bandbreite auftreten, so dass
die Verstärkung
bei geschlossener Schleife für
diese Mode kleiner als 1 ist.
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Als
ein Beispiel, bei dem Spiegel, der gegenwärtig bei dem HP INDIGO 1000
Pressedrucker verwendet wird, hat die Torsionsmode niedrigster Ordnung
eine Frequenz von ungefähr
6.000 Hz. Wenn die geforderte Geschwindigkeit der Korrektur zunimmt
(zum Beispiel, mit erhöhter
Druckgeschwindigkeit), ist es wünschenswert,
um eine gute Leistung der Rückkopplungsschleife
zu erhalten, Information von dem optischen Sensor bei Frequenzen
zu verwenden, die sich hinauf bis zu 6 kHz und darüber erstrecken.
Dies kann in einer positiven Rückkopplung bei
der Frequenz der ersten Torsionsmode resultieren, was zu unkontrollierter
Torsionsschwingung des Spiegels führt.
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Die
positive Rückkopplung
bei der Torsionsmode könnte,
im Prinzip, vermieden werden durch Verwendung eines Kerbfilters
(oder eine andere Methode), was die Amplitude des Sensorsignals
bei Frequenzen nahe der Resonanzfrequenz vermindert. Jedoch verschlechtert
eine solche Lösung
auch noch die Leistung der Rückkopplungsschleife
innerhalb des erwünschten
Frequenzbereichs wegen der begrenzten Verstärkung, die verwendet werden
kann, und des abträglichen
Einflusses des Filters auf den Phasenspielraum. Darüber hinaus
kann die Frequenz der ersten Torsionsmode des Spiegels mit verschiedenen
Systemen variieren und kann sogar über die Zeit driften, so dass
der Kerbfilter möglicherweise für jedes
System individuell justiert und/oder periodisch neu justiert werden
muss.
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Ein
Aspekt eines Ausführungsbeispiels
der Erfindung betrifft Verfahren und Einrichtung zur Rückkopplungsregelung
der Ausrichtung einer fehlerkompensierenden Ablenkeinrichtung (welche,
zum Beispiel, ein Spiegel, ein reflektierendes Prisma oder ein refraktives
Prisma sein kann) bei einem Laserdrucker, wobei ein Sensor die Ausrichtung
der Ablenkeinrichtung im wesentlichen an einem Knoten in der vorherrschenden
Schwingungsmode, zum Beispiel einer Torsionsmode, misst. Anders
als die Frequenz der ersten Torsionsmode, welche von Einheit zu
Einheit variiert, ist die Position der Nullstelle in der ersten Torsionsmode
fest, sie ist bei allen gemäß den gleichen
Spezifikationen hergestellten Systemen im wesentlichen an der gleichen
Position zu finden und driftet nicht mit der Zeit.
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Durch
Messen der Ausrichtung der Ablenkeinrichtung im wesentlichen bei
einer Nullstelle der Torsionsmode wird eine positive Rückkopplung
der Mode vermieden, und die Regelschleife kann eine gute Leistung
erreichen. Wie es hier verwendet wird, bedeutet "im wesentlichen bei einer Nullstelle" nahe genug bei einer
Nullstelle, so dass eine nicht-vernachlässigbare
positive Rückkopplung
der Mode vermieden wird. Der Ausdruck nicht-vernachlässigbar, wie
er hier verwendet wird, ist eine Größe, welche eine Verstärkung bei
geschlossener Schleife bewirkt, die hoch genug ist, um Schwingungen
oder ein Klingeln zu bewirken. Typischerweise ist die Ablenkeinrichtung
viel länger
als sie breit ist und hat einen gleichförmigen Querschnitt, und die
erste Torsionsmode hat eine Nullstelle, die sich nahe der Mitte
der Ablenkeinrichtung befindet.
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Für eine andersartige
Ablenkeinrichtungskonfiguration können andere Schwingungsmoden eine
positive Rückkopplung
haben, und die Ausrichtung der Ablenkeinrichtung wird wahlweise
im wesentlichen bei einer Nullstelle einer dieser Moden gemessen.
Jedoch ist für
einen bei dieser Art von System typischen (Ablenk-)Spiegel, der
lang, dünn
und in einer Weise gelagert ist, die es den Enden des Spiegels gestattet,
sich frei zu drehen, aber sich nicht leicht axial oder lateral zu
bewegen, die Mode niedrigster Frequenz, und die Mode, die am wahrscheinlichsten
eine positive Rückkopplung
aufweist, wahrscheinlich die erste Torsionsmode.
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Somit
wird, gemäß einem
Ausführungsbeispiel
der Erfindung ein Bilderzeuger geschaffen, mit:
- a)
einer fotoempfindlichen Oberfläche;
- b) einer Lichtquelle, welche mindestens einen abtastenden Lichtstrahl
erzeugt;
- c) einer längsausgedehnten
Ablenkeinrichtung, die mindestens eine Schwingungsmode aufweist, welche
so angeordnet ist, dass sie den mindestens einen abtastenden Lichtstrahl
auf die fotoempfindliche Oberfläche
ablenkt;
- d) einem Sensor, welcher die Ausrichtung der Ablenkeinrichtung
misst;
- e) einem Controller, der so arbeitet, dass er in Ansprache auf
die Ausrichtungsmessung durch den Sensor einen Verschiebungsfehler
des mindestens einen abtastenden Lichtstrahls auf der fotoempfindlichen
Oberfläche
bestimmt; und
- f) einem Aktuator, der auf den Verschiebungsfehler anspricht
und so angeordnet ist, dass er die Richtung der Ablenkung des mindestens
einen Lichtstrahls durch die Ablenkeinrichtung ändert,
wobei der Sensor
so konfiguriert ist, dass er die Ausrichtung der Ablenkeinrichtung
im wesentlichen an einer Nullstelle einer Schwingungsmode der Ablenkeinrichtung
misst.
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Wahlweise
ist die fotoempfindliche Oberfläche
eine bewegliche Oberfläche.
Wahlweise bestimmt der Controller den Verschiebungsfehler relativ zu
einer gewünschten
Position der fotoempfindlichen Oberfläche. Bei einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung umfasst die sich bewegende fotoempfindliche Oberfläche die
Oberfläche
eines rotierenden Zylinders. Optional umfasst die bewegliche fotoempfindliche
Oberfläche
die Oberfläche
eines sich bewegenden Bandes.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist der Sensor ein optischer Sensor. Wahlweise umfasst
der Sensor:
- a) eine zweite Lichtquelle, welche
einen zweiten Lichtstrahl erzeugt;
- b) eine zweite Ablenkeinrichtung, die an der Ablenkeinrichtung
oder an einem Träger
der Ablenkeinrichtung befestigt ist, welche den zweiten Lichtstrahl
ablenkt; und
- c) einen optischen Positionssensor, welcher eine Position des
abgelenkten zweiten Lichtstrahls misst.
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Wahlweise
umfasst die zweite Lichtquelle einen Laser, und der zweite Lichtstrahl
trifft eine Oberfläche
des optischen Positionssensors unter einem schrägen Winkel, um dadurch eine
Reflexion des zweiten Lichtstrahls von dem optischen Positionssensor
zurück
in den Laser zu vermeiden.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist die Vibrationsmode die niedrigstfrequente Schwingungsmode
der Ablenkeinrichtung.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist die Schwingungsmode eine Torsionsmode.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung liegt die Nullstelle im wesentlichen in der Mitte der
Ablenkeinrichtung in Abtastrichtung.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung wird die Ablenkung des mindestens einen abtastenden
Lichtstrahls durch ein Regelungssystem mit einer geschlossenen Schleife
kontrolliert, das die Messung des Sensors als Rückkopplungssignal verwendet.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung würde
die Rückkopplung
bei der Frequenz der Schwingungsmode positiv sein, wenn der Sensor
die Ablenkeinrichtung bei einem Maximum der Schwingungsmode messen
würde.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist der Aktuator mit mindestens einem Ende der Ablenkeinrichtung
in der Abtasteinrichtung verbunden und verdreht die Ablenkeinrichtung
um eine im wesentlichen zu der Abtastrichtung parallele Achse, und
wobei der Sensor die Ausrichtung der Ablenkeinrichtung misst.
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Bei
verschiedenen Ausführungsbeispielen der
Erfindung ist die Ablenkeinrichtung ein Spiegel oder ein Prisma.
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Bei
verschiedenen Ausführungsbeispielen der
Erfindung ist der Bilderzeuger ein Drucker oder ein Kopierer.
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Weiterhin
wird gemäß einem
Ausführungsbeispiel
der Erfindung ein Verfahren zum Erzeugen eines Bildes auf einer
fotoempfindlichen Oberfläche in
einem Bilderzeuger geschaffen, wobei eine Quer-Abtast-Position einer
Abtastzeile in Bezug auf die fotoempfindliche Oberfläche von
einer erwarteten Position abweichen kann, wobei das Verfahren folgendes umfasst:
- a) Ablenken eines Abtastungslichtstrahls unter Verwendung
einer längsausgedehnten
Ablenkeinrichtung, die mindestens eine Schwingungsmode aufweist,
so dass der abgelenkte Abtastungslichtstrahl auf die fotoempfindliche
Oberfläche
fällt,
um dadurch eine Vielzahl von Zeilen des Bildes zu erzeugen;
- c) Ändern
der Ausrichtung der Ablenkeinrichtung, um einen Fehler in der Quer-Abtast-Position
der Zeilen auf der fotoempfindlichen Oberfläche, der durch die Abweichung
bewirkt ist, zu korrigieren;
- d) Messen der Ausrichtung der Ablenkeinrichtung; und
- e) Kontrollieren der Änderung
in der Ausrichtung der Ablenkeinrichtung in Ansprache auf die Messung
der Ausrichtung der Ablenkeinrichtung,
wobei die Messung der
Ausrichtung der Ablenkeinrichtung an einem Ort auf der Ablenkeinrichtung
in der Nähe
einer Nullstelle einer Schwingungsmode der Ablenkeinrichtung vorgenommen wird.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist die fotoempfindliche Oberfläche eine sich bewegende Oberfläche.
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Wahlweise
umfasst das Verfahren:
- a) Messen der Position
der fotoempfindlichen Oberfläche;
und
- b) Finden einer Differenz zwischen der gemessenen Position oder
Ausrichtung und einer erwarteten Position oder Ausrichtung;
wobei
das Ändern
der Ausrichtung der Ablenkeinrichtung ein Ändern der Ausrichtung um einen
Betrag und in einer Richtung abhängig
von der besagten Differenz umfasst.
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Bei
verschiedenen Ausführungsbeispielen der
Erfindung umfasst die sich bewegende fotoempfindliche Oberfläche die
Oberfläche
eines rotierenden Zylinders oder die Oberfläche eines sich bewegenden Bandes.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist die Messung optisch. Wahlweise umfasst die Messung:
- a) Reflektieren eines zweiten Lichtstrahls
von einer zweiten Ablenkeinrichtung, die an der Ablenkeinrichtung
oder an einem Träger
der Ablenkeinrichtung befestigt ist; und
- b) Messen einer Position des reflektierten zweiten Lichtstrahls.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist die Schwingungsmode die niedrigstfrequente Schwingungsmode.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist die Schwingungsmode eine Torsionsmode.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung liegt die Nullstelle im wesentlichen in der Mitte der
Ablenkeinrichtung in der Abtastrichtung.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung wird die Ablenkung des mindestens einen abtastenden
Lichtstrahls in einem Regelungssystem mit einer geschlossenen Schleife
kontrolliert, das die Messung der Ablenkung als Rückkopplungssignal verwendet.
Bei einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung würde
die Rückkopplung
bei der Frequenz der Schwingungsmode positiv sein, wenn die Messung an
einem Ort der Ablenkeinrichtung bei einem Maximum der Schwingungsmode
vorgenommen werden würde.
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Bei
verschiedenen Ausführungsbeispielen der
Erfindung ist die Ablenkeinrichtung ein Spiegel oder ein Prisma.
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Bei
verschiedenen Ausführungsbeispielen der
Erfindung ist der Bilderzeuger ein Drucker oder ein Kopierer.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung werden in den folgenden Abschnitten unter Bezugnahme
auf die Zeichnungen beschrieben, welche allgemein nicht maßstäblich sind.
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1 ist
eine perspektivische Ansicht eines fotoempfindlichen Zylinders in
einem Laserdrucker mit einem beweglichen Spiegel zur Fehlerkompensation,
gemäß dem Stand
der Technik; und
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2 ist
eine Querschnittsansicht eines beweglichen Spiegels ähnlich dem
in 1 gezeigten, und eines zum Messen der Ausrichtung
des Spiegels verwendeten optischen Sensors, gemäß einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
VON AUSFÜHRUNGSBEISPIELEN
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2 zeigt
einen Querschnitt eines beweglichen Spiegels 112 (als ein
Beispiel einer Ablenkeinrichtung), sowie des in 1 gezeigten,
der zum Kompensieren von Fehlern in der Drehposition eines fotoempfindlichen
Zylinders verwendet wird, wie oben beschrieben. Im übrigen kann
das System, bei welchem der Spiegel 112 verwendet werden
kann, dem in 1 gezeigten ähnlich sein. Alternativ kann der
Spiegel von 2 in einer Abtasteinrichtung
verwendet werden, bei welcher eine Bewegung in der Quer-Abtast-Richtung
durch den Spiegel selbst erzeugt wird. Während ein fotoempfindlicher
Zylinder gezeigt ist, kann die fotoempfindliche Oberfläche auch
die Oberfläche
eines Bandes oder sogar einer ebenen oder gekrümmten Platte sein. Wie in 1 reflektiert
ein Lichtstrahl 111 vom Spiegel auf einen Zylinder 108,
und Änderungen
in der Ausrichtung des Spiegels korrigieren einen Fehler in der
Position des Strahls auf der Oberfläche des Zylinders. Der Spiegel in 2 hat
ungefähr
einen quadratischen Querschnitt, was eine größere Steifigkeit gegenüber Schwingungsmoden
bringt als der in 1 gezeigte Querschnitt mit hohem
Streckungsverhältnis.
Alternativ hat der Spiegel einen Querschnitt wie der in 1 gezeigte,
oder eine abweichende Querschnittsform. Der Querschnitt ist an einer
axialen Position halbwegs zwischen den Enden des Spiegels genommen.
Ein Sensor 222 misst die Ausrichtung des Spiegels 112 und
stellt eine Eingabe für
eine den Spiegel regelnde Rückkopplungsschaltung
bereit, wie für 1 beschrieben.
Im Gegensatz zu 1, wo der Sensor 122 sich
nahe dem Ende des Spiegels befindet, wo die Amplitude der ersten
Schwingungsmode nahe ihrem Maximum ist, misst der Sensor 222 die
Spiegelposition oder den Winkel bei oder nahe einer Nullstelle der
ersten Schwingungsmode, wo die Ablenkeinrichtung nicht durch die
Schwingung beeinflusst ist, und somit gegenüber dieser Mode unempfindlich
ist. Folglich gibt es keine nicht-vernachlässigbare positive Rückkopplung
bei der Frequenz der ersten Schwingungsmode, welche zu unkontrollierten
Torsionsschwingungen des Spiegels führen kann.
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Der
Sensor 222 arbeitet durch Reflektieren eines Lichtstrahls 202 weg
von einem kleinen Spiegel 204, der am beweglichen Spiegel 112 starr
befestigt ist, zum Beispiel an der Rückseite des Spiegels 112, wo
er die Reflexion des Lichtstrahls 111 weg von der Fläche des
Spiegels 112 nicht stören
wird.
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Eine
Laserdiode 206 erzeugt den Lichtstrahl 202, welcher
von dem kleinen Spiegel 204 weg reflektiert wird. Wahlweise
ist ein zweiter kleiner Spiegel 208 am Sensor 222 montiert,
und der Lichtstrahl 202 reflektiert ein oder mehrere Male
zwischen den Spiegeln 204 und 208, bevor er eine
Apertur 210 erreicht. Wahlweise hat die Apertur 210 eine
Linse, welche den Lichtstrahl 202 auf einen Detektor 212 fokussiert,
welcher, zum Beispiel, ein positionsempfindlicher Detektor (PSD)
ist. Alternativ trifft der Lichtstrahl 202 den PSD 212 direkt,
ohne Fokussierung. Der PSD 212 erzeugt ein Ausgabesignal
abhängig
von der Position, wo der Lichtstrahl 202 den PSD 212 trifft.
Diese Position hängt
ab vom Winkel der Ausrichtung des Spiegels 204, und folglich
vom Winkel der Ausrichtung des Spiegels 112. Folglich hängt das Ausgabesignal
des Sensors 222 von der Ausrichtung des Spiegels 112 ab.
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Wahlweise
reflektiert der Lichtstrahl 202 nur einmal vom Spiegel 204 und
geht direkt zur Linse 210, ohne Reflexion vom Spiegel 208.
Jedoch, wenn man den Lichtstrahl 202 vom Spiegel 208 reflektieren und
dann wieder vom Spiegel 204 reflektieren lässt, macht
dies die Position des Lichtstrahls 202 auf dem PSD 212 empfindlicher
für die
Ausrichtung des Spiegels 204, und die Empfindlichkeit ist
um so größer, je öfter der
Lichtstrahl 202 zwischen dem Spiegel 204 und dem
Spiegel 208 umgelenkt wird.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist der Einfallswinkel des Lichtstrahls auf den PSD
von der Normale verschieden, um eine Reflexion zurück in den
Laser zu vermeiden. Alternativ oder zusätzlich wird der Strahl nicht
fokussiert, um die Stärke
irgendeiner Reflexion zurück
in den Laser zu reduzieren. Das Vorhandensein solcher Reflexion zurück in den
Laser kann ein Modenspringen bewirken. Eine gewisse Defokussierung
kann hilfsreich sein beim Reduzieren abträglicher Effekte einer ungleichmäßigen Empfindlichkeit
des PSD mit der Position.
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Optional
wird jedwede andere im Stande der Technik bekannte Einrichtung verwendet,
um die Position des Lichtstrahls 202 zu erfassen, anstelle
einen PSD, so wie den gezeigten, zu verwenden. Zum Beispiel, Verwenden
eines geteilten Detektors, wo die Hälfte der Leistung des Lichtstrahls 202 auf
jede von zwei Seite an Seite angeordneten Fotozellen fällt, und
die Differenz im Ausgangssignal der zwei Fotozellen ein Maß für die Position
des Zentrums des Lichtstrahls 202 bildet. Wahlweise wird
eine andere Lichtquelle als eine Laserdiode verwendet.
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Alternativ
macht der Sensor 222, anstelle dass er ein optischer Sensor
ist, Gebrauch von jedweder anderer im Stande der Technik bekannten
Methode zum Messen der Ausrichtung des Spiegels 112. Zum
Beispiel ist der Sensor 222 ein kapazitiver oder induktiver
Näherungssensor,
welcher die Entfernung eines an der Rückseite des Spiegels 112 fixierten
Ziels misst, oder der Sensor 222 umfasst einen Dehnungsmessstreifen,
von dem ein Ende mit dem Spiegel 112 in Berührung ist.
Oder, der Sensor 222 ist ein optischer Sensor, der jedoch
von Interferrometrie Gebrauch macht, um die Entfernung zu einem
am Spiegel 112 angebrachten Ziel zu messen. Die Verwendung
eines optischen Sensors und eines PSD, wie oben beschrieben, hat
den potentiellen Vorteil, dass der Sensor 222 einen relativ
weiten Messbereich hat, und nicht in mechanischem Kontakt mit dem
Spiegel 112 stehen, oder auch nur dem Spiegel 112 sehr
nahe sein braucht. Die mit anderen Erfassungsmethoden mögliche größere Präzision mag nicht
erforderlich sein, und in jedem Falle kann die Präzision vergrößert werden,
wenn notwendig, durch Ändern
der Geometrie des Sensors, um die Anzahl von Umlenkungen zwischen
dem Spiegel 204 und dem Spiegel 208 zu vergrößern.
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Wahlweise
justiert der Spiegel 112 die Position des reflektierten
Lichtstrahls 111 auf dem Fotorezeptor durch Translation,
anstelle oder zusätzlich
zu einer Verdrehung. In diesem Falle misst der Sensor 222 wahlweise
die Position des Spiegels 112, oder einer geeigneten Kombination
von Position und Ausrichtung, anstelle dass er nur die Ausrichtung
misst.
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Die
Erfindung ist im Zusammenhang mit der besten Weise, um sie auszuführen, beschrieben
worden. Es sollte verstanden werden, dass gemäß einigen Ausführungsbeispielen
der Erfindung nicht alle in der Zeichnung gezeigten oder in dem
zugehörigen Text
beschriebenen Merkmale bei einer tatsächlichen Einrichtung vorhanden
sein brauchen. Weiterhin sind Variationen an dem Verfahren und der
gezeigten Einrichtung innerhalb des Schutzbereichs der Erfindung enthalten,
welcher nur durch die Ansprüche
begrenzt ist. Auch können
Merkmale eines Ausführungsbeispiels
in Verbindung mit Merkmalen eines anderen Ausführungsbeispiels der Erfindung
vorgesehen werden. Wie sie hier verwendet werden, bedeuten die Ausdrücke "aufweisen", "enthalten" und "umfassen" oder deren Zusammensetzungen "enthalten, aber nicht
darauf beschränkt".