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Hintergrund
der Erfindung
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Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft allgemein ein optisches System. Spezieller
betrifft sie ein optisches Verkleinerungssystem, das in der Halbleiterherstellung
verwendet wird.
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Stand der
Technik
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Halbleiter
werden normalerweise hergestellt, indem verschiedene photolithografische
Verfahren verwendet werden, die mit komplexen optischen Systemen
durchgeführt
werden. Zum Beispiel ist ein bei der Herstellung von Halbleitern
verwendetes komplexes, optisches System ein katadioptrisches optisches Verkleinerungssystem.
Während
sich diese komplexen optischen Systeme ihrem beabsichtigten Zweck entsprechend
ausführen
lassen, wird die Steuerung von Aberrationen in diesen optischen
Systemen zunehmend wichtig, das die Halbleiter-Hersteller anstreben,
Halbleiterbauelemente kleiner zu machen. Aberrationen begrenzen
die Mindestgröße von Bauelementstrukturen,
die auf einem Halbleiterchip reproduziert werden können.
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Das
Abbilden in komplexen optischen Systemen kann gesteuert werden,
indem mehrere Linsen und ein oder mehrere Spiegel verwendet werden.
Um kleine Bauelementstrukturen auf einem solche Systeme verwendenden
Halbleiter zu reproduzieren, kann eine passive Vorrichtung eingesetzt
werden, um auf einen Spiegel des optischen Systems eine Kraft aufzubringen
und dadurch einige der Aberrationen in dem optischen System zu kompensieren.
Zum Beispiel kann eine an einem Spiegel befestigte passive Vorrichtung
genutzt werden, um mit relativem Erfolg wenigstens etwas Astigmatismus
in einem optischen System zu kompensieren. Bekannte passive Vorrichtungen
weisen jedoch Einschränkungen
auf und stellen kein Steuerungselement bereit, das benötigt wird,
um Änderungen
im Astigmatismus und anderen Aberrationen, die sich aus Faktoren
der Umgebung wie Temperaturänderungen
ergeben, zu kompensieren.
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Die
Druckschrift
US 4 664 488 beschreibt eine
das Licht reflektierende Vorrichtung, die in der Lage ist, optische
Aberrationen zu korrigieren, indem die lichtreflektierende Oberfläche einer
rechteckigen Platte verändert
wird. Insbesondere sind drei, mit der Rückseite der reflektierenden
Platte einstückig
ausgebildete Schenkelelemente jeweils an den oberen und unteren
Kanten sowie an gegenüber
liegenden Seitenkanten der Platte angeordnet. Mit diesen Schenkelelementen
sind sechs Verbindungsstangen verbunden, die es ermöglichen,
dass eine Kraft auf die lichtreflektierende Oberfläche aufgebracht
wird. In einer Ausführung
ist an einem Ende der Stange ein Mikrometer befestigt, das die Stange
in der Längsrichtung
bewegt, um auf die lichtreflektierende Oberfläche eine Kraft aufzubringen.
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US 4 664 488 offenbart eine
Vorrichtung gemäß Oberbegriff
von Anspruch 1.
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Was
benötigt
wird, sind neue Einrichtungen zur Steuerung von Aberrationen in
komplexen optischen Systemen, die es erlauben, dass solche Systeme
zum Reproduzieren von sehr kleinen Bauelementstrukturen auf einem
Halbleiter verwendet werden.
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Abriss der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung stellt eine Vorrichtung für aktive Kompensation von Aberrationen
in einem optischen System bereit, welche die im Anspruch 1 dargelegten
Merkmale aufweist. In einer bevorzugten Ausführung sind an einem Spiegel
eine erste Kraftstange und eine zweite Kraftstange befestigt. Die
erste Kraftstange ist gabelförmig,
um eine Öffnung
in der Nähe
ihres Längsmittelpunkts
zu bilden. Diese Öffnung
bildet erste und zweite gegenüber
liegende Flächen.
Die zweite Kraftstange ist im Wesentlichen senkrecht zur ersten
Kraftstange und erstreckt sich durch die Öffnung der ersten Kraftstange,
so dass ein mittlerer Abschnitt der zweiten Kraftstange in der Öffnung der
ersten Kraftstange angeordnet ist. Die zweite Kraftstange ist mit
der ersten Fläche
durch mindes tens ein Stellglied verbunden. Eine Längsbewegung
des Stellglieds bringt auf den Spiegel eine Kraft auf, die eine
Verschiebung oder eine Veränderung
der Form des Spiegels verursacht. Es wird eine Tragestruktur verwendet,
um das Gewicht der Kraftstangen und Stellglieder zu halten. Die Kraftstangen
sind durch eine Vielzahl von Verformungselementen mit der Tragestruktur
verbunden.
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In
einer bevorzugten Ausführung
nach der Erfindung sind die Kraftstangen Blattfedern und die Stellglieder
sind Druckluftbalge.
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Kurze Beschreibung
der Figuren
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Die
begleitenden Zeichnungen, die hier einbezogen sind und einen Teil
der Beschreibung bilden, veranschaulichen die vorliegende Erfindung
und dienen zusammen mit der Beschreibung des Weiteren dazu, die
Prinzipien der Erfindung zu erläutern
und dem Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet zu ermöglichen,
die Erfindung herzustellen und zu verwenden.
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1 ist
eine schematische Darstellung eines beispielhaften optischen Systems,
in dem die vorliegende Erfindung verwendet werden kann;
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2A ist
eine schematische Darstellung eines Spiegels, der eine Z5 Zernike
Kreis-Aberration aufweist;
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2B ist
eine schematische Darstellung eines Spiegels, der eine Z6 Zernike
Kreis-Aberration aufweist;
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3A ist
die Seitenansicht einer beispielhaften passiven Vorrichtung zur
Kompensation von Astigmatismus in einem optischen System;
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3B ist
die Draufsicht einer beispielhaften passiven Vorrichtung zur Kompensation
von Astigmatismus in einem optischen System;
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4A ist die Seitenansicht einer beispielhaften
Vorrichtung für
aktive Kompensation von Astigmatismus in einem optischen System
nach einer Ausführung
der vorliegenden Erfindung;
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4B ist eine Draufsicht der beispielhaften Vorrichtung
für aktive
Kompensation von Astigmatismus in einem optischen System nach einer
Ausführung
der vorliegenden Erfindung;
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5A ist
eine Seitenansicht einer beispielhaften Vorrichtung für aktive
Kompensation von Astigmatismus in einem optischen System nach einer
zweiten Ausführung
der vorliegenden Erfindung;
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5B ist
eine Draufsicht der beispielhaften Vorrichtung für aktive Kompensation von Astigmatismus
in einem optischen System nach einer zweiten Ausführung der
vorliegenden Erfindung;
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6 ist
die schematische Darstellung eines beispielhaften Systems für aktive
Kompensation von Astigmatismus in einem optischen System;
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7 ist
ein Ablaufdiagramm eines beispielhaften Verfahrens für aktive
Kompensation von Astigmatismus in einem optischen System.
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Die
vorliegende Erfindung wird mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen
beschrieben. In den Zeichnungen geben gleiche Bezugszahlen gleiche oder
funktionell ähnliche
Elemente an. Außerdem
erkennt die ganz linke Ziffer einer Bezugszahl die Zeichnung, bei
der die Bezugszahl zuerst erscheint.
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Ausführliche Beschreibung der bevorzugten
Ausführungen
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Überblick der Erfindung und
Terminologie
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Die
vorliegende Erfindung stellt eine Vorrichtung, ein System und ein
Verfahren für
aktive Kompensation von Aberrationen in einem optischen System bereit.
Zum Beispiel kann die vorliegende Erfindung verwendet werden, um
Astigmatismus und andere Aberrationen in einem zur Halbleiterherstellung verwendeten
optischen Verkleinerungssystem aktiv zu kompensieren. Die Erfindung
nutzt Kraftstangen und Stellglieder, um die reflektierende Oberfläche eines
Spiegels zu biegen und dadurch einfallende, elektromagnetische Wellenfronten
im Verhältnis
zur reflektierenden Wirkung des ungebogenen Spiegels selektiv zu ändern. In
einer Ausführung
sind die Kraftstangen an einem Umfangsabschnitt des Spiegels durch
Verformungselemente befestigt.
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Um
die vorliegende Erfindung besser zu beschreiben, sind die folgenden
Begriffe definiert: der Begriff „Aberration" bedeutet einen Defekt
des optischen Systems, der bewirkt, dass ein Bild von den Regeln
paraxialer Abbildung abweicht. Aberrationen können zum Beispiel durch Kreispolynome
nach Zernike beschrieben werden. Kreispolynome nach Zernike sind
jedoch nicht das einzige Mittel zum Beschreiben von Aberrationen
wie es dem Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet bekannt sein würde.
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Der
Begriff „aktive
Kompensation" bedeutet Verformen
oder Biegen optischer Elemente wie zum Beispiel die reflektierende
Oberfläche
eines Spiegels durch verschiedene Mittel zum Zweck der Korrektur oder
Steuerung der Leistungsfähigkeit
eines optischen Systems und seiner damit verbundenen Abbildens.
Aktive Kompensation kann verwendet werden, um zum Beispiel Astigmatismus
auf Grund von sich ändernden
Umgebungsbedingungen wie Temperatur zu kompensieren. Aktive Kompensationssysteme können Steuerelemente
mit geöffnetem
Kreis oder geschlossenem Kreis enthalten, um das Verformen oder
Biegen eines optischen Elements zu steuern, ohne dass ein manueller
Eingriff erforderlich ist, wie es dem Fachmann auf dem entsprechenden
Gebiet, dem die Beschreibung gegeben wird, bekannt sein würde.
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Der
Begriff „Stellglied" bedeutet eine beliebige
Vorrichtung, die zum Aufbringen einer Kraft oder Verschiebung auf
eine mechanische Vorrichtung verwendet werden kann. Ein Stellglied
kann zum Beispiel elektromechanisch oder pneumatisch betätigt werden.
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Der
Begriff „asphärischer
Spiegel" bedeutet ein
Spiegel, der eine nicht sphärische
Oberfläche aufweist.
Die asphärische
Oberfläche
eines Spiegels kann zum Beispiel in einem katadioptrischen optischen
System verwendet werden, um eine einfallende elektromag netische
Wellenfront im Verhältnis
zur reflektierenden Wirkung einer sphärischen Oberfläche zu verändern.
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Der
Begriff „Astigmatismus" bedeutet eine Aberration,
die sich in der tangentialen Bildebene und der radialen Bildebene
eines optischen Systems, die axial getrennt sind, ergibt.
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Der
Begriff „katadioptrisches
optisches System" bedeutet
ein optisches System, dessen Brechwert erhalten wird, indem sowohl
Reflexion als auch Brechung verwendet wird. Während die relativen Brechwerte
der Linsen und Spiegel in einem katadioptrischen, optischen System
sich von System zu System verändern,
sind solche Systeme typischerweise durch die Verwendung von reflektierenden Oberflächen gekennzeichnet,
um einen bedeutenden Anteil der fokussierenden Wirkung der Systeme
in Kombination mit Brechungsflächen
kleiner fokussierender Wirkung oder von Null zu erzielen. Diese
Systeme erzeugen ein Bild, das verbesserte Aberrationseigenschaften
aufweist.
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Der
Begriff „Verformungselement" bedeutet eine Vorrichtung,
die im Wesentlichen nur in einer Abmessung steif ist. Beispiel eines
Verformungselements sind zwei Kugelgelenke, die durch eine Stange verbunden
werden. Die in einer bevorzugten Ausführung nach der vorliegenden
Erfindung verwendeten Verformungselemente enthalten Metallstangen
mit acht Aussparungen, die aus ihnen herausgeschnitten und als vier
gegenüber
liegende Paare angeordnet sind. Die gegenüber liegenden Paare von Aussparungen
sind aus einem Ende der Metallstange herausgeschnitten, so dass
die Unterseiten der Aussparungen zueinander zeigen und sich fast
berühren. Aus
der Stange sind zwei zusätzliche
Aussparungen direkt unterhalb des ersten gegenüber liegenden Paars von Aussparungen
herausgeschnitten, die in einem Winkel von 90° (senkrecht) zu dem ersten gegenüber liegenden
Paar von Aussparungen ausgerichtet sind. Das gegenüber liegende
Ende der Metallstangen besitzt zwei Paare von Aussparungen, die
in ähnlicher
Weise ausgeschnitten sind.
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Der
Begriff „Kraftstange" bedeutet eine Längsvorrichtung,
die in der Lage ist, eine Kraft in der Nähe ihres Mittelpunkts aufzunehmen
und diese Kraft zu ihren Enden zu übertragen. Eine Blattfeder und
eine Metallstange sind Beispiele einer Kraftstange.
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Der
Begriff „auf
eine Aberration bezogener Parameter" bedeutet einen beliebigen Parameter, der überwacht
werden kann und verwendbar ist, um das Vorhandensein einer Aberration
in einem optischen System vorherzusagen und/oder ein optisches Element
zu steuern, um eine Aberration zu kompensieren. Beispiele umfassen
Temperatur, Druck und elektromagnetische Energie.
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Der
Begriff „Konektursignal" bedeutet ein beliebiges
Signal oder einen Wert, die bei der Bestimmung einer auf das optische
Element eines optischen Systems aufzubringenden Kraft oder Verschiebung verwendet
werden, um eine Aberration in dem optischen System aktiv zu korrigieren
oder zu kompensieren.
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Beispielhaftes optisches
System, in dem die vorliegende Erfindung verwendet werden kann
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1 zeigt
ein beispielhaftes optisches System 100, in dem die vorliegende
Erfindung verwendet werden kann. Das beispielhafte optische System 100 ist
nur beispielhaft dargestellt und nicht dazu beabsichtigt, den Umfang
der vorliegenden Erfindung zu beschränken. Wie es sich dem Fachmann
auf dem entsprechenden Gebiet, dem die Beschreibung gegeben wird,
erschließen
wird, kann die vorliegende Erfindung verwendet werden, um Aberrationen
in vielen unterschiedlichen optischen Systemen zu kompensieren.
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Das
beispielhafte optische System 100 ist ein katadioptrisches
optisches Verkleinerungssystem. Das beispielhafte optische System 100 wird
bei der Herstellung von Halbleitern verwendet. Wie in 1 ersichtlich
ist, enthält
das beispielhafte optische System 100 ein Fadenkreuz 110,
eine erste Linsengruppe 120, einen Klappspiegel 130,
eine zweite Linsengruppe 140, einen Strahlenteilerblock 150, eine
Viertel-Lambda-Platte 160, einen Konkavspiegel 170,
ein Aberrations-Kompensationsmodul 175 und eine dritte
Linsengruppe 189. In der Bildebene 190 ist ein
Halbleiter oder Wafer angeordnet.
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Eine
einfallende elektromagnetische Wellenfront, die in das optische
System 100 am Fadenkreuz 110 eintritt, konvergiert
zu einem Brennpunkt auf der Bildebene 190. Das optische
System kann verwendet werden, um die Eigenschaften einer Halbleitermaske, die
am Fadenkreuz 110 angeordnet ist, auf einem in der Bildebene 190 befindlichen
Wafer zu reproduzieren. Die einfallende elektromagnetische Wellenfront
tritt in das optische System 100 am Fadenkreuz 110 ein
und verläuft
durch die Linsengruppe 120. Der Klappspiegel 130 wird
verwendet, um eine die Linsengruppe 120 verlassende, einfallende elektromagnetische
Wellenfront in die Linsengruppe 140 und den Strahlenteilerblock 150 zu
lenken. Der Strahlenteilerblock 150 lenkt einen Teil der
eintreffenden elektromagnetischen Wellenfront durch die Viertel-Lambda-Platte 160 in
den Spiegel 170. Der Spiegel 170 reflektiert die
ankommende elektromagnetische Wellenfront durch die Viertel-Lambda-Wellenplatte 160 und
den Strahlenteilerblock 150 zurück in die Linsengruppe 180.
Wenn die elektromagnetische Wellenfront von der Linsengruppe 180 austritt,
konvergiert sie zu einem Brennpunkt in der Bildebene 190.
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Wie
in 1 ersichtlich ist, ist an dem Spiegel 170 ein
Aberrations-Kompensations-Modul 175 befestigt.
Das Aberrations-Kompensations-Modul 175 wird verwendet,
um zum Beispiel Astigmatismus sowohl in dem Spiegel 170 als
auch in dem optischen System 100 zu kompensieren. Das Aberrations-Kompensations-Modul 175 kompensiert
Astigmatismus, indem zum Beispiel eine Kraft auf den Umfang des
Spiegels 170 aufgebracht und dadurch die reflektierende
Oberfläche
des Spiegels 170 gebogen und verformt wird. In dem optischen
System 100 ist der Spiegel 170 vorzugsweise ein
konkaver, asphärischer
Spiegel, der verwendet werden kann, um einfallende elektromagnetische
Wellenfronten zu ändern.
Die Größe, um die
eine einfallende elektromagnetische Wellenfront im Verhältnis zur
normalen Reflexionswirkung des Spiegels 170 geändert wird,
wird durch die Biege- oder Verschiebungskraft, die durch das Aberrations-Kompensations-Modul 175 auf
den Spiegel 170 aufgebracht wird, gesteuert.
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Aberrationen
in einem optischen System
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Jedes
optische System besitzt Aberrationen. Aberrationen werden durch
eigene Mängel
der in einem optischen System verwendeten Linsen und Spiegel verursacht.
Beispielsweise ist Astigmatismus ein Beispiel von monochromatischer
Aberration, die Bildunschärfe
verursacht. Wie nachstehend beschrieben wird, kann die vorliegende
Erfindung eingesetzt werden, um Astigmatismus in dem optischen System 190 zu
korrigieren oder zu kompensieren. Die Erfindung ist jedoch nicht
darauf beschränkt,
nur Astigmatismus in dem optischen System 100 zu korrigieren,
wie es sich dem Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet, dem die
Beschreibung der vorliegenden Erfindung gegeben wurde, erschließen wird.
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2A und 2B sind
beispielhafte schematische Darstellungen von Spiegeln mit Astigmatismus.
Wie es dem Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet verständlich werden
würde,
können
Aberrationen in einem optischen System durch Kreispolynome nach
Zernike beschrieben werden. 2A zeigt
einen Spiegel 170a, der Astigmatismus mit einem Z5 Zernike
Kreispolynom aufweist. 2B zeigt einen Spiegel 170b,
der Astigmatismus mit einem Z6 Zernike Kreispolynom aufweist. Wie
in 2A und 2B ersichtlich
ist, sind Z5-Astigmatismus und Z6-Astigmatismus um 45° voneinander
versetzt.
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Wie
in 2A dargestellt ist, besitzt der Spiegel 170a eine
konkave, nicht sphärische,
reflektierende Oberfläche.
Die reflektierende Oberfläche des
Spiegels 170a wird in einer Weise verformt, dass auf die
Umfangsfläche
des Spiegels 170a bei 0° und 180° einfallende
elektromagnetische Wellenfronten eher konvergieren werden als elektromagnetische Wellenfronten,
die bei 90° und
270° auf
die Umfangsfläche
des Spiegels 170a einfallen. Der Z5 Astigmatismus des Spiegels 170a kann
eingeleitet werden, indem das Aberrations-Kompensations-Modul 175 an
der nicht reflektierenden Oberfläche
des Spiegels 170a, wie in 1 dargestellt,
befestigt wird. Um Z5-Astigmatismus in dem Spiegel 170a und/oder
in dem optischen System 100 zu korrigieren oder zu kompensieren,
muss das Aberrations-Kompensations-Modul 175 eine Druck-
oder Zugkraft auf den Umfang der nicht reflektierenden Oberfläche des Spiegels 170a bei
0° und 180° und eine
entgegen gesetzte Druck- oder Zugkraft auf den Umfang der nicht reflektierenden
Oberfläche
des Spiegels 170a bei 90° und
270° aufbringen.
Dem Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet wird verständlich,
warum das Aufbringen von Kräften
auf diese Weise den Astigmatismus korrigiert oder kompensiert.
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Wie
in 2B dargestellt ist, besitzt der Spiegel 170b außerdem eine
konkave, nicht sphärische,
reflektierende Oberfläche.
Die reflektierende Oberfläche
des Spiegels 170b wird in einer Weise verformt, dass bei
45° und
225° auf
die Umfangsfläche
des Spiegels 170b einfallende elektromagnetische Wellenfronten
eher konvergieren werden als bei 135° und 315° auf die Umfangsfläche des
Spiegels 170b einfallende elektromagnetische Energiewellenfronten.
Der Z6-Astigmatismus des Spiegels 170b kann eingeleitet
werden, indem ein Aberrations-Kompensations-Modul an der nicht reflektierenden
Oberfläche
des Spiegels 170b befestigt wird und eine Druck- oder Zugkraft
auf den Umfang der nicht reflektierenden Oberfläche des Spiegels 170b bei
45° und 225° sowie eine
entgegen gesetzte Druck- oder Zugkraft auf den Umfang der nicht
reflektierenden Oberfläche
des Spiegels 170b bei 135° und 315° aufgebracht wird. Wie oben
erwähnt,
wird dem Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet verständlich,
warum das Aufbringen von Kräften
auf diese Weise den Z6-Astigmatismus in dem Spiegel 170b und/oder
in dem optischen System 100 korrigiert oder kompensiert.
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Wie
dem Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet bekannt sein würde, können Linsen
und Spiegel sowohl Z5-Astigmatismus als auch Z6-Astigmatismus aufweisen.
Die Bedeutung, Astigmatismus entweder als Z5-Astigmatismus oder
als Z6-Astigmatismus zu klassifizieren, ist, dass sich das Prinzip
der Überlagerung
auf Astigmatismus in einem optischen System bezieht. Wie dem Fachmann
auf dem entsprechenden Gebiet, dem die Erörterung gegeben wird, bekannt
sein würde,
kann jeder Astigmatismus in einem optischen System als eine Kombination
von Z5-Astigmatismus und Z6-Astigmatismus ausgedrückt werden.
Dies ist entscheidend, weil ein Aberrations-Kompensations-Modul 175 ausgeführt werden
kann, um Kräfte
auf den Umfang des Spiegels 170 aufzubringen, die jede
Kombination von Z5-Astigmatismus und Z6-Astigmatismus in dem optischen
System 100, wie nachstehend beschrieben, kompensieren wird.
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Astigmatismus
in dem optischen System 100 oder einem beliebigen Teil
davon wird in einer Weise korrigiert oder kompensiert, die der oben
beschriebenen ähnlich
ist. Astigmatismus in den Linsen der Linsengruppe 120 und
der Linsengruppe 140 des optischen Systems 100 wird
bewirken, das elektromagnetische Wellenfronten an bestimmten Stellen
der reflektierenden Oberfläche
des Spiegels 170 eher ankommen als an anderen Stellen.
Um die Differenz der Ankunftszeiten der Wellenfronten zu kompensieren, kann
das Aberrations-Kompensations-Modul 175 eingesetzt werden,
um die reflektierende Oberfläche des
Spiegels 170 in einer Weise zu biegen, dass Wellenfronten,
die an einer speziellen Stelle auf der reflektierenden Oberfläche des
Spiegels 170 ankommen, fortschreiten oder sich verzögern werden.
Das Aberrations-Kompensations-Modul 175 kann außerdem genutzt
werden, um Astigmatismus in der Linsengruppe 180 zu kompensie ren
wie es dem Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet, dem die Erörterung
hier gegeben wird, bekannt sein würde.
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Wie
gut Astigmatismus für
ein optisches System 100 korrigiert oder kompensiert werden
kann, ist vom Typ der zum Biegen des Spiegels 170 verwendeten
Vorrichtung abhängig,
wie es nachstehend weiter beschrieben wird.
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Vorrichtung
zur passiven Kompensation von Astigmatismus
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Ein
Mittel zum Kompensieren von Astigmatismus in dem optischen System 100 ist
das Befestigen einer passiven Kompensationsvorrichtung 300 an
der nicht reflektierenden Oberfläche
des Spiegels 170 wie es in 3 dargestellt
ist. Während
passive Kompensationsvorrichtungen wie die Kompensationsvorrichtung 300 für deren
beabsichtigte Zwecke gut funktionieren, sind sie in ihrer Fähigkeit,
Astigmatismus zu kompensieren, eingeschränkt. Zum Beispiel ist in passiven
Kompensationsvorrichtungen kein Steuerungselement vorgesehen, das
benötigt wird,
um Änderungen
im Astigmatismus, die sich aus Umweltfaktoren wie Temperatur ergeben,
zu kompensieren. Um die Merkmale der vorliegenden Erfindung deutlicher
darzustellen, wird nachstehend die passive Kompensationsvorrichtung 300 sowie
deren Grenzen beschrieben.
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3A (Seitenansicht)
und 3B (Draufsicht) veranschaulichen die passive Kompensationsvorrichtung 300.
Die passive Kompensationsvorrichtung 300 umfasst eine Metallstange 310 und
zwei Füße 330a und 330b,
die an den Enden der Metallstange 310 befestigt sind. Die
passive Kompensationsvorrichtung 300 ist an einem Spiegel 170 mittels Ringscheibe 315,
einer Flügelmutter 320 und
einer Schraube 350 befestigt. Die Schraube 350 ist
an der nicht reflektierenden Oberfläche des Spiegels 170 mit
einer federnden Zahnscheibe 340 befestigt.
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Die
passive Kompensationsvorrichtung 300 kann eingesetzt werden,
um Astigmatismus dadurch zu kompensieren, dass die Füße 330a und 330b mit dem
Teil des Spiegels 170 ausgerichtet werden, an dem eine
Druckkraft erforderlich ist. Zum Beispiel würden die Füße 330a und 330b bei
90° bzw.
270° angeordnet
sein, wenn die passive Kompensationsvorrichtung 300 in 2A an
dem Spiegel 170a befestigt sein würde. Die Füße 330a und 330b würden bei
135° bzw.
315° angeordnet
sein, wenn die passive Kompensationsvorrichtung 300 in 2B an
dem Spiegel 170b befestigt sein würde. Die Größe der auf den Spiegel 170 aufgebrachten
Kompensationskraft wird durch die Flügelmutter 320 gesteuert.
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Wie
in 3A und 3B ersichtlich
ist, weist die passive Kompensationsvorrichtung 300 erhebliche
Einschränkungen
auf. Diese Einschränkungen
verhindern, dass die passive Kompensationsvorrichtung 300 und
beliebige ähnliche
passive Kompensationsvorrichtungen in einem optischen System eingesetzt
werden, das zum Reproduzieren von sehr scharfen Bildern feiner Strukturen
wie zum Beispiel Bauelementstrukturen in der Größe von Mikrometern in einem
Halbleiter benötigt
wird.
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Zum
Beispiel besitzt die passive Kompensationsvorrichtung 300 kein
Steuerelement, um die auf den Spiegel 170 aufgebrachte
Kraft basierend auf sich ändernden
Bedingungen der Umgebung automatisch einzustellen. Wie dem Fachmann
auf dem entsprechenden Gebiet bekannt sein würde, wird Astigmatismus in
einem optischen System durch Änderungen
der Umgebungsbedingungen wie Temperatur beeinflusst werden. Temperaturänderungen
bewirken thermische Spannungen, die dazu neigen, dass sich unterschiedliche
Bauelemente eines optischen Systems in unterschiedlichen Verhältnissen ausdehnen
oder zusammenziehen. Temperaturänderungen
verursachen außerdem Änderungen
des Brechungsindex optischer Werkstoffe. Wenn sich der Brechungsindex
optischer Werkstoffe in einer Umgebung gleichmäßiger Temperatur ändert, entwickeln sich
Aberrationen einschließlich
Astigmatismus. Wenn sich die optischen Eigenschaften dieser Bauelemente
mit der Temperatur ändern,
verändern
sich Aberrationen wie Astigmatismus in einem optischen System. Weil
es keine Mittel gibt, um die auf den Spiegel 170 aufgebrachte
kompensierende Kraft, wenn die passive Kompensationsvorrichtung 300 eingesetzt
wird, aktiv zu verändern,
wird auf der Bildebene 190 auf Grund von Aberrationen zum
Beispiel Astigmatismus, immer Bildunschärfe auftreten.
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Die
passive Kompensationsvorrichtung 300 ist in ihrer Fähigkeit
zum Kompensieren von Astigmatismus auch eingeschränkt, weil
sie nur eine Druckkraft auf den Umfang des Spiegels 170 aufbringen kann.
Wie oben in Bezug auf 2A und 2B beschrieben
ist, müssen
auf den Spiegel 170 sowohl eine Zugkraft als auch eine
Druckkraft aufge bracht werden, um Aberrationen wie Astigmatismus
in einem optischen System exakt zu korrigieren oder kompensieren.
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Wie
in 3A gezeigt, bringt die passive Vorrichtung 300 auf
die mittlere Achse des Spiegels 170 eine Zugkraft auf.
Das ist so auf Grund der Mittel, die zum Befestigen der passiven
Vorrichtung 300 an dem Spiegel 170 verwendet werden.
Dies erzeugt eine Zugkraft auf die Achse des Spiegels 170,
die dazu neigt, die reflektierende Fläche des Spiegels 170 zu
verdrehen, ohne Astigmatismus zu kompensieren. Wie dem Fachmann
auf dem entsprechenden Gebiet, dem die Erörterung hier gegeben wird,
ersichtlich werden würde,
wird eine auf die Mittelachse des Spiegels 170 aufgebrachte
Zugkraft den Astigmatismus nicht korrigieren oder kompensieren,
weil Astigmatismus eine außeraxiale
Aberration ist.
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Eine
weitere Beschränkung
der passiven Kompensationsvorrichtung 300 ist, dass ihr
Gewicht vom Spiegel 170 getragen wird. Das Gewicht der passiven
Kompensationsvorrichtung 300 neigt somit dazu, die reflektierende
Oberfläche
des Spiegels 170 zu verdrehen und kann verhindern, dass
das optische System 100 sehr scharte Bilder feiner Strukturen
reproduziert.
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Zusätzliche
Einschränkungen
der passiven Kompensationsvorrichtung 300 und ähnlicher
Vorrichtungen werden dem Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet,
dem die Erörterung
hier gegeben wird deutlich. Diese Einschränkungen werden durch die vorliegende
Erfindung überwunden.
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Vorrichtung für aktive
Kompensation von Aberrationen in einem optischen System
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Die
vorliegende Erfindung stellt eine Vorrichtung bereit, die für aktive
Kompensation von Aberrationen in einem optischen System verwendet
werden kann. Zum Beispiel sind die nachstehend ausführlich beschriebenen,
speziellen Ausführungen
der vorliegenden Erfindung in der Lage, gleichzeitig sowohl Z5-Astigmatismus
als auch Z6-Astigmatismus zu kompensieren. Wie dem Fachmann auf
dem entsprechenden Gebiet, dem die Beschreibung hier gegeben wird,
deutlich wird, sind Ausführungsbeispiele nach
der vorlie genden Erfindung zur Kompensation für jede beliebige Aberration
in einem optischen System in der Lage.
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4A (Seitenansicht) und 4B (Draufsicht)
stellen ein Kompensationsmodul 400 für aktive Kompensation von Astigmatismus
in dem optischen System 100 entsprechend einer Ausführung nach der
vorliegenden Erfindung dar. Das Kompensationsmodul 400 weist
eine Kraftstange 410 auf, die durch Stellglieder 420 mit
der Kraftstange 415 verbunden sind. Die Kraftstangen 410 und 415 werden
durch eine Vielzahl von Verformungselementen 430 an dem
Spiegel 170 befestigt. Das Gewicht der Kraftstangen 410 und 415 sowie
das Gewicht der anderen Bauelemente des Kompensationsmoduls 400 werden
durch die Tragestruktur 450 anstelle des Spiegels 170 gehalten.
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Wie
in 4A und 4B ersichtlich,
ist die Kraftstange 410 im Wesentlichen senkrecht zur Kraftstange 415.
In einer Ausführung
besitzt die Kraftstange 410 in der Nähe ihres Längsmittelpunktes eine Öffnung.
Diese Öffnung
ist in der Kraftstange 410 durch eine gabelförmige Kraftstange 410 in
der Nähe ihres
Mittelpunkts ausgebildet, so dass sie gegenüber liegende erste und zweite
Flächen
aufweist. Die Kraftstange 415 wird durch die Öffnung in
der Kraftstange 410 geführt
und liegt zum Teil in der Öffnung. Diese
Anordnung erlaubt den Stellgliedern 420a und 420b,
die Kraftstange 415 mit der gegenüber liegenden ersten Fläche der
Kraftstange 410 und den Stellgliedern 420c und 420d zu
verbinden, um die Kraftstange 415 mit der zweiten gegenüber liegenden
Fläche
der Kraftstange 410 zu verbinden. Wie dem Fachmann auf
dem entsprechenden Gebiet deutlich werden würde, wird nur ein Stellglied 420 benötigt, damit
die Erfindung wirksam funktioniert, wobei andere Mittel zum Verbinden
der Kraftstangen 410 und 415 mittels Stellglied 420 möglich sind.
Zum Beispiel könnte
die Kraftstange 410 keine Öffnung haben. In diesem Falle
kann die Kraftstange 415 mit der Kraftstange 410 nur
mit einem Stellglied verbunden werden, das sich am Kreuzungspunkt
der Kraftstangen 410 und 415 befindet.
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In
der in 4A und 4B dargestellten beispielhaften
Ausführung
sind die Enden der Kraftstangen 410 und 415 am
Umfang des Spiegels 170 durch Verformungselemente 430 befestigt.
Das eine Ende der Kraftstange 410 ist durch ein Verformungselement 430a an
dem Spiegel 170 befestigt. Ein zweites Ende der Kraftstange 410 ist
durch das Verformungselement 430b an dem Spiegel 170 befestigt.
In einer Ausführung
nach der vorliegenden Erfindung bestehen die Kraftstangen 410 und 415 jeweils aus
Metall. Die Kraftstangen 410 und 415 können auch
Blattfedern sein.
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In
der in 4A und 4B gezeigten
beispielhaften Ausführung
sind die Stellglieder 420 Druckluftbalge. Den Druckluftbalgen 420 wird
Steuerluft zugeführt,
indem die Versorgungsleitungen 422 genutzt werden. Gemäß 4A und 4B leitet die
Luftversorgungsleitung 422a Steuerluft in die Druckluftbalge 420a ein,
und die Luftversorgungsleitung 422b leitet Steuerluft in
die Druckluftbalge 420b ein. Zusätzliche Luftversorgungsleitungen
(nicht gezeigt) leiten bei Bedarf Steuerluft in die wahlweisen Druckluftbalge 420c und 420d ein.
Die Enden der Kraftstange 410 werden auf den Umfang des
Spiegels 170 eine Zugkraft aufbringen, wenn die Druckluftbalge 420a und 420b auf
einen Druck gebracht werden, der größer ist als der der Druckluftbalge 420c und 420d.
Unter diesen gleichen Bedingungen werden die Enden der Kraftstange 415 auf
den Umfang des Spiegels 170 eine Druckkraft ausüben. Das Entlüften der
Druckluftbalge 420c und 420d in die Umgebung und
die Druckbeaufschlagung der Druckluftbalge 420a und 420b auf
einen Druck, der größer als
der atmosphärische
Druck ist, wird bewirken, dass die Enden der Kraftstange 410 eine
Zugkraft auf den Umfang des Spiegels 170 aufbringen und
die Enden der Kraftstange 415 eine Druckkraft auf den Umfang
des Spiegels 170 aufbringen.
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In
einer weiteren Ausführung
nach der vorliegenden Erfindung können die Stellglieder 420 elektromechanische
Geräte
wie zum Beispiel Magnetspulen anstelle pneumatischer Vorrichtungen
sein. Es wird in Erwägung
gezogen, anstelle von Druckluftbalgen andere Stellglieder zu verwenden,
die in optischen Systemen vorteilhaft sind, wo eine Druckluftquelle
nicht ohne weiteres verfügbar
ist. In anderen Ausführungen
können
die Stellglieder 420 hydraulische oder piezoelektrische
Geräte
sein. Die Anzahl der Stellglieder 420 kann verändert werden.
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Wie
in 4A und 4B ersichtlich
ist, wird sowohl das Gewicht der Kraftstangen 410 und 415 als
auch das Gewicht der anderen Komponenten des Kompensationsmoduls 400 durch
die Tragestruktur 450 gehalten. Die Enden der Kraftstangen 410 und 415 werden
durch Verformungselemente 455 mit der Tragestruktur 450 verbunden.
In einer bevorzugten Ausführung
ist die Tragestruktur 450 ein Ring. Die Tragestruktur 450 ist
mit einem Gewicht tragenden Abschnitt 460 des optischen
Systems 100 durch Ver bindungsvorrichtungen 465 verbunden.
Die Tragestruktur 450 kann mit jedem beliebigen Gewicht tragenden
Abschnitt 460 des optischen Systems 100, der das
Gewicht des Kompensationsmoduls 400 tragen kann, ohne die
Leistungsfähigkeit
des optischen Systems 100 zu beeinflussen, verbunden werden. Die
Tragestruktur 450 kann mit dem Gewicht tragenden Abschnitt 460 durch
beliebige Verbindungsvorrichtungen 465, die die Funktion
des Verbindens der Tragestruktur 450 mit dem Gewicht tragenden
Abschnitt 460 ausführt,
verbunden werden.
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5A (Seitenansicht)
und 5B (Draufsicht) stellen ein Kompensationsmodul 500 dar,
das in der Lage ist, Kombinationen sowohl von Z5-Astigmatismus als
auch von Z6-Astigmatismus
in einem optischen System gleichzeitig zu kompensieren. Wie in 5A und 5B ersichtlich
ist, umfasst das Kompensationsmodul 500 zwei einstellbare
Kraftmodule 501A und 501B, die in einer dem Kompensationsmodul 400 ähnlichen
Weise arbeiten. Jedes einstellbare Kraftmodul 501 umfasst
zwei im Wesentlichen senkrechte Kraftstangen, die durch Stellglieder verbunden
sind. In 5A sind die einstellbaren Kraftmodule 501B um
45° aus
ihrer tatsächlichen
Position gedreht dargestellt, um die Öffnungen in der Kraftstange 540 deutlicher
darzustellen. Die tatsächliche
Ausrichtung des Kraftmoduls 501B ist die in 5B dargestellte.
Die Geometrie der Verformungselemente 430 zur Befestigung
und die Kraftstange mit Kraftmodulen 501 werden zusammen
mit anderer Hardware ausgewählt,
um einen unabhängigen
Betrieb ohne mechanische Störung
zu ermöglichen.
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Gemäß 5B wird
das einstellbare Kraftmodul 501A ausgerichtet, um Z5-Astigmatismus zu kompensieren
und umfasst die Kraftstangen 510 und 520. Das
einstellbare Kraftmodul 501B ist ausgerichtet, um Z6-Astigmatismus
zu kompensieren und enthält
zwei Kraftstange 530 und 540. Wie dem Fachmann
auf dem entsprechenden Gebiet (Gebiete), dem diese Erörterung
gegeben wird, deutlich werden wird, kann das Kompensationsmodul 500 eingestellt werden,
um jeden beliebigen Astigmatismus in dem optischen System 100 aktiv
zu kompensieren.
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Obwohl
das Kompensationsmodul 500 mit nur zwei einstellbaren Kraftmodulen
gezeigt ist, gibt es Situationen, bei denen mehr als zwei einstellbare Kraftmodule
eingesetzt werden können.
Zum Beispiel können
mehr als zwei einstellbare Kraftmodule bei Anwendungen eingesetzt
werden, wo es auf Grund der Größe des Spiegels 170 und
der maximalen Kraft, die auf den Spiegel 170 durch ein
einzelnes einstellbares Kraftmodul gerechtfertigt ist. Andere Anwendungen,
bei denen es wünschenswert
sein kann, mehr als zwei einstellbare Kraftmodule zu nutzen, wird
dem Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet, dem die Erörterung
gegeben wird, ersichtlich werden. Zum Beispiel, wenn Kräfte in unterschiedlichen
Abständen
von der mittleren Achse aufgebracht werden sollen.
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System und
Verfahren für
aktive Kompensation von Aberrationen in einem optischen System
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6 veranschaulicht
eine Ausführung,
die nicht zur vorliegenden Erfindung gehört, von einem System 600 für aktive
Steuerung von Aberrationen wie Astigmatismus in dem optischen System 100. Das
System 600 enthält
ein Kompensationsmodul 500 mit einem pneumatischen Stellglied 420,
ein Steuermodul 610, ein Sensormodul 620, ein
Luftversorgungsmodul 630 und ein Dreiwegeventil 640.
Das pneumatische Kompensationsmodul 500 arbeitet wie oben
beschrieben. Die Funktion des Kompensationsmoduls 500 wird
durch das Steuermodul 610 mittels Informationen gesteuert,
die von dem Sensormodul 620 empfangen werden. Das Kompensationsmodul 500 ist
mit dem Luftversorgungsmodul 630 verbunden, indem das Dreiwegeventil 640 und
die Luftversorgungsleitungen 422 und 638 verwendet
werden. Das Steuermodul 610 steuert das Dreiwegeventil 640,
um den Druck im pneumatischen Stellglied 420 zu steuern.
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In
einer Ausführung,
die nicht zur vorliegenden Erfindung gehört, steuert das System 600 Aberrationen
wie zum Beispiel Astigmatismus in dem optischen System 100,
indem ein Verfahren 700 verwendet wird wie es in 7 dargestellt
ist. Das Verfahren 700 startet mit dem System 600 in
einem Gleichgewichtszustand.
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Im
Schritt 710 des Verfahrens 700 wird das Sensormodul 620 verwendet,
um einen auf Aberrationen in dem optischen System 100 bezogenen
Parameter zu überwachen
und zur Vorhersage des Vorhandenseins einer Aberration wie zum Beispiel
Astigmatismus in dem optischen System 100. Das Sensormodul 60 kann
jeden beliebigen Parameter, der messbar ist und auf die Steuerung
einer Aberration wie Astigmatismus in dem optischen System 100 bezogen
werden kann, überwachen.
Zum Beispiel kann das Sensormodul 620 die Temperatur an
verschiedenen Stellen in dem optischen System 100 überwachen.
Die Temperatur ist ein Parameter, der verwendet werden kann, um
thermisch verursachte optische Veränderungen in dem optischen
System 100, die Astigmatismus beeinflussen, zu bestimmen.
Die vom Sensormodul 620 überwachte Temperatur kann zum Beispiel
in einem Algorithmus verwendet werden, der das Vorhandensein von
Astigmatismus in dem optischen System 100 vorhersagt, oder,
als andere Möglichkeit,
kann die vom Sensormodul 620 überwachte Temperatur genutzt
werden, um in einer zum Beispiel in der Speichereinheit 614 gespeicherten
Verweistabelle einen vorbestimmten Wert aufzusuchen, der genutzt
wird, um das Vorhandensein von Astigmatismus in dem optischen Systemen 100 vorherzusagen. Das
Sensormodul 620 kann auch andere Parameter wie zum Beispiel
elektromagnetische Energie, die das optische System 100 am
Strahlenteilerblock 150 anregt, überwachen. Das elektromagnetische
Energie erregende optische System 100 kann verwendet werden,
um zum Beispiel zu bestimmen, ob Astigmatismus in dem optischen
System 100 korrigiert wird. Andere Parameter, die durch
das Sensormodul 620 überwacht
werden können,
sein würden
dem Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet, dem die Erörterung
gegeben wird, ersichtlich.
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Im
Schritt 720 des Verfahrens 700 verwendet das Steuermodul 610 die
Ausgabe des Sensormoduls 620, um ein auf Aberration wie
Astigmatismus bezogenes Korrektursignal zu erzeugen. In einer Ausführung nach
der vorliegenden Erfindung kommuniziert das Steuermodul 610 mit
dem Sensormodul 620 mittels des Datenübertragungssystems 616. Wie
in 6 gezeigt, umfasst das Steuermodul 610 eine
zentrale Verarbeitungseinheit (CPU) 612 und eine Speichereinheit 614.
In einer Ausführung
können
durch das Sensormodul 620 mehrere Parameter gleichzeitig überwacht
werden. Alternativ dazu können
mehrere Sensormodule 620 zum Überwachen von mehreren Parametern
verwendet werden.
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Daten,
die sich auf die Ausgabe des Sensormoduls 620 für eine Aberrationen
wie zum Beispiel Astigmatismus in dem optischen Systemen 100 beziehen,
können
empirisch oder analytisch bestimmt und in der Speichereinheit 614 gespeichert
werden. Ein Verfahren zum Speichern der Daten in der Speichereinheit 614 sollen
die Daten in einer Verweistabelle speichern. Zum Beispiel können, wenn
das Sensormodul 620 sowohl Temperatur als auch Druck überwacht,
die verschiedenen Temperaturen, die vom Sensormodul 620 gemessen
werden können,
in der Speichereinheit 614 in einer Verweista belle, die sich
auf eine Temperatur des optischen Systems 100, einen Druck
im pneumatischen Stellglied 420 bezieht, gespeichert werden.
In dieser Ausführung empfängt die
CPU 612 Temperatur- und Druckdaten vom Sensormodul 620.
Die CPU 612 sucht dann den Druck auf für das pneumatische Stellglied 420,
der den Temperaturdaten entspricht, die vom Sensormodul 620 in
der in der Speichereinheit 614 gespeicherten Nachweistabelle
empfangen wurden. Die CPU 612 erzeugt ein Korrektursignal
basierend auf der Differenz zwischen den aus der Nachweistabelle
zurückgeholten
Druckdaten und den vom Ausgangssignal des Sensormoduls 620 empfangenen
Druckdaten. In einer weiteren Ausführung erzeugte das Steuermodul 610 ein
Korrektursignal basierend nur auf den kombinierten Ausgangssignalen
des Sensormoduls 620, ohne Daten von einer im Speicher
gespeicherten Nachweistabelle zurückzuholen. Ein Fachmann auf
dem Gebiet wird wissen, dass andere Verfahren und technische Ausführungsarten
zum Erzeugen eines Korrektursignals basierend auf dem Ausgangssignal
des Sensormoduls 620 in Erwägung gezogen werden und als
Teil der vorliegenden Erfindung betrachtet werden. Diese Verfahren
und technischen Ausführungsarten
umfassen sowohl Steuereinrichtungen mit geöffnetem Kreis als auch Steuereinrichtungen
mit geschlossenem Kreis. Diese Verfahren und technischen Ausführungsarten
können auch
Rückführkreise
enthalten.
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Im
Schritt 730 des Verfahrens 700 wird das im Schritt 720 erzeugte
Korrektursignal genutzt, um den Druck im pneumatischen Stellglied 420 einzustellen,
so dass eine Aberration wie zum Beispiel Astigmatismus in dem optischen
System 100 kompensiert wird. Wie in 6 gezeigt
ist, weist das System 600 ein Luftzuführmodul 630 auf. Das
Luftzuführmodul 630 kann
verwendet werden, um den Luftdruck im pneumatischen Stellglied 420 einzustellen. Das
Einstellen des Luftdrucks im pneumatischen Stellglied 420 verändert die
Biege- oder Verschiebekraft, die durch das Kompensationsmodul 500 auf
die nicht reflektierende Oberfläche
des Spiegels 170 aufgebracht wird. In einer Ausführung wird
verdichtete Luft in einem Lufttank 635 gespeichert. Der
Druck der komprimierten Luft im Lufttank 635 wird durch
bekannte Mechanismen (nicht dargestellt) zur Regelung und Aufrechterhaltung
von Luftdruck in einem Tank bestimmt und geregelt. Diese Mechanismen
bilden einen Teil des Luftzuführmoduls 630.
Wenn der Luftdruck im pneumatischen Stellglied 420 basierend auf
dem Korrektursignal erhöht
werden muss, sendet das Steuermodul 611 ein Signal über ein
Datenübertragungssystem 618 an
das Dreiwegeventil 640. Das Signal ändert die Stellung des Dreiwegeventils 640 und
ermöglicht es,
dass komprimierte Luft vom Lufttank 635 in das pneumatische
Stellglied 420 strömt, bis
sich der gewünschte
Luftdruck im pneumatischen Stellglied 420 eingestellt hat.
Wenn der Druck im pneumatischen Stellglied 420 basierend
auf dem Korrektursignal gesenkt werden muss, sendet das Steuermodul 610 ein
Signal an das Dreiwegeventil 640, das Luft im pneumatischen
Stellglied 420 in die Umgebung ablässt, bis sich der gewünschte Luftdruck
im Stellglied 420 eingestellt hat.
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Im
Schritt 740 des Verfahrens 700, werden in die
Schritte 710 bis 730 ständig in einer Schleife wiederholt,
um eine zusätzliche
Korrektur oder Kompensation von Aberrationen in dem optischen System 100 zu
erzielen. Eine aktive Kompensation von Aberrationen in dem optischen
System 100 endet, wenn die Steuerung den Schritt 750 des
Verfahrens 700 durchläuft.
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Es
wurden oben verschiedene Ausführungen
nach der vorliegenden Erfindung beschrieben, die genutzt werden
können,
um Aberrationen in einem optischen System aktiv zu kompensieren.
Es soll verständlich
werden, dass diese Ausführungen nur
beispielhaft und nicht einschränkend
dargelegt wurden.
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Es
wird insbesondere dem Fachmann auf dem Gebiet verständlich werden,
dass Ausführungen nach
der vorliegenden Erfindung genutzt werden können, um Aberrationen in einem
optischen System außer
Astigmatismus zu korrigieren oder zu kompensieren, und dass die
vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt ist, nur Astigmatismus
zu korrigieren oder zu kompensieren. Zum Beispiel können die
hier beschriebenen Kraftmodule so forderungsgerecht dimensioniert
sein, dass sie unterschiedliche Aberrationen dadurch korrigieren,
dass die Anzahl von Kraftstangen je Modul, die Anzahl von Befestigungen
zwischen einem Spiegel und einer Kraftstange und/oder der Abstand
der Befestigungspunkte von der Mittelachse des Spiegels verändert werden.
Außerdem kann
die Anzahl von Enden je Kraftstange variiert werden. Zum Beispiel
kann eine Kraftstange 3, 4, 5 oder mehrere
Enden in Abhängigkeit
von Form und Aufbau einer Kraftstange aufweisen. Aberrationen höherer Ordnung
können
zum Beispiel durch Verwendung mehrerer Kombinationen von Kraftmodulen in
unterschiedlichen Ausrichtungen korrigiert werden, wie es sich dem
Fachmann auf dem Gebiet, dem die Beschreibung gegeben wird, erschließen wird.
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Dem
Fachmann auf dem entsprechenden Gebiet wird außerdem verständlich werden,
dass verschiedene Änderungen
in Form und Einzelheiten der oben beschriebenen Ausführungen
vorgenommen werden können,
ohne von dem Umfang der vorliegenden Erfindung wie in den Ansprüchen definiert abzuweichen.
Somit sollten die Breite und der Umfang der vorliegenden Erfindung
durch keine der oben beschriebenen beispielhaften Ausführungen beschränkt werden
sondern nur entsprechend der folgenden Patentansprüche definiert
sein.