DE60100795D1 - Verfahren zur steuerung der züchtung eines siliziumeinkristalles um züchtungsgeschwindigkeits- und durchmessersabweichungen zu minimieren - Google Patents

Verfahren zur steuerung der züchtung eines siliziumeinkristalles um züchtungsgeschwindigkeits- und durchmessersabweichungen zu minimieren

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