DE60022921T2 - Drahtsäge mit abrasivem Sägedraht und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Drahtsäge mit abrasivem Sägedraht und Verfahren zu seiner Herstellung Download PDF

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Yutaka Kawasaki-shi Shimazaki
Toshiyuki Setagaya-ku Enomoto
Yasuhiro Setagaya-ku Tani
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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich im Allgemeinen auf eine Drahtsägeeinrichtung, die einen abrasiven bzw. abreibenden Draht aufweist, der harzgebundene bzw. kunstharzgebundene abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen zum Trennen bzw. Schneiden eines harten, spröden Materials hat, derart wie ein Siliziumingot bzw. Silizumblock, Kristall, Quarz oder ein Metall.
  • 2. Beschreibung der verwandten Technik
  • Eine abrasive bzw. abreibende Drahtsägeeinrichtung ist als ein Trenn- bzw. Schneidwerkzeug zum Trennen bzw. Schneiden eines harten, spröden Materials, derart wie ein Siliziumingot bzw. Siliziumblock, Kristall, Quarz oder ein Metall bekannt. Unlängst hat die abrasive bzw. abreibende Drahtsägeeinrichtung als ein Trenn- bzw. Schneidwerkzeug Aufmerksamkeit erregt, speziell zum Trennen bzw. Schneiden eines Siliziumingots bzw. Siliziumblockes, um einen Siliziumwafer mit großem Durchmesser herzustellen bzw. anzufertigen, der für die Herstellung von Halbleitervorrichtungen verwendet wird. Herkömmlicherweise ist eine Innenblatt-Scheibensägeeinrichtung zum Trennen bzw. Schneiden eines Siliziumingots bzw. Siliziumblocks verwendet worden. Der Durchmesser der Innenblatt-Scheibensägeeinrichtung ist größer und größer geworden, weil sich der Durchmesser des Silizimwafers, der aus einem Siliziumingot bzw. Siliziumblock gebildet wird, vergrößert hat.
  • Es gibt jedoch eine Beschränkung, den Durchmesser der Innenblatt-Scheibensägeeinrichtung zu vergrößern. Das heißt, wenn der Durchmesser der Innenblatt-Scheibensägeeinrichtung vergrößert wird, um ein Siliziumingot bzw. Siliziumblock zu trennen bzw. zu schneiden, das bzw. der einen Durchmesser von mehr als 8 Inches hat, gibt es darum Probleme, weil es eine Beschränkung bei der Erhöhung der Durchsatzes gibt; wobei der Kerbschnitt- bzw. Sägeschlitzverlust groß ist; und wobei es schwierig ist, die Innenblatt-Scheibensägeeinrichtung an eine Trenn- bzw. Schneidvorrichtung anzubringen. Dementsprechend ist das Verfahren zum Trennen bzw. Schneiden eines Siliziumingots bzw. Siliziumblocks, das die Innenblatt-Scheibensägeeinrichtung verwendet, durch ein Mehrdrahttrenn- bzw. -schneidverfahren ersetzt worden.
  • 1 zeigt einen Aufbau einer herkömmlichen Drahttrenn- bzw. Drahtschneidvorrichtung zum Trennen bzw. Schneiden eines Siliziumingots bzw. Siliziumblocks, wobei das Mehrdrahttrennverfahren bzw. Mehrdrahtschneidverfahren verwendet wird. Die in 1 gezeigte Drahttrenn- bzw. Drahtschneidvorrichtung verwendet einen Draht 1, derart wie einen Klaviersaitendraht. Der Draht 1 wird von einer Haspel 2 für neuen Draht zugeführt und wird auf eine Wickelwalze 5 aufgewickelt bzw. aufgespult. Zwischen der Haspel 2 für neuen Draht und der Wickelwalze 5 ist der Draht 1 mit Tänzerrollen 3 und einer Vielzahl von Hauptrollen bzw. Hauptwalzen 4 im Eingriff. Der Draht 1 bildet eine Vielzahl paralleler Linien, die einen vorherbestimmten Abstand dazwischen haben, und zwar durch im Eingriff sein mit den Hauptrollen bzw. Hauptwalzen 4, wie dies in 1 gezeigt ist. Ein abrasiver bzw. abreibender Brei, der eine hohe Viskosität hat, wird auf den Draht 1 von Breidüsen 7 zugeführt, sodass der abrasive bzw. abreibende Brei an dem Draht 1 haftet bzw. klebt, der die parallelen Linien bildet. Ein Siliziumingot bzw. Siliziumblock 6 wird gegen den Draht 1 gedrückt, während sich der Draht 1 bewegt und der abrasive bzw. abreibende Brei auf den Draht 1 zugeführt wird. Folglich wird der Siliziumingot bzw. Siliziumblock durch den abrasiven bzw. abreibenden Brei, der an dem Draht 1 haftet bzw. klebt, getrennt bzw. geschnitten.
  • Das vorstehend erwähnte Trenn- bzw. Schneidverfahren hat die folgenden Probleme wegen dem abrasiven bzw. abreibenden Brei, welcher als Industrieabfall beseitigt werden muss:
    • 1) eine große Menge von Industrieabfall wird erzeugt;
    • 2) die Arbeitsumgebung ist extrem ungünstig;
    • 3) Betriebskosten sind hoch;
    • 4) es ist schwierig, die Siliziumwafer zu reinigen, nachdem sie getrennt bzw. geschnitten worden sind;
    • 5) es ist schwierig, die Trenn- bzw. Schneideffizienz zu erhöhen; und
    • 6) Genauigkeit des Trennens bzw. Schneidens ist gering.
  • Um die vorstehend genannten Probleme zu lösen, ist ein galvanisch beschichteter abrasiver bzw. abreibender Draht entwickelt worden, welcher Schleif- bzw. Schmirgelmittel aufweist, die an einem Kerndraht angebracht sind. Solch ein abrasiver bzw. abreibender Draht ist in den Japanischen Offenlegungs-Patentanmeldungen Nr. 63-22275, Nr. 4-4105, Nr. 7-227767 und Nr. 9-150314 offenbart. Außerdem ist ein abrasiver bzw. abreibender Draht, der Schleif- bzw. Schmirgelmittel hat, die mechanisch in einem Drahtmaterial eingebettet sind, in dem Bericht der Sumitomo Electric Company vom März 1988, Band 132, Seiten 118 bis 122 offenbart. Diese abrasiven bzw. abreibenden Drähte verwenden ein Metall, um abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen an einem Kerndraht zu bonden bzw. zu fügen bzw. zu kleben.
  • Jedoch hat der abrasive bzw. abreibende Draht, der ein Metall als ein Bond- bzw. Fügematerial verwendet, eine geringe Festigkeit in Bezug auf Torsion und Biegung, weil die Bond- bzw. Fügematerialschicht hart ist. Dementsprechend kann ein derartiger abrasiver bzw. abreibender Draht leicht getrennt werden. Außerdem sind die Herstellungskosten des galvanisch beschichteten abrasiven bzw. abreibenden Drahtes hoch, weil es eine lange Zeitdauer erfordert, die Schleif- bzw. Schmirgelmittel durch galvanisches Beschichten zu bonden bzw. zu fügen. Ferner kann der abrasive bzw. abreibende Draht nicht lang genug für das Mehrdrahttrenn- bzw. Mehrdrahtschneidverfahren hergestellt werden. Um das Problem zu beseitigen, das sich auf die Länge des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes bezieht, ist ein abrasiver bzw. abreibender Draht der endlosen Ausführung vorgeschlagen worden, der durch Verbinden entgegengesetzter Enden eines kurzen Drahtes hergestellt wird. Es gibt jedoch insofern ein Problem, als ein abrasiver bzw. abreibender Draht einer endlosen Ausführung extrem geringe Festigkeit in Bezug auf Torsion und Biegung hat.
  • Um die vorstehend genannten Probleme zu lösen, ist ein abrasiver bzw. abreibender Draht entwickelt worden, der ein Harz bzw. Kunstharz als ein Bond- bzw. Fügematerial verwendet. Solch ein harzgebundener bzw. kunstharzgebundener abrasiver bzw. abreibender Draht und ein Herstellungsverfahren davon ist in „Trenn- bzw. Schneidleistungen der Diamantdrahtsägeeinrichtung der Ausführung gebundener Schleif- bzw. Schmirgelmittel" („Cutting Performances of Bonded Abrasives type Diamond Wire Saw"), der Gesellschaft der Schleif- bzw. -zerkleinerungsingenieure (The Society of Grinding Engineers), Veröffentlichung des Symposiums 1997, Seiten 369 bis 370, offenbart. Solch ein harzgebundener bzw. kunstharzgebundener abrasiver bzw. abreibender Draht ist ebenfalls in den Japanischen Offenlegungs-Patentanmeldungen Nr. 8-126953, Nr. 9-155631, Nr. 10-138114, Nr. 10-151560, Nr. 10-315049, Nr. 10-328932 und Nr. 10-337612 offenbart. Keine der Literaturunterlagen oder der Patentdokumente bezieht sich auf die Ausführung von Harz bzw. Kunstharz, um verwendet zu werden, die Schleif- bzw. Schmirgelmittel zu bonden bzw. zu binden. Jedoch wird gemäß ihren Offenbarungsgehalten und darin beschriebenen Ausführungsformen das Harz bzw. Kunstharz angenommen bzw. vorausgesetzt, das ein thermofixiertes bzw. in Wärme ausgehärtetes Harz bzw. Kunstharz ist, derart wie ein Phenolharz bzw. -kunstharz, welches zum Schleifen bzw. Schmirgeln von Rädern verwendet worden ist.
  • Jedoch sind bei dem vorstehend erwähnten verbesserten abrasiven bzw. abreibenden Draht ein Trocknungsverfahren zum Entfernen von Lösungsmittel von dem Bond- bzw. Fügematerial und ein thermisches Härtungsverfahren zum Härten des Bond- bzw. Fügematerials erforderlich, weil ein thermofixiertes bzw. in Wärme ausgehärtetes Harz bzw. Kunstharz als das Bond- bzw. Fügematerial verwendet wird. Die Zeitdauer, die für das thermische Härtungsverfahren erforderlich ist, beträgt ein paar Minuten für jeden Teil des abrasiven bzw. abreibenden Draht.
  • Außerdem offenbart die Japanische Offenlegungs-Patentanmeldung Nr. 11-48035 einen abrasiven bzw. abreibenden Draht, der eine Keramik verwendet um abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen zu bonden bzw. zu fügen, um die Haltefestigkeit der abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen zu vergrößern. Jedoch ist die Temperatur zum Bilden einer derartigen keramischen Bond- bzw. Fügeschicht sehr hoch, und eine Zeitdauer zum Bilden der keramischen Bond- bzw. Fügeschicht beträgt ein paar Minuten.
  • Dementsprechend ist es schwierig, den harzgebundenen bzw. kunstharzgebundenen abrasiven bzw. abreibenden Draht oder den keramisch gebundenen abrasiven bzw. abreibenden Draht mit Geschwindigkeiten in dem Bereich von einigen hundert Metern pro Minute bis einigen Kilometern pro Minute zu produzieren. Folglich ist es sehr schwierig, den harzgebundenen bzw. kunstharzgebundenen abrasiven bzw. abreibenden Draht oder den keramisch gebundenen abrasiven bzw. abreibenden Draht, der eine Länge von mehr als 10 Kilometern hat, welche für das Mehrdrahttrenn- bzw. Mehrdrahtschneidverfahren erforderlich ist, mit geringen Kosten zu produzieren.
  • Außerdem ist der harzgebundene bzw. kunstharzgebundene abrasive bzw. abreibende Draht geringwertiger gegenüber dem metallgebundenen abrasiven bzw. abreibenden Draht in Bezug auf den Abrasionswiderstand, die mechanische Festigkeit, Wärmewiderstand und Trenn- bzw. Schneidfähigkeit.
  • Die Druckschrift WO-A-9835784 offenbart eine Drahtsägeeinrichtung und ihr Herstellungsverfahren. Die Drahtsägeeinrichtung weist einen Kerndraht von hoher Festigkeit, eine Schicht einer Harz- bzw. Kunstharzbindung bzw. -verbindung, die den Kerndraht bedeckt bzw. überzieht, ein Harz bzw. Kunstharz der Harz- bzw. Kunstharzbindung bzw. -verbindung auf, die einen Elastizitätsmodul von 100 kg/mm2 oder oberhalb und eine Weichmachtemperatur von 200°C oder oberhalb hat und wobei die Harz- bzw. Kunstharzbindung bzw. -verbindung Füllmaterial enthält, das eine Kristallkörner- bzw. -körnungsgröße kleiner als 2/3 der Dicke der Harz- bzw. Kunstharzbindungs- bzw. -verbindungsschicht hat, und wobei abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen in der Harz- bzw. Kunstharzbindungs- bzw. -verbindungsschicht fixiert bzw. gebunden sind und eine Kristallkörner- bzw. Körnungsgröße nicht kleiner als 2/3 der Dicke der Harz- bzw. Kunstharzbindungs- bzw. -verbindungsschicht haben, aber höchstens eine Hälfte des Durchmessers des Kerndrahtes haben. Das Verfahren zum Produzieren der Drahtsägeeinrichtung weist Folgendes auf: den Schritt des Herstellens bzw. Anfertigens einer Bedeckungs- bzw. Überzugszusammensetzung, die eine Harz- bzw. Kunstharzbindung bzw. -verbindung enthält, das Bedecken bzw. Überziehen eines Kerndrahtes mit der Bedeckungs- bzw. Überzugszusammensetzung und das Aufheizen bzw. Erwärmen derselben, um eine Schicht der Harz- bzw. Kunstharzbindung bzw. -verbindung zu bilden, die an der äußeren peripheren Oberfläche des Kerndrahts fixiert bzw. gebunden ist, wobei die Bedeckungs- bzw. Überzugszusammensetzung die Harz- bzw. Kunstharzbindung bzw. -verbindung aufweist, wobei ein Harz bzw. Kunstharz der Harz- bzw. Kunstharzbindung bzw. -verbindung einen Elastizitätsmodul von 100 kg/mm2 oder oberhalb und eine Weichmachungstemperatur von 200°C oder oberhalb hat, wobei abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen eine Kristallkörner- bzw. Körnungsgröße nicht kleiner als 2/3 der Dicke der Harz- bzw. Kunstharzbindungs- bzw. -verbindungsschicht aber von höchstens einer Hälfte des Durchmessers des Kerndrahtes haben und Füllmaterial, das eine Kristallkörner bzw. Körnungsgröße kleiner als 2/3 der Dicke der Harz- bzw. Kunstharzbindung- bzw. -verbindugsschicht haben, wobei die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen und das Füllmaterial zu einer Lösung des Harzes bzw. Kunstharzes in einem Lösungsmittel hinzugefügt werden. Die höchste Trenn- bzw. Schneidgeschwindigkeit, die in WO-A-9835784 offenbart ist, beträgt 9,5 mm/Minute.
  • US-Patent Nr. 2,793,478 ist auf ein Trenn- bzw. Schneidwerkzeug bezogen und, genauer gesagt, auf ein Trenn- bzw. Schneidwerkzeug, welches eine abrasive bzw. abreibende Oberflä che in allen Lagen hat. Die Offenbarung des Dokuments bezieht sich ebenfalls auf Verfahren zum Herstellen eines derartigen Trenn- bzw. Schneidwerkzeuges. Das offenbarte Trenn- bzw. Schneidwerkzeug weist Folgendes auf: einen Kern, der aus einem flexiblen bzw. elastischen Metalldraht besteht, eine Schicht von flexiblen, elastischen thermofixierten bzw. in Wärme ausgehärteten harzreichen bzw. harzigen Material, das dauerhaft an dem Kern gebunden ist, und Teilchen von abrasivem bzw. abreibendem Material, die dauerhaft in dem harzreichen bzw. harzigen Material eingebettet sind. Das Verfahren des Herstellens eines Trenn- bzw. Schneidwerkzeugs weist folgende Schritte auf: bedecken bzw. überziehen eines flexiblen bzw. elastischen Drahtes mit einer Schicht eines anhaftenden bzw. klebenden thermofixierten bzw. in Wärme ausgehärteten Harzes bzw. Kunstharzes, ablagern einer einheitlichen Schicht von abrasivem bzw. abreibendem Material auf dem Harz bzw. Kunstharz und Härten des Harzes bzw. Kunstharzes, wodurch das abrasive bzw. abreibende Material daran dauerhaft gebonded bzw. gefügt wird.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Es ist eine allgemeine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Drahtsägeeinrichtung, die abrasiven bzw. abreibenden Draht aufweist und ein Herstellungsverfahren davon zur Verfügung zu stellen, bei welchem die vorstehend genannten Probleme beseitigt sind.
  • Eine spezifischere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Drahtsägeeinrichtung zur Verfügung zu stellen, die einen abrasiven bzw. abreibenden Draht aufweist, welcher eine effiziente Trenn- bzw. Schneidwirkung mit hoher Genauigkeit und einer langen Standzeit bzw. Lebensdauer zur Verfügung stellt.
  • Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Drahtsägeeinrichtung zur Verfügung zu stellen, die einen abrasiven bzw. abreibenden Draht aufweist, welcher lang genug für das Mehrdrahttrenn- bzw. -schneidverfahren hergestellt werden kann, und zwar mit geringen Herstellungskosten.
  • Um die vorstehend genannten Aufgaben zu lösen, wird gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Drahtsägeeinrichtung zur Verfügung gestellt, die einen abrasiven bzw. abreibenden Draht aufweist, der Folgendes aufweist: einen Kerndraht; abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen, die um den Kerndraht herum vorgesehen sind; und eine Bond- bzw. Fügeschicht, die an dem Kerndraht gebildet ist, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen an den Kerndraht zu bonden bzw. zu fügen bzw. zu kleben, wobei die Bond- bzw. Fügeschicht durch ein lichttrocknendes bzw. lichthärtendes Harz bzw. Kunstharz gebildet ist.
  • Gemäß der vorstehend genannten Erfindung kann die Zeitdauer zum Herstellen des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes verringert werden, weil das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz in einer sehr kurzen Zeitdauer gehärtet werden kann. Die mechanische Festigkeit und Hitze- bzw. Wärmebeständigkeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes kann durch Hinzufügen eines Füllmaterials, derart wie anorganische Teilchen oder Fasern zu der Bond- bzw. Fügeschicht, vergrößert werden. Außerdem kann die Adhäsion bzw. das Haftvermögen der Bond- bzw. Fügeschicht durch Vorsehen eines Primers bzw. Haftmittels an dem Kerndraht vergrößert werden, und zwar vor der Bildung der Bond- bzw. Fügeschicht, wodurch die Standzeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes erhöht wird.
  • Die Bond- bzw. Fügeschicht kann eine Vielzahl von Schichten enthalten, wobei jede von ihnen aus einem lichttrocknendem bzw. lichthärtendem Harz bzw. Kunstharz hergestellt ist, das unterschiedliche Eigenschaften hat. Das heißt, eine erste Schicht, die den Kerndraht berührt, kann aus einer lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzhaftmittelschicht bzw. Harz- bzw. Kunstharzklebstoffschicht hergestellt sein, die ein Haftvermögen bzw. eine Adhäsionskraft hat, das bzw. die stärker ist als das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz, das andere Schichten bildet. Durch Hinzufügen der abrasiven bzw. abreibenden Teilchen zu der ersten Schicht, können die abrasiven bzw. abreibenden Teilchen sicher an den Kerndraht gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt werden. Außerdem kann die äußerste Schicht aus einem lichttrocknendem bzw. lichthärtendem Harz bzw. Kunstharz hergestellt werden, das Abrasions- bzw. Abriebbeständigkeit hat.
  • Außerdem ist gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes für eine Drahtsägeeinrichtung vorgesehen, das folgende Schritte aufweist: Anwenden bzw. Auftragen einer lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit auf einen Kerndraht, während der Kerndraht in der Richtung der Längsachse des Kerndrahtes bewegt wird, wobei die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen enthält; und Trocknen bzw. Härten der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit, die an dem Kerndraht haftet bzw. klebt, durch projizieren eines Lichtes auf die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit, während der Kerndraht in der Richtung der Längsachse des Kerndrahtes bewegt wird, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen an den Kerndraht zu bonden bzw. zu fügen bzw. zu kleben.
  • Gemäß dieser Erfindung wird das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz zum Bonden bzw. Fügen bzw. Kleben der abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen an den Kerndraht verwendet. Weil das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz innerhalb einiger Sekunden getrocknet bzw. gehärtet werden kann, kann der Trocknungs bzw. Härtungsvorgang ausgeführt werden, während der Kerndraht in der Richtung der Längsachse des Kerndrahtes bewegt wird. Dementsprechend kann ein langer abrasiver bzw. abreibender Draht bei verringerter Zeitdauer und verringerten Kosten produziert werden.
  • Außerdem wird gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Drahtsägeeinrichtung zur Verfügung gestellt, die einen abrasiven bzw. abreibenden Draht aufweist, der Folgendes aufweist: einen Kerndraht; abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen, die um den Kerndraht herum vorgesehen sind; und eine Bond- bzw. Fügeschicht, die an dem Kerndraht gebildet ist, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen an den Kerndraht zu bonden bzw. zu fügen bzw. zu kleben, wobei die Bond- bzw. Fügeschicht durch ein elektronenstrahltrocknendes bzw. elektronenstrahlhärtendes Harz bzw. Kunstharz gebildet ist.
  • Gemäß der vorstehend erwähnten Erfindung kann eine Zeitdauer zum Herstellen des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes verringert werden, weil das elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz bzw. Kunstharz in einer sehr kurzen Zeitdauer getrocknet bzw. gehärtet werden kann. Die mechanische Festigkeit und die Hitze- bzw. Wärmebeständigkeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes kann vergrößert werden, und zwar durch Hinzufügen eines Füllmaterials, derart wie anorganische Teilchen oder Fasern an der Bond- bzw. Fügeschicht. Außerdem kann die Adhäsion bzw. das Haftvermögen der Bond- bzw. Fügeschicht durch Vorsehen eines Primers bzw. Haftmittels an dem Kerndraht vergrößert werden und zwar vor der Bildung der Bond- bzw. Fügeschicht, wodurch die Standzeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes vergrößert wird.
  • Die Bond- bzw. Fügeschicht kann eine Vielzahl von Schichten enthalten, wobei jede von ihnen aus einem elektronenstrahltrocknendem bzw. elektronenstrahlhärtendem Harz bzw. Kunstharz hergestellt ist, die unterschiedliche Eigenschaften haben. Das heißt, eine erste Schicht, die den Kerndraht berührt, kann aus einer elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzhaftmittelschicht bzw. Harz- bzw. Kunstharzklebstoffschicht hergestellt werden, die Haftvermögen bzw. Adhäsionskraft hat, die stärker als die des elektronenstrahltrocknendem bzw. elektronenstrahlhärtendem Harzes bzw. Kunstharzes ist, das andere Schichten bildet. Durch Hinzufügen der abrasiven bzw. abreibenden Teilchen an der ersten Schicht, können die abrasiven bzw. abreibenden Teilchen sicher an den Kerndraht gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt werden. Außerdem kann die äußerste Schicht aus einem lichttrocknendem bzw. lichthärtendem Harz bzw. Kunstharz hergestellt werden, das Abrasions- bzw. Abriebbeständigkeit hat.
  • Außerdem wird gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes für eine Drahtsägeeinrichtung zur Verfügung gestellt, das die folgenden Schritte aufweist: Anwenden bzw. Auftragen einer elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit auf einem Kerndraht, während der Kerndraht in einer Richtung einer Längsachse des Kerndrahtes bewegt wird, wobei die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen enthält; und Trocknen bzw. Härten der elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit, die an dem Kerndraht haftet bzw. klebt, und zwar durch Projizieren eines Elektronenstrahls auf die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit, während der Kerndraht in der Richtung der Längsachse des Kerndrahtes bewegt wird, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen an den Kerndraht zu bonden bzw. zu fügen.
  • Gemäß dieser Erfindung wird das elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz bzw. Kunstharz zum Bonden bzw. Fügen der abrasiven Kristallkörner bzw. Körnungen an den Kerndraht verwendet. Weil das elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahhärtende Harz bzw. Kunstharz innerhalb einer Sekunde getrocknet bzw. gehärtet werden kann, kann der Trocknungs- bzw. Härtungsvorgang ausgeführt werden, während der Kerndraht in der Richtung der Längsachse des Kerndrahtes bewegt wird. Dementsprechend kann ein langer abrasiver bzw. abreibender Draht bei verringerter Zeitdauer und verringerten Kosten produziert werden.
  • Andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden ersichtlicher von den folgenden ausführlichen Beschreibungen, wenn sie in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen gelesen werden.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine Abbildung eines Aufbaus einer herkömmlichen Drahttrenn- bzw. Drahtschneidvorrichtung, die ein Mehrdrahttrenn- bzw. Mehrdrahtschneidverfahren verwendet;
  • 2 ist eine Abbildung eines Querschnittes eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 3 ist eine schematische Abbildung einer Herstellungsvorrichtung zum Herstellen des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 4 ist eine Abbildung eines Querschnittes eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 5 ist eine schematische Abbildung einer Herstellungsvorrichtung zum Herstellen des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 6 ist eine Abbildung eines Querschnittes eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 7 ist eine Abbildung eines Querschnittes eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 8 ist eine Abbildung eines Querschnittes eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 9 ist eine schematische Abbildung einer Herstellungsvorrichtung zum Herstellen des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 10 ist eine Abbildung eines Querschnittes eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 11 ist eine schematische Abbildung einer Herstellungsvorrichtung zum Herstellen des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 12 ist eine Abbildung eines Querschnittes eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
  • 13 ist eine Abbildung eines Querschnittes eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Ausführliche Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • (Erste Ausführungsform)
  • Eine Beschreibung einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf 2 und 3 gegeben. 2 ist eine Abbildung eines Querschnittes eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 3 ist eine schematische Abbildung einer Herstellungsvorrichtung zum Herstellen des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Der abrasive bzw. abreibende Draht 11 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist einen Kerndraht 11a, abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen 22a, die an dem Kerndraht 11a gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt sind, und eine lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c auf, die an dem Kerndraht 11a gebildet ist, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c an den Kerndraht 11a zu bonden bzw. zu fügen bzw. zu kleben. Eine Primer- bzw. Haftmittelschicht 11b ist zwischen dem Kerndraht 11a und der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c vorgesehen, sodass die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c sicher an dem Kerndraht 11a haftet bzw. klebt. Dies verhindert das Entfernen der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c von dem abrasiven bzw. abreibenden Draht 11 während eines Trenn- bzw. Schneidvorgangs, wodurch die Standzeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 erhöht wird. Außerdem enthält die lichttrocknende bzw. lichhärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c ein Füllmaterial 22b, um die mechanische Festigkeit und Hitze- bzw. -Wärmebeständigkeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 zu erhöhen.
  • Spezifisch wird der Kerndraht 11a aus einem Metalldraht, derart wie einem Klaviersaitendraht, einem bronzebeschichteten Klaviersaitendraht oder einem rostfreien Strahldraht hergestellt. Der Kerndraht 11a kann ebenfalls aus einem anorganischen Material derart wie einer Glasfaser oder einem organischen Material derart wie Nylon hergestellt werden. Der Kerndraht 11a kann ein Volldraht oder ein Wickeldraht bzw. verdrillter Draht sein.
  • Die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c sind bevorzugt aus einem harten Material, derart wie Diamant, kubisches bzw. Würfelbornitrid (CBN), Aluminiumoxid bzw. Tonerde oder Siliziumkarbid hergestellt. Ein Diamant-Kristallkorn bzw. -körnung ist für die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c am meisten bevorzugt, weil das Diamant-Kristallkorn bzw. -körnung Überlegenheit bei der Trenn- bzw. Schneidfähigkeit hat.
  • Die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c ist aus einem lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz bzw. Kunstharz hergestellt, derart wie ein durch Ultraviolettstrahlung trocknendes bzw. härtendes Harz bzw. Kunstharz oder ein durch sichtbares Licht trocknendes bzw. härtendes Harz bzw. Kunstharz, welches innerhalb einiger Sekunden unter Bestrahlung von jeweils einem ultravioletten Licht oder einem sichtbaren Licht polymerisiert werden kann. Ein derartiges lichttrocknendes bzw. lichthärtendes Harz bzw. Kunstharz wird im Allgemeinen als ein Beschichtungsmaterial einer optischen Faser verwendet. Folglich kann der abrasive bzw. abreibende Draht 11 mit einer Geschwindigkeit produziert werden, die dieselbe ist, wie die der optischen Faser, welche in dem Bereich von etwa ein paar hundert Meter pro Minute bis ein paar Kilometer pro Minute ist, wodurch die Produktion eines langen abrasiven bzw. abreibenden Drahtes bei niedrigen Kosten ermöglicht wird. Es sollte bemerkt werden, dass, wenn ein durch ultraviolettes Licht trocknendes bzw. härtendes Harz bzw. Kunstharz als das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz verwendet wird, ein ultraviolettes Licht, das eine Wellenlänge von 200 nm bis 400 nm hat, vorzugsweise verwendet wird. Eine Lichtquelle zum Erzeugen eines derartigen ultravioletten Lichtes kann eine Quecksilber-Hochdrucklampe, eine Metall-Halogenlampe, ein He-Cd-Laser oder ein Ar-Laser sein. Wenn ein durch sichtbares Licht trocknendes bzw. härtendes Harz bzw. Kunstharz verwendet wird, kann ein Licht, das einen Wellenlängen-Spitzenwert in dem Bereich von 400 nm bis 800 nm hat, verwendet werden.
  • Für das Füllmaterial 22b, das dem lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz bzw. Kunstharz hinzugefügt wird, können Metallteilchen, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm und/oder anorganische Teilchen verwendet werden, die einen durchschnittlichen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm haben. Metallfasern, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm und eine Länge von 1 μm bis 200 μm, und/oder anorganische Fasern, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm und eine Länge von 1 μm bis 200 μm haben, können verwendet werden. Das Füllmaterial 22b wird dem lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz bzw. Kunstharz hinzugefügt, so dass das Gemisch bzw. die Mischung das Füllmaterial 22b mit 5 bis 90 Gewichts-% (5 bis 90 Gew.-%) enthält. Das Hinzufügen des Füllmaterials 22b erhöht die mechanische Festigkeit und die Hitze- bzw. Wärmebeständigkeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11.
  • Es sollte bemerkt werden, dass die Trocknungs- bzw. Härtungsgeschwindigkeit des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harzes bzw. Kunstharzes verringert werden kann oder das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz nicht vollständig getrocknet bzw. gehärtet werden kann und zwar wegen Übertragung, Absorption oder Reflektion von Licht an oder nahe den Teilchen des Füllmaterials 22b. Ein derartiges Problem kann jedoch durch geeignetes Auswählen des Typs bzw. der Ausführung, der Größe und der Menge des Füllmaterials 22b beseitigt werden.
  • Eine Beschreibung von einem Herstellungsverfahren für den abrasiven bzw. abreibenden Draht 11 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf 3 gegeben.
  • Der Kerndraht 11a, der auf einer Zuführwalze 10 aufgewickelt bzw. aufgespult ist, wird zu einer ersten Kammer 21A über eine Walze bzw. Rolle 12 zugeführt, nachdem der Kerndraht 11a einem Entfettungsverfahren ausgesetzt wurde. Die erste Kammer 21A, die eine Trichterform hat, enthält einen Primer bzw. Haftmittel, so dass die Primer- bzw. Haftmittelschicht 11b an dem Kerndraht 11a gebildet wird, während der Kerndraht 11a durch die erste Kammer 21A durchläuft. Die Primer- bzw. Haftmittelschicht 11b verbessert bzw. erhöht die Adhäsion bzw. das Haftvermögen des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harzes bzw. Kunstharzes an dem Kerndraht 11a und fördert die Trocknung bzw. Härtung des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harzes bzw. Kunstharzes. Für den Primer bzw. das Haftmittel, der bzw. das die Primer- bzw. Haftmittelschicht 11b bildet, kann ein Fotopolymerisationsbeschleuniger oder ein Haftvermittler, derart wie ein Siliziumwasserstoff- bzw. Silanhaftvermittler verwendet werden.
  • Die japanische Offenlegungs-Patentanmeldung Nr. 10-328932 lehrt das Vorsehen von Unebenheit auf der Oberfläche eines Kerndrahtes, um die Adhäsion bzw. das Haftvermögen einer Harz- bzw. Kunstharzschicht auf dem Kerndraht zu erhöhen. Wenn ein derartiger Aufbau bzw. Struktur bei dem abrasiven bzw. abreibenden Draht 11 angewendet wird, kann die mechanische Festigkeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 vermindert werden. Jedoch beeinflusst die Bildung der Primer- bzw. Haftmittelschicht 11b nicht die mechanische Festigkeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11.
  • Der Kerndraht 11a, auf welchem die Primer- bzw. Haftmittelschicht 11b gebildet worden ist, wird durch eine Harz bzw. Kunstharz auftragende Kammer 21B geführt, die eine Trichterform hat. Die Harz bzw. Kunstharz auftragende Kammer 21B enthält eine Mischungsflüssigkeit 22, die das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz aufweist, das die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c und das Füllmaterial 22b enthält. Die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c haften bzw. kleben an dem Kerndraht 11a, und zwar wegen dem lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz bzw. Kunstharz, während der Kerndraht 11a durch die Harz- bzw. Kunstharz auftragende Kammer 21B hindurchgeht. Nach dem Hindurchgehen durch die Harz- bzw. Kunstharz auftragend Kammer 21B wird der Kerndraht 11a durch eine Durchmessereinstellungs- bzw. Durchmesserfestlegungsvorrichtung 23 geführt, um irgendwelche übermäßigen Mengen der Mischungsflüssigkeit 22 zu entfernen, die an dem Kerndraht 11a haftet bzw. klebt. Dementsprechend wird die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c eingestellt, um eine vorherbestimmte Dicke zu haben, und dadurch wird der abrasive bzw. abreibende Draht 11 eingestellt bzw. festgelegt, einen vorherbestimmten Durchmesser zu haben.
  • Der Kerndraht 11a tritt nach dem Durchlaufen durch die Durchmesservorrichtung 23 in eine Licht abstrahlende Vorrichtung 24 ein, welche ein Licht auf die Mischungsflüssigkeit projiziert bzw. wirft, die an dem Kerndraht 11a aufgetragen ist. Das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz, das in der Mischungsflüssigkeit 22 enthalten ist, wird durch das Licht getrocknet bzw. gehärtet, das durch die Licht abstrahlende Vorrichtung 24 projiziert bzw. geworfen wird und dadurch wird die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c gebildet. Dementsprechend werden die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c sicher an dem Kerndraht 11a durch die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt und dadurch wird der abrasive bzw. abreibende Draht 11 gebildet, der in 2 gezeigt ist.
  • Nachdem der somit gebildete abrasive bzw. abreibende Draht 11 die lichtabstrahlende Vorrichtung 24 verlässt, wird der Durchmesser des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 durch eine Durchmessermessvorrichtung 17 gemessen bzw. bestimmt. Die Messung, die durch Durchmessermessvorrichtung 17 aufgenommen wird, wird an eine Steuereinheit 16 geliefert bzw. zugeführt. Die Durchmessermessvorrichtung 17 enthält drei Nichtkontaktverschiebungssensoren, die in gleichwinkligen Positionen angeordnet sind, die den abrasiven bzw. abreibenden Draht 11 umgeben, der die lichtabstrahlende Vorrichtung 24 verlässt, um Exzentrizität der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c zu messen bzw. zu bestimmen, und zwar in Bezug auf den Kerndraht 11a, ebenso gut wie den Durchmesser des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11. Spezifisch ist die Durchmessermessvorrichtung 17 imstande, die Dicke der lichttrocknenden bzw. der lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c an drei unterschiedlichen Orten um den Umfang des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 herum zu messen.
  • Die Steuereinheit 16 detektiert Exzentrizität zwischen dem abrasiven bzw. abreibenden Draht 11 und der Durchmessereinstellungsvorrichtung 23, basierend auf der Messung durch die Durchmessermessvorrichtung 17, um die Position der Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 zu steuern, so dass der abrasive bzw. abreibende Draht 11 immer in dem Zentrum bzw. Mittelpunkt der Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 gelegen ist. Die relative Position des Kerndrahtes 11a in Bezug auf die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 kann geändert werden, und zwar durch Bewegen der Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 oder Bewegen einer Drahtpositionsjustierrolle (nicht in der Figur gezeigt). Außerdem steuert die Steuereinheit 16 die Zufuhrgeschwindigkeit des Kerndrahtes 11a, so dass die Dicke der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c einheitlich in der Längsrichtung ebenso gut wie den radialen Richtungen des Kerndrahtes 11a wird.
  • Nach dem Passieren bzw. Laufen durch die Durchmessermessvorrichtung 17 wird der abrasive bzw. abreibende Draht 11 über Walzen bzw. Rollen 13, 14 und 15 zu einer Wickelwalze 20 gerichtet, und wird auf die Wickelwalze 20 gewickelt bzw. gespult. Die Wickelgeschwindigkeit der Wickelwalze 20 wird durch die Steuereinheit 16 gesteuert.
  • Außerdem wird die Spannung des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 durch die Walze bzw. Rolle 15 gesteuert.
  • Es sollte bemerkt werden, dass das Verfahren zum Trocknen bzw. Härten des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harzes bzw. Kunstharzes innerhalb einer Stickstoffumgebung oder einer sauerstoffverringerten Umgebung ausgeführt werden kann, um stabile Polymerisation des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harzes bzw. Kunstharzes zu erreichen.
  • Gemäß der vorstehend erwähnten Herstellungsvorrichtung des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 kann der abrasive bzw. abreibende Draht 11 kontinuierlich mit einer Geschwindigkeit von ein paar hundert Metern pro Minute bis ein paar Kilometern pro Minute produziert werden, weil das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz, welches die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c an den Kerndraht 11a bondet bzw. fügt bzw. klebt, in einer kurzen Zeitdauer, d.h. innerhalb einiger Sekunden, getrocknet bzw. gehärtet wird. Außerdem hat, weil der Durchmesser des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 unter der Steuerung der Steuereinheit 16 justiert wird, der abrasive bzw. abreibende Draht 11 eine einheitliche Dicke entlang der Längsrichtung ebenso gut wie der radialen Richtungen. Entsprechend wird, wenn ein Siliziumingot bzw. Siliziumblock durch den abrasiven bzw. abreibenden Draht 11 getrennt bzw. geschnitten wird, der Kerbschnitt- bzw. Sägeschlitzverlust verringert und eine gute Trenn- bzw. Schneidqualität kann erreicht werden.
  • Eine Beschreibung eines Beispiels des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 wird nun gegeben, welcher durch die Herstellungsvorrichtung des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes produziert wurde, wie dies in 3 gezeigt ist.
  • Feines Kupferpulver, das einen durchschnittlichen Durchmesser von 2 μm hat, wurde einer lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit der radikalen Polymerisationsausführung hinzugefügt, so dass die Mischung 30 Gewichts-% feines Kupferpulver enthält. Die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit der radikalen Polymerisationsausführung enthält ein Acrylat-Vorpolymer (ein Oligomer oder ein Monomer) und 1 Gewichts-% (1 Gew.-%) Fotoinitiator eines Azetolphenon-Derivats. Die Lösung wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt. Abrasive bzw. abreibende Diamant-Kristallkörner bzw. -körnungen, die einen Durchmesser von 30 μm bis 40 μm haben, was 5 Volumenprozent entspricht, wurden mit einer kleinen Menge Ethylalkohol benetzt und der Harz bzw. Kunstharzflüssigkeit hinzugefügt, um die Mischungsflüssigkeit 22 herzustellen. Die Mischungsflüssigkeit 22 wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt. Die somit hergestellte Mischungsflüssigkeit 22 wurde an der Harz- bzw. Kunstharzauftragkammer 21B bereitgestellt. Danach wurde ein Klaviersaitendraht, der einen Durchmesser von 0,20 mm hat, in die Harz- bzw. Kunstharzauftragkammer 21B eingeführt, so dass der Klaviersaitendraht durch die Mischungsflüssigkeit 22, einschließlich der abrasiven bzw. abreibenden Diamant-Kristallkörner bzw. -körnungen bedeckt bzw. ummantelt wurde. Dann wurde der Klaviersaitendraht durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 hindurchgeführt, die eine Öffnung hat, deren Durchmesser etwa 0,27 mm beträgt. Der Klaviersaitendraht wurde durch die Licht abstrahlende Vorrichtung hindurchgeführt, welche eine Quecksilber-Hochspannungslampe aufweist, die eine Wellenlänge mit einem Spitzenwert von rund 354 nm hat. Ein abrasiver bzw. abreibender Draht, der einen Durchmesser von 0,25 mm bis 0,24 mm hat, wurde erlangt.
  • Das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz, das in dem vorstehend erwähnten Beispiel verwendet wurde, war ein Harz bzw. Kunstharz der radikalen Polymerisationsausführung wobei radikale Polymerisation des Oligomers oder Monomers durch ein freies Radikal induziert wird, das durch den Fotoinitiator erzeugt wird, der durch das ultraviolette Licht bestrahlt wird. Jedoch sind das Oligomer, das Monomer und der Fotoinitiator nicht auf diese beschränkt, die in dem vorstehend erwähnten Beispiel verwendet wurden, und ungesättigtes Polyester kann als das Oligomer und Styren kann als das Monomer verwendet werden.
  • Für das Oligomer können anders als das vorstehende Polyesteracrylat, Polyetheracrylat, Acryloligomeracrylat, Epoxidacrylat, Polybutadienacrylat oder Siliconacrylat verwendet werden. Für das Monomer können anders als bei dem vorstehenden N-Vinylpyrolidon, Vinylacetat, monofunktionales Acrylat, bifunktionales Acrylat oder trifunktionales Acrylat verwendet werden. Für den Polymerisationsinitiator können ein Acetophenon-Derivat, derart wie Acetophonon oder Trichloracetophenon, Benzoinether, Benzophenon oder Xanthon verwendet werden. Außerdem können für das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz ein Harz bzw. Kunstharz einer Lichtadditionspolymerisationsausführung verwendet werden, eine licht cationische Polymerisations-Ausführung oder eine säuretrocknende bzw. säurehärtende Ausführung anstelle der radikalen Polymerisationsausführung verwendet werden.
  • Außerdem wurde das feine Kupferpulver als das Füllmaterial 22b bei dem vorstehend erwähnten Beispiel verwendet, wobei das Füllmaterial 22b nicht auf das feine Kupferpulver beschränkt ist. Das heißt, irgendein Material kann verwendet werden, solange wie das Material die mechanische Festigkeit oder die Abriebbeständigkeit der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 11b verbessern kann, ohne sich auf die Vollendung des Trocknens bzw. Härtens des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harzes bzw. Kunstharzes nachteilig auszuwirken. Für das Füllmaterial können feines Metallpulver, Metalloxid, Metallkarbid oder Nichtmetalloxid oder Karbid, derart wie ein Halbleitervorrichtungsmaterial verwendet werden. Das Füllmaterial kann in der Form eines Teilchens oder einer Faser sein.
  • Ein Siliziumingot bzw. Siliziumblock mit einem Durchmesser von 3 Inch wurde in dem vorstehend erwähnten Beispiel durch den abrasiven bzw. abreibenden Draht 11 mit einer Trenn- bzw. Schneidgeschwindigkeit von 300 m/min getrennt bzw. geschnitten. Es gab keine bemerkenswerte Abrasion bzw. Abrieb der Bond- bzw. Fügeschicht (lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c). Die durchschnittliche Trenn- bzw. Schneideffizienz war mehr als 35 mm2/min.
  • (Zweite Ausführungsform)
  • Eine Beschreibung einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun gegeben. 4 ist eine Abbildung eines Querschnitts eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In 4 sind Teilen, die dieselben wie die Teile sind, die in 2 gezeigt sind, dieselben Bezugszeichen gegeben worden, und ihre Beschreibungen werden weggelassen.
  • Der abrasive bzw. abreibende Draht 11A gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat denselben Aufbau wie der des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, außer dass die Primer- bzw. Haftmittelschicht 11b des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 durch eine lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bA ersetzt worden ist. Das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharzklebemittel, das die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bA bildet, haftet bzw. klebt an dem Kerndraht 11a stärker als das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz, das die lichthärtende bzw. lichttrocknende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c bildet. Außerdem haftet bzw. klebt das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz, das die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c bildet, stark an der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bA. Dementsprechend haftet bzw. klebt die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c an dem Kerndraht 11a stärker an, als wenn die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c direkt an dem Kerndraht 11a gebildet wird, ohne die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bA. Folglich werden die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c fester an den Kerndraht 11a gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt, als wenn die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c an den Kerndraht 11a ausschließlich durch die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt werden.
  • Eine Beschreibung eines Herstellungsverfahrens des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11A gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf 5 gegeben. 5 ist eine schematische Abbildung einer Herstellungsvorrichtung zum Herstellen des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11A gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In 5 werden den Teilen, die dieselben wie die Teile sind, die in 3 gezeigt sind, dieselben Bezugszeichen gegeben und ihre Beschreibungen werden weggelassen.
  • Bei der Herstellungsvorrichtung, die in 5 gezeigt ist, ist der lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharzklebstoff der die abrasive bzw. abreibende lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11bA bildet, in der ersten Kammer 21A vorgesehen. Eine Durchmessereinstellungsvorrichtung 23A, die denselben Aufbau wie die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 hat, ist an dem Austritt der Kammer 21A vorgesehen. Die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23A entfernt irgendeine überschüssige Menge des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzklebstoffes, der an dem Kerndraht 11a haftet bzw. klebt.
  • Nach dem Verlassen der Durchmessereinstellungsvorrichtung 23A tritt der Kerndraht 11a in eine lichtabstrahlende Vorrichtung 24A ein, die denselben Aufbau wie die elektronenstrahlab strahlende Vorrichtung 24 hat. Folglich wird der lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharzklebstoff, der an dem Kerndraht 11a anhaftet bzw. klebt, durch das Licht getrocknet bzw. gehärtet, das durch die lichtabstrahlende Vorrichtung 24A projiziert wird. Danach tritt der Kerndraht 11a, der die lichtabstrahlende Vorrichtung 24A verlässt in die harz- bzw. kunstharzauftragende Kammer 21B ein, welche die Mischungsflüssigkeit 22 enthält, die das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz aufweist, das die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c und das Füllmaterial 22b enthält.
  • Der andere Aufbau der Herstellungsvorrichtung, die in 5 gezeigt ist, ist derselbe wie der der Herstellungsvorrichtung, die in 3 gezeigt ist, und ihre Beschreibungen werden weggelassen.
  • Eine Beschreibung wird nun von einem Beispiel des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11A gegeben, welcher durch die in 5 gezeigt Herstellungsvorrichtung produziert wurde.
  • Bei diesem Beispiel wurde ein Klaviersaitendraht, der einen Durchmesser von 0,20 mm hat, für den Kerndraht 11a verwendet. Lichttrocknender bzw. lichthärtender Harz- bzw. Kunstharzklebstoff der Acrylausführung wurde in der ersten Kammer 21A angeordnet. Der Kerndraht 11a wurde in die erste Kammer 21A eingeführt, um die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bA zu bilden. Der Kerndraht 11a wurde durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23A geführt, die einen inneren Durchmesser von 0,23 mm hat. Dann wurde das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittel durch ein ultraviolettes Licht getrocknet bzw. gehärtet, das eine Wellenlänge mit einem Spitzenwert um 354 nm hat, welches durch die Hochspannungs-Quecksilberlampe 24A abgestrahlt wurde. Dementsprechend wurde die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bA an dem Kerndraht 11a gebildet.
  • Feines Kupferpulver, das einen durchschnittlichen Durchmesser von 2 μm hat, wurde einer lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit der radikalen Polymerisationsausführung hinzugefügt, so dass die Mischung 30 Gewichts-% feines Kupferpulver enthielt. Die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit der radikalen Polymerisationsausführung enthielt ein Acrylat-Vorpolymer (ein Oligomer oder ein Monomer) und 1 Gewichts-% (1 Gew.-%) Fotoinitiator eines Acetophenonderivats. Die Lösung wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt. Abrasive bzw. abreibende Diamant-Kristallkörper bzw. -körnungen, die einen Durchmesser von 30 μm bis 40 μm haben, was fünf Volumenprozent entspricht, wurden mit einer kleinen Menge Ethylalkohol benetzt, und zu der Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit hinzugefügt, um die Mischungsflüssigkeit 22 herzustellen. Die Mischungsflüssigkeit 22 wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt. Die somit hergestellte Mischungsflüssigkeit 22 wurde in der Harz- bzw. Kunsharzauftragkammer 21B angeordnet.
  • Der Kerndraht 11a, der aus der Quecksilberlampe 24A austritt, wurde in die Harz- bzw. Kunstharzauftragkammer 21B eingeführt, so dass der Klaviersaitendraht durch die Mischungsflüssigkeit 22, die die abrasiven bzw. abreibenden Diamant-Kristallkörper bzw. -körnungen enthält, bedeckt bzw. ummantelt wurde. Dann wurde der Kerndraht 11a durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 hindurchgeführt, die eine Öffnung hat, deren Durchmesser etwa 0,27 mm war. Der Klaviersaitendraht wurde durch die lichtabstrahlende Vorrichtung 24 hindurchgeführt, welche eine Hochspannungs-Quecksilberlampe aufweist, die eine Wellenlänge mit einem Spitzenwert von um 354 nm hat. Folglich wurde der abrasive bzw. abreibende Draht 11A, der einen Durchmesser von 0,25 mm bis 0,26 mm hat, erlangt.
  • Es sollte bemerkt werden, dass die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz. bzw. Kunstharzschicht 11c dieses Beispiels durch dasselbe Material gebildet wurde, wie die des Beispiels des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 gemäß der vorstehend genannten ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Ein Siliziumingot bzw. Siliziumblock mit einem Durchmesser von 3 Inch wurde durch den abrasiven bzw. abreibenden Draht 11A des vorstehend erwähnten Beispiels mit einer Trenn- bzw. Schneidgeschwindigkeit von 300 m/min getrennt bzw. geschnitten. Es gab keine bemerkenswerte Abrasion bzw. Abrieb der Bond- bzw. Fügeschicht (lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c). Die durchschnittliche Trenn- bzw. Schneideffizienz war mehr als 35 mm2/min.
  • (Dritte Ausführungsform)
  • 6 ist eine Abbildung eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In 6 werden den Teilen, die dieselben wie die Teile sind, die in 4 gezeigt sind, dieselben Bezugszeichen gegeben, und ihre Beschreibungen werden weggelassen. Der abrasive bzw. abreibende Draht 11B gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat denselben Aufbau wie die zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die in 4 gezeigt ist, außer für eine äußere Harz- bzw. Kunstharzschicht 11e, die an der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c vorgesehen ist.
  • Die äußere Harz- bzw. Kunstharzschicht 11e wird durch ein lichttrocknendes bzw. lichthärtendes Harz bzw. Kunstharz gebildet, das eine Abriebbeständigkeit hat, die der des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harzes bzw. Kunstharzes überlegen ist, das die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c bildet. Die äußere Harz- bzw. Kunstharzschicht 11e kann in derselben Weise wie die der abrasiven bzw. abreibenden lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 11bA oder der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c gebildet werden.
  • Die äußere Harz- bzw. Kunstharzschicht 11e kann mit anderen Eigenschaften versehen werden, derart wie geringe Reibung oder chemische Stabilität, wenn dies erforderlich ist, und zwar durch Ändern des Materials oder des Füllmaterials.
  • (Vierte Ausführungsform)
  • Eine Beschreibung einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf 7 gegeben. 7 ist eine Abbildung eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In 7 werden den Teilen, die dieselben wie die Teile sind, die in 4 gezeigt sind, dieselben Bezugszeichen gegeben, und ihre Beschreibungen werden weggelassen.
  • Der abrasive bzw. abreibende Draht 11C gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat denselben Aufbau wie der abrasive bzw. abreibende Draht 11A, der in 4 gezeigt ist, außer dass die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. -körnungen 22c an den Kerndraht 11a gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt sind, und zwar durch eine lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bC. Das heißt, bei der vorliegenden Ausführungsform, dass die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. -körnungen 22c nicht zu dem lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz bzw. Kunstharz hinzugefügt werden, das die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c bildet, aber zu dem lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz bzw. Kunstharzklebemittel, das die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bC bildet. Folglich werden die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c sicher an den Kerndraht 11a durch das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittel gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform enthält die lichttrocknende bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bC nicht das Füllmaterial 22b, weil sich das Füllmaterial 22b nachteilig auf die Bond- bzw. Fügeeigenschaft des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzklebemittels auswirken kann. Folglich ereignet sich das Trocknungs- bzw. Härtungsverfahren des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzklebemittels nicht, bevor lichttrocknendes bzw. lichthärtendes Harz bzw. Kunstharzklebemittel durch das Licht bestrahlt wird, das durch die lichtabstrahlende Vorrichtung projiziert wird. Es sollte bemerkt werden, dass das Füllmaterial 22b zu dem lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz bzw. Kunstharz hinzugefügt wird, das die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c bildet.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden, weil die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c an den Kerndraht 11a durch das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittel gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt werden, das ein Haftvermögen bzw. eine Adhäsionskraft hat, das bzw. die stärker als das bzw. die des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harzes bzw. Kunstharzes ist, das die lichtrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c bildet, wobei die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c sicher an den Kerndraht 11a gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt werden.
  • Eine Beschreibung wird nun von einem Beispiel des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11C gegeben. Der abrasive bzw. abreibende Draht 11C kann durch eine Herstellungsvorrichtung produziert werden, die ähnlich der Herstellungsvorrichtung ist, die in 5 gezeigt ist.
  • Bei diesem Beispiel wurde ein Klaviersaitendraht, der einen Durchmesser von 0.20 mm hat, für den Kerndraht 11a verwendet. Zuerst wurde der Kerndraht 11a einem Entfettungsverfahren ausgesetzt, und dann wurde ein Siliziumwasserstoff- bzw. Silanhaftvermittler als eine Primer- bzw. Haftmittelschicht auf den Kerndraht 11a aufgetragen.
  • Eine lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittelflüssigkeit der radikalen Polymerisationsausführung, die ein lichttrocknendes bzw. lichthärtendes Acrylharz- bzw. Acrylkunstharzklebemittel und 1 Gewichts-% Fotoinitiator eines Acetophenon-Derivats aufweist, wurde hergestellt. Dann wurden abrasive bzw. abreibende Diamant-Kristallkörner bzw. -körnungen, die einen Durchmesser von 30 μm bis 40 μm haben, was 5 Volumenprozent entspricht, mit einer kleinen Menge Ethylalkohol benetzt, und der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzklebemittelflüssigkeit hinzugefügt. Die Mischungsflüssigkeit wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt. Die somit hergestellte Mischungsflüssigkeit wurde in der ersten Kammer 21A angeordnet.
  • Der Kerndraht 11a, der mit dem Primer bzw. Haftmittel versehen wurde, wurde in die erste Kammer 21A eingeführt, um die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharadhäsionsschicht 11bC zu bilden. Der Kerndraht 11a wurde durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23A hindurchgeführt, die einen inneren Durchmesser von 0,23 mm hat. Dann wurde das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharzklebemittel durch ein ultraviolettes Licht getrocknet bzw. gehärtet, das eine Wellenlänge mit einem Spitzenwert um 354 nm hat, welches durch die Hochspannungs-Quecksilberlampe 24A abgestrahlt wurde. Dementsprechend wurde die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bC (erste Schicht) an dem Kerndraht 11a gebildet.
  • Feines Kupferpulver, das einen durchschnittlichen Durchmesser von 2 μm hat, wurde einer lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit der radikalen Polimerisationsausführung hinzugefügt, so dass die Mischung 30 Gewichts.-% feines Kupferpulver enthielt. Die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit der radikalen Polymerisationsausführung enthielt ein Acrylat-Vorpolymer (ein Oligomer oder ein Monomer) und 1 Gewichts-% Fotoinitiator eines Acetophenon-Derivats. Die Lösung wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt, um die Mischungsflüssigkeit 22 herzustellen. Die somit hergestellte Mischungsflüssigkeit 22 wurde in der Harz- bzw. Kunstharz auftragenden Kammer 21B angeordnet.
  • Danach wurde der Kerndraht 11a, der die Quecksilberlampe 24A verlassen hat, in die Harz- bzw. Kunstharz auftragende Kammer 21B eingeführt, so dass die Mischung 22 auf den Kerndraht 11a aufgetragen wurde, der mit der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bC bedeckt bzw. ummantelt wurde, welche die abrasiven bzw. abreibenden Diamant-Kristallkörper bzw. -körnungen an den Kerndraht 11a bondet bzw. fügt bzw. klebt. Dann wurde der Kerndraht 11a durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 hindurchgeführt, die eine Öffnung des Durchmessers um 0,27 mm hat. Der Kerndraht 11a wurde durch die lichtabstrahlende Vorrichtung 24 hindurchgeführt, welche eine Hochspannungs-Quecksilberlampe aufweist, die eine Wellenlänge mit einem Spitzenwert um 354 nm hat. Folglich wurde die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c auf der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bC gebildet, und dadurch wurde der abrasive bzw. abreibende Draht 11C, der einen Durchmesser von 0,25 mm bis 0,26 mm hat, erlangt.
  • Es sollte bemerkt werden, dass die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c dieses Beispiels durch dasselbe Material gebildet wurde, wie das des Beispiels des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 11 gemäß der vorstehend erwähnten ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Ein Siliziumingot bzw. Siliziumblock mit einem Durchmesser von 3 Inch wurde durch den abrasiven bzw. abreibenden Draht 11C des vorstehend erwähnten Beispiels mit einer Trenn- bzw. Schneidgeschwindigkeit von 300 m/min getrennt bzw. geschnitten. Es gab keine nennenswerte Abrasion bzw. Abrieb der Bond- bzw. Fügeschicht (lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 11c). Die durchschnittliche Trenn- bzw. Schneideffizient war mehr als 35 mm2/min.
  • (Fünfte Ausführungsform)
  • Eine Beschreibung einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf die 8 und 9 gegeben. 8 ist eine Abbildung eines Querschnittes eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 9 ist eine schematische Abbildung einer Herstellungsvorrichtung zum Herstellen des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Der abrasive bzw. abreibende Draht 31 gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist einen Kerndraht 31a, abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnun gen 22c, die an den Kerndraht 31a gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt sind, und eine Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c auf, die an dem Kerndraht 31a gebildet ist, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c an den Kerndraht 31a zu bonden bzw. zu fügen bzw. zu kleben. Eine Primer- bzw. Haftmittelschicht 31b ist zwischen dem Kerndraht 31a und der Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c vorgesehen, so dass die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c sicher an dem Kerndraht 31a anhaftet bzw. klebt. Dies verhindert das Entfernen der Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c von dem abrasiven bzw. abreibenden Draht 31 während eines Trenn- bzw. Schneidvorganges, wodurch die Standzeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 erhöht wird. Außerdem enthält die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c ein Füllmaterial 22b, um die mechanische Festigkeit und Hitze- bzw. Wärmebeständigkeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 zu erhöhen.
  • Spezifisch wird der Kerndraht 31a aus einem Metalldraht, derart wie einem Klaviersaitendraht, einem bronzebeschichteten Klaviersaitendraht oder einem rostfreien Stahldraht hergestellt. Der Kerndraht 31a kann ebenfalls aus einem anorganischen Material, derart wie einer Glasfaser oder einem organischen Material, derart wie Nylon hergestellt werden. Der Kerndraht 31a kann ein Volldraht oder ein Wickeldraht bzw. verdrillter Draht sein.
  • Die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c werden bevorzugt aus einem harten Material, derart wie ein Diamant, kubisches bzw. Würfelbornitrid (CBN), Aluminiumoxid bzw. Tonerde oder Siliziumkarbid, hergestellt. Ein Diamant-Kristallkorn bzw. -körnung ist am meisten für die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c bevorzugt, weil das Diamantkristallkorn bzw. -körnung Überlegenheit bei der Trenn- bzw. Schneidfähigkeit hat.
  • Die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c ist aus einem Elektronenstrahl trockenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz bzw. Kunstharz hergestellt, welches innerhalb einer Sekunde unter Bestrahlung eines Elektronenstrahls polymerisiert werden kann. Folglich kann der abrasive bzw. abreibende Draht 31 mit einer Geschwindigkeit von mehr als einem Kilometer pro Minute produziert werden, wodurch die Produktion eines langen abrasiven bzw. abreibenden Drahtes mit niedrigen Kosten ermöglicht wird.
  • Für das Füllmaterial 22b, das dem Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz bzw. Kunstharz hinzugefügt wird, können Metallteilchen, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm und/oder anorganische Teilchen verwendet werden, die einen durchschnittlichen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm haben. Metallfasern, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm und eine Länge von 1 μm bis 200 μm haben und/oder anorganische Fasern, die einen Durchmesser von 0.1 μm bis 15 μm und eine Länge von 1 μm bis 200 μm haben, können verwendet werden. Das Füllmaterial 22b wird dem Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz bzw. Kunstharz hinzugefügt, so dass die Mischung 5 Gewichts-% bis 90 Gewichts-% Füllmaterial 22b enthält. Das Hinzufügen des Füllmaterials 22b erhöht die mechanische Festigkeit und die Hitze- bzw. Wärmebeständigkeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31.
  • Es sollte bemerkt werden, dass, wenn ein lichttrocknendes bzw. lichthärtendes Harz bzw. Kunstharz verwendet wird, wie dies bei den vorstehend genannten Ausführungsformen der Fall ist, die Trocknungs- bzw. Härtungsgeschwindigkeit des lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harzes bzw. Kunstharzes verringert werden kann, oder das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz wegen Übertragung, Absorption oder Reflektion des Lichtes an oder nahe den Teilchen des Füllmaterials 22b nicht vollständig getrocknet bzw. gehärtet werden kann. Jedoch kann ein derartiges Problem durch Verwenden des Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harzes bzw. Kunstharzes beseitigt werden, weil der Transmissionsgrad des Elektronenstrahls mehr als dreimal so viel wie der eines Lichtstrahls, derart wie ein ultravioletter Strahl ist.
  • Eine Beschreibung eines Herstellungsverfahrens des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf 9 gegeben.
  • Der Kerndraht 31a, der auf eine Zuführrolle 10 gewickelt bzw. gespult ist, wird über eine Rolle bzw. Walze 12 zu einer ersten Kammer 21A zugeführt, nachdem der Kerndraht 31a einem Entfettungsverfahren ausgesetzt wurde. Die erste Kammer 21A enthält einen Primer bzw. Haftmittel, so dass die Primer- bzw. Haftmittelschicht 31b auf dem Kerndraht 31a gebildet wird, während der Kerndraht 31a durch die erste Kammer 21A hindurchgeführt wird. Die Primer- bzw. Haftmittelschicht 31b verbessert die Adhäsion bzw. das Haftvermögen des Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harzes bzw. Kunstharzes an dem Kerndraht 31a und fördert das Trocknen bzw. Härten des Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harzes bzw. Kunstharzes. Für den Primer bzw. das Haftmittel, der bzw. das die Primer- bzw. Haftmittelschicht 31b bildet, kann ein Polymerisationsbeschleuniger oder ein Haftvermittler, derart wie ein Silan-Haftvermittler, verwendet werden.
  • Die japanische Offenlegungspatentanmeldung Nr. 10-328932 lehrt das Vorsehen von Unebenheit auf der Oberfläche eines Kerndrahtes, um die Adhäsion bzw. das Haftvermögen einer Harz- bzw. Kunstharzschicht an dem Kerndraht zu erhöhen. Wenn ein derartiger Aufbau bei dem abrasiven bzw. abreibenden Draht 31 angewendet bzw. aufgetragen wird, kann die mechanische Festigkeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 verringert werden. Jedoch beinflusst die Bildung der Primer- bzw. Haftmittelschicht 31b nicht die mechanische Festigkeit des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31.
  • Der Kerndraht 31a, auf welchem die Primer- bzw. Haftmittelschicht 31b gebildet worden ist, wird durch eine Harz- bzw. Kunstharz auftragende Kammer 21B hindurchgeführt, die eine Trichterform hat. Die Harz- bzw. Kunstharz auftragende Kammer 21B enthält eine Mischungsflüssigkeit 32, die das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz bzw. Kunstharz aufweist, das die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c und das Füllmaterial 22b enthält. Die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c haften bzw. kleben an dem Kerndraht 31a mit dem Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz bzw. Kunstharz, während der Kerndraht 31a durch die Harz- bzw. Kunstharz auftragenden Kammer 21B läuft. Nach dem Durchlaufen der Harz- bzw. Kunstharz auftragenden Kammer 21B wird der Kerndraht 31a durch eine Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 geführt, um irgendwelche übermäßigen Mengen der Mischungsflüssigkeit 32 zu entfernen, die an dem Kerndraht 31a anhaftet bzw. klebt. Dementsprechend wird die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c justiert, um eine vorherbestimmte Dicke zu haben, und dadurch wird der abrasive bzw. abreibende Draht 31 eingestellt, um einen vorherbestimmten Durchmesser zu haben.
  • Der Kerndraht 31a, der die Durchmesservorrichtung 23 durchläuft, betritt eine Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung (Elektronenstrahlbeschleuniger) 26, welche einen Elektronenstrahl auf die Mischungsflüssigkeit projiziert, die auf den Kerndraht 31a aufgetragen wird. Das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz bzw. Kunstharz, das in der Mischungsflüssigkeit 32 enthalten ist, wird durch den Elektronenstrahl getrocknet bzw. gehärtet, der durch die Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung 26 projiziert wird, und dadurch wird die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c gebildet. Dementsprechend werden die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c sicher an den Kerndraht 31a gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt, und zwar durch die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c, und dadurch wird der abrasive bzw. abreibende Draht 31 gebildet, der in 8 gezeigt ist.
  • Nachdem der somit gebildete abrasive bzw. abreibende Draht 31 die Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung 26 verlässt, wird der Durchmesser des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 durch eine Durchmessermessvorrichtung 17 gemessen bzw. bestimmt. Die Messung der Durchmessermessvorrichtung 17 wird einer Steuereinheit 16 zugeführt. Die Durchmessermessvorrichtung 17 enthält drei Nichtkontakt-Verschiebungssensoren, die in gleichwinkligen Positionen angeordnet sind, die den abrasiven bzw. abreibenden Draht 31 umgeben, der die Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung 26 verlässt, um Exzentrizität der Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c in Bezug auf den Kerndraht 31a ebenso gut wie den Durchmesser des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 zu messen bzw. zu bestimmen. Spezifisch ist die Durchmessermessvorrichtung 17 imstande, die Dicke der Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c an drei Orten um den Umfang des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 herum zu messen.
  • Die Steuereinrichtung 16 detektiert Exzentrizität zwischen dem abrasiven bzw. abreibenden Draht 31 und der Durchmessereinstellungsvorrichtung 23, basierend auf der Messung bzw. Bestimmung der Durchmessermessvorrichtung 17, um die Position der Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 zu steuern, so dass der abrasive bzw. abreibende Draht 31 immer in dem Zentrum bzw. Mittelpunkt der Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 gelegen ist. Die relative Position des Kerndrahtes 31a in Bezug auf die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 kann durch Bewegen der Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 oder Bewegen einer Draht positionsjustierrolle (nicht in der Figur gezeigt) geändert werden. Außerdem steuert die Steuereinheit 16 die Zuführgeschwindigkeit des Kerndrahtes 31a, so dass die Dicke der Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c einheitlich in der Längsrichtung ebenso gut wie radialen Richtungen des Kerndrahtes 31a wird.
  • Nach dem Passieren der Durchmessermessvorrichtung 17 wird der abrasive bzw. abreibende Draht 31 über Rollen bzw. Walzen 13, 14 und 15 zu einer Wickelwalze 20 geführt, und wird auf die Wickelwalze 20 gewickelt bzw. gespult. Die Wickelgeschwindigkeit der Wickelwalze 20 wird durch die Steuereinheit 16 gesteuert. Außerdem wird die Spannung des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 durch die Walze 15 gesteuert.
  • Es sollte bemerkt werden, dass das Verfahren zum Trocknen bzw. Härten des Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harzes bzw. Kunstharzes innerhalb einer Stickstoffatmosphäre oder einer Sauerstoff reduzierten Atmosphäre ausgeführt werden kann, um stabile Polymerisation des Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harzes bzw. Kunstharzes zu erreichen.
  • Gemäß der vorstehend erwähnten Herstellungsvorrichtung für den abrasiven bzw. abreibenden Draht kann der abrasive bzw. abreibende Draht 31 kontinuierlich mit einer Geschwindigkeit von einigen Kilometern pro Minute produziert werden, weil das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz bzw. Kunstharz, welches die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c an den Kerndraht 31a bondet bzw. fügt bzw. klebt, in einer kurzen Zeitdauer, d.h. innerhalb einer Sekunde getrocknet bzw. gehärtet wird.
  • Außerdem hat, weil der Durchmesser des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 unter der Steuerung der Steuereinheit 16 justiert wird, der abrasive bzw. abreibende Draht 31 eine einheitliche Dicke entlang der Längsrichtung ebenso gut wie der radialen Richtungen. Dementsprechend wird, wenn ein Siliziumingot bzw. Siliziumblock durch den abrasiven bzw. abreibenden Draht 31 getrennt bzw. geschnitten wird, der Kerbschnitt bzw. Sägeschlitzverlust verringert und eine gute Trenn- bzw. Schneidqualität kann erreicht werden.
  • Eine Beschreibung eines Beispiels des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31, welcher durch die Herstellungsvorrichtung des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes produziert wurde, die in 9 gezeigt ist, wird nun gegeben.
  • Bei diesem Beispiel wurde ein Klaviersaitendraht, der einen Durchmesser von 0,20 mm hat, für den Kerndraht 31a verwendet. Zuerst wurde der Kerndraht 31a einem Entfettungsverfahren ausgesetzt, und dann wurde ein Siliziumwasserstoff- bzw. Silanhaftvermittler als ein Primer bzw. Haftmittel auf den Kerndraht 31a aufgetragen.
  • Feines Kupferpulver, das einen durchschnittlichen Durchmesser von 2 μm hat, wurde einer Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit der radikalen Polymerisationsausführung hinzugefügt, so dass die Mischung 30 Gewichts-% feines Kupferpulver enthielt. Die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit der radikalen Polymerisationsausführung enthielt ein Acrylat-Vorpolymer (ein Oligomer oder ein Monomer) und 1 Gewichts-% Fotoinitiator eines Acetophenon-Derivats. Die Lösung wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt. Abrasive bzw. abreibende Diamant-Kristallkörner bzw. -körnungen, die einen Durchmesser von 30 μm bis 40 μm haben, was 5 Volumenprozent entspricht, wurden mit einer kleinen Menge Ethylalkohol benetzt und der Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit hinzugefügt, um die Mischungsflüssigkeit 32 herzustellen. Die Mischungsflüssigkeit 32 wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt. Die somit hergestellte Mischungsflüssigkeit 32 wurde an der Harz- bzw. Kunstharz auftragenden Kammer 21B bereitgestellt. Danach wurde der Klaviersaitendraht, welcher dem Primer- bzw. Haftmittelverfahren ausgesetzt worden ist, in die Harz- bzw. Kunstharz auftragende Kammer 21B eingeführt, so dass der Klaviersaitendraht durch die Mischungsflüssigkeit 32, die die abrasiven bzw. abreibenden Diamant-Kristallkörner bzw. -körnungen enthält, bedeckt bzw. ummantelt. Dann wurde der Klaviersaitendraht durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 hindurchgeführt, die eine Öffnung des Durchmessers um 0,27 mm hat. Der Klaviersaitendraht wurde durch die Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung hindurchgeführt, die eine Kapazität von etwa 300 keV hat. Ein abrasiver bzw. abreibender Draht, der einen Durchmesser von 0,25 mm bis 0,26 mm hat, wurde erlangt.
  • Das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz bzw. Kunstharz, das bei dem vorstehend erwähnten Beispiel verwendet wurde, war ein Harz bzw. Kunstharz der radikalen Polymerisationsausführung, welches radikale Polymerisation durch bestrahlt werden durch den Elektronenstrahl erzeugt. Jedoch sind das Oligomer und das Monomer nicht auf diese beschränkt, die in dem vorstehend erwähnten Beispiel verwendet werden.
  • Für das Oligomer oder das Monomer können Polyethylen, Polypropylen, Hyparon, Polystyren, Polyacrylsäure, Polyvinylalkohol, Polyvinylacetat, Nylon, Polychloropren, Polydimethyl, Siloxan, Epoxid, Polyester, Polyvinyl, Polyvinylbutyral, Polyurethan, Polyamid, Melamin oder Harnstoff (Urea) verwendet werden.
  • Außerdem wurde das feine Kupferpulver als das Füllmaterial 22b bei dem vorstehend erwähnten Beispiel verwendet, wobei das Füllmaterial 22b nicht auf das feine Kupferpulver beschränkt ist. D.h. irgendein Material kann verwendet werden, solange wie das Material die mechanische Festigkeit oder die Abriebbeständigkeit der Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 31b verbessern kann, ohne sich nachteilig auf die Vollendung des Trocknens bzw. Härtens des Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harzes bzw. Kunstharzes auszuwirken. Für das Füllmaterial können feines Metallpulver, Metalloxid, Metallkarbid oder Nichtmetalloxid oder Karbid, derart wie ein Halbleitervorrichtungsmaterial, verwendet werden. Das Füllmaterial kann in der Form eines Teilchens oder einer Faser sein.
  • Ein Siliziumingot bzw. Siliziumblock mit einem Durchmesser von 3 Inch wurde in dem vorstehend erwähnten Beispiel durch den abrasiven bzw. abreibenden Draht 31 mit einer Trenn- bzw. Schneidgeschwindigkeit von 300 m/min getrennt bzw. geschnitten. Es gab keine nennenswerte Abrasion bzw. Abrieb der Bond- bzw. Fügeschicht (Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c). Die durchschnittliche Trenn- bzw. Schneideffizienz war mehr als 50 mm2/min.
  • (Sechste Ausführungsform)
  • Eine Beschreibung einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun gegeben. 10 ist eine Abbildung eines Querschnittes eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In 10 werden Teilen, die dieselben wie die Teile sind, die in 8 gezeigt sind, dieselben Bezugszeichen gegeben, und ihre Beschreibungen werden weggelassen.
  • Der abrasive bzw. abreibende Draht 31A gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat denselben Aufbau wie der des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, außer dass die Primer- bzw. Haftmittelschicht 31b des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 durch eine Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 31bA ersetzt wurde. Das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz bzw. Kunstharzklebemittel, das die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 31bA bildet, haftet bzw. klebt an dem Kerndraht 31a stärker als das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz bzw. Kunstharz, das die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c bildet. Außerdem haftet bzw. klebt das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz bzw. Kunstharz, das die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c bildet, stark an der Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harzadhäsionsschicht 31bA. Dementsprechend haftet bzw. klebt die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c stärker an dem Kerndraht 31a, als wenn die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c direkt an dem Kerndraht 31a gebildet ist, ohne die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 31bA. Folglich werden die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c fester an den Kerndraht 31a gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt, als wenn die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c an den Kerndraht 31a ausschließlich durch die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt werden.
  • Eine Beschreibung eines Herstellungsverfahrens des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31A gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf 11 gegeben. 11 ist eine schematische Abbildung einer Herstellungsvorrichtung zum Herstellen des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31A gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In 11 werden Teilen, die dieselben wie die Teile sind, die in 9 gezeigt sind, dieselben Bezugszeichen gegeben, und ihre Beschreibungen werden weggelassen.
  • Bei der Herstellungsvorrichtung, die in 11 gezeigt wird, wird die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsmischung, die die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 31bA bildet, in der ersten Kammer 21A bereitgestellt. Eine Durchmessereinstellungsvorrichtung 23A, die denselben Aufbau wie die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 hat, ist an dem Ausgang der Kammer 21A vorgesehen. Die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23A entfernt irgendeine übermäßige Menge des Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzklebstoffes, der an dem Kerndraht 31a anhaftet bzw. klebt.
  • Nach dem Verlassen der Durchmessereinstellvorrichtung 23A, dringt der Kerndraht 31a in eine Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung 26A ein, die denselben Aufbau hat, wie die Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung 24. Folglich wird das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittel, das an dem Kerndraht 31a anhaftet bzw. klebt, durch den Elektronenstrahl getrocknet bzw. gehärtet, der durch die Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung 26A projiziert wird. Danach dringt der Kerndraht 31a, der die Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung 26A verlässt, in die Harz- bzw. Kunstharz auftragende Kammer 21B ein, welche die Mischungsflüssigkeit 32 enthält, die das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz bzw. Kunstharz aufweist, das die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. -körnungen 22c und das Füllmaterial 22b enthält.
  • Der andere Aufbau der Herstellungsvorrichtung, die in 11 gezeigt ist, ist derselbe wie der der Herstellungsvorrichtung, die in 9 gezeigt ist, und ihre Beschreibungen werden weggelassen.
  • Eine Beschreibung eines Beispiels des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31A, welcher durch die Herstellungsvorrichtung produziert wurde, die in 11 gezeigt ist, wird nun gegeben.
  • Bei diesem Beispiel wurde ein Klaviersaitendraht, der einen Durchmesser von 0,20 mm hat, für den Kerndraht 31a verwendet. Elektronstrahl trocknendes bzw. Elektronenstrahl härtendes Harz- bzw. Kunstharzklebemittel des Acryl-Typs wurde in die erste Kammer 21A gefüllt. Der Kerndraht 31a wurde in die erste Kammer 21A eingeführt, um die Elektronenstrahl trocknen de bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 31bA zu bilden. Der Kerndraht 31a wurde durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23A hindurchgeführt, die einen inneren Durchmesser von 0,23 mm hat. Dann wurde das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittel durch einen Elektronenstrahl getrocknet bzw. gehärtet, der durch die Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung 26A abgestrahlt wurde, die eine Kapazität von 300 KeV hat. Dementsprechend wurde die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 31bA auf dem Kerndraht 31a gebildet.
  • Feines Kupferpulver, das einen durchschnittlichen Durchmesser von 2 μm hat, wurde einer Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit einer radikalen Polymerisationsausführung hinzugefügt, so dass die Mischung 30 Gewichts-% feines Kupferpulver enthielt. Die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit der radikalen Polymerisationsausführung enthielt ein Acrylat-Vorpolymer (ein Oligomer oder ein Monomer) und 1 Gewichts-% eines Fotoinitiators eines Acetophenon-Derivats. Die Lösung wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt. Abrasive bzw. abreibende Diamant-Kristallkörner bzw. -körnungen, die einen Durchmesser von 30 μm bis 40 μm haben, was 5 Volumenprozent entspricht, wurden mit einer kleinen Menge Ethylalkohol benetzt, und der Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit hinzugefügt, um die Mischungsflüssigkeit 22 herzustellen. Die Mischungsflüssigkeit 22 wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt. Die somit hergestellte Mischungsflüssigkeit 22 wurde in der Harz- bzw. Kunstharz auftragenden Kammer 21B bereitgestellt.
  • Der Kerndraht 31a, der die Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung 26A verlässt, wurde in die Harz- bzw. Kunstharz auftragende Kammer 21B eingeführt, so dass der Kerndraht 31a, der die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 31bA hat, durch die Mischungsflüssigkeit 32, die die abrasiven bzw. abreibenden Diamant-Kristallkörner- bzw. -körnungen enthält, bedeckt bzw. ummantelt. Dann wurde der Kerndraht 31a durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 geführt, die eine Öffnung hat, deren Durchmesser um 0,27 mm war. Der Kerndraht 31a wurde durch die Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung 26 hindurchgeführt, die eine Kapazität von 300 KeV hat. Folglich wurde der abrasive bzw. abreibende Draht 31A, der einen Durchmesser von 0,25 mm bis 0,26 mm hat, erlangt.
  • Es sollte bemerkt werden, dass die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c dieses Beispiels durch dasselbe Material wie die des Beispiels des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 gemäß der vorstehend erwähnten ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gebildet wurde. Bei der vorliegenden Ausführungsform wurde die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 31bA (erste Schicht), die an dem Kerndraht 31a gebildet ist, aus dem Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzklebemittel hergestellt. Jedoch kann die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 31bA durch die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 11bA ersetzt werden, die in 4 gezeigt ist.
  • Ein Siliziumingot bzw. Siliziumblock mit einem Durchmesser von 3 Inch wurde durch den abrasiven bzw. abreibenden Draht 31A des vorstehend erwähnten Beispiels mit einer Trenn- bzw. Schneidgeschwindigkeit von 300 m/min getrennt bzw. geschnitten. Es gab keine nennenswerte Abrasion bzw. Abrieb der Bond- bzw. Fügeschicht (Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c). Die durchschnittliche Trenn- bzw. Schneideffizienz war mehr als 50 mm2/min.
  • (Siebte Ausführunsgform)
  • 12 ist eine Abbildung eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In 12 werden Teilen, die dieselben wie die Teile sind, die in 10 gezeigt sind, dieselben Bezugszeichen gegeben, und ihre Beschreibungen werden weggelassen. Der abrasive bzw. abreibende Draht 31B gemäß der siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat denselben Aufbau wie die sechste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die in 10 gezeigt ist, außer einer äußeren Harz- bzw. Kunstharzschicht 31e, die an der Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c vorgesehen ist.
  • Die äußere Harz- bzw. Kunstharzschicht 31e wird durch ein Elektronenstrahl trocknendes bzw. Elektronenstrahl härtendes Harz- bzw. Kunstharz gebildet, das Abriebbeständigkeit hat, die der des Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harzes bzw. Kunstharzes überlegen ist, das die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härten de Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c bildet. Die äußere Harz- bzw. Kunstharzschicht 31e kann in derselben Weise gebildet werden wie die der Elektronenstrahl härtenden bzw. Elektronenstrahl trocknenden abrasiven bzw. abreibenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 31bA oder die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c. Die äußere Harz- bzw. Kunstharzschicht 31e kann mit anderen Eigenschaften versehen werden, derart wie geringe Reibung oder chemische Stabilität, falls dies notwendig ist, und zwar durch Ändern des Materials oder des Füllmaterials.
  • (Achte Ausführunsgsform)
  • Eine Beschreibung einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf 13 gegeben. 13 ist eine Abbildung eines abrasiven bzw. abreibenden Drahtes gemäß der achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In 13 werden Teilen, die dieselben wie die Teile sind, die in 10 gezeigt sind, dieselben Bezugszeichen gegeben, und ihre Beschreibung wird weggelassen.
  • Der abrasive bzw. abreibende Draht 31C gemäß der achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat denselben Aufbau wie der abrasive bzw. abreibende Draht 31A, der in 10 gezeigt ist, außer dass die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c an den Kerndraht 31a gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt sind, und zwar durch eine Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 31bC. D.h., bei der vorliegenden Ausführungsform werden die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen 22c nicht dem Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz bzw. Kunstharz hinzugefügt, das die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c bildet, sondern dem Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzklebemittel, das die anhaftende bzw. klebende Elektronstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31bC bildet. Folglich werden die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. -körnungen 22c sicher an den Kerndraht 31a gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt, und zwar durch das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittel.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform enthält die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzadhäsionsschicht 31bC nicht das Füllmaterial 22b, weil sich das Füllmaterial 22b nachteilig auf die Bond- bzw. Fügeeigenschaften des Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzklebemittels auswirken kann. Folglich ereignet sich das Trocknungs- bzw. Härtungsverfahren des Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzklebemittels nicht, bevor das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittel durch das Licht bestrahlt wird, das durch die Licht abstrahlende Vorrichtung projiziert wird. Es sollte bemerkt werden, dass das Füllmaterial 22b zu dem Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz bzw. Kunstharz hinzugefügt wird, das die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c bildet.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden, weil die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. -körnungen 22c an den Kerndraht 31a gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt werden, und zwar durch das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittel, das eine Adhäsionskraft hat, die stärker als die des Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harzes bzw. Kunstharzes hat, das die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c bildet, wobei die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. -körnungen 22c sicher an den Kerndraht 31a gebondet bzw. gefügt bzw. geklebt sind.
  • Eine Beschreibung eines Beispiels des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31C wird nun gegeben. Der abrasive bzw. abreibende Draht 31C kann durch eine Herstellungsvorrichtung produziert werden, die ähnlich der Herstellungsvorrichtung ist, die in 11 gezeigt ist.
  • Bei diesem Beispiel wurde ein Klaviersaitendraht, der einen Durchmesser von 0,20 mm hat, für den Kerndraht 31a verwendet. Zuerst wurde der Kerndraht 31a einem Entfettungsverfahren ausgesetzt, und dann wurde ein Siliziumwasserstoff- bzw. Silanhaftvermittler als ein Primer bzw. Haftmittel auf den Kerndraht 31a aufgetragen.
  • Eine Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzhaftmittelflüssigkeit der radikalen Polymerisationsausführung, die ein Elektronenstrahl trocknendes bzw. Elektronenstrahl härtendes Acrylat-Harz- bzw. -kunstharzklebemittel und 1 Gewichts-% eines Initiators eines Acetophenon-Derivats aufweist, wurde hergestellt. Dann wurden abrasive bzw. abreibende Diamant-Kristallkörner bzw. -körnungen, die einen Durchmes ser von 30 μm bis 40 μm haben, was 5 Volumenprozent entspricht, mit einer kleinen Menge Ethylalkohol benetzt, und der Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzklebemittelflüssigkeit hinzugefügt. Die Mischungsflüssigkeit wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt. Die somit hergestellte Mischungsflüssigkeit wurde in der ersten Kammer 21A angeordnet.
  • Der Kerndraht 31a, der mit dem Primer bzw. Haftmittel versehen wurde, wurde in die erste Kammer 21A eingeführt, um die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittelschicht 31bC zu bilden. Der Kerndraht 31a wurde durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23A hindurchgeführt, die einen inneren Durchmesser von 0,23 mm hat. Dann wurde das Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittel durch eine Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung getrocknet bzw. gehärtet, die eine Kapazität von 300 keV hat. Dementsprechend wurde die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzklebemittelschicht 31bC (erste Schicht) an dem Kerndraht 31a gebildet.
  • Feines Kupferpulver, das einen durchschnittlichen Durchmesser von 2 μm hat, wurde einer Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit der radikalen Polymerisationsausführung hinzugefügt, so dass die Mischung 30 Gewichts-% feines Kupferpulver enthielt. Die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit der radikalen Polymersiationsausführung enthielt ein Acrylat-Vorpolymer (ein Oligomer oder ein Monomer) und 1 Gewichts-% eines Initiator eines Acetophenon-Derivats. Die Lösung wurde für 10 Minuten durch einen Homogenisierapparat gemischt, um die Mischungsflüssigkeit 32 herzustellen. Die somit hergestellte Mischungsflüssigkeit 32 wurde in der Harz- bzw. Kunstharz auftragenden Kammer 21B bereitgestellt.
  • Danach wurde der Kerndraht 31a, der die Quecksilberlampe 24A verlassen hatte, in die Harz- bzw. Kunstharz auftragende Kammer 21B eingeführt, so dass die Mischung 32 auf den Kerndraht 31a aufgetragen wurde, der mit der Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzklebemittelschicht 31bC bedeckt bzw. ummantelt wurde, welche die abrasiven bzw. abreibenden Diamant-Kristallkörner bzw. -körnungen an den Kerndraht 31a bondet bzw. fügt bzw. klebt. Dann wurde der Kerndraht 31a durch die Durchmessereinstellungsvorrichtung 23 geführt, die eine Öffnung hat, deren Durchmesser etwa 0,27 mm war. Der Kerndraht 31a wurde durch die Elektronenstrahl abstrahlende Vorrichtung 26 geführt, welche einen Elektronenstrahl auf die Mischungsflüssigkeit 32 projiziert. Folglich wurde die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c auf der abrasiven bzw. abreibenden Elektronenstrahl trocknenden bzw. Elektronenstrahl härtenden Harz- bzw. Kunstharzschicht 31bC gebildet, und dadurch wurde der abrasive bzw. abreibende Draht 31C, der einen Durchmesser von 0,25 mm bis 0,26 mm hat, erlangt.
  • Es sollte bemerkt werden, dass die Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c dieses Beispiels durch dasselbe Material wie das des Beispiels des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes 31 gemäß der vorstehend erwähnten fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gebildet wurde.
  • Ein Siliziumingot bzw. Siliziumblock mit einem Durchmesser von 3 Inch wurde durch den abrasiven bzw. abreibenden Draht 31C des vorstehend erwähnten Beispiels mit einer Trenn- bzw. Schneidgeschwindigkeit von 300 m/min getrennt bzw. geschnitten. Es gab keine nennenswerte Abrasion bzw. Abrieb der Bond- bzw. Fügeschicht (Elektronenstrahl trocknende bzw. Elektronenstrahl härtende Harz- bzw. Kunstharzschicht 31c). Die durchschnittliche Trenn- bzw. Schneideffizienz war mehr als 50 mm2/min.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die spezifisch offenbarten Ausführungsformen beschränkt und Variationen und Modifikationen können gebildet werden, ohne von dem Schutzbereich der vorliegenden Erfindung abzuweichen, wie dies durch die Patentansprüche definiert ist.

Claims (44)

  1. Drahtsägeeinrichtung zum Trennen bzw. Schneiden eines harten, spröden Materials, die einen abrasiven bzw. abreibenden Draht (11) aufweist, der Folgendes aufweist: einen Kerndraht (11a); abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen (22c), die um den Kerndraht (11a) herum vorgesehen sind; und eine Bond- bzw. Fügeschicht (11c), die an dem Kerndraht (11a) gebildet ist, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen (22c) an den Kerndraht (11a) zu bonden bzw. zu fügen bzw. zu kleben, dadurch gekennzeichnet, dass die Bond- bzw. Fügeschicht (11c) durch ein lichttrocknendes bzw. lichthärtendes Harz bzw. Kunstharz (211c) gebildet ist.
  2. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 1 beansprucht, wobei die Bond- bzw. Fügeschicht (11c) anorganische Teilchen als ein Füllmaterial (22b) enthält, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm haben, so dass die Bond- bzw. Fügeschicht (11c) das Füllmaterial (22b) mit 5 Gew.-% bis 90 Gew.-% enthält.
  3. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 2 beansprucht, wobei das Füllmaterial (22b) Metallteilchen aufweist.
  4. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 1 beansprucht, wobei die Bond- bzw. Fügeschicht (11c) anorganische Fasern als ein Füllmaterial (22b) mit 5 Gew.-% bis 90 Gew.-% enthält.
  5. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 4 beansprucht, wobei das Füllmaterial (22b) Metallfasern aufweist.
  6. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 1 beansprucht, die ferner eine Primer- bzw. Haftmittelschicht (11b) zwischen dem Kerndraht (11a) und der Bond- bzw. Fügeschicht (11c) aufweist, um die Adhäsion der Bond- bzw. Fügeschicht (11c) mit dem Kerndraht (11a) zu verstärken.
  7. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 1 beansprucht, wobei die Bond- bzw. Fügeschicht (11c) eine Vielzahl von Schichten enthält, wobei jede von ihnen aus einem lichttrocknendem bzw. lichthärtendem Harz bzw. Kunstharz hergestellt ist.
  8. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 7 beansprucht, wobei eine der Schichten der Bond- bzw. Fügeschicht (11c), die den Kerndraht (11a) kontaktiert, aus einem lichttrocknendem bzw. lichthärtendem Harz- bzw. Kunstharzhaftmittel bzw. Harz- bzw. Kunstharzklebstoff hergestellt ist, welches bzw. welcher stärker an dem Kerndraht (11a) haftet bzw. klebt als andere Schichten der Bond- bzw. Fügeschicht (11c).
  9. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 8 beansprucht, wobei die eine der Schichten, die den Kerndraht (11a) kontaktiert, die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen (22c) enthält, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen (22c) an den Kerndraht (11a) zu bonden bzw. zu fügen, wobei die eine der Schichten, die den Kerndraht (11a) kontaktiert, ein Füllmaterial (22b) ermangelt bzw. entbehrt, und andere Schichten der Bond- bzw. Fügeschicht ein Füllmaterial (22b) enthalten.
  10. Verfahren zum Herstellen einer Drahtsägeeinrichtung zum Trennen bzw. Schneiden eines harten, spröden Materials, die einen abrasiven bzw. abreibenden Draht (11) aufweist, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Anwenden bzw. Auftragen einer lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) auf einen Kerndraht (11a), während der Kerndraht (11a) in einer Richtung einer Längsachse des Kerndrahtes (11a) bewegt wird, wobei die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (11c) abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen (22c) enthält; und Trocknen bzw. Härten der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22), die an dem Kerndraht (11a) haftet bzw. klebt, durch Projizieren eines Lichtes auf die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22), während der Kerndraht (11a) in der Richtung der Längsachse des Kerndrahtes (11a) bewegt wird, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen (22c) an den Kerndraht (11a) zu bonden bzw. zu fügen bzw. zu kleben.
  11. Verfahren, wie in Anspruch 10 beansprucht, das ferner den folgenden Schritt aufweist: Einstellen bzw. Festlegen einer Dicke der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22), die an dem Kerndraht (11a) haftet bzw. klebt, vor dem Trocknen bzw. Härten der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22).
  12. Verfahren, wie in Anspruch 10 beansprucht, wobei die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) anorganische Teilchen als ein Füllmaterial (22b) enthält, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm haben, sodass die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) das Füllmaterial (22b) mit 5 Gew.-% bis 90 Gew.-% enhält.
  13. Verfahren, wie in Anspruch 12 beansprucht, wobei die anorganischen Teilchen Metallteilchen sind.
  14. Verfahren, wie in Anspruch 10 beansprucht, wobei die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) anorganische Fasern als ein Füllmaterial (22b) enthält, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm und eine Länge von 1 μm bis 200 μm haben, sodass die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) das Füllmaterial (22b) mit 5 Gew.-% bis 90 Gew.-% enthält.
  15. Verfahren, wie in Anspruch 14 beansprucht, wobei die anorganischen Fasern Metallfasern sind.
  16. Verfahren, wie in Anspruch 10 beansprucht, das ferner die folgenden Schritte aufweist: Messen bzw. Bestimmen eines Durchmessers des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes, nachdem die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) getrocknet bzw. gehärtet ist; und Justieren bzw. Einstellen einer Dicke der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22), die an dem Kerndraht (11a) haftet bzw. klebt, basierend auf einem Ergebnis der Messung bzw. Bestimmung des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes.
  17. Verfahren, wie in Anspruch 10 beansprucht, wobei der Schritt des Trocknens bzw. Härtens unter einer Sauerstoff reduzierten Atmosphäre ausgeführt wird.
  18. Verfahren, wie in Anspruch 10 beansprucht, dass ferner den folgenden Schritt aufweist: Anwenden bzw. Auftragen eines Primers bzw. Haftmittels (11b) auf den Kerndraht (11a), bevor die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) auf den Kerndraht (11a) angewendet bzw. aufgetragen wird.
  19. Verfahren, wie in Anspruch 10 beansprucht, das ferner folgenden Schritt aufweist: Anwenden bzw. Auftragen eines lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzhaftmittels bzw. Harz- bzw. Kunstharzklebstoffs (11b) auf den Kerndraht (11a), bevor die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) an dem Kerndraht (11a) angewendet bzw. aufgetragen wird, wobei das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzhaftmittel bzw. Harz- bzw. Kunstharzklebstoff (11b) stärker an dem Kerndraht (11a) haltet bzw. klebt als das lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz bzw. Kunstharz (11c, 22).
  20. Verfahren, wie in Anspruch 10 beansprucht, wobei der Schritt des Anwendens bzw. Auftragens und der Schritt des Trocknens bzw. Härtens wiederholt werden, um eine Vielzahl von lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzschichten (11c) an dem Kerndraht (11a) zu bilden.
  21. Verfahren, wie in Anspruch 10 beansprucht, das ferner die folgenden Schritte aufweist: Anwenden bzw. Auftragen einer zweiten lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) auf eine Schicht, die durch die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) gebildet wird, während der Kerndraht (11a) in der Richtung der Längsachse des Kerndrahtes (11a) bewegt wird, wobei die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) ein Füllmaterial (22b) enthält; und Trocknen bzw. Härten der zweiten lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22), die an der Schicht haftet bzw. klebt, die durch die andere lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) gebildet wird, durch projizieren eines Lichtes auf die lichttrocknende bzw. lichthärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22), während der Kerndraht (11a) in der Richtung der Längsachse des Kerndrahtes (11a) bewegt wird.
  22. Verfahren, wie in Anspruch 21 beansprucht, das ferner den folgenden Schritt aufweist: Anwenden bzw. Auftragen eines Primers bzw. Haftmittels (11b) auf den Kerndraht (11a), vor dem Schritt des Anwendens bzw. des Auftragens der lichttrocknenden bzw. lichthärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (22) gemäß Anspruch 10 auf den Kerndraht (11a).
  23. Drahtsägeeinrichtung zum Trennen bzw. Schneiden eines haben, spröden Materials, die einen abrasiven bzw. abreibenden Draht (31) aufweist, der Folgendes aufweist: einen Kerndraht (31a); abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen (22c), die um den Kerndraht (31a) herum vorgesehen sind; und eine Bond- bzw. Fügeschicht (31c), die an dem Kerndraht (31a) gebildet ist, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen (22c) an den Kerndraht (31a) zu bonden bzw. zu fügen bzw. zu kleben, dadurch gekennzeichnet, dass die Bond- bzw. Fügeschicht (31c) durch ein elektronenstrahltrocknendes bzw. elektronenstrahlhärtendes Harz bzw. Kunstharz (31c) gebildet ist.
  24. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 23 beansprucht, wobei die Bond- bzw. Fügeschicht (31c) anorganische Teilchen als ein Füllmaterial (22b) enthält, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm haben, sodass die Bond- bzw. Fügeschicht (31c) das Füllmaterial (22b) mit 5 Gew.-% bis 90 Gew.-% enhält.
  25. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 24 beansprucht, wobei das Füllmaterial (22b) Metallteilchen aufweist.
  26. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 23 beansprucht, wobei die Bond- bzw. Fügeschicht (31c) anorganische Fasern als ein Füllmaterial (22b) enthält, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm und eine Länge von 1 μm bis 200 μm haben, sodass die Bond- bzw. Fügeschicht (31c) das Füllmaterial (22b) mit 5% bis 90% enthält.
  27. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 26 beansprucht, wobei das Füllmaterial (22b) Metallfasern aufweist.
  28. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 23 beansprucht, die ferner eine Primer- bzw. Haftmittelschicht (31b) zwischen dem Kerndraht (31a) und der Bond- bzw. Fügeschicht (31c) aufweist, um Adhäsion der Bond- bzw. Fügeschicht (c) mit dem Kerndraht (31a) zu verstärken.
  29. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 23 beansprucht, wobei die Bond- bzw. Fügeschicht (31c) eine Vielzahl von Schichten enthält, wobei jede von ihnen aus einem elektronenstrahltrocknendem bzw. elektronenstrahlhärtendem Harz bzw. Kunstharz hergestellt ist.
  30. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 29 beansprucht, wobei eine der Schichten der Bond- bzw. Fügeschicht (31c), die den Kerndraht (31a) kontaktiert, aus einem elektronenstrahltrocknendem bzw. elektronenstrahlhärtendem Harz- bzw. Kunstharzhaftmittel bzw. Harz- bzw. Kunstharzklebstoff hergestellt ist, welches bzw. welcher stärker an dem Kerndraht (31a) haftet bzw. klebt als andere Schichten der Bond- bzw. Fügeschicht (31a).
  31. Drahtsägeeinrichtung, wie in Anspruch 30 beansprucht, wobei die eine der Schichten, die den Kerndraht (11a) kontaktiert, die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen (22c) enthält, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen (22c) an den Kerndraht (31a) zu bonden bzw. zu fügen, wobei die eine der Schichten, die den Kerndraht (31a) kontaktiert, ein Füllmaterial (22b) entbehrt bzw. ermangelt und andere Schichten der Bond- bzw. Fügeschicht ein Füllmaterial (22b) enthalten.
  32. Verfahren zum Herstellen einer Drahtsägeeinrichtung zum Trennen bzw. Schneiden eines harten, spröden Materials, die einen abrasiven bzw. abreibenden Draht aufweist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Anwenden bzw. Auftragen einer elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) auf einen Kerndraht (31a), während der Kerndraht (31a) in einer Richtung einer Längsachse des Kerndrahtes (31a) bewegt wird, wobei die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) abrasive bzw. abreibende Kristallkörner bzw. Körnungen (22c) enthält; und Trocknen bzw. Härten der elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32), die an dem Kerndraht (31a) haftet bzw. klebt, durch Projizieren eines Elektronenstrahles auf die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32), während der Kerndraht (31a) in der Richtung der Längsachse des Kerndrahtes (31a) bewegt wird, um die abrasiven bzw. abreibenden Kristallkörner bzw. Körnungen (22c) an den Kerndraht (31a) zu bonden bzw. zu fügen.
  33. Verfahren, wie in Anspruch 32 beansprucht, das ferner den folgenden Schritt aufweist: Einstellen bzw. Festlegen einer Dicke der elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32), die an dem Kerndraht (31a) haftet bzw. klebt, bevor die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) trocknet bzw. härtet.
  34. Verfahren, wie in Anspruch 32 beansprucht, wobei die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) anorganische Teilchen als ein Füllmaterial (22b) enthält, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm haben, sodass die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) das Füllmaterial (22b) mit 5 Gew.-% bis 90 Gew.-% enthält.
  35. Verfahren, wie in Anspruch 34 beansprucht, wobei die anorganischen Teilchen Metallteilchen sind.
  36. Verfahren, wie in Anspruch 32 beansprucht, wobei die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) anorganische Fasern als ein Füllmaterial (22b) enthält, die einen Durchmesser von 0,1 μm bis 15 μm und eine Länge von 1 μm haben, sodass die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) das Füllmaterial (22b) mit 5 Gew.-% bis 90 Gew.-% enthält.
  37. Verfahren, wie in Anspruch 36 beansprucht, wobei die anorganischen Fasern Metallfasern sind.
  38. Verfahren, wie in Anspruch 32 beansprucht, das ferner den folgenden Schritt aufweist: Messen bzw. Bestimmen eines Durchmessers des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes, nachdem die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) getrocknet bzw. gehärtet ist; und Justieren bzw. Einstellen einer Dicke der elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32), die an dem Kerndraht (31a) haftet bzw. klebt, basierend auf einem Ergebnis der Messung bzw. Bestimmung des abrasiven bzw. abreibenden Drahtes (31).
  39. Verfahren, wie in Anspruch 32 beansprucht, wobei der Schritt des Trocknens bzw. Härtens unter einer Sauerstoff reduzierten Atmosphäre ausgeführt wird.
  40. Verfahren, wie in Anspruch 32 beansprucht, das ferner den folgenden Schritt aufweist: Anwenden bzw. Auftragen eines Primer- bzw. Haftmittels (31b) auf den Kerndraht (31a), bevor die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) an dem Kerndraht (31a) angewendet bzw. aufgetragen wird.
  41. Verfahren, wie in Anspruch 32 beansprucht, das ferner den folgenden Schritt aufweist: Anwenden bzw. Auftragen eines elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzhaftmittels bzw. Harz- bzw. Kunstharzklebstoffs (31b) an dem Kerndraht (31a), bevor die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) an den Drahtkern (31a) angewendet bzw. aufgetragen wird, wobei das elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzhaftmittel bzw. Harz- bzw. Kunstharzklebstoff (31b) stärker an dem Kerndraht haftet bzw. klebt als das elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz bzw. Kunstharz (31c, 32).
  42. Verfahren, wie in Anspruch 32 beansprucht, wobei der Schritt des Anwendens bzw. Auftragens und der Schritt des Trocknens bzw. Härtens wiederholt werden, um eine Vielzahl von elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzschichten (31c) an dem Kerndraht (31a) zu bilden.
  43. Verfahren von Anspruch 32, das ferner die folgenden Schritte aufweist: Anwenden bzw. Auftragen einer elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) auf einer Schicht, die durch die andere elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) gebildet wird, während der Kerndraht (31a) in der Richtung der Längsachse des Kerndrahtes (31a) bewegt wird, wobei die zweite elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) ein Füllmaterial (22b) enthält; und Trocknen bzw. Härten der zweiten elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32), die an der Schicht haftet bzw. klebt, die durch die andere elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32) gebildet wird, durch projizieren eines Elektronenstrahls auf die elektronenstrahltrocknende bzw. elektronenstrahlhärtende Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit (32), während der Kerndraht (31a) in der Richtung der Längsachse des Kerndrahtes (31a) bewegt wird.
  44. Verfahren, wie in Anspruch 43 beansprucht, das ferner den folgenden Schritt aufweist: Anwenden bzw. Auftragen eines Primers bzw. Haftmittels (31b) auf den Kerndraht (31a) vor dem Schritt des Anwendens bzw. Auftragens der elektronenstrahltrocknenden bzw. elektronenstrahlhärtenden Harz- bzw. Kunstharzflüssigkeit gemäß Anspruch 32 auf den Kerndraht (31a).
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