DE60009171T2 - Ein positionsdetektor für eine abtastvorrichtung - Google Patents

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Description

  • Die Erfindung betrifft einen Positionsdetektor, insbesondere einen optischen Positionsdetektor, für eine Scanvorrichtung sowie eine Scanvorrichtung mit dem erfindungsgemäßen Positionsdetektor.
  • Die präzise Bestimmung von räumlichen Positionen ist in der heutigen Zeit insbesondere aufgrund einer zunehmenden Automatisierung von Herstellungs- und Bearbeitungsverfahren eine wichtige Vorraussetzung, um auf effiziente Weise Bauteile mit geringer Toleranz herstellen oder bearbeiten zu können. So erfordert z.B. die Materialbearbeitung mit Laserstrahlen eine präzise Steuerung des Strahlengangs von intensivem Laserlicht. Hierfür werden häufig optische Scanner, sogenannte Galvanometer verwendet. Darunter fallen z.B. Galvanometer mit einer drehbar angeordneten Welle, an der ein Spiegel befestigt ist, wobei die Welle durch einen Motor in Rotation versetzt wird, so dass der Strahlengang eines auf den Spiegel treffenden Laserstrahls räumlich variiert werden kann. Durch das Hintereinanderschalten von zwei derartigen Galvanometern kann Laserlicht in zwei Dimensionen abgelenkt werden. Eine genaue Steuerung des Strahlengangs erfordert einen Regelungsmechanismus, bei dem der momentane Drehwinkel der Welle genau bestimmt wird und, falls dieser bestimmte Drehwinkel von seinem Sollwert abweicht, durch eine Regelungsvorrichtung korrigiert wird. Die Bestimmung des momentanen Drehwinkels erfolgt mit einem Positionsdetektor, dessen Ausgangssignal die Regelgröße darstellt.
  • Die meisten heutzutage eingesetzten optischen Scanner verwenden sogenannte kapazitive Positionsdetektoren. Bei dieser Art von Detektoren ist die drehbar angeordnete Welle mit einem Drehkondensator oder mit einem zwischen Kondensatorplatten angeordneten Dielektrikum gekoppelt. Eine Messung der Kapazität des Kondensators ergibt dann einen Wert, der direkt mit dem momentanen Drehwinkel der Welle zusammenhängt. Kapazitive Positionsdetektoren liefern in aller Regel eine hohe Winkelauflösung und sind gegenüber Drifts weitgehend unempfindlich. Die Herstellung solcher Detektoren ist jedoch relativ aufwendig und somit auch teuer. Ferner erhöhen die Detektoren insbesondere bei kleinen Scannern das Massenträgheitsmoment des Scanners erheblich.
  • Aus diesem Grund verwendet man für kleine Scanner zunehmend optische Positionsdetektoren. Solche optischen Positionsdetektoren wiesen jedoch gegenüber kapazitiven Positionsdetektoren eine geringere Winkelauflösung und eine größere Drift auf, so dass sie nur bei solchen Anwendungen zum Einsatz kamen, bei denen die Anforderungen an die genaue Lage des Strahlengangs nicht sehr hoch waren (z.B. Lasershows). Durch weiterentwickelte optische Positionsdetektoren erreichte man die geforderten Spezifikationen für die Winkelauflösung und die Drift, mit denen optische Positionsdetektoren auch für hohe Genauigkeit erfordernde Herstellungs- und Bearbeitungsverfahren mit Laserlicht in Frage kommen.
  • In dem US-Patent 5,844,673 ist ein Positionsdetektor offenbart, der die Winkelposition eines drehbaren Elements bestimmt, wobei der Positionsdetektor aufweist: eine einzelne Lichtquelle, die ein einheitliches Weitwinkel-Lichtfeld in eine Richtung entlang der Längsachse des drehbaren Elements richtet, mehrere sektorförmige Lichtdetektoren, die umfangsförmig um das drehbare Element ausgerichtet sind, um das Licht direkt von der Quelle zu empfangen und ein mit dem drehbaren Element verbundenes Lichtschild, welches sich mit dem drehbaren Element um die Längsachse dreht, um Teile des Lichts periodisch abzuschirmen, welches von der Lichtquelle auf die Lichtdetektoren trifft. Der Raum zwischen der Lichtquelle und den Detektoren ist im Wesentlichen frei von irgendeinem Objekt, außer dem Lichtschild, so dass das Licht von der Lichtquelle zumindest auf jene Abschnitte der Detektoren direkt auftreffen kann, die vom Lichtschild nicht verdeckt sind. D.h. das Licht trifft ohne irgendein anderes Objekt zu passieren direkt auf die Detektoren. Eine lineare Ausgangsgröße von jedem der Paare von verbundenen Detektoren wird verwendet, um eine zuverlässige Messung der Winkelposition des drehbaren Elements zu erreichen.
  • EP-A-0 140 574 offenbart einen optischen Sensor, bei welchem ein Reflektor mit unterschiedlichen Beschichtungen bereitgestellt ist; die Position des Verschlusses wird aus dem unterschiedlichen Verhältnis von unterschiedlichen Beschichtungen hergeleitet, die nicht von dem Verschluss bedeckt sind.
  • GB-A-2 005 407 und US-A-3 983 391 offenbaren beide optische Codiereinrichtungen, bei welchen die Position von einem rotierenden Teil mittels eines inkrementalen Codes erzielt wird, der an dem rotierenden Teil bereitgestellt ist.
  • Durch die Erfindung wird ein Positionsdetektor für eine Scanvorrichtung geschaffen, mit welchem ein kompakterer Aufbau bei gleichzeitig höherer Genauigkeit bezüglich der Positionserfassung erzielbar ist. Durch die Erfindung wird ferner eine Scanvorrichtung mit einem wie oben beschriebenen Positionsdetektor geschaffen.
  • Der erfindungsgemäße Positionsdetektor für eine Scanvorrichtung weist ein bewegbares Lichtschild und wenigstens zwei Lichtdetektoren auf, die hinter dem Lichtschild angeordnet sind und die von dem Lichtschild bei dessen Bewegung mit unterschiedlichen Überdeckungsmaßen abdeckbar sind. Aus diesen unterschiedlichen Überdeckungsmaßen wird die Position des Lichtschilds bestimmt. Der erfindungsgemäße Positionsdetektor weist ferner wenigstens eine Lichtquelle zum Emittieren von Licht auf die Lichtdetektoren auf. Die Lichtquelle ist derart angeordnet, dass das von ihr emittierte Licht auf einen vor dem Lichtschild angeordneten Reflektor emittiert wird, welcher seinerseits derart angeordnet ist, dass das auf ihn treffende Licht auf die Lichtdetektoren reflektiert wird.
  • Durch das Vorsehen des Reflektors kann die Lichtquelle näher an den Lichtdetektoren angeordnet werden, wodurch Leitungen, wie Signal- oder Stromzuführungsleitungen, ohne große Umwege direkt sowohl an die Lichtdetektoren als auch an die Lichtquelle herangeführt werden können. Der vor den Lichtdetektoren angeordnete Reflektor kann mit geringer Bautiefe ausgeführt werden, so dass sich die Abmessungen des Positionsdetektors nach vorne hin nicht wesentlich vergrößern. Damit wird insgesamt eine kompaktere Bauweise des Positionsdetektors ermöglicht.
  • Um eine kleinst-mögliche Baugröße des Positionsdetektors zu erzielen, ist der Reflektor bevorzugt in Form einer auf ein dünnes Substrat aufgebrachten Beschichtung ausgebildet. Das Substrat ist vorteilhafterweise eine Abdeckkappe, von welcher der Positionsdetektor gleichzeitig auch gegen Verunreinigungen wie Staub und Wasser abgedichtet ist. Die Beschichtung kann z.B. in Form eines Farbanstrichs oder einer Folie realisiert werden. Bevorzugt wird die reflektierende Beschichtung von einem reflektierenden Lack gebildet.
  • Die Detektion einer Position erfolgt mit dem erfindungsgemäßen Positionsdetektor dadurch, dass die Ausgangssignale der unterschiedlich überdeckten Lichtdetektoren unter Bildung eines zu der Position des Lichtschild linearen Messsignals miteinander verglichen, z.B. voneinander subtrahiert werden.
  • Die Lichtquelle kann z.B. an einer Stelle zwischen dem Reflektor und den Lichtdetektoren angeordnet sein und ihr Licht z.B. schräg auf den Reflektor emittieren. Bevorzugt ist sie jedoch seitlich der Lichtdetektoren zu diesen benachbart angeordnet.
  • Indem die Lichtquelle damit unmittelbar neben den Lichtdetektoren angeordnet ist, wird eine besonders kompakte Bauform mit äußerst kurzen Wegen für die elektrischen Leitungen zu der Lichtquelle und zu den Lichtdetektoren erzielt.
  • Obwohl als Reflektor auch Spiegel verwendet werden können, von denen das von der Lichtquelle emittierte Licht nahezu symmetrisch zur Reflektornormalen reflektiert wird, ist als Reflektor bevorzugt ein diffuser Reflektor vorgesehen, welcher diffuse Reflektor insbesondere durch einen diffus reflektierenden Lack gebildet wird, aber auch durch eine sonstige auf ein Substrat aufgebrachte, reflektierende Beschichtung gebildet sein kann.
  • Durch die Verwendung eines solchen Reflektors wird auf einfache Weise eine besonders gleichmäßige (homogene) Verteilung der Strahlungsintensität des reflektierten Lichts über die aktive, d.h. nicht vom Lichtschild verdeckte Detektorfläche erzielt. Ferner werden durch einen solchen diffusen Reflektor die Anforderungen an die Qualität der Lichtquelle deutlich reduziert. Zu dieser Qualität zählt die Homogenität der Lichtintensität, die in den Raumwinkel emittiert wird, der unter Berücksichtigung der Lichtreflexion durch den Reflektor von der räumlichen Position der Lichtquelle und der aktiven Detektorfläche aufgespannt wird. Durch die Homogenität der auf die aktive Detektorfläche auftreffenden Lichtintensität ergibt sich für das Ausgangssignal ein hoher Grad an Linearität zwischen der zu erfassenden Winkelposition und dem zugehörigen Messsignal. Ferner wird durch die verbesserte Homogenität der Lichtintensität erreicht, dass der erfindungsgemäße Positionsdetektor sehr unempfindlich gegenüber Aufbau- oder Montagetoleranzen zwischen der Lichtquelle und dem Reflektor sowie zwischen dem Reflektor und dem/den Detektor/en ist. Zudem wird auch eine geringere Empfindlichkeit des erfindungsgemäßen Positionsdetektors gegenüber thermischen Einflüssen erreicht.
  • Für den Reflektor ist eine Reflexionsgeometrie bevorzugt, bei der alle optischen Komponenten (Lichtquellen, Detektoren) in einer Ebene angeordnet sind. Dies ermöglicht die vorteilhafte Anordnung dieser optischen Komponenten auf einer gemeinsamen Leiterplatine, wodurch Aufbau, Montage und damit die Herstellung des Positionsdetektors weiter vereinfacht werden.
  • Vorteilhafterweise sind wenigstens zwei Lichtquellen vorgesehen, mittels denen eine noch homogenere Lichtintensität erzielt wird, wobei die Lichtquellen insbesondere symmetrisch zu den Symmetrieachsen der Lichtdetektoranordnung positioniert sind.
  • Obwohl das Lichtschild beispielsweise auch translatorisch über die Lichtdetektoren bewegbar sein kann, ist das Lichtschild bevorzugt drehbar angeordnet, wobei die Lichtdetektoren die Form eines Kreisringabschnitts aufweisen.
  • Die drehbare Anordnung des Lichtschilds kann konstruktiv auf einfache Weise mittels einer Welle erzielt werden, was gegenüber einer translatorischen Bewegung des Lichtschilds einfacher und präziser verwirklichbar ist. Durch die Kreisringabschnittsform der Lichtdetektoren ist ein bezüglich der Winkelposition des Lichtschilds lineares Messsignal erzielbar. Die Kreisringabschnittsform des jeweiligen Lichtdetektors kann z.B. durch die Verwendung eines kreisringabschnittsförmigen, lichtempfindlichen Elements als Lichtdetektor erzielt werden. Bevorzugt weist der Lichtdetektor jedoch irgendein lichtempfindliches Element, z.B. eine herkömmliche kreisförmige oder rechteckige Photodiode, auf, das mit einer Maske versehen ist, die eine kreisringabschnittsförmige Ausnehmung aufweist. Hierdurch wird auf besonders kostengünstige Weise ein kreisringabschnittsförmiger Lichtdetektor erzielt. Bevorzugt weist der jeweilige Lichtdetektor ein lichtempfindliches Element auf, wobei zumindest für eine Mehrzahl der Lichtdetektoren eine gemeinsame Maske vorgesehen ist, die mit einer entsprechenden Anzahl von kreisringabschnittsförmigen Ausnehmungen versehen ist, wodurch die Kreisringabschnittsform des zugehörigen Lichtdetektors ausgebildet ist. Besonders bevorzugt ist nur eine einzige Maske vorgesehen, in der eine Anzahl von kreisringabschnittsförmigen Ausnehmungen ausgebildet ist, die der Anzahl der Lichtdetektoren entspricht. Hierdurch sind die Detektorflächen noch genauer zueinander ausgerichtet.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind wenigstens vier Lichtdetektoren vorgesehen, welche derart um die Drehachse des drehbar angeordneten Lichtschilds angeordnet sind, dass jeweils zwei einander diametral gegenüberliegende Detektoren im Wesentlichen die gleiche Überdeckung von dem Lichtschild erfahren. Mit einer solchen Lichtdetektoranordnung können unerwünschte radiale Lageänderungen des Lichtschilds auf einfache Weise erfasst und kompensiert werden, da die einander diametral zur Drehachse des Lichtschilds gegenüberliegenden Lichtdetektoren gleiche betragsmäßige Änderungen bezüglich der überdeckten Flächen erfahren. Im Fall, dass mehr als vier Lichtdetektoren vorgesehen sind, entspricht deren Anzahl ebenfalls einer geraden Zahl. Mit mehr als vier Lichtdetektoren, also z.B. sechs oder acht Lichtdetektoren, wird eine höhere Signalausbeute erzielt, so dass die Detektorsignale nur geringfügig verstärkt werden müssen, wodurch eine schnellere Signalverarbeitung und damit ein schneller arbeitender Detektor realisiert werden kann.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung sind jeweils zwei benachbarte Lichtdetektoren als Spaltdiode ausgebildet, so dass die gesamte Lichtdetektoranordnung preiswert und platzsparend realisiert werden kann.
  • Um ein Messsignal zu erzielen, welches gegenüber radialen Lageänderungen des Lichtschilds unempfindlich ist, die z.B. durch thermische Einflüsse oder Montagetoleranzen gegeben sein können, ist bevorzugt eine an die Lichtdetektoren angeschlossenen Steuervorrichtung vorgesehen, die folgendermaßen aufgebaut ist: Die von den jeweils überdeckungsgleichen Lichtdetektoren ausgegebenen Signale werden addiert, und dann wird aus diesen beiden Summensignalen die Differenz gebildet. Das Differenzsignal ist dann ein zur Position des Lichtschildes proportionales Ausgangssignal.
  • Gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist eine Regelungseinheit vorgesehen, welche derart ausgebildet ist, dass die von den Lichtdetektoren ausgegebenen Signale unter Bildung eines Gesamtadditionssignals addiert werden und dass die Strahlungsintensität der Lichtquelle(n) gemäß dem Gesamtadditionssignal geregelt wird. Mit dieser Regelungseinheit können z.B. durch Alterung oder thermische Einflüsse bedingte Veränderungen der von der (den) Lichtquelle(n) emittierten Strahlungsintensität ausgeglichen werden.
  • Der Positionsdetektor kann z.B. zum Messen von irgendeiner Drehbewegung oder auch translatorischen Bewegung eingesetzt werden. Mit Hilfe einer entsprechenden elektronischen Schaltung können auch Winkelfrequenzen gemessen werden und daher kann der erfindungsgemäße Positionsdetektor als Drehzahlmesser verwendet werden.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist eine Scanvorrichtung mit dem erfindungsgemäßen Positionsdetektor vorgesehen. Hierbei kann z.B. mit dem Lichtschild ein Spiegel gekoppelt sein, auf den ein Laserstrahl gerichtet ist und durch dessen Bewegung, insbesondere Drehung, der Laserstrahl abgelenkt wird. Der Spiegel ist hierbei derart mit dem Lichtschild gekoppelt, dass seine Bewegung zu einer dazu proportionalen, insbesondere entsprechenden (gleiche Bewegungsform), Bewegung des Lichtschild führt, so dass die Position des Spiegels mittels des daran gekoppelten Positionsdetektors detektiert werden kann. Die Scanvorrichtung kann zum Beispiel zum Beschriften von Teilen eingesetzt werden, wobei der Laserstrahl durch gesteuertes Bewegen des Spiegels geleitet wird und ein vorgegebenes Schriftbild in das zu beschriftende Teil einbrennt. Die Scanvorrichtung kann auch in der Medizintechnik verwendet werden, z.B. zum Entfernen von Hautirritationen, wie Falten und Tätowierungen, welche mittels des exakt geführten Laserstrahls beseitigt werden.
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels mit Bezugnahme auf die Zeichnung erläutert. In der Zeichnung zeigen:
  • 1 einen Längsschnitt einer Scanvorrichtung mit einem Positionsdetektor gemäß einer Ausführungsform der Erfindung und
  • 2 eine Vorderansicht der Scanvorrichtung nach 1 bei abgenommener vorderer Abdeckung.
  • Wie aus 1 und 2 ersichtlich ist, weist eine erfindungsgemäße Scanvorrichtung 1 einen an ihrer vorderen Seite eingerichteten Positionsdetektor 2 auf. Der Positionsdetektor 2 ist als optischer Positionsdetektor ausgebildet. Der optische Positionsdetektor 2 weist zwei Lichtquellen 3, 4 auf, die hinter einem Lichtschild 5 angeordnet sind, welches seinerseits fest mit einer drehbar eingerichteten Welle 6 verbunden ist, die sich zwischen den beiden Lichtquellen 3, 4 nach hinten erstreckt. Somit wird das Lichtschild 5 mit der Drehung der Welle 6 mitgedreht. Die Lichtquellen 3, 4 sind symmetrisch zu der Längsachse der Welle 6 angeordnet. Bevorzugt wird als jeweilige Lichtquelle 3, 4 eine Leuchtdiode (LED) verwendet; es kommen jedoch auch andere Lampen in Frage.
  • Unmittelbar seitlich neben den Lichtquellen 3, 4 befindet sich in einer Ebene, die sich senkrecht zur Längsachse der Welle 6 erstreckt, eine Detektoranordnung, die vier Lichtdetektoren 18, 19, 20, 21 aufweist. Diese vier Lichtdetektoren 18, 19, 20, 21 sind symmetrisch zu der Welle 6 angeordnet, wobei jeweils zwei Lichtdetektoren 18, 21 bzw. 19, 20 einander diametral gegenüber angeordnet sind. Jeweils zwei zueinander benachbarte Lichtdetektoren 18, 19 bzw. 20, 21 werden von einer zugeordneten Spaltdiode 7 bzw. 8 gebildet, wobei auf einfache Weise der Aufbau einer kompakten Anordnung mit den vier Detektoren ermöglicht ist. Die Lichtdetektoren 18, 19, 20, 21, d.h. in diesem Falle die Spaltdioden 7, 8, und die Lichtquellen 3, 4 sind nebeneinander derart angeordnet, dass kein von den Lichtquellen 3, 4 emittiertes Licht auf direktem Wege auf die Lichtdetektoren 18, 19, 20, 21, d.h. auf deren lichtempfindlichen Seiten, treffen kann. Zusätzlich sind die Lichtdetektoren 18, 19, 20, 21 und die Lichtquellen 3, 4 in kompakter Weise auf einer gemeinsamen Leiterplatine 9 angeordnet.
  • Die Leiterplatine 9 weist Durchgangsöffnungen 39, 40 auf, in welche die beiden Lichtquellen 3, 4 eingesetzt sind, so dass sie das Licht von der Leiterplatine 9 aus nach vorne emittieren. Die Leiterplatine 9 weist eine zur Welle 6 konzentrisch ausgebildete Öffnung 41 auf, durch welche die Welle 6 in Vorwärts-Richtung hindurchgeführt ist.
  • In der Leiterplatine 9 sind ferner zwei diametral gegenüberliegende Befestigungslöcher 37, 38 ausgebildet, mittels denen die Leiterplatine 9 an einem Scannergehäuse 26, z.B. durch Schrauben, befestigt werden kann. Ein integraler Ansatz 42 der Leiterplatine erstreckt sich von den Lichtquellen 3, 4 seitlich nach außen. In diesem Ansatz 42 sind mehrere Durchgangslöcher 39 ausgebildet, die für Lötfahnen vorgesehen sind, die einen einfachen und sicheren elektrischen Anschluss der Scanvorrichtung 1 und des optischen Positionsdetektors 2 erlauben.
  • Unmittelbar vor den Spaltdioden 7, 8 und den Lichtquellen 3, 4 befindet sich eine Maske 10, die eine Reihe von Ausnehmungen aufweist. Durch eine erste kreisförmige Ausnehmung 11, die sich in der Mitte der Maske 10 befindet, erstreckt sich die Welle 6. Zwei andere, ebenfalls kreisförmige Ausnehmungen 21, 13 befinden sich in der Maske 10 unmittelbar vor den Lichtquellen 3, 4 und sind zu deren Lichtkegel im Wesentlichen konzentrisch angeordnet.
  • Die jeweilige Spaltdiode 7, 8 weist zwei durch einen Spalt voneinander getrennte lichtempfindliche Elemente 43, 44 bzw. 45, 46 rechteckiger Form auf. Es können auch andere Formen von Lichtelementen in Frage kommen, wie z.B. kreisförmige lichtempfindliche Elemente. Die Maske 10 weist vier Ausnehmungen 14, 15, 16, 17 auf, die unmittelbar vor den jeweiligen lichtempfindlichen Elementen 43, 44, 45 bzw. 46 angeordnet sind. Diese Ausnehmungen 14, 15, 16, 17 weisen jeweils eine Kreisringabschnittsform auf, wobei sich das Zentrum des zugehörigen Kreises in der Längsachse der Welle 6 befindet. Die lichtempfindlichen Elemente der Spaltdioden 7,8 bilden zusammen mit der vor ihnen liegenden Maske 10 und den Ausnehmungen darin 14, 15, 16, 17 kreisringabschnittsförmige, aktive Detektorflächen 18, 19, 20, 21, die symmetrisch um die Längsachse der Welle 6 angeordnet sind, wobei jeweils die beiden aktiven Flächen 18 und 21 sowie 19 und 20 einander diametral gegenüberliegend angeordnet sind.
  • Das mit der drehbar angeordneten Welle 6 verbundene Lichtschild 5 ist mit einer Schraube 22 an der Welle 6 befestigt. Hierzu ist die Schraube 22 zentral in die Stirnseite der Welle 6 eingeschraubt, so dass das als flache Platte ausgebildete Lichtschild 5 zwischen der Stirnseite der Welle 6 und dem Schraubenkopf eingeklemmt ist. Das Lichtschild 5 weist zwei einander bezüglich der Längsachse der Welle 6 gegenüberliegende Flügel 22, 23 auf. Die Flügel 22, 23 weisen bis auf den Bereich, der zur Befestigung des Lichtschilds 5 an der Welle 6 dient, eine Kreissektorform auf, wobei der Mittelpunkt des zugehörigen Kreises in der Drehachse der Welle 6 liegt.
  • Der Positionsdetektor 2 weist an seiner Vorderseite eine topfförmige Abdeckung 24 auf, auf deren inneren Bodenfläche ein Reflektor 25 angeordnet ist. Dieser Reflektor 25 weist eine solche Oberfläche auf, dass auf ihn treffendes Licht diffus reflektiert wird. Um eine möglichst geringe Baugröße des Positionsdetektors 2 zu erzielen, ist der Reflektor 25 bevorzugt in Form einer Beschichtung vorgesehen. Diese Beschichtung kann z.B. durch Verwenden eines diffus reflektierenden Lacks realisiert werden, welcher nicht nur an der inneren Bodenfläche, sondern auch – nach einer Ausführungsform der Erfindung – an der inneren Umfangsfläche der topfförmigen Abdeckung angebracht sein kann.
  • Die mit dem optischen Positionsdetektor 2 gekoppelte Scanvorrichtung 1 weist ferner ein zylinderförmiges, langgestrecktes Gehäuse 26 auf, welches sich ausgehend von dem vorne angeordneten Positionsdetektor 2 in seiner Längsrichtung nach hinten erstreckt. Das Gehäuse 26 weist an seiner Vorderseite einen nach außen vorstehenden Ringbund 47 auf, der an seinem vorderen Endabschnitt mit einer sich in seiner Umfangsrichtung erstreckenden Aussparung versehen ist. Die Abdeckung 24 liegt bündigen in der Aussparung, und kann daher umfangsseitig bündig an das Gehäuse 26 montiert werden, wobei die Abdeckung gegen eine von der Aussparung ausgebildete Anschlagschulter 48 anschlagen kann. Die Leiterplatine 9 erstreckt sich an die Stirnseite des Gehäuses 26 anliegend nach außen aus dem Gehäuse heraus, wobei in der Abdeckung eine entsprechende Aussparung 49 ausgebildet ist. Auf der zu dieser Durchgangstelle gegenüberliegenden Seite ist die Leiterplatine 9 ebenfalls an die Stirnseite des Gehäuses 26 angelegt, so dass sie insgesamt sicher von dem Gehäuse 26 abgestützt ist.
  • Im vorderen und im hinteren Endabschnitt des Gehäuses 26 ist jeweils eine Gleitlagerbuchse 27, 28 eingesetzt, welche die Welle 6 trägt. Anstelle der Gleitlager können zum Tragen der Welle 6 auch Wälzlager vorgesehen sein.
  • Die Welle 6 setzt sich aus drei getrennten Wellenabschnitten 29, 30 und 31 zusammen. Der mittlere Wellenabschnitt wird von einem zylindrischen langgestreckten Permanentmagneten 31 gebildet. Ein vorderer Wellenabschnitt 30 wird von der vorderen Gleitlagerbuchse 28 getragen und erstreckt sich nach vorne durch die Leiterplatine 9 hindurch, wobei an seinem freien vorderen Ende 50, wie oben beschrieben, das Lichtschild 5 befestigt ist. Der hintere Endabschnitt 51 des vorderen Wellenabschnitts 30 ist in Form einer Aufnahmebuchse 49 ausgebildet, in welcher der Permanentmagnet 31 drehfest getragen ist. Der hintere Wellenabschnitt 29 ist in der hinteren Gleitlagerbuchse 27 getragen und erstreckt sich durch die hintere Gleitlagerbuchse 27 hindurch. Ein Endabschnitt 52 des hinteren Wellenabschnitts 29 weist eine schlitzförmige Halte-Vorrichtung 36 auf, in der ein Spiegel (nicht dargestellt) befestigt werden kann. Der Spiegel ist derart in der schlitzförmigen Halte-Vorrichtung 36 befestigt, dass er die gleiche Drehbewegung wie die Welle 6 ausführt. Der Spiegel dient dazu, den Strahlengang von Laserlicht in vorgegebener Weise zu verändern.
  • Zwischen dem Lager 28 und dem Gehäuse 26 ist eine Federscheibe 32 angeordnet, so dass eine leichte Vorspannung erzeugt wird, die über Halteringe 33 und 34 auf die Welle 6 übertragen wird. Die Halteringe 33 und 34 fixieren die inneren Buchsen der Gleitlager 27 und 28 auf den Wellenabschnitten 29 und 30. Durch die Federscheibe 32 wirkt damit über das Gleitlager 28 auf die Welle 6 eine Kraft nach vorne, die das hintere Gleitlager 27 in den Lagersitz im Gehäuse 26 drückt.
  • Somit wird für einen präzisen Lauf der Welle 6 gesorgt und damit eine hohe Genauigkeit des Positionsdetektors 2 bezüglich der Positionserfassung erzielt.
  • Zwischen dem Gehäuse 26 und dem Permanentmagneten 31 sind Spulen 35 angeordnet, welche gemeinsam mit dem Permanentmagneten 31 einen Elektromotor bilden. Mittels des Elektromotors wird die Welle 6 in Drehung versetzt.
  • Zum Scannen einer Fläche mittels zwei hintereinander geschalteten Scanvorrichtungen 1 kann der Elektromotor z.B. reversierend periodische oder jegliche Art gesteuerter Drehbewegungen ausführen, so dass der an der Halte-Vorrichtung 36 befestigte Spiegel (nicht dargestellt) einen Laserstrahl auf einen korrespondierenden Punkt einer maßgeblichen Fläche lenkt. Um die Drehwinkel der Welle 6 zu begrenzen, sind an den Seiten des Wellenabschnitts 30 der Welle 6 vier Stopper 53, bevorzugt Gummistopper, angeordnet. In den Wellenabschnitt 30 ist eine Gewindestange 54 quer zur Wellenlängsrichtung sowie durch die Welle 6 durchgehend eingeschraubt. Bei überhöhtem Drehwinkel stößt somit die Gewindestange 54, welche einander entgegensetzte, von der Welle 6 abstehende Endabschnitte aufweist (nicht dargestellt), mit diesen Endabschnitten an die Stopper 53, wodurch ein Überdrehen der Welle 6 verhindert wird.
  • Im Folgenden wird die Positionserfassung mittels des optischen Positionsdetektors 2 erläutert. Von den Leuchtdioden 3, 4 wird Licht in Richtung des diffusen Reflektors 25 emittiert. Das Licht wird an dem diffusen Reflektor 25 reflektiert und trifft mit im Wesentlichen homogener Intensität auf die Anordnung aus den vier kreisringabschnittsförmigen aktiven Detektorflächen 18, 19, 20, 21. Abhängig von der Winkelposition der Welle 6 werden die einzelnen aktiven Detektorflächen 18, 19, 20, 21 durch das Lichtschild 5 zusätzlich abhängig von dem Grad der Überdeckung mehr oder weniger stark reduziert. Damit hängt die integrale Lichtintensität, die von dem Reflektor 25 reflektiert und auf die einzelnen aktiven Detektorflächen 18, 19, 20, 21 trifft, ebenfalls von der Winkelposition des Lichtschilds 5 ab. Wenn die optischen Elemente und der Lichtschild 5 symmetrisch justiert sind, werden jeweils zwei einander diametral gegenüberliegende Detektorflächen 18, 19, 20, 21 in gleichem Maße durch das Lichtschild 5 überdeckt. Die Detektoren werden in einem linearen Arbeitsbereich betrieben, d.h. das von einem Detektor jeweils erzeugte Ausgangssignal ist direkt proportional zu der auf die jeweilige Detektorfläche auftreffende integrale Lichtintensität. Damit ergibt sich eine lineare Abhängigkeit des elektrischen Ausgangssignals von der durch das Lichtschild 5 nicht überdeckten aktiven Detektorflächen 18, 19, 20 oder 21, welche wiederum eine lineare Abhängigkeit von der Winkelposition des an der Welle 6 befestigten Lichtschilds 5 aufweist.
  • Die Detektorausgangssignale werden derart elektronisch weiterverarbeitet, dass zunächst die Ausgangssignale von jeweils zwei diametral gegenüberliegende Detektoren 18 und 21 oder 19 und 20 addiert werden, wodurch zwei Summensignale erzeugt werden. Anschließend werden die beiden Summensignale voneinander subtrahiert. Das sich ergebende Differenzsignal ist ein direktes Maß für die aktuelle Winkelposition der Welle 6. Ferner werden die Ausgangssignale aller Detektoren 18, 19, 20, 21 addiert, so dass ein Gesamtsummensignal erzeugt wird. Dieses Gesamtsummensignal wird in einer sogenannten AGC-Schaltung (Automatic Gain Control Circuit) verwendet, um die von den Lichtquellen 3, 4 emittierte Lichtintensität zu regeln und auf diese Weise Drifts zu reduzieren.

Claims (17)

  1. Positionsdetektor (2) für eine Scanvorrichtung (1) mit einem bewegbaren Lichtschild (5), wenigstens zwei Lichtdetektoren (1821), die hinter dem Lichtschild (5) angeordnet sind und die von dem Lichtschild (5) bei dessen Bewegung mit unterschiedlichen Überdeckungsmaßen abdeckbar sind, aus welchen unterschiedlichen Überdeckungsmaßen die Position des Lichtschilds (5) bestimmbar ist, und wenigstens einer Lichtquelle (3-4) zum Emittieren von Licht auf die Lichtdetektoren (1821), wobei ein Reflektor (25) vorgesehen ist, der vor dem Lichtschild (5) angeordnet ist, wobei die Lichtquelle (3, 4) zum Emittieren von Licht derart angeordnet ist, dass das von ihr emittierte Licht auf den Reflektor (25) emittiert wird, und wobei der Reflektor (25) derart angeordnet ist, dass das auf ihn treffende Licht in Richtung auf die Lichtdetektoren (1821) reflektiert wird.
  2. Positionsdetektor (2) nach Anspruch 1, wobei die Lichtquelle seitlich der Lichtdetektoren zu diesen benachbart angeordnet ist.
  3. Positionsdetektor (2) nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Reflektor (25) ein diffuser Reflektor ist.
  4. Positionsdetektor (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Reflektor (25) einen reflektierenden, insbesondere einen diffus reflektierenden Lack aufweist.
  5. Positionsdetektor (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der Reflektor (25) in Form einer auf ein Substrat aufgebrachten Beschichtung vorgesehen ist.
  6. Positionsdetektor (2) nach Anspruch 5, wobei das Substrat eine Abdeckung (24) ist, von welcher der Positionsdetektor (2) nach vorne hin verschlossen und abgedichtet ist.
  7. Positionsdetektor (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei wenigstens zwei Lichtquellen (3, 4) vorgesehen sind.
  8. Positionsdetektor (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Lichtschild (5) drehbar angeordnet ist und wobei die Lichtdetektoren jeweils die Form eines Kreisringabschnitts aufweisen.
  9. Positionsdetektor (2) nach Anspruch 8, wobei wenigstens vier kreisringabschnittsförmige Lichtdetektoren (18, 19, 20, 21) vorgesehen sind, welche derart um die Drehachse des Lichtschilds (5) angeordnet sind, dass jeweils zwei diametral gegenüberliegende Detektoren (18, 21;19, 20) im Wesentlichen im gleichen Maß von dem Lichtschild (5) überdeckt werden.
  10. Positionsdetektor (2) nach Anspruch 8 oder 9, wobei der jeweilige Lichtdetektor (18, 19, 20, 21) ein lichtempfindliches Element (43, 44, 45, 46) aufweist, das mit einer Maske (10) versehen ist, die eine kreisringabschnittsförmige Ausnehmung (14, 15, 16, 17) aufweist, wodurch die korrespondierende Lichtdetektor (18, 19, 20, 21)-Gestalt eines Kreisringabschnitts ausgebildet wird.
  11. Positionsdetektor (2) nach Anspruch 8 oder 9, wobei der jeweilige Lichtdetektor (18, 19, 20, 21) ein lichtempfindliches Element (43, 44, 45, 46) aufweist und wobei zumindest für mehrere der Lichtdetektoren (18, 19, 20, 21) eine gemeinsame Maske (10) vorgesehen ist, wobei die Maske mit einer korrespondierenden Anzahl von kreisringabschnittsförmigen Ausnehmungen (14, 15, 16, 17) versehen ist, wodurch die korrespondierende Lichtdetektor (18, 19, 20, 21)-Gestalt eines Kreisringabschnitts ausgebildet wird.
  12. Positionsdetektor (2) nach Anspruch 9, wobei die Lichtdetektoren (18, 19, 20, 21) an eine Steuervorrichtung angeschlossen sind, welche derart ausgebildet ist, dass die Ausgangs-Signale der beiden Lichtdetektoren (18, 21; 19, 20), die jeweils das gleiche Überdeckungsmaß haben, unter Berechnen von zwei Additionssignalen addiert werden, und dass unter Bildung eines zu der Position des Lichtschilds (5) proportionalen, linearen Ausgangssignals die Differenz zwischen den beiden Additionssignalen gebildet wird.
  13. Positionsdetektor (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 12, wobei jeweils zwei benachbarte Lichtdetektoren (18, 19; 20, 21) als Spaltdiode (7; 8) ausgebildet sind.
  14. Positionsdetektor (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei eine Regelungseinheit vorgesehen ist, welche derart ausgebildet ist, dass die Ausgangs-Signale der Lichtdetektoren (18, 19, 20, 21) unter Bildung eines Gesamtadditionssignals addiert werden und dass die Strahlungsintensität der Lichtquelle(n) (3, 4) gemäß dem Gesamtadditionssignal geregelt wird.
  15. Positionsdetektor (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei die Lichtdetektoren (18, 19, 20, 21) und die Lichtquelle(n) (3, 4) im Wesentlichen in einer Ebene angeordnet sind.
  16. Positionsdetektor (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 15, wobei die Lichtdetektoren (18, 19, 20, 21) und die Lichtquelle(n) (3, 4) auf einer gemeinsamen Leiterplatine (9) angeordnet sind.
  17. Scanvorrichtung (1) mit einem Positionsdetektor (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 16.
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