DE4441182A1 - Lecktestverfahren und Vorrichtung zum Lecktesten - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und auf ein Verfahren zum Überprüfen der Integrität der Dichtheit eines Gegenstandes dadurch, daß man auf das Vorhandensein eines ausgetretenen Nachführströmungsmittels, wie bei­ spielsweise Helium oder Argon, testet, eines Strö­ mungsmittels, welches innerhalb des Artikels miteinge­ schlossen oder versiegelt war.

Leckteste werden zum Feststellen des Vorhandenseins eines Lecks in einem abgedichteten oder versiegelten Artikel verwendet. Ein solches Leck kann den Gegenstand für seinen beabsichtigten Gebrauch ineffektiv machen.

Bei einem bekannten Verfahren wird ein Artikel versiegelt oder abgeschlossen, und zwar mit einem sich innerhalb des Artikels befindenden Nachspürgas, wie beispielsweise He­ lium. Der Artikel wird sodann in einer Kammer angeordnet, die direkt mit einem Gasanalyseinstrument, beispielsweise einem Massenspektrometer, verbunden ist. Das Massenspek­ trometer ist in der Lage, das Vorhandensein des Nach­ spürgases festzustellen. Das Massenspektrometer weist eine Vakuumpumpe auf, die die Kammer, welche den Artikel umschließt, evakuiert. Wenn in dem Artikel ein Leck vor­ handen ist, so läuft das Nachspürgas durch das Leck in dem Artikel in das Massenspektrometer.

Das bekannte Verfahren macht es erforderlich, daß ein hohes Vakuum für die ordnungsgemäße Arbeitsweise des Massenspektrometers verfügbar ist. Während der Erzeugung des hohen Vakuums ist es möglich, daß der größte Teil oder das ganze Lecknachspürgas aus dem Artikel heraus in das Massenspektrometer gezogen wird und von dort weg­ fließt. Wenn das hohe Vakuum dann erreicht ist, kann eine nicht ausreichende Menge an ausgetretenem Nachspürgas zur Feststellung in das Massenspektrometer fließen. Auf diese Art und Weise kann es geschehen, daß das Massenspektro­ meter anzeigt, daß der Gegenstand sich in einem akzeptab­ len Zustand (kein gelecktes oder herausgetretenes Nach­ spürgas) befindet, obwohl der Gegenstand in der Tat nicht akzeptabel ist.

Zusammenfassung der Erfindung. Die vorliegende Erfindung sieht eine Vorrichtung vor, um die Abdichtintegrität eines Artikels zu überprüfen, wobei der Artikel ein Nachspürströmungsmittel, wie beispielsweise Helium oder Argon, eingeschlossen innerhalb des Artikels enthält. Die Vorrichtung weist eine Testkammer zur Aufnahme des Arti­ kels auf. Die Vorrichtung weist ferner eine Reservoir­ kammer auf, um ein Vakuum aufrechtzuerhalten und zur Aufnahme von Nachspürströmungsmittel, welches aus dem Artikel entweicht. Die Vorrichtung umfaßt ein Analysein­ strument zum Detektieren des Vorhandenseins des Nach­ spürströmungsmittels. Das Analyseinstrument umfaßt Mittel zum Erzeugen des Vakuums in der Reservoirkammer. Das Nachspürströmungsmittel ist vorzugsweise ein Gas und das Analyseinstrument ist vorzugsweise ein Gasanalyseinstru­ ment.

Die Vorrichtung weist ferner eine erste Leitung auf, die zwischen der Reservoirkammer und dem Analyseinstrument angeordnet bzw. gekuppelt ist. Ein erstes Ventil in der ersten Leitung besitzt eine Öffnungsposition, um zu ge­ statten, daß eine Strömungsmittelverbindung vorhanden ist zwischen der Reservoirkammer und dem Analyseinstrument und um zu ermöglichen, daß ein Vakuum in der Reservoir­ kammer erzeugt wird. Das erste Ventil besitzt eine Schließposition zum Blockieren der Strömungsmittelver­ bindung durch die erste Leitung zwischen der Reservoir­ kammer und dem Analyseinstrument, nachdem ein Vakuum in der Reservoirkammer erzeugt wurde.

Die Vorrichtung weist ferner eine zweite Leitung auf, und zwar gekuppelt zwischen der Testkammer und der Reser­ voirkammer. Ein zweites Ventil in der zweiten Leitung besitzt eine Schließposition, um die Strömungsmit­ telverbindung zwischen der Testkammer und der Reservoir­ kammer zu blockieren, um so eine Druckänderung in der Testkammer während der Erzeugung des Vakuums in der Re­ servoirkammer zu verhindern. Das zweite Ventil besitzt eine Öffnungsposition, um zu gestatten, daß das Vakuum aus der evakuierten Reservoirkammer angelegt wird an den Artikel in der Testkammer, um das Nachspürströmungsmittel aus dem Artikel herauszuziehen, und zwar durch irgend­ einen Leckpfad im Artikel.

Während der Anwendung der vorliegenden Erfindung ist der Testartikel keinem Vakuum ausgesetzt, bevor das Analyse­ instrument ein hinreichend hohes Betriebsvakuum erreicht hat. Darüber hinaus wird jedwede Leckage von Nachspür­ strömungsmittel eingeschlossen innerhalb der Testkammer und der Reservoirkammer, nachdem das Vakuum in der eva­ kuierten Reservoirkammer an den Artikel angelegt wurde. Kein durch Leck ausgetretenes Nachspürströmungsmittel wird zur Atmosphäre während der Schaffung des hohen Va­ kuums abgelassen, das für die Funktion des Analysein­ struments erforderlich ist.

Die vorliegende Erfindung sieht ferner ein Verfahren zur Überprüfung der Abdicht- oder Dichtungsintegrität eines Artikels vor, und zwar mit einem Nachspürströmungsmittel, wie beispielsweise Helium oder Argon, welches innerhalb des Artikels enthalten ist. Das Verfahren umfaßt die Ab­ dichtung des Artikels in einer ersten Kammer, um den Artikel zu isolieren oder zu trennen. Ein erforderliches hohes Betriebsvakuum wird in einem Analyseinstrument erzeugt. Ein Vakuum wird ebenfalls durch das Analysein­ strument in einer zweiten Kammer erzeugt, die gegenüber der ersten Kammer derart abgedichtet ist, daß der Artikel während der Schaffung des Vakuums in der zweiten Kammer nicht einer Druckänderung ausgesetzt ist. Die zweite Kammer ist gegenüber dem Analyseinstrument abgesiegelt, um das Vakuum in der zweiten Kammer zu halten, und um das Vakuum innerhalb der zweiten Kammer zu isolieren oder zu trennen.

Daraufhin dann wird die Strömungsmittelverbindung zwi­ schen den ersten und zweiten Kammern hergestellt und das Vakuum in der zweiten Kammer wird an den Artikel in der ersten Kammer angelegt, um das Nachspürströmungsmittel aus dem Artikel herauszuziehen, und zwar durch irgend­ einen im Artikel vorhandenen Leckpfad. Ein Strömungs­ mittelfluß irgendeines aus dem Artikel herausgezogenen Nachspürströmungsmittels wird zu dem Analyseinstrument vorgesehen. Der Strömungsmittelfluß wird durch das Ana­ lyseinstrument analysiert, um das Vorhandensein des Nachspürströmungsmittels zu bestimmen. Auf diese Weise ist der Artikel keinem Vakuum ausgesetzt, bevor das Ana­ lyseinstrument ein erforderliches hohes Betriebsvakuum erreicht und jedwedes durch Leck ausgetretenes Nachspür­ strömungsmittel wird nicht vorzeitig zur Atmosphäre ab­ gelassen.

Weitere Vorteile, Ziele und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbei­ spielen sowie in der Beschreibung der Fig. 1, die eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Vor­ richtung zeigt.

Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels. Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Überprüfen der Abdichtintegrität eines Gegenstandes oder Artikels, und zwar durch Testen auf das Vorhandensein von ausgetretenem Nachspürströ­ mungsmittel, wie beispielsweise Helium oder Argongas, welches innerhalb des Artikels mit eingeschlossen oder mit abgeichtet war. Repräsentativ für die vorliegende Erfindung zeigt Fig. 1 eine Leckdetektorvorrichtung 10 zum Testen auf das Vorhandensein eines ausgetretenen Nachspürgases aus einem Testartikel 12, wobei der Test­ artikel 12 das Nachspürgas abgedichtet innerhalb des Ar­ tikels enthält. Die Leckdetektionsvorrichtung 10 umfaßt einen Testbehälter 16, einen Reservoirbehälter 18 und ein Gasanalyseinstrument 20.

Der Testbehälter 16 definiert eine Testkammer 24 zur Aufnahme des Artikels 12. Die Testkammer 24 sollte nur gerade groß genug sein, um ein Minimum an freiem Volumen vorzusehen, nachdem der Artikel 12 in der Testkammer 24 angeordnet ist. Die Innenoberfläche des Testbehälters 16 ist aus einem hochpolierten, nicht porösem Material auf­ gebaut, so daß die Innenoberfläche keine Feuchtigkeit und/oder Verunreinigungen enthält, die den Vakuumzustand der Testkammer 24 stören könnten. Der Testbehälter 16 ist vorzugsweise aus einer rostfreien Stahllegierung, einer Aluminiumlegierung, Glas, Messing oder dergleichen auf­ gebaut.

Der Testbehälter 16 besitzt ein Testkammervakuum-Meßgerät 28, welches mit dem Testbehälter 16 verbunden ist. Das Vakuummeßgerät 28 zeigt den Druck in der Testkammer 24 an. Eine geeignetes Vakuummeßgerät 28 ist ein Thermoele­ mentvakuum-Meßgerät, welches von der Firma Fisher Scientific Co., erhältlich ist. Andere geeignete Vakuum­ meßgeräte sind die folgenden: ein 536-Thermoelement-Meß­ gerät der Firma Varian Associates Inc; ein Kapazitäts­ membran-Meßgerät der Firma Varian Associates Inc.; ein allgemeiner Wandler CMLA; CMLB und CMLR der Firma Varian Associates Inc.; oder ein hochempfindlicher Wandler CMOX der Firma Varian Associates Inc.

Der Testbehälter 16 besitzt ein Abström- oder bleed- Ventil 32, welches mit dem Testbehälter 16 verbunden ist. Das Abströmventil 32 besitzt eine Öffnungsposition und eine Schließposition. Wenn das Abströmventil 32 sich in der Öffnungsposition befindet, so steht die Testkammer 24 in Strömungsmittelverbindung mit der äußeren Atmosphäre und der Druck in der Testkammer 24 kann eingestellt wer­ den. Wenn sich das Abströmventil 32 in der Schließposi­ tion befindet, so ist die Strömungsmittelverbindung zwi­ schen der Testkammer 24 und der äußeren Atmosphäre ver­ hindert. Ein geeignetes Abströmventil 32 ist das TEFLON- Kapillarventil Nr. L-03235-00, L-03237-33 oder L-032327- 23 der Firma Cole Parmer Co.

Der Reservoirbehälter 18 definiert eine Reservoirkammer 44. Die Reservoirkammer 44 besitzt vorzugsweise ein Vo­ lumen, das ungefähr 100-mal größer ist als das freie Vo­ lumen, welches innerhalb der Testkammer 24 dann ver­ bleibt, wenn der Testartikel 12 in der Testkammer 24 angeordnet ist. Die Innenoberfläche des Reservoirbe­ hälters 18 ist aus einem hochpolierten, nicht porösen Material aufgebaut, so daß die Innenoberfläche keine Feuchtigkeit und/oder Verunreinigungen enthält, die einen Vakuumzustand in der Reservoirkammer 44 stören könnten. Der Reservoirbehälter 18 ist aus einer rostfreien Stahl­ legierung, einer Aluminiumlegierung, Glas, Messing oder dergleichen aufgebaut.

Der Reservoirbehälter 18 besitzt ein Reservoirkammer­ vakuum-Meßgerät 68, welches mit dem Reservoirbehälter 18 verbunden ist. Das Vakuummeßgerät 68 zeigt den Druck in der Reservoirkammer 44 an. Das Vakuummeßgerät 68 kann von der gleichen Bauart sein wie das Testkammervakuum-Meßge­ rät 28.

Das Gasanalyseinstrument 20 weist eine (nicht gezeigte) Vakuumvorrichtung auf, wie beispielsweise eine mechani­ sche Pumpe oder eine Diffusionspumpe, die einen Gasströ­ mungspfad vorsehen durch das Gasanalyseinstrument 20. Die Vakuumvorrichtung des Gasanalyseinstruments 20 besitzt eine Kapazität zur Erzeugung eines Hochvakuums im Bereich von 5 Millitorr bis 500 Millitorr. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist das Gasanalyseinstrument 20 ein Massenspektrometer, obwohl das Gasanalyseinstrument auch ein Infrarotspektrophotometer oder ein Ionenchromatograph sein könnte. Ein geeignetes Massenspektrometer ist das folgende: VEECO MS 32T der Firma Veeco Instruments Inc.

Das Gasanalyseinstrument 20 kann derart abgestimmt wer­ den, daß es zum Detektieren von praktisch jedem Gas die­ nen kann. Typischerweise wird jedoch im Testartikel 12 Helium mit eingeschlossen und abgedichtet. Helium wird deshalb als Nachspürgas verwendet, weil es eine kleine Molekulargröße besitzt, ein geringes Gewicht hat und eine inertes Element ist. Helium ist außerordentlich hochdiffusibel, nicht giftig und in der Atmosphäre nur in Spurenmengen vorhanden.

Die Leckdetektorvorrichtung 10 weist auch eine Testkam­ merleitung 38 und eine Reservoirkammerleitung 58 auf. Der Testbehälter 16 ist mit dem Reservoirbehälter 18 durch die Testkammerleitung 38 gekuppelt oder gekoppelt. Die Testkammerleitung 38 verbindet die Testkammer 24 mit der Reservoirkammer 44. Die Testkammerleitung 38 ist vor­ zugsweise aus Rohrmaterial aufgebaut, welches aus einer rostfreien Stahllegierung, aus Aluminium oder dergleichen besteht.

Ein Testkammerventil 48 ist in der Testkammerleitung 38 angeordnet. Das Testkammerventil 48 steuert den Strö­ mungsmittelfluß durch die Testkammerleitung 38. Das Testkammerventil 48 besitzt eine Öffnungsposition und eine Schließposition. Wenn das Testkammerventil 48 sich in der Öffnungsposition befindet, so steht die Testkammer 24 in Strömungsmittelverbindung mit der Reservoirkammer 44, und zwar über die Testkammerleitung 38. Wenn das Testkammerventil 48 sich in der Schließposition befindet, so wird die Strömungsmittelverbindung zwischen der Test­ kammer 24 und der Reservoirkammer 44 durch die Testkam­ merleitung 38 verhindert. Das Testkammerventil 48 ist in der Lage, einen Vakuumdruck von ungefähr 10^-11 Torr ab­ zudichten und besitzt eine Leckrate mit einer Empfind­ lichkeit von ungefähr 10^-12 cc/sec. Ein geeignetes Test­ kammerventil 48 ist das folgende: Variable Leak Valve, erhältlich von der Firma Varian Associates, Inc., oder ein Aluminiumblockventil Modell Nr. NW16 1243-L6281-301, erhältlich von der Firma Varian Associates, Inc.

Eine Steuervorrichtung 50 ist mit dem Testkammerventil 48 verbunden und steuert das Testkammerventil 48. Die Steu­ ervorrichtung 50 bewegt das Testkammerventil 48 zwischen seinen Öffnungs- und Schließpositionen. Die Steuervor­ richtung 50 kann derart eingestellt werden, daß sie das Testkammerventil 48 in die Schließposition dann bewegt, wenn ein vorbestimmter Druck in der Testkammer 24 er­ reicht ist oder nachdem eine vorbestimmte Evakuie­ rungszeit für die Testkammer 24 vergangen ist. Eine ge­ eignete Steuervorrichtung 50 ist ein Varian Multi-Gauge­ Meßgerät der Firma Varian Associates, Inc.

Der Reservoirbehälter 18 ist mit dem Gasanalyseinstrument 20 durch die Reservoirkammerleitung 58 verbunden. Die Reservoirkammerleitung 58 verbindet die Reservoirkammer 44 mit dem Gasanalyseinstrument 20. Die Reservoirkammer­ leitung 58 ist vorzugsweise aus Rohr aufgebaut, welches aus einer rostfreien Stahllegierung, einer Aluminiumlegie­ rung oder dergleichen besteht.

Ein Reservoirventil 64 ist in der Reservoirkammerleitung 58 angeordnet. Das Reservoirventil 64 steuert den Strö­ mungsmittelfluß durch die Reservoirkammerleitung 58. Das Reservoirventil 64 besitzt eine Öffnungsposition und eine Schließposition. Wenn das Reservoirventil 64 sich in der Öffnungsposition befindet, so ist die Strömungsmittel­ verbindung vorgesehen zwischen der Reservoirkammer 44 und dem Gasanalyseinstrument 20 durch die Reservoirkammer­ leitung 58. Wenn sich das Reservoirventil 64 in der Schließposition befindet, so ist die Strömungsmittelver­ bindung verhindert zwischen der Reservoirkammer 44 und dem Gasanalyseinstrument 20 durch die Reservoirkammer­ leitung 58.

Das Reservoirventil 64 ist in der Lage, einen Vakuumdruck von ungefähr 10^-11 Torr abzudichten oder abzusiegeln, und besitzt eine Leckrate mit einer Empfindlichkeit von un­ gefähr 10^-12 cc/sec. Ein geeignetes Reservoirventil 64 ist ein variables Leckventil der Firma Varian Associates Inc. oder ein Aluminiumblockventil Modell Nr. NW16 124 3- L6281-301 der Firma Varian Assoziates Inc.

Eine Steuervorrichtung 65 ist mit dem Reservoirventil 64 verbunden, um das Reservoirventil 64 zwischen seinen Öffnungs- und Schließpositionen zu bewegen. Die Steuer­ vorrichtung 65 kann eingestellt sein, um das Reservoir­ ventil 64 in seine Schließposition dann zu bewegen, wenn ein vorbestimmter Druck in der Reservoirkammer 44 er­ reicht ist oder nachdem eine vorbestimmte Evakuierzeit für die Reservoirkammer 44 vergangen ist. Eine geeignete Steuervorrichtung 65 ist die folgende: Varian Multi-Gauge der Firma Varian Associates, Inc.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel weist die Leck­ detektiervorrichtung 10 auch eine Reservoir einschrän­ kende Leitung 72 und eine Testkammer einschränkende Leitung 82 auf. Die Reservoir einschränkende Leitung 72 erstreckt sich zwischen dem Reservoirbehälter 18 und einem Endteil 74 der Reservoirkammerleitung 58. Der End­ teil 74 ist stromabwärts gegenüber dem Reservoirventil 64 angeordnet, und zwar zum Gasanalyseinstrument 20 hin. Die Reservoir einschränkende Leitung 72 kann die Reservoir­ kammer 44 in Strömungsmittelverbindung mit dem Gasanaly­ seinstrument 20 anordnen. Die Reservoireinschränkleitung 72 besitzt eine kleine Querschnittsströmungsflächengröße, um einen Widerstand vorzusehen gegenüber einem Gasfluß durch die Reservoreinschränkleitung 72. Die Kapazität der Vakuumvorrichtung des Gasanalyseinstruments 20 ist hin­ reichend hoch, um einen Vakuumdruck in dem Gasanalyse­ instrument 20 unterhalb 200 Millitorr aufrechtzuerhalten, während Gas durch die Reservoireinschränkleitung 72 wäh­ rend eines Testvorgangs fließt. Die Gasströmungsflußrate in der Reservoireinschränkleitung 72, hervorgerufen durch die Vakuumvorrichtung ist im allgemeinen ungefähr minde­ stens 45 cc/min. Somit wird die Strömungsflächengröße der Reservoireinschränkleitung 72 im Hinblick auf die Kapa­ zität der Vakuumvorrichtung derart gewählt, daß die Fä­ higkeit der Reservoireinschränkleitung 72 zum Vorsehen einer Gasströmung zu dem Gasanalyseinstrument 20 ausge­ glichen ist gegenüber der Fähigkeit der Vakuumvor­ richtung, das Gasanalyseinstrument zu evakuieren. Die Reservoireinschränkleitung 72 ist typischerweise ein Rohr, beispielsweise ein rostfreies Kapillarrohr.

Ein Reservoirkapillarventil 78 ist in der Reservoirein­ schränkleitung 72 angeordnet. Das Reservoirkapillarventil 78 besitzt eine Öffnungsposition und eine Schließpo­ sition. Wenn sich das Reservoirkapillarventil 78 in der Öffnungsposition befindet, so wird die Strömungsmittel­ verbindung zwischen der Reservoirkammer 44 und dem Gas­ analyseinstrument 20 durch die Reservoireinschränkleitung 72 gestattet. Wenn sich das Reservoirkapillarventil 78 in einer Öffnungsposition befindet, so tritt der Strömungs­ mittelfluß zwischen der Reservoirkammer 44 und dem Gas­ analyseinstrument 20 ohne einen signifikanten Druckan­ stieg in dem Gasanalyseinstrument 20 auf, und zwar in­ folge relativ kleiner auftretender Strömungsflußmenge. Wenn sich das Reservoirkapillarventil 78 in der Schließ­ position befindet, so wird die Strömungsmittelverbindung zwischen der Reservoirkammer 44 und dem Gasanalysein­ strument 20 durch die Reservoireinschränkleitung 72 ver­ hindert. Ein geeigneteres Reservoirkapillarventil 78 ist ein Mikrometerventil, wie beispielsweise ein Teflon-Ka­ pillarventil, Modell Nr. L-03237-33 oder L-032237-23 der Firma Cole Parmer Co.

Eine Einstellvorrichtung 79 ist mit dem Reservoirkapil­ larventil 78 verbunden, und zwar zur Steuerung des Re­ servoirkapillarventils 78. Die Einstellvorrichtung 79 ist manuell gesteuert und betätigt das Kapillarventil 78 zwischen Öffnungs- und Schließpositionen.

Die Testkammereinschränkleitung 82 erstreckt sich zwi­ schen dem Testbehälter 16 und dem Endteil 74 der Reser­ voirkammerleitung 58, stromabwärts gegenüber dem Reser­ voirventil 64. Die Testkammereinschränkleitung 82 kann die Testkammer 24 in Strömungsmittelverbindung anordnen mit dem Gasanalyseinstrument 20. Die Testkammerein­ schränkleitung 82 besitzt eine kleine Querschnitts­ strömungsflächengröße, um einen Widerstand vorzusehen gegenüber einer Gasströmung durch die Testkammerein­ schränkleitung 82. Die Kapazität der Vakuumvorrichtung des Gasanalyseinstruments 20 ist hinreichend hoch, im einen Vakuumdruck in dem Gasanalyseinstrument 20 unter­ halb 200 Millitorr aufrechtzuerhalten, während Gas durch die Testkammereinschränkleitung 82 während eines Test­ vorgangs fließt. Die Gasströmungsmittelflußrate in der Testkammereinschränkleitung 82 hervorgerufen durch die Vakuumvorrichtung ist im allgemeinen ungefähr 45 cc/min. Die Strömungsflächengröße der Testkammerleitung 82 wird somit im Hinblick auf die Kapazität der Vakuumvorrichtung derart ausgewählt, daß die Fähigkeit der Testkammerein­ schränkleitung 82 zum Vorsehen einer Gasströmung zu dem Gasanalyseinstrument 20 im Gleichgewicht ist gegenüber der Fähigkeit der Vakuumvorrichtung, das Gasanalysein­ strument 20 zu evakuieren. Die Testkammereinschränk­ leitung 82 ist typischerweise eine Rohrleitung aus flexiblem Material, wie beispielsweise eine rostfreie Kapillarrohrleitung.

Ein Testkammerkapillarventil 88 ist entlang der Testkam­ mereinschränkleitung 82 angeordnet. Das Testkammerkapil­ larventil 88 besitzt eine Öffnungsposition und eine Schließposition. Wenn das Testkammerkapillarventil 88 sich in der Öffnungsposition befindet, so ist eine Strö­ mungsmittelverbindung gestattet zwischen der Testkammer 24 und dem Gasanalyseinstrument 20 durch die Testkammer­ einschränkleitung 82. Wenn sich das Testkammerkapil­ larventil 88 in der Öffnungsposition befindet, so erfolgt ein Strömungsmittelfluß zwischen der Testkammer 24 und dem Gasanalyseinstrument 20 ohne signifikanten Druckan­ stieg in dem Gasanalyseinstrument 20, und zwar infolge der relativ kleinen Größe des auftretenden Strömung­ smitteflusses. Wenn sich das Testkammerkapillarventil 88 in der Schließposition befindet, so wird die Strömungs­ mittelverbindung zwischen der Testkammer 24 und dem Gas­ analyseinstrument 20 durch die Testkammereinschränklei­ tung 82 verhindert. Ein geeignetes Testkammerkapillar­ ventil 88 ist ein Mikrometerventil, wie beispielsweise ein Teflon-Kapillarventil, L- 03235-00, L-03237-33 oder L-03237-23 der Firma Cole Parmer Co.

Eine Einstellungsvorrichtung 89 zum Steuern des Test­ kammerkapillarventils 88 ist mit dem Testkammerkapil­ larventil 82 verbunden. Die Einstellvorrichtung 89 ist manuell gesteuert und bestätigt das Kapillarventil 78 zwischen Öffnungs- und Schließpositionen.

Im Betrieb der Leckdetektorvorrichtung 10 wird der zu testende Artikel 12 in der Testkammer 24 des Testbehäl­ ters 16 angeordnet. Das Testkammerventil 48, das Reser­ voirkammerventil 64, das Reservoirkapillarventil 78, das Testkammerkapillarventil 88 und das Ablaßventil 32 werden in ihrer entsprechenden Schließposition gebracht. Auf diese Weise ist der Artikel 12 innerhalb der Testkammer 24 gegenüber äußeren Druckänderungen isoliert. Das Gas­ analyseinstrument 20 wird eingeschaltet und eingestellt zum Detektieren des bestimmten speziellen Nachspürgases, beispielsweise Helium, welches abgedichtet innerhalb des Artikels 12 vorhanden ist.

Das Reservoirventil 64 wird durch die Steuervorrichtung 65 geöffnet. Die Reservoirkammer 44 wird auf einen Va­ kuumdruck im Bereich von ungefähr 5 Millitorr bis 500 Millitorr durch die Vakuumvorrichtung des Gasanalysein­ struments 20 evakuiert. Das Reservoirventil 64 wird so­ dann durch die Steuervorrichtung 65 geschlossen. Auf diese Weise ist das innerhalb der Reservoirkammer 44 erzeugte Vakuum gegenüber äußerem Druckeinfluß isoliert. Die Evakuierungszeit für die Reservoirkammer 44 beträgt ungefähr 30 Sekunden bis 5 Minuten. Während die Kammer 44 evakuiert wird, wird ein geeignetes erforderliches Va­ kuum in dem Gasanalyseinstrument 20 geschaffen.

Das Testkammerventil 48 wird durch die Steuervorrichtung 50 geöffnet, um das isolierte oder getrennte Vakuum in der Reservoirkammer 44 an die Testkammer 24 anzulegen und um die Testkammer 24 zu evakuieren. Auf diese Weise wird das isolierte Vakuum an den Artikel 12 angelegt. Der Druck, der in der Testkammer 24 aufgebaut ist, liegt im Bereich von ungefähr 8 Torr bis 43 Torr. Wenn irgend­ welche Leckpfade in dem Artikel 12 vorhanden sind, so entweicht das tracer- oder Nachspürgas im Artikel 12 aus dem Artikel 12 in die Testkammer 24, da der Druck in der Testkammer 24 im wesentlichen niedriger wird als der Druck innerhalb des Artikels 12.

Während die Testkammer 24 durch das isolierte Vakuum evakuiert wird, existierte eine Druckdifferenz zwischen der Testkammer 24 und der Reservoirkammer 44. Diese Druckdifferenz bewirkt, daß einige gasförmige Inhalts­ stoffe einschließlich entweder Leckage des Nachspürgases, wie sie in der Testkammer 24 vorhanden sind, zu der Re­ servoirkammer 44 fließen. Wenn der Druck in der Testkam­ mer 24 auf einen Druck im Bereich von ungefähr 8 Torr bis 43 Torr abfällt, so wird das Testkammerventil 48 durch die Steuervorrichtung 50 geschlossen. Wenn das Testkam­ merventil 48 geschlossen ist, so wird die Testkammer 24 durch das isolierte Vakuum der Reservoirkammer 44 nicht weiter evakuiert.

Das Vorhandensein eines Nachspürgases in der Reservoir­ kammer 44 zeigt an, daß der Artikel 12 keine Dichtungs- oder Abdichtungsintegrität besitzt. Das Vorhandensein des Nachspürgases in der Reservoirkammer 44 kann dadurch bestimmt werden, daß man die gasförmigen Inhalte der Re­ servoirkammer einschließlich jedweden durch Leck ausge­ tretenen Nachspürgases zu dem Gasanalyseinstrument 20 leitet, und zwar über die Reservoirkammerleitung 58. Um dies zu erreichen, wird das Reservoirventil 64 die Re­ servoirkammerleitung 58 durch die Steuervorrichtung 65 geöffnet.

Die gasförmigen Inhaltsstoffe der Reservoirkammer 44 einschließlich jedweden vorhandenen durch Leck ausge­ tretenen Nachspürgases werden durch die Reservoirkammer­ leitung 58 zu dem Gasanalyseinstrument 20 transportiert, und zwar durch weitere Evakuierung hervorgerufen durch die (nicht gezeigte) Vakuumvorrichtung des Gasanalyse­ instruments 20. Das Gasanalyseinstrument 20 detektiert den Druck und nicht die Menge des, wenn vorhanden, Nachspürgases. Wenn eine bestimmte Nachspürgasmenge de­ tektiert wird, so fehlt es dem Artikel 12 an Abdicht­ integrität. Das Gasanalyseinstrument 20 sieht ein Aus­ gangssignal vor, welches proportional der Menge des Nachspürgases ist, welches von der Reservoirkammer 44 geliefert wurde.

Alternativ kann das Vorhandensein des Nachspürgases in der Reservoirkammer 44 bestimmt werden ohne exzessive Verringerung der eingefangenen gasförmigen Inhaltsstoffe der Reservoirkammer 44 durch Leitung der gasförmigen In­ haltsstoffe zu dem Gasanalyseinstrument 20 durch die Re­ servoireinschränkleitung 72. Um dies zu erreichen, wird das Reservoirkapillarventil 78 durch manuelle Betätigung der Einstellvorrichtung 79 geöffnet, um einen Strömungs­ mittelfluß zwischen der Reservoirkammer 44 und dem Gas­ analyseinstrument 20 durch die Reservoireinschränkleitung 72 herzustellen. Das Reservoirventil 64 wird in seiner geschlossenen Position gehalten. Ein Teil der gasförmigen Inhaltsstoffe der Reservoirkammer 44 einschließlich jeg­ lichen durch Leck ausgetretenen Nachspürgases fließt durch die Reservoireinschränkleitung 72 zu dem Gasana­ lyseinstrument 20. Die Detektion des Nachspürgases wird in dem Gasanalyseinstrument 20 ausgeführt.

Jede Menge an Nachspürgas in der Testkammer 24 außerhalb des Artikels 12 zeigt an, daß der Artikel 12 keine Ab­ dichtintegrität besitzt. Auf diese Weise kann das Vor­ handensein eines Lecks in dem Artikel 12 dadurch bestimmt werden, daß man die Gasgehalte in der Testkammer 24 außerhalb des Artikels 12 überprüft. Die Gasgehalte in der Testkammer 24 können an das Gasanalyseinstrument 20 durch die Testkammereinschränkleitung 82 übertragen werden. Um dies zu erreichen, wird das Testkammerkapillarventil 88 geöffnet, und zwar durch manuelle Betätigung der Ein­ stellvorrichtung 89 zum Vorsehen von Strömungsmittefluß zwischen der Testkammer 24 und dem Gasanalyseinstrument 20. Ein Teil der gasförmigen Inhaltsstoffe oder -gehalte in der Testkammer 24 einschließlich irgendwelchen vor­ handenen Nachspürgases werden durch die Testkammerein­ schränkleitung 82 an das Gasanalyseinstrument 20 über­ tragen. Das Gasanalyseinstrument 20 detektiert das Vor­ handensein irgendwelchen vorhandenen Nachspürgases.

In einer anderen Betriebsart kann die Leckdetektorvor­ richtung 10 dazu verwendet werden, um auf das Leck in einem Artikel 12 über eine längere Zeitperiode hinweg zu testen. Der Artikel 12 wird in der Testkammer 24 des Testbehälters 16 angeordnet. Das Testkammerventil 48, das Reservoirkammerventil 64, das Reservoirkapillarventil 78, das Testkammerkapillarventil 88 und das Ablaßventil 32 werden in ihre entsprechenden Schließposition gebracht.

Das Gasanalyseinstrument 20 wird eingeschaltet und das Reservoirventil 64 wird geöffnet, so daß Vakuum in der Reservoirkammer 44 erzeugt wird. Das Reservoirventil 64 ist geschlossen, um das Vakuum zu isolieren. Das Test­ kammerventil 48 wird geöffnet, um das isolierte Vakuum an die Testkammer 24 und den Artikel 12 anzulegen. Das Testkammerventil 48 wird geschlossen und ein Vakuumdruck wird um den Artikel 12 herum zurückbehalten. Der Vakuum­ druck in der Testkammer 24 kann durch das Öffnen des Ab­ strömventils 32 eingestellt werden, um die äußere Atmos­ phäre in die Testkammer 24 zu lassen, während der Va­ kuummesser 28 überwacht wird.

Der Vakuumdruck in der Testkammer 24 kann über eine län­ gere Zeitperiode hinweg aufrechterhalten werden und der Artikel 12 ist dem Vakuumdruck während dieser verlänger­ ten Zeitperiode ausgesetzt. Auf diese Weise wird der Ar­ tikel 12 "eingeweicht", und zwar in einem Vakuumdruck, um dem Nachspürgas eine ausreichende Zeit zu geben, durch irgendeinen sehr kleinen Leckdurchlaß im Artikel 12 he­ rauszukriechen. Nachdem der Artikel 12 im Vakuum "ein­ geweicht" war, kann das Testkammerkapillarventil 88 ge­ öffnet werden, um einen Strömungsmittelfluß zum Gasana­ lyseinstrument 20 hin vorzusehen. Alternativ kann das Testkammerventil 48 und entweder das Reservoirkammer­ ventil 64 oder das Reservoirkapillarventil 78 geöffnet werden, um einen Strömungsmittelfluß vorzusehen zu dem Gasanalyseinstrument 20 hin.

Die vorliegende Erfindung verhindert die Möglichkeit des Verlustes von Nachspürgas vor dem Aufbau des richtigen Betriebszustandes des Gasanalyseinstruments. Speziell wird Nachspürgas nicht an die Atmosphäre durch das Gas­ analyseinstrumen abgegeben, wenn das Gasanalyse­ instrument gestartet wird und anfängt Vakuum zu ziehen.

Nach der Vollendung des Tests am Artikel 12 kann das Abströmventil 32 geöffnet werden, um zu gestatten, daß der Druck in der Testkammer 24 auf den atmosphärischen Druck zurückkehrt. Der getestete Artikel 12 wird dann aus der Testkammer 24 entnommen. Nachdem der getestete Ar­ tikel 12 entfernt ist, kann die Testkammer 24 mit einem Spürgas überflutet werden, um jedwedes durch Leck ausge­ tretenes Nachspürgas zu entfernen. Das Spülgas kann in die Testkammer 24 geleitet werden und man kann zulassen, daß das Spülgas durch das Abströmventil 32 austritt. Das Spülgas ist entweder ein hochreines Stickstoffgas oder trockene Luft. Die Verwendung des Spülgases hilft bei der Verhinderung der Detektion von Nachspürgas, welches aus einem vorausgegangenen Testartikel 12 durch Leck aufge­ treten war und kann so die Genauigkeit der Testergeb­ nisse, die durch das Gasanalyseinstrument 20 geliefert werden, verbessern.

Viele Herstellungsartikel besitzen ein mit abgedichtes oder eingeschlossenes oder eingesiegeltes Nachspürgas innerhalb des Artikels und können hinsichtlich der Dichtungs- oder Abdichtintegrität mit der vorliegenden Erfindung und dem vorliegenden Verfahren getestet werden. Beispiele derartiger Artikel sind die Aufblasvorrich­ tungen für Fahrzeuginsassen-Rückhaltesysteme, wie bei­ spielsweise Airbags; Sensoren; Brennstofftanks; Brenn­ stoffsysteme; Zünder; Squibs; Automobilgetriebe; Dreh­ momentwandler; elektronische Vorrichtungen und medi­ zinische Implantate, wie beispielsweise Schrittmacher zum Beispiel Herzschrittmacher.

Zusammenfassend sieht die Erfindung folgendes vor:

Eine Vorrichtung 10 zum Testen der Dichtungsintegrität weist eine Testkammer 24 auf zur Aufnahme eines abge­ dichteten Artikels 12, die ein Nachspürströmungsmittel enthält. Ferner ist eine Reservoirkammer 44 und ein Analyseinstrument 20 vorgesehen, um das Vorhandensein von Nachspürströmungsmittel zu detektieren, welches aus dem Artikel 12 durch Leck ausgetreten ist. Ein Reservoir­ ventil 64 befindet sich in einer Leitung 58, die zwischen der Reservoirkammer 44 und dem Analyseinstrument 20 vor­ gesehen ist. Dieses Ventil 64 besitzt eine Öffnungspo­ sition, um zu gestatten, daß Vakuum in der Reservoirkam­ mer 44 unter Verwendung des Analyseinstrumentes 20 er­ zeugt wird. Im Schließzustand blockiert das Reservoir­ ventil 64 die Strömungsmittelverbindung zwischen der Re­ servoirkammer 44 und dem Analyseinstrument 20, um das Vakuum in der Reservoirkammer 44 zu isolieren. Ein Ventil 48 in einer Leitung 38 gekoppelt zwischen der Testkammer 24 und einer Reservoirkammer 44 besitzt eine Schließpo­ sition zum Blockieren der Strömungsmittelverbindung zwischen der Testkammer und der Reservoirkammer. Dies verhindert, daß eine Druckänderung in der Testkammer während der Erzeugung des Vakuums in der Reservoirkammer 44 auftritt. Das Ventil 48 besitzt eine Öffnungsposition, um es zu ermöglichen, daß das isolierte Vakuum in der evakuierten Reservoirkammer 44 an den Artikel 12 in der Testkammer 24 angelegt wird, um das Nachspürströ­ mungsmittel aus dem Artikel 12 herauszuziehen, und zwar durch irgendwelche Leckpfade. Die Inhalte der Testkammer einschließlich irgendwelchen durch Leck ausgetretenen Nachspürströmungsmittels werden sodann zu dem Analy­ seinstrument übertragen.

Ausgestaltungen der Erfindung sind dem Fachmann gegeben.

Claims (18)

1. Vorrichtung (10) zum Überprüfen der Dichtungsinte­ grität eines Artikels (12) mit einem im Artikel enthaltenen Tracer- oder Nachspürströmungsmittel, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist:
eine Testkammer (24) zur Aufnahme des Artikels (12);
eine Reservoirkammer (44) zum Halten oder Rückhalten eines Vakuumdrucks;
ein Analyseinstrument (20) zum Detektieren des Vor­ handenseins des Nachspürströmungsmittels, wobei das Analyseinstrument (20 ) Mittel aufweist, um ein Va­ kuum in der Reservoirkammer (44) zu schaffen;
eine erste Leitung (58) gekuppelt zwischen der Re­ servoirkammer (44) und dem Analyseinstrument (20);
ein erstes Ventil (64) in der ersten Leitung (58), welches eine Öffnungsposition und eine Schließp­ osition besitzt, wobei die Öffnungsposition die Strömungsmittelverbindung gestattet zwischen der Reservoirkammer und dem Analyseinstrument und um zu ermöglichen, daß ein Vakuum in der Reservoirkammer geschaffen wird, und wobei in der Schließposition die Reservoirkammer von dem Analyseinstrument ge­ trennt wird, nachdem ein Vakuum in der Reservoir­ kammer (44) geschaffen ist;
eine zweite Leitung (38) gekuppelt zwischen der Testkammer (24) und der Reservoirkammer (44); und
ein zweites Ventil (48) in der zweiten Leitung (38), wobei dieses zweite Ventil (48) eine Schließposition und eine Öffnungsposition besitzt und in der Schließposition die Strömungsmittelverbindung zwi­ schen der Testkammer und der Reservoirkammer blockiert, um eine Druckänderung in der Testkammer zu verhindern, während des Schaffens des Vakuums in der Reservoirkammer, und wobei das zweite Ventil (48) in einer Öffnungsposition die Anlage des Va­ kuums von der evakuierten Reservoirkammer an den Artikel in der Testkammer gestattet, um das Nach­ spürströmungsmittel aus dem Artikel herauszuziehen, und zwar durch irgendeinen Leckpfad in dem Artikel (12).

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Gasanalyse­ instrument (20) ein Massenspektrometer ist, welches geeicht ist zum Detektieren des Nachspürströmungs­ mittels und wobei das Nachspürgasströmungsmittel ein Gas ist, und zwar Argon oder Helium.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Test­ kammer definiert wird durch einen Testbehälter und der Testbehälter aus einem Material besteht, welches aus der folgenden Gruppe ausgewählt ist; eine rost­ freie Stahllegierung, eine Aluminiumlegierung, Glas oder dergleichen.

4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, insbesondere nach Anspruch 1, wobei die Reservoir­ kammer definiert wird durch einen Reservoirbehälter, der aus einem Material hergestellt ist, welches aus der folgenden Gruppe ausgewählt ist; rostfreie Stahllegierung, Aluminiumlegierung, Glas, und der­ gleichen.

5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorherge­ henden Ansprüche, insbesondere nach Anspruch, 1, wobei die ersten und zweiten Ventile in der Lage sind, ein Vakuum von ungefähr 10^-11 Torr abzu­ dichten.

6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorherge­ henden Ansprüche, insbesondere nach Anspruch 1, wo­ bei ferner eine einschränkende dritte Leitung vor­ gesehen ist, die gekuppelt ist zwischen der Test­ kammer und dem Analyseinstrument und mit einem Kapillarventil in der einschränkenden dritten Leitung, wobei das Kapillarventil eine Öffnungspo­ sition und eine Schließposition besitzt und in der Öffnungsposition die Verbindung oder den Transport der Strömungsmittelgehalte in der Testkammer zu dem Analyseinstrument gestattet und in der Schließpo­ sition die Strömungsmittelverbindung zwischen der Testkammer und dem Analyseinstrument durch die ein­ schränkende dritte Leitung blockiert.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei die einschränkende dritte Leitung eine einschränkende Querschnitts­ strömungsfläche besitzt und wobei die Mittel zum Erzeugen eines Vakuums eine Kapazität besitzen, zum Bewirken, daß das Nachspürströmungsmittel durch die einschränkende dritte Leitung fließt, und zwar mit einer Rate von ungefähr mindestens 45 cc/min und zum Aufrechterhalten des Drucks an dem Analyseinstrument auf unterhalb 200 Millitorr.

8. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorherge­ henden Ansprüche, insbesondere nach Anspruch 1, wo­ bei ferner eine einschränkende dritte Leitung vor­ gesehen ist, und zwar gekuppelt zwischen der Re­ servoirkammer und dem Analyseinstrument und mit einem Kapillarventil in der einschränkenden dritten Leitung, wobei das Kapillarventil eine Öffnungs­ position und eine Schließposition besitzt und in der Schließposition die Verbindung und den Transport der Inhalte der Reservoirkammer wie im Analysyeinstru­ ment gestattet und in der Schließstellung die Strö­ mungsmittelverbindung zwischen der Reservoirkammer und dem Analyseinstrument durch die dritte ein­ schränkende Leitung blockiert.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, wobei die einschränkende dritte Leitung eine einschränkende Querschnitts­ strömungsfläche besitzt und wobei die Mittel zum Erzeugen eines Vakuums eine Kapazität besitzen, um zu bewirken, daß das Nachspürströmungsmittel durch die einschränkende dritte Leitung fließt, und zwar mit einer Rate von ungefähr mindestens 45 cc/min und zum Aufrechterhalten des Drucks des Analysein­ strumentes auf unterhalb 200 Millitorr.

10. Verfahren zum Überprüfen der Dichtungsintegrität eines Artikels mit einem Nachspürströmungsmittel innerhalb des Artikels, wobei das Verfahren die folgenden Schritte vorsieht:
Abdichten des Artikels innerhalb einer ersten Kammer zum Isolieren des Artikels;
Erzeugen eines Vakuums in einer zweiten Kammer, die gegenüber der ersten Kammer abgedichtet ist derart, daß der Artikel nicht einer Druckänderung während der Erzeugung des Vakuums in der zweiten Kammer aus­ gesetzt ist;
Abdichten der zweiten Kammer zum Aufrechterhalten oder Zurückbehalten des Vakuums in der zweiten Kam­ mer und zum Trennen des Vakuums innerhalb der zwei­ ten Kammer;
daraufhin Aufbauen einer Strömungsmittelverbindung zwischen den ersten und zweiten Kammern zum Anlegen des isolierten Vakuums in der zweiten Kammer an den Artikel der ersten Kammer zum Herausziehen des Nachspürströmungsmittels aus dem Artikel durch ir­ gendeinen Leckpfad in dem Artikel;
Vorsehen eines Strömungsmittelflusses von irgend­ welchen Nachführströmungsmittel, wie es aus dem Artikel herausgezogen wurde zu dem Analysein­ strument; und
Analyse des Strömungsmittelflusses zur Bestimmung des Vorhandenseins des Nachführströmungsmittels.

11. Verfahren nach Anspruch 10, wobei der Schritt des Erzeugens eines Vakuums das Öffnen eines ersten Ventils in einer Leitung gekuppelt zwischen der zweiten Kammer und einem Analyseinstrument umfaßt und das Evakuieren der zweiten Kammer durch das Analyseinstrument, wobei der Schritt des Abdichtens der zweiten Kammer das Schließen des ersten Ventils in der Leitung umfaßt, die gekuppelt ist zwischen der evakuierten zweiten Kammer und dem Analysein­ strument, um die zweite Kammer zu isolieren, wobei der Schritt des Aufbaus einer Strömungsmittelver­ bindung zwischen den ersten und zweiten Kammern das Öffnen eines zweiten Ventils in einer Leitung um­ faßt, die gekoppelt ist zwischen der ersten Kammer und der zweiten Kammer, um das Nachspürströmungs­ mittel durch irgendeine Leckpfad im Artikel in die zweite Kammer herauszuziehen, wobei das Verfahren den Schritt des Schließens des weiten Ventils in der Leitung gekoppelt zwischen der ersten Kammer und der zweiten Kammer umfaßt, um die erste Kammer von der zweiten Kammer zu isolieren, nachdem das Vakuum an sen Artikel angelegt ist, wobei der Schritt des Aufbaus eines Strömungsmittelflusses von irgendwel­ chen Nachspürströmungsmittel herausgezogen aus dem Artikel zu dem Analyseinstrument die Öffnung des ersten Ventils der Leitung gekoppelt zwischen der zweiten Kammer und dem Analyseinstrument umfaßt, um die Inhalte der zweiten Kammer einschließlich jed­ weden ausgetretenen Nachspürströmungs­ mittels zu dem Analyseinstrument zu führen.

12. Verfahren nach Anspruch 10, wobei der Schritt des Abdichtens des Artikels innerhalb der ersten Kammer das Abdichten einer Airbagaufblasvorrichtung umfaßt, wobei Helium oder Argon in der Leckaufblasvor­ richtung in der ersten Kammer vorhanden ist.

13. Verfahren nach Anspruch 10, wobei der Schritt des Analysierens des Strömungsmittelflusses zur Bestim­ mung des Vorhandenseins des Nachspürströmungsmittels umfaßt, daß das Nachspürströmungsmittel zu einem Massenspektrometer geleitet wird.

14. Verfahren nach Anspruch 10, wobei der Schritt des Schaffens eines Vakuums in der zweiten Kammer das Evakuieren der zweiten Kammer auf einen Druck im Bereich von 5 Millitorr bis 500 Millitorr umfaßt.

15. Verfahren nach Anspruch 10, wobei der Schritt des Anlegens des Vakuums an den Artikel in der ersten Kammer den Aufbau eines Drucks im Bereich von un­ gefähr 8 Torr bis 43 Torr in der ersten Kammer um­ faßt, und zwar durch Öffnen eines Ventils in einer Leitung, die gekuppelt ist zwischen der ersten Kam­ mer und der evakuierten zweiten Kammer.

16. Verfahren nach Anspruch 10, wobei der Schritt des Schaffens eines Vakuums umfaßt, daß ein erstes Ven­ til in der ersten Leitung geöffnet wird, die gekup­ pelt ist zwischen der zweiten Kammer und dem Analy­ seinstrument und wobei ferner die zweite Kammer evakuiert wird durch das Analyseinstrument und wobei der Schritt des Abdichtens der zweiten Kammer das Schließen des ersten Ventils in der Leitung auf­ weist, die gekuppelt ist zwischen der evakuierten zweiten Kammer und dem Analyseinstrument, um die zweite Kammer von dem Analyseinstrument zu isolieren und wobei der Schritt des Aufbau eines Strömungs­ mittelverbindung zwischen den ersten und zweiten Kammern das Öffnen eines zweiten Ventils umfaßt, und zwar in einer Leitung, die gekuppelt ist zwischen der ersten Kammer und der zweiten Kammer, um das Nachspürströmungsmittel durch irgendeinen Leckpfad im Artikel in die zweite Kammer auszuziehen, und wobei das Verfahren den Schritt des Schließens des zweiten Ventils in der Leitung umfaßt, die gekuppelt ist zwischen der ersten Kammer und der zweiten Kam­ mer, um die erste Kammer von der zweiten Kammer zu trennen, nachdem das Vakuum einen Artikel angelegt ist, und wobei ferner der Schritt des Aufbaus eines Strömungsmittelsflusses aus irgendeinem Nachspür­ strömungsmittel herausgezogen aus dem Artikel zu einem Analyseinstrument, das Öffnen eines dritten Ventils in einer zweiten Leitung umfaßt, die ge­ koppelt ist zwischen der zweiten Kammer und dem Analyseinstrument, um die Inhalte der zweiten Kammer einschließlich jeglichen durch Leck ausgetretenen Nachspürströmungsmittels zu dem Analyseinstrument vorzusehen.

17. Verfahren nach Anspruch 10, wobei der Schritt des Schaffens eines Vakuums das Öffnen eines ersten Ventils in einer Leitung umfaßt, die gekuppelt ist zwischen der zweiten Kammer und einem Analyse­ instrument und ferner ein Evakuieren der zweiten Kammer durch das Analyseinstrument, wobei der Schritt des Abdichtens der zweiten Kammer das Schließen des ersten Ventils umfaßt, und zwar in der Leitung gekuppelt ist zwischen der evakuierten zweiten Kammer und dem Analyseinstrument, um die zweite Kammer von dem Analyseinstrument zu isolie­ ren, wobei ferner der Schritt des Aufbaus einer Strömungsmittelverbindung zwischen den ersten und zweiten Kammern das Öffnen eines zweiten Ventils umfaßt in einer Leitung, die gekuppelt ist zwischen der ersten Kammer in der zweiten Kammer, um das Nachspürströmungsmittel durch irgendeinen Leckpfad in dem Artikel in das isolierte Vakuum zu ziehen, wobei das Verfahren den Schritt des Fließens des zweiten Ventils umfaßt in der Leitung gekuppelt zwischen der ersten Kammer und der zweiten Kammer zum Isolieren der ersten Kammer von der zweiten Kammer, nachdem das Vakuum an den Artikel angelegt wird, und wobei der Schritt des Aufbaus eines Strö­ mungsmittelflusses von jedwedem Nachspürströmungs­ mittel herausgezogen aus dem Artikel zu dem Analy­ seinstrument das Öffnen eines dritten Ventils umfaßt, und zwar in einer Leitung gekuppelt zwischen der ersten Kammer und dem Analyseinstrument, um die In­ halte der ersten Kammer einschließlich durch Leck ausgetretenen Nachspürströmungsmittel zu dem Ana­ lyseinstrument vorzusehen.

18. Verfahren nach Anspruch 10, wobei das isolierte Va­ kuum an den Artikel über eine längere Zeitperiode hinweg angelegt wird, und wobei der Schritt des Aufbaus eines Strömungsmittelflusses von jedwedem Nachspürströmungsmittel herausgezogen aus dem Artikel zu dem Analyseinstrument nach der verlän­ gerten oder längeren Zeitperiode erfolgt.