DE4438785A1 - Analyse- und Dosiersystem sowie Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Analyse- und Dosiersystem sowie Verfahren zu seiner HerstellungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Analyse- und Dosiersystem und
ist anwendbar beispielsweise bei der Sequenzanalyse und der
exakten und reproduzierbaren Dosierung kleinster
Substanzmengen im Größenbereich < 1 µl. Ein bevorzugtes
Anwendungsgebiet der Erfindung ist die Sequenzanalyse von
Proteinen und Peptiden oder die DNA Sequenzierung in der
Biomedizin
Gemäß der Veröffentlichung von Jungblut u. a. in
Elektrophoresis 15, 1994, Seite 685 bis 707 sind
beispielsweise Frühdiagnosen bei der Entstehung von
Krankheiten möglich, wenn es gelingt, die auf den Gelen
infolge der Krankheit veränderten Proteine zu
identifizieren. Dies kann erreicht werden, wenn diese
Veränderungen sich in starken Proteinspots manifestieren.
Diese können dann auf geeignete, chemisch inerte Membranen
geblottet und die Blots in einem Sequenzer sequenziert
werden. Dabei erhält man die N-Terminale Sequenz der
Proteine von den amino-terminalen ersten 10-100
Aminosäureresten. Diese Sequenz wird mit bekannten
Proteinsequenzen in Protein-Datenbanken verglichen und so
eindeutig identifiziert, da jedes Protein eine spezifische
Sequenz seiner Aminosäuren aufweist. Durch Identifikation
des Proteins erhält man eine genaue Erkenntnis, welcher
Prozeß im Zellstoffwechsel gestört ist, so daß die
Krankheitsursachen auf molekularer Ebene erfaßt werden
können. Treten jedoch die beim Krankheitsgeschehen
veränderten oder modifizierten Proteine nur in sehr
geringen Konzentrationen auf, können sie bisher nicht
eindeutig charakterisiert werden.
Die Baugruppen aller bekannten Sequenzer, also
Dosierventile, Reaktor, Konverter und Detektionssystem sind
in den existierenden Analyse- und Dosiersystemen in
getrennten Einheiten realisiert.
Gewisse Fortschritte bei der Anordnung der Ventile wurden
mit der P 40 14 602 erreicht, welche eine Dosiervorrichtung
mit einer Vielzahl von pneumatisch steuerbaren Ventilen
beschreibt, wobei die Ventile kreisförmig auf einem
ringförmigen Träger angeordnet sind.
Nachteilig an all den bekannten technischen Lösungen ist,
daß innerhalb der getrennten Einheiten und zwischen ihnen
lange Transportwege bestehen. Die Einheiten sind durch
PTFE-Schläuche verbunden, welche extrem
sauerstoffdurchlässig sind. Dadurch und durch die Vielzahl
der Verbindungsstellen erfolgt ein Sauerstoffeintrag, der
an mehreren Stellen die Abläufe und die Identifikation
durch Bildung zusätzlicher Derivate behindert und zum
Beispiel direkt die Abspaltungsreaktion blockiert. Außerdem
werden die Ausbeuten der abgespalteten Aminosäuren
drastisch reduziert.
Ein weiterer Nachteil bzw. limitierender Faktor der
bestehenden Systeme ist, daß die kleinste dosierbare
Chemikalienmenge bei ca. 5 µl liegt. Wird eine sehr geringe
Probenmenge aufgegeben, erfolgt sehr schnell die
Auswaschung des zu analysierenden Proteines. Die Sequenz
läßt sich nicht mehr eindeutig identifizieren. Daher ist z.
Zt. eine Mindestmenge von ca. 20 pmol Protein vonnöten, um
eine Sequenz sicher zu bestimmen.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein
zuverlässiges, servicefreundliches Analyse- und
Dosiersystem hoher Lebensdauer zu schaffen, welches die
exakte und reproduzierbare Dosierung sowie die Analyse
kleinster Substanzmengen bei kurzen Verbindungswegen
zwischen den Bauelementen ermöglicht, den weitgehenden
Ausschluß von Sauerstoff und Oxidantien gewährleistet sowie
einfach und preiswert herstellbar ist.
Es ist weiterhin Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur
Herstellung von Analyse- und Dosiersystemen anzugeben,
welches auf modernsten für die Mikroelektronik entwickelten
Technologien und Materialien aufbaut.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die
Merkmale im kennzeichnenden Teil der Ansprüche 1 und 14 in
Verbindung mit den Merkmalen in den jeweiligen
Oberbegriffen.
Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sind in den
Unteransprüchen enthalten.
Ein besonderer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß mit
dem vorliegenden Analyse- und Dosiersystem beispielsweise
die primäre Struktur von Proteinen und Peptiden in
Femtomol-Mengen bestimmt werden kann, indem die
wesentlichen Bauelemente und Ventile auf einem Chip,
bestehend aus ein- oder mehrschichtigem Substrat und ein-
oder mehrschichtiger Abdeckung angeordnet sind, wobei das
Substrat und/oder die Abdeckung Vertiefungen zur Bildung
von Leitungshohlräumen und/oder weitere Vertiefungen für
das Zusammenwirken mit den Bauelementen aufweist.
Dadurch, daß das Substrat aus Halbleitermaterial,
beispielsweise Silizium, oder Keramikmaterial,
beispielsweise Aluminiumoxid, das mit einer chemisch
inerten Schicht versehen sein kann, besteht, sind bei der
Herstellung des Analyse- und Dosiersystems modernste
Technologien der Mikroelektronik anwendbar. Es wird
faktisch eine integrierte Schaltung für die Zu- und
Abflüsse und Verbindungen für den Transport der Chemikalien
und Gase sowie für Reaktor, Konverter und Detektionssystem
geschaffen, indem die wesentlichen Bauelemente, Ventile
sowie zumindest teilweise die zugehörigen Leitungen auf
einem Chip, bestehend aus ein- oder mehrschichtigen
Substrat mit Abdeckung, angeordnet werden, wozu mittels
mikroelektronischer Bearbeitungsmethoden Vertiefungen in
das Substrat und/oder die Abdeckung eingebracht werden,
diese Vertiefungen ganz oder teilweise durch Zusammenfügen
von Substrat und Abdeckung in Hohlräume umfunktioniert und
die bei teilweiser Abdeckung freibleibenden Vertiefungen
mit aufgesetzte Bauelementen verschlossen werden.
Durch den Wegfall von Verbindungsleitungen sowie die
Verwendungen luftundurchlässiger Klebstoffe oder geeigneter
Füge- und Verbindungstechniken für die Befestigung von
Bauelementen wird der Einfluß von Sauerstoff und Oxidantien
minimiert.
Eine totvolumenfreie Arbeitsweise der Ventile, die die
vollständige Trennung der eingesetzten Substanzen
gewährleistet, so daß es z. B. nicht zur Bildung von Salzen
beim Kontakt einer Säure mit einer Base kommen kann, wobei
sich das kleinste dosierbare Volumen aus dem minimalen
Abstand zwischen zwei einzelnen Ventilen und der Geometrie
des dazwischen befindlichen Kanales ergibt, wird dadurch
möglich, daß die Ventile piezoelektrische Bauteile sind
und/oder durch druckbeaufschlagte Membranen gebildet
werden. Es ist ebenso möglich, daß Ventile als
Mehrschichtanordnung oder als Polysiliziumelement
ausgebildet sind bzw. die Ventilfunktion durch ein
volumenveränderliches Material ausgeführt wird.
Die Erfindung soll nachstehend anhand von in den Figuren
dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert werden.
Es zeigen:
Fig. 1 Einen Ausschnitt eines auf- bzw. in dem
Substrat angeordneten Analyse- und
Dosiersystems ohne Abdeckung.
Fig. 1a Eine alternative Anordnung für die Funktion eines
Dosierkanales in der Ansicht ohne Abdeckung.
Fig. 2 Eine Seitenansicht im Schnitt A-A zu
Fig. 1 mit Abdeckung.
Fig. 3 Eine auf dem Chip angeordnete Reaktorkammer.
Fig. 4 Eine Gesamtanordnung wesentlicher Bauelemente
eines Sequenzers auf einem Chip.
Fig. 5A Verschiedene Konstruktionsvarianten der Ventile
bis 6B.
In den Fig. 1 und 2 ist ein Ausschnitt aus einem
Analyse- und Dosiersystem dargestellt, bei welchem auf dem
Chip 1 Leitungen 4, eine Vertiefung 4a (= Dosierkammer zur
exakten volumetrischen Dosierung einer Reagenz) für das
Zusammenwirken mit einem Reaktor 6a, sowie Ventile V2 bis
V5 angeordnet sind. Der Chip 1 besteht im vorliegenden
Ausführungsbeispiel aus einem Substrat 2 und einer
Abdeckung 3 aus Silizium.
In das Substrat 2 sind mittels Laserbearbeitungsmethoden
Vertiefungen 4 und 4a eingebracht, welche durch Aufsetzen
der Abdeckung 3 zu Hohlräumen umfunktioniert werden. Zum
Aufsetzen eines Reaktors 6a auf das Substrat 2 ist die
Abdeckung über dem Hohlraum 4a, wie in Fig. 3 dargestellt,
unterbrochen. Der Reaktor 6a ist mit einem
luftundurchlässigem Klebstoff auf das Substrat 2
aufgeklebt. Die Ventile sind im vorliegendem
Ausführungsbeispiel dadurch realisiert, daß der Kanal
unterbrochen ist und durch eine undurchlässige Membran
abgedichtet wird, wobei die Membran mittels Druckvariation
angehoben werden kann und somit der Kanal für den Durchfluß
freigegeben ist.
Der Funktionsablauf gemäß Fig. 1 ist folgender:
Über das Ventil V1 wird auf das Vorhaltegefäß 17 Druck aufgegeben. Werden die Ventile V2 und V3 geöffnet, strömt die Flüssigkeit durch Vertiefungen 4, welche im Zusammenwirken mit der Abdeckung 3 die Hohlräume 5 bilden. Durch schließen der Ventile V2 und V3 wird ein exakt definiertes Volumen der Flüssigkeit eingeschlossen. Anschließend werden die Ventile V4 (Stickstoffzuleitung) und V5 (Ableitung zum Reaktor 6a) sowie V7 (Einlaß Reaktionskammer) geöffnet. Das Reinigen der Leitung erfolgt über die Ventile V6 und V8 mittels Stickstoff oder einem Lösungsmittel. Sind mehrere dieser Dosiereinheiten parallel geschaltet, können nacheinander verschiedene Reagentien in die Reaktionskammer 6a transportiert werden.
Über das Ventil V1 wird auf das Vorhaltegefäß 17 Druck aufgegeben. Werden die Ventile V2 und V3 geöffnet, strömt die Flüssigkeit durch Vertiefungen 4, welche im Zusammenwirken mit der Abdeckung 3 die Hohlräume 5 bilden. Durch schließen der Ventile V2 und V3 wird ein exakt definiertes Volumen der Flüssigkeit eingeschlossen. Anschließend werden die Ventile V4 (Stickstoffzuleitung) und V5 (Ableitung zum Reaktor 6a) sowie V7 (Einlaß Reaktionskammer) geöffnet. Das Reinigen der Leitung erfolgt über die Ventile V6 und V8 mittels Stickstoff oder einem Lösungsmittel. Sind mehrere dieser Dosiereinheiten parallel geschaltet, können nacheinander verschiedene Reagentien in die Reaktionskammer 6a transportiert werden.
In der Anordnung gemäß Fig. 1A erfolgt die Dosierung einer
Chemikalie folgendermaßen:
Die zu dosierende Chemikalie wird über Leitung B transportiert. Durch Öffnen der Ventile V2 und V3 fließt sie über Leitung E zum Rücklauf C. Werden die Ventile V2 und V3 geschlossen, befindet sich in Leitung E zwischen den Ventilen ein genau definiertes Flüssigkeitsvolumen, wobei der Kanal verschiedene geometrische Ausformungen, z. B. halbkreisförmig, sowie Vergrößerungen des Kanalquerschnittes, aufweisen kann. Werden die Ventile V1 und V4 geöffnet, kann die eingeschlossene Flüssigkeitsmenge zum Ablauf D durch Anlegen eines Inertgasüberdruckes transportiert werden. Dieses kann als einzelne Dosiereinheit ausgeführt sein, wie in der Fig. 1A beispielhaft für die Konstruktionsvariante "Kanal/ Membranventil" dargestellt. Es können aber auch mehrere Zu- und Rücklaufleitungen vorhanden sein. Je nach Anordnung werden für die verschiedenen Flüssigkeiten gleiche oder unterschiedliche Dosiervolumina erreicht.
Die zu dosierende Chemikalie wird über Leitung B transportiert. Durch Öffnen der Ventile V2 und V3 fließt sie über Leitung E zum Rücklauf C. Werden die Ventile V2 und V3 geschlossen, befindet sich in Leitung E zwischen den Ventilen ein genau definiertes Flüssigkeitsvolumen, wobei der Kanal verschiedene geometrische Ausformungen, z. B. halbkreisförmig, sowie Vergrößerungen des Kanalquerschnittes, aufweisen kann. Werden die Ventile V1 und V4 geöffnet, kann die eingeschlossene Flüssigkeitsmenge zum Ablauf D durch Anlegen eines Inertgasüberdruckes transportiert werden. Dieses kann als einzelne Dosiereinheit ausgeführt sein, wie in der Fig. 1A beispielhaft für die Konstruktionsvariante "Kanal/ Membranventil" dargestellt. Es können aber auch mehrere Zu- und Rücklaufleitungen vorhanden sein. Je nach Anordnung werden für die verschiedenen Flüssigkeiten gleiche oder unterschiedliche Dosiervolumina erreicht.
Die Konstruktion der Reaktionskammer 6a ist in Fig. 3
dargestellt. In dem (mehrschichtigen) Substrat 2 befindet
sich eine Vertiefung 4a zur Aufnahme fester Proben, sowie
Zu- und Ableitung 4. Auf das Substrat ist eine Aufnahme 7
für den Deckel 8, der sich zur Aufgabe fester Proben öffnen
läßt, geklebt. Ebenso ist es möglich, eine stoffschlüssige
Verbindung anderer Art zu realisieren. Der luft/
vakuumdichte Abschluß ist durch geeignete Bearbeitung der
Dichtflächen 9 oder durch eine Dichtung 10 gewährleistet.
Fig. 4 zeigt eine mögliche Bauform eines Sequenzers. Auf
dem Chip 1 sind die Ventile V1 bis Vm sowie die Bauelemente
Reaktor 6a, Detektor 6b, Konverter 6c und Injektionsventil
6d angeordnet. Die Verbindung zwischen den einzelnen
Bauelementen erfolgt durch in Hohlräume 5 umfunktionierte
Vertiefungen 4. In der Fig. 4 nicht dargestellt sind
verschiedene, auf dem Chip 1 angeordnete Sensoren, welche
beispielsweise den Transport der Substanzen, die Temperatur
im Reaktor 6a und im Konverter 6c, sowie weitere
Prozeßparameter aufnehmen und diese ggf. an eine Regelung
und an Stellglieder übertragen.
Zur Durchführung einer Sequenzanalyse eines Proteins wird
wie folgt vorgegangen: Die Leitungen L1, L2, L30, und L22
werden an die Inertgasleitung angeschlossen. Der anliegende
Druck wird über Drosselventile (nicht dargestellt)
eingestellt. Die Leitungen L3-L8 und L26-L29 werden mit
den Lösemitteln und Reagenzien verbunden. Die Leitungen
L11, L13, L18, L19, L23 und L25 führen zu einem
Auffanggefäß 17. Die Probe wird in die Reaktorkammer 6a
verbracht und diese luftdicht verschlossen. Nacheinander
werden jetzt die Chemikalien für den Edman-Abbau aus den
Vorhaltegefäßen (nicht dargestellt) dosiert. Die
Chemikalienmenge wird durch zeitliches Ansteuern der
Dosierventile V3-V8 begrenzt oder die oben beschriebene
Dosiertechnik wird eingesetzt, d. h. der Hohlraum zwischen
Ventil V8 und V11 wird gefüllt, bis die Flüssigkeit einen
ebenfalls auf dem Chip 1 angeordneten Sensor am Ausgang von
Leitung 11 erreicht und anschließend wird die Flüssigkeit
bei geschlossenem Dosierventil und Ablaufventil durch
Öffnen der Ventile V1 und V12 in die Reaktorkammer dosiert.
Sind die endständigen Aminosäuren abgespalten, werden sie
mittels Lösemittel extrahiert und in den Konverter
gefördert. Hier werden sie durch Dosierung von weiteren
Chemikalien in ihrer chemischen Struktur umgewandelt, durch
Einwirkung von Inertgas und/oder Wärme getrocknet und
anschließend in der Trägerphase des Detektionssystems
gelöst. Die Dosierung der Chemikalien auf der
Konverterseite erfolgt analog der auf der Reaktorseite.
Während der Konditionierung im Konverter wird im Reaktor
parallel die nächst folgende endständige Aminosäure
abgespalten. Über die Leitung L21 wird die Probe zum
Injektionssystem 6d, im vorliegenden Ausführungsbeispiel
der HPLC bzw. Kapillarelektrophorese, transportiert.
Die Identifizierung der Probe erfolgt aufgrund der
verschiedenen Retentionszeiten in einer Micro-HPLC Säule,
die an die Leitungen L31 und L32 angeschlossen ist.
In den Fig. 5A und 5B ist die Detailkonstruktion eines
totvolumenfreien Membranventiles auf Chipbasis dargestellt.
Sie zeigen das Ventil im Schnitt in der Stellung offen
(Fig. 5A) und geschlossen (Fig. 5B).
Die Funktion ergibt sich wie folgt: In das Substrat 2 sind
Vertiefungen 4 eingearbeitet. Durch eine Membran 11 bilden
diese luftdicht abgeschlossene Hohlräume. In der Abdeckung
3 sind an einzelnen Stellen Aussparungen 12 vorgesehen. Sie
sind über die Steuerleitung 13 mit einem pneumatischen 3/2
Wege Ventil (nicht dargestellt) verbunden. Durch Schaltung
dieses Steuerventils wirkt auf die Membran 11 ein Überdruck
oder ein Vakuum. Liegt auf der Membran 11 ein Überdruck an,
ist das Ventil totvolumenfrei geschlossen (Fig. 5B). Wird
ein Vakuum angelegt, kann die zu dosierende Flüssigkeit aus
der Zulaufleitung über den gebildeten Raum in die
Ablaufleitung strömen. Liegt durch Betätigung des
Steuerventiles wieder ein Überdruck auf der Membran 11,
schließt das Ventil. Die Zulaufleitung wird gesperrt, und
die Flüssigkeit wird aus dem Hohlraum in die Ablaufleitung
transportiert. In der Ablaufleitung verbleibende
Flüssigkeit wird durch Öffnen der Trägergasleitung (nicht
dargestellt) abtransportiert.
Fig 6A zeigt den Schnitt durch ein Membranventil, bei dem
die Membran durch einen Aktor bewegt wird in der Stellung
geschlossen.
Fig 6B zeigt den Schnitt durch ein Membranventil, bei dem
die Membran mehrschichtig ausgeführt ist in der Stellung
offen.
Die Erfindung ist nicht auf die hier beschriebenen
Ausführungsformen beschränkt. Vielmehr ist es möglich,
durch Variation der Mittel und Merkmale weitere
Ausführungsvarianten der Erfindung zu realisieren, ohne den
Rahmen der Erfindung zu verlassen.
Claims (23)
1. Analyse- und Dosiersystem, bestehend aus
Bauelementen, Ventilen sowie Anschluß- und
Verbindungsleitungen,
dadurch gekennzeichnet, daß
die wesentlichen Bauelemente (6a . . . 6n) und Ventile
(V1 . . . Vm) auf einem Chip (1), bestehend aus einem
ein- oder mehrschichtigen Substrat (2) und einer
ein- oder mehrschichtigen Abdeckung (3), angeordnet
sind, wobei das Substrat (2) und/oder die Abdeckung
(3) Vertiefungen (4) zur Bildung von
Leitungshohlräumen (5) und/oder Vertiefungen (4a)
für das Zusammenwirken mit den Bauelementen
(6a . . . 6n) aufweist.
2. Analyse- und Dosiersystem nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Substrat (2) aus
Halbleitermaterial besteht.
3. Analyse- und Dosiersystem nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß das Halbleitermaterial Silizium
ist.
4. Analyse- und Dosiersystem nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Substrat (2) aus einem
Keramikmaterial und/oder einem Kunststoff besteht.
5. Analyse- und Dosiersystem nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet, daß das Keramikmaterial
Aluminiumoxid und der Kunststoff PTFE und/oder PEEK
und/oder KEL-F und/oder Polyimid ist.
6. Analyse- und Dosiersystem nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Bauelemente Reaktoren (6a)
und/oder Detektoren (6b) und/oder Konverter (6c)
und/oder Injektionsventile (6d) und/oder
Mikropumpen und/oder Sensoren und/oder Kollektoren
und/oder Meßzellen und/oder Trennsäulen oder
Aufnahmevorrichtungen bzw. Anschlüsse für die
Bauteile sind.
7. Analyse- und Dosiersystem nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Ventile (V1 . . . Vm) oder
Teile von ihnen piezoelektrische Bauteile und/oder
druckbeaufschlagte Membranen und/oder
Mehrschichtanordnungen und/oder
Polysiliziumelemente und/oder volumenveränderliche
Substanzen sind.
8. Analyse- und Dosiersystem nach Anspruch 1 oder 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Bauelemente
(6a . . . 6n) mit einem luftundurchlässigem Klebstoff
auf das Chip (1) oder das Substrat (2) aufgeklebt
und/oder aufpolymerisiert sind.
9. Analyse- und Dosiersystem nach Anspruch 1 oder 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Bauelemente
(6a . . . 6n) durch Fügeverfahren beispielsweise
Waferbonding mit dem Chip (1) oder dem Substrat (2)
stoffschlüssig verbunden sind.
10. Analyse- und Dosiersystem nach Anspruch 1 oder 6,
dadurch gekennzeichnet, daß für einzelne
Bauelemente (6a . . . 6n) zugeordnete
Aufnahmevorrichtungen bzw. Anschlüsse auf dem Chip
(1) oder dem Substrat (2) angeordnet sind.
11. Analyse und Dosiersystem nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Abdeckungen (3) ein- oder
mehrschichtige Folien und/oder Platten und/oder
Membranen sind.
12. Analyse und Dosiersystem nach Anspruch 11, dadurch
gekennzeichnet, daß die Abdeckungen (3) aus PTFE
und/oder KEL-F und/oder Polyimid bestehen.
13. Analyse- und Dosiersystem nach Anspruch 11, dadurch
gekennzeichnet, daß die Abdeckungen aus dem
gleichen Material wie das Substrat (2) bestehen.
14. Verfahren zur Herstellung von Analyse- und
Dosiersystemen, bestehend aus Bauelementen,
Ventilen sowie Leitungen,
dadurch gekennzeichnet, daß
die wesentlichen Bauelemente, Ventile sowie zumindest teilweise die zugehörigen Leitungen auf einem Chip, bestehend aus ein- oder mehrschichtigen Substrat mit Abdeckungen, angeordnet werden, wozu mittels mikroelektronischen Bearbeitungsmethoden Vertiefungen in das Substrat und/oder die Abdeckung eingebracht werden,
diese Vertiefungen ganz oder teilweise durch Zusammenfügen von Substrat und Abdeckung in Hohlräume umfunktioniert und
die bei teilweiser Abdeckung freibleibenden Vertiefungen mit aufgesetzten Bauelementen verschlossen werden.
die wesentlichen Bauelemente, Ventile sowie zumindest teilweise die zugehörigen Leitungen auf einem Chip, bestehend aus ein- oder mehrschichtigen Substrat mit Abdeckungen, angeordnet werden, wozu mittels mikroelektronischen Bearbeitungsmethoden Vertiefungen in das Substrat und/oder die Abdeckung eingebracht werden,
diese Vertiefungen ganz oder teilweise durch Zusammenfügen von Substrat und Abdeckung in Hohlräume umfunktioniert und
die bei teilweiser Abdeckung freibleibenden Vertiefungen mit aufgesetzten Bauelementen verschlossen werden.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet
daß die Erzeugung der Vertiefungen in dem Substrat
und/oder der Abdeckung mittels
Lasermaterialbearbeitung erfolgt.
16. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß die Erzeugung der Vertiefungen in dem Substrat
und/oder der Abdeckung mittels chemischen
Ätzverfahren und/oder Plasmaätzverfahren erfolgt.
17. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß die Abdeckung der Vertiefungen im Substrat
durch Aufbringen von PTFE-Folie und/oder PTFE-
Platten und/oder Polyimidfolie und/oder Kel-F Folie
und/oder diskreter Bauelemente erfolgt.
18. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß die Ventile durch mikroelektronische
Abscheidungsprozesse in den Vertiefungen erzeugt
werden.
19. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet,
daß die diskreten Bauelemente aufgeklebt und/oder
durch Fügeverfahren, beispielsweise Waferbonding
stoffschlüssig aufgebracht werden.
20. Verwendung eines Analyse- und Dosiersystems nach
einem der voranstehenden Ansprüche 1 bis 13 zur
Realisierung von Sequenzierautomaten.
21. Verwendung nach Anspruch 20 zur Bestimmung der
Struktur von Proteinen und Peptiden.
22. Verwendung nach Anspruch 20 zur Bestimmung der
Struktur von DNA.
23. Verwendung eines Analyse- und Dosiersystems nach
einem der voranstehenden Ansprüche 1 bis 13 zur
Realisierung von Peptidsyntheseautomaten.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4438785A DE4438785C2 (de) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | Mikrochemische Reaktions- und Analyseeinheit |
DE29517190U DE29517190U1 (de) | 1994-10-24 | 1995-10-23 | Analyse- und Dosiersystem |
US08/547,454 US5833926A (en) | 1994-10-24 | 1995-10-24 | Analytical and dosing system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4438785A DE4438785C2 (de) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | Mikrochemische Reaktions- und Analyseeinheit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4438785A1 true DE4438785A1 (de) | 1996-05-02 |
DE4438785C2 DE4438785C2 (de) | 1996-11-07 |
Family
ID=6532076
Family Applications (2)
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