DE4415094A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Werkstücken durch Partikelstrahlen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Werkstücken durch PartikelstrahlenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Behandeln von Oberflächen von
Werkstücken durch Partikelstrahlen mittels eines Schleuderrades.
Unter dem Begriff "Strahlen" versteht man in der Fertigungstechnik einen
Bearbeitungsprozeß, bei dem eine technische Oberfläche durch abrasive
oder elastische Partikel bombardiert wird. Die abrasiven Partikel bewirken
eine Mikrozerspanung der Oberflächenschicht, während elastische Partikel
eine plastische Verformung der Werkstoffoberfläche bewirken und zu deren
Verdichtung führen. Die Wirksamkeit dieses Bearbeitungsverfahrens wird im
wesentlichen durch die kinetische Energie bestimmt, die diese Partikel an der
Bearbeitungsfläche in Zerspanungs- bzw. Verdichtungsarbeit umsetzen
können.
Die Energieaufnahme der Partikel kann beispielsweise über ein strömendes
Fluid erfolgen. Bei einem strömenden Gas oder einer strömenden Flüssigkeit
als Treibmittel werden die Partikel in Strompfaden allseitig von dem
treibenden Medium umgeben. Im Kollisionspunkt mit der bearbeiteten
Oberfläche muß das Treibmittel verdrängt werden, bevor das Partikel die
Oberfläche berührt. Diese Verdrängungsarbeit mindert den Wirkungsgrad des
Verfahrens.
Ein weiterer Energieverlust ist bei der Beschleunigung der Partikel zu
verzeichnen. Dabei tritt eine starke Verwirbelung des Treibmediums auf, die
gleichzeitig zu einer Auffächerung des Bearbeitungsstrahles führt.
Kennzeichnend für ein Strahlverfahren mit einem Fluid als Treibmittel sind
große Verhältnisse der Massenstromstärken von Treibmittel zu
Massenstromstärken der Partikel.
Ein vom Energieaufwand wesentlich günstigeres Strahlverfahren ist durch die
Anwendung des sogenannten Schleuderrades gegeben. Die Partikel werden
mechanisch durch die Zentrifugalkraft beschleunigt, verlassen aber das
Schleuderrad nur teilweise in tangentialer Richtung, da die radial
angeordneten Förderschaufeln für die Partikel auch die Umgebungsluft
beschleunigen und auf diese eine Förderwirkung ausüben. Das Schleuderrad
selbst verursacht durch die Beschaufelung große Wirbelverluste, die auch
dazu führen, daß die Partikel teilweise von den Luftwirbeln mitgerissen
werden und hierbei bereits einen Teil ihrer Energie verlieren. Gleichzeitig wird
dadurch eine Streuung der Partikel erzwungen, so daß die Zielgenauigkeit
nachläßt. Auf dem weiteren Wege der Partikel findet eine zusätzliche
Aufspreizung des Partikelstrahls und eine Abbremsung der Partikel statt, so
daß erhebliche Verluste an Energie eintreten. Ein Hauptnachteil des
bekannten Verfahrens ist jedoch die Notwendigkeit des Einsatzes großer
Zyklon-Abscheider, da sowohl die Partikel als auch der von den Partikeln
erzeugte Staub aus der Luftströmung entfernt werden müssen. Durch die
Förderwirkung des Schleuderrades werden große Luftmengen umgewälzt.
Eine derartige Technologie ist durch die Druckschrift "Schleuderrad-
Strahlanlagen für jede Oberfläche" der Firma OMSG (Deutschland GmbH)
bekannt. Von einem solchen Stand der Technik geht die Erfindung aus.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein derartiges Verfahren
dahingehend zu verbessern, daß Energieverluste durch Verwirbelung und
Abbremsung der Partikel vermieden werden und bei gegebener
Anfangsenergie der Partikel eine wesentliche größere Bearbeitungswirkung
erzielt wird. Unter dem Begriff "Bearbeitung" werden die Reinigung,
Verfestigung und Glättung der bestrahlten Oberflächen verstanden. Je nach
dem angestrebten Bearbeitungsergebnis werden dabei abrasive oder
elastische Partikel verwendet, wobei diese Partikel aus der Gruppe
Quarzsand, Kunststoff- und Stahlsplitter, Stahl-, Glas- und Kunststoffkugeln
ausgewählt werden können.
Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei dem eingangs angegebenen
Verfahren erfindungsgemäß dadurch, daß das Partikelstrahlen bei
unteratmosphärischem Druck durchgeführt wird.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann bereits in einem großen Druckbereich
mit Erfolg durchgeführt werden, beispielsweise bei Drücken zwischen 10-2
und 500 mbar, vorzugsweise in einem Druckbereich zwischen 1 und
100 mbar. Es versteht sich, daß die Wirkung um so günstiger wird, je weiter
sich der Druck von dem atmosphärischen Druck entfernt, d. h., je besser das
Vakuum ist.
Durch die starke Herabsetzung der Dichte des gasförmigen Mediums im
Bereich des Schleuderrades und des Werkstücks lösen sich die Partikel in
der Tat nahezu tangential von dem Schleuderrad, und sie treffen auch mit
ungebremster Energie auf die zu behandelnde Werkstückoberfläche auf. Je
nach der Höhe des Vakuums erreichen die beschleunigten Partikel die
Werkstückoberfläche zumindest weitgehend mit ihrer Anfangsenergie. Durch
die Vermeidung einer Wirbelschleppe um das Schleuderrad erfolgt kein
Mitreißen der Partikel auf dem Umfang des Schleuderrades, wodurch die
Zielgenauigkeit wesentlich verbessert wird. Außerdem werden von den
Partikeln keine Einrichtungsteile der Vorrichtung außerhalb des Werkstücks
getroffen. Die Partikelbahnen stellen echte Wurfparabeln und keine
ballistischen Bahnen dar, die durch den Gaswiderstand beeinflußt werden.
Unabhängig von der Partikelgröße und -masse ist die Geschwindigkeit aller
Partikel gleich. Im Unterschied zum Stande der Technik tragen alle Partikel
im Vakuum zur Oberflächenbearbeitung bei. Der Streuwinkel des
Partikelstrahls wird ausschließlich durch die Laufdauer der Partikel auf den
radial angeordneten Schleuderschaufeln vorgegeben. Die Bahnkurve der
Partikel wird lediglich durch die Gravitationskraft beeinflußt und in deren
Richtung gegebenenfalls gekrümmt.
Ein weiterer Vorteil der Vakuum-Schleuderrad-Strahlung besteht in der
vollständigen Vermeidung jeglicher Staubentwicklung, so daß besondere
Maßnahmen für die Staubbeseitigung entfallen. Insbesondere kann dadurch
auf den Einsatz großvolumiger Zyklon-Abscheider verzichtet werden, die den
Aufwand einer herkömmlichen Schleuderrad-Strahlanlage erheblich
vergrößern.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann für alle Arten von Werkstücken
eingesetzt werden, insbesondere auch beim Recyclen von
Verbrennungsmotoren, die in großer Zahl anfallen und in der Regel schwer
lösbare Verkrustungen, von Ölen, Fetten und Schmutz aufweisen.
Versuche mit Motorenteilen, wie Zylinderkopfdeckeln, Ventilgehäusen,
Motorblöcken und Ölwannen haben gezeigt, daß diese nach dem
erfindungsgemäßen Partikelstrahlen das Aussehen von Neuteilen haben, so
daß diese Teile unmittelbar für die Herstellung neuer Motoren oder
sogenannter Tauschmotoren verwendet werden können. Selbst hartnäckigste
Öl- und Schmutzverkrustungen in toten Ecken, Hinterschneidungen und
Winkeln werden durch das erfindungsgemäße Partikelstrahlen restlos
entfernt. Auch verrippte Zylinderköpfe von luftgekühlten
Verbrennungsmotoren können mit dem Erfindungsgegenstand zuverlässig
gereinigt und behandelt werden. Es ist dabei mit besonderem Vorteil möglich,
nacheinander abrasive und elastische Partikel zu verwenden, wodurch die
Anfangs erzeugte, samtartige Oberflächenaufrauhung nachträglich wieder
geglättet wird. Die damit erzielte Oberfläche ist metallisch glänzend.
Es ist dabei besonders vorteilhaft, wenn das erfindungsgemäße
Strahlverfahren bei Werkstücktemperaturen zwischen der Temperatur
flüssigen Stickstoffs und 450°C durchgeführt wird. Hierbei werden aus den
Fett- und Ölverkrustungen bei den angegebenen Vakua und Temperaturen
die betreffenden flüchtigen Bestandteile verdampft, so daß eine Versprödung
des Oberflächenbelages erfolgt. Dieser läßt sich sehr viel leichter durch
Partikelstrahlen entfernen als eine zähe fett- und ölhaltige Masse. Bei
Oberflächen mit Bereichen aus elastomeren Werkstoffen, z. B. mit
hervorstehenden Dichtungen, ist es besonders vorteilhaft, eine möglichst tiefe
Temperatur der Werkstücke anzuwenden und in einem Temperaturbereich zu
arbeiten, in dem das Elastomer versprödet ist.
Es ist aber besonders vorteilhaft, wenn vor dem Partikelstrahlen ein
Abdampfen der flüchtigen Verunreinigungen durchgeführt wird. Dieses
Abdampfen kann in der gleichen Vorrichtung durch eine entsprechende
Verfahrensführung durchgeführt werden, d. h. mit dem Partikelstrahlen wird
erst dann begonnen, wenn der Oberflächenbelag bereits versprödet ist.
Dadurch wird eine Verklebungsneigung der Partikel wirksam verhindert.
Es ist dabei besonders vorteilhaft, wenn das Abdampfen bei Drücken
zwischen 10-3 und 50 mbar und bei Temperaturen zwischen 20 und 450°C
durchgeführt wird, wobei in ganz besonders zweckmäßiger Weise das
Abdampfen bei abnehmendem Druck und steigender Temperatur
durchgeführt wird.
Es ist dabei wiederum mit besonderem Vorteil möglich, die flüchtigen
Verunreinigungen nach dem Abdampfen zu kondensieren und wieder zu
gewinnen.
Es ist dabei im Zuge weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen der Erfindung mit
Vorteil möglich, die Partikel vor dem Einbringen in das Vakuum zu entgasen
und/oder vorzuwärmen und/oder zu trocknen.
Für den Fall einer kontinuierlichen Verfahrensführung, bei der auch die
Werkstücke durch Vakuum-Schleusen in das Vakuum eingeführt und aus
diesem wieder ausgeführt werden, ist es mit besonderem Vorteil möglich, die
Partikel durch eine Vakuum-Schleuse in das Vakuum einzubringen.
Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Durchführung des
beschriebenen Verfahrens.
Zur Lösung der gleichen Aufgabe ist diese Vorrichtung erfindungsgemäß
dadurch gekennzeichnet, daß das Schleuderrad und mindestens ein
Werkstück in einer Vakuumkammer untergebracht sind.
Mit besonderem Vorteil ist in der Vakuumkammer auch ein Partikelbehälter
angeordnet.
Um die Werkstücke auf die weiter oben beschriebene günstige
Behandlungstemperatur zu bringen, ist es besonders vorteilhaft, wenn die
Vakuumkammer mit einer Heizeinrichtung versehen ist. Diese kann auf der
Außenwand der Vakuumkammer angeordnet werden und ist dann
zweckmäßig besonders gut gegenüber der Umgebung thermisch zu isolieren.
Es ist aber auch möglich, die Heizeinrichtung innerhalb der Vakuumkammer
anzuordnen.
In besonders vorteilhafter Weise kann auch der Partikelbehälter mit einer
Heizeinrichtung versehen sein, so daß jegliche Kondensation von Dämpfen
auf dem Partikelbehälter und auf den Partikeln mit Sicherheit vermieden wird.
Für den Fall einer allseitigen Behandlung von Werkstücken ist es ganz
besonders zweckmäßig, in der Vakuumkammer als Werkstückhalter einen
Manipulator vorzusehen, mit dem alle Werkstückoberflächen dem
Partikelstrahl ausgesetzt werden können.
In wiederum besonders vorteilhafter Weise kann der Vakuumkammer ein
Partikelsammler und/oder ein Kondensator für die Kondensation der
flüchtigen Komponenten der Oberflächenverunreinigungen nachgeschaltet
sein.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den
übrigen Unteransprüchen.
Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes wird nachfolgend
anhand der Fig. 1 bis 6 näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 einen Vertikalschnitt durch eine Vakuumkammer mit einer
perspektivischen Darstellung eines Schleuderrades mit
angeschlossenem Partikelbehälter,
Fig. 2 bis 5 Schleuderräder mit unterschiedlicher Lage der
Ablösestellung der Partikelstrahlen vom Radumfang,
Fig. 6 eine verkleinerte Darstellung der Vakuumkammer analog
Fig. 1, jedoch mit zusätzlichen Aggregaten zur
Beeinflussung der Verfahrensführung.
In Fig. 1 ist eine Vakuumkammer 1 dargestellt, die über einen Saugstutzen
2 an einen hier nicht gezeigten Vakuum-Pumpsatz angeschlossen ist. Im
Innern der Vakuumkammer 1 befindet sich ein Schleuderrad 3, das zwischen
zwei Kreisringscheiben 4 und 5 eine Anzahl radialer Förderschaufeln 6
besitzt, die mit einer Nabe 7 verbunden sind, die verdrehfest an einer hier
nicht gezeigten Antriebswelle angeordnet ist. Die Kreisringscheibe 4 ist
teilweise weggebrochen dargestellt, um einen Einblick in das Innere des
Schleuderrades 3 zu ermöglichen.
In die Nabe 7 mündet ein Krümmer 8 ein, der mit einem Partikelbehälter 9
verbunden ist, in dem sich eine lose Schüttung von Partikeln 10 befindet. Die
Einspeisung der Partikel in die Nabe 7 erfolgt dabei an einer solchen Stelle,
daß jeweils eine vorgegebene Portion von Partikeln auf der zugehörigen
Förderschaufel radial nach außen gefördert wird und sich an der Stelle 11 im
wesentlichen tangential von dem Förderrad 3 trennt. Dadurch entsteht für die
Partikel eine Reihe vorgegebener Flugbahnen 12, die unmittelbar auf der
Oberfläche 13 eines Werkstücks 14 enden, das hier nur sehr schematisch
dargestellt ist. Das Werkstück 14 befindet sich am Ende eines Manipulators
15, der hier nur als dreh- und verschiebbare Welle angedeutet ist. Der
Manipulator 15 ist durch eine Führungsbuchse 16 vakuumdicht in die
Vakuumkammer 1 eingeführt. Am unteren Ende besitzt die Vakuumkammer 1
einen in der Mitte abgesenkten Boden 17, der zum Sammeln der Partikel 10
dient, die schließlich durch einen Rohrstutzen 18 ohne Aufhebung des
Vakuums ausgetragen werden. Es ist ohne weiteres möglich, auf dem Boden
17 eine erhebliche Menge an Partikeln 10 zu sammeln, bevor die am unteren
Ende des Rohrstutzens 18 befindliche Schleuse geöffnet wird. Die
Vakuumkammer 1 besitzt vor der Zeichenebene eine hier nicht dargestellte
Tür, die zum Beschicken des Manipulators 15 mit einem oder mehreren
neuen Werkstücken 13 geöffnet werden kann.
Die Fig. 2 zeigt einen Partikelstrahl 19, der sich aufgrund einer
entsprechend angeordneten Eintrittsstelle des Partikelstroms in die Nabe 7
am 6-Uhr-Punkt vom Schleuderrad 3 löst.
Durch eine Drehung der Eintrittsstelle des Partikelstroms in die Nabe 7 um
90 Grad entgegen dem Uhrzeigersinn, löst sich der Partikelstrom 20 nach
Figur in der 3-Uhr-Stellung von dem Schleuderrad 3.
Wird die Eintrittsstelle für den Partikelstrom in die Nabe 7 noch um weitere
90 Grad entgegen dem Uhrzeigersinne verdreht, wie dies in Fig. 4
dargestellt ist, so löst sich der Partikelstrom bei dem in Fig. 4 dargestellten
Schleuderrad am 12-Uhr-Punkt von diesem Schleuderrad, wobei in Fig. 4
allerdings die Drehrichtung des Schleuderrades 3 umgekehrt ist.
Verdreht man aus dieser Stellung die Eintrittsstelle für den Partikelstrom in
die Nabe 7 wiederum 90 Grad, diesmal im Uhrzeigersinne, so trennt sich ein
Partikelstrahl 22 nach Fig. 5 wiederum am 3-Uhr-Punkt von dem
Schleuderrad 3. Die Drehrichtung des Schleuderrades 3 ist bei den
Beispielen nach den Fig. 4 und 5 gleichsinnig. Es ergibt sich daraus, daß
der Erfindungsgegenstand zahlreiche Einbau- und Betriebsvarianten des
Schleuderrades 3 zuläßt.
Bei den Ausführungsbeispielen nach den Fig. 2 und 4 übt die durch die
Pfeile G angedeutete Schwerkraft einen geringfügig krümmenden Effekt auf
den jeweiligen Partikelstrahl aus. Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 3
hat die Wirkung der Schwerkraft G einen verzögernden Effekt auf die
Partikelstrahlen, bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 hat die
Schwerkraft G einen beschleunigenden Effekt auf den Partikelstrahl 22. Diese
Effekte sind bei der hohen Partikelgeschwindigkeit jedoch von ungeordneter
Bedeutung. In jedem Falle fehlt die Abbrems- und Spreizwirkung der
ansonsten vorhandenen Atmosphäre.
Die Fig. 6 zeigt links oben die Vakuumkammer 1 nach Fig. 1, jedoch mit
folgenden zusätzlichen Aggregaten: Die Vakuumkammer 1 ist von einer
Heizeinrichtung 23 umgeben, die aus Heizwiderständen 24 und einer
Wärmedämmung 25 besteht. Diese Maßnahme dient zur Erwärmung der
gesamten Vakuumkammer einschließlich des Schleuderrades 3 und der
Werkstücke 14, so daß eine Kondensation flüchtiger Bestandteile der
Werkstückverschmutzung unterbleibt, wenn diese flüchtigen Bestandteile
unter der Wirkung des Vakuums und der Temperatur verdampft werden.
Der Partikelbehälter 9 ist von einer weiteren Heizeinrichtung 26 umgeben,
damit die Partikel 10 gegebenenfalls auf eine höhere Temperatur aufgeheizt
werden können, als dies durch die Heizeinrichtung 23 möglich wäre.
Der Rohrstutzen 18 ist über ein Vakuum-Ventil 27 mit einem Partikel-
Sammelbehälter 28 verbunden, dessen Boden 28a einen Rohrstutzen 28b
besitzt, der durch ein weiteres Vakuumventil 29 verschließbar ist. Durch
entsprechende Fördereinrichtungen, die hier nur durch eine gestrichelte Linie
30 angedeutet sind, ist es möglich, die Partikel 10 nach dem Absieben der
von den Werkstücken abgelösten Verunreinigungen wieder dem
Partikelbehälter 9 zuzuführen. Zu diesem Zwecke ist gegebenenfalls in der
Wandung der Vakuumkammer 1 eine weitere, hier nicht gezeigte
Partikelschleuse angeordnet.
Der Saugstutzen 2 führt in diesem Falle über einen Kondensator 31 und
einen weiteren Saugstutzen 32 zu dem nicht dargestellten Vakuum-
Pumpsatz. Der Kondensator 31 ist über eine weitere Saugleitung 33 mit dem
Partikelsammelbehälter 28 verbunden, damit auch aus diesem flüchtige und
kondensationsfähige Stoffe abgesaugt und im Kondensator 31 kondensiert
werden können. Im Boden 31a des Kondensators 31 ist ein Ablaßrohr 34
angeordnet, das über ein Vakuumventil 35 verschließbar ist. Auf diese Weise
ist es in zeitlichen Abständen möglich, kondensierte Stoffe aus dem
Kondensator 31 ohne Unterbrechung des Vakuums abzuziehen.
Es versteht sich, daß die gesamten Aggregate nach Fig. 6 nur in sehr
schematischer Darstellungsweise gezeigt sind.
Claims (27)
1. Verfahren zum Behandeln von Oberflächen von Werkstücken durch
Partikelstrahlen mittels eines Schleuderrades, dadurch
gekennzeichnet, daß das Partikelstrahlen bei unteratmosphärischem
Druck durchgeführt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß abrasive
Partikel verwendet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß elastische
Partikel verwendet werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Partikel
aus der Gruppe Quarzsand, Kunststoff- und Stahlsplitter, Stahl-, Glas-
und Kunststoffkugeln verwendet werden.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zur
Oberflächenreinigung durchgeführt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zur
Oberflächenverfestigung durchgeführt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zur
Oberflächenglättung durchgeführt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es bei
Drücken zwischen 10-2 und 500 mbar durchgeführt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es bei
Drücken zwischen 1 und 100 mbar durchgeführt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es bei
Temperaturen zwischen 20 und 450°C durchgeführt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es beim
Behandeln von Oberflächen, die elastomere Bereiche enthalten, bei
Temperaturen unterhalb der Versprödungstemperatur der Elastomeren
durchgeführt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem
Partikelstrahlen ein Abdampfen von flüchtigen Verunreinigungen
durchgeführt wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das
Abdampfen bei Drücken zwischen 10-3 und 50 mbar und
Temperaturen zwischen 20 und 450°C durchgeführt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das
Abdampfen bei abnehmendem Druck und steigender Temperatur
durchgeführt wird.
15. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die
flüchtigen Verunreinigungen nach dem Abdampfen kondensiert und
wiedergewonnen werden.
16. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Aufprallgeschwindigkeit der Partikel auf das Werkstück mindestens
15 m/sec, vorzugsweise mindestens 30 m/sec, beträgt.
17. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Partikel vor dem Einbringen in das Vakuum vorentgast werden.
18. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Partikel vor dem Einbringen in das Vakuum vorgewärmt werden.
19. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Partikel vor dem Einbringen in das Vakuum getrocknet werden.
20. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Partikel bei kontinuierlicher Verfahrensführung durch eine
Vakuumschleuse in das Vakuum eingebracht werden.
21. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder
mehreren der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß das
Schleuderrad (3) und mindestens ein Werkstück (14) in einer
Vakuumkammer (1) untergebracht sind.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß in der
Vakuumkammer (1) ein Partikelbehälter (9) angeordnet ist.
23. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die
Vakuumkammer (1) mit einer Heizeinrichtung (23) versehen ist.
24. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß der
Partikelbehälter (9) mit einer Heizeinrichtung (26) versehen ist.
25. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß der
Vakuumkammer (1) als Werkstückhalter mindestens ein Manipulator
(15) zugeordnet ist.
26. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß der
Vakuumkammer (1) ein Partikelsammelbehälter (28) nachgeschaltet
ist.
27. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß der
Vakuumkammer (1) ein Kondensator (31) nachgeschaltet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19944415094 DE4415094B4 (de) | 1994-04-29 | 1994-04-29 | Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Werkstücken durch Partikelstrahlen |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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ID=6516842
Family Applications (1)
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