DE4342538A1 - Mikroskop - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Mikroskop.
Mikroskope sind Erschütterungen durch die Umwelt
ausgesetzt. Diese Erschütterungen (ungewolltes Berühren,
Gebäudeschwingungen usw.) erschweren die Arbeit an diesen
insbesondere dann, wenn das zu beobachtende Objekt nicht
fest mit dem Mikroskop verbunden ist.
Dies ist insbesondere bei Operationsmikroskopen der Fall,
welche allgemein eine Vergrößerung 30x aufweisen. Opera
tionsmikroskope sind häufig über einen Ausleger am Fußboden
bzw. an der Decke befestigt. Da der Ausleger nur eine
begrenzte Steifigkeit hat, neigen insbesondere Operations
mikroskope bei entsprechender Anregung zum Schwingen,
wodurch das Arbeiten mit diesen Geräten erheblich
beeinträchtigt wird.
Bildstabilisationseinrichtungen als solche sind bekannt. So
ist insbesondere aus der EP-PS 0 504 930 eine derartige
Einrichtung bekannt, bei der ein x-y-Tisch über Spindeln
durch einen Motor bewegt wird. Der indirekte Antrieb über
Spindeln hat aber den Nachteil, daß die Verstellung nicht
sofort und auch nicht exakt erfolgt, was den Gebrauchswert
der Einrichtung stark herabsetzt. Außerdem nutzt sich das
Gewinde im Gebrauch ab, so daß man nach einiger Zeit mit
einer Verschlechterung der Verstellgenauigkeit rechnen muß.
Es ist die Aufgabe der Erfindung ein Mikroskop zu schaffen,
bei welchem die durch das Schwingen des Mikroskopes
hervorgerufenen Bildbewegungen, insbesondere die
transversalen Bewegungen senkrecht zur optischen Achse,
möglichst unterdrückt werden.
Diese Aufgabe wird durch den kennzeichnenden Teil des
ersten Patentanspruchs gelöst.
Durch die erfinderische Ausgestaltung des Mikroskops
erfolgt zum erstenmal eine Entkopplung des Mikroskops von
den von seiner Umgebung einwirkenden Schwingungen.
Diese Schwingungen sind normaler Weise eher langwellig, so
daß eine Schwingungskompensation, welche nur die
Massenbeschleunigung ausnutzt, nur unbefriedigende
Ergebnisse liefert. Aber auch andere aktive Systeme zur
Schwingungskompensation berücksichtigen nicht oder nur
unzureichend die langwelligen Schwingungen, welche aus der
Umgebung auf ein befestigtes oder stehendes Gerät
angreifen.
Die Kompensation erfolgt dabei vorzugsweise in mindestens
einer Richtung senkrecht zur optischen Achse.
Vorteilhafterweise ist die Kopplung zwischen
Antriebselement und angetriebenem Teil fest, um
Übertragungsverluste zu vermeiden und um eine schnelle,
präzise Reaktion auf durch die Umwelt bewirkte Schwingungen
auf das Mikroskop sicher zu stellen.
Vorzugsweise erfolgt dabei eine Entkopplung des Objektivs
gegenüber dem Mikroskopgehäuse und dem Okular.
Um alle Schwingungsübertragungen aus der Mikroskopumgebung
kompensieren zu können ist es dabei vorteilhaft, daß die
Kompensation in den zwei aufeinander senkrecht stehenden
Freiheitsgraden senkrecht zur optischen Achse erfolgt.
Dadurch werden Bewegungen in der Bildebene, hervorgerufen
durch Schwingungen beeinflußbar und können mit geeigneten
Maßnahmen kompensiert werden. Die Bewegungsentkopplung
erfolgt dabei derart, daß das Objektiv im Gehäuse innerhalb
einer senkrecht zur optischen Achse aufgespannten Ebene
frei beweglich ist.
Die Erfindung wird nachstehend in beispielhafter Weise
anhand der Zeichnungen näher erläutert, wobei weitere
wesentliche Merkmale, sowie dem besseren Verständnis
dienende Erläuterungen und Ausgestaltungsmöglichkeiten des
Erfindungsgedankens beschrieben sind.
Es zeigen:
Fig. 1a einen Linearmotor im Teilschnitt;
Fig. 1b den Linearmotor aus Fig. 1a in Draufsicht, Teil
schnitt;
Fig. 1c den Linearmotor aus Fig. 1a in Vorderansicht,
Teilschnitt;
Fig. 1d den Linearmotor aus Fig. 1a in perspektivischer
Ansicht;
Fig. 2a eine stabilisierte Objektivlagerung in Drauf
sicht, Teilschnitt;
Fig. 2b Objektivlagerung in y-Richtung in Draufsicht aus
Fig. 2a;
Fig. 2c Objektivlagerung in x-Richtung in Draufsicht aus
Fig. 2a;
Fig. 2d eine Schnittdarstellung durch die Objektiv
lagerung aus Fig. 2a in y-Richtung;
Fig. 2e eine Schnittdarstellung durch die Objektiv
lagerung aus Fig. 2a in x-Richtung;
Fig. 3a ein Operationsmikroskop an einem Ständer;
Fig. 3b ein Operationsmikroskop an einer Deckenauf
hängung.
In den Fig. 1a-d ist ein als Antriebselement verwendeter
Linearmotor (1) dargestellt. Dieser Linearmotor (1) besitzt
als wesentliche Komponenten eine Spuleneinrichtung (4a),
einen Stator (4b) und zwei Permanentmagnete (2, 3).
Der Stator (4b) besteht aus einem vorzugsweise
geschlossenen U-förmigen Grundkörper aus einem
hochpermeablen Material, wie z. B. Vacoflux. Auf der
Innenseite der beiden rechteckförmigen Arme des Stators
(4b) sind zwei rechteckförmige Permanentmagnete (2, 3) so
angebracht, daß der Nordpol des Permanentmagneten (2) dem
Südpol des anderen Permanentmagneten (3) gegenüberliegt.
Dadurch bildet sich zwischen diesen beiden Permanent
magneten (2, 3) ein nahezu homogenes Magnetfeld mit
senkrechtstehenden Feldlinien (4c) aus.
Die Spuleneinrichtung (4a), auch Rotor genannt, wird durch
eine doppelte Rechteckspule gebildet, deren Windungen (in
der Fig. nicht eingezeichnet) senkrecht zur aktiven
Bewegungsrichtung (5a) der Spuleneinrichtung (4a) und
senkrecht zu den Feldlinien (4c) der Permanentmagnete (2,
3) verlaufen. Die Form der Spuleneinrichtung (4a) ist der
Gestalt, daß die eine Hälfte der Spule (7a) über den Stator
(4b) und die andere Hälfte der Spule (8a) unter den Stator
(4b) hindurch geführt wird. Die Spulenhälften (7a und 8a)
sind freitragend einschließlich der Befestigungseinrichtung
(6) miteinander vergossen. Die innere Breite (L) der
Spuleneinrichtung (4a) ist größer als die äußere Breite (A)
des Stators (4b). Dadurch besitzt die Spuleneinrichtung
(4a) zwei Bewegungsfreiheitsgrade. Zum einen einen
Freiheitsgrad zwei der Bewegungsrichtung (5a), die sich aus
der Kraftwirkung des magnetischen Feldes der Permanent
magnete (2, 3) auf die stromdurchflossene Spuleneinrichtung
(4a) ergibt (d. h. senkrecht zum Leiter) und zum anderen
senkrecht hierzu in Bewegungsrichtung (5b) aufgrund der
größeren Spulenkörperinnenbreite (L), ohne dadurch die
Wirkungsweise des Linearmotors (1) zu beeinflussen.
Die Spuleneinrichtung (4a) ist dabei ohne Wickelkörper
ausgeführt, um bei gleichzeitiger Minimierung des Gewichts
und des Volumens eine maximale Packungsdichte der Spulen
einrichtung (4a) bei minimierten Luftspalten zwischen Rotor
und Stator insbesondere im Kraftfeld der Feldlinien (4c)
mit dem Ziel zu erreichen, daß zwangsläufig die maximal
möglichen Antriebskräfte der Linearmotoren (1) entstehen.
Hergestellt ist die Spuleneinrichtung (4a) als doppelte
Rechteckspule aus zwei einzelnen Rechteckspulen (7, 8), auf
welchen sich je zur Hälfte die Windungen (7a, 8a) auf
teilen. Jede dieser beiden Rechteckspulen (7, 8) ist dabei
auf einem geeigneten Dorn mit erforderlichem Querschnitt
gewickelt worden. Danach werden die Spulen (7, 8) ein
schließlich der Bewegungseinrichtung (6) in einer Form
zusammengefügt und dann gemeinsam vergossen. Die so
erhaltene Spuleneinrichtung (4a) weist eine optimale
mechanische Festigkeit und Wärmeleitfähigkeit bei maximaler
Packungsdichte und minimiertem Bauvolumen auf.
Die für die Wärmeableitung wirksame Oberfläche erhöht sich
bei diesem doppelten Spulenkörper (4a) um ca. 60% gegenüber
einer einfachen Rechteckspule, bei der sich die Windungen
nicht aufteilen.
Eine weitere Steigerung der Wärmeabgabe wird durch eine an
gedeutete Profilierung (4d) des Spulenkörpers (4a)
erreicht, die durch eine entsprechende Vergußform
realisiert wird.
Die Spuleneinrichtung (4a) weist eine unterschiedlichen
Spulendicke (d1/d2) auf, d2 = d1/2.
Durch die Aufteilung der Windungen (7a, 8a) beim Herum
führen um den Stator (4b) reduziert sich die Spulenbreite
um d1 = 2×d2.
Eine weitere Steigerung des Volumen/Leistungsverhältnisses
wird durch Verwendung eines Spulendrahtes mit eckigem
Querschnitt erreicht.
Die Windungen (7a, 8a) in der Spuleneinrichtung (4a)
verlaufen aufgrund des notwendigen Vorschubes beim Wickeln
nicht genau senkrecht zu der Begrenzungsrichtung (5a).
Die dadurch entstehende Querkomponente kann bei dem
doppelten Spulenkörper dadurch weitgehend kompensiert
werden, indem die beiden Spulenhälften mit unterschied
lichem Wicklungssinn gewickelt und nachfolgend vergossen
werden. Die Querkomponente der einen Hälfte hebt dann die
Querkomponente durch die Schieflage der Wicklung in der
anderen Hälfte in entgegengesetzter Richtung weitgehend
auf.
In den Fig. 2a-2e ist die Anbringung von zwei, in den
Fig. 1a-d dargestellten Linearmotoren (11, 12) sowie die
Objektivlagerung beschrieben.
Um den Platzbedarf zu minimieren, sind die Motore (11, 12)
um 45° versetzt zur Mittenebene (13) des Adapters
angeordnet. Dadurch kann die Adapterbreite (B) minimal
gehalten werden. Hierbei ist der Stator (11a bzw. 12a) fest
mit der Grundplatte (15) des Adapters verbunden. Die
Doppelspule (11b) ist über eine Befestigungseinrichtung
(11c) mit dem als Tischführung in y-Richtung ausgeführten
Zwischenring (16a) verbunden. Demhingegen ist die
Doppelspule (12b) mit dem als Tischführung in x-Richtung
ausgeführten Objektivhalter (16b) durch den Zwischenring
(16a) hindurch über die Befestigungseinrichtung (12c)
verbunden.
Das Objektiv (17) wird von dem innen liegenden achteckigen
Objektivhalter (16b) aufgenommen, welcher eine Bewegung des
Objektivs (17) in x-Richtung erlaubt. Die optische Achse
(13a) des Objektivs (17) befindet sich genau im Zentrum des
Objektivhalters (16b), in welchem das Objektiv (17) ein
geschraubt ist. Der Objektivhalter (16b) ist über zwei
Linearführungspaare (19a, 19b) möglichst reibungsarm mit
dem Zwischenring (16a) verbunden. Eine Bewegung des inneren
Objektivhalters (16b) relativ zum Zwischenring (16a) ist
nur in einer Richtung, der x-Richtung möglich.
Hierbei hat der Objektivhalter (16b) in x-Richtung einen
Freiraum (a1), welcher für eine Bewegung des Objektivs (17)
innerhalb des Zwischenrings (16b) zur Verfügung steht. In
der zur x-Richtung senkrecht stehenden y-Richtung hat der
Zwischenring (16b) mit den an ihm angebrachten Linear
führungspaaren (18a, 18b) einen Freiraum (a2), welcher für
die Bewegung des Objektivs (17) in y-Richtung zur Verfügung
steht.
Die sich gegenüberliegenden Linearführungspaare (18a, 18b)
des Zwischenringes (16a), welche gegenüber den beiden
Linearführungspaaren (19a, 19b) des Objektivhalters (16b)
um 90° versetzt angeordnet sind, sind mit dem Gehäuse (15)
des Adapters fest verbunden. Die Linearführungspaare (18a,
18b bzw. 19a, 19b) sind so ausgelegt, daß eine leichte
Bewegung des Objektivs (17) sowohl in x- als auch in y-
Richtung erfolgen kann.
Durch die oben beschriebene Anordnung wird eine x/y-Tisch
führung beschrieben, welche eine Bewegung des Objektivs
(17) diagonal zu den äußeren Begrenzungen des Gehäuses (15)
in diesen beiden Richtungen zuläßt. Diese x/y-Tischführung
besitzt eine hohe Steifigkeit bei minimalen Einbaumaßen,
wobei das Zentrum freibleibt, um den optischen Strahlengang
durch das Objektiv (17) in z-Richtung nicht zu beschneiden.
Die dabei entstehende, verschachtelte Bauart ist in Fig.
2d, 2e dargestellt. Dabei trägt insbesondere der nach innen
gezogene Kragen (16aa) des äußeren Zwischenrings (16a) zur
Erhöhung der Steifigkeit bei, ohne dabei die Baugröße zu
beeinträchtigen. Dieser Kragen (16aa) kann entsprechend den
gegebenen Einbaubedingungen in seiner Geometrie verändert
und optimiert werden. Gleiches gilt für den konstruktiven
Aufbau des inneren Objektivringes (16b) und des an ihm
befindlichen Versteifungskragens (16bb).
Die Komponenten der mechanischen Schwingungen werden über
zwei senkrecht zueinander angeordnete Beschleunigungs-
Sensoren (39a, 39b in Fig. 2a) gemessen.
Über eine doppelte Integration wird aus den Beschleuni
gungswerten die zugehörigen Wegkomponenten berechnet.
Die so erhaltenen Werte stellen die Sollgröße für einen
PID-Regler (40) dar. Der Regler (40) steuert zwei den
Komponenten zugeordnete Leistungsendstufen (41a, 41b) an,
die die zwei Linearmotoren (11, 12) treiben.
Die Linearmotoren (11, 12) bewegen, das in einem x/y-Tisch
gelagerte Objektiv (17) gegenphasig zur Schwingungs
bewegung. Der momentane Ist-Wert wird durch, den Komponen
ten zugeordnete, lineare Wegsensoren erfaßt und dem Regler
als Stellgröße zugeführt.
Die gegenphasige Auslenkung des Hauptobjektivs (17) (oder
des optisch abbildenden Teils von diesem) führt in einem
Mikroskop dazu, daß die sonst durch die Vibration des
gesamten Mikroskops im Vergrößerungsbereich 30 selbst bei
ideal justiertem Mikroskop subjektiv empfundene
Bildverschlechterung (das Auge des Beobachters in der
Austrittspupille des Mikroskopes kann den um den
Vergrößerungsfaktor vergrößerten Bildbewegungen nicht mehr
folgen, so daß die Bildqualität subjektiv als sehr schlecht
empfunden wird) zumindest sehr stark verbessert wird.
Demgegenüber führt eine Relativbewegung des Hauptobjektivs
(17) zwar objektiv zu einer geringfügig schlechteren
Bildqualität, aber subjektiv im Gesamten betrachtet zu
einem wesentlich besseren Bild, da die Bildbewegung so
stark herabgesetzt wird, daß das Auge den Strukturdetails
wieder folgen kann und somit überhaupt erst wieder ein Bild
empfunden wird. Hinzu kommt, daß bei ruhendem, also nicht
Vibrationen ausgesetztem Mikroskop, das Objektiv in der
optischen Achse (13a) justiert ist und somit wie bei einem
normalen Mikroskop die gleiche Bildqualität erreicht wird.
Das in den Fig. 2a-2e beschriebene Ausführungsbeispiel
sorgt dafür, daß lediglich bei vibrierenden Mikroskopen,
d. h. bei einem gemessenen Beschleunigungswert innerhalb
einer zur optischen Achse des Objektivs senkrechten Ebene,
ein Ansprechen (d. h. eine Gegenbewegung) erfolgt.
Das bedeutet, daß bei ca. konstanten Translationsbewegungen
mit nicht auswertbaren Beschleunigungswerten keine
Bewegungskompensation erfolgt, da das Auge den Bildwechsel
folgen kann und andererseits bei ungewollten Schwingungen
mit entsprechenden Beschleunigungswerten beispielsweise im
höheren Vergrößerungsbereich durch die einsetzende
Bewegungskompensation überhaupt subjektiv wieder ein Bild
empfunden wird.
In den Fig. 3a und 3b ist ein Operationsmikroskop (31, 31a)
in klassischen Aufhängungen, wie sie in einem Operations
saal üblich sind, dargestellt.
Ist das Operationsmikroskop (31) an einem Ständer (32)
befestigt, so können sowohl axiale (34) als auch
transversale (34a) Kräfte auf den Ständerfuß (35)
einwirken. Diese Kräfte (34, 34a) führen dann zu einer
entsprechenden Bewegung des Operationsmikroskops (31), da
die Kräfte (34, 34a) durch die Bauteile (35a, 35b, 35c,
35d) des Ständers (32) übertragen werden.
Auch wenn das Operationsmikroskop (31a) an der Decke eines
Operationssaals mit einer Deckenaufhängung befestigt ist,
werden durch die Deckenverankerung (36) und die Komponenten
(36a, 36b, 36c, 36d) der Deckenaufhängung (36) die axialen
und transversalen Kräfte (37, 37a) auf das Operations
mikroskop (31a) übertragen.
Eine Entkopplung des Operationsmikroskops (31, 31a) kann
nun erfolgen
- a) durch eine kräfteausübende Einrichtung (42) zwischen dem vertikalen Tragarm (35c-36c) und dem horizontalen Tragarm (35b, 36b);
- b) durch eine kräfteausübende Einrichtung (43) zwischen der vertikalen Tragarm (35c, 36c) und dem Operations mikroskop (31, 31a);
- c) durch eine kräfteausübende Einrichtung im Operations mikroskop (31, 31a).
In den Ausführungsbeispielen in den Fig. 2a-e ist die
Entkopplung im Operationsmikroskop (31, 31a) hinsichtlich
der transversalen Schwingungen realisiert, da die
Tiefenschärfe des Operationsmikroskops (31, 31a) eine
Eliminierung der axialen Schwingungen in der optischen
Achse des Operationsmikroskops (31, 31a) normalerweise
unnötig macht. Sollten auch diese axialen Schwingungen
eliminiert werden, so kann dies durch bekannte Autofokus
einrichtungen erfolgen.
Der besondere Vorteil der Eliminierung der transversalen
Schwingungen im Operationsmikroskop (31, 31a) ist darin zu
sehen, daß die zu bewegenden Massen sehr gering sind, die
Kompensationseinrichtung damit sehr kompakt ausfallen und
als Adapter ausgeführt werden kann. Dieser Vorteil wird
zusätzlich ergänzt durch eine schnelle Reaktionszeit des
Systems.
Claims (28)
1. Mikroskop, bei welchem zumindest die optisch
abbildende Einrichtung von dem zu beobachtenden
Gegenstand getrennt gehalten ist, dadurch
gekennzeichnet, daß mindestens ein Antriebselement (1,
11, 12) zur Kompensation von auf die optische
Anordnung von seiner Umgebung einwirkende Schwingungen
in oder an dem Mikroskop (31, 31a) angebracht ist, und
daß eine elektronische Schaltung vorhanden ist, welche
das Signal eines Sensors in ein Signal für die
Antriebselemente (1, 11, 12) umwandelt.
2. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Antriebsrichtung des Antriebselements (1, 11, 12)
in einer Richtung senkrecht zur optischen Achse
ausgerichtet ist.
3. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kopplung zwischen
Antriebselement (1, 11, 12) und angetriebenen Teil
fest ist.
4. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch
gekennzeichnet, daß das Objektiv durch das
Antriebselement (1, 11, 12) gegenüber dem
Mikroskopgehäuse und dem Okular entkoppelt ist.
5. Mikroskop nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
das Objektiv in zwei Freiheitsgraden senkrecht zur
optischen Achse (13a, 33, 38) entkoppelt ist.
6. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch
gekennzeichnet, daß das Antriebselement (1, 11, 12)
aus einem Linearmotor besteht.
7. Mikroskop nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
der Linearmotor (1, 11, 12) aus einer
Spuleneinrichtung (4a) mit vielen Windungen, einem
Stator (4b) und aus zwei Permanentmagneten (2, 3)
aufgebaut ist.
8. Mikroskop nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
der Stator (4b) einen vorzugsweise geschlossenen U-
förmigen Grundkörper besitzt.
9. Mikroskop nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die beiden Permanentmagnete (2, 3)
auf zwei Armen des Stators (4b) angebracht sind, wobei
der Nordpol des einen Permanentmagneten (2) dem Südpol
des anderen Permanentmagneten (3) gegenüberliegt.
10. Mikroskop nach einem der Ansprüche 6-9, dadurch
gekennzeichnet, daß die Spuleneinrichtung (4a) aus
einer doppelten Rechteckspule besteht.
11. Mikroskop nach einem der Ansprüche 6-10, dadurch
gekennzeichnet, daß die innere Breite (L) der
Spuleneinrichtung (4a) größer ist als die äußere
Breite (A) des Stators.
12. Mikroskop nach einem der Ansprüche 6-11, dadurch
gekennzeichnet, daß die Spuleneinrichtung (4a) keinen
Wickelkörper besitzt.
13. Mikroskop nach einem der Ansprüche 6-12, dadurch
gekennzeichnet, daß die Spuleneinrichtung (4a) eine
Profilierung (4d) besitzt.
14. Mikroskop nach einem der Ansprüche 6-13, dadurch
gekennzeichnet, daß der Spulendraht der Windungen der
Spuleneinrichtung (4a) einen rechteckigen Querschnitt
besitzt.
15. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-14, dadurch
gekennzeichnet, daß die kräfteausübende Einrichtung
aus zwei Antriebselementen (11, 12) besteht, welche
ungefähr einen Winkel von 90° relativ zur Senkrechten
auf die optische Achse (13a, 33, 38) besitzen.
16. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-15, dadurch
gekennzeichnet, daß das Antriebselement (11, 12) in
einem Adapter (15) vorhanden ist.
17. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-16, dadurch
gekennzeichnet, daß das Mikroskop (31, 31a) an einer
Aufhängung (32, 37) befestigt ist, daß die Aufhängung
(32, 37) am Boden oder an der Decke des Raumes
befestigt ist und sich die kräfteausübende Einrichtung
zwischen dem horizontalen Tragarm (35b, 36b) und dem
vertikalen Tragarm (35c, 36c) befindet.
18. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-17, dadurch
gekennzeichnet, daß das Mikroskop (31, 31a) an einer
Aufhängung (32, 37) befestigt ist, daß die Aufhängung
(32, 37) am Boden oder an der Decke des Raumes
befestigt ist und sich die kräfteausübende Einrichtung
zwischen dem vertikalen Tragarm (35c, 36c) und dem
Mikroskop (31, 31a) befindet.
19. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-18, dadurch
gekennzeichnet, daß sich die kräfteausübende
Einrichtung (1, 11, 12) im Innern des Mikroskops (31,
31a) befindet.
20. Mikroskop nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet,
daß eine, relativ zum Gehäuse (15) in mindestens einer
Richtung senkrecht zur optischen Achse (13a)
bewegliche Objektivhalterung (16b) vorhanden ist und
daß ein Teil des Antriebselementes (12b) mit dem
Gehäuse (15) und ein zweiter Teil (12a, 12c) mit der
Objektivhalterung (16b) fest verbunden ist.
21. Mikroskop nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet,
daß die Objektivlagerung im wesentlichen aus zwei sich
in ihren Bewegungen nicht störenden Lagerungen (16a,
16b) besteht (x-Lagerung und y-Lagerung) besteht,
wobei die x- und y-Achse senkrecht zueinander und
senkrecht zur optischen Achse (13a, 33, 38) orientiert
sind.
22. Mikroskop nach einem der Ansprüche 20 oder 21, dadurch
gekennzeichnet, daß die Lagerungen (16a, 16b) um eine
optische Achse (13a, 33, 38) eine ausreichend freie
optische Öffnung besitzen.
23. Mikroskop nach einem der Ansprüche 20-22, dadurch
gekennzeichnet, daß jede Lagerung (16a, 16b) zwei sich
gegenüberliegende Linearführungen (18a, 18b, 19a, 19b)
besitzt, wobei die beiden Linearführungen (18a, 18b)
einer Lagerung (16a) zu den beiden Linearführungen
(19a, 19b) der anderen Lagerung (16b) um 90° versetzt
angeordnet sind.
24. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-23, dadurch
gekennzeichnet, daß das Mikroskop (31, 31a) ein
Operationsmikroskop ist.
25. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-25, dadurch
gekennzeichnet, daß die Einrichtung (1, 11, 12) zur
Kompensation von Schwingungen so konstruiert ist, daß
zumindest Schwingungen senkrecht zur optischen Achse
(13a, 33, 38) kompensiert werden.
26. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-26, dadurch
gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Kompensation
von Schwingungen so konstruiert ist, daß auch
Schwingungen in der optischen Achse (13a, 33, 38)
kompensiert werden.
27. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-26, dadurch
gekennzeichnet, daß zumindest eine Hauptobjektivlinse
(17) in einer Objektivlagerung (16a, 16b) befestigt
ist und die Antriebselemente (1, 11, 12) eine zur
Schwingung gegenphasige Auslenkung der
Objektivlagerung (16a, 16b) mit dem Hauptobjektiv (17)
bewirkt.
28. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-27, dadurch
gekennzeichnet, daß der Sensor zur Erfassung der
Schwingungen ein Beschleunigungssensor ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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