DE4309413C2 - Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit zur Erfassung von Dehnungen auf einer Bauteiloberfläche - Google Patents
Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit zur Erfassung von Dehnungen auf einer BauteiloberflächeInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit zur
Erfassung von Dehnungen auf einer Bauteiloberfläche gemäß dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1, wie aus der EP 0 329 479 A2 bekannt.
Magnetoelastische Materialien haben die Eigenschaft, ihre magnetische Suszeptibilität
unter dem Einfluß mechanischer Dehnung zu ändern (Villary-Effekt). Bei amorphen,
ferromagnetischen Materialien ist dieser Effekt besonders ausgeprägt.
Zur Messung von Dehnungen auf Bauteiloberflächen wird amorphes, ferromagnetisches
Material als bandförmiger, magnetoelastischer Streifen auf die Oberfläche eines Verformungskörpers
gefügt. Um die Änderung der Suszeptibilität zu erfassen, werden Spulen
angeordnet, die mit dem magnetoelastischen Streifen elektromagnetisch gekoppelt sind.
Dies ist bekannt z. B. aus der Zeitschrift Technisches Messen tm, Jg. 52, 1985, S. 189 bis
198.
In der eingangs genannten EP 0 329 479 A2 wird eine Meßeinheit beschrieben, bei der photolithographisch
auf einem Trägermaterial hergestellte Spiralspulen mit einem magnetoelastischen Streifen
elektromagnetisch gekoppelt sind. Diese Meßeinheit eignet sich zur Messung von Dehnungen
auf Bauteiloberflächen, indem sie auf die Bauteiloberfläche gefügt wird. Die
transformatorische Kopplung zweier auf einem Trägermaterial hergestellter Spiralspulen
über den magnetoelastischen Streifen wird dadurch erreicht, daß das Trägermaterial den
magnetoelastischen Streifen ganzflächig bedeckt. Die geometrische Anordnung der
Spiralspulen zum magnetoelastischen Streifen und die Geometrie des magnetoelastischen
Streifens selbst haben Einfluß auf die Empfindlichkeit der Meßeinheit. Die Änderung der
magnetischen Suszeptibilität infolge mechanischer Spannungen im magnetoelastischen
Streifen kann nur dann im gleichen Maß in Änderungen der elektrischen Spannung mit
Hilfe der Spiralspulen umgeformt werden, wenn durch die Spiralspulen und durch den
magnetoelastischen Streifen ein magnetischer Kreis gebildet wird, der vollständig geschlossen
ist und keine Luftspalte enthält, oder wenn der magnetoelastische Streifen ein
großes Verhältnis seiner Länge zu seiner Breite aufweist. Durch diese Bedingungen wird
jeweils erreicht, daß die magnetische Scherung gering ist. Mit dem magnetischen Kreis,
wie er in der Meßeinheit der EP 0 329 479 A2 vorliegt, wird die hohe Dehnungsempfindlichkeit
des magnetoelastischen Streifens nicht optimal in Änderungen der elektrischen
Spannung umgeformt, da die Windungen der Spiralspulen den magnetoelastischen Streifen
nicht umschlingen, sondern ganzflächig auf den magnetoelastischen Streifen gefügt
werden. Der magnetische Kreis, der durch diese Anordnung gebildet wird, ist durch eine
hohe magnetische Scherung gekennzeichnet, da der magnetische Fluß von den Spiralspulen
über die Oberfläche des magnetoelastischen Streifens in den Querschnitt des magnetoelastischen Streifens geleitet wird.
Der magnetische Fluß wird nicht in einem einheitlichen Richtungssinn in die ferromagnetische
Querschnittsfläche des magnetoelastischen Streifens geleitet, da in der beschriebenen
Meßeinheit der EP 0 329 479 A2 die Windungen der Spiralspulen den magnetoelastischen
Streifen nicht umschlingen. Die elektromagnetische Kopplung zwischen den Spiralspulen
und dem magnetoelastischen Streifen sowie die transformatorische Kopplung der
beiden Spiralspulen ist dadurch gering gegenüber einer technischen Lösung für den
magnetischen Kreis, bei der die Windungen der Spiralspulen den magnetoelastischen
Streifen umschlingen.
Darüber hinaus ist das Verhältnis von Länge zu Breite des magnetoelastischen Streifens
aufgrund der ganzflächig auf dem magnetoelastischen Streifen aufliegenden Spiralspulen
kleiner gegenüber einer technischen Lösung für den magnetischen Kreis, bei der die Windungen
der Spiralspule den magnetoelastischen Streifen umschlingen.
In der US 5 194 806 A ist eine Meßeinheit beschrieben, bei der die Windungen einer
Spule, die im Schichtaufbau hergestellt wird, den magnetoelastischen Streifen umschlingen.
Dadurch wird eine geringere magnetische Scherung erreicht gegenüber der Anordnung
in der EP 0 329 479 A2. Die beschriebene Art der Herstellung der Spule im
Schichtaufbau ist technisch aufwendiger gegenüber einer photolithographisch hergestellten
Spiralspule, wie sie in der EP 0 329 479 A2 verwendet wird, das die Spule im Schichtaufbau
aus einzelnen Leiterbahnelementen mit Hilfe einer großen Anzahl von Kontakierungen
hergestellt wird.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit anzugeben, bei
der die Windungen photolithographisch hergestellter Spiralspulen den magnetoelastischen
Streifen umschlingen. Die hohe Empfindlichkeit der magnetischen Suszeptibilität des
magnetoelastischen Streifens gegenüber mechanischer Dehnung soll dabei mit photolithographisch
hergestellten Spiralspulen optimal in Änderungen der elektrischen Spannung
umgeformt werden.
Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 aufgeführten Merkmale gelöst.
Es ist mindestens eine Spiralspule erforderlich, die durch Lithographie- und Ätztechnik
auf einem folienartigen Trägermaterial hergestellt wird. Diese Spiralspule weist einen von
Null verschiedenen Innenradius auf. Innerhalb der Fläche, die von der innersten Windung
eingeschlossen wird, ist ein Durchgangsloch in der Trägerfolie vorgesehen. Der bandförmige,
magnetoelastische Streifen wird durch diese Öffnung im Zentrum der Spiralspule
durchgeführt und auf der Oberseite und der Unterseite des Trägermaterials fixiert. Dieses
Fixieren kann beispielsweise mit Klebstoff oder mit dem Isolierlack erfolgen, der auf die
Spiralspule aufgetragen wird, um elektrischen Kurzschluß der Windungen durch den elektrisch
leitenden magnetoelastischen Streifen zu verhindern. Der bandförmige, magnetoleastische
Streifen weist ein großes Verhältnis seiner Länge zu seiner Breite auf. Die Windungen
der Spiralspule umschlingen den magnetoelastischen Streifen.
Die magnetoelastische Dehnungseinheit, bestehend aus einem Trägermaterial mit
mindestens einer photolithographisch hergestellten Spiralspule und mindestens einem
bandförmigen, magnetoelastischen Streifen, ist zum Messen von Dehnungen auf Bauteiloberflächen
geeignet, wenn sie auf dieser befestigt wird. Dies geschieht beispielsweise mit
Klebstoffen, die auch für das Messen mit handelsüblichen Widerstands-Dehnungsmeßstreifen
verwendet werden. Die Änderung der Suszeptibilität des magnetooptischen Streifens
bedingt eine Änderung der Selbstinduktion der Spiralspule, die meßtechnisch erfaßt
wird. Dies wird beispielsweise durch Impedanzmessung mit Brückenschaltungen oder
durch Frequenzmessung realisiert, wenn die Spiralspule als frequenzbestimmendes Glied
in einer Oszillatorschaltung verschaltet ist. Lageänderungen zwischen Spiralspule und
magnetoelastischem Streifen sind durch das gemeinsame Applizieren von Spiralspule und
magnetoelastischem Streifen auf der Bauteiloberfläche ausgeschlossen.
Weitere Vorteile sind durch die im folgenden beschriebenen Ausgestaltungen der Erfindung
gegeben, die auf dem Prinzip transformatorisch gekoppelter Spiralspulen basieren.
Im einfachsten Fall befinden sich auf dem folienartigen Trägermaterial zwei Spiralspulen,
die einen von Null verschiedenen Innenradius aufweisen. Der bandförmige, magnetoelastische
Streifen wird durch die Öffnungen in der Trägerfolie in den Zentren der beiden
Spiralspulen geflochten. Die elektromagnetische Kopplung der beiden Spiralspulen wird
dann durch die Dehnung des magnetoelastischen Streifens zwischen den beiden Spiralspulen
beeinflußt.
Es wird darauf hingewiesen, daß eine elektromagnetische Kopplung von magnetoelastischem
Streifen und Spiralspule auch dann gegeben ist, wenn der magnetoelastische
Streifen im Bereich des Zentrums der Spiralspule endet und nicht durch eine Öffnung in
der Trägerfolie durch das Zentrum der Spiralspule durchgeführt wird.
Die Vorteile der im Patentanspruch 1 angegebenen Ausgestaltung liegen jener gegenüber
in der besseren elektromagnetischen Kopplung von magnetoelastischem Streifen und Spiralspule,
in dem größeren Verhältnis von Länge zu Breite des magnetoelastischen Streifens
und der dadurch höheren Empfindlichkeit der magnetoelastischen Dehnungsmeßeinheit,
und in der Schaffung von Zusammenhalt von Trägerfolie und magnetoelastischem
Streifen durch das Verflechten beider, wenn mehrere Spiralspulen verwendet werden.
Die elektronische Auswertung der induzierten Spannung an der Spiralspule geschieht
vorteilhaft mit dem Trägerfrequenz-Meßverfahren.
Die Erfindung wird im folgenden an Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung näher
erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 eine magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit für eine Meßstelle mit transformatorischer
Kopplung und einlagiger Ausführung der Spiralspulen;
Fig. 2 eine magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit wie in Fig. 1 im Querschnitt, die
auf einem Verformungskörper appliziert ist;
Fig. 3 eine magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit für zwei nach dem Differentialprinzip
wirksame Meßstellen mit transformatorischer Kopplung und einlagiger Ausführung
der Spiralspulen;
Fig. 4 die elektrische Verschaltung der Spiralspulen der magnetoelastischen Dehnungsmeßeinheit
in Fig. 3 für zwei nach dem Differentialprinzip wirksame Meßstellen mit
transformatorischer Kopplung.
Fig. 1 zeigt eine vorteilhafte Ausführungsform durch Verwendung zweier transformatorisch
gekoppelter Spiralspulen. Hierzu ist der magnetoelastische Streifen 1
durch das Trägermaterial, z. B. eine Trägerfolie 3, mit den Spiralspulen
2a und 2b geflochten. Die transformatorische
Kopplung von Spiralspule 2a und Spiralspule 2b erfolgt nahezu ausschließlich
über den magnetoelastischen Streifen 1, da die Spiralspulen nicht koaxial, sondern
lateral versetzt angeordnet sind. Die induzierte Spannung der Spiralspule 2b wird somit
ausschließlich durch Änderungen des magnetischen Flusses im dehnungsempfindlichen,
magnetoelastischen Streifen 1 bestimmt. Ein Vorteil dieser Spulenanordnung in Verbindung
mit der transformatorischen Kopplung der Spiralspulen 2a und 2b besteht darin,
daß die Empfindlichkeit nicht durch elektromagnetische Kopplung der Spiralspulen durch
Luftinduktion herabgesetzt wird. Der Verbindungsdraht 4, der eine elektrische Verbindung
zum inneren Anschluß der Spiralspule 2a bzw. 2b herstellt, ist nur bei einlagig
ausgeführten Spiralspulen erforderlich. Er kann bei zweilagig ausgeführten Spiralspulen
gemäß den Patentansprüchen 7 bis 9 entfallen, wenn z. B. die obere Lage die Windungen
von außen nach innen und die untere Lage die Windungen von innen nach außen führt.
Die beiden Lagen werden vorteilhaft beidseitig des Trägermaterials gefertigt, wobei im
Zentrum der Spiralspule eine Durchkontaktierung vorzusehen ist. Dies wird, wie aus der
Leiterplattentechnik bekannt, mittels galvanisch aufgebrachter Schichten realisiert.
Eine weitere Möglichkeit zur Kontaktierung des inneren Endes von einlagig ausgeführten
Spiralspulen besteht gemäß Patentanspruch 10 in der Verwendung des magnetoelastischen
Streifens als elektrischen Anschluß. Der magnetoelastische Streifen wird dann beispielsweise
durch Ultraschall-Bonden mit dem inneren Anschluß der Spiralspulen elektrisch
leitend verbunden. Dieser Fügeprozeß ist ebenso wie das Weichlöten durch die Isolierschicht
5 hindurch realisierbar.
Zur Kontaktierung der magnetoelastischen Dehnungsmeßeinheit mit der Auswerteelektronik
werden des weiteren Leiterbahnen auf dem Trägermaterial vorgesehen, die zu
Lötstützpunkten am Rand des Trägermaterials führen.
Fig. 2 zeigt im Querschnitt eine magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit, die auf die
Oberfläche eines Verformungskörpers 7 geklebt ist. Die magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit
ist so angeordnet, daß die im Verformungskörper 7 vorgesehene Meßstelle
geringen Querschnitts zwischen den beiden Spiralspulen 2a und 2b liegt.
Damit die Windungen der Spiralspulen 2a und 2b durch den flach aufliegenden
magnetoelastischen Streifen 1 nicht kurzgeschlossen werden, sind die Spiralspulen mit
einer Isolierschicht 5 versehen.
Der magnetoelastische Streifen 1 ist dem Richtungssinn nach dergestalt durch das
Trägermaterial 3 geflochten, daß der magnetoelastische Streifen 1 direkt, d. h. ohne
dazwischenliegendes Trägermaterial auf die Oberfläche des Verformungskörpers 7
geklebt werden kann. Dies bedeutet, daß nur die Klebstoffschicht 6 die Dehnungen der
Oberfläche des Verformungskörpers 7 übertragen muß. Das Trägermaterial 3 muß
keine Dehnungen auf den magnetoelastischen Streifen 1 übertragen. Dadurch werden
hier im Gegensatz zur Widerstands-Dehnungsmeßstreifentechnik die Hysterese- und
Kriecherscheinungen vermieden, die von dem Trägermaterial 3 verursacht werden.
Der Zusammenhalt der magnetoelastischen Dehnungsmeßeinheit ist durch das Verflechten
von Trägermaterial 3 und magnetoelastischem Streifen 1 gegeben. Der magnetoelastische
Streifen 1 kann jedoch zusätzlich auf dem Trägermaterial 3 fixiert werden, um ein Verschieben
des magnetoelastischen Streifens 1 innerhalb des Trägermaterials 3 während des
Applizierens zu verhindern. Dies kann beispielsweise durch den Lack geschehen, der für
die Isolation der Spiralspulen 2a und 2b aufgebracht wird.
Fig. 3 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform der magnetoelastischen Dehnungsmeßeinheit.
Sie enthält vier Spiralspulen, wobei jeweils die Spiralspule 2a mit der Spiralspule
2b transformatorisch gekoppelt ist. Diese Dehnungsmeßeinheit ist damit eine Verdopplung
der in Fig. 1 dargestellten Dehnungsmeßeinheit. Die transformatorische Kopplung
der Spiralspulen 2a und 2b erfolgt jedoch nur durch einen einzigen magnetoelastischen
Streifen 1, der durch das Trägermaterial 3 geflochten wird. Dieses Durchflechten
geschieht in dem Richtungssinn, daß der magnetoelastische Streifen 1 an den beiden
Meßstellen, die jeweils zwischen der Spiralspule 2a und der Spiralspule 2b liegen,
direkt auf die Bauteiloberfläche geklebt werden kann. Die Verwendung von zwei Spiralspulen
2a, wie im Patentanspruch 3 ausgeführt, ermöglicht, daß der durch das Trägermaterial
3 geflochtene magnetoelastische Streifen 1 an beiden Meßstellen direkt über
der Bauteiloberfläche liegt. Für die magnetische Erregung der zwei Teilsysteme, bestehend
aus den Spiralspulen 2a und 2b , würde sonst auch eine einzige Spiralspule
genügen. Die Spiralspulen 2b bilden mit dem magnetoelastischen Streifen eine Differentialanordnung,
so daß nur gegensinnig auftretende Dehnungen an den Meßstellen zu
einer Ausgangssignaländerung führen. Gleichsinnig wirkende Störeinflüsse werden somit
kompensiert. Damit eignet sich diese Bauform für die Applikation auf der Oberfläche
eines Doppelbiegebalkens, wie er häufig für den Bau von Kraftsensoren angewendet
wird. Die biegeweichen Dehnstellen des Doppelbiegebalkens müssen im Bereich zwischen
Spiralspule 2a und Spiralspule 2b liegen. Die beiden Spiralspulen 2a sind in Reihe
geschaltet. Wenn ein Offsetabgleich vorgesehen werden soll, müssen sie von getrennten
Stromkreisen gespeist werden. Die Lötstützpünkte 8 bilden das Anschlußpaar für die in
Reihe geschalteten Spiralspulen 2a. Die Lötstützpunkte 9 bilden das Anschlußpaar für
die in Differentialanordnung verschalteten Spiralspulen 2b. Die Lötstützpunkte 8 und
9 der Anschlußpaare sind an beiden Enden der magnetoelastischen Dehnungsmeßeinheit verfügbar.
Der Vorteil dieser in Fig. 3 dargestellten Ausgestaltung besteht darin, daß die Differentialanordnung
mit nur einem magnetoelastischen Streifen 1 realisiert werden kann. Dadurch
wird die Symmetrie der Meßstellen günstig beeinflußt. Da die Spiralspulen 2a und 2b
selbst und die geometrische Anordnung der Spiralspulen 2a und 2b untereinander
fertigungsbedingt nur geringste Toleranzen aufweisen, kann die Symmetrie nur noch
durch den Fügevorgang des magnetoelastischen Streifens 1 auf die Bauteiloberfläche beeinträchtigt
werden. Das Verhältnis von Länge zu Breite des magnetoelastischen Streifens
1 ist bei der Verwendung eines einzigen magnetoelastischen Streifens 1 ebenfalls
größer, als es bei der Realisierung der Differentialanordnung mit zwei getrennten magnetoelastischen
Streifen 1 bei gleicher Baugröße möglich wäre.
Fig. 4 zeigt die elektrische Verschaltung der Spiralspulen auf der Dehnungsmeßeinheit
für zwei nach dem Differentialprinzip wirksame Meßstellen, wie sie in Fig. 3 dargestellt
ist. An den Lötstützpunkten 8 des einen Anschlußpaars erfolgt die Stromspeisung
der in Reihe geschalteten Spiralspulen
2a. An den Lötstützpunkten 9 des anderen Anschlußpaars liegt die Differenz der Spannungen vor, die an den
Spiralspulen 2b induziert werden. Die magnetische Kopplung der zwei Spiralspulen 2a
und 2b wird durch die mechanische Dehnung Epsilon im magnetoelastischen Streifen
1 beeinflußt. Nur gegensinnige Dehnungen bewirken eine Änderung der Ausgangsspannung
an den Lötstützpunkten 9, so daß der Einfluß von symmetrischen Störeinflüssen,
z. B. Temperaturdehnung, kompensiert wird.
Claims (10)
1. Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit zur Erfassung von Dehnungen auf einer Bauteiloberfläche,
bestehend aus wenigstens einem bandförmigen magnetoelastischen
Streifen aus amorphem ferromagnetischem Material und wenigstens einer photolithographisch auf
einem Trägermaterial, das auf der Bauteiloberfläche befestigbar ist,
hergestellten Spiralspule, die mit dem bandförmigen
magnetoelastischen Streifen elektromagnetisch gekoppelt ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß der wenigstens eine bandförmige magnetoelastische Streifen (1), ausgehend von der Oberseite der auf dem Trägermaterial (3) hergestellten wenigstens einen Spiralspule (2a, 2b) durch eine Öffnung im Zentrum der wenigstens einen Spiralspule (2a, 2b) und durch eine Öffnung im Trägermaterial (3) zur Unterseite des Trägermaterials (3) geführt ist, und
daß der wenigstens eine bandförmige magnetoelastische Streifen (1) ein großes Verhältnis seiner Länge zu seiner Breite aufweist.
daß der wenigstens eine bandförmige magnetoelastische Streifen (1), ausgehend von der Oberseite der auf dem Trägermaterial (3) hergestellten wenigstens einen Spiralspule (2a, 2b) durch eine Öffnung im Zentrum der wenigstens einen Spiralspule (2a, 2b) und durch eine Öffnung im Trägermaterial (3) zur Unterseite des Trägermaterials (3) geführt ist, und
daß der wenigstens eine bandförmige magnetoelastische Streifen (1) ein großes Verhältnis seiner Länge zu seiner Breite aufweist.
2. Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß zur transformatorischen Kopplung mehrere Spiralspulen (2a, 2b) über mehrere
Meßorte in Zusammenwirken mit einem einzigen bandförmigen magnetoelastischen
Streifen (1) angeordnet sind.
3. Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen zwei Meßorten zwei Spiralspulen (2a) als Erregerspulen angeordnet sind.
4. Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß sich der bandförmige, magnetoelastische Streifen (1) am jeweiligen Meßort
unmittelbar über der Bauteiloberfläche befindet.
5. Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß sich zwischen der Spiralspule (2a, 2b) und dem bandförmigen magnetoelastischen
Streifen (1) eine Isolierschicht (4) befindet.
6. Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Spiralspule (2a, 2b) einlagig ausgebildet und auf einer Seite des Trägermaterials
(3) angeordnet ist.
7. Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Spiralspule (2a, 2b) zweilagig ausgebildet, die zwei Lagen durch eine Isolierschicht
getrennt, und diese Anordnung auf einer Seite des Trägermaterials (3) angeordnet ist.
8. Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Spiralspule (2a, 2b) zweilagig ausgebildet ist, und daß die zwei Lagen durch
das Trägermaterial (3) getrennt sind.
9. Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit nach Anspruch 7 oder 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß die zwei Lagen der Spiralspule (2a, 2b) über eine Durchkontaktierung im Spulenzentrum verbunden sind, und
daß der Richtungssinn der Wicklungen der zwei Lagen so ist, daß die magnetischen Flüsse der zwei Lagen sich im Spulenkern addieren.
daß die zwei Lagen der Spiralspule (2a, 2b) über eine Durchkontaktierung im Spulenzentrum verbunden sind, und
daß der Richtungssinn der Wicklungen der zwei Lagen so ist, daß die magnetischen Flüsse der zwei Lagen sich im Spulenkern addieren.
10. Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß der elektrische Anschluß des inneren Endes der einlagig ausgebildeten Spiralspule
(2a, 2b) über eine zwischen der Spiralspule (2a, 2b) und dem bandförmigen, magnetoelastischen
Streifen (1) angeordnete elektrisch leitende Verbindung erfolgt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934309413 DE4309413C2 (de) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit zur Erfassung von Dehnungen auf einer Bauteiloberfläche |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934309413 DE4309413C2 (de) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit zur Erfassung von Dehnungen auf einer Bauteiloberfläche |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4309413A1 DE4309413A1 (de) | 1994-09-22 |
DE4309413C2 true DE4309413C2 (de) | 1996-03-07 |
Family
ID=6483624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19934309413 Expired - Fee Related DE4309413C2 (de) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit zur Erfassung von Dehnungen auf einer Bauteiloberfläche |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4309413C2 (de) |
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JP3099680B2 (ja) * | 1995-02-13 | 2000-10-16 | 株式会社豊田自動織機製作所 | トルクセンサ及び歪み検出素子 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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1993
- 1993-03-19 DE DE19934309413 patent/DE4309413C2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4309413A1 (de) | 1994-09-22 |
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Date | Code | Title | Description |
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